JP2019102769A - 剥離用テープカッター - Google Patents
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Abstract
Description
4:フレーム 5:粘着テープ 6:剥離用テープ 6a:基材 6b:接着剤層
10:基台 11:保持テーブル 12:フレーム載置台 13:クランプ部
14:保持テーブル移動手段 15:ボールネジ 16:モータ 17:ガイドレール
18:移動基台 20:剥離用テープ供給手段 21:リール
22a,22b:ガイドローラ 23a,23b:送り出しローラ 24:挟持手段
25:ガイド部材 26:エアシリンダ 27:固定爪部 28:可動爪部
29:プレート 29a:ローラ 30:剥離用テープカッター 31:載置台
32:載置面 33:溝 34:押さえ部 35:切断刃 350:刃先 351:斜面36:移動手段 37:垂直移動手段 40:テープ貼着部 41:ヒータ
50:水平移動手段 51:支持板 52:ボールネジ 53:モータ
54:ガイドレール 55:スライダ
60:制御部 61:検出部
70:搬送機構 71:フレーム保持部 72:吸引源
80:剥離用テープカッター 81:刃先 82:載置台 83:溝 84:押さえ部
Claims (3)
- 熱を加えることにより保護テープに接着される接着剤層と基材とからなる帯状の剥離用テープを用いてウェーハの表面に貼着された該保護テープを外周部分から剥離する剥離装置において、該剥離用テープを所定の長さで切断する剥離用テープカッターであって、
該剥離用テープの該接着剤層側が載置される載置面と該剥離用テープの幅方向に形成される溝とを備える載置台と、
該載置面に載置された該剥離用テープを該載置面に向かって押さえる押さえ部と、
該溝の延在方向に沿って該溝内を進行させる進行方向前方側に斜めに形成される刃先を有し、該刃先が該接着剤層から該基材に向かって力を与えて該剥離用テープを切断する切断刃と、
該切断刃を該溝の該延在方向に移動させる移動手段と、を備える剥離用テープカッター。 - 前記切断刃の前記刃先は、前記載置面に対して90度より大きく180度未満の角度で傾斜して形成された請求項1記載の剥離用テープカッター。
- 前記切断刃は、傾斜した前記刃先に対して平行な斜面を備えた請求項2記載の剥離用テープカッター。
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2017
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