JPS6254449A - ウエハ整列装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はウェハのオリエンチーシコンフラット（以下オ
リフラ部と称す）合せをするウェハ整列装置に関するも
のである。

従来の技術 近年、ウニ・・整列装置は、半導体素子の微細化。

高集積化に伴ない、以下に示す要求がきわめて高まって
きた。

（１）　　ウェハ表面にゴミなどの不純物を付着させな
い。

（２）　　ウェハ表面を酸化させたり、不純物を拡散さ
せたりする炉工程では、各ウェハの品質が均一になるよ
うにオリフラ部の方向性を正確に揃える。

（３）炉の工程では、ウェハを１枚１枚石英ポートの溝
に立てかけて、数十枚同時に処理する方法が一般に行な
われているが、投入時にウェハの上部と炉のチューブと
のすきまを広くするため、またウェハのオリフラ部の揃
い状態を確認できるように、ウェハのオリフラ部を上方
に揃える。

（４）　　ウェハ表面などへのキズ防止のため自動化す
る。

従来のウェハ整列装置は、例えば特開昭５８−２１３５
２号公報に示されているように、第３図のような構成に
なっていた。図において、ウニノー１はガイド３２，３
３で案内された治具２に収納された状態で、ローラ３４
の回転により、ウエノ１１を回転させてオリフラ部１ａ
を下方へ一度揃えた後、ローラ３４より外径の大きいロ
ーラ３４ａに変更して回転させて、ウェハ１をさらに回
転させてオリフラ部１ａを治具２の上方に揃えるもので
あった。

発明が解決しようとする問題点 上記構成では、ローラ３４ａとオリフラ部１ａの接して
いる図のような状態においてウエノＳ１０重心位置が右
ヘズレることとウェハ１に対し回転方向の分力を発生さ
せにくいためにウェハ１とローラ３４Ｊ１との間でスリ
ップを生じやすい。また、ローラ３４ａの表面を摩擦係
数を高める材質にすればゴミ等の発生が増すという問題
点を有していた０ 又、特開昭６０−２４０３３号公報に示されているよう
に、治具内でウェハのオリフラ部を下方に揃えた後、別
のチャックでウェハをつかみかえて、チャックを回転さ
せてオリフラ部を上方は揃える方法があるが、この方法
では、チャックの回転中にオリフラ部の位置が回転して
変化したり、チャック回転中に振動等によりゴミが発生
してウェハ表面に付着しやすいという問題点を有してい
た０ 本発明は上記問題点に鑑み、ゴミの発生とウェハ表面へ
のゴミの付着をおこさせにくく、しかもスリップなくウ
ェハのオリフラ部を上方に正確に揃える装置を提供する
ものである。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明のウエノ・整列装置
は、治具の下方に取付けられて回転駆動される複数個の
ローラの内、端の１個を上下に移動させる手段を設ける
という構成を備えたものである０ 作　　用 本発明は上記した構成によって、複数個のローラの回転
によりウェー・のオリフラ部を下方に整列させた後、端
のローラを上昇せしめ、ウェハの円周部と接することに
よりウェー・をさらに回転させることができ、オリフラ
部全治具の上方へ正確に揃えることができる。又ローラ
等の駆動部をウェハより下方に設けることができるため
に、ゴミ等のウェハ表面への付着を生じにくくすること
ができる。

実施例 以下、本発明の一実施例を図面にもとづいて説明する。

第１図において、ウェハ１け立てかけられた状態で治具
（カセット）２に収納されている。

カセット２はベース３に取付けられたガイド４゜５で位
置決めされており、カセット２の底部の開口部２ａにお
いてウェハ１の下部が、左右１対のロー２６，７に接し
ている。ローラ６．７はベース３に取付けられた軸受ブ
ロック８に設けられた軸受９，１０により支持されてい
る。軸受ブロック８に取付けられた駆動モータ１１の回
転は、駆動プーリ１２及びベルト１３によりローラ６，
７に取付けられた従動ブーＩＪ　１４　、１　ｓに伝達
され、ローラ６．７を回転させる。

一方、前記ロー２７の横に設けられた上下可動ローラ１
６は、軸受ブロック１７に設けられた軸受１８によって
支持されている。軸受ブロック１７に取付けられた駆動
モータ１９の回転は、駆動プーリ２０及びベルト２１に
より上下可動ｐ−２１６に取付けられた従動プーリ２２
に伝達され、上下可動ローラ１６を回転させる。

ベース３に取付けられたブラケット２３上には、１対の
ガイド軸２４．２５が立設されている。軸受ブロック１
７は前記ガイド軸２４．２５に案内され、且つブラケッ
ト２３に取付けられたエアーシリンダー２６の推力によ
り、ジヨイント２７を介して、上下動する。

また、カセット２の上方には、光透過型のセンサー（ウ
ェハの位置検出器）２８．２９が金具３０．３１により
ベース３に取付けられている。

このセンサー２８．２９によってオリフラ部１ａを検知
することにより、オリフラ部１ａｉ更に正確に上方位置
に停止させることができる。

次に、この一実施例の構成における作用ｆ：説明する。

ローラ６．７は、ウェハ１の下部を支持して、駆動モー
タ１１の回転により入方向に回転してウェハ１をＢ方向
に回転させる。また、上下町動ローラ１６は、エアーシ
リンダー２６の推力により上下動されるとともに、駆動
モーター１９の回転により入方向に回転し、ローラ１６
の上昇時においてウェハ１の下部を支持して、ウェハを
Ｂ方向に回転させる。

次に第２図にもとづき、ウェハ１のオリフラ部１ａを治
具２の上方に揃える動作原理について詳しく説明する。

第２図ａはウェハ１がオリフラ部１ａが揃っていない状
態で、ロー２６，７で支持されている状態を示している
。この状態でローラ６．７をＡ方向に回転するとウェハ
１はＢ方向に回転し、第２図すに示すようにオリフラ部
１ａが下方にある状態でウェハ１は順次回転を停止する
。次に第２図Ｃに示すように、上下可動ローラ１６ｆ：
上げ、ウェハ１を支持した状態で入方向にわずか回転す
ると、ウェハ１はＢ方向に回転し、第２図ｄに示すよう
に、ウェハ１のオリフラ部１ａの位置は、ローラ６．７
から離れる。次に第２図ｅに示すように、上下可動ロー
ラ１６を下げて、ローラ６．７ｉＡ方向に回転させると
ウェハ１はＢ方向に回転し、所定時間回転させた後停止
すると、第２図ｆに示すようにウェハ１のオリフラ部１
ａをカセット２の上方に全て揃えることができる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、ウェハを治具に案内させ
た状態のままで自動的にオリフラ部全治具の上方に正確
に揃えることができる。又本発明によれば、機構部分を
下部に集中できるために、ウェハの表面にゴミの付着を
生じにくいという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図ａ−ｆ
は本発明の一実施例の動作原理を示す側断面図、第３図
は従来のウェハ整列装置の側断面図である。 １・・・・・・ウェハ、１ａ・・・・・・オリフラ部、
２・・・・・・治具、６，７・・・・・・ローラ、１６
・・・・・・上下可動ローラ１．２８，２９・・・・・
・光透過型センサー。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第２
図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数個のウェハを案内する治具と、前記治具の下
   方に取付けられて回転駆動される複数個のローラとを備
   え、前記治具に対して、複数のローラの内、端の１個を
   上下動可能に配したことを特徴とするウェハ整列装置。
2. （２）治具の上方にウェハの位置検出器を設けた特許請
   求の範囲第１項記載のウェハ整列装置。