TWI630156B - 搬送裝置 - Google Patents

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TWI630156B
TWI630156B TW103142858A TW103142858A TWI630156B TW I630156 B TWI630156 B TW I630156B TW 103142858 A TW103142858 A TW 103142858A TW 103142858 A TW103142858 A TW 103142858A TW I630156 B TWI630156 B TW I630156B
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Abstract

本發明提供一種搬送裝置，其為藉由在排列一對防止掉落體的排列方向上，使一對防止掉落體相互反向地且直線狀地移動，而構成為可將一對防止掉落體之間隔調整自如。並構成為，可以藉由間隔調整用驅動部，將一對防止掉落體之間隔調整成退避用間隔、大型用間隔，及小型用間隔中的任一個間隔，其中該退避用間隔比大型搬送物之排列方向上的寬度還寬，該大型用間隔比該退避用間隔還狹窄且對應於大型搬送物之排列方向上的寬度，該小型用間隔比該大型用間隔還狹窄且對應於小型搬送物之排列方向上的寬度。

Description

搬送裝置 發明領域
本發明是有關於一種搬送裝置，其設有，將搬送物懸吊並支撐的支撐體、使受到前述支撐體懸吊支撐之前述搬送物在搬送用位置與比前述搬送用位置還低的移載用位置之間作升降移動的升降部、於前述搬送用位置之前述搬送物下方沿水平方向排列的一對防止掉落體、對在排列前述一對防止掉落體的排列方向上之前述一對防止掉落體的間隔進行調整的間隔調整用驅動部、支撐前述支撐體、前述升降部、前述一對防止掉落體以及前述間隔調整用驅動部之移動體，及在前述搬送物位於前述搬送用位置之狀態下使前述移動體移動之搬送用驅動部。
發明背景
如上所述之搬送裝置的一例，已記載於日本專利特開2010-126278號公報(專利文獻1)中。專利文獻1之搬送裝置是構成為，藉由使連結在一對防止掉落體上之搖動臂繞縱軸心地搖動，使一對防止掉落體以相互反向地形成沿著水平方向做出的圓弧狀的移動軌跡的方式移動，而可以 在比搬送物之橫向寬度還寬的寬幅間隔與比搬送物之橫向寬度還窄的窄幅間隔之間調整一對防止掉落體之間隔。
並且，在使支撐體升降移動而使搬送物在搬送用位置與移載用位置之間升降移動時，是形成為，將一對防止掉落體之間隔調整為寬幅間隔，而做成使其可沿上下方向通過一對防止掉落體之間，以使搬送物在搬送用位置與移載用位置之間升降移動。又，在搬送物位於搬送用位置的狀態下，使移動體移動而搬送搬送物時，是形成為，將一對防止掉落體之間隔調整為窄幅間隔，如此即使在搬送搬送物時，有藉由支撐體形成的搬送物之支撐鬆脫的情況，也可以透過一對防止掉落體來承接該搬送物而可以防止搬送物掉落之情形。
發明概要
使用上述搬送裝置，所期望的是，可以搬送如小型搬送物與前述排列方向上之寬度比該小型搬送物還大的大型搬送物之類的大小相異之複數種搬送物。在搬送像這樣在排列方向上之大小相異的搬送物的情況中，當將一對防止掉落體之間隔做成對應於搬送物的橫向寬度之間隔時，則在搬送小型搬送物的情況中，與搬送大型搬送物的情況相比，必須將一對防止掉落體之間隔做窄。亦即，若欲搬送小型搬送物與大型搬送物時，必須將一對防止掉落體之間隔對應於搬送物之排列方向上的寬度而作調整。
上述的專利文獻1中記載的搬送裝置是構成為，使一對防止掉落體以相互反向地形成沿著水平方向做出的圓弧狀的移動軌跡的方式移動，以調整一對防止掉落體之間隔。但是，在像這樣所構成之情況中，雖然可藉由使一對防止掉落體在排列方向上移動來調節一對防止掉落體之間隔，但是會變成，一對防止掉落體也會在與排列方向直交之前後方向上移動。
亦即，在小型搬送物與大型搬送物的橫向寬度差距大的情況下，為了要使一對防止掉落體之間隔可對應於這些搬送物而做成，可以在大的範圍內調整一對防止掉落體之間隔，因而必須加長搖動臂之長度。但是，當加長搖動臂之長度時，要從退避間隔調整成小型搬送物用之窄幅間隔時，會導致一對防止掉落體相對於移動體等在前後方向上大幅度地突出之問題產生。
針對此問題，為了讓沿前後方向移動之一對防止掉落體相對於移動體等不在前後方向上突出或抑制突出量，被考慮的作法有，視一對防止掉落體之往前後方向的移動量增加之量，相應地將防止掉落體之前後方向的長度縮短，但是當像這樣將防止掉落體在前後方向上變短時，會因為使防止掉落體在前後方向上變短而有造成搬送物墜落於防止掉落體之前方以及後方之疑慮。
於是，所要求的搬送裝置為，既能將一對防止掉落體之間隔沿排列方向在大的範圍內進行調整，同時也能將一對防止掉落體之前後方向的長度加長。
本發明之搬送裝置具備以下構成：懸吊支撐搬送物之支撐體；使前述支撐體升降移動，以使被前述支撐體懸吊支撐之前述搬送物在搬送用位置與比前述搬送用位置還低的移載用位置之間作升降移動的升降部；在前述搬送用位置之前述搬送物的下方沿水平方向排列的一對防止掉落體；調整在排列前述一對防止掉落體的排列方向上之前述一對防止掉落體之間隔的間隔調整用驅動部；支撐前述支撐體、前述升降部、前述一對防止掉落體以及前述間隔調整用驅動部之移動體；以及在前述搬送物位於前述搬送用位置之狀態下使前述移動體移動之搬送用驅動部；在此，作為前述搬送物，有小型搬送物與在前述排列方向上之寬度比該小型搬送物還大的大型搬送物，前述一對防止掉落體是藉由使該一對防止掉落體在前述排列方向上相互反向地且直線狀地移動，而構成為將前述一對防止掉落體之間隔調整自如，並將前述間隔調整用驅動部構成為，將前述一對防止掉落體之間隔調整成退避用間隔、大型用間隔，及小型用間隔中的任一個間隔，其中該退避用間隔比前述大型搬送物之前述排列方向上的寬度還寬，該大型用間隔比該退避用間隔還狹窄且對應於前述大型搬送物之前述排列方向上的寬度，該小型用間隔比該大型用間隔還狹窄且對應於前 述小型搬送物之前述排列方向上的寬度。
根據此構成，可藉由使一對防止掉落體在排列該一對防止掉落體的排列方向上相互反向地且直線狀地移動，以調整一對防止掉落體之間隔。因此，即使調整一對防止掉落體之間隔，也不會有使一對防止掉落體之位置在前後方向上發生變化的情形。因而，可在不使一對防止掉落體在前後方向上移動的情形下，將一對防止掉落體之間隔調整為退避用間隔、大型用間隔以及小型用間隔中的任一個間隔。
並且，因為可在不使一對防止掉落體在前後方向上移動之情形下調整一對防止掉落體的間隔，故不必像會使一對防止掉落體在前後方向上移動之上述的搖動式一般，為了不讓一對防止掉落體相對於移動體等在前後方向上突出或為了抑制突出量，而將一對防止掉落體之長度縮短。因此，與上述的搖動式相比較，其可加長一對防止掉落體之前後方向的長度。
如此，既能將一對防止掉落體之間隔沿排列方向在大的範圍內進行調整，同時也能將一對防止掉落體之前後方向的長度加長。
以下，說明本發明之較佳實施形態之例。
在本發明之搬送裝置的實施形態中，還具備有控制前述間隔調整用驅動部之作動的控制部，及為了取得前述搬送物之前述排列方向上的寬度的相關資訊而進行測量之測量部， 較理想的是，使前述控制部以根據前述測量部之測量資訊，將前述一對防止掉落體之間隔從前述退避用間隔調整成前述大型用間隔或前述小型用間隔的方式，控制前述間隔調整用驅動部之作動。
根據此構成，控制部可根據測量部之測量資訊將一對防止掉落體之間隔調整成大型用間隔及小型用間隔。 亦即，因為藉由測量部所進行之測量來取得藉由搬送裝置實際搬送之搬送物的寬度之相關資訊，並根據該取得之資訊來調整一對防止掉落體之間隔，所以可以將一對防止掉落體之間隔調整成對應於實際搬送之搬送物的排列方向上的寬度的間隔。
在本發明之搬送裝置的實施形態中，較理想的是，前述大型搬送物相較於前述小型搬送物在上下方向上形成得較大，且前述測量部具備沿前述排列方向投射檢測用光之光學式投光部，及接收該投光部所投射出之檢測用光之受光部，其中前述投光部是將前述檢測用光投射在會使前述檢測用光被前述搬送用位置之前述大型搬送物遮蔽，且不會使前述檢測用光被前述搬送用位置之前述小型搬送物遮蔽的高度處。
根據此構成，當位於搬送用位置上之搬送物為大型搬送物時，因投光部所投射之檢測用光會被大型搬送物遮蔽，故受光部不會接收到檢測用光。另一方面，當位於搬送用位置上之搬送物為小型搬送物時，因投光部所投射之檢測用光不會被小型搬送物遮蔽，故受光部會接收到檢 測用光。
並且，大型搬送物與小型搬送物，因在排列方向以及上下方向雙方上的大小均不同，所以可根據因應搬送物的上下方向之大小而變化之受光部的檢測光接收狀態，來判斷搬送物之排列方向上的寬度是大型搬送物的寬度或小型搬送物的寬度。
並且，例如，當將投光部與受光部設置成使投光部沿上下方向投射檢測用光時，因投光部或受光部容易妨礙到進行升降移動之搬送物，所以難以設置這些投光部或受光部。但是，藉由將投光部與受光部設置成使投光部沿排列方向投射檢測用光，就可以使投光部或受光部不容易妨礙到進行升降移動之搬送物，所以可變得容易設置這些投光部及受光部。
在本發明之搬送裝置的實施形態中，較理想的是，將前述控制部構成為，從外部之控制裝置接收作為表示前述搬送物之大小的資訊的搬送物資訊，並且，構成為，當前述搬送物資訊並沒有對應於依據前述測量部之測量資訊所得到之前述搬送物的前述排列方向寬度的資訊時，即執行預先設定之緊急控制。
根據此構成，當來自外部控制裝置之搬送物資訊，並沒有對應於依據測量部之測量資訊所得到之搬送物的排列方向寬度的資訊時，即執行預先設定之緊急控制。亦即，例如，在雖然應搬送之搬送物是大型搬送物，但實際搬送之搬送物為小型搬送物的情況中，來自外部的控制裝置之 搬送物資訊所顯示的搬送物大小，與依據測量部之測量資訊顯示的搬送物的排列方向寬度並沒有相對應。像這樣，來自外部的控制裝置之搬送物資訊並沒有對應於依據測量部之測量資訊所得到的搬送物的排列方向寬度之資訊時，可以藉由實行使搬送裝置緊急停止或使警報作動等之預先設定之緊急控制，將搬送到和應搬送之搬送物不同的搬送物之情形所產生的不良狀況防範於未然。
在本發明之搬送裝置的實施形態中，較理想的是，前述大型搬送物，相較於前述小型搬送物在上下方向上形成得較大，且在前述一對防止掉落體上各自設置限制前述搬送物的水平方向上之移動的限制體，前述限制體之上端，位於比前述搬送用位置之前述小型搬送物的下端還上方處，且作為前述限制體，設有前側限制體、後側限制體及橫側限制體，該前側限制體是相對於前述搬送用位置之前述搬送物位於與前述排列方向直交的前後方向的前方側上、該後側限制體是相對於前述搬送用位置之前述搬送物位於前述前後方向的後方側、該橫側限制體是相對於前述搬送用位置之前述搬送物位於前述排列方向的外側。
根據此構成，前側限制體、後側限制體、以及橫側限制體等各限制體的上端，都位於比搬送用位置之小型搬送物的下端還上方處。因此，即使在藉由支撐體形成之對搬送物的支撐鬆脫的情況下，仍然可以在該搬送物不會衝上到限制體上的情形下，以限制體來限制搬送物之往前方、後方及側方的移動，所以可以妥善地防止搬送物從防 止掉落體上墜落之情形。
在本發明之搬送裝置的實施形態中，在各個前述一對防止掉落體中的與前述排列方向直交之前後方向的一邊側的端部上，各別連結了移動構件，較理想的是，將前述間隔調整用驅動部構成為，配置在相對於前述一對防止掉落體有前述移動構件存在之前述前後方向的一邊側，並且構成為，使連結於前述一對防止掉落體的一方之前述移動構件與連結於前述一對防止掉落體的另一方之前述移動構件，沿前述排列方向互相朝向反向移動。
根據此構成，因為在防止掉落體之前後方向的一邊側之端部上連結有移動構件，所以可以用相對於防止掉落體在前後方向上排列的狀態設置可驅動移動構件之間隔調整用驅動部。因此，比起以相對於防止掉落體在排列方向上排列的狀態設置間隔調整用驅動部的情況，可容易地將搬送裝置在排列方向上構成得較小。
在本發明之搬送裝置的實施形態中，較理想的是，在各個前述一對防止掉落體中的前述排列方向的外側端部上，各別連結了被引導體，並設有在前述排列方向上分別引導，連結於前述一對防止掉落體之一方的前述被引導體與連結於前述一對防止掉落體之另一方的前述被引導體之導引構件。
根據此構成，因為在防止掉落體之排列方向的外側端部上連結有被引導體，所以可將在排列方向上引導該 被引導體之導引構件，以靠近其排列方向的外側的狀態進行設置。因此，在使防止掉落體退避到退避用位置時，因為可以不使導引構件相對於防止掉落體朝排列方向的內側突出或抑制突出量，故在使支撐體升降移動以移載搬送物時，導引構件就不易造成干擾。
1‧‧‧天花板搬送車(搬送裝置)
2‧‧‧行走軌道
3‧‧‧處理裝置
4‧‧‧支撐台
6‧‧‧搬送物
6S‧‧‧小型搬送物
6L‧‧‧大型搬送物
7‧‧‧本體部
8‧‧‧被支撐部
12‧‧‧行走移動部(移動體)
13‧‧‧升降支撐部
15‧‧‧行走用馬達(搬送用驅動部)
16‧‧‧驅動輪
19‧‧‧支撐機構(支撐體)
20‧‧‧升降操作機構(升降部)
21‧‧‧蓋部
21a‧‧‧支撐部分
22‧‧‧防止掉落機構
24‧‧‧捲繞體
24a‧‧‧捲取帶
25‧‧‧升降用馬達
27‧‧‧防止掉落體
27a‧‧‧突出部分
27A‧‧‧第1防止掉落體
27B‧‧‧第2防止掉落體
28‧‧‧間隔調整用馬達(間隔調整用驅動部)
30‧‧‧限制體
30a‧‧‧後側限制體
30b‧‧‧前側限制體
30c‧‧‧橫側限制體
31‧‧‧被引導體
32‧‧‧導引構件
33‧‧‧移動構件
34‧‧‧滾珠螺桿
36‧‧‧測量部
36a‧‧‧投光部
36b‧‧‧受光部
H‧‧‧控制部
圖1(a)(b)為物品搬送設備之橫側面圖。
圖2為將一對防止掉落體調整成退避用間隔時之天花板搬送車的側面圖。
圖3為將一對防止掉落體調整成大型用間隔時之天花板搬送車的側面圖。
圖4為將一對防止掉落體調整成小型用間隔時之天花板搬送車的側面圖。
圖5為將一對防止掉落體調整成退避用間隔時之天花板搬送車的主要部位平面圖。
圖6為將一對防止掉落體調整成大型用間隔時之天花板搬送車的主要部位平面圖。
圖7為將一對防止掉落體調整為小型用間隔時之天花板搬送車的主要部位平面圖。
圖8為控制方塊圖。
圖9為接收處理的流程圖。
圖10為移交處理的流程圖。
用以實施發明之形態
以下，根據圖式來說明具備本發明之搬送裝置的物品搬送設備的實施形態。
如圖1~圖4所示，在物品搬送設備中設有天花板搬送車1及處理裝置3，該天花板搬送車1是作為受到沿行走路徑配置在天花板側之行走軌道2所引導支撐而沿著行走路徑行走自如之搬送裝置，該處理裝置3用於對搬送物6進行處理。天花板搬送車1是構成為，將從其他地方搬送來之搬送物6搬送到裝備於處理裝置3中之支撐台4上，又，將支撐台4上之搬送物6搬送到其他地方。處理裝置3是構成為，在支撐台4上與處理裝置3的內部之間藉由圖未示之搬送機構搬送搬送物6。
物品搬送設備為半導體製造設備中的搬送設備，並在複數個處理步驟之間以應搬送搬送物6之天花板搬送車1來搬送搬送物6。又，搬送物6為收納收納物之搬送容器，具體而言，是收納作為收納物的光罩的收納盒(pod)。
如圖3及圖4所示，在搬送物6中有小型搬送物6S(參照圖4)與體積比該小型搬送物6S還大的大型搬送物6L(參照圖3)。再者，在本實施形態中，小型搬送物6S是收納作為光罩之相位偏移光罩的容器，大型搬送物6L是收納作為光罩之超紫外光(EUV)光罩的容器。再者，將小型搬送物6S當作收納複數片直徑300mm的半導體晶圓之容器，並將大型搬送物6L當作收納複數片直徑450mm的半導體晶圓之容器亦可。
並且，如圖2及圖3所示，搬送物6是構成為，具備收納收納物之本體部7、連結於此本體部7之頂面而裝備在搬送 物6之上端部之被支撐部8。
大型搬送物6L，相較於小型搬送物6S，在上下方向、容器左右方向，以及容器前後方向上形成得較大，並形成為，在大型搬送物6L之本體部7中，可收納比小型搬送物6S之本體部7還大型的收納物。再者，是將大型搬送物6L的被支撐部8與小型搬送物6S的被支撐部8形成為，在容器前後方向以及容器左右方向上為相同大小。
附帶一提，圖1是顯示，以大型搬送物6L為例，天花板搬送車1在與處理裝置3之支撐台4之間接收搬送物6的狀態之圖。又，圖3是顯示搬送大型搬送物6L之天花板搬送車1之圖，圖4是顯示搬送小型搬送物6S之天花板搬送車1之圖。
(天花板搬送車)
以下，針對天花板搬送車1來加以說明。再者，在說明天花板搬送車1之時，是把沿天花板搬送車1之行走方向的方向(圖1~圖7中的左右方向)稱為橫向寬度方向，把與此橫向寬度方向交叉(此處為直交)之方向(圖5~圖7中的上下方向)稱為前後方向來進行說明。又，搬送物6是在使該容器左右方向沿著天花板搬送車1之橫向寬度方向的狀態下受到升降支撐部13所支撐。因此，以下，對於搬送物6之容器左右方向是稱為橫向寬度方向，對於搬送物6之容器前後方向是稱為前後方向來進行說明。
又，橫向寬度方向之一邊側(圖5~圖7之左側)是稱之為第1橫向寬度方向側，與橫向寬度方向的第1橫向寬度方向 側相反的一側(圖5~圖7之右側)是稱之為第2橫向寬度方向側來加以說明。又，前後方向之一邊側(圖5~圖7之下側)是稱之為第1前後方向側，與前後方向的第1前後方向側相反的一側(圖5~圖7之上側)是稱之為第2前後方向側來加以說明。
如圖2~圖4所示，天花板搬送車1具備有，在行走軌道2上沿行走路徑行走之行走移動部12，及被行走移動部12懸吊支撐成位於行走軌道2的下方的升降支撐部13。升降支撐部13可將支撐搬送物6之支撐機構19支撐成升降移動自如。
在行走移動部12中具有，行走用馬達15、受到此行走用馬達15旋轉驅動而沿行走軌道2的上表面轉動的驅動輪16，及抵接於行走軌道2之側面之旋轉自如的導輪(圖未示)。並且，行走移動部12是構成為，藉由以行走用馬達15來旋轉驅動驅動輪16，並使導輪受到行走軌道2接觸引導，以使天花板搬送車1被行走軌道2引導而沿著行走路徑行走。
升降支撐部13是具備支撐機構19、升降操作機構20、蓋部21及防止掉落機構22而構成，該支撐機構19是作為將搬送物6懸吊支撐之支撐體，該升降操作機構20是作為使支撐機構19升降移動之升降部，該蓋部21是用於覆蓋位於搬送用位置之搬送物6的上方以及側面周圍，該防止掉落機構22用於防止在搬送用位置被支撐機構19支撐之搬送物6掉落。
再者，在圖2~圖4中所圖示的是，將蓋部21局部切掉後之天花板搬送車1。又，雖然省略了圖示，但是在升降支撐部13中具備位置調整機構，該位置調整機構可使升降操作機構20繞縱軸心(沿上下方向形成之軸心)旋轉且使升降操作機構20沿前後方向移動，以調整支撐機構19之相對於行走移動部12的姿勢以及位置。
在升降操作機構20中設有捲繞捲取帶24a之捲繞體24，及旋轉驅動捲繞體24之升降用馬達25。為了支撐支撐機構19，是將支撐機構19連結在捲取帶24a之前端部。並且，構成為，以升降用馬達25將捲繞體24正逆向旋轉驅動，以藉由將捲取帶24a捲取以及陸續放出操作，而使支撐機構19升降移動。
如圖2~圖4所示，在已捲取捲取帶24a的狀態下，受到支撐機構19所支撐之搬送物6(大型搬送物6L與小型搬送物6S)會位於蓋部21內之搬送用位置。並且，如圖1(b)所示，在已陸續放出捲取帶24a的狀態下，受到支撐機構19所支撐之搬送物6(大型搬送物6L與小型搬送物6S)會位於支撐台4上等之移載用位置。
像這樣，升降操作機構20是構成為，藉由將捲取帶24a捲取以及陸續放出操作，以使受到支撐機構19懸吊支撐之搬送物6在搬送用位置與比搬送用位置還低的移載用位置之間作升降移動。
防止掉落機構22是具備一對防止掉落體27及一對間隔調整用馬達28而構成，該一對防止掉落體27是在搬 送用位置之搬送物6的下方沿水平方向排列，該一對間隔調整用馬達28是作為將排列一對防止掉落體27之橫向寬度方向(排列方向)上的一對防止掉落體27的間隔予以調整的間隔調整用驅動部。如圖5~圖7所示，防止掉落體27是受到蓋部21中的支撐部分21a所支撐。
一對防止掉落體27是構成為，藉由該一對防止掉落體27在橫向寬度方向上相互反向地且直線狀地移動，而將一對防止掉落體27的間隔調整自如。防止掉落機構22是藉由一對間隔調整用馬達28之驅動，以調整一對防止掉落體27之間隔。在調整目標之間隔中，包含比大型搬送物6L之橫向寬度(排列方向之寬度)還寬的退避用間隔(參照圖2及圖5)、比該退避用間隔還狹窄且對應於大型搬送物6L之橫向寬度之大型用間隔(參照圖3及圖6)、比該大型用間隔還狹窄且對應於小型搬送物6S之橫向寬度之小型用間隔(參照圖4及圖7)，防止掉落機構22是構成為，可將一對防止掉落體27之間隔調整成退避用間隔、大型用間隔以及小型用間隔其中的任一個間隔。
一對防止掉落體27各自藉由，以水平姿勢(使板面沿水平面形成之朝向)被設置於升降支撐部13上之板狀體所構成。又，以平面視之，一對防止掉落體27各自形成為，具備從矩形之板狀體切除掉一部分，而使前後方向之兩端部朝橫向寬度方向的外側(遠離成對的另一方的防止掉落體27之側)突出的一對突出部分27a，之形狀。可藉由像這樣將一對防止掉落體27形成為切除了一部分的形狀以 謀求輕量化。
一對防止掉落體27各自設置有複數個限制前述搬送物之水平方向上的移動之限制體30，藉由此複數個限制體30，可限制搬送用位置之搬送物6沿前後方向與橫向寬度方向移動成超出設定範圍之情形。限制體30的上端是位於比搬送用位置之小型搬送物6S的下端還上方處。附帶一提的是，搬送用位置之小型搬送物6S之被支撐部8的高度與搬送用位置之大型搬送物6L之被支撐部8的高度是形成為相同高度，且搬送用位置之小型搬送物6S的下端是位於比搬送用位置之大型搬送物6L的下端還上方處。因此，位於比搬送用位置之小型搬送物6S的下端還上方處的限制體30的上端，會位於比搬送用位置之大型搬送物6L之下端還上方處。
一對防止掉落體27各自設置有，相對於搬送用位置之搬送物6位於第1前後方向側(前側)的前側限制體30b、相對於搬送用位置之搬送物6位於第2前後方向側(後側)的後側限制體30a，及相對於搬送用位置之搬送物6位於橫向寬度方向的外側的橫側限制體30c，作為限制體30。再者，所謂相對於搬送用位置之搬送物6之橫向寬度方向的外側是表示，以搬送用位置之搬送物6為中心的第1橫向寬度方向側或第2橫向寬度方向側。
一對防止掉落體27中的位於第1橫向寬度方向側的防止掉落體27(以下，稱為第1防止掉落體27A)中有設置成，相對於搬送用位置之搬送物6位於第1橫向寬度方向側的橫 側限制體30c。又，一對防止掉落體27中的位於第2橫向寬度方向側的防止掉落體27(以下，稱為第2防止掉落體27B)中有設置成，相對於搬送用位置之搬送物6位於第2橫向寬度方向側的橫側限制體30c。
並且，在將一對防止掉落體27調整成退避用間隔的狀態下，一對防止掉落體27中的前側限制體30b彼此的間隔、後側限制體30a彼此的間隔、以及橫側限制體30c彼此的間隔是變成，比大型搬送物6L之橫向寬度方向的寬度還寬的間隔。
在將一對防止掉落體27調整成大型用間隔的狀態下，一對防止掉落體27中的前側限制體30b彼此的間隔及後側限制體30a彼此的間隔是變成，比大型搬送物6L之橫向寬度方向的寬度還窄的間隔，且一對防止掉落體27之橫側限制體30c彼此的間隔是變成，比大型搬送物6L之橫向寬度方向的寬度還寬的間隔。
又，在將一對防止掉落體27調整成小型用間隔的狀態下，一對防止掉落體27中的前側限制體30b彼此的間隔及後側限制體30a彼此的間隔是變成，比小型搬送物6S之橫向寬度方向的寬度還窄的間隔，一對防止掉落體27中的橫側限制體30c彼此的間隔是變成，比小型搬送物6S之橫向寬度方向的寬度還寬的間隔且比大型搬送物6L之橫向寬度方向的寬度還窄的間隔。
在一對防止掉落體27各自之橫向寬度方向的外側的端部上，各別連結有被引導體31。
要補充說明的是，防止掉落機構22備有一組以上的成對被引導體31。可將一對被引導體31的一方連結到第1防止掉落體27A的突出部分27a的下表面，並將一對被引導體31的另一方連結到第2防止掉落體27B的突出部分27a的下表面，而將一對被引導體31連結到一對防止掉落體27上。並且，在本實施形態中，是將被引導體31連結到各自位於防止掉落體27之前後方向的兩端部的一對突出部分27a上，且在防止掉落機構22中裝設有2組成對的被引導體31。
在蓋部21之支撐部分21a中設有，將一對被引導體31各別沿橫向寬度方向引導之導引構件32。並藉由引導一對被引導體31的一方的導引構件32，與引導一對被引導體31的另一方的導引構件32，構成一對導引構件32。在本實施形態中，對應於2組被引導體31，而裝設有2組成對的導引構件32。
並且，如圖5所示，引導連結於第1防止掉落體27A之被引導體31的導引構件32，位於比退避用間隔之第1防止掉落體27A中的橫向寬度方向的內側(第2橫向寬度方向側)的端部還外側(第1橫向寬度方向側)處，且引導連結於第2防止掉落體27B之被引導體31的導引構件32，位於比退避用間隔之第2防止掉落體27B中的橫向寬度方向的內側(第1橫向寬度方向側)的端部還外側(第2橫向寬度方向側)處。
在一對防止掉落體27各自中的第1前後方向側的端部上，各別連結有移動構件33。
要補充說明的是，可藉由連結於一對防止掉落體27之 一方的移動構件33，與連結於一對防止掉落體27之另一方的移動構件33，構成一對移動構件33。並且，是以在第1防止掉落體27A之第1前後方向側的端部從第1防止掉落體27A朝第1前後方向側突出的狀態連結一對移動構件33的一方，並以在第2防止掉落體27B之第1前後方向側的端部從第2防止掉落體27B朝第1前後方向側突出的狀態連結一對移動構件33的另一方，而將一對移動構件33連結於一對防止掉落體27上。
間隔調整用馬達28是配置在相對於一對防止掉落體27有移動構件33存在的第1前後方向側(前後方向之一邊側)。又，在一對防止掉落體27之第1前後方向側上，設有被間隔調整用馬達28所旋轉驅動且供移動構件33螺合之滾珠螺桿34。這些間隔調整用馬達28以及滾珠螺桿34，是對應於一對移動構件33而設置有一對。並且，構成為可藉由以一對間隔調整用馬達28各自使一對滾珠螺桿34旋轉驅動，以使一對移動構件33沿橫向寬度方向互相反向地移動，而調整一對防止掉落體27之間隔。
像這樣，在天花板搬送車1中設有，支撐機構19、升降操作機構20、一對防止掉落體27、間隔調整用馬達28、行走移動部12以及行走用馬達15。並且，行走移動部12相當於可支撐支撐機構19、升降操作機構20、一對防止掉落體27、以及間隔調整用馬達28之移動體。又，行走用馬達15相當於在搬送物6位於搬送用位置之狀態下使移動體沿搬送路徑移動之搬送用驅動部。
又，天花板搬送車1中設有，控制該天花板搬送車1之作動的控制部H，及執行測量的測量部36，該測量是用於取得位於搬送位置之搬送物6的橫向寬度方向上的寬度相關資訊。此處，所謂的「搬送物的橫向寬度方向上的寬度相關資訊」，不限於該搬送物的橫向寬度方向的寬度資訊，並視為是包含下列資訊之概念而採用：與該搬送物之橫向寬度方向的寬度有關連性的物理量(因應該寬度而變化之物理量)之資訊。在本實施形態中，橫向寬度方向的寬度比小型搬送物6S還大的大型搬送物6L，在上下方向上也形成得比小型搬送物6S還大，且可藉由測量部36之測量，以取得因應搬送物6的橫向寬度方向的寬度而變化之搬送物6上下方向之寬度的資訊。
控制部H是構成為，為了要使天花板搬送車1行走移動到相對於支撐台4等預先設定好之行走停止位置，而控制行走移動部12(行走用馬達15)的作動。又，控制部H是構成為，為了要使搬送物6在搬送用位置與移載用位置之間升降移動，而控制支撐機構19與升降操作機構20(升降用馬達25)的作動。又，控制部H是構成為，為了要調整一對防止掉落體27的間隔，而控制間隔調整用馬達28的作動。再者，在調整目標之間隔中包含了退避用間隔、大型用間隔、小型用間隔。
測量部36具備有，沿橫向寬度方向投射檢測用光之光學式投光部36a，及接收該投光部36a所投射之檢測用光之受光部36b。
投光部36a是設置成，將檢測用光投射到，可使檢測用光受到搬送用位置之大型搬送物6L(在本例中為大型搬送物6L的下端部)遮蔽，並且使檢測用光不受到搬送用位置之小型搬送物6S遮蔽的高度處。亦即，將投光部36a所投射之檢測光的高度變成是在，比搬送用位置之大型搬送物6L的下端還上方處，且比搬送用位置之小型搬送物6S的下端還下方處的高度。受光部36b是設置在與投光部36a相同高度處。像這樣，在本實施形態中，測量部36可執行用於取得位於搬送用位置之搬送物6上下方向的寬度之資訊(有關於橫向寬度方向上之寬度的資訊之一例)的測量。此時，作為搬送物6上下方向之寬度的資訊，可取得表示以下內容之資訊：搬送物6上下方向之寬度是，會遮蔽檢測用光之程度的較大寬度，或不會遮蔽檢測用光之程度的較小寬度。並且，根據所取得之資訊，在搬送物6上下方向之寬度為會遮蔽檢測用光之程度的較大寬度時，則判斷該搬送物6為大型搬送物6L，在搬送物6上下方向之寬度為不會遮蔽檢測用光之程度的較小寬度時，則判斷該搬送物6為小型搬送物6S。亦即，根據搬送物6的上下方向之寬度的資訊判斷出，搬送物6橫向寬度方向的寬度是大型搬送物6L的寬度，或是小型搬送物6S的寬度。
控制部H是構成為，可接收來自外部控制裝置(圖未示)之搬送資訊。在此搬送資訊中包含有，顯示搬送物6大小之資訊的搬送物資訊、顯示交接搬送物6之對象支撐台4的交接資訊，以及顯示該支撐台4相於對行走路徑的縱軸 心周圍的傾斜量及在橫向寬度方向上的偏移量之資訊的位置偏移資訊。
控制部H是構成為，根據來自控制裝置之搬送資訊，為了要實行從處理裝置3之支撐台4接收搬送物6的接收處理、將搬送物6移交給處理裝置3之支撐台4的移交處理，而控制天花板搬送車1之作動。
如圖9所示，在接收處理中，會根據交接資訊，實行控制行走移動部12之作動的接收行走控制，其中該行走移動部12之作動是為了要使未支撐搬送物6之天花板搬送車1停止在相對於對象支撐台4所設定之行走停止位置上，之後，為了要將位於支撐台4上之移載用位置上的搬送物6拾取至搬送用位置(使其上升)，會實行控制升降支撐部13之作動的接收升降控制。再者，在實行接收行走控制以及接收升降控制時，會將一對防止掉落體27之間隔切換成退避用間隔。
針對這個接收升降處理加以說明，在接收升降處理中，首先，是在天花板搬送車1已停止於行走停止位置的狀態下，根據位置偏移資訊使位置調整機構作動，以調整支撐機構19相對於支撐台4的傾斜以及橫向寬度方向上的位置。其次，在根據搬送物資訊而以對應於搬送物6的大小之長度相應地將捲取帶24a陸續放出後，以支撐機構19接收移載用位置之搬送物6，之後，捲取捲取帶24a以將搬送物6從移載用位置拉升到搬送用位置。
並且，在天花板搬送車1停止於行走停止位置且 搬送物6位於搬送用位置的狀態下，以測量部36執行用於取得搬送物6的大小之測量，並在搬送物資訊所顯示之搬送物6的大小為，對應於依據測量部36之測量資訊的搬送物6的大小(橫向寬度方向的寬度)之資訊時，根據該測量資訊，實行間隔調整控制，將一對防止掉落體27之間隔從退避用間隔調整成大型用間隔或小型用間隔。又，在搬送物資訊所顯示之搬送物6的大小並非是，對應於依據測量部36之測量資訊的搬送物6的大小(橫向寬度方向的寬度)之資訊時，實行預先設定好的緊急控制。在這個緊急控制下，會變成在中途將接收處理結束，並且使圖未示的警報裝置作動。
如圖10所示，在移交處理中，是根據交接資訊實行控制行走移動部12之作動的移交行走控制，該行走移動部12之作動是為了要使支撐搬送物6之天花板搬送車1停止在相對於對象支撐台4所設定之行走停止位置上。再者，實行移交行走控制時，搬送物6是位於搬送用位置，並將一對防止掉落體27之間隔切換成對應於搬送物6的大小之間隔(大型用間隔或小型用間隔)。
並且，在天花板搬送車1停止於行走停止位置上，且搬送物6位於搬送用位置的狀態下，以測量部36實行用於取得搬送物6的大小的測量，並在搬送物資訊所顯示之搬送物6的大小為，對應於依據測量部36之測量資訊的搬送物6的大小(橫向寬度方向的寬度)之資訊時，實行交接用調整控制，將一對防止掉落體27之間隔從大型用間隔或小型用間隔調整成退避用間隔，之後，為了要將搬送用位置上支撐 之搬送物6降下到支撐台4上之移載用位置，實行控制升降支撐部13之作動的移交升降控制。又，在搬送物資訊所顯示之搬送物6的大小並非是，對應於依據測量部36之測量資訊的搬送物6的大小(橫向寬度方向的寬度)之資訊時，則實行預先設定好之緊急控制。在這個緊急控制下，會變成在中途將移交處理結束，並且使圖未示的警報裝置作動。再者，由於移交升降處理，與接收升降處理相比，僅在以支撐機構19形成之相對於搬送物6的支撐狀態是不同的，故省略其詳細之說明。
天花板搬送車1是構成為，藉由被引導體31與導引構件32將一對防止掉落體27支撐成可在橫向寬度方向上直線狀地移動自如，而使一對防止掉落體27在排列該一對防止掉落體27之排列方向上互相反向地且直線狀地移動，藉此，將一對防止掉落體27之間隔調整自如。因此，可構成為，在不使一對防止掉落體27沿前後方向移動的情形下，仍然可以將一對防止掉落體27之間隔調整成退避用間隔、大型用間隔以及小型用間隔其中的任一間隔。
〔其他實施形態〕
(1)在上述實施形態中，是根據設於搬送裝置中之測量部36的測量資訊來調整一對防止掉落體27的間隔，但是也可以根據從外部控制裝置接收到的搬送物資訊來調整一對防止掉落體27的間隔。
(2)在上述實施形態中，是使用投光部36a與受光部36b而構成了測量部36，但是也可以用極限開關(limit switch)等其他感測器來構成測量部36。
又，在使用投光部36a與受光部36b而構成了測量部36的情況中，也可以將投光部36a設置成，將檢測用光沿上下方向投射，並且將檢測用光投射到會使檢測用光被搬送用位置之大型搬送物6L(例如，大型搬送物6L中的橫向寬度方向的端部)遮蔽，且檢測用光不會被搬送用位置之小型搬送物6S遮蔽的位置上。
(3)在上述實施形態中，雖然為了取得搬送物6之排列方向上的寬度相關資訊而將測量部36設置在天花板搬送車1中，但是也可以在搬送物6上貼附ID標籤及條碼等標籤，並於該標籤中將表示搬送物6之橫向寬度之長的資訊及表示搬送物6之種類的資訊等作為表示搬送物6的大小之資訊，儲存在標籤中或使其顯示，而在天花板搬送車1中設置可讀取該標籤中所表示之大小資訊的讀取部。
(4)在上述實施形態中，雖然在防止掉落體27中的排列方向之外側端部上連結被引導體31，但是也可以在防止掉落體27中的排列方向之中央部連結被引導體31等、適當地變更將被引導體31連結在防止掉落體27上的位置。
又，在上述實施形態中，雖然在防止掉落體27中的前後方向的一邊側端部上連結移動構件33，但是也可以在防止掉落體27中的前後方向的中央部連結移動構件33等、適當地變更將移動構件33連結在防止掉落體27上的位置。
(5)在上述實施形態中，作為限制體30，雖然設置了前側限制體30a、後側限制體30b與橫側限制體30c，但 是在例如，以支撐機構19形成之搬送物6的支撐形態為，在橫向寬度方向上使搬送物6不易掉落的形態之情況中，限制體30可以不設置橫側限制體30c等，限制體30也可以不設置前側限制體30a、後側限制體30b與橫側限制體30c中之一部分或全部。
(6)在上述實施形態中，雖然使用一對間隔調整用馬達28來構成間隔調整用驅動部，但是也可以使用1個間隔調整用馬達28來構成間隔調整用驅動部。此時，可做成，將一對滾珠螺桿34上螺刻之螺牙做成互相逆向，並且將一對滾珠螺桿34連結成一體旋轉，以藉由1個間隔調整用馬達28來旋轉驅動此連結的一對滾珠螺桿34。
(7)在上述實施形態中，從平面視之，雖然是將一對防止掉落體27各自形成為，具備從矩形之板狀體切除一部分，而使前後方向之兩端部朝橫向寬度方向的外側突出之一對突出部分27a，之形狀，但是從平面視之，也可以將一對防止掉落體27各自形成為矩形(亦即，也可以不形成將矩形切出缺口的形狀)。又，也可以不使用板狀體來構成一對防止掉落體27，例如，也可使用沿前後方向延伸之第1棒狀體，與從該棒狀體朝橫向寬度方向的外側延伸之一對第2棒狀體來構成。

Claims (7)

  1. 一種搬送裝置，包含：懸吊支撐搬送物之支撐體；使前述支撐體升降移動，以使被前述支撐體懸吊支撐之前述搬送物在搬送用位置與比前述搬送用位置還低的移載用位置之間升降移動的升降部；至少在將前述搬送物藉由前述支撐體懸吊支撐，且進行搬送的狀態下，在前述搬送用位置之前述搬送物的下方分開地配置並沿水平方向排列的一對防止掉落體；調整在排列前述一對防止掉落體的排列方向上之前述一對防止掉落體的間隔的間隔調整用驅動部；支撐前述支撐體、前述升降部、前述一對防止掉落體以及前述間隔調整用驅動部之移動體；以及在前述搬送物位於前述搬送用位置之狀態下使前述移動體移動之搬送用驅動部，在此，作為前述搬送物，有小型搬送物與在前述排列方向上之寬度比該小型搬送物還大的大型搬送物，其具有以下的特徵，前述一對防止掉落體是藉由使該一對防止掉落體在前述排列方向上相互反向地且直線狀地移動，而構成為將前述一對防止掉落體之間隔調整自如，且前述間隔調整用驅動部構成為可將前述一對防 止掉落體之間隔調整成退避用間隔、大型用間隔、及小型用間隔中的任一個間隔，其中該退避用間隔比前述大型搬送物之前述排列方向上的寬度還寬，該大型用間隔比該退避用間隔還狹窄且對應於前述大型搬送物之前述排列方向上的寬度，該小型用間隔比該大型用間隔還狹窄且對應於前述小型搬送物之前述排列方向上的寬度。
  2. 如請求項1之搬送裝置，其中更具備有：控制前述間隔調整用驅動部之作動的控制部，及為了取得前述搬送物之前述排列方向上的寬度的相關資訊而進行測量之測量部，並使前述控制部以根據前述測量部之測量資訊，將前述一對防止掉落體之間隔從前述退避用間隔調整成前述大型用間隔或前述小型用間隔的方式，控制前述間隔調整用驅動部之作動。
  3. 一種搬送裝置，包含：懸吊支撐搬送物之支撐體；使前述支撐體升降移動，以使被前述支撐體懸吊支撐之前述搬送物在搬送用位置與比前述搬送用位置還低的移載用位置之間升降移動的升降部；在前述搬送用位置之前述搬送物的下方沿水平方向排列的一對防止掉落體；調整在排列前述一對防止掉落體的排列方向上之前述一對防止掉落體的間隔的間隔調整用驅動部； 支撐前述支撐體、前述升降部、前述一對防止掉落體以及前述間隔調整用驅動部之移動體；以及在前述搬送物位於前述搬送用位置之狀態下使前述移動體移動之搬送用驅動部，在此，作為前述搬送物，有小型搬送物與在上下方向及前述排列方向上之寬度比該小型搬送物還大的大型搬送物，其具有以下的特徵，前述一對防止掉落體是藉由使該一對防止掉落體在前述排列方向上相互反向地且直線狀地移動，而構成為將前述一對防止掉落體之間隔調整自如，且前述間隔調整用驅動部構成為可將前述一對防止掉落體之間隔調整成退避用間隔、大型用間隔、及小型用間隔中的任一個間隔，其中該退避用間隔比前述大型搬送物之前述排列方向上的寬度還寬，該大型用間隔比該退避用間隔還狹窄且對應於前述大型搬送物之前述排列方向上的寬度，該小型用間隔比該大型用間隔還狹窄且對應於前述小型搬送物之前述排列方向上的寬度，該搬送裝置更具備有：控制前述間隔調整用驅動部之作動的控制部，及為了取得前述搬送物之前述排列方向上的寬度的相關資訊而進行測量之測量部，前述測量部具備沿前述排列方向投射檢測用光之 光學式投光部，及接收該投光部所投射之檢測用光之受光部，前述投光部是將前述檢測用光投射在會使前述檢測用光被前述搬送用位置之前述大型搬送物遮蔽，且不會使前述檢測用光被前述搬送用位置之前述小型搬送物遮蔽的高度處，並使前述控制部以根據前述測量部之測量資訊，將前述一對防止掉落體之間隔從前述退避用間隔調整成前述大型用間隔或前述小型用間隔的方式，控制前述間隔調整用驅動部之作動。
  4. 一種搬送裝置，包含：懸吊支撐搬送物之支撐體；使前述支撐體升降移動，以使被前述支撐體懸吊支撐之前述搬送物在搬送用位置與比前述搬送用位置還低的移載用位置之間升降移動的升降部；在前述搬送用位置之前述搬送物的下方沿水平方向排列的一對防止掉落體；調整在排列前述一對防止掉落體的排列方向上之前述一對防止掉落體的間隔的間隔調整用驅動部；支撐前述支撐體、前述升降部、前述一對防止掉落體以及前述間隔調整用驅動部之移動體；以及在前述搬送物位於前述搬送用位置之狀態下使前述移動體移動之搬送用驅動部，在此，作為前述搬送物，有小型搬送物與在前述排 列方向上之寬度比該小型搬送物還大的大型搬送物，其具有以下的特徵，前述一對防止掉落體是藉由使該一對防止掉落體在前述排列方向上相互反向地且直線狀地移動，而構成為將前述一對防止掉落體之間隔調整自如，且前述間隔調整用驅動部構成為可將前述一對防止掉落體之間隔調整成退避用間隔、大型用間隔、及小型用間隔中的任一個間隔，其中該退避用間隔比前述大型搬送物之前述排列方向上的寬度還寬，該大型用間隔比該退避用間隔還狹窄且對應於前述大型搬送物之前述排列方向上的寬度，該小型用間隔比該大型用間隔還狹窄且對應於前述小型搬送物之前述排列方向上的寬度，該搬送裝置更具備有：控制前述間隔調整用驅動部之作動的控制部，及為了取得前述搬送物之前述排列方向上的寬度的相關資訊而進行測量之測量部，前述控制部是構成為以根據前述測量部之測量資訊，將前述一對防止掉落體之間隔從前述退避用間隔調整成前述大型用間隔或前述小型用間隔的方式，控制前述間隔調整用驅動部之作動，且從外部之控制裝置接收表示前述搬送物之大小的資訊的搬送物資訊，並且，構成為當前述搬送物資訊不是對應於依據前述測量部之測量資訊之前述搬送物的前述排列方向寬度的資訊時， 即實行預先設定之緊急控制。
  5. 如請求項1到4中的任一項之搬送裝置，其中，前述大型搬送物，相較於前述小型搬送物，在上下方向上形成得較大，前述一對防止掉落體各自設置有限制前述搬送物之水平方向上的移動之限制體，前述限制體之上端是位於比前述搬送用位置之前述小型搬送物的下端還上方處，作為前述限制體，設置有相對於前述搬送用位置之前述搬送物位於與前述排列方向直交的前後方向的前側之前側限制體、相對於前述搬送用位置之前述搬送物位於前述前後方向的後側之後側限制體、及相對於前述搬送用位置之前述搬送物位於前述排列方向之外側的橫側限制體。
  6. 如請求項1到4中的任一項之搬送裝置，其中，在各個前述一對防止掉落體中與前述排列方向直交之前後方向的一邊側的端部上，各別連結了移動構件，前述間隔調整用驅動部是配置在相對於前述一對防止掉落體存在有前述移動構件之前述前後方向的一邊側，並且構成為使連結於前述一對防止掉落體的一方之前述移動構件與連結於前述一對防止掉落體的另一方之前述移動構件沿前述排列方向相互反向地移動。
  7. 如請求項1到4中的任一項之搬送裝置，其中， 在前述一對防止掉落體各自之前述排列方向的外側端部上，各別連結有被引導體，並設有在前述排列方向上分別引導連結於前述一對防止掉落體之一方的前述被引導體與連結於前述一對防止掉落體之另一方的前述被引導體之導引構件。
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