JP6314386B2 - ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法 - Google Patents

Description

本発明は、ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法に関し、特に、カセットに収容された複数枚のウェーハをカセットごと運搬するための運搬台車及び運搬方法に関するものである。

一般に、シリコンウェーハの保管および運搬にはカセットが用いられている（例えば特許文献１参照）。カセットには多数枚（例えば２５枚）のウェーハを収容可能であり、シリコンインゴットからワイヤソーで切り出されたウェーハはカセット内に収容され、例えばラッピング工程等の次工程の場所まで運ばれる。ウェーハの鏡面研磨を行うまでは不純物汚染よりもウェーハの取り扱いが容易であることが優先されるため、カセットとしては蓋のないオープンカセットが好ましく用いられる。

多数枚のウェーハが収容されたカセットは重量物であることから、その運搬には手押し台車が用いられている（特許文献２、３参照）。従来、カセットはそのウェーハ挿入口（開口部）が上方を向いたいわゆる縦置きの状態で台車に搭載され、カセット内のウェーハはその主面が水平方向を向いた直立状態で運搬される。

特開２００９−２９５６３０号公報 特開２０００−３４０６３１号公報 特許第３６０１９２５号公報

しかしながら、カセットを縦置きの状態で台車に載せて運搬すると、運搬中にウェーハがカセット内で振動しやすく、ウェーハがカセット内の仕切り片と激しく衝突した場合にはウェーハの欠けや割れが発生するおそれがある。また、ラッピング工程等の次工程で用いられる処理装置はカセット内のウェーハを自動で取り出して処理する機能を有するが、カセットを横置きの状態でセットしなければならないものが多く、縦置き状態のカセットを横置き状態に変えなければならない。しかし、ウェーハがフルに収容された非常に重いカセットをウェーハに衝撃を与えずに人手により倒す作業は非常に大変であり、改善が望まれている。

本発明は上記課題を解決するものであり、本発明の目的は、複数枚のウェーハをカセットに収容した状態で運搬する際にウェーハの物理的損傷を防止すると共に、次工程でのカセットのセッティングも容易なウェーハ運搬台車及び運搬方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明によるウェーハ運搬台車は、カセットに収容された複数枚のウェーハをカセットごと運搬するウェーハ運搬台車であって、走行可能な台車本体と、前記台車本体の上部に設けられ、前記カセットの搭載面を構成する支持台と、前記支持台の角度を調整する角度調整機構とを備え、前記支持台は、前記ウェーハの主面と平行な前記カセットの主面と接する第１天板部と、前記ウェーハの主面と直交する前記カセットの底面と接する第２天板部とを有し、前記角度調整機構は、前記台車本体の走行方向を回転軸とした前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する傾斜角度を０度以上９０度以下の範囲内で固定することを特徴とする。

本発明によれば、カセットに収容された複数枚のウェーハを斜めに傾斜させた状態で運搬することができ、ウェーハの振動やケースからの飛び出しによる物理的損傷を防止することができる。また、運搬後にはカセット及びウェーハを水平状態で保管することができ、次工程でカセットを容易にセットすることができる。さらに、支持台上に置かれたカセットのウェーハ挿入口が上方を向いた縦置きの状態となるように支持台の角度を９０度に傾けることができ、ウェーハの出し入れを容易に行うことができる。

本発明において、前記角度調整機構は、前記支持台の傾斜角度を変える際に必要な力を軽減する持ち上げ補助機構を含むことが好ましい。多数枚のウェーハが収容されたカセットが搭載された支持台の重量は非常に重く、一人の作業員が自力で持ち上げることは非常に困難であるが、この持ち上げ補助機構により自力の持ち上げが可能となり、支持台の角度調整作業を容易かつ安全に行うことが可能となる。

本発明において、前記角度調整機構は、前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する角度を０度、５度以上４５度以下、又は９０度に固定し、０度よりも大きく５度よりも小さい角度及び４５度よりも大きく９０度よりも小さい角度での前記支持台の固定を禁止することが好ましい。この構成によれば、ウェーハの運搬中における支持台の傾斜角度を常に５度〜４５度の範囲内で固定することができる。したがって、支持台が不適切な角度で固定されることを防止することができ、ウェーハ運搬時の信頼性を高めることができる。

本発明において、前記角度調整機構は、前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する角度が５度以上４５度以下のときに前記台車本体の走行のロックを解除し、前記５度以上４５度以下の角度以外のときに前記台車本体の走行をロックする走行ロック機構を含むことが好ましい。この構成によれば、ウェーハの運搬中における支持台の傾斜角度を常に５度〜４５度に設定することができる。したがって、支持台が不適切な角度で固定されることを防止することができ、ウェーハ運搬時の信頼性を高めることができる。

本発明において、前記角度調整機構は、前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する角度が５度以上４５度以下の角度以外の角度に固定されている場合において前記台車本体を走行させたときに警告音の出力又はライトの点灯若しくは点滅を行う警報部を含むこともまた好ましい。この構成によれば、ウェーハの運搬時に支持台が不適切な角度で固定されることを作業者に知らせることができる。

本発明において、前記台車本体の走行方向は、前記台車本体の長手方向であり、前記第１天板部は、前記長手方向に並べられた複数個の前記カセットの前記主面の合計面積よりも広い搭載面を有することが好ましい。この構成によれば、カセットが置かれた支持台の重量を人手により取り扱うことが可能な範囲内に収めつつ、多数枚のウェーハを一度に効率よく運搬することができる。

本発明において、前記カセットは、ウェーハ挿入口に蓋がないオープンカセットであり、前記支持台上に置かれた前記カセットの前記ウェーハ挿入口の向きは、前記台車本体の走行方向に対して９０度の方向を向いていることが好ましい。オープンカセットはウェーハの出し入れが容易で取り扱いやすい反面、運搬中にウェーハがカセットから飛び出すおそれがある。しかし、本発明によればそのような問題を防止することができ、ウェーハの物理的損傷を十分に防止することができる。

また、本発明によるウェーハ運搬方法は、前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する傾斜角度を５度以上４５度以下の範囲内で固定した状態で前記台車本体を走行させて前記ウェーハを運搬することを特徴とする。

本発明によれば、複数枚のウェーハをカセットに収容し、カセットを斜めに傾斜させた状態で運搬するので、ウェーハの物理的損傷を防止することができる。したがって、ウェーハの運搬に対する信頼性を高めることができる。

本発明によれば、複数枚のウェーハをカセットに収容した状態で次工程に運搬中にウェーハの物理的損傷を防止すると共に、次工程でのカセットのセッティングも容易なウェーハ運搬台車及び運搬方法を提供することができる。

図１は、本発明の好ましい実施の形態によるウェーハ運搬台車の構成を示す図であって、（ａ）及び（ｂ）は略側面図、（ｃ）は略上面図をそれぞれ示している。 図２は、図１のウェーハ運搬台車においてカセットが搭載されていない状態を示す図であって、（ａ）及び（ｂ）は略側面図、（ｃ）は略上面図をそれぞれ示している。 図３は、角度調整機構１２の構成の一例を示す図であり、（ａ）〜（ｃ）は支持台１１の第１天板部１１ａの角度が水平、３０度、４５度の状態をそれぞれ示している。 図４は、ウェーハ運搬台車１のウェーハ収容時の状態を示す模式図である。 図５は、ウェーハ運搬台車１のウェーハ運搬時の状態を示す模式図である。 図６は、本発明の第２の実施の形態によるウェーハ運搬台車の構成を示す模式図である。 図７は、本発明の第３の実施の形態によるウェーハ運搬台車の構成を示す模式図である。

以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。

図１は、本発明の好ましい実施の形態によるウェーハ運搬台車の構成を示す図であって、（ａ）及び（ｂ）は略側面図、（ｃ）は略上面図をそれぞれ示している。また、図２は、図１のウェーハ運搬台車においてカセットが搭載されていない状態を示している。

図１に示すように、このウェーハ運搬台車１は、カセット５に収容されたウェーハＷをカセット５ごと運搬するためのものであり、手押し操作により走行可能な台車本体１０と、台車本体１０の上部に設けられ、カセット５の搭載面を構成する支持台１１と、支持台１１を回動可能に支持する角度調整機構１２とを備えている。

カセット５は、水平状態のウェーハＷを上下方向に重ねて収容可能なスロット構造を有しており、図１ではウェーハＷの主面と平行なカセットの主面５ａ，５ｂが上下方向を向いた状態でウェーハ運搬台車１上に置かれている。カセット５のウェーハ収容枚数は特に限定されないが、例えば２５枚のウェーハＷを収容可能である。

ウェーハＷは例えばシリコンウェーハであり、そのサイズ（直径）は３００ｍｍ以上であることが好ましく、４５０ｍｍであることが特に好ましい。ウェーハＷのサイズが大きくなるほどその重量が増し、複数枚のウェーハＷが収容されたカセット５を作業者が直接抱えて運搬することが非常に困難となり、ウェーハ運搬台車１の必要性が極めて高いからである。

カセット５の一方及び他方の主面５ａ，５ｂと直交する４つの面５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆのうちの一つの面５ｃには、ウェーハＷの出し入れを可能にするウェーハ挿入口（開口部）５ｇが設けられている。ウェーハ挿入口５ｇが設けられた面５ｃとは反対側の面５ｄは、ウェーハ挿入口５ｇが上方を向き、ウェーハＷの主面が鉛直状態となるようにカセット５を縦置きしたときの底面である。通常、ウェーハＷは縦置き状態のカセット５のウェーハ挿入口５ｇから各スロットに挿入されて収容される。

本実施形態のカセット５はウェーハ挿入口５ｇに蓋がないオープンカセットである。オープンカセットは汚染物質の侵入を防止することはできないが、蓋を開閉する必要がないのでウェーハの出し入れ、状態の確認等の作業性が良い。したがって、スライス工程からラッピング工程、あるいはラッピング工程から鏡面研磨工程への移動用及び保管用の容器として好ましく用いられる。

台車本体１０はその進行方向に細長い形状を有しており、底面の４つのコーナー部には車輪１０ａがそれぞれ設けられている。このうち、台車本体１０の長手方向の一端側（後方）の２つの車輪は回動自在なキャスターであり、長手方向の他端側（前方）の２つの車輪は固定車輪である。走行時の振動によるウェーハの損傷を防止するため、車輪１０ａはダンパー機能を有することが好ましい。台車本体１０の長手方向の一端側には取っ手１０ｂが設けられており、作業者は取っ手１０ｂを握って台車本体１０を前方に押し出すことで走行させることができる。

支持台１１は台車本体１０の長手方向と同じ方向に細長い略矩形のカセット搭載面を有しており、支持台１１の長手方向は台車本体１０の進行方向を向いている。そして図示のように、支持台１１上には２つのカセット５，５を並べて搭載可能であり、２個のカセット５，５の主面の合計面積よりも広い搭載面を有している。例えば３００ｍｍシリコンウェーハが２５枚収容された１つのカセットの総重量は約１０ｋｇ以上、２つのカセットであれば２０ｋｇ以上となり、非常に重いので、支持台１１は重量物の加重によっても変形しない耐久性のある素材であることが好ましい。

２つのカセット５，５はそのウェーハ挿入口５ｇが台車本体１０の進行方向に対して９０度の方向を向くように搭載される。これによれば、台車本体１０を急発進・急停車させたときにかかる慣性力によってウェーハＷがカセット５から飛び出してしまうことを防止することができる。

支持台１１は、進行方向から見てＬ字型の部材であり、カセット５の主面５ｂを支持する第１天板部１１ａと、カセット５の底面５ｄを支持する第２天板部１１ｂとを有している。第１天板部１１ａの面積は、第２天板部１１ｂの面積よりも大きい。これは、支持台１１に搭載されるカセット５と接触する面の大きさに合わせたものであり、図示のように、カセット５は、その主面５ｂ及び底面５ｄが第１天板部１１ａ及び第２天板部１１ｂとそれぞれ対向するように搭載される。

台車本体１０の長手方向の両端の位置には支柱１３がそれぞれ立設されており、支持台１１は支柱１３に対して０度〜９０度の範囲内で回動自在に軸支されている。支持台１１の角度は角度調整機構１２によって調整することができる。

角度調整機構１２は、支持台１１の第１天板部１１ａを水平面に対して０度又は９０度に固定するほか、斜めに固定するための機構を有している。支持台１１の第１天板部１１ａを斜めに固定する場合、その傾斜角度は０度よりも大きく９０度よりも小さければよいが、５度以上４５度以下であることがより好ましい。この場合、支持台１１の第１天板部１１ａの角度を０度よりも大きく５度よりも小さい角度に固定すること及び４５度よりも大きく９０度よりも小さい角度に固定することを禁止することが好ましい。５度よりも小さい場合にはウェーハの飛び出しを抑制する効果が十分でなく、４５度よりも大きい場合には走行中の振動の影響を受けやすく、ウェーハの割れやかけが生じる恐れがあるからである。

支持台１１の固定可能な傾斜角度の範囲は、必ずしも５度から開始する必要はなく、１０度から開始してもよく、その他の角度から開始してもよい。同様に、必ずしも４５度で終わる必要はなく、４０度で終わってもよく、その他の角度で終わってもよい。さらに、支持台１１の固定可能な傾斜角度の範囲では、任意の角度で固定できてもよく、所定の角度刻みで段階的に固定できてもよい。したがって、例えば支持台１１を１０度、２０度、３０度、４０度のいずれかに固定できるように構成してもよい。また、支持台１１の固定可能な傾斜角度を例えば３０度だけに限定してもよい。

支持台１１の第１天板部１１ａの主面が水平状態のとき、主面の地面からの高さは８０ｃｍ〜１００ｃｍであることが好ましい。支持台１１の高さがこの範囲内であれば、支持台１１を９０度回転させた場合でも地面までの距離を十分に確保できる。また、支持台１１をカセット５へのウェーハＷの出し入れやカセット５を運搬した後の移設の作業が容易だからである。

支持台１１の長手方向の両側に位置する支柱１３には、支持台１１を持ち上げる際に必要な力を軽減する持ち上げ補助機構１４が設けられている。持ち上げ補助機構１４は、支持台１０を持ち上げてその傾斜角度を変えようとする作業者に補助力を与える。多数枚のウェーハＷがフルに収容されたカセット５が支持台１１上に複数個搭載されているとき、支持台１１の重量は２０ｋｇ以上となり、これを一人の作業員が自力で持ち上げることは非常に困難である。しかし、この持ち上げ補助機構１４により自力の持ち上げが可能となり、支持台１１の角度調整作業を容易かつ安全に行うことが可能となる。持ち上げ補助機構１４は、コイルバネであってもよく、空圧・油圧シリンダー、減速機、モーター、ジャッキ等であってもよい。

図３は、角度調整機構１２の構成の一例を示す模式図であり、（ａ）〜（ｃ）は支持台１１の第１天板部１１ａの角度が水平、３０度、４５度の状態をそれぞれ示している。

図３に示すように、支持台１１には固定部材１６が取り付けられている。固定部材１６の基端部１６ｂは支持台１１の裏面の適切な位置において軸支されており、固定部材１６はその基端部１６ｂを中心に回動自在である。また、固定部材１６の先端部１６ａはガイドレール１７に沿って上下方向に移動可能であり、固定部材１６の先端部は、支持台１１の回動に合わせて移動する。このように、支持台１１に装備されているものは固定部材１６だけであり、その軽量化が図られている。

固定部材１６の先端部１６ａとの対向面にはストッパ１８が設けられている。ストッパ１８は、上下方向に延設された多数の段差からなり、固定部材１６の先端部１６ａは、その上下方向の位置に応じてストッパ１８の段差のいずれかと係合することができる。これにより、支持台１１を所定の角度で固定することができる。

ストッパ１８の段差は、支持台１１の傾斜角度が０度〜４５度となる範囲Ｈ１内において所定の間隔で設けられている。一方、支持台１１の傾斜角度が４５度よりも大きい範囲Ｈ２にストッパ１８の段差は設けられていないので、支持台１１を固定することはできない。なお、支持台１１の傾斜角度が５度又は１０度の等角度となるようにストッパ１８の段差を設定する場合、段差の間隔は一定にはならない。したがって、支持台１１の傾斜角度は例えば０度〜４５度の範囲内で固定され、そして４５度よりも大きい角度で固定が禁止される。

持ち上げ補助機構１４の補助力は支持台１１を持ち上げるときや降下させるときだけ作用し、支持台１１を所定の角度で固定する時には解除されてもよい。この場合、固定部材１６は支持台１１ならびに搭載物（ウェーハを含むカセット）の重量によって下方に押され、ストッパ１８と確実に係合する。支持台１１を少し持ち上げると固定部材１６とストッパ１８との係合が自然に解除され、支持台１１の角度が再び変更可能となる。

次に、ウェーハ運搬台車１の主要な動作について説明する。

図４は、ウェーハ運搬台車１のウェーハ収容時の状態を示す模式図である。

図４に示すように、カセット５にウェーハＷを収容する際は、空のカセット５が搭載された支持台１１を９０度回転させておく。支持台１１は第１天板部１１ａの主面が水平面に対して９０度、第２天板部１１ｂの主面が０度（水平）となり、カセット５はウェーハ挿入口５ｇが上方を向いた縦置き状態となっている。そしてカセット５は主に第２天板部１１ｂに当接して支持された状態となる。このような縦置き状態のカセット５にウェーハＷを挿入することで、ウェーハＷを容易に収容することができる。こうしてウェーハＷが収容されたカセット５は次工程の場所に運ばれる。なお、カセット５からウェーハＷを人手により取り出す場合にもこの縦置き状態で行うことが好ましい。

図５は、ウェーハ運搬台車１のウェーハ運搬時の状態を示す模式図である。

図５に示すように、ウェーハＷが収容されたカセット５を運搬する際は、支持台１１の第１天板部１１ａの主面の傾斜角度θを水平面に対して５〜４５度に設定して固定する。これにより、カセット５は支持台１１の第１天板部１１ａと第２天板部１１ｂの両方に当接して支持された状態となる。支持台１１をこのよう傾けることで、支持台１１上のカセット５及びカセット５内のウェーハＷも５度〜４５度に傾いた状態となるので、ウェーハＷの振動やカセット５のウェーハ挿入口５ｇからのウェーハＷの飛び出しを防止することができる。

カセット５が次工程の場所まで運ばれた後は、次工程で使用されるまでそのまま保管される。このとき、図１（ａ）に示したように、支持台１１の第１天板部１１ａの主面が水平（０度）に設定された状態で保管される。これにより、カセット５は主に支持台１１の第１天板部１１ａに当接して支持された状態となる。支持台１１をこのように水平にすることで、支持台１１上のカセット５及びカセット５内のウェーハＷの角度も水平となるので、次工程の処理装置に対してそのままの状態でセットすることができる。

以上説明したように、本実施形態によるウェーハ運搬台車１は、複数枚のウェーハＷをカセット５に収容し、カセット５を斜めに傾斜させた状態で運搬するので、ウェーハＷの物理的損傷を防止することができる。また、運搬後にはカセット５及びウェーハＷを水平状態で保持するので、次工程でのカセット５を容易にセットすることができる。また、ウェーハＷをカセット５内に収容する際は、カセット５のウェーハ挿入口５ｇが上方を向いた縦置きの状態となるように支持台１１の角度を９０度に傾けるので、ウェーハＷの収容を容易に行うことができる。

上記実施形態においては、角度調整機構１２が支持台１１を固定可能な角度を５度〜４５度の範囲に制限しているが、角度調整機構１２による支持台１１の傾斜角度を０度以上９０度以下（０度〜９０度）の範囲内で任意に固定可能とし、その代わりに５度〜４５度のときだけ走行可能に構成してもよい。

図６は、本発明の第２の実施の形態によるウェーハ運搬台車の構成を示す模式図である。

図６に示すように、このウェーハ運搬台車２は、支持台１１の傾斜角度θを測定する角度測定部２１と、支持台１１の傾斜角度θが５度〜４５度のときに台車本体１０の車輪１０ａのロックを解除し、それ以外の角度のときに車輪１０ａをロックする走行ロック機構２２とを備えている。角度測定部２１は、機械式であってもよく、電子式であってもよい。本実施形態において、角度調整機構１２は、例えば手回し式のねじャッキを用いて支持台１１の傾斜角度を０度〜９０度の範囲内で任意に固定するものであってもよい。

このように、支持台１１の傾斜角度に応じて台車本体１０の走行ロック・アンロックを設定することにより、支持台１１上に置かれたカセット及びカセット５内のウェーハＷをその運搬中において常に適切な傾斜角度に設定することができ、ウェーハＷの物理的損傷を防止することができる。

図７は、本発明の第３の実施の形態によるウェーハ運搬台車の構成を示す模式図である。

図７に示すように、このウェーハ運搬台車３は、走行ロック機構２２に代えて警告音が鳴るように構成したものである。すなわち、ウェーハ運搬台車３は、支持台１１の傾斜角度θを測定する角度測定部２１と、台車本体１０の走行状態（車輪１０ａの回転状態）を検出し、台車本体１０の走行中に支持台１１の傾斜角度θが５度〜４５度でない場合に警告音を出力する警報部３１とを備えている。警告音ともに又は警告音に代えてライトが点灯又は点滅するように構成してもよい。この構成によれば、支持台１１上に置かれたカセット５及びカセット５内のウェーハＷの運搬時に傾斜角度が不適切である旨の注意を喚起することができ、これによりウェーハＷの物理的損傷を未然に防止することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

例えば、上記実施形態においては、ウェーハの一例としてシリコンウェーハを例に挙げたが、本発明において取り扱うウェーハはシリコンウェーハに限定されず、種々のウェーハを対象とすることができる。ただし、近年はシリコンウェーハの大口径化が進み、その重量も大きくなっていることから、本発明は大口径シリコンウェーハの運搬に好適である。

１，２，３ ウェーハ運搬台車
５ カセット
５ａ カセットの一方の主面
５ｂ カセットの他方の主面
５ｃ カセットの上面（開口面）
５ｄ カセットの底面
５ｇ ウェーハ挿入口（開口部）
１０ 台車本体
１０ａ 車輪
１０ｂ 取っ手
１１ 支持台
１１ａ 第１天板部
１１ｂ 第２天板部
１２ 角度調整機構
１３ 支柱
１４ 持ち上げ補助機構
１６ 固定部材
１６ａ 先端部
１６ｂ 基端部
１７ ガイドレール
１８ ストッパ
Ｗ ウェーハ

Claims (13)

1. カセットに収容された複数枚のウェーハをカセットごと運搬するウェーハ運搬台車であって、
   走行可能な台車本体と、
   前記台車本体の上部に設けられ、前記カセットの搭載面を構成する支持台と、
   前記支持台の角度を調整する角度調整機構とを備え、
   前記支持台は、前記ウェーハの主面と平行な前記カセットの主面と接する第１天板部と、前記ウェーハの主面と直交する前記カセットの底面と接する第２天板部とを有し、
   前記角度調整機構は、前記台車本体の走行方向を回転軸とした前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する角度を０度、５度以上４５度以下、及び９０度に固定することができ、０度よりも大きく５度よりも小さい角度及び４５度よりも大きく９０度よりも小さい角度で固定できないように構成されていることを特徴とするウェーハ運搬台車。
2. 前記角度調整機構は、前記支持台の傾斜角度を変える際に必要な力を軽減する持ち上げ補助機構を含む、請求項１に記載のウェーハ運搬台車。
3. 前記台車本体の走行方向は、前記台車本体の長手方向であり、
   前記第１天板部は、前記長手方向に並べられた複数個の前記カセットの前記主面の合計面積よりも広い搭載面を有する、請求項１又は２に記載のウェーハ運搬台車。
4. 前記カセットは、ウェーハ挿入口に蓋がないオープンカセットであり、
   前記支持台上に置かれた前記カセットの前記ウェーハ挿入口の向きは、前記台車本体の走行方向に対して９０度の方向を向いている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のウェーハ運搬台車。
5. カセットに収容された複数枚のウェーハをカセットごと運搬するウェーハ運搬台車であって、
   走行可能な台車本体と、
   前記台車本体の上部に設けられ、前記カセットの搭載面を構成する支持台と、
   前記支持台の角度を調整する角度調整機構とを備え、
   前記支持台は、前記ウェーハの主面と平行な前記カセットの主面と接する第１天板部と、前記ウェーハの主面と直交する前記カセットの底面と接する第２天板部とを有し、
   前記角度調整機構は、前記台車本体の走行方向を回転軸とした前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する傾斜角度を０度以上９０度以下の範囲内で固定すると共に、
   前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する角度が５度以上４５度以下のときに前記台車本体の走行のロックを解除し、前記５度以上４５度以下の角度以外のときに前記台車本体の走行をロックする走行ロック機構を含むことを特徴とするウェーハ運搬台車。
6. 前記角度調整機構は、前記支持台の傾斜角度を変える際に必要な力を軽減する持ち上げ補助機構を含む、請求項５に記載のウェーハ運搬台車。
7. 前記台車本体の走行方向は、前記台車本体の長手方向であり、
   前記第１天板部は、前記長手方向に並べられた複数個の前記カセットの前記主面の合計面積よりも広い搭載面を有する、請求項５又は６に記載のウェーハ運搬台車。
8. 前記カセットは、ウェーハ挿入口に蓋がないオープンカセットであり、
   前記支持台上に置かれた前記カセットの前記ウェーハ挿入口の向きは、前記台車本体の走行方向に対して９０度の方向を向いている、請求項５乃至７のいずれか一項に記載のウェーハ運搬台車。
9. カセットに収容された複数枚のウェーハをカセットごと運搬するウェーハ運搬台車であって、
   走行可能な台車本体と、
   前記台車本体の上部に設けられ、前記カセットの搭載面を構成する支持台と、
   前記支持台の角度を調整する角度調整機構とを備え、
   前記支持台は、前記ウェーハの主面と平行な前記カセットの主面と接する第１天板部と、前記ウェーハの主面と直交する前記カセットの底面と接する第２天板部とを有し、
   前記角度調整機構は、前記台車本体の走行方向を回転軸とした前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する傾斜角度を０度以上９０度以下の範囲内で固定すると共に、
   前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する角度が５度以上４５度以下の角度以外の角度に固定されている場合において前記台車本体を走行させたときに警告音の出力又はライトの点灯若しくは点滅を行う警報部を含むことを特徴とするウェーハ運搬台車。
10. 前記角度調整機構は、前記支持台の傾斜角度を変える際に必要な力を軽減する持ち上げ補助機構を含む、請求項９に記載のウェーハ運搬台車。
11. 前記台車本体の走行方向は、前記台車本体の長手方向であり、
    前記第１天板部は、前記長手方向に並べられた複数個の前記カセットの前記主面の合計面積よりも広い搭載面を有する、請求項９又は１０に記載のウェーハ運搬台車。
12. 前記カセットは、ウェーハ挿入口に蓋がないオープンカセットであり、
    前記支持台上に置かれた前記カセットの前記ウェーハ挿入口の向きは、前記台車本体の走行方向に対して９０度の方向を向いている、請求項９乃至１１のいずれか一項に記載のウェーハ運搬台車。
13. 請求項１乃至１２のいずれか一項に記載のウェーハ運搬台車を用いたウェーハの運搬方法であって、前記支持台の前記第１天板部の水平面に対する傾斜角度を５度以上４５度以下の範囲内で固定した状態で前記台車本体を走行させて前記ウェーハを運搬することを特徴とするウェーハ運搬方法。

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