JPWO2018142811A1 - 天井搬送車 - Google Patents

Abstract

天井搬送車（１）は、走行レール（２）に沿って走行し、蓋（９３）が取り外し可能に設けられたＦＯＵＰ（９０）を吊り下げた状態で搬送する天井搬送車であって、蓋を走行方向に交差する幅方向に向けた状態でＦＯＵＰを把持する保持装置（１１）と、保持装置に対して走行方向における前後に設けられる一対のフレーム（８，８）と、蓋の正面に配置される進出位置（Ｐ１）と、蓋の正面から退避した位置に配置される退避位置（Ｐ２）との間で、鉛直方向を回動軸として水平面に沿って回動可能に設けられている第一蓋落下防止部材（２０）と、を備える。

Description

本発明の一側面は、天井搬送車に関する。

クリーンルーム等の天井付近又は床面よりも高い位置を走行して、半導体ウェハ又は液晶基板等の物品を搬送する天井搬送車が知られている（例えば、特許文献１）。このような天井搬送車では、物品は、蓋が設けられた容器に収容された状態で搬送される。

特開２０００−１９１２７２号公報

このような天井搬送車は、高い位置を走行するため、天井搬送車の走行レールの下方を作業車又は無人搬送車等が通過したり、作業車が作業をしたりする。このため、天井搬送車から蓋が落下しても安全であるように、天井搬送車の走行時には走行レールの下方への作業車の立ち入りを制限することがある。しかしながら、このような運用は、天井搬送車の通過の都度、作業車の立ち入りを制限せねばならず不便である。

そこで、本発明の一側面の目的は、容器から蓋が落下することを防止できる天井搬送車を提供することにある。

本発明の一側面に係る天井搬送車は、軌道に沿って走行し、蓋が取り外し可能に設けられた容器を吊り下げた状態で搬送する天井搬送車であって、蓋を走行方向に交差する幅方向に向けた状態で容器を把持する把持部と、把持部に対して走行方向における前後に設けられる一対のフレームと、蓋の正面に配置される進出位置と、蓋の正面から退避した位置に配置される退避位置との間で、鉛直方向を回動軸として水平面に沿って回動可能に設けられている第一蓋落下防止部材と、を備える。

この構成の天井搬送車では、鉛直方向を回動軸とし、蓋の正面に配置される進出位置に進出可能な第一蓋落下防止部材が設けられているので、蓋が容器から外れた場合であっても、当該蓋をその位置で支持することができる。これにより、容器から蓋が落下することを防止できる。

本発明の一側面に係る天井搬送車は、第一蓋落下防止部材の回動機構は、一対のフレームにそれぞれ収容されており、幅方向において蓋の位置を基準位置としたとき、回動軸の位置は、蓋を正面から見て基準位置の後方にオフセットされていてもよい。

このような天井搬送車では、本体フレームの前後に配置される前側フレーム及び後側フレームは、走行方向の移動制限を小さくするために、走行方向に直交する幅方向のサイズをできるだけ小さくしたいという要望がある。この構成の天井搬送車では、回動軸の位置が蓋を正面から見て基準位置の後方にオフセットされているので、第一蓋落下防止部材の回動機構をフレームの幅方向における中央部に寄せることができる。これにより、容器から蓋が落下することを防止する蓋落下防止部材の回動機構を走行方向前後のフレームに設ける場合であっても、フレーム幅方向のサイズの増大を抑制することができる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、第一蓋落下防止部材は、回動軸を基点に先端部まで延在すると共に屈曲部を有する板状部材であって、屈曲部と先端部との間には直線部が形成されていてもよい。この構成の天井搬送車では、例えば、第一蓋落下防止部材が進出位置に位置するときに、第一蓋落下防止部材を蓋と平行にすることができる。したがって、第一蓋落下防止部材と容器との距離を調整しやすくなる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、直線部は、第一蓋落下防止部材が進出位置に位置するとき、蓋と平行になるように設けられていてもよい。この構成の天井搬送車では、第一蓋落下防止部材と容器との距離を調整し易くなる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、第一蓋落下防止部材が進出位置に位置するときの、走行方向における容器の端部と第一蓋落下防止部材との距離を第一距離とし、容器の端部よりも中央寄りの中央部と第一蓋落下防止部材との距離を第二距離としたとき、第一距離は、第二距離と同じか、第二距離よりも長くてもよい。この構成の天井搬送車では、第一蓋落下防止部材が接触しやすい容器の端部との距離を調整し易くなる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、鉛直方向に延びる円柱状の第一支持部と、第一支持部の外周面と一定の隙間を維持した状態で第一支持部の外周面に沿って回動可能に設けられている第二支持部と、を有し、一対のフレームにそれぞれ設けられているガイド部材を更に備え、第一蓋落下防止部材は、隙間を移動可能に設けられていてもよい。この構成の天井搬送車では、第一蓋落下防止部材をスムーズに進出位置及び退避位置に移動させることができる。また、走行時の振動に対して第一蓋落下防止部材を安定的にフレームに収容することができる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、蓋の下方に配置される進出位置と、蓋の下方から退避した位置に配置される退避位置との間で移動可能に設けられている第二蓋落下防止部材を更に備え、第二蓋落下防止部材における進出位置及び退避位置への移動は、第一蓋落下防止部材における進出位置及び退避位置への移動と連動してもよい。この構成の天井搬送車では、それぞれ機能の異なる部材を同時に移動させることができるので、効果的に蓋の落下を防止することができる。また、例えば、共通の駆動源を利用して、異なる部材を移動させることができる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、容器の側面に接触配置される進出位置と、容器の側面から離反した位置に配置される退避位置との間で移動可能に設けられている揺れ防止部材を更に備え、揺れ防止部材における進出位置及び退避位置への移動は、第一蓋落下防止部材における進出位置及び退避位置への移動と連動してもよい。この構成の天井搬送車では、それぞれ機能の異なる部材を同時に移動させることができるので、効果的に蓋の落下及び容器の揺れを防止することができる。また、例えば、共通の駆動源を利用して、異なる部材を移動させることができる。

本発明の一側面によれば、容器から蓋が落下することを防止できる。

図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図である。 図２は、図１の第一蓋落下防止部材が進出位置に位置するときのII−II線から見た断面図である。 図３は、図１の第一蓋落下防止部材が進出位置に位置するときのフレーム内部に配置された各機構の斜視図である。 図４は、図１の第一蓋落下防止部材が退避位置に位置するときのII−II線から見た断面図である。 図５は、図１の第一蓋落下防止部材が退避位置に位置するときのフレーム内部に配置された各機構の斜視図である。 図６は、ガイド部材近傍を拡大して示した斜視図である。 図７（Ａ）〜図７（Ｃ）は、図１の第一蓋落下防止部材が退避位置から進出位置に移動する場合の遷移を示した図である。 図８は、図１の第二蓋落下防止部材及び揺れ防止部材が退避位置に位置するときの平面図である。 図９は、図１の第二蓋落下防止部材及び揺れ防止部材が進出位置に位置するときの平面図である。 図１０（Ａ）〜図１０（Ｃ）は、一実施形態に係る第一蓋落下防止部材及び第二蓋落下防止部材の機能を示す説明図である。 図１１は、変形例に係る第一蓋落下防止部材が進出位置に位置するときのフレーム内部に配置された各機構の斜視図である。

以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

図１に示される天井搬送車１は、クリーンルームの天井などの床面より高い位置に設けられる走行レール（軌道）２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間でＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）（容器）９０を搬送する。ＦＯＵＰ９０は、開口部を有する箱状の筐体９１と、開口部を覆う蓋９３と、を有している。蓋９３は、筐体９１に対し取り外し可能に設けられている。ＦＯＵＰ９０には、例えば、複数枚の半導体ウェハ又はレチクル等が収容される。ＦＯＵＰ９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９５を有している。

以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ軸方向）を天井搬送車１の前後方向（走行方向）とする。図１における上下方向を天井搬送車１の鉛直方向（Ｚ軸方向）とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の幅方向（Ｙ軸方向）とする。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は互いに直交する。

図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部５と、回転駆動部６と、昇降駆動部７と、昇降装置１０と、保持装置（把持部）１１と、第一蓋落下防止部材２０と、第二蓋落下防止部材４０と、揺れ防止部材７０と、第一蓋落下防止部材２０の回動機構５０（図３参照）と、第二蓋落下防止部材４０及び揺れ防止部材７０の移動機構６０（図８参照）と、を備えている。天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降装置１０及び保持装置１１を覆うように前後方向に一対のフレーム８，８が設けられている。一対のフレーム８，８は、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１の下方に、ＦＯＵＰ９０が収容される空間を形成している。

走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動させる。走行駆動部３の下部には、軸３Ａを介して水平駆動部５が接続されている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交する方向（幅方向）に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルト９の巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１０を昇降させる。なお、昇降駆動部７におけるベルト９は、ワイヤ及びロープなど、適宜の吊持部材を用いてもよい。

本実施形態における昇降装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。保持装置１１は、ＦＯＵＰ９０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。

一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に接続されている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９５の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（昇降装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９５の下面の下方へ進出し、この状態で昇降装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９５が保持（把持）され、ＦＯＵＰ９０の支持が行われる。

図２〜図５に示されるように、第一蓋落下防止部材２０は、蓋９３の正面に配置されることで、保持装置１１（図１参照）に保持されたＦＯＵＰ９０から蓋９３が落下するのを防止する。特に、図１０（Ｂ）に示されるように、筐体９１の開口部に対し斜めに倒れた場合にその機能を発揮する。図２〜図５に示されるように、第一蓋落下防止部材２０は、鉛直方向を回動軸とし、蓋９３の正面に配置される進出位置Ｐ１と、蓋９３の正面から退避した位置に配置される退避位置Ｐ２との間で、ＦＯＵＰ９０の正面９０ａ及び側面９０ｂに沿って回動可能に設けられている。

第一蓋落下防止部材２０は、回動軸２０ａを基点に先端部２０ｂまで延在する板状部材である。第一蓋落下防止部材２０は、ステンレススチール等の材料により形成されている。第一蓋落下防止部材２０は、第一直線部２１と、第一屈曲部２２と、第二直線部２３と、第二屈曲部（屈曲部）２４と、第三直線部（直線部）２５と、を有している。第一蓋落下防止部材２０には、第二直線部２３、第二屈曲部２４、及び第三直線部２５にわたって孔部２０ｃが形成されている。これにより、鉛直方向における距離を確保しつつ、第一蓋落下防止部材２０の重量を軽量化することができる。なお、本実施形態では、第一蓋落下防止部材２０は、回動軸２０ａを基点にアーム部材５８を介して先端部２０ｂまで延在しているが、第一蓋落下防止部材２０は、回動軸２０ａを基点に先端部２０ｂまで延在する一つ部材であってもよい。

第一直線部２１は、後段にて詳述する回動機構５０のアーム部材５８に固定される部分である。第一屈曲部２２は、第一直線部２１と第二直線部２３との接続部分であり、プレス加工によって折り曲げられている。第二直線部２３は、後段にて詳述するガイド部材３０に支持される部分である。第二屈曲部２４は、第二直線部２３と第三直線部２５との接続部分であり、プレス加工によって折り曲げられている。第三直線部２５は、第一蓋落下防止部材２０の先端部２０ｂを有する部材である。

第三直線部２５は、第一蓋落下防止部材２０が進出位置Ｐ１に位置するとき、蓋９３と平行になるように形成されている。また、第一蓋落下防止部材２０が進出位置Ｐ１に位置するときの、走行方向におけるＦＯＵＰ９０の端部９０ｃと第一蓋落下防止部材２０との距離を第一距離Ｄ１とし、ＦＯＵＰ９０の端部９０ｃよりも中央寄りの中央部９０ｄと第一蓋落下防止部材２０との距離を第二距離Ｄ２としたとき、第一距離Ｄ１は、第二距離Ｄ２と同じか、第二距離Ｄ２よりも長くなるように設定される。本実施形態では、第一距離Ｄ１と第二距離Ｄ２との距離が同じとなるように設定されている。

一対のフレーム８，８のそれぞれには、ガイド部材３０が設けられている。図６に示されるように、ガイド部材３０は、鉛直方向に延在する円柱状の第一支持部３１と、鉛直方向に延在する円柱状の第二支持部３３と、を有している。第二支持部３３は、第一支持部３１の外周面３１ａと一定の隙間Ｇを維持した状態で第一支持部３１の外周面３１ａに沿って回動可能に設けられている。第一蓋落下防止部材２０は、隙間Ｇを通過可能に配置されており、隙間Ｇ内を移動可能に設けられている。ガイド部材３０は、ブラケット３５によってフレーム８に固定されている。

図２〜図５に示されるように、第一蓋落下防止部材２０の回動機構５０は、一対のフレーム８，８にそれぞれ収容されている。幅方向において蓋９３の位置を基準位置ＢＬとしたとき、第一蓋落下防止部材２０の回動軸２０ａの位置は、蓋９３を正面から見て基準位置ＢＬの後方に距離Ｄ３オフセットされている。

回動機構５０は、駆動部５１と、駆動軸５２と、第一歯車部材５３と、第二歯車部材５４と、第一リンク部材５５と、第二リンク部材５６と、第三歯車部材５７と、アーム部材５８と、を有している。回動機構５０は、駆動部５１による回動運動を第一蓋落下防止部材２０の直線運動（進出位置と退避位置との往復運動）に変換する。以下、回動機構５０の動作について、図７（Ａ）、図７（Ｂ）及び図７（Ｃ）を用いて説明する。

図７（Ａ）、図７（Ｂ）及び図７（Ｃ）に示されるように、駆動部５１によって回動する駆動軸５２には、歯車が形成されている。第一歯車部材５３は、駆動軸５２の歯車に係合するように設けられており、駆動軸５２が矢印方向ａ１に回転すると第一歯車部材５３も矢印方向ａ２に回転する。第二歯車部材５４は、第一歯車部材５３に固定されており、第一歯車部材５３が矢印方向ａ２に回転すると、第二歯車部材５４も矢印方向ａ３に回転する。第一リンク部材５５は、第二歯車部材５４の回動軸とずれた位置に接続されており、第二歯車部材５４の矢印方向ａ３の回転運動により、第一リンク部材５５は矢印方向ａ４に直線運動する。

第一リンク部材５５と第二リンク部材５６とは互いに回動可能に接続されており、第二リンク部材５６は、第三歯車部材５７に固定されている。第一リンク部材５５が矢印方向ａ４に移動した際の第二リンク部材５６の移動により、第三歯車部材５７は矢印方向ａ５に回転する。第三歯車部材５７及びアーム部材５８には互いに歯車が形成されており、互いに係合している。第三歯車部材５７が矢印方向ａ５に回転すると、アーム部材５８が矢印方向ａ６に回転する。アーム部材５８が矢印方向ａ６に回転すると、第一蓋落下防止部材２０が固定されているアーム部材５８の端部が、矢印方向ａ７に回転する。これにより、第一蓋落下防止部材２０が、ＦＯＵＰ９０の側面（フレーム８の内部）からＦＯＵＰ９０の正面（矢印方向ａ８）に送り出される。すなわち、第一蓋落下防止部材２０が退避位置Ｐ２から進出位置Ｐ１に進出する。なお、第一蓋落下防止部材２０における進出位置Ｐ１から退避位置Ｐ２への移動は、上述の一連の動作とは逆の方向への動作により行われる。

図２に示されるように、第二蓋落下防止部材４０は、ＦＯＵＰ９０の下面に配置されることで、保持装置１１（図１参照）に保持されたＦＯＵＰ９０自体、及びこのＦＯＵＰ９０から蓋９３が落下するのを防止する。特に、図１０（Ｃ）に示されるように、筐体９１の開口部に対し平行に外れた場合にその機能を発揮する。第二蓋落下防止部材４０は、幅方向に延在する板状部材であり、アルミニウム等の材料により形成されている。図２及び図９に示されるように、第二蓋落下防止部材４０は、蓋９３の下方に配置される進出位置Ｐ３と、図８に示されるように、蓋９３の下方から退避した位置、すなわち、鉛直上方から見た場合に、フレーム８の領域に格納される位置に配置される退避位置Ｐ４との間で移動可能に設けられている。

図３及び図５に示されるように、第二蓋落下防止部材４０における進出位置Ｐ３及び退避位置Ｐ４への移動は、第一蓋落下防止部材２０における進出位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２への移動と連動する。すなわち、第一蓋落下防止部材２０が進出位置Ｐ１に進出すれば、第二蓋落下防止部材４０も進出位置Ｐ３に進出し、第一蓋落下防止部材２０が退避位置Ｐ２に退避すれば、第二蓋落下防止部材４０も退避位置Ｐ４に退避する。

図１に示される揺れ防止部材７０は、ＦＯＵＰ９０の側面９０ｂに接触支持して、走行時における保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の天井搬送車１における前後方向（走行方向）及び左右方向の揺れを抑制する。図３及び図５に示されるように、揺れ防止部材７０は、ＦＯＵＰ９０（図１参照）に接触支持する二つのローラ７０Ａ，７０Ａを含んで構成される。揺れ防止部材７０は、図３及び図９に示されるように、ＦＯＵＰ９０の側面９０ｂに接触配置される進出位置Ｐ５と、図５及び図８に示されるように、ＦＯＵＰ９０の側面９０ｂから離反した位置に配置される退避位置Ｐ６との間で移動可能に設けられている。

図３及び図５に示されるように、揺れ防止部材７０における進出位置Ｐ５及び退避位置Ｐ６への移動は、第一蓋落下防止部材２０における進出位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２への移動と連動する。すなわち、第一蓋落下防止部材２０が進出位置Ｐ１に進出すれば、揺れ防止部材７０も進出位置Ｐ５に進出し、第一蓋落下防止部材２０が退避位置Ｐ２に退避すれば、揺れ防止部材７０も退避位置Ｐ６に退避する。以下、第二蓋落下防止部材４０及び揺れ防止部材７０における第一蓋落下防止部材２０との連動動作について説明する。

図８及び図９に示されるように、第二蓋落下防止部材４０及び揺れ防止部材７０の移動機構６０は、一対のフレーム８，８（図２及び図４参照）にそれぞれ収容されており、カム部材６１と、第三リンク部材６２と、弾性部材６５と、第四リンク部材６６と、第五リンク部材６８と、を有している。

カム部材６１は、第一蓋落下防止部材２０（図２及び図４参照）における一連の進出動作において回動する第三歯車部材５７と一体的に回動するように第三歯車部材５７に接続されている。第三歯車部材５７が回転すると、カム部材６１は、この回転に連動して矢印方向ａ１１に回転する。カム部材６１は、第三リンク部材６２に固定されると共に、弾性部材６５を介して第五リンク部材６８に接続されている。第五リンク部材６８は、第四リンク部材６６と回動可能に接続されている。カム部材６１が回転すると、第三リンク部材６２が、カム部材６１との回動点を基点に矢印方向ａ１２に回転する。これと同時に、第五リンク部材６８が、第四リンク部材６６との回動点を基点に矢印方向ａ２１に回転する。また、これと同時に、第四リンク部材６６が、第五リンク部材６８との回動点を基点に矢印方向ａ２２に回転する。

以上に説明した一連の動作により、第三リンク部材６２及び第四リンク部材６６に回動可能に接続されている第二蓋落下防止部材４０が退避位置Ｐ４から進出位置Ｐ３に進出し、第五リンク部材６８に回動可能に接続されている揺れ防止部材７０が退避位置Ｐ６から進出位置Ｐ５に進出する。なお、第二蓋落下防止部材４０及び揺れ防止部材７０における進出位置Ｐ５から退避位置Ｐ６への移動は、上述の一連の動作とは逆の方向への動作により行われる。

上記実施形態の天井搬送車１の作用効果について説明する。本実施形態の天井搬送車１では、図２に示されるように、蓋９３の正面に配置される進出位置Ｐ１に進出可能な第一蓋落下防止部材２０が設けられているので、蓋９３がＦＯＵＰ９０から外れた場合であっても、当該蓋９３をその位置で支持することができる。これにより、ＦＯＵＰ９０から蓋９３が落下することを防止できる。

上記実施形態の天井搬送車１では、図２及び図４に示されるように、回動軸２０ａの位置が蓋９３を正面から見て基準位置ＢＬの後方にオフセット（距離Ｄ３）されているので、第一蓋落下防止部材２０の回動機構５０をフレーム８の幅方向における中央部に寄せることができる。これにより、ＦＯＵＰ９０から蓋９３が落下することを防止する第一蓋落下防止部材２０の回動機構５０を走行方向前後のフレーム８，８にそれぞれ設ける場合であっても、フレーム８の幅方向サイズの増大を抑制することができる。

上記実施形態の天井搬送車１では、図２に示されるように、第一蓋落下防止部材２０の第二屈曲部２４と先端部２０ｂとの間には第三直線部２５が形成されており、第一蓋落下防止部材２０が進出位置Ｐ１に位置するときに、第一蓋落下防止部材２０を蓋９３と平行にすることができる。したがって、第一蓋落下防止部材２０とＦＯＵＰ９０との距離（Ｄ１，Ｄ２）を調整しやすくなる。また、上述したとおり、第一蓋落下防止部材２０とＦＯＵＰ９０との距離（Ｄ１，Ｄ２）を調整しやすくなるので、特に、第一蓋落下防止部材２０がＦＯＵＰ９０に衝突し易いＦＯＵＰ９０の端部９０ｃ位置において、第一蓋落下防止部材２０との距離Ｄ１が確保される。この結果、第一蓋落下防止部材２０とＦＯＵＰ９０との衝突の可能性を低減することができる。

上記実施形態の天井搬送車１では、第一蓋落下防止部材２０の第三直線部２５は、図２に示されるように、第一蓋落下防止部材２０が進出位置Ｐ１に位置するとき、蓋９３と平行になるように設けられている。すなわち、第一蓋落下防止部材２０が進出位置Ｐ１に位置するときの、走行方向におけるＦＯＵＰ９０の端部９０ｃと第一蓋落下防止部材２０との距離（第一距離）Ｄ１と、ＦＯＵＰ９０の端部９０ｃよりも中央寄りの中央部９０ｄと第一蓋落下防止部材２０との距離（第二距離）Ｄ２とが等しい。この構成の天井搬送車１では、第一蓋落下防止部材２０とＦＯＵＰ９０との距離Ｄ１，Ｄ２を調整し易くなる。

上記実施形態の天井搬送車１では、図６に示されるように、フレーム８，８のそれぞれに第一蓋落下防止部材２０を支持するガイド部材３０が設けられているので第一蓋落下防止部材２０をスムーズに進出位置Ｐ１（図２参照）及び退避位置Ｐ２（図４参照）に移動させることができる。また、天井搬送車１の走行時の振動に対して第一蓋落下防止部材２０を安定的にフレーム８，８のそれぞれに固定することができる。

上記実施形態の天井搬送車１では、図３及び図５に示されるように、第二蓋落下防止部材４０における進出位置Ｐ３及び退避位置Ｐ４への移動は、第一蓋落下防止部材２０における進出位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２への移動に連動している。また、揺れ防止部材７０における進出位置Ｐ５及び退避位置Ｐ６への移動は、第一蓋落下防止部材２０における進出位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２への移動に連動している。上記実施形態では、それぞれ機能の異なる部材を同時に移動させることができるので、効果的に蓋９３の落下を防止することができる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態の天井搬送車１では、回動軸２０ａを基点に先端部２０ｂまで一方向に延在する板状部材の第一蓋落下防止部材２０を例に挙げて説明したが、例えば、図１１に示されるように、先端部２０ｂに鉛直方向に延在する第四直線部２８を形成してもよい。この構成では、ＦＯＵＰ９０から蓋９３が外れた場合、蓋９３を前後方向に支持できるだけでなく、鉛直方向も支持することが可能になる。この結果、第一蓋落下防止部材２０は、より安定的に蓋９３を支持することができる。また、この構成により、従来、保持装置１１のハンド１３，１３等に設けられていた蓋９３の上面を支持する構成を省略することができる。

上記実施形態又は変形例では、第一蓋落下防止部材２０と第二蓋落下防止部材４０と揺れ防止部材７０とが互いに連動する例を挙げて説明したが、それぞれ個々に動作してもよいし、任意の二要素が互いに連動してもよい。

１…天井搬送車、８…フレーム、２０…第一蓋落下防止部材、２０ａ…回動軸、２１…第一直線部、２２…第一屈曲部、２３…第二直線部、２４…第二屈曲部（屈曲部）、２５…第三直線部（直線部）、２８…第四直線部、３０…ガイド部材、３１…第一支持部、３１ａ…外周面、３３…第二支持部、４０…第二蓋落下防止部材、５０…回動機構、６０…移動機構、７０…揺れ防止部材、９０…ＦＯＵＰ、９１…筐体、９３…蓋、Ｇ…隙間。

Claims (8)

1. 軌道に沿って走行し、蓋が取り外し可能に設けられた容器を吊り下げた状態で搬送する天井搬送車であって、
   前記蓋を走行方向に交差する幅方向に向けた状態で前記容器を把持する把持部と、
   前記把持部に対して走行方向における前後に設けられる一対のフレームと、
   前記蓋の正面に配置される進出位置と、前記蓋の正面から退避した位置に配置される退避位置との間で、鉛直方向を回動軸として水平面に沿って回動可能に設けられている第一蓋落下防止部材と、を備える、天井搬送車。
2. 前記第一蓋落下防止部材の回動機構は、前記一対のフレームにそれぞれ収容されており、
   前記幅方向において前記蓋の位置を基準位置としたとき、前記回動軸の位置は、前記蓋を正面から見て前記基準位置の後方にオフセットされている、請求項１記載の天井搬送車。
3. 前記第一蓋落下防止部材は、前記回動軸を基点に先端部まで延在すると共に屈曲部を有する板状部材であって、前記屈曲部と前記先端部との間には直線部が形成されている、請求項１又は２記載の天井搬送車。
4. 前記直線部は、前記第一蓋落下防止部材が前記進出位置に位置するとき、前記蓋と平行になるように設けられている、請求項３記載の天井搬送車。
5. 第一蓋落下防止部材が前記進出位置に位置するときの、前記走行方向における前記容器の端部と前記第一蓋落下防止部材との距離を第一距離とし、前記容器の端部よりも中央寄りの中央部と前記第一蓋落下防止部材との距離を第二距離としたとき、
   前記第一距離は、前記第二距離と同じか、第二距離よりも長い、請求項１〜３の何れか一項記載の天井搬送車。
6. 前記鉛直方向に延びる円柱状の第一支持部と、前記第一支持部の外周面と一定の隙間を維持した状態で前記第一支持部の外周面に沿って回動可能に設けられている第二支持部と、を有し、前記一対のフレームにそれぞれ設けられているガイド部材を更に備え、
   前記第一蓋落下防止部材は、前記隙間を移動可能に設けられている、請求項１〜５の何れか一項記載の天井搬送車。
7. 前記蓋の下方に配置される進出位置と、前記蓋の下方から退避した位置に配置される退避位置との間で移動可能に設けられている第二蓋落下防止部材を更に備え、
   前記第二蓋落下防止部材における進出位置及び退避位置への移動は、前記第一蓋落下防止部材における進出位置及び退避位置への移動と連動する、請求項１〜６の何れか一項記載の天井搬送車。
8. 前記容器の側面に接触配置される進出位置と、前記容器の側面から離反した位置に配置される退避位置との間で移動可能に設けられている揺れ防止部材を更に備え、
   前記揺れ防止部材における進出位置及び退避位置への移動は、前記第一蓋落下防止部材における進出位置及び退避位置への移動と連動する、請求項１〜７の何れか一項記載の天井搬送車。

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