JP6449024B2 - 保護部材の剥離方法及び剥離装置 - Google Patents
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Description
21 剥離テーブル
23 剥離テーブルの吸引面
31 水平移動部(移動手段)
51、96 把持部
56、99 上昇移動部(移動手段)
61 押圧ローラ
71 超音波振動手段
72 第2の超音波振動手段
76 ヒータ部
81 保護部材
82 樹脂シート
83 樹脂
84 保護部材の外周縁
86 ウエーハの上面(ウエーハの一方の面)
87 ウエーハの下面(ウエーハの他方の面)
89 保護部材の折曲げ部
W ウエーハ
Claims (3)
- ウエーハの一方の面に保護部材を貼着し、該保護部材を介して加工テーブルでウエーハを保持し露出する他方の面に所定の加工を施した後、該加工テーブルから搬出したウエーハの他方の面を剥離テーブルの吸引面で吸引保持し該保護部材をウエーハから剥離する保護部材の剥離方法であって、
該保護部材は、ウエーハの外径以上の外径の樹脂シートと、少なくともウエーハの一方の面の全面の面積で該樹脂シートに塗布される樹脂と、から構成され、
該剥離テーブルに対して相対的に移動され、該保護部材の上面を押圧する押圧ローラに備えられる第2の超音波振動手段により、該保護部材の上面から該保護部材に超音波振動を伝播させ、該押圧ローラの真下の該保護部材には超音波振動を作用させず、該押圧ローラの真下以外の周辺の該保護部材に超音波振動を作用させる超音波振動工程と、
該保護部材の外周縁を把持部で把持する把持工程と、
該超音波振動工程を継続させ該把持部をウエーハから離反する方向に移動させウエーハから該保護部材を剥離する剥離工程と、からなる保護部材の剥離方法。 - 該剥離テーブルには、吸引保持したウエーハを加温するヒータ部を備え、
該剥離工程を開始するまでに該ヒータ部でウエーハを加温させ該保護部材を軟化させる保護部材軟化工程を含み、
該剥離工程では、
該把持部をウエーハの外周から中央に向かい、その延長の外周に向かって移動させ軟化した該保護部材を折曲げた折曲げ部を形成させ、該把持部の移動に伴い該折曲げ部が移動して該保護部材を剥離する請求項1記載の保護部材の剥離方法。 - ウエーハに貼着された保護部材の剥離方法を可能にする剥離装置であって、
ウエーハを吸引保持する吸引面を有する剥離テーブルと、
ウエーハの一方の面を保護する該保護部材をウエーハから剥離する剥離手段と、を備え、
該剥離手段は、
該保護部材の外周縁を把持する把持部と、
該把持部が該保護部材を把持しウエーハから該保護部材を離間させる方向に該把持部と該剥離テーブルとを相対的に移動させる移動手段と、
該保護部材の上面を押圧する押圧ローラと、を備え、
該押圧ローラは、該移動手段の移動方向に対して直交する方向に延在し、該保護部材の上面から超音波振動を伝播させる第2の超音波振動手段を備え、該移動手段により該押圧ローラが該剥離テーブルに対して相対的に移動され、
該保護部材は、ウエーハの外径以上の外径の樹脂シートと、少なくともウエーハの一方の面の全面の面積で該樹脂シートに塗布される樹脂と、から構成され、
該剥離テーブルは、該吸引面を加温するヒータ部を備え、
該押圧ローラの真下の該保護部材には超音波振動が作用しないが、該押圧ローラの真下以外の周辺の該保護部材に超音波振動が作用する剥離装置。
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