TWI438127B - 物品搬運設備 - Google Patents

Description

物品搬運設備 發明領域

本發明係有關於一種物品搬運設備，其係設有沿著經由相對於物品支撐體之物品移載處的天花板側之移動路徑移動自如之物品搬運體，前述物品支撐體相對於設置在天花板側之固定框架體支撐成在突出於接近前述移動路徑之側之物品接收用突出位置與後退至遠離前述移動路徑之側之後退位置移動自如，前述物品搬運體構造成在停止於前述物品移載處之狀態下，對前述突出位置之前述物品支撐體進行物品之交遞及接收者。

發明背景

如上述之物品搬運設備係於地板部沿著移動路徑設置複數個作為物品移載對象之物品移載用台，物品搬運體藉在吊掛物品之狀態下使握持自如之握持部升降，進行台間之物品搬運者。

物品支撐體設置成用以暫時保管搬運至台之物品。物品支撐體平常位於相對於設置在移動路徑側邊等之固定框架體後退之後退位置，而不致干擾物品搬運體之移動等。將物品保管於物品支撐體時或搬運以物品支撐體保管之物品時，使物品支撐體從後退位置變更位置至突出位置，以握持部將物品交遞至物品支撐體或以握持部從物品支撐體接收物品。

此種物品搬送設備設置於無塵室內，藉使淨化空氣從天花板側朝下方側流通，可在塵埃少之清淨環境將物品暫時保管於物品支撐體。因此，當因固定框架體等大幅阻礙從天花板側至下方側之淨化空氣之流動時，清淨度降低。

是故，在習知物品搬運設備，物品支撐體具有相對於固定框架體支撐成於遠近方向移動自如，且從固定框架體延伸至下方後，於接近遠近方向之移動路徑之側延伸的左右一對支撐臂體及連結在左右一對支撐臂體中於接近遠近方向之移動路徑之側延伸之諸部份的連結體(參照專利文獻1)。左右一對支撐臂體在沿著移動路徑之方向隔著大於物品寬度之間隔設置，而使於接近遠近方向之移動路徑之側延伸的部份橫亙遠近方向之物品全寬度，抵接物品之側面部。連結體構造成於遠近方向隔著間隔設置複數個，複數個連結體抵接物品之底部。

在習知之物品搬運設備中，固定框架體只要左右設置一對，以將左右一對之支撐臂體支撐成於遠近方向移動自如即可。是故，可縮小沿著移動路徑之方向之固定框架體之寬度，而可防止因固定框架體大幅阻礙從天花板側往下方側之淨化空氣之流動。

[專利文獻1]日本專利公開公報2007-91463號(第17~21頁、第16~21圖)

發明揭示

上述習知之物品搬運設備在物品支撐體支撐物品之狀態下，在左右一對臂體於接近遠近方向之移動路徑之側延伸的部份橫亙遠近方向之物品全寬度，抵接物品之側面部。藉此，在沿著移動路徑之方向，支撐臂體橫亙物品之遠近方向全寬度而突出至物品外側。因此，在沿著移動路徑之方向，於物品之側部，橫亙物品遠近方向之全寬度，阻礙往下方側之淨化空氣之流動。是故，有清淨度下降之虞。

又，於沿著移動路徑之方向設置複數個物品支撐體時，必須於物品支撐體間設置用以容許從天花板側往下方側之淨化空氣之流動之大空間。是故，在沿著移動路徑之方向，於物品支撐體間存在大空間，而在沿著移動路徑之方向之設置空間增大。

本發明即是著眼於此點而發明者，其目的在於提供在物品支撐體支撐物品之狀態下，防止阻礙從上方側往下方側之淨化空氣之流動，可抑制清淨度之降低，且可保管物品之物品搬運設備。

為達成此目的，本發明之物品搬送設備之第1特徵結構在於一種物品搬運設備，其設有沿著經由相對於物品支撐體之物品移載處的天花板側之移動路徑移動自如之物品搬運體，前述物品支撐體相對於設置在天花板側之固定框架體，被支撐成在突出於接近前述移動路徑之側的物品接收用突出位置與後退至遠離前述移動路徑之側的後退位置移動自如，前述物品搬運體構造成在停止於前述物品移載處之狀態下，對前述突出位置之前述物品支撐體進行物品之交遞及接收，又，前述物品支撐體具有：相對於前述固定框架體支撐成於相對於前述移動路徑之遠近方向移動自如，且形成從前述固定框架體延伸至下方之形狀的移動體；及設置成從前述移動體之下端部沿前述遠近方向延伸之載置體，前述載置體係由設置成在沿著前述移動路徑之方向，為物品寬度內之窄寬度，且從前述移動體下端部沿著前述遠近方向延伸之抵接載置部、及設置成從前述抵接載置部於沿著前述移動路徑之方向延伸，並具有抵接物品側面部之直立壁部份，且形成在相對於前述移動路徑之遠近方向，寬度小於物品之移動限制部構成。

即，由於物品支撐體具有於遠近方向移動自如且呈延伸至下方之形狀之移動體及從該移動體之下端部沿著遠近方向延伸之載置體，故固定框架體只要具有將移動體支撐成於遠近方向移動自如之結構即可。藉此，可縮小在沿著移動路徑之方向之固定框架體之寬度，且可防止因固定框架體阻礙從天花板側往下方側之淨化空氣之流動。

載置體可以抵接載置部抵接物品之底部，而載置支撐物品，且移動限制部之直立壁部份抵接沿著移動路徑之方向之物品之側面部，而限制在沿著移動路徑之方向之物品之移動。抵接載置部在沿著移動路徑之方向為物品寬度內之窄寬度，移動限制部在遠近方向寬度小於物品。藉此，在沿著移動路徑之方向突出至物品外側之部份僅為在遠近方向寬度小於物品之移動限制部，而可在遠近方向，以移動限制部之兩側部允許往下側之淨化空氣之流動。且，由於該抵接載置部在沿著移動路徑之方向，為在物品之寬度之窄寬度，而可謀求物品支撐體之輕量化及成本之減低。

從以上可知，在物品支撐體支撐物品之狀態下，防止阻礙從上方側往下方側之淨化空氣之流動，而可抑制清淨度之降低，且可保管物品，而可實現可謀求物品支撐之輕量化及成本減低之物品搬運設備。

本發明物品搬運設備之第2特徵結構在於前述物品支撐體以在沿著前述移動路徑之方向相鄰之狀態設置複數個。

即，如上述，由於在物品支撐體支撐物品之狀態下，在沿著移動路徑之方向之物品之側部，可以遠近方向之移動限制部之兩側部允許往下方側之淨化空氣之流動，故在沿著移動路徑之方向，在物品支撐體間可極力縮小容許往下方側之淨化空氣之流動的空間。藉此，在沿著移動路徑之方向可縮小物品支撐體間之間隔，且可設置複數個物品支撐體。是故，可有效率地於沿著移動路徑之方向小之空間設置複數個物品支撐體。

本發明物品搬運設備之第3特徵結構在於前述抵接載置部形成在相對於前述移動路徑之遠近方向，寬度小於物品，並且設有遠近方向移動限制部，該遠近方向移動限制部設置成從前述抵接載置部於前述遠近方向延伸，並具有抵接物品側面部之直立壁部份，且形成在沿著前述移動路徑之方向，寬度小於前述抵接載置部。

即，由於抵接載置部不僅在沿著移動路徑之方向，為物品寬度內之窄寬度，且形成在遠近方向寬度小於物品，故在不以物品支撐體支撐物品之狀態下，可於遠近方向之抵接載置部與移動路徑間設置容許往下方側之淨化空氣之流動的空間。藉此，在不以物品支撐體支撐物品之狀態下，亦可防止阻礙往下方側之淨化空氣之流動。藉使抵接載置部在沿著移動路徑之方向為物品寬度內之窄寬度，與物品之底部抵接之部份縮小，而遠近方向移動限制部之直立壁部份抵接遠近方向之物品之側面部，而可限制遠近方向之物品之移動。是故，在不以物品支撐體支撐物品之狀態下，亦可防止阻礙淨化空氣之流動，且以物品支撐體支撐物品時，可穩定地支撐物品。

本發明物品搬運設備之第4特徵結構在於前述抵接載置部設有複數個孔部。

即，在不以物品支撐體支撐物品之狀態下，可以抵接載置部之複數個孔部容許往下方側之淨化空氣之流動。是故，在不以物品支撐體支撐物品之狀態下，可確實地防止阻礙淨化空氣之流動。

本發明物品搬運設備之第5特徵結構在於前述固定框架體配設成與前述後退位置之前述物品支撐體在沿著前述移動路徑之方向及前述遠近方向重複。

即，由於固定框架體設置成在水平方向與後退位置之物品支撐體重複，故物品支撐體不致阻礙往下方側之淨化空氣之流動，而可確實地防止阻礙淨化空氣之流動。

本發明物品搬運設備之第6特徵結構在於在前述遠近方向隔著間隔之一對固定框架體支撐用支撐軌道體以沿著前述移動路徑之狀態設置於天花板側，前述固定框架體以藉前述一對支撐軌道體各別之承接支撐部承接支撐之狀態吊掛支撐於前述一對支撐軌道體。

即，當物品支撐體設置於天花板側時，以僅藉一對支撐軌道體之承接支撐部承接支撐之狀態，固定固定框架體，即可將固定框架體以吊掛支撐於天花板側之狀態設置。藉此，可謀求物品支撐體之設置作業之簡單化。一對支撐軌道體以沿著移動路徑之狀態設置於天花板側，故將複數個物品支撐體以於沿著移動路徑之方向相鄰之狀態設置時，即使不將複數物品支撐體之固定框架體設置成逐一吊掛支撐於天花板側，僅將複數個物品支撐體之固定框架體設置成以一對支撐軌道體吊掛支撐即可。是故，將複數支撐體以於沿著移動路徑之方向相鄰之狀態設置時，設置作業之簡單化之效果大。

圖式簡單說明第1圖係物品搬運設備之平面圖。

第2圖係移動車與台之側面圖。

第3圖係移動車之側面圖。

第4圖係移動車之縱正面圖。

第5圖係設置複數個物品支撐體時之立體圖。

第6(a)圖~第6(b)圖係物品支撐體之立體圖。

第7圖係物品支撐體之側面之立體圖。

第8圖係物品支撐體之分解立體圖。

第9圖係後退位置之物品支撐體之平面圖。

第10圖係突出位置之物品支撐體之平面圖。

用以實施發明之最佳形態

依圖式，就本發明物品搬運設備之實施形態作說明。

此物品搬運設備係設置於具有使淨化空氣從天花板側流通至下方側之降流式淨化空氣通風機構之無塵室內。

如第1圖及第2圖所示，物品搬運設備在經由複數物品處理部1之狀態下設置引導軌道2(相當於移動路徑)，設有沿著此引導軌道2移動自如之移動車3(相當於物品搬運體)。移動車3構造成在複數個物品處理部間搬運收納有半導體基板之容器5(相當於物品)。物品處理部1構造成對在半導體基板之製造途中之半製品等進行預定之處理。

移動車3具有以吊掛狀態握持容器5之升降自如之握持部4。握持部4設置成藉在移動車3停止之狀態下，將金屬線6捲繞或捲出，而於接近移動車3之上升位置與設置於移動車3下方之物品移載用台7間進行物品移載之下降位置升降自如。附帶一提，在第2圖中，於上方側顯示握持部4從上升位置下降至下降位置之情形，下方側顯示使握持部4從下降位置上升至上升位置之情形。

台7以設置於載置支撐容器5之地板部之載置台構成。台7係從移動車3接收以物品處理部1進行預定處理之容器5或將業經以物品處理部1進行預定處理之容器5交遞至移動車3者，分別對應於複數個物品處理部1而配置。

移動車3構造成在使握持部4位於上升位置之狀態下，沿著引導軌道2移動，在停止於複數台7中對應於移載對象之台7之停止位置的狀態下，使握握部4在上升位置與下降位置間升降，藉此，與台7間進行容器5之接收。

如第2圖~第4圖所示，引導軌道2以藉引導軌道用托架8固定於天花板部之狀態設置。移動車2以前後連結桿10、11連結位於引導軌道2之內側空間部之上方車體9及位於引導軌道2下方之下方車體12而構成。

上方車體9具有呈與設置於引導軌道2之內側空間部之磁鐵13接近相對之狀態的一次線圈14。上方車體9係以磁鐵13及一次線圈14構成之線性馬達取得推進力之線性馬達式，移動車3構造成以此推進力沿著引導軌道2移動。於引導軌道2之內側空間部形成相對於設置在上方車體9之行走輪15之行走引導面16及相對於設置在上方車體9之止振輪17之止振引導面18。

於引導軌道2設置供電線19，於上方車體設置受電線圈20，以交流電流之通電，使供電線19產生磁場，藉此磁場，使受電線圈20產生移動車3之必要電力，而在不接觸狀態進行供電。

在此實施形態中，驅動上方車體9之方式係顯示以線性馬達取得推進力而驅動之線性馬達式，舉例言之，亦可使用設置旋轉驅動行走輪15之電動馬達，藉以此電動馬達旋轉驅動行走輪15，驅動上方車體9之方式。

下方車體12由於移動車3之前後方向延伸之前後框架體21、從前後框架體21之前端處及後端處延伸至下方側之前後一對縱框架體22構成。下方車體12在側面觀看，形成下方側開放之字形，於前後方向之中央部配置握持部4。

握持部4設置於相對上方車體9升降自如之升降體23，此升降體23以設置於前後框架體21之升降操作機構24支撐成升降操作自如。

升降操作機構24係於以鼓輪驅動用馬達21而旋動自如之旋轉鼓輪26捲掛4條金屬線6而構成。升降操作機構24構造成藉使旋轉鼓輪26正反旋轉，將4條金屬線6同時捲繞或捲出，一面將升降體23維持在約水平姿勢，一面升降操作。

在此實施形態中，顯示於旋轉鼓輪26捲繞金屬線6之例，亦可於旋轉滾筒26捲繞帶，升降操作升降體23，不限於金屬線6，亦可使用帶。

握持部4設有握持容器5之凸緣5A之一對握持具4a。一對握持具4a構造成可以握持動作用馬達27之正反旋轉自由切換於相互接近之方向搖動，握持凸緣5a之握持姿勢(第3圖中為實線)及一對握持具14a於相互遠離之方向搖動，而解除握除之解除姿勢(第3圖中為虛線)。握持部4以環繞縱軸芯旋環自如之狀態設置於升降體23，雖然省略圖式，但設有旋轉操作握持部4之旋轉用馬達。

為將搬送至台7之容器5暫時保管，而於引導軌道2之側邊如第1圖及第5圖所示，對引導軌道2於左右兩側設置物品保管用物品支撐體28。物品支撐體28以沿著引導軌道2相鄰排列之狀態設置複數個。

以下，依第5圖~第10圖，就物品支撐體28作說明。

複數物品支撐體28係設置成在突出至接近從停止在相對於物品支撐體之物品移載處之移動車3之握持部4接收容器5及對握持部4交遞容器5的引導軌道2之側之物品接收用突出位置(參照第10圖)與後退至遠離引導軌道2之側的後退位置(參照第9圖)自由變更位置。

以下，將停止在物品移載處之移動車3之前後方向、亦即沿著引導軌道2之方向簡稱為「前後方向」，且將相對於停止於物品移載處之移動車之遠近方向簡稱為「遠近方向」來說明。

物品移載處係對應於複數物品支撐體28而訂定。在前後方向，物品支撐體28之寬度形成較移動車3之前後一對縱框架體22之間隔小。因而，構造成在移動車3停止於物品移載處之狀態下，可於移動車3之前後一對縱框架體22間將物品支撐體28插入或拔出。

後退位置係當物品支撐體28位於後退位置時，為不致防礙自身及自身載置支撐之容器5妨礙移動車3之移動或握持部4之升降，而設定於從引導軌道2所在處於遠近方向遠離之引導軌道2之側邊。

突出位置係當物品支撐體28位於突出位置時，為可在停止於物品移載處之移動車3與位在接近上升位置之位置之握持部4間接收容器5，而設定為與停止於物品移載處之移動車3之握持部4不在水平方向重複之位置。

如第5圖~第8圖所示，物品支撐體28係對對應於後退位置而設置在天花板側之固定框架體29支撐成在突出位置與後退位置間移動自如。物品支撐體28具有對固定框架體29支撐成於遠近方向移動自如，且形成從固定框架體29延伸至下方之形狀的移動體30、及設置成從移動體30之下端部延伸至接近遠近方向之引導軌道2之側的載置體31。

固定框架體29以橫亙在遠近方向隔著間隔之一對固定框架體支撐用支撐軌道體32之狀態吊掛支撐。固定框架體29具有在遠近方向之一側及另一側從固定框架體29延伸至上方之直立壁部份33a及連結直立壁部份33a之上端部之水平連結部份33b作為吊掛支撐部33。一對支撐軌道體32設有在水平連結部份33b承拉支撐遠近方向之一端部及另一端部之承接支撐部32a。固定框架體29構造成藉以藉一對支撐軌道體32之承接支撐部32a承接支撐之狀態下固定，而吊掛支撐於一對支撐軌道體32。

將固定框架體29吊掛支撐於天花板側之結構不限於上述結構，可適當變更。舉例言之，於固定框架體29之上端部設置螺栓安裝用溝部，將吊掛支撐體之下端部以螺栓固定於此螺栓安裝用溝部，將吊掛支撐體之上端部以螺栓固定於天花板部，藉此，可將固定框架體29吊掛支撐於天花板側。

移動體30由形成以下方在遠近方向之寬度小於上方之狀態延伸至下方之形狀之左右一對支撐臂體34、連結左右一對支撐臂體34上端部之上部連結體35、連結從左右一對支撐體34之上端部延伸至下方之部份的中間連結體36構成。於支撐臂體34及中間連結體36形成複數個孔部，而可謀求輕量化。於上部連結體35設置在前後方向之中央部突出至上方之突出部37，棒狀聯繫用被操作體39以直立設置之狀態設置於前後方向之一端部。在突出部37，可環繞水平軸心旋轉自如地支撐於其側面部之左右一對第1引導輥38a於遠近方向隔著間隔設置2組，且環繞上下軸心旋轉自如地支撐於其上面部之左右一對第2引導輥38b於遠近方向隔著間隔設置2組。

固定框架體29形成下方開放之筒狀，俾以從下方將移動體30之突出部37插入內部之狀態容許突出部37在遠近方向之移動。固定框架體29之下方非橫亙前後方向全長開放，而是僅中央部開放，設有從兩側之側壁部29a於水平方向延伸之底部29b。固定框架體29之底部29b構造成將支撐於插入至固定框架體29內部之突出部37的第1引導輥於遠近方向引導。固定框架體29之上部沿遠近方向設有突出至下方側之引導軌道部29c。此引導軌道部29c構造成將支撐於插入至固定框架體29內部之突出部37之第2引導輥38b於遠近方向引導。藉此，移動體30可對固定框架體29支撐成於遠近方向滑動移動自如。

載置體31由設置成在前後方向為在容器5之寬度內之窄寬度，從移動體30之下端部延伸至接近遠近方向之引導軌道2之側的抵接載置部40、設置成從抵接載置部40於前後方向延伸，具有抵接容器5之側面部之直立壁部份41a，且在遠近方向形成寬度小於容器5之移動限制部41構成。移動限制部41以在抵接載置部40從相當於容器5之遠近方向之中央部延伸至前後方向之一端側及另一端側之狀態設置一對。

藉此，在以物品支撐體28支撐容器5之狀態下，在前後方向突出至容器5之外側之部份僅為移動限制部41之直立壁部份41a，而可從該直立壁部份41a之兩側容許從天花板側往下方側之淨化空氣之流動。是故，在物品支撐體28支撐容器5之狀態下，可防止阻礙從天花板側至下方側之淨化空氣之流動，而可在塵埃少之環境保管容器5。如此，藉於直立壁部份41a之兩側設置可容許往下方側之淨化空氣之流動的空間，如第1圖所示，可極力縮小容許在前後方向，在物品支撐體28間往下方側之淨化空氣之流動的空間。藉此，在前後方向可縮小物品支撐體28間之間隔，且可設置複數個物品支撐體28。是故，可有效率地於沿著前後方向小之空間設置複數個物品支撐體28。

又，抵接載置部40在前後方向設置於容器5之中央部，抵接容器5之前後方向之中央部，而可載置支撐容器5，而可穩定支撐容器5。且移動限制部41之直立壁部份41a抵接容器5之側面部，而可限制在前後方向之容器5之移動。

抵接載置部40構造成在遠近方向形成寬度小於容器5，在遠近方向接近引導軌道2之側形成中空空間。藉此，在物品支撐體38不支撐容器5之狀態下，可以中空空間容許從天花板側往下方側之淨化空氣之流動，而可將物品支撐體28自身作為塵埃少之清淨環境。

於抵接載置部40設有遠近方向移動限制部42，該遠近方向移動限制部42係設置成從前述抵接載置部40於前述遠近方向延伸，且具有抵接物品側面部之直立壁部份42a，且形成在前後方向，寬度小於抵接載置部40。遠近方向移動限制部42在前後方向設置於抵接載置部40之兩端部。藉此，限制遠近方向之容器5之移動，而可載置支撐容器5。於抵接載置部40設置複數個定位銷W，以用以將容器5以定位之狀態載置。定位銷W之配設處設置成在平面觀看，作為三角形之各角部。於抵接載置部40形成複數個孔部，在物品支撐體38不支撐容器5之狀態下，容許往下方側之淨化空氣之流動，並且可謀求輕量化。

移動體30及抵接載置部40以於遠近方向連續之狀態設置，且構造成前後方向之寬度相同或約略相同。固定框架體29在前後方向設置於移動體30之中央部，可將移動體30在平衡佳且良好之狀態下支撐成於遠近方向移動自如。固定框架體29配設成與後退位置之物品支撐體28在前後方向及遠近方向重複，且形成在前後方向寬度小於抵接載置部40。藉此，在水平方向，與物品支撐體28不同之處，不致以固定框架體29阻礙往下方側之淨化空氣之流動。

於固定框架體29設有被操作體43，該被操作體係支撐成在遠近方向接近停止在物品移載處之移動車之接近位置(參照第9圖)與遠離停止在物品移載處之移動車3之遠離位置(參照第10圖)移動自如。被操作體43聯繫於物品支撐體28，以在接近位置時將物品支撐體28操作至後退位置，在遠離位置時，將物品支撐體28操作至突出位置。

被操作體43之長向中央部樞支連結於設置在固定框架體29上部之字形基體44，設置成於其連結處之第1搖動軸心P1周圍搖動自如。被操作體43使在位於接近位置之狀態下，從第1搖動軸心P1延伸至接近移動車3之側之第1被操作部份43a及從第1搖動軸心P1延伸至遠離移動車3之側之第2被操作部份43b上下具段差而形成一體。

被操作體43設置成以在第1搖動軸心P1周圍之搖動，在接近位置及遠離位置切換自如，且在接近位置(參照第9圖)，形成第1被操作部份43a比第1搖動軸心P1接近停止在物品移載處之移動車3之姿勢。於被操作體43之第1被操作部份43a設有在被操作體43位於接近位置之狀態下，沿著相對於遠近方向交叉之方向延伸至第1搖動軸心P1側之溝部45。此溝部45形成使接近停止於物品移載處之移動車3之側的前端沿著遠近方向開口之形狀。

設置使被操作體43之動作與物品支撐體28之動作聯繫之聯繫機構46，俾當被操作體43位於接近位置時，如第9圖所示，使物品支撐體28位於後退位置，當被操作體43位於遠離位置時，如第10圖所示，使物品支撐體28位於突出位置。

聯繫機構46由於上下軸心周圍搖動自如之第1連桿臂47、第2連桿臂48及第3連桿臂49三個連桿臂構成。第1連桿柿47之一端部樞支連結於被操作體43之第2被操作部份43b之一端部，且另一端部樞支連結於第2連桿臂48之長向之途中部份。第2連桿臂48之一端部樞支連結於基體44，且另一端部樞支連結於第3連桿臂49之一端部。第3連桿臂49之另一端部樞支連結於直立設置在固定框架體29之聯繫用被操作體39。

如第9圖及第10圖所示，於移動車3設有用以將物品支撐體28變更操作至後退位置與突出位置之操作機構50。操作機構50由固定於移動車3，於遠近方向呈長尺狀之基座51、相對於該基座51設置成於遠近方向移動自如之長尺狀操作體52、設置於該操作體52前端部之下面側之卡合輥53構成。操作機構50構造成以省略圖式之致動器之作動，使操作體52相對於基座51突出後退，進行使卡合輥53於遠近方向移動之突出作動及後退作動。附帶一提，移動車3設有用以變更操作在移動車3之行走方向位於右側之物品支撐體28之操作機構50及用以變更操作在移動車3之行走方向位於左側之物品支撐體28之操作機構50。

卡合輥53形成在前後方向與被操作體43之溝部45之寬度相同或較其小之直徑。藉此，卡合輥53構造成可以遠近方向之移動於被操作體43之溝部45自由卡合脫離。操作機構50構造成推拉式，此推拉式係藉突出作動使卡合輥卡合於溝部45，將被操作體43從接近位置按壓操作至遠離位置，且藉後退作動，使卡合輥53卡合於溝部45，將被操作體43從遠離位置拉抬操作至接近位置，之後，使卡合輥53從溝部45脫離。

操作機構50藉突出作動以卡合輥53使被操作體43從接近位置操作至遠離位置時，被操作體43位於遠離位置，藉此，將物品支撐體28操作至突出位置，使物品支撐體28從後退位置變更位置至突出位置。反之，操作機構50藉後退作動以卡合輥53使被操作體43從遠離位置操作至接近位置時，被操作體43位於接近位置，藉此，將物品支撐體28操作至後退位置，使物品支撐體28從突出位置變更位置至後退位置。

就使物品支撐體28於後退位置及突出位置變更時之動作作說明。

如第9圖所示，當被操作體43位於接近位置時，由於溝部45之開口部份於遠近方向開口，故藉操作機構50進行突出作動，卡合輥53移動至在遠近方向從移動車3突出之側，而從溝部45之開口嵌入而卡合。然後，卡合輥53在卡合於溝部45之狀態下，移動至在遠近方向從移動車3突出之側，藉此，卡合輥53一面按壓溝部45之側壁部，一面移動，而將被操作體43從接近位置按壓操作至遠離位置。被操作體從接近位置搖動至遠離位置時，第1連桿臂47、第2連桿臂48及第3連桿臂49依序搖動，使聯繫用被操作體39移動至接近移動車3之側。因而，藉聯繫用被操作體39所作之往接近移動車3之側之移動，使移動體30滑動移動，而如第10圖所示，使物品支撐體38從後退位置變更位置至突出位置。

如第10圖所示，當被操作體43位於遠離位置時，操作機構50進行後退作動時，卡合輥53在卡合於溝部45之狀態下，移動至接近移動車3之側，卡合輥53一面按壓溝部45之側壁部，一面移動，而將被操作體43從遠離置按壓操作至接近位置。被操作體43從遠離位置搖動至接近位置時，第1連桿臂47、第2連桿臂48及第3連桿臂49依序搖動，使聯繫用被操作體39移動至遠離移動車3之側。因而，藉聯繫用被操作體39所作之往遠離移動車3之側之移動，使移動體30滑動移動，而如第10圖所示，使物品支撐體28從物品接收用位置變更位置至物品保管用位置。如第9圖所示，當被操作體43位於接近位置時，由於溝部45之開口部份於遠近方向開口，故藉卡合輥53移動至接近移動車3之側，卡合輥53脫離溝部45，而後退至移動車3。

於移動車3設置控制移動車3之動作之車架用控制部。車架用控制部構造成依來自管理物品搬送設備全體之動作之管理用電腦之指令及設置於移動車3之各種感測器之檢測資訊，控制移動車3之移動及握持部4之升降動作，同時，控制握持動作用馬達27及操作機構50之作動。

舉例言之，從管理用電腦在從複數台7中界定搬運端及搬運標的之台7之狀態下，下了將容器5從搬運端台7搬運至搬運標的台7的搬運指令時，車架用控制部控制移動車3之動作，而從搬運端台7接收容器5，將容器5於搬運標的台7卸下。

從搬運端台7接收容器5時，首先車架用控制部控制移動車3之移動，而使移動車3移動至對應於搬運端台7之停止位置。接著，車架用控制部控制握持部4之升降作動，而在使移動車3停止於對應於搬運端台7之停止位置的狀態下，使握持部4從上升位置下降至下降位置。車架用控制部當握持部4位於下降位置時，使握持動作用馬達27作動，將一對握持具4a切換成握持姿勢，而以一對握持具4a握持容器5之凸緣5a，而接收容器5。之後，車架用控制部控制握持部4之升降作動，而使握持部4從下降位置上升至上升位置後，控制移動車3之移動，而使移動車3移動至對應於搬運標的台7之停止位置。

車架用控制部構造成當將移動車3停止於對應於搬運端台7之停止位置時，與從搬運端台7接收容器5之情形同樣地，藉控制握持部4之升降作動或握持動作用馬達27之作動，而將容器5於搬運標的台7卸下。

就從管理用電腦在複數物品支撐體28中界定移載對象之物品支撐體28之狀態下，下了將容器5保管於物品支撐體28之保管指令的情形作說明。

車架用控制部首先控制移動車3之移動，而使移動車3移動至對應於移載對象之物品支撐體28之物品移載處。接著，車架用控制部在使移動車3停止於對應於移載對象之物品支撐體28之物品移載處的狀態下，使操作機構50突出作動。藉操作機構50進行突出作動，使物品支撐體28從後退位置變更位置至突出位置。車架用控制部控制握持部4之升降作動，而使握持部從上升位置下降至接近其之位置後，使握持作動用馬達27作動，將一對握持具4a切換成解除姿勢，而從握持部4將容器5於位於物品接收用位置之物品支撐體28卸下。之後，車架用控制部控制握持部4之升降作動，而使握持部4上升至上升位置後，使操作機構50後退作動。然後，藉操作機構50進行後退作動，使物品支撐體28從突出位置變更位置至後退位置。

就從管理用電管下了在複數物品支撐體28中界定移載對象之物品支撐體28之狀態下，取出以物品支撐體28保管之容器5之取出指令的情形作說明。

車架用控制部與下保管指令之情形同樣地，藉控制移動車3之移動，使移動車3停止於對應於移載對象之物品支撐體28之物品移載處。然後，車架用控制部藉使操作機構50突出作動，使物品支撐體28從物品保管用位置變更位置至物品接收用位置。之後，車架用控制部控制握持部4之升降作動，而使握持部4從上升位置下降至接近其之位置後，使握持動作用馬達27作動，將一對握持具4a切換成握持姿勢，而從物品支撐體28將容器5接收至握持部4。車架用控制部控制握持部4之升降作動，而使握持部4上升至上升位置後，使操作機構50後退作動。藉操作機構50進行後退作動，使物品支撐體28從突出位置變更位置至後退位置。

[其他實施形態]

(1)在上述實施形態中，物品支撐體28設置成在突出位置，在與位於接近上升位置之位置的握持部4間接收容器5，而亦可將物品支撐體28設置成在突出位置，與位於上升位置之握持部4間接收容器5。

又，在突出位置，物品支撐體28在與握持部4間接收容器5之位置不限於接近上升位置之位置或上升位置，可為僅從上升位置下降設定高度之位置。此時，在使物品支撐體28位於突出位置之狀態下，藉使握持部4從上升位置下降設定高度，可進行在物品支撐體28與握持部4間之容器5之接收。

(2)在上述實施形態中，將物品支撐體28以沿引導軌道2排列之狀態設置複數個，設置物品支撐體28之數亦可適當變更。又，關於物品支撐體28之設置位置亦可相對於引導軌道2於左右兩側設置，亦可僅設置於引導軌道2之單側

(3)在上述實施形態中，於移動車3設有用以變更在移動車3之行走方向位於右側之物品支撐體28之操作機構50及用以變更操作在移動車3之行走方向位於左側之物品支撐體28之操作機構50二個操作機構50，亦可藉操作機構50於相對於移動車3之行走方向於右側及左側兩側具有後退突出自如之卡合輥，而於移動車3設置1個操作機構來執行。

(4)在上述實施形態中，物品顯示搬運收納有半導體基板之容器5之物品搬運設備，搬運之物品可適當變更。

產業之可利用性

本發明可適合利用於設有沿著經由相對於物品支撐體之物品移載處之天花板側之移動路徑移動自如的物品搬運體之物品搬運設備。

1．．．物品處理部

2．．．引導軌道

3．．．移動車

4．．．握持部

4a．．．握持具

5．．．容器

5a．．．凸緣

6．．．金屬線

7．．．台

8．．．引導軌道用托架

9．．．上方車體

10．．．連結桿

11．．．連結桿

12．．．下方車體

13．．．磁鐵

14．．．一次線圈

15．．．行走輪

16．．．行走引導面

17．．．止振輪

18．．．止振引導面

19．．．供電線

20．．．受電線圈

21．．．前後框架體

22．．．縱框架體

23．．．升降體

24．．．升降操作機構

25．．．鼓輪驅動用馬達

26．．．旋轉鼓輪

27．．．握持動作用馬達

28．．．物品支撐體

29．．．固定框架體

29a．．．側壁部

29b．．．底部

29c．．．引導軌道部

30．．．移動體

31．．．載置體

32．．．支撐軌道體

32a．．．承接支撐部

33．．．吊掛支撐部

33a．．．直立壁部份

33b．．．水平連結部份

34．．．支撐臂體

35．．．上部連結體

36．．．中間連結體

37．．．突出部

38a．．．第1引導輥

38b．．．第2引導輥

39．．．聯繫用被操作體

40．．．抵接載置部

41．．．移動限制部

41a．．．直立壁部份

42．．．遠近方向移動限制部

42a．．．直立壁部份

43．．．被操作體

43a．．．第1操作部份

43b．．．第2操作部份

45．．．溝部

46．．．聯繫機構

47．．．第1連桿臂

48．．．第2連桿臂

49．．．第3連桿臂

50．．．操作機構

51．．．基座

52．．．操作體

53．．．卡合輥

P1．．．第1搖動軸心

W．．．定立銷

第1圖係物品搬運設備之平面圖。

第2圖係移動車與台之側面圖。

第3圖係移動車之側面圖。

第4圖係移動車之縱正面圖。

第5圖係設置複數個物品支撐體時之立體圖。

第6(a)圖~第6(b)圖係物品支撐體之立體圖。

第7圖係物品支撐體之側面之立體圖。

第8圖係物品支撐體之分解立體圖。

第9圖係後退位置之物品支撐體之平面圖。

第10圖係突出位置之物品支撐體之平面圖。

5．．．容器

29．．．固定框架體

29a．．．側壁部

29b．．．底部

29c．．．引導軌道部

30．．．移動體

31．．．載置體

33．．．吊掛支撐部

33a．．．直立壁部份

33b．．．水平連結部份

34．．．支撐臂體

35．．．上部連結體

36．．．中間連結體

40．．．抵接載置部

41．．．移動限制部

41a．．．直立壁部份

42．．．遠近方向移動限制部

42a．．．直立壁部份

W．．．定位銷

Claims (6)

1. 一種物品搬運設備，係設有物品搬運體者，該物體搬運體沿著經由相對於物品支撐體之物品移載處的天花板側之移動路徑移動自如，前述物品支撐體相對於設置在天花板側之固定框架體，被支撐成在突出於接近前述移動路徑之側的物品接收用突出位置與後退至遠離前述移動路徑之側的後退位置移動自如，前述物品搬運體構造成在停止於前述物品移載處之狀態下，對前述突出位置之前述物品支撐體進行物品之交遞及接收者，又，前述物品支撐體具有：移動體，係相對於前述固定框架體被支撐成於相對於前述移動路徑之遠近方向移動自如，且形成從前述固定框架體延伸至下方之形狀者；及載置體，係設置成從前述移動體之下端部沿前述遠近方向延伸者，前述載置體係由抵接載置部與移動限制部構成，該抵接載置部設置成在沿著前述移動路徑之方向之前後方向，為物品寬度內之窄寬度，且從前述移動體下端部沿著前述遠近方向延伸，而移動限制部設置成從前述抵接載置部於沿著前述前後方向延伸，並具有抵接物品側面部之直立壁部份，且形成在遠近方向，寬度小於物品，前述移動限制部在載置於前述抵接載置部之物品 之相當於前述遠近方向之中央部的位置，設有第1移動限制部與第2移動限制部，前述第1移動限制部是由前述抵接載置部朝前述前後方向之一側延伸，前述第2移動限制部是由前述抵接載置部朝前述前後方向之另一側延伸。
2. 如申請專利範圍第1項之物品搬運設備，其中前述物品支撐體以在沿著前後方向相鄰之狀態設置複數個。
3. 如申請專利範圍第1或2項之物品搬運設備，其中前述抵接載置部形成在相對於遠近方向，寬度小於物品，並且設有遠近方向移動限制部，該遠近方向移動限制部設置成從前述抵接載置部於前述遠近方向延伸，並具有抵接物品側面部之直立壁部份，且形成在沿著前述前後方向，寬度小於前述抵接載置部。
4. 如申請專利範圍第1或2項之物品搬運設備，其中前述抵接載置部設有複數個孔部。
5. 如申請專利範圍第1或2項之物品搬運設備，其中前述固定框架體配設成與前述後退位置之前述物品支撐體在沿著前後方向及前述遠近方向重複。
6. 如申請專利範圍第1或2項之物品搬運設備，其中在前述遠近方向隔著間隔之一對固定框架體支撐用支撐軌道體以沿著前述移動路徑之狀態設置於天花板側，前述固定框架體以藉前述一對支撐軌道體各別之承接支撐部承接支撐之狀態吊掛支撐於前述一對支撐軌道體。