JP7476865B2 - 物品搬送装置 - Google Patents
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Description
すなわち、本構成によれば、物品搬送装置による物品の搬送中に、物品とガイド体との干渉を抑制しつつ、仮に保持部による物品の保持が解除されてしまった場合であっても、一対の規制体の上での物品の動きを小さく抑えることができ、当該物品が一対の規制体から落下することを回避できる。
物品搬送装置100は、物品9を搬送する装置である。このような物品搬送装置100は、例えば半導体製造工場において用いることができ、搬送対象の物品として、半導体ウェハを収容するためのFOUP(Front Opening Unified Pod)やレチクルを収容するためのレチクルポッド等を例示することができる。以下、物品搬送装置100の実施形態について図面を参照して説明する。
移動体1は、物品9の搬送のために移動する。また、移動体1は、保持部2と昇降部4と落下規制部6とガイド部7とを支持している。本実施形態では、移動体1は、更に、収容部3を支持している。ここでは、図1及び図2に示すように、保持部2と昇降部4と落下規制部6とガイド部7と収容部3とは、移動体1により上方から吊り下げられた状態で支持されている。移動体1は、走行レール50を走行することで、移動経路5に沿う方向(第1方向X)に移動する。本例では、移動体1は、走行レール50の上を転動する複数の走行車輪10と、複数の走行車輪10のうちの少なくとも1つを駆動する走行駆動部10Mとを備えている。走行駆動部10Mは、モータと、当該モータの駆動力を走行車輪10に伝達する駆動力伝達機構とを含んでいる。走行駆動部10Mが駆動対象の走行車輪10を回転駆動することにより、第1方向Xの推進力が移動体1に付与される。図示の例では、複数の移動体1(ここでは2つ)が、第1方向Xに分かれて配置されている。
昇降部4は、保持部2を昇降させて、保持部2に保持された物品9を搬送用位置Prと搬送用位置Prより低い下降位置Ptとに昇降移動させる。本実施形態では、昇降部4は、移動体1と保持部2との間に設けられ、移動体1に対して保持部2及び保持部2に保持された物品9を昇降させるように構成されている。これにより、物品搬送装置100は、自己と、走行レール50よりも下側に配置された移載対象箇所12との間で物品9を移載可能に構成されている(図2参照)。本例では、図1及び図2に示すように、昇降部4は、保持部2に連結された昇降ベルト40と、昇降ベルト40を巻き取り又は繰り出して保持部2を昇降させる昇降駆動部4Mとを備えている。昇降駆動部4Mは、モータと、当該モータの駆動力を昇降ベルト40に伝達して昇降ベルト40を巻き取り又は繰り出すための機構(例えばプーリ等)とを含んでいる。そして、昇降部4は、昇降ベルト40を繰り出すことで保持部2を下降させ、昇降ベルト40を巻き取ることで保持部2を上昇させる。
保持部2は、物品9を保持する部分であり、物品9を吊り下げるように保持する保持状態と物品9の保持を解除する保持解除状態とに状態変更可能である。保持部2は、昇降部4を介して移動体1に支持されている。本実施形態では、図1及び図2に示すように、保持部2は、本体部20と、物品9を吊り下げて保持するために物品9に接触する保持体21(ここでは一対の保持体21)と、保持体21を駆動する保持駆動部21Mとを備えている。本体部20が昇降部4に連結されている。ここでは、昇降部4の昇降ベルト40が本体部20に連結されている。また、保持体21と保持駆動部21Mとは、本体部20に設けられている。本例では、一対の保持体21は、本体部20から下側に突出するように配置されている。
本実施形態では、物品9は、物品本体部90と、物品本体部90の上部から上側に突出する被保持部91とを備えている。被保持部91は、フランジ状に形成されている。物品9は、一対の保持体21によって被保持部91が保持されることにより、保持部2に保持される。本例では、被保持部91が一対の保持体21により水平方向の両側から把持されることで、物品9が保持部2に保持される。
本実施形態では、図1及び図2に示すように、収容部3は、保持部2と、保持部2に保持されて搬送用位置Prにある物品9とを収容する。言い換えると、収容部3は、保持部2と搬送中物品9aとを収容する。図示の例では、収容部3は、保持部2及び物品9に加えて、昇降部4も収容している。
図1、図2、図5、及び図6に示すように、落下規制部6は、搬送中物品9aよりも下側において水平方向に互いに離間して配置された一対の規制体61と、一対の規制体61を規制位置Pcと非規制位置Pdとに移動させる規制駆動機構60と、を備えている。本実施形態では、一対の規制体61は、搬送中物品9aの底面92よりも下側に配置されている。そして、一対の規制体61は、搬送中物品9aに対して第1方向Xに分かれて配置されている。言い換えると、一対の規制体61は、保持部2に対して第1方向Xにおける両側に分かれて設けられている。なお、一対の規制体61のそれぞれは、互いに同等の構造を備えている。
ガイド部7は、保持部2による物品9の保持が意図せずに解除されて、物品9が搬送用位置Prから一対の規制体61の上に落ちた場合に、物品9の水平方向での移動を規制する役割を果たす。
次に、物品搬送装置のその他の実施形態について説明する。
以下では、上記において説明した物品収容設備の概要について説明する。
すなわち、本構成によれば、物品搬送装置による物品の搬送中に、物品とガイド体との干渉を抑制しつつ、仮に保持部による物品の保持が解除されてしまった場合であっても、一対の規制体の上での物品の動きを小さく抑えることができ、当該物品が一対の規制体から落下することを回避できる。
2 :保持部
4 :昇降部
6 :落下規制部
7 :ガイド部
8 :駆動機構
9 :物品
9a :搬送中物品
17 :第1ガイド体
18 :第1ガイド面
28 :第2ガイド面
60 :規制駆動機構
61 :規制体
70 :ガイド駆動機構
77 :第2ガイド体
100 :物品搬送装置
E :配置領域
Ea :第1領域
Eb :第2領域
F :配置領域
Fa :第3領域
Fb :第4領域
L :距離
Pc :規制位置
Pd :非規制位置
Pe :ガイド位置
Pf :非ガイド位置
Pr :搬送用位置
Pt :下降位置
X :第1方向
Y :第2方向
Z :上下方向
Claims (6)
- 物品を搬送する物品搬送装置であって、
前記物品の搬送のために移動する移動体と、前記物品を吊り下げるように保持する保持状態と前記物品の保持を解除する保持解除状態とに状態変更可能である保持部と、前記保持部を昇降させて、前記保持部に保持された前記物品を搬送用位置と前記搬送用位置より低い下降位置とに昇降移動させる昇降部と、落下規制部と、ガイド部と、を備え、
前記移動体は、前記保持部と前記昇降部と前記落下規制部と前記ガイド部とを支持し、
前記搬送用位置にある前記物品を搬送中物品として、前記落下規制部は、前記搬送中物品よりも下側において水平方向に互いに離間して配置された一対の規制体と、一対の前記規制体を規制位置と非規制位置とに移動させる規制駆動機構と、を備え、
前記規制位置では、上下方向に沿う上下方向視で一対の前記規制体の双方が前記物品と重複するように配置され、前記非規制位置では、前記上下方向視で一対の前記規制体の双方が前記物品と重複しないように配置され、
前記ガイド部は、一対の前記規制体よりも上側において前記搬送中物品に対して水平方向の両側に分かれて配置された少なくとも一対のガイド体を備え、
一対の前記ガイド体のそれぞれは、前記搬送中物品の側を向くガイド面を備え、
前記ガイド面は、前記上下方向の配置領域が前記搬送中物品と重複する第1領域と、前記搬送中物品よりも下側に配置される第2領域とを備え、
前記第2領域は、前記上下方向視で前記搬送中物品と重複せず、且つ、前記第1領域よりも前記搬送中物品に近い位置に配置されている、物品搬送装置。 - 前記移動体の移動中における前記搬送中物品の前記水平方向の振幅の最大値を最大揺れ幅として、
前記第1領域は、前記搬送中物品との前記水平方向の距離が前記最大揺れ幅より大きくなるように配置されている、請求項1に記載の物品搬送装置。 - 前記水平方向に沿う方向における特定の方向を第1方向とし、前記水平方向に沿う方向であって前記第1方向に直交する方向を第2方向として、
前記ガイド体を第1ガイド体とし、前記ガイド面を第1ガイド面として、
一対の前記第1ガイド体は、前記搬送中物品に対して前記第1方向の両側に分かれて配置され、
前記ガイド部は、一対の前記規制体よりも上側において前記搬送中物品に対して前記第2方向の両側に分かれて配置された一対の第2ガイド体を更に備え、
一対の前記第2ガイド体のそれぞれは、前記搬送中物品の側を向く第2ガイド面を備え、
前記第2ガイド面は、前記上下方向の配置領域が前記搬送中物品と重複する第3領域と、前記搬送中物品よりも下側に配置される第4領域とを備え、
前記第4領域は、前記上下方向視で前記搬送中物品と重複せず、且つ、前記第3領域よりも前記搬送中物品に近い位置に配置されている、請求項1又は2に記載の物品搬送装置。 - 前記ガイド面は、前記第1領域と前記第2領域との上下方向の間において前記第1領域と前記第2領域とを接続する接続領域を更に備え、
前記接続領域は、下側へ向かうに従って前記搬送中物品に近づく側へ向かうように傾斜している、請求項1から3のいずれか一項に記載の物品搬送装置。 - 前記ガイド部は、一対の前記ガイド体をガイド位置と非ガイド位置とに移動させるガイド駆動機構を更に備え、
前記ガイド駆動機構は、前記規制駆動機構による一対の前記規制体の移動に連動させて、一対の前記規制体が前記規制位置にある場合に一対の前記ガイド体を前記ガイド位置とし、一対の前記規制体が前記非規制位置にある場合に一対の前記ガイド体を前記ガイド位置に比べて前記搬送中物品から離間した前記非ガイド位置とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の物品搬送装置。 - 前記ガイド体が、前記規制体に固定されており、
前記ガイド駆動機構と前記規制駆動機構とが共通の駆動機構である、請求項5に記載の物品搬送装置。
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