JP2015131702A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】一対の落下防止体の間隔を並び方向に広い範囲で調整できながら、一対の落下防止体の前後方向の長さを長くできる搬送装置を提供する。【解決手段】一対の落下防止体２７が並ぶ並び方向に一対の落下防止体２７を互いに反対向きに直線状に移動させることで一対の落下防止体２７の間隔を調整自在に構成し、間隔調整用駆動部２８にて、一対の落下防止体の間隔を、大型搬送物６Ｌの横幅より幅広な退避用間隔と、当該退避用間隔より幅狭で大型搬送物６Ｌの横幅に対応した大型用間隔と、当該大型用間隔より幅狭で小型搬送物６Ｓの横幅に対応した小型用間隔と、に調整するように構成する。【選択図】図５

Description

本発明は、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を昇降移動させて、前記支持体にて吊り下げ支持された前記搬送物を搬送用位置と前記搬送用位置より低い移載用位置とに昇降移動させる昇降部と、前記搬送用位置の前記搬送物の下方に水平方向に並ぶ一対の落下防止体と、前記一対の落下防止体が並ぶ並び方向での前記一対の落下防止体の間隔を調整する間隔調整用駆動部と、前記支持体、前記昇降部、前記一対の落下防止体、及び、前記間隔調整用駆動部を支持する移動体と、前記搬送物が前記搬送用位置に位置する状態で前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、が設けられている搬送装置に関する。

かかる搬送装置の従来例が、特開２０１０−１２６２７８号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の搬送装置は、一対の落下防止体に連結された揺動アームを縦軸心周りに揺動させることにより、一対の落下防止体を互いに反対向きに水平方向に沿う円弧状の移動軌跡となるように移動させて、一対の落下防止体の間隔を、搬送物の横幅より幅広な幅広間隔と搬送物の横幅より幅狭な幅狭間隔とに調整するように構成されている。
そして、支持体を昇降移動させて搬送物を搬送用位置と移載用位置とに昇降移動させるときは、一対の落下防止体の間隔を幅広間隔に調整して、一対の落下防止体の間を上下方向に通過させるようにして搬送物を搬送用位置と移載用位置とに昇降移動させるようになっている。また、搬送物を搬送用位置に位置する状態で移動体を移動させて搬送物を搬送するときは、一対の落下防止体の間隔を幅狭間隔に調整して、搬送物を搬送するときに支持体による搬送物への支持が外れた場合でも、その搬送物を一対の落下防止体にて受け止めて搬送物が落下することを防止できるようになっている。

特開２０１０−１２６２７８号公報

上述の搬送装置を用いて、小型搬送物と当該小型搬送物より並び方向での幅が大きい大型搬送物とのように大きさが異なる複数種の搬送物を搬送することが望まれている。このように並び方向での大きさが異なる搬送物を搬送する場合に、一対の落下防止体の間隔を搬送物の横幅に対応した間隔にすると、小型搬送物を搬送する場合は、大型搬送物を搬送する場合に比べて一対の落下防止体の間隔を狭くする必要がある。つまり、小型搬送物と大型搬送物とを搬送しようとすると、一対の落下防止体の間隔を搬送物の並び方向での幅に応じて調整する必要がある。

上記した従来の搬送装置では、一対の落下防止体を互いに反対向きに水平方向に沿う円弧状の移動軌跡となるように移動させて一対の落下防止体の間隔を調整するように構成されている。しかし、このように構成した場合では、一対の落下防止体を並び方向に移動することで一対の落下防止体の間隔を調節することができるが、一対の落下防止体が並び方向と直交する前後方向にも移動することになる。
つまり、小型搬送物と大型搬送物とで横幅の差が大きい場合、これらの搬送物に一対の落下防止体の間隔を対応させるべく一対の落下防止体の間隔を大きな範囲で調整できるようにするために、揺動アームの長さを長くする必要がある。しかし、揺動アームの長さを長くすると、退避間隔から小型搬送物用の幅狭間隔に調整したときに、一対の落下防止体が移動体等に対して前後方向に大きく突出してしまうという問題が生じる。
この問題に対して、前後方向に移動する一対の落下防止体を移動体等に対して前後方向に突出させない又は突出する量を抑えるために、一対の落下防止体の前後方向への移動量が大きくなった分だけ落下防止体の前後方向の長さを短くすることが考えられるが、このように落下防止体を前後方向に短くすると、落下防止体が前後方向に短くなることによって搬送物が落下防止体の前方や後方に転落してしまう虞がある。

そこで、一対の落下防止体の間隔を並び方向に広い範囲で調整できながら、一対の落下防止体の前後方向の長さを長くできる搬送装置が求められる。

本発明に係る搬送装置の特徴構成は、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を昇降移動させて、前記支持体にて吊り下げ支持された前記搬送物を搬送用位置と前記搬送用位置より低い移載用位置とに昇降移動させる昇降部と、前記搬送用位置の前記搬送物の下方に水平方向に並ぶ一対の落下防止体と、前記一対の落下防止体が並ぶ並び方向での前記一対の落下防止体の間隔を調整する間隔調整用駆動部と、前記支持体、前記昇降部、前記一対の落下防止体、及び、前記間隔調整用駆動部を支持する移動体と、前記搬送物が前記搬送用位置に位置する状態で前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、が設けられている搬送装置において、
前記搬送物として、小型搬送物と当該小型搬送物より前記並び方向での幅が大きい大型搬送物とがあり、前記一対の落下防止体が、当該一対の落下防止体が前記並び方向に互いに反対向きに直線状に移動することで前記一対の落下防止体の間隔を調整自在に構成され、前記間隔調整用駆動部が、前記一対の落下防止体の間隔を、前記大型搬送物の横幅より幅広な退避用間隔と、当該退避用間隔より幅狭で前記大型搬送物の横幅に対応した大型用間隔と、当該大型用間隔より幅狭で前記小型搬送物の横幅に対応した小型用間隔と、に調整する点にある。

この特徴構成によれば、一対の落下防止体を、当該一対の落下防止体が並ぶ並び方向に互いに反対向きに直線状に移動することで、一対の落下防止体の間隔を調整自在に構成されている。そのため、一対の落下防止体の間隔を調整しても一対の落下防止体の位置が前後方向に変化することはない。従って、一対の落下防止体を前後方向に移動させることなく、一対の落下防止体の間隔を退避用間隔、大型用間隔及び小型用間隔の夫々の間隔に調整することができる。
そして、一対の落下防止体を前後方向に移動させることなく一対の落下防止体の間隔を調整できるので、一対の落下防止体が前後方向に移動してしまう従来の揺動式のように、一対の落下防止体を移動体等に対して前後方向に突出させない又は突出する量を抑えるために一対の落下防止体の長さを短くする必要がない。そのため、従来の揺動式に比べて、一対の落下防止体の前後方向の長さを長くすることができる。
このように、一対の落下防止体の間隔を並び方向に広い範囲で調整できながら、一対の落下防止体の前後方向の長さを長くできる。

ここで、前記間隔調整用駆動部の作動を制御する制御部と、前記搬送物の前記並び方向での幅を計測する計測部と、が設けられ、
前記制御部が、前記計測部の計測情報に基づいて前記一対の落下防止体の間隔を前記退避用間隔から前記大型用間隔又は前記小型用間隔に調整するように前記間隔調整用駆動部の作動を制御すると好適である。

この構成によれば、搬送装置に計測部が設けられているため、当該計測部にて搬送装置にて搬送される搬送物の並び方向での幅を計測することができ、制御部は、計測部の計測情報に基づいて一対の落下防止体の間隔を大型用間隔や小型用間隔に調整することができる。つまり、搬送装置にて搬送する実際の搬送物の幅を計測部にて計測し、その実際に計測した計測情報に基づいて一対の落下防止体の間隔を調整するため、一対の落下防止体の間隔を、実際に搬送する搬送物の並び方向での幅に対応した間隔に調整することができる。

また、前記大型搬送物が、前記小型搬送物より上下方向に大きく形成され、前記計測部は、前記並び方向に沿って検出用光を投光する光学式の投光部と、当該投光部が投光した検出用光を受光する受光部と、で構成され、前記投光部が、前記検出用光が前記搬送用位置の前記大型搬送物の下端部にて遮光され且つ前記検出用光が前記搬送用位置の前記小型搬送物にて遮光されない高さに前記検出用光を投光すると好適である。

この構成によれば、搬送用位置に位置する搬送物が大型搬送物である場合は、投光部が投光した検出用光が大型搬送物にて遮光されるため、受光部は検出用光を受光しない。一方、搬送用位置に位置する搬送物が小型搬送物である場合は、投光部が投光した検出用光は小型搬送物にて遮光されないため、受光部は検出用光を受光する。
そして、大型搬送物と小型搬送物とは、並び方向及び上下方向との双方で異なるため、搬送物の下端の上下方向での高さの計測情報に基づいて、搬送物の並び方向での幅が大型搬送物の幅か小型搬送物の幅かを判別することができる。
そして、例えば、投光部や受光部を、投光部が検出用光を上下方向に投光するように設けると、投光部又は受光部が昇降移動する搬送物の邪魔になり易いため、これら投光部や受光部を設置し難い。しかし、投光部や受光部を、投光部が検出用光を並び方向に投光するように設けることで、投光部又は受光部が昇降移動する搬送物の邪魔になり難くなるため、これら投光部や受光部を設置し易くなる。

また、前記一対の落下防止体の夫々に、前記搬送物の水平方向での移動を規制する規制体が設けられ、前記規制体の上端は、前記搬送用位置の前記小型搬送物の下端より上方に位置し、前記規制体として、前記搬送用位置の前記搬送物に対して前記並び方向と直交する前後方向の前方側に位置する前側規制体と、前記搬送用位置の前記搬送物に対して前記前後方向の後方側に位置する後側規制体と、前記搬送用位置の前記搬送物に対して前記並び方向の外方側に位置する横側規制体と、が設けられていると好適である。

この構成によれば、前側規制体、後側規制体及び横側規制体の夫々の規制体の上端は、搬送用位置の小型搬送物の下端より上方に位置している。そのため、支持体による搬送物に対する支持が外れた場合でも、その搬送物が規制体上に乗り上げることなく、搬送物の前方や後方及び側方への移動を規制体にて規制することができるので、搬送物が落下防止体から転落してしまうこと適確に防止することができる。

また、前記制御部が、外部の制御装置から前記搬送物の大きさを示す情報である搬送物情報を受信するように構成され、且つ、前記搬送物情報が前記計測部の計測情報が示す前記搬送物の前記並び方向の幅に対応する情報でない場合は予め設定された非常制御を実行するように構成されていると好適である。

この構成によれば、外部の制御装置からの搬送物情報が計測部の計測情報が示す搬送物の並び方向の幅に対応する情報でない場合は予め設定された非常制御を実行する。つまり、例えば、搬送すべき搬送物が大型搬送物であるにも関わらず実際に搬送している搬送物が小型搬送物である場合には、外部の制御装置からの搬送物情報示す搬送物の大きさを示す情報と、計測部が計測した搬送物の並び方向での幅とが対応しない情報となる。このように、外部の制御装置からの搬送物情報が計測部の計測情報が示す搬送物の並び方向の幅に対応する情報でない場合は、搬送装置を非常停止させる又は警報を作動させる等の予め設定された非常制御を実行することで、搬送すべき搬送物とは異なる搬送物を搬送することによる不具合を未然に防止することができる。

また、前記一対の落下防止体の夫々における前記並び方向と直交する前後方向の一方側の端部に一対の移動部材が各別に連結され、
前記間隔調整用駆動部が、前記一対の落下防止体に対して前記一対の移動部材が存在する前記前後方向の一方側に配設され且つ前記一対の移動部材を前記並び方向に沿って互いに遠近移動させるように構成されていると好適である。

この構成によれば、落下防止体の前後方向の一方側の端部に移動部材が連結されているため、移動部材を駆動する間隔調整用駆動部を、落下防止体に対して前後方向に並べた状態で設けることができる。そのため、間隔調整用駆動部を落下防止体に対して横幅方向に並べた状態で設けた場合に比べて、搬送装置を横幅方向に小さく構成し易くなる。

また、前記一対の落下防止体の夫々における前記並び方向の外方側端部に一対の被案内体が各別に連結され、前記一対の被案内体を前記並び方向に各別に案内するガイド部材が一対設けられていると好適である。

この構成によれば、落下防止体の並び方向の外方側端部に被案内体が連結されているため、その被案内体を並び方向に案内するガイド部材を並び方向の外方側に寄せた状態で設けることができる。そのため、落下防止体を退避用位置に退避させたときに、ガイド部材が落下防止体に対して横幅方向の内方側に突出しない又は突出量を抑えることができるため、支持体を昇降移動させて搬送物を移載するときに、ガイド部材が邪魔になり難い。

物品搬送設備の横側面図 一対の落下防止体を退避用間隔に調整している天井搬送車の側面図 一対の落下防止体を大型用間隔に調整している天井搬送車の側面図 一対の落下防止体を小型用間隔に調整している天井搬送車の側面図 一対の落下防止体を退避用間隔に調整している天井搬送車の要部平面図 一対の落下防止体を大型用間隔に調整している天井搬送車の要部平面図 一対の落下防止体を小型用間隔に調整している天井搬送車の要部平面図 制御ブロック図 受取処理のフローチャート 受渡処理のフローチャート

以下、本発明にかかる搬送装置を備えた物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４に示すように、物品搬送設備には、天井側に走行経路に沿って配設された走行レール２に案内支持されて走行経路に沿って走行自在な搬送装置としての天井搬送車１と、搬送物６に対して処理を行う処理装置３と、が設けられている。天井搬送車１は、他の箇所から搬送してきた搬送物６を処理装置３に備えられた支持台４上に搬送物６を搬送し、また、支持台４上の搬送物６を他の箇所に搬送するように構成されている。処理装置３は、支持台４上と処理装置３の内部との間で搬送物６を図示しない搬送機構により搬送するように構成されている。

物品搬送設備は、半導体製造設備における搬送設備であり、複数の処理工程の間で搬送物６を搬送するべく天井搬送車１にて搬送物６を搬送している。また、搬送物６は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物としてフォトマスクを収容するポッドである。
図３及び図４に示すように、搬送物６には、小型搬送物６Ｓ（図４参照）と当該小型搬送物６Ｓより体積が大きい大型搬送物６Ｌ（図３参照）とがある。尚、本実施形態では、小型搬送物６Ｓは、フォトマスクとしての位相シフトマスクを収容する容器であり、大型搬送物６Ｌは、フォトマスクとしての極端紫外線（ＥＵＶ）マスクを収容する容器である。尚、小型搬送物６Ｓを、直径３００ｍｍの半導体ウェハを複数枚収容する容器とし、大型搬送物６Ｌを、直径４５０ｍｍの半導体ウェハを複数枚収容する容器としてもよい。
そして、図２及び図３に示すように、搬送物６は、収容物を収容する本体部７と、この本体部７の上面に連結されて搬送物６の上端部に備えられた被支持部８と、を備えて構成されている。

大型搬送物６Ｌは、小型搬送物６Ｓに比べて、上下方向、容器左右方向及び容器前後方向に大きく形成されており、大型搬送物６Ｌの本体部７には、小型搬送物６Ｓの本体部７より大型の収容物を収容できるようになっている。なお、大型搬送物６Ｌの被支持部８と小型搬送物６Ｓの被支持部８とは、容器前後方向及び容器左右方向に同じ大きさ形成されている。
ちなみに、図１は、大型搬送物６Ｌを例に、処理装置３の支持台４との間で天井搬送車１が搬送物６を授受する状態を示す図である。また、図３は、大型搬送物６Ｌを搬送している天井搬送車１を示す図であり、図４は、小型搬送物６Ｓを搬送している天井搬送車１を示す図である。

〔天井搬送車〕
以下、天井搬送車１について説明を加える。尚、天井搬送車１を説明するにあたり、天井搬送車１の走行方向に沿う方向（図１〜図７における左右方向）を横幅方向と称し、この横幅方向と交差する方向（図５〜図７における上下方向）を前後方向と称して説明する。また、搬送物６は、その容器横幅方向が天井搬送車１の横幅方向に沿う状態で昇降支持部１３にて支持される。そのため、以下、搬送物６の容器左右方向については横幅方向と称し、搬送物６の容器前後方向については前後方向と称して説明する。
また、横幅方向の一方側（図５〜図７における左側）を第１横幅方向側、横幅方向の第１横幅方向側とは反対側（図５〜図７における右側）を第２横幅方向側と称して説明する。また、前後方向の一方側（図５〜図７における下側）を第１前後方向側、前後方向の第１前後方向側とは反対側（図５〜図７における上側）を第２前後方向側と称して説明する。

図２〜図４に示すように、天井搬送車１は、走行レール２上を走行経路に沿って走行する走行移動部１２と、走行レール２の下方に位置するように走行移動部１２に吊り下げ支持され且つ搬送物６を支持する支持機構１９を昇降移動自在に支持する昇降支持部１３と、を備えて構成されている。

走行移動部１２には、走行用モータ１５と、この走行用モータ１５にて回転駆動されて走行レール２の上面を転動する駆動輪１６と、走行レール２の側面に当接する回転自在な案内輪（図示せず）と、が備えられている。そして、走行移動部１２は、走行用モータ１５にて駆動輪１６を回転駆動し、案内輪が走行レール２にて接触案内されることにより、天井搬送車１を走行レール２に案内されて走行経路に沿って走行させるように構成されている。

昇降支持部１３には、搬送物６を吊り下げ支持する支持体としての支持機構１９と、支持機構１９を昇降移動させる昇降部としての昇降操作機構２０と、搬送用位置に位置する搬送物６の上方及び側周囲を覆うカバー部２１と、支持機構１９にて搬送用位置で支持された搬送物６の落下を防止する落下防止機構２２と、を備えて構成されている。
尚、図２〜図４では、カバー部２１の一部を切り欠いた天井搬送車１を図示している。また、図示は省略するが、昇降支持部１３には、昇降操作機構２０を縦軸心周りに回転させ且つ昇降操作機構２０を前後方向に移動させて、支持機構１９の走行移動部１２に対する姿勢及び位置を調整する位置調整機構が備えられている。

昇降操作機構２０には、先端部に支持機構１９を連結支持した巻き取りベルト２４ａを巻回する巻回体２４と、巻回体２４を回転駆動する昇降用モータ２５と、が設けられている。そして、昇降用モータ２５にて巻回体２４を正逆に回転駆動させて、巻き取りベルト２４ａを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構１９を昇降移動させるように構成されている。
図２〜図４に示すように、巻き取りベルト２４ａを巻き取った状態では、支持機構１９に支持された搬送物６（大型搬送物６Ｌ及び小型搬送物６Ｓ）はカバー部２１内の搬送用位置に位置している。そして、図１（ｂ）に示すように、巻き取りベルト２４ａを繰り出した状態では、支持機構１９に支持された搬送物６（大型搬送物６Ｌ及び小型搬送物６Ｓ）は支持台４上等の移載用位置に位置している。
このように、昇降操作機構２０は、巻き取りベルト２４ａを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構１９にて吊り下げ支持された搬送物６を搬送用位置と搬送用位置より低い移載用位置とに昇降移動させるように構成されている。

落下防止機構２２は、搬送用位置の搬送物６の下方に水平方向に並ぶ一対の落下防止体２７と、一対の落下防止体２７が並ぶ横幅方向（並び方向）での一対の落下防止体２７の間隔を調整する間隔調整用駆動部としての一対の間隔調整用モータ２８と、を備えて構成されている。図５〜図７に示すように、落下防止体２７は、カバー部２１における支持部分２１ａに支持されている。

一対の落下防止体２７は、当該一対の落下防止体２７が横幅方向に互いに反対向きに直線状に移動することで一対の落下防止体２７の間隔を調整自在に構成されている。落下防止機構２２は、一対の間隔調整用モータ２８の駆動により、一対の落下防止体２７の間隔を、大型搬送物６Ｌの横幅より幅広な退避用間隔（図２及び図５参照）と、当該退避用間隔より幅狭で大型搬送物６Ｌの横幅に対応した大型用間隔（図３及び図６参照）と、当該大型用間隔より幅狭で小型搬送物６Ｓの横幅に対応した小型用間隔（図４及び図７参照）と、に調整するように構成されている。

一対の落下防止体２７の夫々は、水平姿勢で昇降支持部１３に設置された板状体にて構成されている。また、一対の落下防止体２７の夫々は、平面視矩形状の板状体から一部を切り欠いて、前後方向の両端部が横幅方向の外方側に突出する一対の突出部分２７ａを備えた形状に形成されている。このように一対の落下防止体２７は、一部を切り欠いた形状に形成することで軽量化が図られている。

一対の落下防止体２７の夫々に、前記搬送物の水平方向での移動を規制する規制体３０が複数設けられており、この複数の規制体３０により、搬送用位置の搬送物６が設定範囲以上に前後方向や横幅方向に移動することが規制されている。規制体３０の上端は、搬送用位置の小型搬送物６Ｓの下端より上方に位置している。ちなみに、搬送用位置の小型搬送物６Ｓの被支持部８の高さと搬送用位置の大型搬送物６Ｌの被支持部８の高さとは同じ高さとなっており、搬送用位置の小型搬送物６Ｓの下端は、搬送用位置の大型搬送物６Ｌの下端より上方に位置している。そのため、搬送用位置の小型搬送物６Ｓの下端より上方に位置している規制体３０の上端は、搬送用位置の大型搬送物６Ｌの下端より上方に位置している。

一対の落下防止体２７の夫々には、規制体３０として、搬送用位置の搬送物６に対して第１前後方向側（前方側）に位置する前側規制体３０ａと、搬送用位置の搬送物６に対して第２前後方向側（後方側）に位置する後側規制体３０ｂと、搬送用位置の搬送物６に対して横幅方向の外方側に位置する横側規制体３０ｃと、が設けられている。尚、搬送用位置の搬送物６に対して横幅方向の外方側とは、搬送用位置の搬送物６を中心に第１横幅方向側又は第２横幅方向側を示している。
一対の落下防止体２７における第１横幅方向側に位置する落下防止体２７（以下、第１落下防止体２７Ａと称する）には、搬送用位置の搬送物６に対して第１横幅方向側に位置するように横側規制体３０ｃが設けられている。また、一対の落下防止体２７における第２横幅方向側に位置する落下防止体２７（以下、第２落下防止体２７Ｂと称する）には、搬送用位置の搬送物６に対して第２横幅方向側に位置するように横側規制体３０ｃが設けられている。

そして、一対の落下防止体２７を退避用間隔に調整している状態では、一対の落下防止体２７における前側規制体３０ａ同士の間隔、後側規制体３０ｂ同士の間隔及び横側規制体３０ｃ同士の間隔は、大型搬送物６Ｌの横幅方向の幅より広い間隔となっている。
一対の落下防止体２７を大型用間隔に調整している状態では、一対の落下防止体２７における前側規制体３０ａ同士の間隔及び後側規制体３０ｂ同士の間隔は、大型搬送物６Ｌの横幅方向の幅より狭い間隔となり、一対の落下防止体２７における横側規制体３０ｃ同士の間隔は、大型搬送物６Ｌの横幅方向の幅より広い間隔となっている。
また、一対の落下防止体２７を小型用間隔に調整している状態では、一対の落下防止体２７における前側規制体３０ａ同士の間隔及び後側規制体３０ｂ同士の間隔は、小型搬送物６Ｓの横幅方向の幅より狭い間隔となり、一対の落下防止体２７における横側規制体３０ｃ同士の間隔は、小型搬送物６Ｓの横幅方向の幅より広い間隔で且つ大型搬送物６Ｌの横幅方向の幅より狭い間隔となっている。

一対の落下防止体２７の夫々における横幅方向の外方側の端部に一対の被案内体３１が各別に連結されている。
説明を加えると、一対の被案内体３１の一方を、第１落下防止体２７Ａの突出部分２７ａの下面に連結し、一対の被案内体３１の他方を、第２落下防止体２７Ｂの突出部分２７ａの下面に連結して、一対の被案内体３１を一対の落下防止体２７に各別に連結している。そして、このように設けられた被案内体３１は、落下防止体２７の前後方向の両端部に位置する一対の突出部分２７ａの夫々に連結されており、一対の被案内体３１は２組設けられている。

カバー部２１の支持部分２１ａには、一対の被案内体３１を横幅方向に各別に案内するガイド部材３２が設けられており、２組の被案内体３１に対応して一対のガイド部材３２が２組設けられている。
そして、図５に示すように、第１落下防止体２７Ａに連結されている被案内体３１を案内するガイド部材３２は、退避用間隔の第１落下防止体２７Ａにおける横幅方向の内方側（第２横幅方向側）の端部より外方側（第１横幅方向側）に位置しており、第２落下防止体２７Ｂに連結されている被案内体３１を案内するガイド部材３２は、退避用間隔の第２落下防止体２７Ｂにおける横幅方向の内方側（第１横幅方向側）の端部より外方側（第２横幅方向側）に位置している。

一対の落下防止体２７の夫々における第１前後方向側の端部に一対の移動部材３３が各別に連結されている。
説明を加えると、一対の移動部材３３の一方を、第１落下防止体２７Ａの第１前後方向側の端部に第１落下防止体２７Ａから第１前後方向側に突出する状態で連結し、一対の移動部材３３の他方を、第２落下防止体２７Ｂの第１前後方向側の端部に第２落下防止体２７Ｂから第１前後方向側に突出する状態で連結して、一対の移動部材３３を一対の落下防止体２７に各別に連結している。

間隔調整用モータ２８は、一対の落下防止体２７に対して一対の移動部材３３が存在する第１前後方向側（前後方向の一方側）に配設されている。また、一対の落下防止体２７の第１前後方向側には、間隔調整用モータ２８にて回転駆動され且つ移動部材３３が螺合するボールネジ３４が設けられている。これら間隔調整用モータ２８及びボールネジ３４は、一対の移動部材３３に対応して一対設けられている。そして、一対の間隔調整用モータ２８の夫々にて一対のボールネジ３４を回転駆動させることで、一対の移動部材３３を横幅方向に沿って互いに遠近移動させて、一対の落下防止体２７の間隔を調整するように構成されている。

このように、天井搬送車１には、支持機構１９、昇降操作機構２０、一対の落下防止体２７、間隔調整用モータ２８、走行移動部１２及び走行用モータ１５が設けられている。そして、走行移動部１２が、支持機構１９、昇降操作機構２０、一対の落下防止体２７及び間隔調整用モータ２８を支持する移動体に相当する。また、走行用モータ１５が、搬送物６が搬送用位置に位置する状態で移動体を搬送経路に沿って移動させる搬送用駆動部に相当する。

また、天井搬送車１には、当該天井搬送車１の作動を制御する制御部Ｈと、搬送位置に位置する搬送物６の横幅方向での幅を計測する計測部３６と、が設けられている。
制御部Ｈは、支持台４等に対して予め設定された走行停止位置に天井搬送車１を走行移動させるべく、走行移動部１２（走行用モータ１５）の作動を制御するように構成されている。また、制御部Ｈは、搬送物６を搬送用位置と移載用位置とに昇降移載させるべく、支持機構１９と昇降操作機構２０（昇降用モータ２５）との作動を制御するように構成されている。また、制御部Ｈは、一対の落下防止体２７の間隔を退避用間隔と大型用間隔と小型用間隔とに調整するべく、間隔調整用モータ２８の作動を制御するように構成されている。

計測部３６は、横幅方向に沿って検出用光を投光する光学式の投光部３６ａと、当該投光部３６ａが投光した検出用光を受光する受光部３６ｂと、で構成されている。
投光部３６ａは、検出用光が搬送用位置の大型搬送物６Ｌの下端部にて遮光され且つ検出用光が搬送用位置の小型搬送物６Ｓにて遮光されない高さに検出用光を投光するように設けられている。つまり、投光部３６ａが投光する検出光の高さは、搬送用位置の大型搬送物６Ｌの下端より上方で且つ搬送用位置の小型搬送物６Ｓの下端より上方になる高さとなっている。受光部３６ｂは、投光部３６ａと同じ高さに設けられている。

制御部Ｈは、外部の制御装置（図示せず）からの搬送情報を受信するように構成されている。この搬送情報には、搬送物６の大きさを示す情報である搬送物情報や、搬送物６を授受する対象の支持台４を示す授受情報や、その支持台４の走行経路に対する縦軸心周りの傾き量及び横幅方向でのずれ量を示す情報である位置ずれ情報が含まれている。
制御部Ｈは、制御装置からの搬送情報に基づいて、搬送物６を処理装置３の支持台４から受け取る受取処理と、搬送物６を処理装置３の支持台４に受け渡す受渡処理と、を実行するべく、天井搬送車１の作動を制御するように構成されている。

受取処理では、授受情報に基づいて搬送物６を支持しない天井搬送車１を対象の支持台４に対して設定された走行停止位置に停止させるべく走行移動部１２の作動を制御する受取走行制御を実行し、その後、支持台４上の移載用位置に位置する搬送物６を搬送用位置まで掬うべく、昇降支持部１３の作動を制御する掬い制御を実行する。尚、走行制御や降ろし制御を実行するときは、一対の落下防止体２７の間隔は退避用間隔に切り換えられている。
この掬い処理について説明を加えると、掬い処理では、まず、天井搬送車１が走行停止位置に停止した状態で、授受情報の位置ずれ情報に基づいて位置調整機構を作動させて、支持機構１９を支持台４に対する傾き及び横幅方向での位置が適切な位置に移動させる。次に、搬送物情報に基づいて搬送物６の大きさに対応する長さだけ巻き取りベルト２４ａを繰り出した後、支持機構１９にて移載用位置の搬送物６を受け取り、その後、巻き取りベルト２４ａを巻き取って搬送物６を移載用位置から搬送用位置まで引き上げる。

そして、天井搬送車１が走行停止位置に停止し且つ搬送物６が搬送用位置に位置する状態で、計測部３６にて搬送物６の大きさを計測し、搬送物情報が示す搬送物６の大きさが、計測部３６の計測情報が示す搬送物６の大きさ（横幅方向の幅）に対応する情報である場合は、計測情報に基づいて、一対の落下防止体２７の間隔を退避用間隔から大型用間隔又は小型用間隔に調整する間隔調整制御を実行する。また、搬送物情報が示す搬送物６の大きさが、計測部３６の計測情報が示す搬送物６の大きさ（横幅方向の幅）に対応する情報でない場合は、予め設定された非常制御を実行する。この非常制御では、受取処理が途中で終了されるとともに図外の警報装置を作動させるようになっている。

受渡処理では、授受情報に基づいて搬送物６を支持する天井搬送車１を対象の支持台４に対して設定された走行停止位置に停止させるべく走行移動部１２の作動を制御する受渡走行制御を実行する。尚、受渡走行制御を実行するときは、搬送物６は搬送用位置に位置しており、一対の落下防止体２７の間隔は搬送物６の大きさに対応した間隔（大型用間隔又は小型用間隔）に切り換えられている。

そして、天井搬送車１が走行停止位置に停止し且つ搬送物６が搬送用位置に位置する状態で、計測部３６にて搬送物６の大きさを計測し、搬送物情報が示す搬送物６の大きさが、計測部３６の計測情報が示す搬送物６の大きさ（横幅方向の幅）に対応する情報である場合は、一対の落下防止体２７の間隔を大型用間隔又は小型用間隔から退避用間隔に調整する授受用調整制御を実行し、その後、搬送用位置で支持している搬送物６を支持台４上の移載用位置まで降ろすべく、昇降支持部１３の作動を制御する降ろし制御を実行する。また、搬送物情報が示す搬送物６の大きさが、計測部３６の計測情報が示す搬送物６の大きさ（横幅方向の幅）に対応する情報でない場合は、予め設定された非常制御を実行する。この非常制御では、受渡処理が途中で終了されるとともに図外の警報装置を作動させるようになっている。尚、降ろし処理は、掬い制御とは支持機構１９による搬送物６に対する支持状態が異なるだけなので詳細な説明は省略する。

天井搬送車１は、被案内体３１とガイド部材３２とで一対の落下防止体２７を横幅方向に直線状に移動自在に支持して、当該一対の落下防止体２７が並ぶ並び方向に互いに反対向きに直線状に移動することで、一対の落下防止体２７の間隔を調整自在に構成されている。そのため、一対の落下防止体２７が前後方向に移動することなく、一対の落下防止体２７の間隔を、退避用間隔、大型用間隔及び小型用間隔の夫々の間隔に調整できるようになっている。

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、搬送装置に備えた計測部３６の計測情報に基づいて、一対の落下防止体２７の間隔を調整したが、外部の制御装置から受信した搬送物情報に基づいて、一対の落下防止体２７の間隔を調整してもよい。

（２）上記実施形態では、計測部３６を投光部３６ａと受光部３６ｂとで構成したが、計測部３６をリミットスイッチ等の他のセンサにて構成してもよい。
また、計測部３６を投光部３６ａと受光部３６ｂとで構成した場合に、投光部３６ａを、検出用光を上下方向に沿って投光し、且つ、検出用光が搬送用位置の大型搬送物６Ｌにおける横幅方向の端部にて遮光され且つ検出用光が搬送用位置の小型搬送物６Ｓにて遮光されない位置に検出用光を投光するように設けてもよい。

（３）上記実施形態では、搬送物６の並び方向での幅を示す情報を取得するために計測部３６を天井搬送車１に設けたが、搬送物６にＩＤタグやバーコード等のタグを貼付し、そのタグに搬送物６の横幅の長さを示す情報や搬送物６の種類を示す情報を搬送物６の大きさ情報を示す情報としてタグに記憶又は表示させて、そのタグに示された大きさ情報を読み取る読取部を天井搬送車１に設けてもよい。

（４）上記実施形態では、落下防止体２７における並び方向の外方側端部に被案内体３１を連結したが、落下防止体２７における並び方向の中央部に被案内体３１を連結する等、被案内体３１を落下防止体２７に連結する箇所は適宜変更してもよい。
また、上記実施形態では、落下防止体２７における前後方向の一方側端部に移動部材３３を連結したが、落下防止体２７における前後方向の中央部に移動部材３３を連結する等、移動部材３３を落下防止体２７に連結する箇所は適宜変更してもよい。

（５）上記実施形態では、規制体３０として、前側規制体３０ａと後側規制体３０ｂと横側規制体３０ｃとを設けたが、例えば、支持機構１９による搬送物６の支持形態より横幅方向に搬送物６が落下し難い場合は、規制体３０として横側規制体３０ｃを設けない等、規制体３０として、前側規制体３０ａと後側規制体３０ｂと横側規制体３０ｃとのうちの一部又は全部を設けなくてもよい。

（６）上記実施形態では、間隔調整用駆動部を、一対の間隔調整用モータ２８にて構成したが、間隔調整用駆動部を、１つの間隔調整用モータ２８にて構成してもよい。この場合、一対のボールネジ３４に螺刻しているネジ山を逆向きにするとともに一対のボールネジ３４を一体回転するように連結して、この連結した一対のボールネジ３４を１つの間隔調整用モータ２８にて回転駆動するとよい。

（７）上記実施形態では、一対の落下防止体２７の夫々を、平面視矩形状の板状体から一部を切り欠いて、前後方向の両端部が横幅方向の外方側に突出する一対の突出部分２７ａを備えた形状に形成したが、一対の落下防止体２７の夫々を、平面視矩形状に形成して切欠いた形状に形成しなくてもよい。また、一対の落下防止体２７を、板状体にて構成しなくてもよく、例えば、前後方向に延びる第１棒状体と、その棒状体から横幅方向の外方側に延びる一対の第２棒状体とで構成してもよい。

１ 天井搬送車（搬送装置）
６ 搬送物
６Ｓ 小型搬送物
６Ｌ 大型搬送物
１２ 走行移動部（移動体）
１５ 走行用モータ（搬送用駆動部）
１９ 支持機構（支持体）
２０ 昇降操作機構（昇降部）
２７ 落下防止体
２８ 間隔調整用モータ（間隔調整用駆動部）
３０ 規制体
３０ａ 前側規制体
３０ｂ 後側規制体
３０ｃ 横側規制体
３１ 被案内体
３２ ガイド部材
３３ 移動部材
３６ 計測部
３６ａ 投光部
３６ｂ 受光部
Ｈ 制御部

Claims (7)

1. 搬送物を吊り下げ支持する支持体と、
   前記支持体を昇降移動させて、前記支持体にて吊り下げ支持された前記搬送物を搬送用位置と前記搬送用位置より低い移載用位置とに昇降移動させる昇降部と、
   前記搬送用位置の前記搬送物の下方に水平方向に並ぶ一対の落下防止体と、
   前記一対の落下防止体が並ぶ並び方向での前記一対の落下防止体の間隔を調整する間隔調整用駆動部と、
   前記支持体、前記昇降部、前記一対の落下防止体、及び、前記間隔調整用駆動部を支持する移動体と、
   前記搬送物が前記搬送用位置に位置する状態で前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、が設けられている搬送装置であって、
   前記搬送物として、小型搬送物と当該小型搬送物より前記並び方向での幅が大きい大型搬送物とがあり、
   前記一対の落下防止体が、当該一対の落下防止体が前記並び方向に互いに反対向きに直線状に移動することで前記一対の落下防止体の間隔を調整自在に構成され、
   前記間隔調整用駆動部が、前記一対の落下防止体の間隔を、前記大型搬送物の横幅より幅広な退避用間隔と、当該退避用間隔より幅狭で前記大型搬送物の横幅に対応した大型用間隔と、当該大型用間隔より幅狭で前記小型搬送物の横幅に対応した小型用間隔と、に調整する搬送装置。
2. 前記間隔調整用駆動部の作動を制御する制御部と、前記搬送物の前記並び方向での幅を計測する計測部と、が設けられ、
   前記制御部が、前記計測部の計測情報に基づいて前記一対の落下防止体の間隔を前記退避用間隔から前記大型用間隔又は前記小型用間隔に調整するように前記間隔調整用駆動部の作動を制御する請求項１記載の搬送装置。
3. 前記大型搬送物が、前記小型搬送物より上下方向に大きく形成され、
   前記計測部は、前記並び方向に沿って検出用光を投光する光学式の投光部と、当該投光部が投光した検出用光を受光する受光部と、で構成され、
   前記投光部が、前記検出用光が前記搬送用位置の前記大型搬送物の下端部にて遮光され且つ前記検出用光が前記搬送用位置の前記小型搬送物にて遮光されない高さに前記検出用光を投光する請求項２記載の搬送装置。
4. 前記一対の落下防止体の夫々に、前記搬送物の水平方向での移動を規制する規制体が設けられ、
   前記規制体の上端は、前記搬送用位置の前記小型搬送物の下端より上方に位置し、
   前記規制体として、前記搬送用位置の前記搬送物に対して前記並び方向と直交する前後方向の前方側に位置する前側規制体と、前記搬送用位置の前記搬送物に対して前記前後方向の後方側に位置する後側規制体と、前記搬送用位置の前記搬送物に対して前記並び方向の外方側に位置する横側規制体と、が設けられている請求項３記載の搬送装置。
5. 前記制御部が、外部の制御装置から前記搬送物の大きさを示す情報である搬送物情報を受信するように構成され、且つ、前記搬送物情報が前記計測部の計測情報が示す前記搬送物の前記並び方向の幅に対応する情報でない場合は予め設定された非常制御を実行するように構成されている請求項２〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
6. 前記一対の落下防止体の夫々における前記並び方向と直交する前後方向の一方側の端部に一対の移動部材が各別に連結され、
   前記間隔調整用駆動部が、前記一対の落下防止体に対して前記一対の移動部材が存在する前記前後方向の一方側に配設され且つ前記一対の移動部材を前記並び方向に沿って互いに遠近移動させるように構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送装置。
7. 前記一対の落下防止体の夫々における前記並び方向の外方側端部に一対の被案内体が各別に連結され、
   前記一対の被案内体を前記並び方向に各別に案内するガイド部材が一対設けられている請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。

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