JP7302579B2 - 搬送車 - Google Patents

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Description

本発明は、物品を搬送する搬送車に関する。
上記のような搬送車の一例が、特開2012-64799号公報(特許文献1)に開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示す符号は特許文献1のものである。特許文献1には、物品を搬送する搬送車として、収納容器(4)を搬送する天井搬送車(A)が開示されている。この天井搬送車(A)は、走行経路(3)に沿って走行する走行部(11)と、収納容器(4)を保持する保持部(10)と、保持部(10)を走行部(11)に対して昇降させる昇降装置と、を備えている。
特許文献1では、収納容器(4)は、基板(5)を出し入れするための開口(6)が側面に形成されたオープンカセットである。保持部(10)に保持されている収納容器(4)の開口(6)から、基板(5)が飛び出すことを防止するために、特許文献1の天井搬送車(A)には、基板(5)の側面に接触する接触位置と基板(5)の側面から離間する離間位置とに移動可能な接触体(26)を備えた飛び出し防止機構(9)が設けられている。
特開2012-64799号公報
搬送車の走行時には保持装置に保持されている物品に振動が伝わりやすいため、特許文献1の飛び出し防止機構のような機構の有無にかかわらず、振動に対する許容度を高く確保しやすい保持姿勢で、物品が保持装置に保持されることが望ましい。特許文献1では、物品が側面に開口部を有する容器であるため、例えば開口部が斜め上方を向く傾斜姿勢が、収容物(特許文献1では基板)が開口部から物品の外部に移動し難い保持姿勢、すなわち、振動に対する許容度を高く確保しやすい保持姿勢となる。
上記のように、特定の保持姿勢(例えば、上記の傾斜姿勢)で物品が保持装置によって保持されることが望ましい場合があるが、所望の保持姿勢は、移載対象箇所(保持部との間で物品が移載される箇所)における物品の姿勢と必ずしも一致しない。例えば、特許文献1では、当該文献の図5に示されているように、物品は、傾斜姿勢ではなく、開口部が水平方向を向く水平姿勢で、移載対象箇所に配置される。このように所望の保持姿勢が移載対象箇所における物品の姿勢と異なる場合に、物品を所望の保持姿勢で保持するために物品の姿勢を変更する機構を移載対象箇所に設けて、保持装置と移載対象箇所との間での物品の移載動作とは別に移載対象箇所において物品の姿勢変更動作を行うと、物品の処理効率が低下するおそれがある。
そこで、移載対象箇所における物品の姿勢にかかわらず、物品を所望の保持姿勢で保持装置によって保持することが可能な技術の実現が望まれる。
本開示に係る搬送車は、物品を搬送する搬送車であって、移動経路に沿って移動する本体部と、前記物品を保持する保持装置と、前記保持装置を前記本体部に対して昇降させる昇降装置と、を備え、前記物品は、当該物品の底面と平行に配置される面であって、下方を向く被支持面が形成された被保持部を備え、前記保持装置は、前記被支持面を下方から支持する支持部材がそれぞれ連結された一対の支持部と、一対の前記支持部を第1方向に互いに接近及び離間させる保持駆動部と、を備え、一対の前記支持部のそれぞれにおいて、前記第1方向における他方の前記支持部に近づく側を第1方向第1側とし、前記第1方向における他方の前記支持部から離れる側を第1方向第2側として、前記支持部材は、前記支持部との連結部を支点として揺動可能に前記支持部に連結され、一対の前記支持部材のそれぞれにおける前記連結部とは反対側の先端部が、前記連結部よりも上方であって前記被保持部よりも下方に配置され、且つ、前記被保持部の前記第1方向の幅よりも大きい間隔で配置された一対の前記先端部の間に前記物品が位置する状態を、保持準備状態とし、前記保持準備状態よりも一対の前記支持部が前記第1方向に互いに接近し、一対の前記支持部材のそれぞれの前記先端部又は当該先端部に連結された部材が前記被支持面に対して下方から接して前記物品を支持する状態を保持状態として、一対の前記支持部材は、前記保持準備状態から前記保持状態に移行する間に、それぞれの前記先端部が、前記第1方向第2側へ移動しつつ上方へ向かう方向に前記支点周りに揺動して、前記被支持面を上方へ持ち上げる。
本構成によれば、保持準備状態から一対の支持部を互いに接近させて保持状態に移行させることで、移載対象箇所に配置されている物品を保持装置によって保持することができる。この際、物品の底面と平行に配置される被支持面を一対の支持部材のそれぞれの先端部によって上方へ持ち上げて物品を保持することができる。そのため、移載対象箇所における物品の姿勢が所望の保持姿勢と同じである場合には、向きを変えずに被支持面を持ち上げるように保持装置を構成することで、物品を所望の保持姿勢で保持することができる。また、移載対象箇所における物品の姿勢が所望の保持姿勢と異なる場合には、向きを所望の保持姿勢での向きに変化させながら被支持面を持ち上げるように保持装置を構成することで、物品を所望の保持姿勢で保持することができる。
このように、本構成によれば、一対の支持部材のそれぞれの先端部によって被支持面を上方へ持ち上げて物品を保持するように保持装置を構成することで、移載対象箇所における物品の姿勢にかかわらず、物品を所望の保持姿勢で保持装置によって保持することが可能となっている。そして、本構成では、被支持面を上方へ持ち上げる動作を、一対の支持部を接近させる動作と並行して行うことができるため、物品の処理効率の低下を抑制しつつ本開示の搬送車を実現することができる。
搬送車の更なる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。
搬送車の斜視図 搬送車の正面図 保持装置と移載対象箇所との間で物品が移載される状況を示す図 保持準備状態の説明図 保持準備状態の説明図 保持状態の説明図 保持状態の説明図 支持部及びその近傍の斜視図 制御ブロック図 その他の実施形態に係る支持部及びその近傍の斜視図 その他の実施形態に係る支持部及びその近傍の斜視図 その他の実施形態に係る保持状態の説明図 その他の実施形態に係る保持状態の説明図
搬送車の実施形態について、図面を参照して説明する。
搬送車1は、図3に例示するような物品搬送設備100において、移動経路2に沿って走行して物品90を搬送する。図1~図3に示すように、搬送車1は、移動経路2に沿って移動する本体部10と、物品90を保持する保持装置20と、保持装置20を本体部10に対して昇降させる昇降装置50と、を備えている。ここで、移動経路2の長手方向(移動経路2が延びる方向)を経路長手方向Lとし、移動経路2の幅方向を経路幅方向Wとする。経路幅方向Wは、経路長手方向L及び鉛直方向Vの双方に直交する方向である。また、搬送車1を基準として定義される方向(すなわち、搬送車1の姿勢に応じて変化する方向)であって、移動経路2に配置された状態で経路長手方向Lに沿う方向を車体前後方向Xとし、搬送車1を基準として定義される方向であって、移動経路2に配置された状態で経路幅方向Wに沿う方向を車体左右方向Yとする。
移動経路2は、物理的に形成されても仮想的に設定されてもよい。本実施形態では、移動経路2は、レール3を用いて物理的に形成されている。具体的には、物品搬送設備100は、移動経路2に沿って配置されたレール3(ここでは、経路幅方向Wに間隔を空けて配置された一対のレール3)を備えており、本体部10は、レール3に沿って移動する。また、本実施形態では、レール3は、天井4から吊り下げ支持されており、移動経路2は、天井4に沿って形成されている。すなわち、本実施形態では、搬送車1は、天井4に沿って形成された移動経路2に沿って走行する天井搬送車である。なお、搬送車1は、天井搬送車以外の搬送車であってもよい。
図1及び図2に示すように、本体部10は、レール3(ここでは、一対のレール3)の走行面を転動する車輪12を備えた走行部11と、走行部11に連結されたカバー部14と、を備えている。レール3の走行面は、鉛直方向Vの上方V1を向く面であり、車輪12は、鉛直方向Vに直交する軸心周りに回転する。走行部11は、車輪12を回転させる走行駆動部70(例えば、サーボモータ等の電動モータ、図9参照)を備えており、車輪12が走行駆動部70により回転駆動されることで、走行部11がレール3に沿って走行する。図2に示すように、本実施形態では、走行部11は、レール3の案内面を転動する案内輪13を備えており、走行部11は、案内輪13がレール3の案内面に接触案内された状態で、レール3に沿って走行する。レール3の案内面は、経路幅方向Wの内側(一対のレール3の間の経路幅方向Wの中心位置に向かう側)を向く面であり、案内輪13は、鉛直方向Vに沿う軸心周りに回転する(本例では、遊転する)。図1に示す例では、本体部10は、走行部11を、車体前後方向Xに並ぶように一対備えている。
図1に示すように、本実施形態では、カバー部14は、走行部11に対して鉛直方向Vの下方V2に配置された状態で、走行部11に支持されている。搬送車1の走行時には、保持装置20に保持された状態の物品90は、カバー部14の内部空間に配置される。図1に示すように、本実施形態では、カバー部14の内部空間は、車体前後方向Xの両側が閉じられていると共に、車体左右方向Yの少なくとも一方側が開放されている。よって、カバー部14の内部空間に配置された物品90は、カバー部14の壁部によって少なくとも車体前後方向Xの両側から覆われる。
物品90の種類はこれに限定されないが、図2に示すように、本実施形態では、物品90は、側面90bに開口部92を有する容器である。開口部92は、物品90に対して収容物を出し入れするために設けられており、開口部92を介して物品90に対する収容物の出し入れが行われる。開口部92とは別の開口(例えば、軽量化や洗浄のための開口、或いは物品90の構造上形成される開口)が、物品90の側面90bに形成されていてもよいが、物品90に収容されている収容物は、開口部92を通らなければ物品90の外部に移動できないように、物品90が構成されている。本実施形態では、ガラス基板や半導体ウェハ等の基板93(収容物の一例)が、物品90に収容される。また、本実施形態では、物品90は、複数枚の基板93を上下方向(底面90cが水平に配置された状態で鉛直方向Vに沿う方向)に並べて収容可能に構成されている。
本実施形態では、物品90は、開口部92を閉じる蓋を備えていない。例えば、オープンカセットを物品90として用いることができる。物品90が、開口部92を閉じする蓋を備える構成とすることもできる。この場合、例えば、FOUP(Front Opening Unified Pod)を物品90として用いることができる。
昇降装置50は、保持装置20を昇降させる昇降駆動部71(例えば、サーボモータ等の電動モータ、図9参照)を備えている。昇降装置50は、第1位置P1(図2及び図3参照)と、第1位置P1よりも下方V2の第2位置P2(図3参照)との間で、保持装置20を昇降させる。第1位置P1は、昇降方向(鉛直方向V)の上端の位置である。第1位置P1は、本体部10が移動する場合の保持装置20の鉛直方向Vの位置である。すなわち、第1位置P1は、搬送車1の走行時における保持装置20の位置である。本実施形態では、第1位置P1は、保持装置20に保持された状態の物品90がカバー部14の内部空間に配置されるような保持装置20の位置である。また、第2位置P2は、保持装置20による物品90の保持及び保持解除を行う場合の保持装置20の鉛直方向Vの位置である。すなわち、第2位置P2は、保持装置20による物品90の保持及び保持解除を行う位置であり、言い換えれば、保持装置20と移載対象箇所6との間での物品90の移載時における保持装置20の位置である。第2位置P2は、各移載対象箇所6の高さ(鉛直方向Vの位置)に応じて設定される。
図3では、移載対象箇所6の一例として、処理装置5に隣接して配置されるロードポートを示している。処理装置5は、物品90を処理対象とする装置であり、本実施形態では、物品90から取り出された基板93に対して処理を行う。図3に示すように、物品90は、開口部92が処理装置5側を向くように移載対象箇所6に配置される。本実施形態では、物品90は、底面90cが水平面に沿う水平姿勢S2で移載対象箇所6に配置される。水平姿勢S2は、開口部92が水平方向を向く姿勢であるため、物品90を水平姿勢S2で移載対象箇所6に配置することで、移載対象箇所6において、開口部92を介した基板93の物品90に対する出し入れが行いやすくなっている。
図2に簡略化して模式的に示すように、昇降装置50は、回転駆動される回転体51と、回転体51に巻き取り及び繰り出し自在に巻回されていると共に保持装置20に連結された伝動部材52と、を備えている。昇降装置50は、更に、回転体51を回転駆動する上述した昇降駆動部71(図9参照)を備えている。回転体51及び昇降駆動部71は、本体部10に支持されており、本実施形態では、カバー部14の内部空間における上方V1の部分に配置されている。例えば、伝動部材52がベルトであり、回転体51がベルトを巻き取る巻取プーリである構成とし、或いは、伝動部材52がワイヤであり、回転体51がワイヤを巻き取る巻取ドラムである構成とすることができる。図3に示すように、伝動部材52における回転体51から繰り出される先端側に設けられた連結部52aが、保持装置20に連結されている。昇降装置50は、回転体51を昇降駆動部71の駆動により回転させて、伝動部材52を巻き取り又は繰り出すことで、保持装置20を上昇又は下降させる(すなわち、昇降させる)。このように、昇降装置50は、保持装置20を吊り下げ支持した状態で、保持装置20を昇降させる。
図2及び図3に示すように、本実施形態では、昇降装置50は、複数の回転体51を備えており、複数の回転体51のそれぞれに伝動部材52が巻回されている。図2及び図3に示す例では、昇降装置50は、3つの回転体51を備えている。そして、複数の伝動部材52(本例では、3つの伝動部材52)のそれぞれの連結部52aが、保持装置20に連結されている。複数の連結部52aは、保持装置20における互いに異なる部分に連結されている。なお、図2及び図3では、昇降装置50が複数の回転体51を備えていることを示すために、複数の回転体51をそれぞれ別軸に配置しているが、複数の回転体51は、同軸に並べて配置されてもよい。また、図3では、伝動部材52の連結部52aが、当該伝動部材52が巻回された回転体51の直下に配置されているが、伝動部材52における回転体51から繰り出された部分が、案内用回転体(案内用プーリ等)に巻き掛けられ、伝動部材52の連結部52aが、当該案内用回転体の直下に配置される構成としてもよい。
図4及び図5に示すように、物品90は、被支持面91aが形成された被保持部91を備えている。被支持面91aは、物品90の底面90cと平行に配置される面であって、下方V2を向く面である。図4及び図6に示すように、保持装置20は、被支持面91aを下方V2から支持する支持部材30がそれぞれ連結された一対の支持部21を備えており、一対の支持部21を用いて物品90を保持する。図2に示す例では、保持装置20は、物品90を上方V1から保持する。以下では、一対の支持部21の一方に連結された支持部材30と、一対の支持部21の他方に連結された支持部材30とを併せて、一対の支持部材30という。
本実施形態では、物品90の上面90aを構成する上面部(例えば、板状の天板部)が、被保持部91として用いられている。図4に示すように、被保持部91は、物品90の側面90bに対して外側(水平方向の外側)に突出する突出部分を有するように形成されており、当該突出部分の下面が被支持面91aを構成している。なお、被保持部91の構成はこれに限定されず、例えば、物品90の側面90bを構成する側面部に被保持部91が形成される構成とすることもできる。
保持装置20は、一対の支持部21を第1方向Aに互いに接近及び離間させる保持駆動部72(例えば、ソレノイドや電動モータ、図9参照)を備えている。第1方向Aは、一対の支持部21の並び方向(ここでは、水平面に沿う水平方向)であり、一対の支持部21は、第1方向Aに離間して配置されている。一対の支持部21は、保持装置20における伝動部材52(具体的には、連結部52a)が連結された部分(本体部)に、第1方向Aに移動可能に支持されている。そして、保持駆動部72は、一対の支持部21のそれぞれを第1方向Aに沿って移動させて、一対の支持部21を互いに接近及び離間させる。
図2に示すように、本実施形態では、保持装置20は、底面90cが水平面に対して傾斜した(例えば、5度傾斜した)傾斜姿勢S1で物品90を保持する。具体的には、保持装置20は、開口部92が斜め上方を向く姿勢(傾斜姿勢S1の一例)で物品90を保持する。なお、開口部92を介した収容物(本実施形態では、基板93)の出し入れが行われる際の収容物の移動方向に沿って、物品90の外部に向かう方向を、開口部92の向きとする。保持装置20がこのように物品90を保持するため、図3に示すように、保持装置20が第1位置P1に位置する状態や、保持装置20が第1位置P1と第2位置P2との間の第3位置P3に位置する状態で、物品90は傾斜姿勢S1で保持装置20に保持される。
図2では、一対の支持部21が車体前後方向X(図1参照)に互いに接近及び離間する向きで(すなわち、第1方向Aが車体前後方向Xに沿う向きで)、保持装置20が配置される場合を例示しているが、一対の支持部21が車体左右方向Yに互いに接近及び離間する向きで(すなわち、第1方向Aが車体左右方向Yに沿う向きで)、保持装置20が配置されてもよい。また、図1~図3では、開口部92が車体左右方向Yの一方側を向く向きで、物品90が保持装置20に保持される場合を例示しているが、開口部92が車体前後方向Xの一方側を向く向きで、物品90が保持装置20に保持されてもよい。なお、搬送車1が、保持装置20を本体部10に対して鉛直方向Vに沿う軸心周りに回転させる機構を備える構成とすることもできる。物品90に収容されている基板93が、搬送車1の走行時に開口部92から物品90の外部に移動することをより確実に防止するという観点から、開口部92がカバー部14の壁部を向く向きで、物品90が保持装置20に保持される構成とすると好適である。
図8に示すように、支持部材30は、支持部21との連結部30aを支点として揺動可能に支持部21に連結されている。連結部30aには、支持部21と支持部材30とを上記支点周りに相対回転可能に連結する部材(例えば、ヒンジ)が設けられている。平面視で第1方向Aに直交する方向(ここでは、水平方向)を第2方向Bとして、支持部材30は、第2方向Bに沿う軸心周りに揺動可能に支持部21に連結されている。一対の支持部21のそれぞれにおいて、第1方向Aにおける他方の支持部21に近づく側を第1方向第1側A1とし、第1方向Aにおける他方の支持部21から離れる側を第1方向第2側A2として、支持部材30における連結部30aとは反対側の先端部30bは、当該支持部材30が連結された支持部21に対して第1方向第1側A1に配置されている。よって、図4に示すように、一対の先端部30b(一対の支持部材30の一方の先端部30bと他方の先端部30b)は、一対の支持部21の第1方向Aの間に配置される。
支持部材30の先端部30bは、支持部材30の本体部(連結部30aと先端部30bとを接続する部分)と同じ材質で形成されても異なる材質で形成されてもよいが、本実施形態では、後述するように、先端部30bが被支持面91aに対して下方V2から接した状態で物品90が保持装置20に保持される。そのため、先端部30bは、被支持面91aと先端部30bとの間の摩擦力を適切に確保できる材質(例えば、ゴム)で形成されると好適である。なお、図4等では先端部30bの形状を球状としているが、各図における各部の寸法や形状は概念的なものであり、実際の寸法や形状はこれに限定されない。
本実施形態では、一対の支持部21の一方及びそれに連結された支持部材30と、一対の支持部21の他方及びそれに連結された支持部材30とが、一対の支持部21の間の第1方向Aの中心位置において第1方向Aに直交する面を対称面として、互いに鏡像対称の関係となるように構成されている。そのため、図8に示す支持部21と対をなす支持部21及びそれに連結された支持部材30は、図8に示す支持部21及びそれに連結された支持部材30を、第1方向Aに反転させた構成を有する。
図8に示すように、本実施形態では、支持部材30は、第2方向Bに離間して配置された一対の揺動部材である第1揺動部材41と第2揺動部材42とを備えている。よって、支持部21と支持部材30とを連結する連結部30aは、第1揺動部材41が支持部21に連結される第1連結部41aと、第2揺動部材42が支持部21に連結される第2連結部42aと、を備えている。第1揺動部材41の先端部30bを第1先端部41bとし、第2揺動部材42の先端部30bを第2先端部42bとすると、本実施形態では、支持部材30の先端部30bには、当該支持部材30が備える第1揺動部材41の第1先端部41bと、当該支持部材30が備える第2揺動部材42の第2先端部42bとが含まれる。以下では、第1揺動部材41と第2揺動部材42とに共通の事項について述べる場合には、これらを区別せずに支持部材30として説明し、第1先端部41bと第2先端部42bとに共通の事項について述べる場合には、これらを区別せずに先端部30bとして説明し、第1連結部41aと第2連結部42aとに共通の事項について述べる場合には、これらを区別せずに連結部30aとして説明する。
第1揺動部材41は、第1連結部41aを支点として揺動可能に(具体的には、第2方向Bに沿う軸心周りに揺動可能に)支持部21に連結され、第2揺動部材42は、第2連結部42aを支点として揺動可能に(具体的には、第2方向Bに沿う軸心周りに揺動可能に)支持部21に連結されている。第1揺動部材41や第2揺動部材42の形状はこれに限定されないが、本実施形態では、第1揺動部材41及び第2揺動部材42は、バー等の棒状部材とされており、長手方向の一端側が、連結部30aを介して支持部21に連結されている。以下では、一対の支持部材30の一方が備える第1揺動部材41と、一対の支持部材30の他方が備える第1揺動部材41とを併せて、一対の第1揺動部材41といい、一対の支持部材30の一方が備える第2揺動部材42と、一対の支持部材30の他方が備える第2揺動部材42とを併せて、一対の第2揺動部材42という。
ここで、一対の支持部材30のそれぞれの先端部30bが、連結部30aよりも上方V1であって被保持部91よりも下方V2に配置され、且つ、被保持部91の第1方向Aの幅(以下、「被保持部幅」という)よりも大きい間隔で配置された一対の先端部30bの間に物品90(具体的には、移載対象箇所6に配置されている物品90)が位置する状態を、保持準備状態とする。保持準備状態では、一対の先端部30bのそれぞれが物品90から離間して配置される。本実施形態では、図4において支持部21及び支持部材30が実線で示される状態が、保持準備状態である
なお、支持部材30の先端部30bが連結部30aよりも上方V1に配置されるとは、支持部材30の先端部30bが、当該支持部材30と支持部21とを連結する連結部30aよりも上方V1に配置されることを意味する。本実施形態では、一対の支持部材30の一方と他方とが上述した鏡像対称の関係となるように配置されるため、一対の支持部材30の一方と支持部21とを連結する連結部30aは、一対の支持部材30の他方と支持部21とを連結する連結部30aと同じ高さに配置される。また、本実施形態では、支持部材30の先端部30bが連結部30aよりも上方V1に配置されるとは、第1揺動部材41の第1先端部41bが第1連結部41aよりも上方V1に配置され、且つ、第2揺動部材42の第2先端部42bが第2連結部42aよりも上方V1に配置されることを意味する。
また、支持部材30の先端部30bが被保持部91よりも下方V2に配置されるとは、先端部30bが、被保持部91における後述する保持状態において当該先端部30bが接する部分に対して下方V2に配置されることを意味する。本実施形態では、物品90は水平姿勢S2で移載対象箇所6に配置されるため、物品90が移載対象箇所6に配置された状態で被保持部91(具体的には、被支持面91a)は水平面に沿って配置され、一対の先端部30bは、保持準備状態で、被保持部91の全体よりも下方V2に配置される。また、本実施形態では、支持部材30の先端部30bが被保持部91よりも下方V2に配置されるとは、第1揺動部材41の第1先端部41bが被保持部91よりも下方V2に配置され、且つ、第2揺動部材42の第2先端部42bが被保持部91よりも下方V2に配置されることを意味する。
本実施形態では、被保持部幅よりも大きい間隔で配置された一対の先端部30bの間に物品90が位置するとは、被保持部幅よりも大きい間隔で配置された一対の第1先端部41b(一対の第1揺動部材41の一方の第1先端部41bと他方の第1先端部41b)の間に物品90が位置し、且つ、被保持部幅よりも大きい間隔で配置された一対の第2先端部42b(一対の第2揺動部材42の一方の第2先端部42bと他方の第2先端部42b)の間に物品90が位置することを意味する。
また、保持準備状態よりも一対の支持部21が第1方向Aに互いに接近し、一対の支持部材30のそれぞれの先端部30b又は当該先端部30bに連結された部材が被支持面91aに対して下方V2から接して物品90を支持する状態を、保持状態とする。本実施形態では、保持状態では、一対の支持部材30のそれぞれの先端部30bが、被支持面91aに対して下方V2から接する。また、本実施形態では、保持状態では、一対の支持部材30は、被支持面91aを水平面に対して傾斜させて支持する。本実施形態では、図6において支持部21及び支持部材30が実線で示される状態が、保持状態である。本実施形態では、支持部材30が第1揺動部材41及び第2揺動部材42を備えている。よって、図6及び図7に示すように、保持状態では、一対の第1揺動部材41のそれぞれの第1先端部41b及び一対の第2揺動部材42のそれぞれの第2先端部42bが、被支持面91aに対して下方V2から接する。
保持装置20が上述した第2位置P2(図3参照)に配置されている状態で、保持準備状態を実現可能な高さに一対の支持部21が配置される。そして、保持装置20による物品90の保持を行う場合には、保持装置20が第2位置P2に配置されている状態で、保持準備状態から保持状態へ移行するように一対の支持部21が駆動され、保持装置20による物品90の保持解除を行う場合には、保持装置20が第2位置P2に位置する状態で、保持状態から保持解除状態へ移行するように一対の支持部21が駆動される。なお、保持解除状態は、保持準備状態と同じ状態であり、以下では、保持解除状態も含めて保持準備状態という。
保持装置20による物品90の保持を行う場合、一対の支持部材30は、保持準備状態から保持状態に移行する間に、それぞれの先端部30bが、第1方向第2側A2へ移動しつつ上方V1へ向かう方向に支点周りに揺動して、被支持面91aを上方V1へ持ち上げる。具体的に説明すると、上述したように、保持準備状態では、一対の支持部材30のそれぞれの先端部30bが、連結部30aよりも上方V1であって被保持部91よりも下方V2に配置される。そのため、保持準備状態から一対の支持部21を第1方向Aに互いに接近させることで、一対の先端部30bのそれぞれを、物品90の側面90bに接する位置(図4において二点鎖線で示す先端部30bの位置)まで、物品90の被支持面91aの下方V2を第1方向第1側A1に移動させることができる。すなわち、保持準備状態から一対の支持部21を第1方向Aに互いに接近させることで、移載対象箇所6に配置されている物品90の側面90b(具体的には、側面90bにおける被支持面91aよりも下方V2の部分)に一対の先端部30bのそれぞれが接する中間状態(図4において支持部21及び支持部材30が二点鎖線で示される状態)が実現される。本実施形態では、中間状態では、一対の第1先端部41bのそれぞれ及び一対の第2先端部42bのそれぞれが、物品90の側面90bに接する。
保持準備状態での一対の先端部30bの高さは、中間状態での先端部30bと被支持面91aとの隙間が所望の大きさとなるように設定される。保持準備状態と保持状態との間の状態の移行に要する時間の短縮の観点から、この隙間は小さく設定されると好適であり、この隙間がゼロとなるように(すなわち、中間状態で先端部30bが被支持面91aに接するように)、保持準備状態での一対の先端部30bの高さを設定してもよい。この場合、一対の先端部30bのそれぞれは、物品90の側面90bに接する位置まで被支持面91aに接触しながら移動する。
中間状態から更に一対の支持部21を第1方向Aに互いに接近させると、一対の支持部材30は、それぞれの先端部30bが第1方向第2側A2へ移動しつつ上方V1へ向かう方向に支点周りに揺動する。本実施形態では、一対の第1揺動部材41が、それぞれの第1先端部41bが第1方向第2側A2へ移動しつつ上方V1へ向かう方向に支点周りに揺動し、一対の第2揺動部材42が、それぞれの第2先端部42bが第1方向第2側A2へ移動しつつ上方V1へ向かう方向に支点周りに揺動する。なお、図6では、中間状態での支持部21及び支持部材30を二点鎖線で示し、図7では、中間状態での先端部30bを二点鎖線で示している。一対の支持部材30は、一対の支持部21が第1方向Aに互いに接近しながら上記のように揺動するため、一対の先端部30b(本実施形態では、一対の第1先端部41b及び一対の第2先端部42b)は、第1方向Aの同じ位置で上方V1に移動する。これにより、被支持面91aが一対の先端部30bの上方V1への移動によって上方V1へ持ち上げられて、保持状態(図6において支持部21及び支持部材30が実線で示される状態)が実現される。
保持装置20による物品90の保持解除を行う場合、一対の支持部材30は、保持状態から保持準備状態に移行する間に、それぞれの先端部30bが、第1方向第1側A1へ移動しつつ下方V2へ向かう方向に支点周りに揺動して、被支持面91aを下方V2へ下ろす。具体的に説明すると、保持状態(図6において支持部21及び支持部材30が実線で示される状態)から一対の支持部21を第1方向Aに互いに離間させると、一対の支持部材30は、それぞれの先端部30bが、第1方向第1側A1へ移動しつつ下方V2へ向かう方向に支点周りに揺動する。本実施形態では、一対の第1揺動部材41が、それぞれの第1先端部41bが第1方向第1側A1へ移動しつつ下方V2へ向かう方向に支点周りに揺動し、一対の第2揺動部材42が、それぞれの第2先端部42bが第1方向第1側A1へ移動しつつ下方V2へ向かう方向に支点周りに揺動する。一対の支持部材30は、一対の支持部21が第1方向Aに互いに離間しながら上記のように揺動するため、一対の先端部30b(本実施形態では、一対の第1先端部41b及び一対の第2先端部42b)は、第1方向Aの同じ位置で下方V2に移動する。これにより、被支持面91aが一対の先端部30bの下方V2への移動によって下方V2へ下ろされ、物品90が移載対象箇所6に配置されるまで被支持面91aが下降すると、中間状態(図4において支持部21及び支持部材30が二点鎖線で示される状態)が実現される。
中間状態から更に一対の支持部21を第1方向Aに互いに離間させると、一対の先端部30bのそれぞれが、これら一対の先端部30bの間隔が被保持部幅よりも大きくなる位置まで、移載対象箇所6に配置されている物品90の被支持面91aの下方V2を第1方向第2側A2に移動して、保持準備状態が実現される。
以上のように、保持装置20による物品90の保持を行う場合には、物品90の被支持面91aを上方V1へ持ち上げるように一対の支持部材30が揺動され、保持装置20による物品90の保持解除を行う場合には、物品90の被支持面91aを下方V2へ下ろすように一対の支持部材30が揺動される。そして、本実施形態では、一対の支持部材30を揺動駆動するアクチュエータは設けられておらず、保持装置20による物品90の保持及び保持解除を適切に行うために、以下に述べる付勢機構61及び規制機構62(図8参照)を搬送車1(具体的には、保持装置20)に設けている。
付勢機構61は、先端部30bが第1方向第1側A1へ移動しつつ下方V2へ向かって揺動する方向に、支持部材30を付勢する機構である。先端部30bが第1方向第1側A1へ移動しつつ下方V2へ向かって揺動する方向は、図8において、先端部30bが二点鎖線で示す位置から実線で示す位置へ揺動する方向である。なお、図8や後に参照する図10及び図11では、保持準備状態での支持部材30を実線で示し、保持状態での支持部材30を二点鎖線で示している。図8に示すように、本実施形態では、第1揺動部材41を付勢する付勢機構61と、第2揺動部材42を付勢する付勢機構61とが、各別に設けられている。付勢機構61は、例えば、ねじりコイルばね等のばね部材を用いた機構とすることができる。なお、後に参照する図10及び図11では、付勢機構61の図示を省略している。
規制機構62は、先端部30bが連結部30aよりも規定高さH以上上方V1に配置される範囲内に、支持部材30の揺動範囲を規制する機構である。規定高さHは、保持準備状態での連結部30aを基準とする先端部30bの高さ(すなわち、連結部30aと先端部30bとの鉛直方向Vの位置の差)に設定される。連結部30aよりも規定高さH上方V1の高さを下限高さとして、規制機構62は、先端部30bが下限高さよりも下方V2に移動することを規制することで、上記の範囲内に支持部材30の揺動範囲を規制する。規制機構62は、例えば、図8に模式的に示すように、一端が支持部21に連結され他端が支持部材30に連結された紐状部材の張力によって、先端部30bが下限高さよりも下方V2に移動することを規制する機構とし、或いは、図示は省略するが、支持部21に固定された当接部材の支持部材30への当接によって、先端部30bが下限高さよりも下方V2に移動することを規制する機構とすることができる。
図8に示すように、本実施形態では、第1揺動部材41の揺動範囲を記載する規制機構62と、第2揺動部材42の揺動範囲を規制する規制機構62とが、各別に設けられている。第1揺動部材41の揺動範囲を記載する規制機構62は、第1先端部41bが第1連結部41aよりも第1規定高さH1以上上方V1に配置される範囲内に、第1揺動部材41の揺動範囲を規制する。第1揺動部材41については、上述した下限高さは、第1連結部41aよりも第1規定高さH1上方V1の高さとなる。また、第2揺動部材42の揺動範囲を記載する規制機構62は、第2先端部42bが第2連結部42aよりも第2規定高さH2以上上方V1に配置される範囲内に、第2揺動部材42の揺動範囲を規制する。第2揺動部材42については、上述した下限高さは、第2連結部42aよりも第2規定高さH2上方V1の高さとなる。図5に示すように、本実施形態では、2つの規定高さHである第1規定高さH1と第2規定高さH2とが、互いに異なる大きさに設定されている。
上記のような付勢機構61及び規制機構62が設けられるため、第1方向第1側A1へ移動しつつ下方V2へ向かって揺動する方向の力を付勢機構61によって先端部30bに作用させつつ、下限高さよりも下方V2に先端部30bが移動することを規制機構62によって規制することができる。よって、保持準備状態では、図4及び図5に示すように、先端部30bが連結部30aよりも規定高さH上方に配置された状態(本実施形態では、第1先端部41bが第1連結部41aよりも第1規定高さH1上方に配置され、且つ、第2先端部42bが第2連結部42aよりも第2規定高さH2上方に配置された状態)を適切に維持することができる。一方、保持状態では、図6に示すように、付勢機構61の付勢力に応じて先端部30bに作用する力によって、物品90を第1方向Aの両側から挟むように一対の先端部30b(本実施形態では、一対の第1先端部41b及び一対の第2先端部42b)を物品90に押し当てておくことができるため、保持状態を適切に維持することができる。
また、保持準備状態から保持状態への移行時(具体的には、中間状態から保持状態への移行時)には、付勢機構61の付勢力に応じて先端部30bに作用する力によって先端部30bを物品90に押し当てながら、物品90との接触による反力によって先端部30bを第1方向第2側A2へ移動しつつ上方V1へ向かう方向(すなわち、付勢機構61の付勢力に抗する方向)に揺動させて、被支持面91aを持ち上げることができる。一方、保持状態から保持準備状態への移行時(具体的には、保持状態から中間状態への移行時)には、付勢機構61の付勢力に応じて先端部30bに作用する力によって先端部30bを物品90に押し当てながら、先端部30bを第1方向第1側A1へ移動しつつ下方V2へ向かう方向に揺動させて、被支持面91aを下ろすことができる。よって、保持準備状態と保持状態との間の状態の移行時(具体的には、中間状態と保持状態との間の状態の移行時)に、被支持面91aを安定的に昇降させることができる。
ところで、図3に示すように、本実施形態では、移載対象箇所6における物品90の姿勢が水平姿勢S2とされている。そのため、物品90が移載対象箇所6に配置されている状態では、被支持面91aは水平面に沿うように配置され、これに合わせて、保持準備状態では、一対の先端部30b(本実施形態では、一対の第1先端部41b及び一対の第2先端部42b)が同じ高さに配置される(図4、図5参照)。また、保持準備状態では、一対の支持部材30のそれぞれにおいて、第1先端部41bと第2先端部42bとが第1方向Aの同じ位置に配置される。
一方、図6及び図7に示すように、本実施形態では、保持状態では、一対の支持部材30のそれぞれにおいて、第2先端部42bが、第1先端部41bと第1方向Aの同じ位置で、第1先端部41bよりも上方V1に配置される。また、保持状態では、一対の第1先端部41bが同じ高さに配置され、一対の第2先端部42bが同じ高さに配置される。そのため、保持状態では、被支持面91aは、第2方向Bに対して傾斜した姿勢で、一対の支持部材30により支持される。被支持面91aの水平面に対する傾斜角度(本実施形態では、第2方向Bに対する傾斜角度)は、第1先端部41bと第2先端部42bとの高低差に応じて定まり、例えば5度とされる。第2方向Bにおける第1先端部41bに対して第2先端部42bが配置される側(図7における左側)を第2方向第1側として、保持状態では、第2方向第1側へ向かうに従って上方V1へ向かう方向に傾斜した姿勢で、被支持面91aが一対の支持部材30により支持される。そして、物品90は、開口部92が平面視で第2方向第1側を向く向きで保持装置20によって保持され、これにより、物品90は、開口部92が斜め上方を向く傾斜姿勢S1で保持装置20に保持される。
保持準備状態及び保持状態において一対の第1先端部41b及び一対の第2先端部42bが上記のように配置されるため、保持装置20による物品90の保持や保持解除を行う場合には、被支持面91aの第2方向Bに対する傾斜角度を変化させるように、被支持面91aを昇降させることができる。本実施形態では、保持装置20による物品90の保持を行う場合には、被支持面91aの第2方向Bに対する傾斜角度が0度から増大するように被支持面91aが持ち上げられ、移載対象箇所6に水平姿勢S2で配置されている物品90が、傾斜姿勢S1で保持装置20に保持される。また、保持装置20による物品90の保持解除を行う場合には、被支持面91aの第2方向Bに対する傾斜角度が0度まで減少するように被支持面91aが下げられ、傾斜姿勢S1で保持装置20に保持されている物品90が、水平姿勢S2で移載対象箇所6に置かれる。
図4及び図5に示すように、本実施形態では、第1連結部41aは、第2連結部42aよりも下方V2に配置され、第1揺動部材41における第1連結部41aから第1先端部41bまでの長さは、第2揺動部材42における第2連結部42aから第2先端部42bまでの長さよりも長い。そして、本実施形態では、図4及び図5に示すように、保持準備状態において第1先端部41bと第2先端部42bとが第1方向Aの同じ位置で同じ高さに配置されるように規制機構62を構成している。このように保持準備状態において第1先端部41bと第2先端部42bとが第1方向Aの同じ位置で同じ高さに配置されるため、保持状態では、図6及び図7に示すように、第2先端部42bは、第1先端部41bと第1方向Aの同じ位置で第1先端部41bよりも上方V1に配置され、被支持面91aは第2方向Bに対して傾斜した姿勢で支持される。
図9に示すように、物品搬送設備100は、搬送車1の動作を制御する制御部80を備えている。制御部80は、CPU等の演算処理装置を備えると共にメモリ等の周辺回路を備え、これらのハードウェアと、演算処理装置等のハードウェア上で実行されるプログラムとの協働により、制御部80の各機能が実現される。制御部80は、搬送車1に設けられても、搬送車1とは独立に設けられてもよい。また、制御部80が互いに通信可能に分離された複数のハードウェアを備える場合、一部のハードウェアが搬送車1に設けられ、残りのハードウェアが搬送車1とは独立に設けられてもよい。
制御部80は、走行駆動部70の駆動を制御することで、移動経路2に沿って移動する移動動作を本体部10に行わせる。具体的には、制御部80は、走行駆動部70の駆動を制御することで、レール3に沿って走行する走行動作を走行部11に行わせる。本実施形態では、走行部11の走行動作によって本体部10の移動動作が実現される。制御部80は、保持装置20が保持している物品90を移載対象箇所6に搬送する場合に、保持装置20が物品90を保持した状態で走行部11に走行動作を行わせる。また、制御部80は、昇降駆動部71の駆動を制御することで、保持装置20を昇降させる昇降動作を昇降装置50に行わせる。上述したように、保持装置20は傾斜姿勢S1で物品90を保持するため、図3に示すように、保持装置20に保持された状態の物品90は、傾斜姿勢S1で昇降される。また、制御部80は、保持駆動部72の駆動を制御することで、物品90を保持する保持動作や物品90の保持を解除する保持解除動作を保持装置20に行わせる。物品90の保持動作は、保持準備状態から一対の支持部21を第1方向Aに互いに接近させて保持状態に移行させる動作であり、物品90の保持解除動作は、保持状態から一対の支持部21を第1方向Aに互いに離間させて保持準備状態に移行させる動作である。
移載対象箇所6から保持装置20に物品90を移載する場合(すなわち、移載対象箇所6から物品90を搬出する場合)、制御部80は、移載対象箇所6に対応する位置(ここでは、移載対象箇所6より上方V1であって、平面視で移載対象箇所6と重複する位置)まで搬送車1を走行させる走行動作を走行部11に行わせた後、物品90を保持していない保持装置20を第1位置P1から第2位置P2まで下降させる昇降動作を、昇降装置50に行わせる。保持装置20が第2位置P2に到達すると、制御部80は、物品90の保持動作を保持装置20に行わせ、その後、保持装置20を第2位置P2から第1位置P1まで上昇させる昇降動作を、昇降装置50に行わせる。これにより、物品90を保持している保持装置20が第1位置P1まで上昇する。
一方、保持装置20から移載対象箇所6に物品90を移載する場合(すなわち、移載対象箇所6に物品90を搬入する場合)、制御部80は、移載対象箇所6に対応する位置まで搬送車1を走行させる走行動作を走行部11に行わせた後、物品90を保持した状態の保持装置20を第1位置P1から第2位置P2まで下降させる昇降動作を、昇降装置50に行わせる。保持装置20が第2位置P2に到達すると、制御部80は、物品90の保持解除動作を保持装置20に行わせ、その後、保持装置20を第2位置P2から第1位置P1まで上昇させる昇降動作を、昇降装置50に行わせる。これにより、物品90を移載対象箇所6に残した状態で、物品90を保持していない保持装置20が第1位置P1まで上昇する。
〔その他の実施形態〕
次に、搬送車のその他の実施形態について説明する。
(1)上記の実施形態では、保持状態で、一対の支持部材30のそれぞれの先端部30bが、被支持面91aに対して下方V2から接する構成を例として説明した。しかし、本開示はそのような構成に限定されず、保持状態で、一対の支持部材30のそれぞれの先端部30bに連結された部材が、被支持面91aに対して下方V2から接する構成とすることもできる。このような構成の一例を図10に示す。図10に示す例では、連結部材43が「先端部に連結された部材」に相当する。
図10に示す例では、上記の実施形態と同様に、支持部材30は、第2方向Bに離間して配置された一対の揺動部材である第1揺動部材41と第2揺動部材42とを備えている。そして、第1先端部41bと第2先端部42bとが連結部材43により連結されている。図10に示す例では、連結部材43は第2方向Bに延びる棒状(具体的には、四角柱状)に形成されており、連結部材43の上面(被支持面91aを下方V2から支持する支持面)は、第2方向Bに沿って一様に形成されている。よって、保持状態において、連結部材43は第2方向Bに沿って連続的に被支持面91aに接する。連結部材43における少なくとも上面は、被支持面91aと連結部材43との間の摩擦力を適切に確保できる材質(例えば、ゴム)で形成されると好適である。なお、連結部材43の上面に第2方向Bに沿って凹部と凸部とが交互に形成される構成等、保持状態において、連結部材43が第2方向Bに沿って並ぶ複数個所で被支持面91aに接する構成としてもよい。
図10に示す例では、上記の実施形態と同様に、保持状態では、第2先端部42bが、第1先端部41bと第1方向Aの同じ位置で第1先端部41bよりも上方V1に配置される。そのため、保持状態では、連結部材43の上面は、第1先端部41bと第2先端部42bとの高低差に応じて水平面に対して傾斜して配置され、物品90は傾斜姿勢S1で保持装置20に保持される。また、図10に示す例では、上記の実施形態と同様に、保持準備状態では、第1先端部41bと第2先端部42bとが第1方向Aの同じ位置で同じ高さに配置される。そのため、第1先端部41bと第2先端部42bとの離間距離は、保持準備状態と保持状態とで異なり、連結部材43は、保持準備状態と保持状態との間での上記離間距離の変化を許容するように第1先端部41bと第2先端部42bとを連結している。例えば、連結部材43をゴム等の弾性部材とし、連結部材43の伸縮変形によって上記離間距離の変化が許容される構成とすることや、第1先端部41b及び第2先端部42bの少なくとも一方と連結部材43との連結構造を、相対移動が許容される柔軟性のある連結構造とすることで、上記離間距離の変化が許容される構成とすることができる。
(2)上記の実施形態では、第1連結部41aが、第2連結部42aよりも下方V2に配置され、第1揺動部材41の長さ(具体的には、第1揺動部材41における第1連結部41aから第1先端部41bまでの長さ)が、第2揺動部材42の長さ(具体的には、第2揺動部材42における第2連結部42aから第2先端部42bまでの長さ)よりも長い構成を例として説明した。しかし、本開示はそのような構成に限定されず、第1連結部41aが第2連結部42aと同じ高さに配置される構成、第1揺動部材41の長さが第2揺動部材42の長さと等しい構成、或いはこれらを組み合わせた構成とすることもできる。図11に、第1連結部41aが第2連結部42aと同じ高さに配置され、且つ、第1揺動部材41の長さが第2揺動部材42の長さと等しい構成の一例を示す。例えば、被支持面91aの第2方向Bに対する傾斜角度が、保持準備状態及び保持状態のいずれの状態においても0度とされる場合に、図11に示す支持部材30を用いることができる。
図11に示す支持部材30が用いられる保持装置20の一例を、図12に示す。上記の実施形態では、保持状態において、一対の支持部材30が被支持面91aを水平面に対して傾斜させて支持する(すなわち、保持装置20が傾斜姿勢S1で物品90を保持する)のに対して、図12に示す例では、保持状態において、一対の支持部材30が被支持面91aを水平面に沿うように支持する(すなわち、保持装置20が水平姿勢S2で物品90を保持する)。図12に示す保持装置20は、例えば、水平姿勢S2で移載対象箇所6に配置されている物品90を、水平姿勢S2のまま保持装置20によって保持する場合に用いることができる。
図11に示す支持部材30が用いられる保持装置20の別例を、図13に示す。図12に示す例では、上記の実施形態と同様に、一対の支持部21の一方及びそれに連結された支持部材30と、一対の支持部21の他方及びそれに連結された支持部材30とが、互いに鏡像対称の関係となるように構成されているが、図13に示す例ではそのように構成されていない。具体的には、一対の支持部材30の一方を第1支持部材31とし、一対の支持部材30の他方を第2支持部材32として、図13に示す例では、第1支持部材31の長さ(具体的には、第1支持部材31の連結部30aから先端部30bまでの長さ)が、第2支持部材32の長さ(具体的には、第2支持部材32の連結部30aから先端部30bまでの長さ)よりも長い。なお、第1支持部材31の長さは、第1支持部材31が備える第1揺動部材41及び第2揺動部材42の長さであり、第2支持部材32の長さは、第2支持部材32が備える第1揺動部材41及び第2揺動部材42の長さである。また、図13に示す例では、第1支持部材31と支持部21とを連結する連結部30aは、第2支持部材32と支持部21とを連結する連結部30aと同じ高さに配置されている。
そして、図12に示す例とは異なり、図13に示す例では、保持状態において、一対の支持部材30が被支持面91aを第1方向Aに対して傾斜させて支持する。被支持面91aの第1方向Aに対する傾斜角度は、第1支持部材31の先端部30bと第2支持部材32の先端部30bとの高低差に応じて定まる。図13に示す保持装置20は、例えば、水平姿勢S2で移載対象箇所6に配置されている物品90を、底面90cが第1方向Aに対して傾斜した傾斜姿勢S1で保持装置20によって保持する場合に用いることができる。なお、図13に示す例において、第1支持部材31と支持部21とを連結する連結部30aを、第2支持部材32と支持部21とを連結する連結部30aと異なる高さに配置してもよく、この場合に、第1支持部材31の長さを第2支持部材32の長さと等しくしてもよい。
このように、本開示の技術によれば、第1先端部41bと第2先端部42bとの高低差を保持準備状態と保持状態とで異ならせることで、被支持面91aの第2方向Bに対する傾斜角度を保持準備状態と保持状態とで異ならせることができると共に、第1支持部材31の先端部30bと第2支持部材32の先端部30bとの高低差を保持準備状態と保持状態とで異ならせることで、被支持面91aの第1方向Aに対する傾斜角度を保持準備状態と保持状態とで異ならせることができる。更には、これらの高低差を保持準備状態と保持状態とで同一とすることで、被支持面91aの姿勢を保持準備状態と保持状態とで同一とすることもできる。よって、移載対象箇所6における物品90の姿勢が傾斜姿勢S1及び水平姿勢S2のいずれであっても、本開示の技術を適用することができると共に、保持装置20による物品90の保持姿勢(所望の保持姿勢)が傾斜姿勢S1及び水平姿勢S2のいずれであっても、本開示の技術を適用することができる。
(3)上記の実施形態では、支持部材30が、第2方向Bに離間して配置される一対の揺動部材である第1揺動部材41と第2揺動部材42とを備える構成を例として説明した。しかし、本開示はそのような構成に限定されず、例えば、支持部材30が、一対の揺動部材に代えて1枚の板状部材を備える構成とすることができる。
(4)上記の実施形態では、一対の支持部材30を駆動するアクチュエータが設けられない構成を例として説明した。しかし、本開示はそのような構成に限定されず、一対の支持部材30を揺動駆動するアクチュエータが設けられる構成とすることもできる。このように一対の支持部材30を揺動駆動するアクチュエータが設けられる場合に、上記の実施形態での付勢機構61及び規制機構62の少なくともいずれかが設けられる構成としてもよい。
(5)なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用すること(その他の実施形態として説明した実施形態同士の組み合わせを含む)も可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した搬送車の概要について説明する。
物品を搬送する搬送車であって、移動経路に沿って移動する本体部と、前記物品を保持する保持装置と、前記保持装置を前記本体部に対して昇降させる昇降装置と、を備え、前記物品は、当該物品の底面と平行に配置される面であって、下方を向く被支持面が形成された被保持部を備え、前記保持装置は、前記被支持面を下方から支持する支持部材がそれぞれ連結された一対の支持部と、一対の前記支持部を第1方向に互いに接近及び離間させる保持駆動部と、を備え、一対の前記支持部のそれぞれにおいて、前記第1方向における他方の前記支持部に近づく側を第1方向第1側とし、前記第1方向における他方の前記支持部から離れる側を第1方向第2側として、前記支持部材は、前記支持部との連結部を支点として揺動可能に前記支持部に連結され、一対の前記支持部材のそれぞれにおける前記連結部とは反対側の先端部が、前記連結部よりも上方であって前記被保持部よりも下方に配置され、且つ、前記被保持部の前記第1方向の幅よりも大きい間隔で配置された一対の前記先端部の間に前記物品が位置する状態を、保持準備状態とし、前記保持準備状態よりも一対の前記支持部が前記第1方向に互いに接近し、一対の前記支持部材のそれぞれの前記先端部又は当該先端部に連結された部材が前記被支持面に対して下方から接して前記物品を支持する状態を保持状態として、一対の前記支持部材は、前記保持準備状態から前記保持状態に移行する間に、それぞれの前記先端部が、前記第1方向第2側へ移動しつつ上方へ向かう方向に前記支点周りに揺動して、前記被支持面を上方へ持ち上げる。
本構成によれば、保持準備状態から一対の支持部を互いに接近させて保持状態に移行させることで、移載対象箇所に配置されている物品を保持装置によって保持することができる。この際、物品の底面と平行に配置される被支持面を一対の支持部材のそれぞれの先端部によって上方へ持ち上げて物品を保持することができる。そのため、移載対象箇所における物品の姿勢が所望の保持姿勢と同じである場合には、向きを変えずに被支持面を持ち上げるように保持装置を構成することで、物品を所望の保持姿勢で保持することができる。また、移載対象箇所における物品の姿勢が所望の保持姿勢と異なる場合には、向きを所望の保持姿勢での向きに変化させながら被支持面を持ち上げるように保持装置を構成することで、物品を所望の保持姿勢で保持することができる。
このように、本構成によれば、一対の支持部材のそれぞれの先端部によって被支持面を上方へ持ち上げて物品を保持するように保持装置を構成することで、移載対象箇所における物品の姿勢にかかわらず、物品を所望の保持姿勢で保持装置によって保持することが可能となっている。そして、本構成では、被支持面を上方へ持ち上げる動作を、一対の支持部を接近させる動作と並行して行うことができるため、物品の処理効率の低下を抑制しつつ本開示の搬送車を実現することができる。
ここで、平面視で前記第1方向に直交する方向を第2方向として、前記支持部材は、前記第2方向に離間して配置された一対の揺動部材である第1揺動部材と第2揺動部材とを備え、前記連結部は、前記第1揺動部材が前記支持部に連結される第1連結部と、前記第2揺動部材が前記支持部に連結される第2連結部と、を備え、前記第1連結部は、前記第2連結部よりも下方に配置され、前記第1揺動部材の前記先端部を第1先端部とし、前記第2揺動部材の前記先端部を第2先端部として、前記第1揺動部材における前記第1連結部から前記第1先端部までの長さは、前記第2揺動部材における前記第2連結部から前記第2先端部までの長さよりも長いと好適である。
本構成によれば、第1先端部と第2先端部との高低差を保持準備状態と保持状態とで異ならせることができるため、被支持面の第2方向に対する傾斜角度を変化させるように被支持面を持ち上げて、移載対象箇所に配置されている物品を保持装置によって保持することができる。よって、移載対象箇所における物品の姿勢が、所望の保持姿勢とは底面の第2方向に対する傾斜角度が異なる姿勢である場合に本構成を適用することで、移載対象箇所に配置されている物品を、所望の保持姿勢で保持装置によって保持することができる。例えば、移載対象箇所における物品の姿勢が、底面が水平面に沿う水平姿勢であり、所望の保持姿勢が、底面が第2方向に対して傾斜した傾斜姿勢である場合に本構成を適用することで、移載対象箇所に水平姿勢で配置されている物品を、底面が第2方向に対して傾斜した傾斜姿勢で保持装置によって保持することができる。
また、一対の前記支持部材の一方を第1支持部材とし、一対の前記支持部材の他方を第2支持部材として、前記第1支持部材の前記連結部から前記先端部までの長さは、前記第2支持部材の前記連結部から前記先端部までの長さよりも長いと好適である。
本構成によれば、第1支持部材の連結部から先端部までの長さと第2支持部材の連結部から先端部までの長さとが同一である場合に比べて、第1支持部材の先端部と第2支持部材の先端部との高低差を保持準備状態と保持状態とで変化させやすい。よって、移載対象箇所における物品の姿勢が、所望の保持姿勢とは底面の第1方向に対する傾斜角度が異なる姿勢である場合に本構成を適用することで、移載対象箇所に配置されている物品を、所望の保持姿勢で保持装置によって保持することができる。例えば、移載対象箇所における物品の姿勢が、底面が水平面に沿う水平姿勢であり、所望の保持姿勢が、底面が第1方向に対して傾斜した傾斜姿勢である場合に本構成を適用することで、移載対象箇所に水平姿勢で配置されている物品を、底面が第1方向に対して傾斜した傾斜姿勢で保持装置によって保持することができる。
また、平面視で前記第1方向に直交する方向を第2方向として、前記支持部材は、前記第2方向に離間して配置された一対の揺動部材である第1揺動部材と第2揺動部材とを備え、前記第1揺動部材の前記先端部を第1先端部とし、前記第2揺動部材の前記先端部を第2先端部として、前記第1先端部と前記第2先端部とが連結部材により連結され、前記保持状態において、前記連結部材が前記第2方向に沿って連続的に、又は前記第2方向に沿って並ぶ複数個所で、前記被支持面に接すると好適である。
本構成によれば、第1先端部と第2先端部とを連結する連結部材が設けられない場合に比べて、保持状態における被支持面の支持面積を広く確保することができ、被支持面を安定的に支持しやすい。
上記の各構成の搬送車において、前記先端部が前記第1方向第1側へ移動しつつ下方へ向かって揺動する方向に前記支持部材を付勢する付勢機構と、前記先端部が前記連結部よりも規定高さ以上上方に配置される範囲内に、前記支持部材の揺動範囲を規制する規制機構と、を備えていると好適である。
本構成によれば、第1方向第1側へ移動しつつ下方へ向かって揺動する方向の力を付勢機構によって先端部に作用させつつ、連結部より規定高さ上方の高さよりも下方に先端部が移動することを規制機構によって規制することができる。よって、先端部が物品から離間して配置される保持準備状態では、支持部材の先端部が連結部よりも規定高さ上方に配置された状態を適切に維持することができる。また、保持準備状態から保持状態への移行時には、付勢機構の付勢力に応じて先端部に作用する力によって先端部を物品に押し当てながら、物品との接触による反力によって先端部を第1方向第2側へ移動しつつ上方へ向かう方向(すなわち、付勢機構の付勢力に抗する方向)に揺動させて、被支持面を持ち上げることができる。よって、保持準備状態から保持状態への移行時に、被支持面を安定的に持ち上げることができる。また、保持状態では、付勢機構の付勢力に応じて先端部に作用する力によって、物品を第1方向の両側から挟むように一対の先端部を物品に押し当てておくことができるため、保持状態を適切に維持することができる。
また、前記物品は、側面に開口部を有する容器であり、前記保持装置は、前記開口部が斜め上方を向く姿勢で前記物品を保持すると好適である。
本構成によれば、物品が側面に開口部を有する容器である場合に、物品を、当該物品に収容された収容物が開口部から物品の外部に移動し難い姿勢で、保持装置によって保持することができる。
本開示に係る搬送車は、上述した各効果のうち、少なくとも1つを奏することができればよい。
1:搬送車
2:移動経路
10:本体部
20:保持装置
21:支持部
30:支持部材
30a:連結部
30b:先端部
31:第1支持部材
32:第2支持部材
41:第1揺動部材
41a:第1連結部
41b:第1先端部
42:第2揺動部材
42a:第2連結部
42b:第2先端部
43:連結部材(先端部に連結された部材)
50:昇降装置
61:付勢機構
62:規制機構
90:物品
90b:側面
90c:底面
91:被保持部
91a:被支持面
92:開口部
A:第1方向
A1:第1方向第1側
A2:第1方向第2側
B:第2方向
H:規定高さ
V1:上方
V2:下方

Claims (6)

  1. 物品を搬送する搬送車であって、
    移動経路に沿って移動する本体部と、前記物品を保持する保持装置と、前記保持装置を前記本体部に対して昇降させる昇降装置と、を備え、
    前記物品は、当該物品の底面と平行に配置される面であって、下方を向く被支持面が形成された被保持部を備え、
    前記保持装置は、前記被支持面を下方から支持する支持部材がそれぞれ連結された一対の支持部と、一対の前記支持部を第1方向に互いに接近及び離間させる保持駆動部と、を備え、
    一対の前記支持部のそれぞれにおいて、前記第1方向における他方の前記支持部に近づく側を第1方向第1側とし、前記第1方向における他方の前記支持部から離れる側を第1方向第2側として、
    前記支持部材は、前記支持部との連結部を支点として揺動可能に前記支持部に連結され、
    一対の前記支持部材のそれぞれにおける前記連結部とは反対側の先端部が、前記連結部よりも上方であって前記被保持部よりも下方に配置され、且つ、前記被保持部の前記第1方向の幅よりも大きい間隔で配置された一対の前記先端部の間に前記物品が位置する状態を、保持準備状態とし、前記保持準備状態よりも一対の前記支持部が前記第1方向に互いに接近し、一対の前記支持部材のそれぞれの前記先端部又は当該先端部に連結された部材が前記被支持面に対して下方から接して前記物品を支持する状態を保持状態として、
    一対の前記支持部材は、前記保持準備状態から前記保持状態に移行する間に、それぞれの前記先端部が、前記第1方向第2側へ移動しつつ上方へ向かう方向に前記支点周りに揺動して、前記被支持面を上方へ持ち上げる、搬送車。
  2. 平面視で前記第1方向に直交する方向を第2方向として、
    前記支持部材は、前記第2方向に離間して配置された一対の揺動部材である第1揺動部材と第2揺動部材とを備え、
    前記連結部は、前記第1揺動部材が前記支持部に連結される第1連結部と、前記第2揺動部材が前記支持部に連結される第2連結部と、を備え、
    前記第1連結部は、前記第2連結部よりも下方に配置され、
    前記第1揺動部材の前記先端部を第1先端部とし、前記第2揺動部材の前記先端部を第2先端部として、
    前記第1揺動部材における前記第1連結部から前記第1先端部までの長さは、前記第2揺動部材における前記第2連結部から前記第2先端部までの長さよりも長い、請求項1に記載の搬送車。
  3. 一対の前記支持部材の一方を第1支持部材とし、一対の前記支持部材の他方を第2支持部材として、前記第1支持部材の前記連結部から前記先端部までの長さは、前記第2支持部材の前記連結部から前記先端部までの長さよりも長い、請求項1に記載の搬送車。
  4. 平面視で前記第1方向に直交する方向を第2方向として、
    前記支持部材は、前記第2方向に離間して配置された一対の揺動部材である第1揺動部材と第2揺動部材とを備え、
    前記第1揺動部材の前記先端部を第1先端部とし、前記第2揺動部材の前記先端部を第2先端部として、
    前記第1先端部と前記第2先端部とが連結部材により連結され、
    前記保持状態において、前記連結部材が前記第2方向に沿って連続的に、又は前記第2方向に沿って並ぶ複数個所で、前記被支持面に接する、請求項1から3のいずれか一項に記載の搬送車。
  5. 前記先端部が前記第1方向第1側へ移動しつつ下方へ向かって揺動する方向に前記支持部材を付勢する付勢機構と、
    前記先端部が前記連結部よりも規定高さ以上上方に配置される範囲内に、前記支持部材の揺動範囲を規制する規制機構と、を備えている、請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送車。
  6. 前記物品は、側面に開口部を有する容器であり、
    前記保持装置は、前記開口部が斜め上方を向く姿勢で前記物品を保持する、請求項1から5のいずれか一項に記載の搬送車。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08188375A (ja) * 1995-01-04 1996-07-23 Tsubakimoto Chain Co ワーク搬送用カセットの傾動機構
JP5574177B2 (ja) * 2010-09-16 2014-08-20 株式会社ダイフク 搬送装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013045964A (ja) 2011-08-25 2013-03-04 Sharp Corp 被処理基板の浸漬処理方法及び浸漬処理装置

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