JPS6356935A

JPS6356935A - 半導体ウエハカセツト

Info

Publication number: JPS6356935A
Application number: JP61200985A
Authority: JP
Inventors: Yoshibumi Anami; 阿南　義文
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1986-08-27
Filing date: 1986-08-27
Publication date: 1988-03-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、半導体の製造又は検査装置に用いられる半ふ
体ウェハカセット、特にウェハの誤挿入の防止および発
見が可能であるカセットに関するものである。

〔従来の技術〕

従来のウェハカセットの一例を第５図に示°ノ°。

このウェハカセット１は、その正面が開口しており、左
右両側面の内側に対称的に突出じた１■数の支持片４を
有しており、左右一対の支持片によってウェハ３をほぼ
水平に支持する。

このウェハカセット１に於いて、ウェハ３は支持片４に
よって一枚ずつ収納される。各ウェハは、表面が他のウ
ェハ等と接しないように保持される。

このようなカセットは、半導体の製造又は検査装置に於
けるウェハの自動搬入、自動搬出、及びウェハの保存、
運搬などの用途に用いられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のカセット１は、第５図（＾）のウェハ３ｂのよう
に段違いに誤挿入しても簡単には判別できないため、そ
のまま′ｊｔ’ｌｌに載置してウェハあるいは装置を破
損させる、といった問題点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に於いてはこのような問題点を解決するため、ウ
ェハを誤挿入した場合のみ該ウェハと接触するクシ状突
起部（以下、突条と称する）を存する部材を設けたこと
を特徴とする。

〔作用〕

前記の突条を有する部材の作用により、誤挿入されたウ
ェハ３ｂはカセット１からはみ出し、誤挿入の有無の確
認、誤挿入されたウェハの特定が可能かつ容易となる。

〔実施例１〕第１図は本発明の実施例のカセットの斜視図であって、
カセット１の背面に突条を有する部材２が設けられてい
る。この部材２は第２図に示ずようにウェハ３ａが正常
に挿入された場合にはウェハが溝５に入るような位置関
係にある。

ウェハが正常に挿入された時は、第２図（Ａ）に示すよ
うにウェハ３ａは部材２の溝５に入るため、第２図（Ｂ
）に示すようにウェハ３ａは全てカセ。

ト内に納まる。

ウェハが段違いに誤挿入された時、第３図（Ａ）に示す
ようにウェハ３ｂは部材２の溝５に入らず突条の先端部
に当たり、第３図（Ｂ）のようにウェハ３ｂはカセッＮ
の外にはみ出す。このためカセ−／　ト外にはみ出てい
るウェハは誤挿入であると判別できる。

このような構造であるからこの実施例ではウェハの誤挿
入を節単に判別することができるという利点がある。た
だし、部材２の溝５の深さはウェハのオリエンテーショ
ンフラット３ｆ（ウェハの方向を検出するため、ウェハ
に設けた切欠き部）を考慮し、部材２が前記の作用を果
たす際、ウェハの向きに影響されることのない深さとす
る。また部材２の先端の中及び厚みは、ウェハ３ｂの傾
き等によるズレを考慮したものとする。

誤挿入であるウェハの検知は目視によるか、もしくは何
らかの検知手段を用いることも可能である。

また他の実施例として、第４図に誤挿入判別用の部材６
を取り外し可能としたものを示す。

部材６を取り外し可能としたことにより、ウェハをカセ
ットごと液（エツチング液、洗浄液）に浸す場合部材を
取り外した後に浸せば、突条の溝５に残った液がウェハ
に影響を及ぼすことを避けることができる。

取り外した部材６は、別途保管しても、表裏逆転してカ
セット１に取りつけておいても良い。

本実施例では、位置決めピン８と位置決め孔９により位
置決めを行い固定爪７と固定孔１０により半導体ウェハ
カセット１と部材６を接続している。接続後は第１図に
示すカセットと同様な形状となり、機能も同様となる。

また本実施例では、固定爪及び固定孔を横向きに設けて
いるがこれは縦向きでも良く、固定爪と固定孔とを入れ
換えても良い、更には、固定爪以外の固定方法を用いて
も良い。

〔実施例２〕本実施例は、誤挿入防止用の突条を有する部材をカセッ
トではなく半導体検査装置に設けた例である。

第６図はこの検査装置の概念図である。ここでは、部材
２は半導体検査装置に設けられたスライド２１の先端に
設けられている。

半導体検査装置に於いては、ウェハをカセット１より引き出すアーム２３が誤挿入されている
ウェハ３ｂと衝突することの無いよう、検査前にはあら
かじめ誤挿入の有無をウェハカセット毎に確認する必要
がある。

第６図に矢印の範囲で示すように、前記検査装置に設け
られたスライド２１はウェハと水平方向に可動である。

検査されるカセットは架台２７とともにレール３０．３
１上を移動し、定位置に停止した後昇降器によって上下
に位置決めされる。

部材２はカセット１の背面開口部よりカセット内へ挿入
される。

ウェハが正常に挿入されている時は、第７図（Ａ）に示ずようにウェハ３ａは部材２の溝５に
入るため、第７図（Ｂ）に示すようにウェハは全てカセ
ット内に納まっている。

ウェハが誤挿入されている時は、第８図（Ａ）に示すよ
うにウェハ３ｂは部材２の溝５に入らず、第８図（Ｂ）
のようにウェハ３ｂは突条の先端部に当たりカセット１
の外にはみ出してくる。はみ出しているウェハ３ｂは投
光器３４と受光器３５との間を遮り、その結果受光器３
５の出力が変化し誤挿入のウェハの存在が検知される。

又、はみ出したウェハの検知はこれに限るものでは無く
、他の検知手段によっても良い。

第６図に示した検知手段の配πによっては誤挿入のウェ
ハの位置と枚数を特定することはできないが、検知手段
を水平に配置し各ウニへ毎に調べるように縦に走査する
ことにより、位置と枚数の特定は可能となる。

実施例２の如き誤挿入ウェハの検知機構は、半導体検査
装置のみならず、他のウェハカセットを用いる半導体関
連装置にも有用である。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、誤挿入されたウェハのみ
がカセット外にはみ出すので、簡単に誤挿入を判別でき
る利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による半導体ウェハカセｙトの斜視図第２図（八）はウェハが正常に挿入された場合の前面図第２図（Ｂ）はウェハが正常に挿入された場合の上面図第３図（Ａ）はウェハが誤挿入された場合の前面図第３図（Ｂ）はウェハが誤挿入された場合の上面図第４図はクシ状突起部を有する部材を取り外し可能とし
た場合の斜視図第５図は従来の半導体ウェハカセットの同第６図は半導
体検査装置の概念図第７図（八）はウェハが正常に挿入されている場合の前
面図第７図（Ｂ）はウェハが正常に挿入されている場合の上
面図第８図（Ａ）はウェハが誤挿入されている場合の前面図第８図（Ｂ）はウェハが誤挿入されている場合の上面図〔主要部分の符号の説明〕１・・・半導体ウェハカセット２・・・クシ状突起部を有する部材３ａ・・・正常に挿入されたウェハ３ｂ・・・誤挿入されたウェハ３ｆ・・・ウェハのオリエンテーションフラット４・・
・ウェハ支持片５・・・部材２の溝６・・・取り外し可能なりン状突起部を有する部材７・・・固定爪ｌＯ・・・固定孔２１・・・スライド２３・・・アーム２７・・・ウェハカセット架台３２・・・架台ドライブベルト３３・・・昇降器３４・・・投光器３５・・・受光器

Claims

【特許請求の範囲】

（１）半導体ウェハを収納するカセットに於いて、該カ
セットにウェハを正常に挿入した場合はウェハと接触せ
ず、ウェハを誤って段違いの状態で挿入した場合ウェハ
と接触して挿入を妨げる作用を行なうクシ状突起部を有
する部材を設けたことを特徴とする半導体ウェハカセッ
ト。
（２）特許請求の範囲第１項記載の半導体ウェハカセッ
トに於いて、（ａ）前記半導体ウェハカセットが、箱形であり、その正面は開口しており、左右両側面は、その内側に対称的に突出した複数の支持
片を有しており、左右一対の支持片によりウェハをほぼ
水平に支持し、また、（ｂ）前記クシ状突起部を有する部材が、カセット背面に設けられている。上記の特徴（ａ）及び（ｂ）を有する半導体ウェハカセ
ット。