KR20070009460A - 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템 - Google Patents

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KR20070009460A
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타카유키 야자와
히로시 아라카와
준노스케 고야마
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

다단 구조의 기판 수납 카세트에 대하여 기판을 확실하게 반출 및 반입할 수 있는 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템을 제공한다.
안쪽에서부터 앞쪽으로 연장하는 긴 지지부(15)를 소정 간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 긴 지지부(15) 위에 실어 놓아 다단 수납하는 카세트(11)에 대하여, 상기 기판(1)을 싣기 위한 핸드(22)를 가진 로봇(21)을 이용하여 기판(1)을 반출 반입하는 기판 반출 반입 방법으로서, 대상 기판(1)을 실어 놓는 긴 지지부(15)의 앞쪽의 단부(16), 또는 대상 기판(1)이 실어 놓인 긴 지지부(15)의 앞쪽의 단부(16)를 지지하여, 카세트(11) 내에서의 핸드(22)의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 지지 공정 A를 포함하고, 카세트(11)로부터의 대상 기판(1)의 반출 공정 및 카세트(11)로의 대상 기판(1)의 반입 공정이, 상기 지지 공정 A와 함께 행해지도록 구성한다.

Description

기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템{METHOD FOR SUBSTRATE CARRYING-IN/CARRYING-OUT AND SUBSTRATE CARRYING-IN/CARRYING-OUT SYSTEM}
도 1은 본 발명의 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템의 장치 구성의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 기판 반출 반입 시스템을 구성하는 카세트의 일례를 나타내는 개략 평면도이다.
도 3은 본 발명의 기판 반출 반입 시스템을 구성하는 카세트의 일례를 나타내는 개략 측면도이다.
도 4는 본 발명의 기판 반출 반입 시스템을 구성하는 카세트의 일례를 나타내는 개략 정면도이다.
도 5는 본 발명에 사용되는 로봇의 구동 형태를 나타내는 모식도이다.
도 6은 본 발명에 사용되는 로봇의 구체적인 일례를 나타내는 측면도(A) 및 정면도(B)이다.
도 7은 본 발명에 사용되는 로봇의 구체적인 일례를 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 기판 반출 반입 방법을 설명하기 위한 개략 평면도이다.
도 9는 제 1 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다.
도 10은 제 2 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다.
도 11은 제 3 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다.
도 12는 제 4 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다.
도 13은 제 5 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다.
도 14는 제 6 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다.
도 15는 카세트의 개구부 근방에 장착된 단부 위치 조정 기구의 일례를 나타내는 정면도(투시도)이다.
도 16은 도 15에 있어서의 A부의 각 요소의 확대도(투시도)이다.
도 17은 도 16에 있어서의 측면도(투시도)이다.
도 18은 도 15에 있어서의 B부의 각 요소의 확대도(투시도)이다. (a)는, 그 평면도, (b)는 정면도, (c)는 측면도이다.
도 19는 본 발명의 기판 반출 반입 시스템의 제어 장치를 나타내는 블럭도이다.
도 20은 본 발명의 기판 반출 반입 장치의 변형 예를 나타내는 도이다.
도 21은 본 발명의 기판 반출 반입 장치의 변형 예를 나타내는 도이다.
도 22는 본 발명의 기판 반출 반입 장치의 변형 예를 나타내는 도이다.
도 23은 본 발명에 있어서의 기판 반출 반입 장치를 적용하는 카세트의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 24는 본 발명에 있어서의 반출 반입 장치를 적용하는 카세트의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
<부호의 설명>
1 기판(대상 기판)
2 카세트대
11 카세트
12, 13, 17, 18, 19 틀
14 짧은 지지부
15, 15a, 15b, 15c 긴 지지부
16, 16a, 16b, 16c 단부
21 로봇
22 핸드
23 핸드 포크
24 핸드 지지부
25, 26 암
27 기본대
28 고정 프레임
29 승강 샤프트
30 지지부재(레버)
31 단부 위치 조정 기구(기판 반출 반입 보조 장치)
32 손톱부
33 롤러
34 빔
35 리니어 가이드
36 타이밍 벨트
40 지지 기둥
41 매핑 센서
42 승강 구동원(서보모터)
43 커플링
44 베어링
45 감속기
46 샤프트
47 타이밍 풀리
48 캐리지
49 슬라이더
50 케이블 베어
51 베어링
52 죠인트
53 커플링
54 드라이브 샤프트
55 프레임
61 에어 실린더
62 죠인트
63 로드
65 로드 엔드
66 링크 부재
67 손톱 샤프트
67a 손톱 연장부(수직 지지부)
69 베어링
70 콘트롤러
71 로봇 콘트롤러
72 시퀀스
82 베어링 홀더
<기술 분야>
본 발명은, 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템에 관한 것이고, 더욱 상세하게는, 박형(薄形) 텔레비젼용 유리 기판 등의 기판을 수납 카세트에 대하여 반출 및/또는 반입하는 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템에 관한 것이다.
<배경 기술>
액정 표시 패널이나 플라즈마(plasma) 디스플레이 패널(PDP) 등의 일반적인 제조 공정에서는, 복수 매의 유리 기판이 카세트에 수납된 상태로 각 공정 사이에서 반송된다. 예를 들면, 액정 표시 패널의 제조 공정의 경우, 유리 기판은 카세트에 수납되어 공정 사이를 반송하고, TFT(박막 트랜지스터) 형성 공정이나 배선 형성 공정에서는, 유리 기판은 카세트로부터 꺼내져 공정에 투입된다. 제조된 액정 표시 패널은, 다시 카세트에 수납되고, 그 후, 무인 반송차 등에 의해 검사 장치에 반송된다. 그리고, 검사 장치에는, 액정 표시 패널이 카세트로부터 1매씩 꺼내져 공급되고, 또한 검사 후의 액정 표시 패널은 다시 카세트에 수납된다.
상기 제조 공정에 있어서는, 유리 기판을 수납 카세트로부터(또는 수납 카세트로) 확실하게 반출 및/또는 반입(이하에서는, 간단히 반출 반입이라고 함)할 수 있는 기판 반출 반입 장치가 요구되어, 종래부터 여러 가지 검토되고 있다. 예를 들면, (i)좌우에 다단 모양으로 와이어를 쳐서 그 위에 유리 기판을 실어 다단 수납하는 카세트를 이용한 기판 반출 반입 장치(예를 들면 특허문헌 1을 참조)나, (ii)카세트의 양측에서부터 안쪽을 향하여 돌출한 짧은 지지부와, 카세트의 안쪽에서부터 앞쪽으로 연장한 긴 지지부를 다단 모양으로 구성하고, 그 위에 유리 기판을 실어 다단 수납하는 카세트를 이용한 기판 반출 반입 장치(예를 들면 특허문헌 2를 참조), (iii)카세트의 좌우를 건너는 대들보 부재를 다단 모양으로 설치하고, 그 대들보 부재에 기판을 지지하는 핀 모양의 지지부를 설립한 카세트를 이용한 기판 반출 반입 장치(특허문헌 3을 참조) 등이 제안되어 있다.
이러한 가운데, 액정 텔레비젼이나 PDP 등의 박형 디스플레이의 대화면화에 수반하여, 유리 기판도 더욱더 대형화가 요구되고 있다. 유리 기판의 사이즈는, 최 근에는, 제 6 세대(1.5m × 1.9m)로부터, 제 7 세대(1.9m × 2.2m)나 제 8 세대(2.2m × 2.4m)로 진화하고 있어, 이러한 대형 유리 기판을 수납 카세트에 확실하게 반출 반입할 수 있는 기판 반출 반입 장치의 개발이 요구되고 있다. 더욱이, 박형 디스플레이의 수요증가에 수반하는 생산량의 증가에 의해, 단위 공간 체적당 수납 매수를 늘리기 위한 단 피치(pitch)가 작은 카세트 구조의 개발이나, 그와 같은 카세트로부터 확실하게 반출 반입할 수 있는 기판 반출 반입 장치의 개발이 요구되고 있다.
특히, (i)의 카세트(이하, 와이어형 카세트라고 함)는, 단 피치를 작게 하여 단위공간의 체적당 수납 매수를 늘리는 데는 바람직하지만, 기판을 반출 반입할 때에는 카세트를 리프트-업(lift-up)하거나, 기판을 에어-서페이싱(air-surfacing)시키거나 할 필요가 있고 대형(大型)으로 복잡한 설비가 필요하고, 설비 투자나 설비의 운전 유지 비용이 커진다고 하는 문제가 있다. 한편, 상기 (ii)의 카세트(이하, 백-서포트(back-support)형 카세트라고 함)를 이용한 기판 반출 반입 장치는, 그 구조가 와이어형 카세트를 이용한 기판 반출 반입 장치에 비하여 복잡하지 않고, 또, (iii)의 카세트에 비하여 단(段) 구조에서 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 수납 매수를 늘릴 수 있다고 하는 이점이 있다.
그렇지만, 대형의 유리 기판용 백-서포트형 카세트에 유리 기판을 수납하면, 안쪽에서부터 앞쪽(유리 기판 반출 반입하는 개구부 측)으로 연장하는 긴 지지부의 선단 측(앞쪽)이 휘고, 좌우의 짧은 지지부 사이에서 유리 기판이 휘어진 형태로 수납된다. 즉, 수납된 유리 기판은, 카세트 안쪽에서부터 앞쪽에 걸쳐 아래쪽으로 경사지도록 휘고, 또한, 좌우의 짧은 지지부에서부터 기판의 중앙으로 향하여 휘어짐이 크게 되어 버린다. 예를 들면, 제 7 세대(1.9m × 2.2m)의 유리 기판을 수납하는 각 단 마다의 피치를 75mm로 하고, 안쪽에서부터 앞쪽으로 연장하는 긴 지지부를 폭 방향으로 330mm 피치로 배치한 백-서포트형 카세트를 구성한 경우에서도, 앞쪽의 휘어짐 양은 약 30mm 정도로도 된다. 이러한 휘어짐의 정도는, 카세트의 안쪽에서는 작고 앞쪽에서는 크며, 그 안쪽 방향에서 다르므로, 하기 특허문헌 4에 제안되어 있는 휘어짐 형태에 맞춰진 핸드 암 구조를 가진 로봇를 이용하여도, 카세트에 진출하는 로봇의 핸드 및 그것에 실어 놓여진 유리 기판이, 카세트의 지지부나 이미 수납되어 있는 유리 기판과 완충하여 버리므로, 유리 기판을 카세트로부터(또는 수납 카세트로) 확실하게 반출 반입하는 것은 곤란했다. 따라서, 백-서포트형 카세트를 이용한 경우에 있어서는, 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 수납 매수를 늘리는 것에 대하여 한계가 있어, 그 해결이 검토되고 있다.
[특허문헌 1] 특개2005-64431호 공보
[특허문헌 2] 특개2000-142876호 공보
[특허문헌 3] 특개평11-35089호 공보
[특허문헌 4] 특개2003-51528 호 공보
본 발명은, 상기 상황을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 다단 구조의 기판 수납 카세트에 대하여 기판을 확실하게 반출 및 반입할 수 있는 기판 반출 반 입 방법 및 기판 반출 반입 시스템(기판 반출 반입 보조 장치)을 제공하는 것이다.
<과제를 해결하기 위한 수단>
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 안쪽에서부터 앞쪽으로 연장하는 긴 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 긴 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납하는 카세트에 대하여, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여 기판을 반입하고 및 기판을 반출하는 기판 반출 반입 방법으로, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓인 긴 지지부를 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 지지 공정 A를 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 및 상기 카세트로의 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 A와 함께 행해지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 긴 지지부를 지지하는 지지 공정 A에 의해, 카세트에서의 로봇의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대할 수 있으므로, 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있음과 동시에, 다단 구조의 각 단 사이의 피치가 작은 경우에 있어서도, 대상 기판 또는 이것을 실어 놓은 핸드가 대상 기판의 상하에 수납된 기판이나 상하의 기판을 실어 놓는 지지부(짧은 지지부 및 긴 지지부 등)와 완충하여 이들 기판을 손상하거나 하지 않고, 이들 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 대상 기판의 반출 공정이, 상기 지지한 긴 지지부에 실어 놓인 대상 기판의 아래쪽에 핸드가 위치하도록, 상기 핸드를 상기 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정과, 상기 핸드를 윗쪽으로 이동하여 상기 긴 지지부보다 윗쪽에 대상 기판을 들어올리는 공정과, 대상 기판을 실은 핸드를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시켜 대상 기판을 상기 카세트 밖으로 꺼내는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 확대된 공간 내에서부터, 대상 기판을 상하에 실어 놓인 기판이나 지지부(짧은 지지부 및 긴 지지부 등)에 접촉시키지 않고 확실하게 반출할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상기 대상 기판의 반출 공정시의 지지 공정 A에 있어서, 상기 긴 지지부의 지지가, 대상 기판을 카세트 밖으로 꺼내는 공정 후, 또는, 대상 기판을 들어올리는 공정 후에 대상 기판을 카세트 밖으로 꺼내는 공정 전에 해제하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 기판의 반출 공정시의 지지 공정 A의 해제를 상기 2종류의 타이밍으로 행할 수 있다. 이들 중, 전자는 지지 공정 A의 타이밍을 심플하게 할 수 있고, 후자는 핸드에 의한 기판의 반출시의 공간을 더 확대시킬 수 있다는 이점이 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 대상 기판의 반입 공정이, 긴 지지부보다 위에 대상 기판이 위치하도록, 대상 기판이 실린 핸드를 상기 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정과, 상기 핸드를 아래쪽으로 이동하여 상기 긴 지지부 위에 대상 기판을 실어 놓는 공정과, 대상 기판의 아래쪽에 핸드가 위치 한 상태로 상기 핸드를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 확대된 공간 내에, 대상 기판을 상하에 실어 놓인 기판이나 기판을 지지하는 지지부(짧은 지지부 및 긴 지지부 등)에 접촉시키지 않고 확실하게 반입할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상기 대상 기판의 반입 공정시의 지지 공정 A에 있어서, 상기 긴 지지부의 지지가, 핸드를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정 전, 또는, 핸드를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정 후에 핸드를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키는 공정 전에 개시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 기판의 반입 공정시의 지지 공정 A의 개시를 상기 2종류의 타이밍으로 행할 수 있다. 이들 중, 전자는 지지 공정 A의 타이밍을 심플하게 할 수 있고, 후자는 핸드에 의한 기판의 반입시의 공간을 더 확대시킬 수 있다. 또, 핸드의 후퇴를 위한 공간을 충분히 넓은 것으로 할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상기 반출 공정 및 반입 공정에 있어서, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓인 긴 지지부보다, 일단 위의 긴 지지부를 지지하는 지지 공정 B를 더 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 카세트로의 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 B와 함께 행해지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 일단 위의 긴 지지부를 지지하는 지지 공정 B를 더 포함 하므로, 핸드에 의한 기판의 반출시 및 반입시에 있어서, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓인 긴 지지부와, 그 바로 위의 긴 지지부와의 공간을 더 확대시킬 수 있다. 그 결과, 대상 기판의 반출시에 있어서는, 기판을 실은 핸드를 카세트 내로부터 후퇴시킬 때의 공간이 넓어지고, 대상 기판의 반입시에 있어서는, 기판을 실은 핸드를 카세트 내에 진출시킬 때의 공간이 넓어져, 그와 같은 동작을 보다 한층 확실하게 행할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상기 반출 공정 및 반입 공정에 있어서, 대상 기판을 실어 놓은 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓인 긴 지지부보다, 일단 아래의 긴 지지부를 눌러 내리는 하강 공정을 더 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 카세트로의 대상 기판의 반입 공정이, 상기 하강 공정과 함께 행해지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 일단 아래의 긴 지지부를 눌러 내리는 하강 공정을 더 포 함하므로, 핸드에 의한 기판의 반출시 및 반입시에 있어서, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓인 긴 지지부와, 그 바로 아래의 긴 지지부와의 공간을 보다 확대시킬 수 있다. 그 결과, 대상 기판의 반출시에 있어서는, 기판을 싣지 않은 빈 핸드를 카세트 내에 진출시킬 때의 공간이 넓어지고, 대상 기판의 반입시에 있어서는, 기판을 싣지 않은 빈 핸드를 카세트 내로부터 후퇴시킬 때의 공간이 넓어져, 그와 같은 동작을 보다 한층 확실하게 행할 수 있다.
또, 본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 안쪽에서부터 앞쪽으로 연장하는 긴 지지부를 소정 간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 긴 지지부의 위에 기 판을 실어 놓아 다단 수납하는 카세트에 대하여, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여 기판을 반입하고 그리고 기판을 반출하는 기판 반출 반입 방법으로, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓인 긴 지지부를 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 지지 공정 A와, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓인 긴 지지부보다, 일단 위의 긴 지지부를 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 지지 공정 B와, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓인 긴 지지부보다, 일단 아래의 긴 지지부를 눌러 내려, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 하강 공정에서 선택된 적어도 1개의 공정을 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 카세트로의 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정과 함께 행해지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 반출 공정 및 반입 공정이, 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정과 함께 행해지므로, 카세트에서의 로봇의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대할 수 있다. 그 결과, 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있음과 동시에, 다단 구조의 각 단 사이의 피치가 작은 경우에 있어서도, 대상 기판 또는 이것을 실어 놓은 핸드가 대상 기판의 상하에 수납된 기판이나 상하의 기판을 실어 놓는 지지부(짧은 지지부 및 긴 지지부 등)와 완충하여 이들 기판을 손상하거나 하지 않고, 이들 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 시스템은, 안쪽에서부터 앞쪽으로 연장하는 긴 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 긴 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납하는 카세트와, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지고, 상기 기판을 카세트에 반입하고 또는 상기 기판을 카세트로부터 반출하는 로봇과, 상기 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 단부 위치 조정 기구를 구비한 기판 반출 반입 시스템으로, 상기 단부 위치 조정 기구가, 상기 핸드를 상기 카세트의 앞에서부터 안쪽으로 진출시키기 위한 공간 또는 상기 핸드를 상기 카세트의 안쪽에서부터 앞으로 후퇴시키기 위한 공간을 확대하기 위해서, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부, 이 긴 지지부보다 일단 위의 긴 지지부, 및, 이 긴 지지부보다 일단 아래의 긴 지지부에서 선택되는 적어도 1개의 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 카세트와 로봇과 단부 위치 조정 기구에 의해서, 핸드를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키기 위한 공간 또는 핸드를 카세트의 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키기 위한 공간을 확대할 수 있으므로, 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있음과 동시에, 다단 구조의 각 단 사이의 피치가 작은 경우에 있어서도, 대상 기판 또는 이것을 실어 놓은 핸드가 대상 기판의 상하에 수납된 기판이나 상하의 기판을 실어 놓는 지지부(짧은 지지부 및 긴 지지부 등)와 완충하여 이들 기판을 손상하지 않고, 이들 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다. 또, 본 발명은, 종래의 백-서포트 형 카세트의 기본 구조에 단부 위치 조정 기구를 더하는 것에 의해 달성할 수 있고, 특수한 암이나 기구를 가지는 로봇을 필요로 하지 않으며, 또, 종래의 다른 기판 반출 반입 방법과 같이 복잡한 기구도 필요하지 않기 때문에, 저비용으로 실현될 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고 각 단 마다 지지부의 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납함과 동시에 상기 기판의 반출 및 반입이 가능한 개구를 가지는 카세트에 대하여, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여, 기판을 반출하는 반출 또는 반입하는 기판 반출 반입 방법으로, 반출되는 대상 기판 또는 반입된 대상 기판을 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보하는 지지 공정 A를 포함하며, 상기 대상 기판의 반출 공정 또는 반입 공정 중 어느 하나가 상기 지지 공정 A와 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 방법.
본 발명에 의하면, 기판을 지지하는 지지 공정 A에 의해, 카세트에서의 로봇의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보할 수 있으므로, 다단구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있음과 동시에, 다단 구조의 각 단 사이의 피치가 작은 경우에 있어서도, 대상 기판 또는 이를 실어 놓은 핸드가 대상 기판의 상하에 수납된 기판이나 상하의 기판을 실어 놓는 지지부와 완충하여 이들 기판을 손상하지 않고, 이들 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다. 또, 본 발명은, 종래의 카세트의 기본 구조에 있어도 지지 공정 A를 더하는 것에 의해서, 특수한 암이나 기구를 가지는 로봇이나 복잡한 기구를 필요로 하 지 않고, 저비용으로 확실한 기판의 반입 및 반출을 실현할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법에서는, 상기 반출 공정은, 상기 대상 기판의 아래쪽에 상기 핸드가 위치하도록, 상기 핸드를 상기 카세트의 상기 개구 측에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정과, 상기 핸드를 윗쪽으로 이동하여 상기 지지부보다 윗쪽에 상기 대상 기판을 들어올리는 공정과, 상기 대상 기판을 실은 핸드를 상기 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 후퇴시켜 상기 대상 기판을 상기 카세트 밖으로 꺼내는 공정을 포함하고, 상기 지지 공정 A가 상기 핸드를 상기 카세트의 상기 개구 측에서부터 상기 안쪽으로 진출시키는 공정보다 전에 개시되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 지지 공정 A가 핸드를 카세트의 개구 측에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정보다 전에 개시되므로, 핸드의 진출시에 그 상측에 위치하게 되는 대상 기판이 지지 공정 A에서 지지 되어 있어, 그 대상 기판과 일단 아래의 기판과의 사이에 핸드의 진입이 가능한 공간을 충분히 확보할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법에서는, 상기 반입 공정은, 상기 지지부보다 위에 상기 대상 기판이 위치하도록, 상기 대상 기판이 실린 핸드를 상기 카세트의 상기 개구 측에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정과, 상기 핸드를 아래쪽으로 이동하여 상기 지지부 위에 상기 대상 기판을 실어 놓는 공정과, 상기 대상 기판의 아래쪽에 핸드가 위치 한 상태로 상기 핸드를 상기 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 후퇴시키는 공정을 포함하고, 상기 지지 공정 A가 상기 핸드를 상기 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 후퇴시키는 공정보다 전에 개시되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 지지 공정 A가 핸드를 상기 안쪽에서부터 상기 개구 측으 로 후퇴시키는 공정보다 전에 개시되므로, 대상 기판을 지지부에 실어 놓은 후의 핸드 후퇴시에 그 상측에 위치하게 되는 대상 기판이 지지 공정 A에서 지지 되어 있어, 그 대상 기판과 일단 아래의 기판과의 사이에 핸드의 진입이 가능한 공간을 충분히 확보할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상기 반출 공정으로 반출되는 상기 대상 기판이 실어 놓여져 있는 상기 지지부 또는 상기 반입 공정으로 반입되는 상기 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부 중 어느 하나의 상기 지지제보다 일단 위의 지지부에 실어 놓인 기판을 지지하는 지지 공정 B를 더 포함하고, 상기 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 B와 함께 행해질 수 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 기판 반출시에는, 지지 공정 B에 의해 대상 기판보다 일단 위의 기판이 지지되므로, 대상 기판과 일단 위의 기판과의 사이에 대상 기판을 들어올린 핸드가 후퇴하기 때문에 충분한 공간을 확보할 수 있다. 한편, 기판 반입 시에는, 지지 공정 B에 의해 반입되는 대상 기판이 실어 놓여질 예정의 지지부보다 일단 위의 지지부에 실어 놓인 기판이 지지되므로, 대상 기판을 실은 핸드와 지지 된 일단 위의 기판과의 사이에 핸드가 후퇴하기 때문에 충분한 공간을 확보할 수 있다. 따라서, 기판의 반입 및 반출의 동작을 보다 한층 확실하게 행할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상기 반출 공정으로 반출되는 상기 대상 기판이 실어 놓여 있는 상기 지지부 또는 상기 반입 공정으로 반입되는 상기 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부 중 어느 하나의 상기 지지부보다 일단 아래의 지지 부에 실어 놓인 기판을 눌러 내리는 하강 공정을 더 포함하고, 상기 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 대상 기판의 반입 공정이, 상기 하강 공정과 함께 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 기판 반출시에는, 하강 공정에 의해 대상 기판보다 일단 아래의 기판이 눌러 내려질 수 있으므로, 대상 기판과 일단 아래의 기판 사이에 핸드가 진출하기 때문에 충분한 공간을 확보할 수 있다. 한편, 기판 반입 시에는, 하강 공정에 의해 반입 후의 지지부에 실어 놓인 대상 기판보다 일단 아래의 기판이 눌러 내려질 수 있으므로, 대상 기판과 일단 아래의 기판과의 사이에 핸드가 후퇴하기 때문에 충분한 공간을 확보할 수 있다. 따라서, 기판의 반입 및 반출의 동작을 보다 한층 확실하게 행할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상기 지지 공정 A, 상기 지지 공정 B 및 상기 하강 공정은, 상기 카세트의 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 연장하는 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 것에 의해 실행되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정이, 직접 기판을 지지하거나 눌러 내리거나 하여 행하는 것이 아니라, 긴 지지부를 통하여 지지 또는 하강시키므로, 기판에 직접적인 응력이 걸리지 않고, 또, 기판을 전체적으로 평균적으로 지지 또는 강하시킬 수 있고, 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정의 정밀도가 올라간다. 따라서, 기판의 반입 및 반출의 동작을 보다 한층 확실하게 행할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배 열하고, 각 단 마다 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납함과 동시에 상기 기판의 반출 및 반입이 가능한 개구를 가지는 카세트에 대하여, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여 기판을 반입하고 또는 기판을 반출하는 기판 반출 반입 방법으로, 반출되는 대상 기판 또는 반입된 대상 기판을 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 및 후퇴를 위한 공간을 확보하는 지지 공정 A와, 반출되는 상기 대상 기판 또는 반입된 상기 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부보다 일단 위의 지지부에 실어 놓인 기판을 지지하는 지지 공정 B와, 반출되는 상기 대상 기판 또는 반입된 상기 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부보다 일단 아래의 지지부에 실어 놓인 기판을 눌러 내리는 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정을 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 카세트로의 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정과 함께 행해지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 반출 공정 및 반입 공정이, 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정과 함께 행해지므로, 카세트에서의 로봇의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대할 수 있다. 그 결과, 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있음과 동시에, 다단 구조의 각 단 사이의 피치가 작은 경우에 있어서도, 대상 기판 또는 이것을 실어 놓은 핸드가 대상 기판의 상하에 수납된 기판이나 상하의 기판을 실어 놓는 지지부와 완충하여 이들 기판을 손상하거나 하거나 하지 않고, 이들 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다. 또, 본 발명은, 종래의 카세트의 기본 구조에, 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정을 더하는 것에 의해서 달성할 수 있고, 특수한 암이나 기구를 가지는 로봇을 필요로 하지 않으며, 또, 복잡한 기구도 필요하지 않기 때문에 저비용으로 확실한 기판의 반입 반출을 실현할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상기 지지 공정 A, 상기 지지 공정 B 및 상기 하강 공정은, 상기 카세트의 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 연장하는 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 것으로 실행되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정이, 직접 기판을 지지하거나 눌러 내리거나 하여 행해지는 것이 아니라, 긴 지지부를 통하여 지지 또는 하강시키므로, 기판에 직접적인 응력이 걸리지 않고, 또, 기판을 전체적으로 평균적으로 지지 또는 강하시킬 수 있어 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정의 정밀도가 올라간다. 따라서, 기판의 반입 및 반출의 동작을 보다 한층 확실하게 실시할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 시스템은, 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납함과 동시에, 상기 기판의 반출 및 반입이 가능한 개구를 가지는 카세트와, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지고, 상기 카세트에 대하여 상기 기판을 반입해 또는 반출하는 로봇과, 상기 로봇의 기판 반출 또는 반입 동작시에, 상기 카세트의 상기 개구 측으로부터 안쪽과의 사이에서 상기 핸드가 진출 또는 후퇴하기 위한 공간을 확보하는 기판 반출 반입 보조 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 카세트와 로봇과 기판 반출 반입 보조 장치에 의해서, 핸드를 카세트의 앞쪽에서부터 개구 측으로 진출시키기 위한 공간 또는 핸드를 카세트의 안쪽에서부터 개구 측으로 후퇴시키기 위한 공간을 확보할 수 있으므로, 다단 구조 카세트의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있음과 동시에, 다단 구조의 각 단 사이의 피치가 작은 경우에 있어서도, 대상 기판 또는 이것을 실어 놓은 핸드가 대상 기판의 상하에 수납된 기판이나 상하의 기판을 실어 놓는 지지부와 완충하여 이들 기판을 손상하거나 하지 않고, 이들 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다.
또, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템에서는, 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 기판의 반출시에 반출되는 대상 기판, 또는 상기 기판의 반입시에 반입되는 대상 기판 중 어느 하나의 대상 기판을 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 종래의 카세트 기본 구조에 대하여, 대상 기판을 지지하는 기판 반출 반입 보조 장치를 더하는 것에 의해, 카세트 내에서의 로봇의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보할 수 있다. 또, 특수한 암이나 기구를 가지는 로봇을 필요로 하지 않고, 또, 종래의 다른 기판 반출 반입 방법과 같이 복잡한 기구도 필요하지 않기 때문에, 저비용으로 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있다.
또, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템에서는, 기판 반출 반입 보조 장치는, 기판의 반출시에 반출되는 대상 기판이 실어 놓여 있는 지지부, 또는 상기 기판의 반입시에 반입되는 대상 기판이 실어 놓여진 지지부 중 어느 하나의 지지부보다 일단 위 또는 일단 아래의 지지부에 수용되는 기판을 지지 또는 하강시켜, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 대상 기판이 실어 놓인 지지부보다 일단 위 또는 일단 아래의 기판을 지지 또는 하강시키므로, 핸드에 의한 기판의 반출시 및 반입시에 있어서, 대상 기판과 그 상하에 인접하는 기판과의 공간을 보다 확대시킬 수 있다. 그 결과, 대상 기판의 반출시에 있어서는, 기판을 실은 핸드를 카세트 내로부터 후퇴시킬 때의 공간이 넓어지게 되고, 대상 기판의 반입시에 있어서는, 기판을 실은 핸드를 카세트 내에 진출시킬 때의 공간이 넓어지게 되며, 기판 반출 반입의 동작을 보다 한층 확실하게 행할 수 있다.
더욱이, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템은, 기판 반출 반입 보조 장치 및 로봇을 연동 제어하는 제어 장치를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 기판 반출 반입 보조 장치 및 로봇을 연동 제어하는 제어 장치를 구비하므로, 프로그램에 따라 소정의 대상 기판 위치에 액세스하는 로봇을 위해, 기판 반출 반입 보조 장치에 의해 소정의 대상 기판을 지지하여 핸드가 진출 및 후퇴하기 위한 공간을 정확하게 확보할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 시스템은, 기판 반출 반입 보조 장치가, 카세트의 개구부의 근방에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. 이 때, 기판 반출 반입 보조 장치가, 적어도 1개의 기판을 지지 또는 하강시키기 위한, 1축 또는 2축 이상의 슬라이드 기구를 가지는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 시스템은, 기판 반출 반입 보조 장치가, 로봇에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 기판 반출 반입 보조 장치를 로봇에 설치된 다른 핸드에 설치하는 것에 의해, 카세트마다 기판 반출 반입 보조 장치를 설치할 필요가 없고, 비용적인 효과를 높일 수 있다.
또한, 본 발명의 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템에 있어서는, 다음과 같은 기판 반출 반입 보조 장치를 이용하는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 기판을 소정간격으로 다단 모양으로 적층하여 수납함과 함께, 상기 기판이 반출 반입되는 개구를 가지는 카세트의 기판 수납 영역에 대하여, 진출 및 후퇴 가능하게 설치된 레버와, 상기 레버를 상기 기판의 배열 방향에 따라 이동 가능하게 지지하는 승강 기구를 구비하고, 상기 카세트에 대하여 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여 상기 기판을 반입하고 또는 반출하는 경우에, 상기 기판 수납 영역으로 진출한 상기 레버에 의해서 상기 기판을 지지 또는 하강시켜, 상기 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보하는 것이 바람직하다.
이 기판 반출 반입 보조 장치에 의하면, 승강 기구에 의해서 지지된 레버에 의해 상기 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 및 후퇴를 위한 공간을 확보 또는 확대하므로, 기판 수납 카세트에 있어서의 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 수납 매수를 늘릴 수 있다. 더욱이, 그와 같은 기판 수납 카세트에 대하여, 로봇을 이용하여 기판을 확실하게 반출·반입할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 레버는, 상기 승강 기구의 구동에 의해서, 상기 카세트에 대한 반입 또는 반출의 대상이 되는 대상 기판과, 상기 대상 기판의 일단 위에 수납된 기판과, 상기 대상 기판의 일단 아래에 수납된 기판에서 선택되는 적어도 1매의 기판을 지지 또는 하강시키는 것이 바람직하다.
이 기판 반출 반입 보조 장치에 의하면, 기판의 사이즈나 카세트의 기판 수납 피치와, 핸드의 사이즈에 따라, 대상 기판 또는 그 일단 위에 수납된 기판 또는 그 일단 아래에 수납된 기판 중 적어도 1매의 기판을 지지 또는 하강시키는 것에 의해, 핸드의 진출 및 후퇴를 위해서 필요한 공간을 확보 또는 확대한다. 또, 지지 또는 하강시키는 기판은, 기판의 사이즈나 카세트의 기판 수납 피치와, 핸드의 사이즈에 따라, 적당히 선택할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 레버가 상기 기판에 맞닿아, 상기 기판을 지지 또는 하강시키는 것이 바람직하다.
이 기판 반출 반입 보조 장치에 의하면, 레버가 기판에 맞닿아, 이것을 지지 또는 하강시키므로, 종래의 카세트를 사용하여, 이것에 새로운 부품의 추가하는 것을 필요로 하지 않고, 간단한 구성에 의해 로봇의 핸드를 진출 및 후퇴시키기 위한 공간을 확대할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 카세트가, 그 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 연장하여 상기 기판이 실어 놓인 긴 지지부를 가지는 경우에 있어서, 상기 레버가 상기 긴 지지부에 맞닿아, 상기 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 것이 바람직하다.
이 기판 반출 반입 보조 장치에 의하면, 안쪽에서부터 개구 측으로 연장하여 기판이 실어 놓인 긴 지지부를 가지는 백-서포트형 카세트에 있어서, 백-서포트를 지지 또는 하강시키므로, 기판에 상처가 생기지 않고 확실하게 핸드를 진출 및 후퇴시키기 위한 공간을 확보할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치에서는, 상기 승강 기구는, 상기 카세트에 실어 놓여진 상기 기판과 거의 평행한 빔을 가지고, 상기 레버는, 상기 빔으로부터 상기 카세트의 상기 기판의 적층 방향으로 돌출하여 설치된 수직 지지부와, 그 선단에서부터 상기 적층 방향과 대략 평행한 방향으로 연장하여 설치된 손톱부로 이루어지는 것이 바람직하다.
이 기판 반출 반입 보조 장치에 의하면, 승강 기구의 빔에 의해 레버를 확실하게 지지할 수 있음과 동시에, 레버를 수직 지지부와 손톱부로 구성함으로써, 기판의 반출 반입시에, 로봇의 핸드가 빔에 완충하는 것을 회피하여, 손톱부에 의해서 기판을 확실하게 지지 또는 하강시킬 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 빔에 복수의 상기 레버를 배치하는 것이 바람직하다.
이 기판 반출 반입 보조 장치에 의하면, 빔에 복수의 레버를 배치함으로써, 복수의 레버가 복수 개소에서 대략 균등하게 기판에 작용하여 핸드의 진출 및 후퇴를 위한 공간을 확대하므로, 기판에 과도한 응력이 걸리지 않고, 이것을 파손하지 않게 확실하게 기판의 반출 반입을 할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치에서는, 이 상기 수직 지지부는 상기 빔 에 회전 가능하게 설치되고, 그 회전 구동에 의해 상기 손톱부가 상기 기판 수납 영역으로 잇달아 내보내지는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치에서는, 상기 손톱부는 상기 수직 지지부의 선단으로부터 상기 기판 수납 영역으로 향하여 연장하도록 설치됨과 동시에, 상기 수직 지지부 또는 상기 손톱부가 상기 기판 수납 영역에 대하여 직선 왕복 구동되어, 상기 손톱부가 상기 기판 수납 영역으로 잇달아 내보내지는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치에서는, 상기 손톱부는 수직 지지부의 선단에 상기 빔과 평행한 축 둘레에 회전 가능하게 축 지지됨과 동시에, 상기 손톱부가 회전 구동되어 상기 기판 수납 영역으로 잇달아 내보내지는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치에서는, 상기 손톱부의 선단에는, 롤러가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 기판에 상처가 생기지 않고 확실하게 기판의 반입 반출을 위한 지지 및 하강을 할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치에서는, 상기 빔은, 상기 기판의 적층 방향에 따라 복수단 설치되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치에서는, 상기 복수의 빔은, 각각 독립적으로 승강 구동되는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 로봇의 상기 카세트에 대한 기판의 반입 및 반출에 대응하여, 상기 승강기의 승강 및 상기 레바의 상기 기판 수납 영역으로의 진출 및 후퇴를 제어하는 제어 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 카세트의 상기 개구에 임하도록 문(門) 형으로 설치되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 카세트의 상기 개구를 둘러싸는 틀에 취해 부착되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 카세트가 실어 놓인 카세트대에 부착되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 본원에 있어서, 「지지」란, 지지부를 아래쪽에서부터 지탱하는 것이지만, 지지부의 휘어짐을 해제하도록 하는 정밀도를 올리는 것도 포함한 의미로 사용되고 있다. 이와 같은 지지에 의하면, 카세트에 수납된 상하에 서로 이웃이 되는 기판과 기판과의 사이의 공간을 확대하고, 또는, 기판의 휘어짐을 해제하여 서로 이웃이 되는 기판과 기판과의 사이의 소정의 공간을 확보할 수 있다. 또한, 본 원에 있어서의 「지지」 및 「하강」은, 필요한 폭의 공간을 확보하기 위해서, 기판의 휘어짐을 소망한 방향으로 조작 또는 보정한다고 하는 의미이다.
<발명을 실시하기 위한 바람직한 형태>
이하, 본 발명의 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템에 대하여, 도면에 기초하여 실시 형태를 설명한다. 또한, 이하에 있어서는 도면을 예시하여 설명하지만, 본 발명의 기술적 범위는 그 기재 및 도시예로 한정되는 것은 아니다.
(기판 반출 반입 시스템의 개요)
도 1은, 본 발명의 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템의 장치 구성의 일례를 나타내는 사시도이다. 본 발명의 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판(1)을 다단 수납하는 카세트(11)와, 기판(1)을 카세트(11)에 반입하고 또는 기판(1)을 카세트(11)로부터 반출하는 로봇(21)과, 카세트(11)가 가지는 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 단부 위치 조정 기구(31)를 기본 구성으로 한 것이다. 그리고, 단부 위치 조정 기구(31)에는 그 작동을 제어하는 콘트롤러(70)가 접속되는 한편, 로봇(21)에는 로봇 콘트롤러(71)가 접속되어 있다. 또한, 이것들을 연동 제어하기 위해서, 시퀸서(sequencer)(72)가 콘트롤러(70)에 접속되어 있다.
또한, 도 1 중, 화살표 X는, 로봇(21)의 핸드(22)가 진출·후퇴(이하, 진출 및/또는 후퇴를 이와 같이 기재한다.)하는 방향을 나타내고, 화살표 Y는, 로봇(21) 이 카세트(11)의 적층 방향으로 이동하는 방향을 나타내고 있다. 또, 도 1의 예에서는, 단부 위치 조정 기구(31)는, 양 사이드의 지지 기둥(40, 40) 사이에 상하로 승강하는 빔(34)이 적어도 에 설치된 문(門)형구조를 나타내고 있고, 카세트(11)의 전면 측(로봇 측)에 배치되며, 카세트대(2)에 장착되어 있다. 카세트(11)는, 예를 들면 자동 반송차에 의해서, 카세트대(2) 위에 옮겨 실을 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 단부 위치 조정 기구(31)는, 카세트(11)의 기판(1)을 반출 및 반입하는 개구 측(앞쪽)에서부터 긴 지지부(또는 지지부)의 단부를 지지 또는 하강시키는 것이다.
이 단부 위치 조정 기구(31)에서는, 문형구조의 지지 기둥(40, 40)과 빔(34)이 주로 승강 기구(300)를 구성한다. 또, 승강 기구(300)의 빔(34)에는, 긴 지지부의 앞쪽의 단부에 맞닿음 가능한 카세트(11)의 기판 수납 영역으로 진출·후퇴 가 능한 지지부재가 설치되어 있다. 그리고, 승강 기구(300)는, 지지부재를 기판의 적층 방향에 따라 이동 가능하게 지지하고 있고, 승강 기구(300)의 이동에 의해 지지부재에 맞닿은 긴 지지부의 단부를 지지 또는 하강시켜, 카세트(11) 내에 있어서의 로봇(21)의 핸드(22)가 진출·후퇴하는 공간을 확보한다. 또한, 빔(34)은, 에라도 좋지만 2개 또는 3개 설치되는 것이 바람직하고, 그 경우는 로봇(21)의 핸드(22)가 진출·후퇴하는 공간을 더욱 양호하게 확보할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서, 단부 위치 조정 기구(31)는, 로봇(21)에 의한 기판의 반출 반입을 보조하는 기판 반출 반입 보조 장치로서 기능하는 것이다. 또, 이와 같은 기판 반출 반입 보조 장치는, 카세트(11)의 기판 수납 영역에 진출·후퇴 가능한 지지부재가 설치되어 있으므로, 긴 지지부의 단부를 지지 또는 하강시키는 구성으로 한정하지 않고, 기판(1)을 직접 지지 또는 하강시키는 구성으로 할 수 있다. 요점은, 기판(1)의 반출 반입을 확실하게 보조하기 위해서, 다단 모양으로 배열(적층)되어 수납된 기판의 적층 피치를 확대하거나, 기판의 휘어짐를 조정하거나 하여, 로봇(21)의 핸드(22)가 진출·후퇴하는 공간을 확보하도록 기판에 작용하는 것이면 좋다.
또한, 기판(1)에 직접 작용하여 이것을 지지 또는 하강시키는 구성의 기판 반출 반입 보조 장치는, 긴 지지부를 가지는 백-서포트형 카세트에 한정하지 않고, 특허문헌 3의 카세트 및 기판 처리 가공 장치등에 있어서도 수납 또는 실어 놓인 기판에 휘어짐이 발생하는 경우에 적용할 수 있다. 또한, 기판의 적층 피치를 확대하거나, 기판의 휘어짐을 조정하거나 할 때는, 휘어짐이 가장 커지는 위치로 지지 부나 기판을 지지 또는 하강시키는 것이 바람직하다. 특히, 본 실시 형태에서는 긴 지지부의 앞쪽(개구)의 단부 또는 기판의 개구 측을 지지 또는 하강시키고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 긴 지지부의 단부를 지지 또는 하강시키고 있지만, 단부로 한정되는 것이 아니고, 긴 지지부 등의 위치에 있어서도 좋다.
다음으로, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템를 구성하는 각 장치에 대하여 설명한다.
(기판 수납 카세트)
먼저, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템에 사용하는 기판 수납 카세트(이하, 카세트로 함)의 일례에 대하여 설명한다. 도 2 ~ 도 4는, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템을 구성하는 카세트의 일례를 나타내는 개략도이다. 더욱 상세한 것은, 도 2는 기판을 싣는 임의의 단의 구조를 나타내는 개략 평면도이고, 도 3은 기판이 다단 수납된 형태를 나타내는 개략 측면도이며, 도 4는 기판이 다단 수납된 형태를 나타내는 개략 정면도이다.
카세트(11)는, 상하의 틀(17, 18)과, 앞쪽의 틀(19)과, 좌우의 틀(12)과, 안쪽의 틀(13)로 구성되어 있고, 앞쪽의 틀(19)은, 기판(1)을 싣는 4개의 핸드 포크(hand fork)(23)를 가지는 핸드(22)를 장착한 로봇(21)이 카세트(11) 내에 진출·후퇴할 수 있도록, 틀 구조로 되어 있지 않은 개구부(19a)를 가지고 있다.
기판(1)을 싣는 임의의 단의 구조는, 도 2 중에 파선(破線)으로 나타낸 기판(1)을 짧은 지지부(14)와 긴 지지부(15)로 이루어지는 지지부에서 지지하여 수납하도록 되어 있다. 짧은 지지부(14)는, 로봇(21)에서 보아 카세트(11)의 좌우 양측 에서 안쪽으로 향하여 연장하도록, 좌우의 틀(12)에 안쪽에서부터 앞쪽 방향으로 소정의 피치로 복수 설치되어 있다. 짧은 지지부(14)의 길이는 특별히 한정되지 않지만, 적어도 기판(1)을 안정하게 지지할 수 있음과 동시에 양 사이드의 핸드 포크(23)에 접촉하지 않는 길이로 설치되어 있는 것이 바람직하다. 각 짧은 지지부(14) 사이의 소정의 피치도 특별히 한정되지 않고, 적어도 기판(1)을 안정하게 지지할 수 있는 피치로 설치되어 있는 것이 바람직하다. 짧은 지지부(14)로서는, 예를 들면 경량으로 고강도의 알루미늄 합금제 또는 탄소 소재(그래파이트 샤프트(graphite shaft) 등) 등의 봉이 바람직하게 이용되고, 그 선단에는, 기판(1)에 접촉 상처가 나지 않도록 고무 등의 탄성 재료가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
긴 지지부(15)는, 로봇(21)에서 보아 카세트(11)의 안쪽에서부터 앞쪽의 개구부(19a)에 향하여 연장하도록, 안쪽의 틀(13)에 기판(1)의 좌우 폭 방향으로 소정의 피치로, 복수 설치되어 있다. 긴 지지부(15)의 길이는, 후술하는 단부 위치 조정 기구(31)가 이것을 지지할 수 있는 위치까지 연장하여 있는 것이 바람직하고, 통상은, 앞쪽의 틀(19)에 겹치는 위치까지 연장하고 있도록 설치하는 것이 바람직하다. 안쪽의 틀(13)에 복수 설치되는 긴 지지부(15)의 기판(1)의 좌우 폭 방향에 있어서의 피치는 특히 한정되지 않지만, 도 2 중에 파선(破線)으로 나타내는 핸드 포크(23)와 평면에서 볼 때 교호하게 되도록 소정의 피치로 설치되어 있는 것이 바람직하다. 긴 지지부(15)로서는, 예를 들면 경량으로 고강도의 알루미늄 합금제 또는 탄소 소재(그래파이트 샤프트 등) 등의 봉이 바람직하게 이용되고, 적어도 기판과 접촉하는 측에는, 기판에 접촉 상처가 생기지 않도록 빔 등의 탄성 재료가 설치 되고 있는 것이 바람직하다. 이 긴 지지부(15)는, 단부 위치 조정 기구(31)로 지지되는 단부(16)를 가지지만, 이 단부(16)는, 도 2에 나타내는 바와 같이 한층 작은 지름으로 이루어지는 부재로도 좋고, 같은 지름으로도 좋다. 또한, 기판(1)을 직접 지지 또는 하강시키는 구성의 기판 반출 반입 장치를 이용하는 경우에는, 단부(16)는 생략할 수 있어, 긴 지지부(15)의 길이는 카세트(11)의 개구부에 이를 만큼 길게 제작할 필요는 없다. 이 경우, 긴 지지부(15)의 비용을 비교적 낮게 억제할 수 있다.
카세트(11)는, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판(1)을 싣는 짧은 지지부(14)와 긴 지지부(15)로 구성되는 단이 다단 모양으로 소정의 피치로 적층된 구조를 이루는 것이다. 기판(1)을 실어 놓는 각 단의 적층 방향의 피치는 특히 한정되는 것이 아니고, 핸드(22)의 포크(23) 진출·후퇴가 허용되는 간격으로 설정되면 좋다. 또한, 본 실시 형태에서는, 각 단(기판 적층)의 피치는, 후술하는 단부 위치 조정 기구(31)를 적용하는 것에 의해, 대형화하는 기판(1)에 대하여 상대적으로 좁은 피치로 할 수 있다. 따라서, 카세트(11)는, 각 단의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수가 증가하도록 설계하여, 기판의 생산 증가로의 대응이 용이하게 할 수 있는 것을 할 수 있다.
(기판 반출 반입 보조 장치)
다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 기판 반출 반입 보조 장치로서의 단부 위치 조정 기구(31)의 개요를 도 2에서부터 도 4를 참조하여 설명한다. 또한, 도 3에 있어서는, 기판(1)의 표시를 생략하고 있다. 단부 위치 조정 기구(31)는, 지지 부재(30)와 승강 기구(300)로 주로 구성되고, 핸드 포크(23)를 가지는 핸드(22)가 출입하는 카세트(11)의 앞쪽의 틀(19)의 개구부(19a) 근방에 설치되어 있다.
승강 기구(300)는, 양 사이드의 지지 기둥(40, 40)와 그 사이를 중개하는 형태로 설치된 빔(34)으로 주로 이루어지고, 지지 기둥(40, 40) 내에는, 예를 들면, 기판(1)의 적층 방향으로 연장하는 리니어 가이드 및 슬라이더를 가지는 장치를 타이밍 풀리와 타이밍 벨트를 이용한 구동계로 동작하는 장치가 설치되어 있다.
지지부재(30)는, 승강 기구(300)의 구동에 의해서, 긴 지지부(15)의 단부(16)를 지지 또는 하강시키기 위해서, 빔(34)의 긴 지지부(15)의 단부(16)에 대응하는 부분에 설치되어, 카세트(11)의 기판 수납 영역으로 진출·후퇴 가능하게 되어 있다. 그리고, 지지부재(30)는, 카세트(11)의 기판 수납 영역에 진출한 경우에는 긴 지지부(15)에 맞닿아, 이것을 지지 또는 하강시킬 수 있도록 이루어져 있다. 이 지지부재(30)는, 각 단 마다 긴 지지부(15)의 단부(16)와 같은 위치에 설치되어 있도록 설계되고, 각 단 마다 긴 지지부(15)의 모두를 지지 또는 하강시킬 수 있도록, 각 단 마다 긴 지지부(15)와 같은 수만큼 설치되고 있다. 지지부재(30)의 형상이나 길이는 특히 한정되지 않지만, 도 3에 나타내는 바와 같이, 수cm 정도의 길이로, 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 빔(34)에는, 더욱, 맵핑 센서(mapping sensor)(41)가 설치되고 있어, 카세트(11)에 수납된 기판(1)의 위치를 검출 가능하게 되어 있다.
이와 같은 단부 위치 조정 기구(31)는, 소정의 단을 구성하는 긴 지지부(15)의 단부(16)의 위치 또는 그 단에 수납되는 기판(1)의 단부의 위치를 조정하여, 핸 드 포크(23)을 가지는 핸드(22)를 카세트(11)의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키기 위한 공간 및/또는 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키기 위해 공간을 확대하도록 동작한다. 예를 들어, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 승강 수단(300)의 빔(34) 및 지지 부재(30)가, 최상단에서부터 2단째의 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a)를 지지하면, 그 1단 아래의 기판(1c)은 휘어진 상태로 긴 지지부(15c) 위에 실어 놓여 있으므로, 핸드 포크(23)의 진출·후퇴를 확실하게 할 수 있도록 기판 1a와 기판 1c와의 사이 공간이 충분히 확대되게 된다. 또한, 본 실시 형태의 단부 위치 조정 기구(31)에서는, 도시하지 않는 다른 빔 및 지지부재가, 최상단의 기판(1b)의 긴 지지부(15b)를 지지하고 있어, 기판 1a와 기판 1b와의 사이 공간도 충분히 확보되어 있다.
여기서, 기판(1c)을 실어 놓는 긴 지지부(15) 이하의 단에도 기판(1)(도 3 에서는 도시 생략)이 실어 놓여 수납되어, 휘어진 상태로 되어 있다. 즉, 수납된 기판(1) 및 이를 실어 놓는 긴 지지부(15)는, 카세트(11)의 안쪽에서부터 앞쪽에 걸쳐 아래 쪽으로 경사지도록 휘어져 있고, 또한, 좌우의 짧은 지지부(14)로부터 기판의 중앙으로 향해서 휘어짐이 크게 되어 있다(도 4 참조). 이와 같은 카세트(11)의 각 단 사이의 공간은, 핸드 포크(23)의 진출·후퇴하는데 충분한 것은 아니지만, 단부 위치 조정 기구(31)의 승강 수단(300)의 빔(34) 및 지지부재(30)에 의한 지지에 의해서, 핸드 포크(23)의 진출·후퇴 가능한 공간이 확보되도록 되어 있다.
이와 같은 단부 위치 조정 기구(31)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 카세트 대(2)에서부터 설치하여 두는 것도 좋고, 카세트(11)의 앞쪽 틀(19)에 설치하여도 좋다. 이러한 단부 위치 조정 기구(31)는, 도 2 ~ 도 4에 나타내는 바와 같이 카세트(11)의 개구부 근방에 설치됨으로써, 적어도 1개의 단부(16:16a,16b,16c)를 지지 또는 하강시키기 위해서, 1축 또는 2축 이상의 승강 기구(300)를 가지고 있다. 카세트(11)의 개구부 근방에 설치된 단부 위치 조정 기구(31)는, 2축 이상의 복수의 슬라이드 기구를 병용(倂用)할 수 있는 점에서 바람직하다.
(기판 반송 로봇)
다음으로, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템에 사용되는 기판 반송 로봇에 대하여 설명한다. 본 발명에 사용되는 로봇은, 본 발명의 기판 반출 반입 방법을 실현할 수 있는 핸드를 가지는 것이면 특별히 한정하지 않고, 각종 형태의 로봇을 사용할 수 있다.
도 5는, 본 발명에 사용되는 로봇의 구동 형태를 나타내는 모식도이다. 로봇(21)은, 1개의 핸드를 가지는 것으로도 좋지만, 도 5에 나타내는 바와 같이 2개의 핸드(22a, 22b)를 가지는 것이 바람직하게 사용된다. 도 5에 있어서, 로봇(21)은, 4개의 핸드 포크(23a)가 장착된 핸드 지지부(24a)를 2개의 암(25a, 26a)으로 구동하는 제 1 핸드(22a)와, 동일한 4개의 핸드 포크(23b)가 장착된 핸드 지지부(24b)를 2개의 암(25b, 26b)으로 구동하는 제 2 핸드(22b)를 가지고 있다(이하, 핸드 포크를 가지는 핸드를, 특별히 거절하지 않는 한, 간단히 「핸드」라고 함). 종래의 기판 반출 반입 시스템과 마찬가지로, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템에 있어서도, 2개의 핸드(22a, 22b)를 가지는 로봇(21)이 바람직하게 이용된다. 2개의 핸드(22a, 22b)를 가지는 로봇(21)은, 각각의 핸드(22a, 22b)가 독립적으로 동작하므로, 반출 반입을 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 도 5 중, 부호 27은 기본대를 나타내고 있다.
도 6 및 도 7은, 본 발명에 사용되는 단부 위치 조정 기구를 구비하는 로봇의 구체적 일례를 나타내는 우측면도(도 6(A)), 정면도(도 6(B)) 및 평면도(도 7)이다. 또한, 도 5의 기판 반송 로봇과 동일한 구성에 대하여는, 동일한 부호를 부여하여 상세한 설명을 생략한다. 이 로봇(21)은, 2개의 핸드(22a, 22b)를 가지고, 또한, 단부 위치 조정 기구(31)를 구비하고 있다. 2개의 핸드(22a, 22b)는, 승강 샤프트(29)에 장착되어 기본대(27)에 장착되고 있다. 기본대(27)는, 앵커 볼트(anchor bolt) 등으로 고정 프레임(28) 또는 고정 레일에 고정되어 있다. 한편, 단부 위치 조정 기구(31)는, 핸드 포크의 선단 부근에 배치되어 있고, 그 단부 위치 조정 기구(31)를 신축 가능하게 하는 슬라이드 부재(35a)를 구비하고 있다. 또, 단부 위치 조정 기구(31)는, 긴 지지부(15)의 단부(16)를 지지 또는 하강시키기 위한 승강 부재(35)를 구비하고 있다. 그리고, 승강 부재(35)의 선단에는, 지지부재(30) 가 배치된 빔(34)이 설치되어 있다. 본 발명에 있어서는, 단부 위치 조정 기구(31)를 신축 및 승강 가능하게 하는 기구(승강 부재(35))를 구비하므로, 긴 지지부(15)의 단부(16)를 지지 또는 하강할 수 있고, 핸드(22a, 22b)가 기판을 반출 반입할 때에, 그 반출 반입을 확실하게 행할 수 있다. 또한, 핸드 포크는, 예를 들면 카본(carbon) 섬유와 수지 복합 재료 등으로 구성할 수 있어, 높은 강성(剛性)과 경량화를 도모할 수 있지만, 특별히 한정되는 것이 아니고, 금속 등으로도 좋 다.
본 발명에 있어서, 도 6 및 도 7에 나타내는 단부 위치 조정 기구(31)를 구비하는 로봇(21)을 사용하는 경우에는, 도 1 ~ 도 4에 나타내는 단부 위치 조정 기구(31)를 카세트(11) 근방에 설치할 필요가 없다.
(기판 반출 반입 방법)
다음으로, 상기 기판 반출 반입 시스템을 이용한 본 발명의 기판 반출 반입 방법에 대하여 설명한다. 도 8은, 본 발명의 기판 반출 반입 방법을 설명하기 위한 개략 평면도이다. 이 도는, 기판이 수납되는 1개의 단 구성을 나타내는 평면도(A)와, 그 좌측면도(기판 반출 반입 방향에서 본 도)이고, 카세트(11)의 안쪽의 틀(13)에서로부터 연장하는 3개의 긴 지지부(15)가, 단부 위치 조정 기구(31)가 구비되는 3개의 지지부재(30)로 지지 또는 하강되는 모양을 나타낸 것이다. 또한 로봇(21)의 핸드(22)의 핸드 포크(23)는, 각 긴 지지부(15)를 등 간격으로 사이에 두도록 4개 설치되어 있다. 이하에 나타내는 각 형태에 있어서는, 단부 위치 조정 기구가 설치되고 있는 부위는 특별히 특정하지 않고, 카세트의 개구부 근방에 설치되어 있어도, 로봇에 설치되어 있어도 좋다. 또한, 긴 지지부(15)와 짧은 지지부(14) 위에 실어 놓인 기판은 도시를 생략하고 있다.
도 9 ~ 도 14는, 본 발명의 기판 반출 반입 방법의 각 예를 나타내는 개념적인 설명도이다. 또한, 상술한 기판이 카세트(11)에 실어 놓여져 있을 때의 휘어짐에 대하여는, 도시를 생략하고 있다. 본 발명의 기판 반출 반입 방법은, 상술한 카세트(11)에 대하여, 기판을 반입 및 반출하기 위한 로봇(21)을 사용한 방법으로, 그 특징은, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a)의 앞쪽의 단부(16a) 또는 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)의 앞쪽의 단부(16a)를 지지하여, 카세트 내에서의 핸드(22)의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 지지 공정 A를 포함하고, 대상 기판의 반출 공정 및 반입 공정이, 지지 공정 A와 함께 행해지는 것이다. 이와 같은 특징을 가지는 기판 반출 반입 방법의 제 1 형태 ~ 제 6 형태를 순서대로 설명한다.
도 9는, 제 1 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다. 또한, 도 중 화살표(H)는, 기판 반출시에 있어서의 핸드(22)의 이동 방향을 나타낸다(이하, 도 10 ~ 도 14에 있어서 같다). 반출 공정은, 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)의 단부(16a)를 지지하는 지지 공정 A와, 긴 지지부(15a)에 실어 놓인 대상 기판(1a)의 아래쪽에 핸드(22)가 위치하도록, 핸드(22)를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정(S1)과, 핸드(22)를 윗쪽으로 이동하여(S2) 긴 지지부(15a)보다 위쪽으로 대상 기판(1a)을 들어올리는 공정(S3)과, 대상 기판(1a)을 실은 핸드(22)를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시켜(S4) 대상 기판(1a)을 카세트 밖으로 꺼내는 공정(S5)을 포함하고, 이러한 공정이 이 순서대로 행해진다. 이 반출 공정에 있어서는, 지지 공정 A에 의해, 카세트 내에 빈 핸드(22)가 진출하는 공간을 확대할 수 있으므로, 핸드(22)가 상하의 단에 실어 놓인 기판(1b , 1c)이나 지지부(짧은 지지부(14) 및 긴 지지부(15b, 15c))에 접촉하지 않게 할 수 있다. 그 결과, 반출 공정을 확실하게 실시할 수 있다.
이 반출 공정 때에서의 지지 공정 A는, 지지부재(30)가 긴 지지부(15a)의 단 부(16a)를 그 위치에서 유지, 또는 약간 밀어 올리도록 유지하는 공정으로, 도 9의 제 1 형태에 있어서, 반출 공정시에서의 지지 공정 A의 개시는 핸드(22)가 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정(S1)의 전이고, 반출 공정시에서의 지지 공정 A의 해제는 대상 기판(1a)을 카세트 밖으로 꺼낸(S5) 후이다.
반입 공정은, 상술한 반출 공정과는 역순으로 실행되고, 화살표(H)와는 반대의 방향으로 핸드(22)가 구동된다. 먼저, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a)의 단부(16a)를 지지하는 지지 공정 A와, 긴 지지부(15a)보다 위에 대상 기판(1a)이 위치하도록, 대상 기판(1a)이 실린 핸드(22)를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정(S5 및 S4)과, 핸드(22)를 아래쪽으로 이동하여 긴 지지부(15a) 위에 대상 기판(1a)을 실어 놓는 공정(S3)과, 대상 기판(1a)의 아래쪽으로 핸드(22)가 위치한 상태(S2)로 핸드(22)를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키는 공정(S1)을 포함하고, 이러한 공정이 이 순서로 행해진다. 이 반입 공정에 있어서는, 지지 공정 A에 의해, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a)가 휘어지지 않으므로, 그 긴 지지부(15a) 위에 대상 기판(1a)을 확실하게 실어 놓을 수 있다. 또, 카세트 내의 긴 지지부(15a) 및 짧은 지지부(14) 위에 대상 기판(1a)을 실은 후의 빈 핸드(22)가 후퇴하는 공간을 확대하는 것, 또는 그 공간이 좁아지는 것을 방지할 수 있으므로, 핸드(22)가 상하의 긴 지지부(15b, 15c)에 접촉하지 않게 할 수 있다. 그 결과, 반입 공정을 확실하게 행할 수 있다.
상기 반출 공정시와 마찬가지로, 반입 공정시에서의 지지 공정 A는, 지지부재(30)가 긴지지부(15a)의 단부(16a)를 그 위치로 유지, 또는 약간 밀어 올리도록 유지하는 공정으로, 도 9의 제 1 형태에 있어서, 반입 공정시에서의 지지 공정 A의 개시는 대상 기판(1a)을 실은 핸드(22)가 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정(S4) 전이고, 반입 공정시에서의 지지 공정 A의 해제는 빈 핸드(22)를 카세트 밖으로 꺼낸(S1) 후이다.
도 10은, 제 2 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다. 이 제 2 형태에 관한 방법의 반출 공정은, 지지 공정 A가 해제되는 타이밍이 상기 제 1 형태에 관한 방법의 반출 공정과 약간 다른 점을 제외하고, 제 1 형태에 관한 방법과 동일하므로, 중복하는 부분에 대해서는 그 기재를 생략한다. 즉, 제 2 형태에 관한 방법의 반출 공정은, 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)의 단부(16a)를 지지하는 지지 공정 A와, 긴 지지부(15a)에 실어 놓인 대상 기판(1a)의 아래족에 핸드(22)가 위치하도록, 핸드(22)를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정(S1)과, 핸드(22)를 윗쪽으로 이동하여(S2) 긴 지지부(15a)보다 위쪽으로 대상 기판(1a)을 들어올리는 공정(S3 및 S4)과, 이 들어올리는 공정과 동시에 또는 들어올리는 공정 후에 지지 공정 A를 해제하는 공정과, 대상 기판(1a)를 실은 핸드(22)를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시켜 대상 기판(1a)을 카세트 밖으로 꺼내는 공정(S5)을 포함하고, 이러한 공정이 이 순서로 행해진다. 이 반출 공정에 있어서는, 지지 공정 A가 해제되면 긴 지지부(15a)의 선단 측이 아래쪽으로 휘어지므로, 대상 기판(1a)을 실은 핸드(22)의 후퇴를 확실하게 행할 수 있다.
반입 공정에 있어서도 지지 공정 A가 개시되는 타이밍이 상기 제 1 형태에 관한 방법의 반입 공정과 약간 다른 점을 제외하여, 제 1 형태에 관한 방법과 동일 하므로, 중복하는 부분에 대해서는 그 기재를 생략한다. 따라서, 제 2 형태에 관한 방법의 반입 공정은, 대상 기판(1a)이 실린 핸드(22)를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정(S5 및 S4)과, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a)의 단부(16a)를 지지하는 지지 공정 A와, 이 지지 공정 A와 동시에 또는 지지 공정 A 후에, 핸드(22)를 아래쪽으로 이동하여 긴 지지부(15a) 위에 대상 기판(1a)을 실어 놓는 공정(S3)과, 대상 기판(1a)의 아래쪽에 핸드(22)가 위치한 상태(S2)로 핸드(22)를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키는 공정(S1)을 포함하고, 이러한 공정이 이 순서로 행해진다. 이 반입 공정에 있어서는, 대상 기판(1a)이 실린 핸드(22)의 진출이, 상술한 제 1 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 경우보다, 더 확실하게 행할 수 있다.
도 11은, 제 3 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다. 이 제 3 형태에 관한 방법은, 상기 제 1 형태 및 제 2 형태에 관한 방법의 반출 공정 및 반입 공정에 있어서, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a) 또는 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)보다 일단 위의 긴 지지부(15b) 앞쪽의 단부(16b)를 지지하는 지지 공정 B를 더 포함한 방법으로, 카세트(11)로부터의 대상 기판(1a)의 반출 공정 및 카세트로의 대상 기판(1a)의 반입 공정이, 그 지지 공정 B와 함께 행해지는 것을 특징으로 한다.
이 제 3 형태에 관한 방법은, 상기 지지 공정 B의 개시와 해제가 지지 공정 A와 동시에 행해지는 것을 특징으로 하고, 그 외의 점에서는 상기 제 1 형태 및 제 2 형태에 관한 방법과 동일하다. 이 제 3 형태에 관한 방법에 의하면, 일단 위의 긴 지지부(15b)의 앞쪽의 단부(16b)를 지지하는 지지 공정 B를 더 포함하므로, 핸드(22)에 의한 기판의 반출시 및 반입시에 있어서, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a) 또는 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)와, 그 바로 위의 긴 지지부(15b)와의 공간을 더 확대시킬 수 있다. 그 결과, 대상 기판(1a)의 반출시에 있어서는, 기판을 실은 핸드(22)를 카세트 내에서부터 후퇴시킬 때 공간이 넓어져, 대상 기판(1a)의 반입시에 있어서는, 기판을 실은 핸드(22)를 카세트 내에 진출시킬 때의 공간이 넓어져, 그와 같은 동작을 보다 한층 확실하게 행할 수 있다. 또한, 도 11에 있어서, 플로우 (1)은 제 1 형태와 동일한 타이밍에 의한다. (2)는 제 2 형태와 동일한 타이밍에 의한다.
도 12는, 제 4 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다. 이 제 4 형태에 관한 방법은, 도 11에 나타낸 제 3 형태에 관한 방법의 반출 공정 및 반입 공정에 있어서, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a) 또는 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)보다 일단 아래의 긴 지지부(15c)의 앞쪽의 단부(16c)를 눌러 내리는 하강 공정을 더 포함한 방법으로, 카세트로부터의 대상 기판(1a)의 반출 공정 및 카세트로의 대상 기판(1a)의 반입에 공정이, 그 하강 공정과 함께 행해지는 것을 특징으로 한다.
이 제 4 형태에 관한 방법은, 상기 하강 공정의 개시와 해제가 지지 공정 A 및 지지 공정 B와 동시에 행해지는 것을 특징으로 하고, 그 외의 점에서는 상기 제 3 형태에 관한 방법과 동일하다. 이 제 4 형태에 관한 방법에 의하면, 일단 아래의 긴 지지부(15c)의 앞쪽의 단부(16c)를 눌러 내리는 하강 공정을 더 포함하므로, 핸 드(22)에 의한 기판의 반출시 및 반입시에 있어서, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a) 또는 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)와, 그 바로 아래의 긴 지지부(15c)와의 공간을 더 확대시킬 수 있다. 그 결과, 대상 기판(1a)의 반출시에 있어서는, 기판을 실은 핸드(22)를 카세트 내에서부터 후퇴시킬 때의 공간이 넓어지고, 대상 기판(1a)의 반입시에 있어서는, 기판을 실은 핸드(22)를 카세트 내에 진출시킬 때의 공간이 넓어져, 그와 같은 동작을 보다 한층 확실하게 실시하는 고화 할 수 있다.
도 13은, 제 5 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다. 이 제 5 형태에 관한 방법은, 도 12에 나타내는 제 4 형태에 관한 방법의 반출 공정 및 반입 공정에 있어서, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15) 또는 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)의 지지 공정 A의 개시 및 해제의 타이밍을 상기 제 2 형태에 관한 방법과 동일한 방법으로 한다.
즉, 제 5 형태에 관한 방법의 반출 공정은, 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴지지부(15a)의 단부(16a)를 지지하는 지지 공정 A와, 이 지지 공정 A와 동시에 그 긴 지지부(15a)보다 일단 위의 긴 지지부(15b)의 단부(16b)를 지지하는 지지 공정 B와, 이 지지 공정 A, B와 동시에 그 긴 지지부(1a)보다 일단 아래의 긴 지지부(15c)의 단부(16c)를 눌러 내리는 하강 공정과, 긴 지지부(15a)에 실어 놓인 대상 기판(1a)의 하부 핸드(22)가 위치하도록, 핸드(22)를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정(S1 ~ S2)과, 핸드(22)를 윗쪽으로 이동하여 긴 지지부(15a) 보다 윗쪽으로 대상 기판(1a)을 들어올리는 공정(S3 및 S4)과, 이 들어 올 리는 공정과 동시에 또는 들어올리는 공정 후에 지지 공정 A를 해제하는 공정과, 대상 기판(1a)을 실은 핸드(22)를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시켜 대상 기판(1a)을 카세트 밖으로 꺼내는 공정(S5)을 포함하고, 이러한 공정이 이 순서로 행해진다. 그리고, 마지막으로 지지 공정 B와 가공 공정이 해제된다.
또, 제 5 형태에 관한 방법의 반입 공정은, 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)보다 일단 위의 긴 지지부(15b)의 단부(16b)를 지지하는 지지 공장 B와, 이 지지 공정 B와 동시에 그 긴 지지부(15a)보다 일단 아래의 긴 지지부(15c)의 단부(16c)를 눌러 내리는 하강 공정과, 대상 기판(1a)이 실린 핸드(22)를 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15)a의 위쪽 위치에서 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정(S5 및 S4)과, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a)의 단부(16a)를 지지하는 지지 공정 A와, 이 지지 공정 A와 동시에 또는 지지 공정 A 후에, 핸드(22)를 아래쪽으로 이동하여 긴 지지부(15a) 위에 대상 기판(1a)을 실어 놓는 공정(S3)과, 대상 기판(1a)의 아래쪽에 핸드(22)가 위치한 상태(S2)로 핸드(22)를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키는 공정(S1)을 포함하고, 이러한 공정이 이 순서로 행해진다. 그리고, 마지막으로, 지지 공정 A, B와 가공 공정이 해제된다.
이 제 5 형태에 관한 방법은, 기판의 반출 공정 및 반입 공정 중 어느 한 경우에 있어서도, 핸드(22)의 진출시 및 후퇴시의 공간을 최대한 넓게 할 수 있으므로, 그것들의 동작을 보다 한층 확실하게 행할 수 있다.
도 14는, 제 6 형태에 관한 기판 반출 반입 방법의 설명도이다. 이 제 6 형 태에 관한 방법은, 상술한 제 1 ~ 제 5 형태에 관한 방법과는 달리, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a)의 단부(16a) 또는 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)보다 일단 위의 긴 지지부(15b)의 단부(16b)를 지지하는 지지 공정 B와, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a) 또는 대상 기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)보다, 일단 아래의 긴 지지부(15c)의 단부(16c)를 눌러 내리는 하강 공정을 포함하고, 긴 지지부(15a)의 단부(16a)를 지지 또는 하강시키지 않는 것에 특징이 있다. 이 제 6 형태에 있어서는, 지지 공정 B와 하강 공정의 양쪽 모두는 아니고, 어느 한쪽을 실시하는 공정으로서도 좋다.
이 제 6 형태에 관한 발명은, 상술한 제 1 ~ 제 5 형태의 방법과 같이 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a) 또는 대상기판(1a)이 실어 놓인 긴 지지부(15a)를 지지하는 것이 아니라, 그 긴 지지부(15a)의 일단 위의 긴 지지부(15b)를 지지함과 동시에 일단 아래의 긴 지지부(15c)를 하강시킨다. 이와 같이 한 지지 공정 B 및/또는 하강 공정에 의해, 긴 지지부(15a)와, 그 바로 위의 긴 지지부(15b) 와의 공간 및 그 바로 아래의 긴 지지부(15c)와의 공간을 보다 확대시킬 수 있다. 그 결과, 대상 기판(1a)의 반출시와 반입시에 있어서, 핸드(22)의 진출은 후퇴를 위한 공간을 넓게 할 수 있으므로, 그와 같은 동작을 확실하게 행할 수 있다. 또한, 제 5 형태에 있어서는, 지지 공정 B와 하강 공정은, S1 전에 실행하고, S4 또는 S5 뒤에 해제하는 것이 바람직하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 기판 반출 반입 방법에 의하면, 각 단마다의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수가 늘어나도록 설계된 카세트를 이용한 경우에서도, 기판의 반출 및 반입을 확실하게 행할 수 있다. 이러한 본 발명은, 종래의 백-서포트형 카세트의 기본 구조에 단부 위치 조정 기구를 더하는 것에 의해서 달성할 수 있으므로, 특수한 암이나 기구를 가지는 로봇을 필요로 하지 않고, 또, 종래의 다른 기판 반출 반입 방법과 같은 복잡한 기구도 필요하지 않기 때문에, 저비용으로 실현할 수 있다.
(단부 위치 조정 기구)
다음으로, 기판 반출 반입 보조 장치의 일례로서, 긴 지지부의 앞쪽의 단부를 지지 또는 하강시키는 단부 위치 조정 기구에 대하여 상술한다. 상술한 바와 같이, 단부 위치 조정 기구(31)는, 핸드(22)를 카세트(11)의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키기 위한 공간 및 핸드(22)를 카세트(11)의 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키기 위한 공간을 확대하기 위한 장치로, 상기 제 1 형태 ~ 제 6 형태에 관한 방법에서 설명한 바와 같이, 대상 기판(1a)을 실어 놓는 긴 지지부(15a)의 단부(16a), 그 긴 지지부(15a)보다 일단 위의 긴 지지부(15b)의 단부(16b), 및, 그 긴 지지부(15a)보다 일단 아래의 긴 지지부(15c)의 단부(16c)에서 선택되는 적어도 1개의 단부를 지지 또는 하강시키는 장치이다.
이러한 단부 위치 조정 기구(31)는, 도 1의 카세트대(2) 위에 설치된 형태와 같이, 카세트(11)의 앞쪽의 개구부의 근방에 설치되고 있어도 좋고, 도 6 및 도 7에 나타내는 형태와 같이, 로봇에 설치되어 있어도 좋다. 단부 위치 조정 기구(31)를 카세트(11)의 개구부(19a)의 근방에 설치하는 경우에는, 1축은 물론, 2축 이상의 복수의 승강 기구를 설치할 수 있는 점에서 바람직하다. 또, 단부 위치 조정 기 구를 로봇에게 설치하는 경우에는, 단부 위치 조정 기구를 로봇의 다른 핸드의 선단에 설치하는 것에 의해, 카세트나 카세트마다 단부 위치 조정 기구를 설치할 필요가 없고, 비용적인 효과를 높일 수 있다.
도 15는, 카세트의 개구부 근방에 장착된 단부 위치 조정 기구(31)의 일례를 나타내는 정면도이고, 도 16 ~ 도 18은, 단부 위치 조정 기구에 각 요소의 확대도이다. 도 16은 도 15에 있어서의 A부의 확대도, 도 17은 도 16에 있어서의 측면도. 도 18은 도 15에 있어서의 B부의 확대도이며, 도 18(a)은, 그의 평면도, 도 18(b)는 정면도, 도 18(c)는 측면도이다. 또한, 이들 도 15 ~ 도 18은, 투시도(透視圖)로 내부 구조를 나타내고 있다.
단부 위치 조정 기구(31)는, 카세트의 앞쪽의 틀(19)에 장착되는 것으로, 그 기판을 반출 반입하는 개구부(19a)의 근방에 장착되어 로봇의 동작과 연동하여 긴 지지부(15)의 단부(16)를 지지 또는 하강시키도록 동작한다. 또한, 단부 위치 조정 기구(31)는, 카세트(11)의 틀(19)과 대향하도록 카세트대(2) 위에 설치되고 있어도 좋다(도 1을 참조) . 또한, 긴 지지부(15)의 단부(16)에 대신하여, 개구부(19a)의 옆에서부터 기판을 지지 또는 하강시키는 단부 조정 기구로서도 기능시킬 수 있다. 또한, 부호 41은, 매핑 센서이고, 기판 위치를 검출하기 위한 것이다.
단부 위치 조정 기구(31)는, 카세트의 앞쪽의 틀(19)에 장착된 좌우의 지지 기둥(40, 40)과, 그들 사이에 건너 기판의 적층 방향에 따라서 이동 가능함과 동시에 지지부재로서의 레버(30)를 복수 가지는 빔(34)에 의해 문(門)형 구조로 형성되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 빔(34)은, 레버(30)를 기판의 적층 방향에 따라서 이동 가능하게 지지하는 승강 기구(300)의 일부를 이루는 것으로, 아래쪽 빔(34a)와 위쪽 빔(34b)이 연결 부재(34c)에 의해 상하 방향으로 일정한 거리를 가지고 일체로 연결되어 구성되어 있다. 또, 지지 기둥(40) 및 빔(34)은, 중공(中空) 형상으로 형성되어, 그 내부에 후술하는 슬라이드 기구(400)나 레버(30)의 구동 기구를 내장하고 있다. 이와 같은 기구를 내장하는 구성에 있어서, 단부 위치 조정 기구(31)의 구동에 의한 발진(發塵)을 억제할 수 있으므로, 액정 표시 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 제조 공정에서 요구되는 청정 분위기(雰圍氣)를 오염하지 않는다.
좌우의 지지 기둥(40, 40)에는, 빔(34)을 승강시키는 슬라이드 기구(400)로서, 가이드 레일(35)과 ,그 가이드 레일(35) 위를 슬라이드 하는 3개의 캐리지(carriage)(48)로 구성된 슬라이더(49)로 이루어지는 좌우 한 쌍의 직동(直動) 안내 장치(리니어 모션 가이드라고 함)가 설치되어 있다. 또한, 지지 기둥(40, 40)의 일단에는, 승강 구동원(42)으로부터의 구동력이 전달되는 풀리(47a)가 설치되고, 타단에는 종동 풀리(47b)가 회전이 자유롭게 축 지지되어 있다. 그리고, 풀리(47a)와 종동 풀리(47b)와의 사이에는, 슬라이더(49)에 양단이 연결되는 것에 의해 무단(無端) 벨트 모양으로 형성된 타이밍 벨트(36)가 장착되어 있다. 따라서, 슬라이더(49)는, 구동원에 의한 풀리(47a)의 회전 구동에 대응하여, 기판 적층 방향인 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 슬라이더(49)는, 빔(34)를 지지하여 승강하도록 되어 있다. 또한, 도 15 중의 최상부에 점선으로 나타내는 빔(34)은, 최상부에 상승한 빔(34)을 나타낸다.
또, 좌우의 지지 기둥(40, 40) 내는, 어느 정도의 공간을 가지므로, 한쪽의 지지 기둥(40)의 공간에는 이동 가능한 케이블 베어(bear)(80)가 삽입되어 있다. 또한, 케이블 베어(50)는, 후술하는 레버(30)를 구동하는 에어 공급 튜브나 매핑 센서(41)의 신호선 등의 빔(34)을 제어하기 위한 각종 케이블 등을 결속 수납하는 것으로, 그 일단이 슬라이더(49)에 접속되고, 타단이 가이드 레일(35)과 대향하는 지지 기둥(40)의 내벽에 고정되고 있다. 케이블 베어(50)는, 슬라이더(49)의 승강 이동에 대응하여 지지 기둥(40) 내를 이동하고, 그 승강 이동을 저해하지 않도록 설치되어 있다.
다음으로, 도 16을 참조하여, 슬라이드 기구(400)의 승강 구동원(42)에 대하여 설명한다. 본 실시 형태의 승강 구동원(42)은, 서보모터(servomotor)(42)이다.이 사보모터(42)의 구동 회전은, 커플링(coupling)(43)과 베어링(서포트 유니트)(44)를 통하여 감속기(45)에 전할 수 있도록 되어 있다. 서보모터(42)로부터의 회전 구동력은, 감속기(45)에 연결된 샤프트(46)를 통하여, 좌우의 지지 기둥(40, 40)의 풀리(47a)에 전달된다. 그리고, 풀리(47a)의 회전에 대응하여, 슬라이더(49) 가 승강 구동된다. 또, 도 15 중, 우측의 지지 기둥(40)의 풀리(47a)는, 샤프트(46)의 일단에 직접 연결되어 회전 구동하도록 설치되어 있다. 한편, 도 15 중, 좌측의 지지 기둥(40)의 풀리(47a)는, 샤프트(46)의 타단에 연결된 베어링(서포트 유니트)(51)과 조인트(52)와 커플링(53)과 드라이브 샤프트(54)를 통하여, 회전 구동하게 되어 있다. 또한, 감속기(45) 베어링(서포트 유니트)(51)과 조인트(52)와 커플링(53)과 드라이브 샤프트(54) 등은, 지지 기둥(40) 및 빔(34)과 마찬가지로 중공 형상으로 형성된 프레임(55)에 수용되고 있는 것이, 방진의 점에서 바람직하다.
본 실시 형태에서는, 승강 구동원(42)은, 지지 기둥(40)의 외부에 설치되어 있지만, 지지 기둥(40) 내의 공간에 설치하도록 하여도 좋다. 또, 좌우의 지지 기둥(40) 내의 슬라이드 기구(400)를 각각 독립한 승강 구동원에 의해 구동하여도 좋고, 리니어 모터에 의해 직접 구동하는 구성으로 할 수도 있다. 이와 같이 승강 구동원은, 서보모터에 한정되지 않고, DC 모터나 리니어 모터 등을 이용하는 여러 가지의 변형이 가능하다. 마찬가지로, 승강 구동 기구도 본 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
도 17 은, 단부 위치 조정 기구(31)의 측면의 확대도이다. 단부 위치 조정 기구(31)는, 설치 치구(治具)(81)에 의해서, 예를 들면 카세트의 앞쪽의 틀(19)에 고정되어 있다. 또한, 단부 위치 조정 기구(31)의 고정 방법이나 고정 개소는 특별히 한정되는 것이 아니고, 카세트대(2)의 측면에 장착하는 구성으로 하여도 좋다.
다음으로, 빔(34)은, 도 16에 확대하여 나타내는 바와 같이, 아래쪽 빔(34a)과 위쪽 빔(34a)이 연결 부재(34c)에 의해 상하 방향으로 일정한 거리를 가지고 일체로 연결되어 있다. 아래쪽 빔(34a)과 위쪽 빔(34b)에는, 각각 상하로 대향하도록 지지부재로서의 레버(30)가 소정의 간격으로 같은 수로 설치되어 있다(도 15 참조) . 또한, 레버(30)는, 단부 조정 기구(31)가 작동하여 긴 지지부(15) 또는 기판을 지지 또는 하강시킬 때에, 이것들에 맞닿아서 지지 또는 하강 상태를 지지하는 부재이다.
이 빔(34)의 양단은, 베어링 홀더(82)를 통하여 좌우의 슬라이더(49)에 연결 되어 있다. 이와 같이 하여 빔(34)은, 슬라이더(49)의 승강에 의해서, 기판 적층 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 좌우의 베어링 홀더(82)는, 좌우의 슬라이더(49)의 승강 이동량에 오차가 생겼을 경우에, 그 오차를 보정하여 빔(34)과 슬라이더(49)와의 사이에서 발생하는 응력을 흡수하고, 좌우의 슬라이더(49)의 구동, 즉 빔(34)의 승강 작동을 부드럽게 하기 위한 것이다.
또, 빔(34)에는, 매핑 센서(41)가 장착되어 있다. 이 매핑 센서(41)는, 카세트의 기판 수납부에 향하여 레이저광을 사출(射出)하고, 카세트에 수납되어 있는 기판으로부터의 반사광을 수광(受光)하여, 기판의 수납 위치를 검출하는 것이다. 매핑 센서(41)로부터의 검출 신호를 연산하는 것에 의해, 단부 위치 조정 기구(31) 및 이것에 연동하는 로봇(21)의 작동을 제어할 수 있다.
다음으로, 지지부재로서의 레버(30) 및 그 구동 기구에 대하여, 도 16 및 도 18을 참조하여 설명한다. 또한, 도 18(a)(b)(c)는, 카세즈트(11)에 대하여 계속 내보내지지 않은 상태의 레버(30)(지지부재)를 나타내고 있다. 또, 레버(30)는 아래 쪽 빔(34a)과 위쪽 빔(34b)에 각각 설치되고 있으나 그 구성 및 구동은 동일하므로, 이하 빔(34)의 레버(30)로 설명한다.
레버(30)는, 손톱부(32)와 수직 지지부로서의 손톱 연장부(67a)로 이루어진다. 또한, 손톱 연장부(67a)는 손톱 샤프트(67)의 일부를 이루고, 손톱부(32)는 손톱 샤프트(67)의 선단 측으로부터 기판과 대략 평행한 방향으로 연장한다. 손톱 샤프트(67)는, 기판 적층 방향과 평행한 자세로 빔(34)을 관통하여 베어링(69, 69)에 회동 가능하게 축 지지되어 있다. 따라서, 손톱부(32)는, 손톱 샤프트(67)의 회동에 의해서, 카세트의 긴 지지부(15) 또는 카세트에 수납된 대상 기판에 맞닿음 가능한 위치(카세트(11)의 기판 수납 영역)에 대하여 진출·후퇴가 가능하게 되어 있다. 또한, 손톱부(32)의 선단에는, 롤러(33)가 장착되어, 지지 또는 하강시키는 대상 기판(1)에 접촉할 때의 미끄러짐을 향상시키고 있다. 즉, 손톱부(32)는, 빔(34)의 승강 작동에 응하여, 긴 지지부(15) 또는 대상 기판에 대하여 그 위쪽과 아래쪽의 양쪽에서 맞닿음 가능하게 되어 있다.
또, 손톱 연장부(67a)는, 수직 지지부로서, 레버(30)가 긴 지지부(15) 또는 대상기판을 지지 또는 하강하고 있는 경우에, 빔(34)과 손톱부(32)를 충분하게 이간(離間)시켜서, 진출 후퇴하는 핸드(22)가 빔(34)과 완충하지 않는 상태에서의 기판의 지지 또는 하강을 가능하게 하고 있다. 따라서, 손톱 연장부(67a)의 길이는, 아래쪽 빔(34a)과 위쪽 빔(34b)과의 간격, 카세트(11)의 기판(1)의 적층 피치, 및 단부 위치 조정 기구(31)가 조정 대상으로 하는 기판의 선택에 의해서, 핸드(22)의 진출·후퇴를 허용하는 스페이스를 확보하도록 결정된다. 여기서, 핸드 위치의 선택이란, 반출 반입의 대상으로 하는 대상 기판을 지지하는지, 대상 기판보다 일단 위의 기판을 지지하는지, 혹은, 대상 기판보다 일단 아래의 기판을 하강시키는지, 또는 이것들 실감 및 하강의 조합을 선택하는 것을 말한다. 또한, 아래쪽 빔(34a)과 위쪽 빔(34b)은, 그 사이에 로봇(21)의 핸드(22)의 통과를 허용하는 간격으로 한편, 각 빔에 배치된 레버(30)가 인접하는 단의 기판을 지지 또는 하강할 수 있도록 설치되어 있다.
다음으로, 손톱 샤프트(67)의 베어링(69, 69)에 축 지지되는 부분의 중간에는, 링크 부재(66)가 손톱 샤프트(67)와 일체로 회전하도록 고정되어 있다. 링크 부재(66)의 손톱 샤프트(67)에 고정되는 측과는 반대의 단부에는, 로봇(63)의 로드 엔드(rod end)(65, 65)가 가동(可動)으로 연결되어 있다. 로봇(63)은, 에어 실린더(61)에 의해 지지 기둥(40)에 가까워지는 또는 멀어지는 방향으로 왕복 운동 가능하게 되어 있다. 그리고, 로봇(63)의 왕복 운동에 의해서 로드 엔드(65, 65)가 도 18 중의 화살표 W의 방향으로 왕복 이동하고, 이것에 눌어져서 링크 부재(66)가 도 18 중의 화살표 R의 방향으로 거의 90°왕복 회동한다. 이것에 의해서, 손톱 샤프트(67)도 회동하여, 그의 선단에 설치된 레버(30)는, 90°선회하여, 카세트의 긴 지지부(15) 또는 카세트에 수납된 대상 기판(1)에 맞닿은 가능한 위치에 대하여 진출·후퇴하도록, 구성되어 있다. 또한, 로드(63)는, 에어 실린더(61) 측에 배치되는 경우는 일단 측이 죠인트(62)에 의해서 에어 실린더(61)와 연결되어 타단측이 로드 엔드(65)로서 링크 부재(66)에 연결되고 있고, 각 레버(30) 사이에 배치되는 경우는 로드 엔드(65)를 양단으로 가져서 양단 측이 링크 부재(66)에 연결되어 있다.
본 실시 형태에 있어서는, 레버(30)의 구동원은, 에어 실린더(61)로 하고 있지만, 이것에 한정하지 않고 솔레노이드나 리니어 모터 등 모두 사용할 수 있다. 또, 구동 전달 수단으로서는, 링크 부재(66)와 로드(63)에 의하는 것 외, 구동원에 따라 락 앤드 피니언이나 캠 기구를 이용할 수도 있다. 레버(30)의 구동원 및 구동 기구는, 본 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
이와 같이 구성된 단부 위치 조정 기구(31)는 다음과 같이 작동한다. 예를 들면, 슬라이드 기구(400)에 의해 대상 기판(1)의 근방 소정 위치까지 빔(34)을 승강시킨 후, 에어 실린더(61)을 구동시켜 레버(30)를 선회시킨다. 즉, 기판 수납 영역으로 계속 내보낸다. 그 후, 슬라이드 기구(400)를 미동시켜 레버(30)를 긴 지지부(15) 또는 대상 기판(1)에 맞닿게 하여, 더욱 슬라이드 기구를 구동하고, 소망하는 공간이 확보되도록 대상 기판(1)을 지지 또는 하강시킨다. 이와 같은 작동을 반복하는 것에 의해, 본 발명의 기판 반출 반입 방법의 형태를 실시할 수 있다.
(시스템의 제어)
다음으로, 본 발명의 기판 반출 반입 방법을 실행하는 기판 반출 반입 시스템의 제어에 대하여 설명한다. 기판 반출 반입 시스템은, 기판 반출 반입 보조 장치로서의 단부 위치 조정 기구(31)와 로봇(21)을 연동 구동시킴으로써, 그 제어 장치로서 콘트롤러(70)와 로봇 콘트롤러(71)와 시퀀서(sequencer)(72)가 접속되어 있다(도 1 참조). 도 19는, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템의 제어 장치를 나타내는 블록도이다.
단부 위치 조정 기구(31)의 콘트롤러(70)는, CPU(중앙 처리 장치)(701)와, R0M(702)과, RAM(703)과, EEPR0M(704)과 통신부(705)로 외부 입출력 I/F(706)와, 구동 제어부(110)가 버스(bus)에 의해서 접속되어 있다.
CPU(701)는, 콘트롤러(70)의 제어 중추를 맡는 것으로, 단부 위치 조정 기구(31)에 대한 제어를 행하기 위한 연산 처리를 행한다.
R0M(702)은, 단부 위치 조정 기구(31)의 작동 프로그램을 격납하고 있는 프 로그램 기억부로서 기능한다. 또, RAM(703) 및 EEPR0M(704)은, CPU(701)와 서로 인터페이스(interface)로 있다. RAN(703)은, 변수의 쓰기 및 읽기가 랜덤하게 행해진다. EEPR0M(704)은, 전기적으로 몇 번이라도 기억의 소거·기입이 가능하게 있어서, 외부로부터 전력을 공급하지 않아도 기억을 유지할 수 있다. 예를 들면, 매핑 센서(41)에 의한 기판 위치의 검출 데이터는 EEPR0M(704)에 기억된다.
통신부(705)는, 복수의 I/F(인터페이스)를 가지고, 로봇 콘트롤러(71) 및 시퀸서(72) 등이 각각 접속되며, 단부 위치 조정 기구(31)(기판 반출 반입 시스템)의 제어를 위한 각종 데이터나 프로그램의 입출력이 이루어진다. 또, 외부 입출력 I/F(706)는, 단부 위치 조정 기구(31)에 설치된 매핑 센서(41) 등이 접속된다.
구동 제어부(707)는, CPU(701)에 의한 연산 처리를 거쳐 작성된 제어 지령을 받아서, 승강 기구(300) 및 레버(30)의 구동원(구동축)의 구동을 제어한다. 이 구동 제어부(707)는, 단부 위치 조정 기구(31)의 구동축 수에 따라, 각 구동축에 대응하는 같은 수의 구동 제어기를 구비한다.
로봇 콘트롤러(71)는, 단부 위치 조정 기구(31)의 콘트롤러(70)와 대략 동일한 구성이다. 즉, 연산 처리를 행하는 CPU, 작동 프로그램을 격납하는 R0M과, 워킹 에어리어(working area)로서의 RAM이나 EEPR0M, 통신부, 외부 입출력 I/F, 각 구동축의 구동을 제어하는 구동 제어부 등을 구비하고, 로봇(21)의 구동축을 제어하는 것이다.
시퀀서(72)는 CPU를 탑재하고, 단부 위치 조정 기구(31)의 콘트롤러(70) 및 로봇 콘트롤러(71)가 접속되어, 단부 위치 조정 기구(31)와 로봇(21)과의 구동이 소정의 타이밍으로 이루어지도록 제어하는 것이다. 또한, 콘트롤러(70), 로봇 콘트롤러(71) 및 시퀸서(72)의 접속은 병렬 접속으로, 어떠한 순서로 접속하여도 좋다. 또, 필요에 의해, 시퀀서(72)로부터 1개의 콘트롤러(콘트롤러(70) 또는 로봇 콘트롤러(71))에 접속하고, 또한 거기에서부터 복수의 다른 콘트롤러에 접속할 수 있다. 즉, 북소의 단부 위치 조정 기구(31)와 복수의 로봇(21)을 1개의 시퀸서(72)에 접속하여, 복잡한 기판 반출 반입 시스템을 구성할 수 있다. 또, 시퀸서(72)는, 통상의 퍼스널 컴퓨터로 대체할 수 있다.
다음으로, 이와 같이 제어 장치가 구성된 기판 반출 반입 시스템의 작동에 대하여 설명한다. 그 작동은 다음의 순서로 행해진다. 또한, 여기에서는, 기판을 직접 지지하는 동작을 행하는 기판 반출 반입 시스템으로서 설명하지만, 기판 하강 동작에 의해 기판 반출 반입을 위한 공간을 확대하는 경우에서도, 또는 기판 지지와 하강의 양 동작에 의한 경우에 있어서도, 더욱이, 긴 지지부를 지지 또는 하강 시키는 경우에 있어서도, 동일한 동작에 의한 것일 수 있다.
(1) 시퀸서(72)는, 단부 위치 조정 기구(31)의 콘트롤러(70)에 대하여, 기판(1)의 유무를 조사하는 매핑 지령을 내린다
(2) 콘트롤러(70)는, R0M(702)으로부터 매핑 작동 실행 프로그램을 호출하고, 이 프로그램에 기초한 구동 제어부(707)로부터 단부 위치 조정 기구(31)에 대하여 매핑 동작 실행 명령을 내린다. 이와 같은 명령에 의해서, 단부 위치 조정 기구(31)는, 예를 들면, 승강 기구(300)를 기판(1)의 적층 방향에 카세트(11)의 최하단의 위치로부터 최상단의 위치까지 구동시켜, 매핑 센서(41)에 의한 주행을 실행 하여, 카세트(11)에 있어서의 기판(1)의 실어 놓는 개소(個所)(각 단에 있어서의 기판(1)의 수납의 유무)를 검출한다.
(3) 콘트롤러(70)는, 매핀 센서(41)로부터의 기판(1)의 유무 검출의 신호를 외부 입출력 I/F(706)를 경유하여 수신한다. 그리고, CPU(701)에서의 연산 처리에 의해서, 카세트(11)에 있어서의 기판(1)의 수납 수나 수납 단의 위치에 관한 기판 수납 정보를 얻는다. 이 기판 수납 정보는 필요에 의해, EEPR0M(704)에 기억된다.
(4) 콘트롤러(70)는, 시퀸서(72)에 대하여, 매핑 작동 완료의 보고와 함께 기판 수납 정보를 통지한다.
(5) 시퀸서(72)는, 콘트롤러(70)에 대하여, 기판 수납 정보에 기초한 기판의 반출 또는 반입의 대상이 되는 소정의 수납 단으로의 액세스(access) 지령을 내린다.
(6) 콘트롤러(70)는, R0M(702)으로부터 기판 지지 동작의 실행 프로그램을 호출하고, 이 프로그램과 기판 수납 정보에 기초한 구동 제어부(707)로부터 단부 위치 조정 기구(31)에 대하여 기판 지지 동작의 실행 명령을 내린다. 그리고, 상술한 바와 같이 승강 기구(300) 및 레버(30)가 구동되어, 기판(1)의 지지가 실행되어, 지지 상태가 된다.
(7) 콘트롤러(70)는, 예를 들면 단부 위치 조정 기구(31)로부터의 정지 신호에 의해서, 기판 지지 상태가 된 단부 위치 조정 기구(31)의 단부 조정 동작 종료 정보를 얻는다.
(8) 콘트롤러(70)는, 단부 조정 동작 종료 정보를 받아서, 로봇 콘트롤 러(71)에 대하여, 단부 조정 동작 종료 정보를 통지한다. 이것과 동시에 또는 사전(事前)에 로봇 콘트롤러(71)에는, 로봇(21)이 대상 기판을 반출 반입하는 소정의 수납 단에 관한 위치 정보를 포함한 기판 수납 정보가 통지된다.
(9) 로봇 콘트롤러(71)는, 단부 조정 동작 종료 정보를 받아서, 로봇(21)에 대하여 소정의 수납 단에 대한 대상 기판(1)의 반입 또는 반출의 동작을 지시하는 실행 명령을 내린다. 또한, 이 명령은, 로봇 콘트롤러(71)의 프로그램 기억부에 미리 격납되어 있는 동작 프로그램에 기초한 것이다.
(10) 로봇(21)이 소정의 반입 또는 반출하는 동작을 완료하면, 로봇 콘트롤러(71)에 그 동작 완료 정보가 통지된다.
(11) 로봇 콘트롤러(71)는, 콘트롤러(70)에 대하여, 로봇(21)의 동작 완료 정보를 통지한다. 또한 그 동작 완료 정보는, 콘트롤러(70)의 통신부(705)를 통하여 시퀸서(72)에 통지되어, 소정의 수납 단에 대한 대상 기판(1)의 반출 반입 동작은 완료한다.
(12) 로봇(21)의 동작 완료 정보를 받은 콘트롤러(70)는, 상술한 (11)과 동시에 또는 직후 또는 직전에, 단부 위치 조정 기구(31)에 대하여 기판 지지 동작을 해제하는 동작을 실행하는 명령을 내리고, 기판(1)의 지지가 해제된다. 또한, 이 해제 동작은,(6)과 동일하게 R0M(702)으로부터 불려 나간 실행 프로그램에 기초하여 실행된다.
(13) 마지막으로, 계속해서 기판 반출 반입을 행할 필요가 있는 경우는, 로봇의 동작 완료 정보를 받은 시퀀스(72)는, 다음의 동작 대상이 되는 다음의 수납 단에 대한 다른 기판(1)의 반출 또는 반입을 위해서, 콘트롤러(70)에 대하여, 다음의 수납 단으로의 액세스 지령을 내린다. 그리고, 예정의 기판 반출 반입이 완료할 때까지, 상술한 (6) 이후의 작동이 반복 실행된다.
이와 같이 본 발명의 기판 반출 반입 시스템은, 단부 위치 조정 기구(31)의 콘트롤러(70)와 로봇(21)의 로봇 콘트롤러(71)와 시퀸서(72)로 이루어지는 제어 장치에 의해서 제어되고 있으므로, 기판 반출 반입 보조 장치로서의 단부 위치 조정 기구(31)와 로봇(21)이 연동 구동된다. 즉, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템에서는, 단부 위치 조정 기구(31)가 로봇(21)의 구동에 앞서서 대상 기판이 반출 반입되는 소정의 수납 단에 액세스하여 기판을 지지 또는 하강시킨다. 한편, 로봇(21) 은, 제어 장치로부터의 명령과 정보에 기초한 카세트(11)의 소정의 수납 단에 대한 대상 기판(1)의 반입 및 반출을 실행한다. 이 때, 소정의 수납 단의 위치 정보가 로봇(21)에 인식되어 있음과 동시에, 단부 위치 조정 기구(31)에 의해 소정의 수납 단에 대한 로봇(21)의 핸드(22)의 진출·후퇴가 가능한 공간이 확대 또는 확보되어 있으므로, 확실하게 기판의 반출 및 반입을 행할 수 있다.
또, 로봇(21)의 작동에 있어서, 대상 기판이 반입되는 소정의 수납 단 또는 반출 대상 기판(1)의 위치를 주사(走査)하여 검지(檢知)할 필요가 없기 때문에, 로봇(21)은 소정의 수납 단에 대하여, 고속으로, 정확하게 기판(1)을 반출 반입할 수 있다.
또한, 매핑 센서(41)에 의한 기판 위치 주사 및 기판의 지지 또는 하강의 실행·해제 동작 및 그 실행·해제를 위한 빔(34)의 승강 동작 등 단부 위치 조정 기 구(31)가 동작하는 동안에, 로봇(21)은 카세트(11)에 대하여 반출 반입하는 대상 기판(1)을 처리하는 다른 장치에 액세스하고 또는 다른 카세트(11)에 대한 대상 기판(1)의 반출 반입을 행할 수 있다. 따라서, 본 발명의 기판 반출 반입 시스템에서는, 반송 택트(tact)를 공정의 대기 시간으로서 낭비하지 않고, 기판의 제조 공정의 효율을 높일 수 있다.,
(변형 예)
다음으로, 제 3 ~ 제 6 형태와 같이, 2개 이상의 긴 지지부(15)의 단부(16)를 각각 독립하여 지지 또는 하강시키는 경우에는, 2개 또는 3개의 빔을 독립하게 구동시키는 것이 필요하다. 그 변형 예를 다음에서 설명한다.
예를 들면, 빔의 연결 부재(34c)를 기판 적층 방향인 상하로 신축 구동 가능하게 하고, 그 상하의 단부에 아래쪽 빔(34a) 및 위쪽 빔(34b)을 지지하는 구성으로 할 수 있다. 이 경우, 슬라이드 기구(400)와 신축 구동하는 연결 부재(34c)를 순차 또는 독립하게 구동하는 것에 의해, 각각 소망의 긴 지지부 또는 기판을 지지 또는 하강시킬 수 있다. 또, 아래쪽 빔(34a)의 아래쪽에 더욱 다른 빔을 고정 또는 상하 이동 가능하게 설치하여도 좋다. 또, 연결부(34c)의 신축 구동에 대신하여, 연결부(34c)에 승강 슬라이드 기구를 설치하여도 좋다. 어느 경우도, 각 빔의 구동에 따라, 각각 배치된 레버(30)가 구동되는 것이 바람직하다.
또 다른 예로서는, 슬라이드 기구(400)를 복수 설치하고 각각 빔(34)을 연결하여, 복수의 빔(34)을 승강시킬 수 있다. 이 경우, 복수의 슬라이드 기구와 에어 실린더(61)에 의한 레버(30)의 선회 동작을 각각 독립하게 행하는 것이 바람직하 다.
다음으로, 레버(30)의 변형 예를 도 20에서부터 도 22에 나타낸다. 도 20은, 레버(30)를 카세트(11)에 수납된 기판의 개구부(19a) 측의 단부 또는 그 수납 영역에 대하여, 직각으로 직선적으로 계속 내보내는 변형 예의 평면도이다. 도 20에 있어서, (a)는 레버(30)가 계속 내보내진 진출 상태를 나타내는 평면도, (b)는 기판 수납 영역에서부터 후퇴한 상태를 나타내는 평면도, (c)는 정면도이다. 이 변형 예에서는, 빔(34)에 레버의 수에 대응하는 복수의 솔레노이드나 에어 실린더 등의 리니어 구동장치(도시 생략)가 내장되어 있고, 이것들에 의해서 레버(30)가 도 중 화살표(L1)의 방향으로 직선 왕복 구동된다. 이 레버(30)는, 수직 지지부(손톱 연장부)가 리니어 구동장치에 직접 설치되어 있고, 빔(34)에 설치된 가이드 노치(notch) 부분(34d)으로부터 기판 적층 방향으로 연장 하고 있다(도 20(c) 참조). 그 외의 구성은, 상술한 실시 형태와 동일하고, 동일한 구성에서는 동일한 부호를 붙여서 그 설명은 생략한다. 이 변형 예에 의하면, 레버(30)가 기판에 대하여, 직선적으로 진출·후퇴 작동을 하므로, 기판을 직접 지지 또는 하강시키는 경우에서도, 기판을 손상시키는 것은 거의 없다.
다음으로, 도 21에, 상술한 변형 예와 마찬가지로, 레바(30)를 카세트(11)에 수납된 기판의 개구부(19a) 측의 단부 또는 그 수납 영역에 대하여, 직각으로 직선적으로 계속 내보내는 다른 변형 예를 나타낸다. 변형 예에서는, 빔(34)에 대신하여, 구동 기구를 내장하지 않은 바(bar)(340)를 이용하고 있다. 바(340)에는, 소정간격으로 레버(302)가 고정되어 있다. 바(340)는, 도 중의 화살표 L2의 방향으로 왕복 구동 가능한 수평 슬라이더(83)에 의해서 좌우의 양단을 지지하고 있다. 수평 슬라이더(81)는, 예를 들면, 지지 기둥(40) 내의 슬라이더(49)에 연결된 실린더 장치 등에 의해 지지 기둥(40)에 대하여, 기판 반출 반입 방향에 따라서 이접(離接) 구동됨과 동시에, 슬라이드 기구(400)에 의해, 기판 반송 방향으로 승강 가능하게 지지되어 있다. 따라서, 레버(30)는, 수평 슬라이더(83)에 의해서, 카세트(11)에 수납된 기판(1) 및 그 수납 영역에 대하여 진출·후퇴가 가능하게 되어 있다. 또한, 레버(302)의 형상은, 상술한 실시 형태와 마찬가지이므로 설명은 생략한다. 이 변형 예에 의하면, 빔으로서의 바(340)에 구동 기구를 구비하지 않으므로, 기판의 근방에서의 진애(塵埃) 발생을 최소로 억제할 수 있다. 또, 간단한 구성으로 고정밀도로 하는 한편 저렴한 가격의 빔을 제공할 수 있다.
도 22는 더욱 다른 변형 예를 나타낸다. 도 22에 있어서, (a)는 본 변형 예의 빔의 정면도, (b)는 요부를 확대한 측면도, (c)는 요부의 확대 정면도이다. 이 변형 예의 레버(303)는, 손톱부(320)와 수직 지지부(670)로 구성되어 있다. 수직 지지부(670)는, 카세트(11)의 기판 적층 방향과 평행한 방향에 빔(34)에 수직으로 설치되어 있다. 수직 지지부(670)의 선단부에는 축(321)을 통하여, 손톱부(320)가 회동 가능하게 축 지지되어 있다. 또, 축(321)에는 빔(34)에 내장된 구동 전달 기구(도시 생략)로부터 벨트(322)에 의해 회동을 위한 구동력이 전달되도록 이루어져 있다. 손톱부(320)는 벨트(322)로부터의 구동력을 받아서, 도 중 화살표 R2의 방향으로 회동하고, 기판(1)의 수납 영역으로의 진출·후퇴가 가능하게 된다. 이에, 본 변형 예의 레버(303)는, 기판(1)의 수용 영역에 진출·후퇴하는 손톱부(320)와 이 것을 설치한 빔(34)의 승강 작동에 의해, 기판 또는 긴 지지부의 지지 또는 하강이 가능하게 되어 있다.
다음으로, 상술한 실시 형태에 있어서는, 기판 수납 카세트(11)으로서 주로, 안쪽에서부터 개구부 또는 그 근방에까지 연장하여 기판을 유지하는 긴 지지부(15)를 가지는 것이었지만, 본 발명은 그 이외의 기판 수납 카세트에 대해서도 양호하게 적용할 수 있다. 그 기판 수납 카세트에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상술한 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.
도 23 은, 본 발명에 있어서의 기판 반출 반입 장치를 적용하는 카세트의 다른 예를 나타내는 평면도이다. 여기서, 카세트(110)는, 기판(1)을 수납하는 각 단에 기판을 실어 놓는 긴 지지부(150)를 가진다. 이 긴 지지부(150)는, 카세트(110)의 개구부(19a)까지는 연장하지 않고, 기판 반출 반입 방향의 1/5 정도까지의 길이이고, 안쪽의 틀(13)에서부터 연장하고 있다. 이와 같은 카세트(110)에 있어서도, 개구부(19a) 측에 기판 반출 반입 보조 장치로서의 단부 위치 조정 기구(31)를 설치할 수 있다. 이 경우, 레버(30)는 기판(1)의 개구(19a) 집합의 부분을 지지 또는 하강시키는 것이 된다. 또한, 도 23에 있어서는, 레버(30)가 기판 수납 영역에 진출한 상태를 나타내고 있다.
도 24는, 본 발명에 있어서의 기판 반출 반입 장치를 적용하는 카세트의 더욱 다른 예를 가리키는 평면도이다. 카세트(111)는, 기판(1)을 수납하는 각 단에 기판을 실어 놓는 긴 지지부를 가지지 않고, 안쪽의 틀(13)에 기판을 지지하는 돌 기(151)가 설치되어 있다. 그리고, 이 돌기(151)와 짧은 지지부(14)에 의해, 기판(1)을 실어 놓아 수납하는 단이 구성되어 있다. 이 카세트는, 비교적 소형 기판을 수납하는 것으로, 액정 표시 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등의 후반 제조 공정에서, 대형 기판이 분할 절단 되어 가공이 어느 정도 진행된 공정에서 사용된다. 이와 같은 카세트(111)에 있어서도, 개구부(19a) 측에 기판 반출 반입 보조 장치로서의 단부 위치 조정 기구(31)를 설치할 수 있다. 이 경우, 레버(30)는 기판(1)의 개구(19a) 집합의 부분을 지지 또는 하강시키게 된다. 또한, 도 24에 있어서, 레버(30)가 기판 수납 영역에 진출한 상태를 나타내고 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템에 의하면, 카세트(11)와 로봇(21)과 기판 반출 반입 보조 장치로서의 단부 위치 조정 기구(31)에 의해서, 핸드(22)를 카세트(11)의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키기 위한 공간 또는 해드(22)를 카세트(11)의 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키기 위한 공간을 확대할 수 있으므로, 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있음과 동시에, 그 경우에 있어서도 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다. 또, 본 발명은, 종래의,백-서포트형 카세트의 기본 구조에 단부 위치 조정 기구를 더하는 것에 의해 달성할 수 있고, 특수한 캠(74)이나 기구를 가지는 로봇을 필요로 하지 않으며, 또, 종래의 다른 기판 반출 반입 방법과 같은 복잡한 기구도 필요로 하지 않으므로, 저비용으로 실현할 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 방법에 의하면, 카세트에서의 로봇의 진출과 후퇴에 관한 공간을 확대할 수 있으므로, 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘리는 고화 할 수 있음과 동시에, 그 경우에 있어서도 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다. 또, 본 발명은, 종래의 백-서포트형의 카세트의 기본 구조에 지지 공정을 더하는 것에 의해 달성할 수 있어, 특수한 암이나 기구를 가지는 로봇을 필요로 하지 않으며, 또, 종래의 다른 기판 반출 반입 방법과 같은 복잡한 기구도 필요로 하지 않기 때문에, 저비용으로 실현될 수 있다.
본 발명의 기판 반출 반입 시스템에 의하면, 카세트와 로봇과 단부 위치 조정 기구에 의해서, 핸드를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키기 위한 공간 또는 핸드를 카세트의 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키기 위한 공간을 확대할 수 있으므로, 다단 구조의 각 단 사이의 피치를 작게 하여 단위 공간 체적당 기판의 수납 매수를 늘릴 수 있음과 동시에, 그 경우에 있어서도 기판을 확실하게 반출 반입할 수 있다. 또, 본 발명은, 종래의 백-서포트형 카세트의 기본 구조에 단부 위치 조정 기구를 더하는 것에 의해서 달성할 수 있어, 특수한 암이나 기구를 가지는 로봇을 필요로 하지 않고, 또, 종래의 다른 기판 반출 반입 방법과 같은 복잡한 기구도 필요하지 않기 때문에, 저비용으로 실현될 수 있다.

Claims (40)

  1. 안쪽에서부터 앞쪽으로 연장하는 긴 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 긴 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납하는 카세트에 대하여, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가진 로봇을 사용하여 기판을 반입하고 및 기판을 반출하는 기판 반출 반입 방법에 있어서,
    대상(對象) 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓여진 긴 지지부를 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 지지 공정 A를 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 및 상기 카세트에 의 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 A와 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    대상 기판의 반출 공정이, 상기 지지된 긴 지지부에 실어 놓여진 대상 기판의 아래쪽에 핸드가 위치하도록, 상기 핸드를 상기 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정과, 상기 핸드를 윗쪽으로 이동하여 상기 긴 지지부보다 윗쪽에 대상 기판을 들어올리는 공정과, 대상 기판을 실은 핸드를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시켜 대상 기판을 상기 카세트 밖으로 꺼내는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 지지 공정 A에 있어서, 상기 긴 지지부의 지지가, 대상 기판을 카세트 밖으로 꺼내는 공정 후, 또는, 대상 기판을 들어올리는 공정 후에 대상 기판을 카세트 밖으로 꺼내는 공정 전에 해제되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    대상 기판의 반입 공정이, 긴 지지부보다 위에 대상 기판이 위치하도록, 대상 기판이 실린 핸드를 상기 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정과, 상기 핸드를 아래쪽으로 이동하여 상기 긴 지지부의 위에 대상 기판을 실어 놓는 공정과, 대상 기판의 하부에 핸드가 위치한 상태로 상기 핸드를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 지지 공정 A에 있어서, 상기 긴 지지부의 지지가, 핸드를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정 전, 또는, 핸드를 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정 후에 핸드를 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키는 공정 전에 개시하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  6. 제 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반출 공정 및 반입 공정에서, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓여진 긴 지지부보다, 일단(一段) 위의 긴 지지부를 지지하는 지지 공정 B를 더 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 카세트에 의 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 B와 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반출 공정 및 반입 공정에서, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓여진 긴 지지부보다, 일단 아래의 긴 지지부를 눌러 내리는 하강 공정을 더 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 카세트에 의 대상 기판의 반입 공정이, 상기 하강 공정과 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  8. 안쪽에서부터 앞쪽으로 연장하는 긴 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 긴 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납하는 카세트에 대하여, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여 기판을 반입하고 및 기판을 반출하는 기판 반출 반입 방법에 있어서,
    대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓여진 긴 지지부를 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 지지 공정 A와, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓여진 긴 지지부보다, 일단 위의 긴 지지부를 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 지지 공정 B와, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부 또는 대상 기판이 실어 놓여진 긴 지지부보다, 일단 아래의 긴 지지부를 눌러 내려서, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확대하는 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정을 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 카세트에 의 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정과 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  9. 안쪽에서부터 앞쪽으로 연장하는 긴 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 긴 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납하는 카세트와, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지고, 상기 기판을 카세트에 반입하고 또는 상기 기판을 카세트로부터 반출하는 로봇과, 상기 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 단부 위치 조정 기구를 구비한 기판 반출 반입 시스템에 있어서,
    상기 단부 위치 조정 기구가, 상기 핸드를 상기 카세트의 앞쪽에서부터 안쪽으로 진출시키기 위한 공간 또는 상기 핸드를 상기 카세트의 안쪽에서부터 앞쪽으로 후퇴시키기 위한 공간을 확대하기 위해서, 대상 기판을 실어 놓는 긴 지지부, 이 긴 지지부보다 일단 위의 긴 지지부, 및, 이 긴 지지부보다 일단 아래의 긴 지지부에서 선택되는 적어도 1개의 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 시스템.
  10. 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고 각 단 마다 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납함과 동시에 상기 기판의 반출 및 반입이 가능한 개구(開口)를 가지는 카세트에 대하여, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여, 기판을 반출하는 반출 또는 반입하는 기판 반출 반입 방법에 있어서,
    반출되는 대상 기판 또는 반입된 회사 대상 기판을 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보하는 지지 공정 A를 포함하고, 상기 대상 기판의 반출 공정 또는 반입 공정 중 어느 한쪽이 상기 지지 공정 A와 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 반출 공정은, 상기 대상 기판의 아래쪽에 상기 핸드가 위치하도록, 상기 핸드를 상기 카세트의 상기 개구 측에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정과, 상기 핸드를 윗쪽으로 이동하여 상기 지지부보다 위쪽으로 상기 대상 기판을 들어올리는 공정과, 상기 대상 기판을 실은 핸드를 상기 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 후퇴시켜 상기 대상 기판을 상기 카세트 밖으로 꺼내는 공정을 포함하고, 상기 지지 공정 A은, 상기 핸드를 상기 카세트의 상기 개구 측으로부터 상기 안쪽으로 진출시키는 공정보다 전에 개시되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 반입 공정은, 상기 지지부보다 위에 상기 대상 기판이 위치하도록, 상 기 대상 기판이 실린 핸드를 상기 카세트의 상기 개구 측에서부터 안쪽으로 진출시키는 공정과, 상기 핸드를 아래쪽으로 이동하여 상기 지지부의 위에 상기 대상 기판을 실어 놓는 공정과, 상기 대상 기판의 아래쪽에 핸드가 위치한 상태로 상기 핸드를 상기 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 후퇴시키는 공정을 포함하고, 상기 지지 공정 A은, 상기 핸드를 상기 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 후퇴시키는 공정보다 전에 개시되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  13. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반출 공정에서 반출되는 상기 대상 기판이 실어 놓여 있는 상기 지지부 또는 상기 반입 공정에서 반입되는 상기 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부 중 어느 하나의 상기 지지부보다 일단 위의 지지부에 실어 놓여진 기판을 지지하는 지지 공정 B를 더 포함하고, 상기 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 B와 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  14. 제 10항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반출 공정에서 반출되는 상기 대상 기판이 실어 놓여 있는 상기 지지부 또는 상기 반입 공정에서 반입되는 상기 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부 중 어느 하나의 상기 지지부보다 일단 아래의 지지부에 실어 놓여진 기판을 눌러 내리는 하강 공정을 더 포함하고, 상기 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 대상 기판의 반 입 공정이, 상기 하강 공정과 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  15. 제 10항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지 공정 A, 상기 지지 공정 B 및 상기 하강 공정은, 상기 카세트의 안쪽에서부터 상기 개구 측에 연장하는 지지부를 지지 또는 하강시키는 것에 의해 실행되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  16. 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납함과 동시에 상기 기판의 반출 및 반입이 가능한 개구를 가지는 카세트에 대하여, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여 기판을 반입하고 또는 기판을 반출하는 기판 반출 반입 방법에 있어서,
    반출되는 대상 기판 또는 반입되는 대상 기판을 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 및 후퇴를 위한 공간을 확보하는 지지 공정 A와, 반출되는 상기 대상 기판 또는 반입된 상기 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부보다 일단 위의 지지부에 실어 놓여진 기판을 지지하는 지지 공정 B와, 반출되는 상기 대상 기판 또는 반입된 상기 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부보다 일단 아래의 지지부에 실어 놓여진 기판을 눌러 내리는 하강 공정에서 선택되는 적어도 1개의 공정을 포함하고, 상기 카세트로부터의 대상 기판의 반출 공정 또는 상기 카세트에 의 대상 기판의 반입 공정이, 이 지지 공정 A, 지지 공정 B 및 하강 공정에서 선택되는 적어 도 1개의 공정과 함께 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법 .
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 지지 공정 A, 상기 지지 공정 B 및 상기 하강 공정은, 상기 카세트의 안쪽에서부터 상기 개구 측에 연장하는 지지부를 지지 또는 하강시키는 것으로 실행되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 방법.
  18. 지지부를 소정간격으로 다단 모양으로 배열하고, 각 단 마다 지지부 위에 기판을 실어 놓아 다단 수납함과 동시에, 상기 기판의 반출 및 반입이 가능한 개구를 가지는 카세트와, 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지며, 상기 카세트에 대하여 상기 기판을 반입 또는 반출하는 로봇과,
    상기 로봇의 기판 반출 또는 반입 동작 시에, 상기 카세트의 상기 개구 측으로부터 안쪽과의 사이에, 상기 핸드가 진출 또는 후퇴하기 위한 공간을 확보하는 기판 반출 반입 보조 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 시스템.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 기판이 반출할 때 반출되는 대상 기판, 또는 상기 기판이 반입할 때 반입된 대상 기판 중 어느 하나의 상기 대상을 지지하여, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 시스템.
  20. 제 18항 또는 제 19항에 있어서,
    상기 기판 반출 반입 보조 장치는, 상기 기판이 반출할 때 반출되는 대상 기판이 실어 놓여 있는 상기 지지부, 또는 상기 기판이 반입할 때 반입되는 대상 기판이 실어 놓인 상기 지지부 중 어느 하나의 상기 지지부보다 일단 위 또는 일단 아래의 지지부에 수용되는 기판을 지지 또는 하강시켜, 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 시스템.
  21. 제 18항 또는 제 19항에 있어서,
    상기 기판 반출 반입 보조 장치 및 상기 로봇을 연동 제어하는 제어 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 시스템.
  22. 제 18항 내지 제 21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 반출 반입 보조 장치가, 상기 카세트의 상기 개구부의 근방에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 시스템.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 기판 반출 반입 보조 장치가, 적어도 1개의 기판을 지지 또는 하강시키기 위한, 1축 또는 2 축 이상의 슬라이드 기구를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 시스템.
  24. 제 18항 내지 제 21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 반출 반입 보조 장치가, 상기 로봇에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 시스템.
  25. 기판을 소정 간격으로 다단 모양으로 적층하여 수납함과 동시에, 상기 기판이 반출 반입되는 개구를 가지는 카세트의 기판 수납 영역에 대하여, 진출 및 후퇴 가능하게 설치된 레버와,
    상기 레버를 상기 기판의 배열 방향에 따라 이동 가능하게 지지하는 승강 기구를 구비하고,
    상기 카세트에 대하여 상기 기판을 싣기 위한 핸드를 가지는 로봇을 이용하여 상기 기판을 반입하고 또는 반출하는 경우에, 상기 기판 수납 영역으로 진출한 상기 레버에 의해 상기 기판을 지지 또는 하강시켜, 상기 카세트 내에서의 상기 핸드의 진출 또는 후퇴를 위한 공간을 확보하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  26. 제 25항에 있어서,
    상기 레버는, 상기 승강 기구의 구동에 의해, 상기 카세트에 대한 반입 또는 반출의 대상이 되는 대상 기판과, 상기 대상 기판의 일단 위에 수납된 기판으로 선 택되는 적어도 1매의 기판을 지지 또는 하강시키는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  27. 제 25항 또는 제 26항에 있어서,
    상기 레버가 상기 기판에 맞닿아서, 상기 기판을 지지 또는 하강시키는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  28. 제 25항 또는 제 26항에 있어서,
    상기 카세트가, 그 안쪽에서부터 상기 개구 측으로 연장하여 상기 기판이 실어 놓인 긴 지지부를 가지는 경우에 있어서, 상기 레버가 상기 긴 지지부에 맞닿아서, 상기 긴 지지부를 지지 또는 하강시키는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  29. 제 25항 내지 제 28항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 승강 기구는, 상기 카세트에 실어 놓인 상기 기판과 대략 평행한 빔을 가지고,
    상기 레버는, 상기 빔에서부터 상기 카세트의 상기 기판의 적층 방향으로 돌출하여 설치된 수직 지지부와, 그 선단에서부터 상기 적층 방향과 대략 평행한 방향으로 연장되어 나가서 설치되는 손톱부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  30. 제 29항에 있어서,
    상기 빔에 복수의 상기 레버를 배치한 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  31. 제 29항 또는 제 30항에 있어서,
    상기 수직 지지부는 상기 빔에 회전 가능하게 설치되고, 그 회전 구동에 의해 상기 손톱부가 상기 기판 수납 영역으로 잇달아 나가게 되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  32. 제 29항 또는 제 30항에 있어서,
    상기 손톱부는 상기 수직 지지부의 선단에서부터 상기 기판 수납 영역으로 향하여 연장되어 나가도록 설치됨과 동시에, 상기 수직 지지부 또는 상기 손톱부가 상기 기판 수납 영역에 대하여 직선 왕복 구동되어, 상기 손톱부가 상기 기판 수납 영역에 잇달아 나가게 되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  33. 제 29항 또는 제 30항에 있어서,
    상기 손톱부는 수직 지지부의 선단에 상기 빔과 평행한 축 둘레로 회전 가능하게 축 지지됨과 동시에, 상기 손톱부가 회전 구동되어 상기 기판 수납 영역으로 잇달아 나아가게 되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  34. 제 29항 내지 제 33항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 손톱부의 선단에는, 롤러가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  35. 제 29항 내지 제 34항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 빔은, 상기 기판의 적층 방향에 따라 복수단 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  36. 제 35항에 있어서,
    상기 복수의 빔은, 각각 독립하게 승강 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  37. 제 25항 내지 제 36항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 로봇의 상기 카세트에 대한 기판의 반입 및 반출에 대응하여, 상기 승강 기구의 승강 및 상기 레버의 상기 기판 수납 영역으에 의 진출 및 후퇴를 제어하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  38. 제 25항 내지 제 37항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카세트의 상기 개구에 임하도록 문(門) 모양으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  39. 제 25항 내지 제 38항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카세트의 상기 개구를 둘러싸는 틀체에 부착되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
  40. 제 25항 내지 제 38항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카세트가 실어 놓인 카세트 대에 부착되는 것을 특징으로 하는 기판 반출 반입 보조 장치.
KR1020060066243A 2005-07-15 2006-07-14 기판 반출 반입 방법 및 기판 반출 반입 시스템 KR101333891B1 (ko)

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