KR100447964B1 - 기판 적재용 카세트 - Google Patents

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KR100447964B1
KR100447964B1 KR1020030058430A KR20030058430A KR100447964B1 KR 100447964 B1 KR100447964 B1 KR 100447964B1 KR 1020030058430 A KR1020030058430 A KR 1020030058430A KR 20030058430 A KR20030058430 A KR 20030058430A KR 100447964 B1 KR100447964 B1 KR 100447964B1
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(주)애드컴텍
박성배
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Abstract

본 발명은 유리기판 등 각종 기판의 반송, 보관용으로 사용되는 기판 적재용 카세트에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 비강도, 비강성, 파단강도 등 기본적인 물성이 우수할 뿐만 아니라, 가볍고 진동에 대한 감쇠 특성이 양호하여 동적ㆍ정적 안정성이 양호한 재료로 만들어진, 중공(中空)인 서포트 바를 이용하여 액정표시소자용 유리기판 등을 평행하게 적재할 수 있는 기판 적재용 카세트에 관한 것이다. 또한 서포트 바의 하면을 길이 방향으로 소정 비율로 테이퍼진 사선영역을 갖도록 제작하면 서포트 바의 자중이 작아질 뿐만 아니라, 기판의 적재ㆍ반출시에 기판과 서포트 바의 부딪침으로 인한 기판의 손실을 줄일 수 있고, 유리기판 간의 간격을 최소화하여 동일한 크기의 카세트 내에 유리기판을 더 많이 적재할 수 있다. 이를 위해 본 발명은, 지지대를 따라 소정간격으로 설치되고 내부가 중공인, 에폭시 수지 강화 탄소섬유로 이루어진 서포트 바를 구비한다.

Description

기판 적재용 카세트{Cassette for substrate loading}
본 발명은 유리기판 등 각종 기판의 반송, 보관용으로 사용되는 기판 적재용 카세트에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 비강도, 비강성, 파단강도 등 기본적인 물성이 우수할 뿐만 아니라, 가볍고 진동에 대한 감쇠 특성이 양호하여 동적ㆍ정적 안정성이 양호한 재료로 만들어진, 중공인 서포트 바를 이용하여 액정표시소자용 유리기판 등을 평행하게 적재할 수 있고, 유리기판 간의 간격을 최소화하여 동일한 크기의 카세트 내에 유리기판을 더 많이 적재할 수 있는 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.
일반적으로, 기판 적재용 카세트에는 액정표시소자용 유리기판 등이 일정한 간격으로 적재된다. 종래의 기판 적재용 카세트는 도 1에 도시된 바와 같이, 상판(81), 바닥판(82), 상기 상판(81)과 바닥판(82)을 연결하고 지지하는 수직기둥(60), 상기 수직기둥(60)에 설치된 기판받이(10), 상기 상판(81)과 바닥판(82)을 연결하고 기판(100)이 뒤로 빠지는 것을 막는 스토퍼(stopper)(50)및 상기 상판(81) 및 바닥판(82)과 연결되어 설치되고 서포트 바(20)가 결합된 지지대(40)를 구비한다. 상기 종래의 기판 적재용 카세트는 기판받이(10)와 서포트 바(20)를 이용하여 기판(100)을 지지하고 있다. 상기 서포트 바(20)는 통상적으로 알루미늄이나 강철과 같은 금속으로 이루어진 빔으로 제조된다. 이러한 금속재료 빔으로 제조된 서포트 바는 진동에 대한 감쇠 특성이 불량하여 대형화된 기판의 적재에는 부적합하다. 특히, 강철로 된 경우에는 자중이 크고 부식에 약한 단점이 있고, 알루미늄으로 된 경우에는 강성이 작아 쉽게 변형되는 단점이 있다. 최근에는 기판이 대형화됨에 따라 상기 서포트 바(20)의 길이가 길어져야 하는데 이 경우 상기 서포트 바의 처짐이 문제로 된다. 또한 기판이 대형화ㆍ중량화 됨에 따라 서포트 바의 단면을 크게 할 필요가 있는데, 상기 서포트 바(20)의 횡단면이 클수록 기판의 적재 또는 반출시에 상기 기판과 상기 서포트 바(20)의 부딪침 및 상기 서포트 바(20)와 반송로봇 등의 이송수단과의 부딪침이 발생할 가능성이 크다.
한편, 상기 서포트 바(20)가 없는 기판적재용 카세트에서는 상기 기판받이(10)만으로 상기 기판(100)의 양 단부만을 지지하게 되어 상기 기판(100)의 가운데 부분이 아래로 휘어지게 된다. 액정표시소자용 유리기판은 그 두께가 1mm 미만이고, 그 처지는 정도는 유리기판의 크기에 비례하므로, 이러한 휘어짐은 최근 액정표시소자용 유리기판 등이 대형화, 중량화 됨에 따라 더 큰 문제가 되고 있다. 이 경우에는 유리기판을 평행하게 적재할 수 없게 됨으로 인해서 유리기판을 카세트에 적재 또는 반출하는 로봇 등의 반송수단과 유리기판과의 부딪침 또는 유리기판끼리의 부딪침이 발생하기 쉽고 이로 인한 유리기판의 훼손율이 높은 실정이다. 이러한 부딪침을 피하기 위해 유리기판 간의 거리(D)를 크게 하면 같은 크기의 기판 적재용 카세트에 적재할 수 있는 기판의 수가 적어지게 되어 효율적이지 못하게 된다.
따라서 기판을 평행하게 안정적으로 적재하면서 동시에 같은 크기의 기판 적재용 카세트에 더 많은 기판을 적재할 수 있는 기판 적재용 카세트가 필요하다.
본 발명은 상기 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 기판 적재용 카세트에 비강도, 비강성, 파단강도 등 기본적인 물성이 우수할 뿐만 아니라, 가볍고 진동에 대한 감쇠 특성이 양호하여 동적ㆍ정적 안정성이 매우 양호한 재료로 제작된, 중공인 서포트 바를 설치하여 기판을 안정적으로 적재할 수 있는 기판 적재용 카세트를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 기판과 접촉되는 상면에 대향하는 하면이 길이 방향으로 소정 비율로 테이퍼진 사선영역을 갖는 서포트 바를 설치하여 상기 서포트 바의 자중에 의한 처짐을 최소화하고, 기판의 적재 또는 반출시에 상기 기판과 상기 서포트 바의 부딪침으로 인한 손실 및 상기 서포트 바와 반송로봇 등 이송수단과의 부딪침을 최소화하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 적재되는 기판 사이의 간격을 최소화함으로써 기판을 효율적으로 적재할 수 있는 기판 적재용 카세트를 제공하는 데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 기판 적재용 카세트에 유리기판이 적재되어 있는 것을 나타낸 정면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트를 나타낸 사시도.
도 3은 도 2의 기판 적재용 카세트를 기판 출입구에서 바라본 정면도.
도 4는 본 발명의 바람직한 다른 실시예인 기판 적재용 카세트에 사용되는 서포트 바의 정면도.
도 5는 도 4의 서포트 바의 좌측 단면도.
도 6은 도 4의 서포트 바의 우측 단면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예인 기판 적재용 카세트에 사용되는 서포트 바의 사시도.
도 8은 도 7의 서포트 바의 A 부분의 확대 단면도.
도 9는 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예인 기판 적재용 카세트에 사용되는 연결부재가 지지대에 결합된 것을 나타낸 사시도.
도 10은 도 9의 연결부재를 사용하여 서포트 바를 지지대에 결합시킨 것을 나타낸 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10:기판받이 20:서포트 바
30:서포트 바 40:지지대
70:연결부재 100:기판
200:기판 적재용 카세트
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트는, 지지대를 따라 소정간격으로 설치되고 내부가 중공인, 에폭시 수지 강화 탄소섬유로 이루어진 서포트 바를 구비한다.
여기에서, 상기 지지대에는 소정간격으로 설치되어 상기 서포트 바와 결합될 수 있는 연결부재가 더 구비될 수 있다.
바람직하게, 상기 서포트 바는, 기판과 접촉되는 상면에 대향하는 하면이 길이 방향으로 소정 비율로 테이퍼진 사선영역을 갖는다.
바람직하게, 상기 서포트 바는, 에폭시 수지 강화 제1 탄소섬유 직물로 이루어진 중공빔형 기재; 상기 중공빔형 기재의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 및 상기 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착된 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물층;을 구비한다.
바람직하게, 상기 서포트 바는, 에폭시 수지 강화 제1 탄소섬유 직물로 이루어진 중공빔형 기재; 상기 중공빔형 기재의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 상기 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착된 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물; 상기 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물층의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 및 상기 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착된 에폭시 수지 강화 제3 탄소섬유 직물;을구비한다.
바람직하게, 상기 서포트 바는, 에폭시 수지 강화 제1 탄소섬유 직물로 이루어진 중공빔형 기재; 상기 중공빔형 기재의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 상기 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이방향과 수직방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 상기 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제3 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 및 상기 에폭시 수지 강화 제3 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착된 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물;을 구비한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 적재용 카세트를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 적재용 카세트를 나타낸 사시도이고, 도 3은 상기 기판 적재용 카세트를 기판 출입구 방향에서 본 정면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 적재용 카세트(200)는 후면에 설치된 지지대(40)와, 상기 지지대(40)에 소정간격으로 설치된 서포트 바(30)를 구비한다. 상기 지지대(40)는 상기 상판(81)과 바닥판(82)을 연결하며 상판(81)과 바닥판(82)을 지지한다. 또한, 상기 지지대(40)는 적재된 기판(100)이 후면을 통하여 뒤로 빠져나가지 않도록 막는 역할도 한다.
상기 서포트 바(30)는 상기 지지대(40)를 따라 소정간격으로 설치되고 내부가 중공(中空)이며, 에폭시 수지 강화 탄소섬유로 제작된다. 상기 서포트 바(30)는 상기 지지대(40)와 일체로 형성될 수도 있고, 볼트 등의 결합수단에 의해 설치될 수도 있다. 상기 서포트 바(30)는 기판이 아래로 휘지 않고 평행하게 적재되도록 하는데 상기 기판받이(10)와 평행하게, 같은 간격으로 설치된다. 상기 서포트 바(30) 사이의 간격 즉, 상기 기판 사이의 간격이 좁을수록 같은 크기의 카세트에 더 많은 기판을 적재할 수 있지만, 반송 로봇 등 이송수단이 기판을 적재하고 반출하는 데 지장이 없을 정도의 간격을 확보하는 것이 바람직하다.
상기 서포트 바(30)가 설치된 상기 지지대(40)는 적재되는 기판(100)의 크기에 따라 적절한 갯수가 설치될 수 있다. 즉, 적재되는 기판의 크기가 클수록 더 많은 지지대(40)를 설치하여 기판(100)을 평행하게 적재할 수 있는 것이다. 또한, 적재되는 기판의 크기가 클수록 카세트(200)의 한 면 뿐만 아니라 여러 면에 상기 지지대를 설치하여 기판(100)을 안정적으로 적재할 수 있다.
상기 서포트 바(30)는, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 자중을 작게 하기 위해 내부가 비어 있는 중공 구조로 되어 있다. 바람직하게, 상기 서포트 바(30)는 기판과 접촉되는 상면에 대향하는 하면이 길이 방향으로 소정 비율로 테이퍼진 사선영역을 갖는다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 하면(31)이 비스듬하게 경사진 구조로 됨으로 인해 서포트 바(30)의 자중으로 인한 처짐이 줄어들 수 있고, 기판의 적재 또는 반출시에 기판과 상기 서포트 바(30)의 부딪침으로 인한 기판의 손상을 줄일 수 있고, 또한 상기 서포트 바(30)와 반송 로봇 등의 이송수단(미도시)과의 부딪침을 최소화 할 수 있는 것이다. 도 5는 상기 서포트 바(30)의 좌측 단면도이고, 도 6은 상기 서포트 바(30)의 우측 단면도이다.
상기 서포트 바(30)의 테이퍼진 사선영역의 크기는 적재되는 기판의 자중과 크기, 적재되는 기판 사이의 간격 등에 따라 적절하게 조절될 수 있다. 상기 서포트 바(30)의 종방향 길이(L1)는 상기 기판과 카세트(200)의 크기 등을 고려하여 정한다. 또한 상기 서포트 바(30)의 사선 영역의 비율 즉, (서포트 바의 비테이퍼 영역의 길이 L2)/(서포트 바 전체의 길이 L1) 및 (테이퍼 영역 끝단의 높이 H2)/(비테이퍼 영역의 높이 H1)는 적재되는 기판 사이의 간격 및 기판의 자중 등을 고려하여 정한다. 바람직하게 상기 사선영역은 0.1≤(L2/L1)≤0.6 및 0.3≤(H2/H1)≤0.8의 범위로 이루어질 수 있다. 즉, 이 범위에서 적절한 테이퍼 각도가 형성되면 서포트 바의 물성을 거의 저하시키지 않으면서도 서포트 바의 자중이 원하는 정도로 감소될 수 있다.
또한 상기 서포트 바는 상면과 양 측면만 있고 하면은 없는 구조로 될 수도 있다. 즉, 하면이 개방된 형상으로 될 수도 있는 것이다.
상기 서포트 바는 강철보다 가볍고 부식에 강하며, 알루미늄보다 강성이 커서 쉽게 변형되지 않으며, 진동 감쇠율이 우수한 재료로 제작되는 것이 바람직하다. 이러한 물성을 만족하는 재료로는 에폭시 수지 강화 탄소섬유가 있는데, 상기 에폭시 수지 강화 탄소섬유란 비강도, 비강성, 파단강도가 매우 우수한 것으로 알려진 탄소섬유로 이루어진 직물이나 쉬트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것을 의미한다. 이러한 에폭시 수지 강화 탄소섬유로 이루어진 서포트 바는 다음과 같은 방법으로 제조될 수 있다. 즉, 예를 들어, 탄소섬유로 제직되어 이루어진 직물을 알루미늄, 강철, 유리섬유 복합재료, 합성수지 등으로 이루어진 빔 표면에 소정 두께로 감은 후 에폭시 수지를 함침시키고 경화시킨 다음 내부의 빔을 제거하면 본 발명의 중공 서포트 바를 제조할 수 있다. 특히, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같은 방법으로 중공 서포트 바를 제작하면 비강도 등의 물성을 비약적으로 향상시킬 수 있다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예인 기판 적재용 카세트(200)의 서포트 바에는 에폭시 수지로 강화된 탄소섬유 직물로 이루어진 중공빔형 기재(35a) 위에 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층(36a)이 적층되어 있고, 그 위에 다시 순차적으로, 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물층(35b)과 상기 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층(36b) 및 에폭시 수지 강화 제3 탄소섬유 직물층(35c)이 적층되어 있다. 상기 일방향성 탄소섬유 집합쉬트들의 적층각도에 따라 서포트 바의 물성이 달라질 수 있는데, 본 발명에 따른 서포트 바의 특성을 저해하지 않는 한도 내에서 적층각도를 변화시킬 수 있으며 특히 중공 빔의 길이 방향으로 적층하는 것이 바람직하다. 이러한 구조에서 에폭시 수지 강화 탄소섬유 직물은 깨짐을 방지하고 강도를 높이며, 에폭시 수지 강화 일방향성 탄소섬유 집합쉬트는 강성을 높여 처짐량 및 진동을 줄이는 역할을 한다.
본 발명의 바람직한 또 다른 실시예인 기판 적재용 카세트(200)의 서포트 바에는, 에폭시 수지 강화 제1 탄소섬유 직물로 이루어진 중공빔형 기재 위에 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층이 적층되어 있고, 그 위에 다시 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물층이 적층될 수 있다.
본 발명의 바람직한 또 다른 실시예인 기판 적재용 카세트(200)의 서포트 바에는, 에폭시 수지로 강화된 제1 탄소섬유 직물로 이루어진 중공빔형 기재 위에 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층이 적층되어 있고, 그 위에 상기 중공빔형 기재의 길이 방향에 수직방향으로 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층이 적층되고, 상기 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층 상면에 상기 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제3 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층 및 에폭시수지 강화 제2 탄소섬유 직물층이 순차적으로 적층되어 있다.
탄소섬유 집합쉬트 및 탄소섬유 직물은 요구되는 서포트 바의 물성에 따라 1층 이상 적층할 수 있으며, 동일한 적층 순서대로 탄소섬유 집합쉬트와 탄소섬유 직물을 반복하여 더 적층할 수도 있다. 이러한 다층구조의 서포트 바는 기계적 물성이 우수할 뿐만 아니라, 강철보다 가볍고 진동 감쇠 특성이 우수하며, 강성이 커서 처짐량을 줄일 수 있으므로 기판의 대형화 추세에 특히 적합하다.
본 발명의 바람직한 또 다른 실시예인 기판 적재용 카세트가 도 9 및 도 10에 도시되어 있다. 도 9는 서포트 바(30)와 지지대(40)를 연결하기 위해 사용되는 연결부재(70)를 나타낸 사시도이고, 도 10은 상기 연결부재(70)를 이용하여 상기 서포트 바(30)를 상기 연결부재(70)에 결합시킨 것을 나타낸 부분 단면도이다. 상기 연결부재(70)는 상기 지지대(40)와 볼트(72) 등의 체결수단에 의해 결합될 수 있다. 도 9에서는 상기 지지대(40)의 앞면에서 볼트(72)들을 체결한 것을 나타내고 있으나 상기 지지대(40)의 뒷면에서 상기 볼트(72)들을 체결할 수도 있다. 도 9 및 도 10은 상기 연결부재(70)가 상기 지지대(40)에 체결수단에 의해 결합된 것을 나타내고 있으나, 상기 연결부재(70)가 상기 지지대(40)와 일체로 형성되어 있을 수도 있다. 상기 연결부재(70)는 소정간격으로 상기 지지대(40)에 설치되는데, 상기 소정간격은 도 2 및 도 3과 관련하여 설명한 바와 같이 적재되는 기판 사이의 간격 등을 고려하여 정할 수 있다. 상기 연결부재(70)의 결합부(71)는 도 10에 도시된 바와 같이 상기 서포트 바의 내부 중공면과 결합한다. 상기 서포트 바(30)와 상기 연결부재의 결합부(71)는 다양한 결합수단을 이용하여 결합될 수 있다. 예를 들면,볼트 등의 체결수단 또는 접착제 등을 이용하여 결합시킬 수 있다. 도 10에서는 상기 결합부(71)가 상기 서포트 바(30)의 내부 중공부에 삽입되어 결합되는 것을 나타내고 있으나, 상기 결합 방법은 이에 한정되지 않고, 예를 들어 연결부재의 내부가 중공인 형상으로 되어 상기 서포트 바가 삽입되어 결합되는 방법 등 다양한 방법이 있을 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트는 다음과 같은 효과를 가진다.
첫째, 기판 적재용 카세트에 비강도, 비강성, 파단강도 등 기본적인 물성이 우수할 뿐만 아니라, 가볍고 진동에 대한 감쇠 특성이 양호하여 동적ㆍ정적 안정성이 매우 양호한 재료로 제작된, 중공인 서포트 바를 설치하여 기판을 안정적으로 적재할 수 있다.
둘째, 기판과 접촉되는 상면에 대향하는 하면이 길이 방향으로 소정 비율로 테이퍼진 사선영역을 갖는 서포트 바를 설치하여 상기 서포트 바의 자중에 의한 처짐을 최소화하고, 기판의 적재 또는 반출시에 상기 기판과 상기 서포트 바의 부딪침으로 인한 손실 및 상기 서포트 바와 반송로봇 등 이송수단과의 부딪침을 최소화할 수 있다.
셋째, 적재되는 기판 사이의 간격을 최소화함으로써 기판을 효율적으로 적재할 수 있다.

Claims (6)

  1. 기판 적재용 카세트에 있어서,
    상기 기판 적재용 카세트의 양 측면에 설치된 기판받이;
    상기 기판 적재용 카세트의 후면에 설치된 지지대;
    상기 지지대를 따라 소정간격으로 설치된 연결부재; 및
    상기 연결부재에 설치되고, 내부가 중공인, 에폭시 수지 강화 탄소섬유로 이루어진 서포트 바를 구비하고,
    상기 서포트 바는,
    에폭시 수지 강화 제1 탄소섬유 직물로 이루어진 중공빔형 기재;
    상기 중공빔형 기재의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 및
    상기 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착된 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물층;을 구비하고, 기판과 접촉되는 상면에 대향하는 하면이 길이 방향으로 소정 비율로 테이퍼진 사선영역을 갖는 일체형의 서포트 바이고,
    상기 연결부재는,
    상기 서포트 바의 중공빔에 삽입되어 상기 서포트 바와 결합할 수 있도록 상기 중공빔과 상응하는 형상으로 형성된 결합부; 및
    상기 지지대를 관통하여 형성된 볼트 구멍과 상응하는 볼트 구멍을 구비하여, 상기 지지대에 볼트를 이용하여 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 서포트 바는,
    상기 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물층의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 및
    상기 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착된 에폭시 수지 강화 제3 탄소섬유 직물을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  3. 기판 적재용 카세트에 있어서,
    상기 기판 적재용 카세트의 후면에 설치된 지지대;
    상기 지지대를 따라 소정간격으로 설치된 연결부재; 및
    상기 연결부재에 설치되고, 내부가 중공인, 에폭시 수지 강화 탄소섬유로 이루어진 서포트 바를 구비하고,
    상기 서포트 바는,
    에폭시 수지 강화 제1 탄소섬유 직물로 이루어진 중공빔형 기재;
    상기 중공빔형 기재의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층;
    상기 에폭시 수지 강화 제1 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이방향과 수직방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층;
    상기 에폭시 수지 강화 제2 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착되며, 상기 중공빔형 기재의 길이 방향으로 배열된 에폭시 수지 강화 제3 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층; 및
    상기 에폭시 수지 강화 제3 일방향성 탄소섬유 집합쉬트층의 상면에 적층부착된 에폭시 수지 강화 제2 탄소섬유 직물을 구비하고, 기판과 접촉되는 상면에 대향하는 하면이 길이 방향으로 소정 비율로 테이퍼진 사선영역을 갖는 일체형의 서포트 바이고,
    상기 연결부재는,
    상기 서포트 바의 중공빔에 삽입되어 상기 서포트 바와 결합할 수 있도록 상기 중공빔과 상응하는 형상으로 형성된 결합부; 및
    상기 지지대를 관통하여 형성된 볼트 구멍과 상응하는 볼트 구멍을 구비하여, 상기 지지대에 볼트를 이용하여 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
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