KR20210122368A - 제진대 - Google Patents

제진대 Download PDF

Info

Publication number
KR20210122368A
KR20210122368A KR1020200038619A KR20200038619A KR20210122368A KR 20210122368 A KR20210122368 A KR 20210122368A KR 1020200038619 A KR1020200038619 A KR 1020200038619A KR 20200038619 A KR20200038619 A KR 20200038619A KR 20210122368 A KR20210122368 A KR 20210122368A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coupling hole
main body
body parts
fastening
vibration isolation
Prior art date
Application number
KR1020200038619A
Other languages
English (en)
Inventor
김면수
김상환
Original Assignee
주식회사 해광
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 해광 filed Critical 주식회사 해광
Priority to KR1020200038619A priority Critical patent/KR20210122368A/ko
Publication of KR20210122368A publication Critical patent/KR20210122368A/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Connection Of Plates (AREA)

Abstract

제진대가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 제진대는 본체부를 사전에 제작한 후에 현장에서 체결부를 이용하여 손쉽게 조립 가능하여 조립성과 작업성이 향상된다.

Description

제진대{Shock absorbing desk}
본 발명은 반도체 장비를 안정적으로 안착 시키기 위해 블럭화된 제진대에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼를 가공하여 반도체 소자를 제조하는 반도체 제조라인에는 포토(Photo) 공정, 에칭(Etching)공정, 박막 증착 공정 등 각각의 단위공정을 수행하는 다수의 반도체 장비들이 사용된다.
상기 반도체 장비들 중 대부분은 매우 정밀한 공정들을 수행하기 때문에 외부로부터 전달되는 진동에 매우 취약해진다. 특히, 포토 공정을 진행하는 포토 리소그래피 장비는 포토 마스크 기판에 그려진 반도체 회로 패턴을 웨이퍼 상에 전사하는 매우 정밀한 공정을 수행하기 때문에 외부로부터 전달되는 진동에 매우 취약해진다.
이 경우 포토 리소그래피 장비를 포함한 대부분의 반도체 장비들은 반도체 제조라인에 설치될 때, 반도체 제조라인의 바닥 면 상에 직접 설치되는 것이 아니라 외부 진동을 일정부분 흡수 및 완화하는 제진대에 설치된다.
이와 같이 반도체 장비들이 설치될 위치에는 사전에 제진대가 설치되며, 진동 등에 취약한 반도체 장비들을 보호하여 안정적인 작동을 도모할 수 있다.
상기 제진대는 일 예로 내부에 철근 구조체가 배치된 철근 콘크리트 구조물이 사용되는데, 상기 철근 콘크리트 구조물을 서로 간에 연결하기 위해 내부에 배치된 철근 구조체가 철근 콘크리트 구조물의 외측으로 노출된 상태로 제작되었다.
이 경우 종래의 제진대는 철근 구조체가 공기와 접촉되면서 시간이 경과될 경우 산화로 인한 녹이 발생될 수 있어 구조적인 강도가 저하되거나 품질 이 저하될 수 있는 문제점이 유발되었다.
또한 종래의 제진대는 철근 구조체가 철근 콘크리트 구조물의 외측으로 노출될 경우 보관이 불리해 지고, 이동을 위해 지게차 또는 차량에 적재하고자 할 때 주변 구조물과 직접적인 충돌로 인한 파손의 우려가 있어 이에 대한 대책이 필요하게 되었다.
대한민국등록특허 제10-0791079호
본 발명의 실시 예들은 제진대의 보관 및 이동이 용이하고 작업자가 손쉽게 조립이 가능한 제진대를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대(1)는 상측 가장자리를 따라 다수개의 결합 홀(110)이 형성된 본체부(100, 100a); 상기 본체부(100, 100a)의 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(200, 200a); 및 상기 결합 홀(110)에 체결되어 상기 본체부(100, 100a)가 서로 간에 밀착된 상태로 조립되도록 구비된 체결부(300)를 포함한다.
상기 결합 홀(110)은 상기 본체부(100, 100a)를 상부에서 바라볼 때 어느 하나의 본체부(100)에서 다른 하나의 본체부(100a)를 향해 경사지게 개구된 제1 결합 홀(112); 상기 제1 결합 홀(112)과 마주보며 배치되고 다른 하나의 본체부(100a)에서 어느 하나의 본체부(100)를 향해 경사지게 개구된 제2 결합 홀(114)을 포함한다.
상기 제1 결합 홀(112)은 어느 하나의 본체부(100)의 상면(PV1)에서 개구 되어 정면(FV1)과, 배면(BV1)과, 좌측면(LSV1)과, 우측면(RSV1)을 향해 제1 방향(D1)으로 경사지게 개구되고, 상기 제2 결합 홀(114)은 다른 하나의 본체부(100a)의 상면(PV2)에서 개구 되어 정면(FV2)과, 배면(BV2)과, 좌측면(LSV2)과, 우측면(RSV2)을 향해 제2 방향(D2)으로 경사지게 개구된 것을 특징으로 한다.
상기 본체부(100, 100a)에는 상기 체결부(300)가 상기 1,2 결합 홀(112, 114)에 삽입되기 이전에 상기 본체부(100, 100a)와 일체로 성형된 리테이너(400)가 구비되고, 상기 리테이너(400)는 내측에 상기 체결부(300)와 나사 결합되는 제1 나사산(410)이 형성된다.
상기 체결부(300)는 상기 제1,2 결합 홀(112, 114)의 내측 상부에 위치된 헤드부(310); 상기 헤드부(310)의 하단에서 축 방향을 따라 소정의 길이로 연장된 체결 축(320); 상기 체결 축(320)의 하측에 형성되고 상기 리테이너(400)와 결합되기 위해 상기 제1 나사산(410)과 나사 결합되는 제2 나사산(330)을 포함한다.
상기 체결부(300)는 상기 헤드부(310)의 상면과 결합되고, 상기 본체부(100, 100a)의 상면과 동일평면을 이루며 공구가 삽입되도록 공구 삽입 홈(302a)이 형성된 체결 캡(302)을 더 포함한다.
상기 본체부(100, 100a)에는 상기 체결부(300)와 결합되기 위한 너트부(N)가 상기 리테이너(400)의 내측 하단에 구비된다.
상기 보강재(200, 200a)는 상기 본체부(100, 100a)의 내측 가로 방향을 향해 상하로 서로 마주보며 배치된 제1 철근(210, 210a)과, 상기 제1 철근(210, 210a)과 직교하며 세로 방향에 상하로 마주보며 배치된 제2 철근(220, 220a)을 포함하고, 상기 제1 철근(210, 210a)과 제2 철근(220, 220a)은 서로 간에 동일한 제1 간격(D1)으로 이격된 것을 특징으로 한다.
상기 체결부(300)는 상기 제1 결합 홀(112)을 경유하여 상기 제2 결합 홀(114)에 일부가 부분 삽입되어 체결이 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 어느 하나의 본체부(100)와 상기 다른 하나의 본체부(100a)가 서로 간에 면접촉되는 위치에는 전달된 진동을 흡수하기 위한 방진패드(50)가 설치된다.
본 발명의 실시 예들은 제진대를 규격화 시켜 사전에 제작한 후에 체결부를 이용하여 현장에서 쉽게 조립이 가능하여 작업자의 작업성 향상과 작업 속도 향상을 동시에 도모할 수 있다.
본 발명의 실시 예들은 다수개의 제진대를 체결부를 이용하여 볼트 조립하는 방식과 같이 쉽게 설치 및 분해가 용이하여 추가적인 콘크리트 타설 없이 제진대에 대한 설치 작업을 실시할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대를 도시한 사시도.
도 2는 도 1의 평면도.
도 3은 본 실시 예에 의한 본체부가 이격된 상태를 도시한 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대에 결합된 리테이너를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 의한 체결부의 배치 상태를 도시한 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제1 결합 홀의 개구된 상태를 도시한 반 단면 사시도.
도 7은 본 실시 예에 의한 본체부에 하중이 가해질 때의 상태를 도시한 측면도.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 의한 리테이너와 체결부의 배치 상태를 도시한 반 단면 사시도.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대에 설치된 방지패드를 도시한 도면.
도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 체결부의 배치 상태를 도시한 도면.
본 발명의 일 실시 예에 따른 구체적인 설명에 앞서 본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조 하여야만 한다.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2 구성 요소는 제1 구성 요소로도 명명될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 참고로 도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대를 도시한 사시도 이고, 도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대를 도시한 사시도 이며, 도 2는 도 1의 평면도 이고, 도 3은 본 실시 예에 의한 본체부가 이격된 상태를 도시한 사시도 이며, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대에 결합된 리테이너를 도시한 사시도 이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 의한 체결부의 배치 상태를 도시한 사시도 이다.
첨부된 도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 실시 예에 의한 제진대(1)는 진동에 취약한 반도체 장비가 안정적으로 안착 되도록 바닥면(10)에 다수개가 서로 간에 조립 되는 본체부(100, 100a)가 구비된다.
상기 본체부(100, 100a)는 일 예로 판 형태의 직사각형으로 형성되나 반드시 한정하는 것은 아니며 다양한 규격으로 제작이 가능할 수 있다. 참고로 도 1에 도시된 본체부(100, 100a)는 판 형태의 직육면체로 형성되고, 설명의 편의를 위해 2개로 도시하였으나 다수개가 체결부(300)를 통해 서로 간에 밀착되게 조립될 수 있다.
일 예로 상기 본체부(100, 100a)는 콘크리트 구조물로 이루어지므로 규격화 하여 사전에 제작하여 보관하였다가 필요에 따라 사용이 가능하여 대량 생산을 통한 보관 및 규격화가 가능해질 수 있다.
또한 상기 본체부(100, 100a)는 반도체 장비가 안착될 위치로 차량을 통해 이동될 때 후술할 보강재(200, 200a)가 외측으로 돌출되지 않고 내측에 위치되므로 이동 및 보관이 유리해진다.
참고로 상기 본체부(100, 100a)는 콘크리트로 제작되나 다른 재질로 형성되는 것도 가능할 수 있다.
이를 위해 본 실시 예는 상측 가장자리를 따라 다수개의 결합 홀(110)이 형성된 본체부(100, 100a)와, 상기 본체부(100, 100a)의 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(200, 200a) 및 상기 결합 홀(110)에 체결되어 상기 본체부(100, 100a)가 서로 간에 밀착된 상태로 조립되도록 구비된 체결부(300)를 포함한다.
상기 본체부(100, 100a)는 콘크리트로 형성되고, 상기 보강재(200, 200a)가 내부에 함께 성형된다. 상기 보강재(200, 200a)는 본체부(100, 100a)의 외측으로 돌출되지 않아 외부 노출로 인한 부식 발생 이나 변형 발생이 방지된다.
상기 보강재(200, 200a)가 본체부(100, 100a)의 외측으로 미 노출될 경우 상기 본체부(100, 100a)의 구조적인 강도가 시간이 경과해도 일정하게 유지되므로 최초 설계시 반영된 강도가 일정하게 유지된다.
또한 본체부(100, 100a)가 이동될 때 상기 보강재(200, 200a)의 파손 또는 상기 보강재(200, 200a)와 연결된 본체부(100, 100a)의 파손으로 인한 문제점이 발생되지 않아 구조적인 강도가 항시 일정하게 유지된다.
또한 본체부(100, 100a)는 블록화 시켜 다수개를 사전에 제작할 경우 서로 간에 결합이 용이하여 보관의 편리성도 향상된다.
상기 보강재(200, 200a)는 이형 철근이 사용되어 콘크리트와의 부착 강도를 향상시켜 구조적인 강도가 증가되어 인장 및 압축 응력에 의한 변형을 최소화 시킬 수 있다.
상기 보강재(200, 200a)는 상기 본체부(100, 100a)의 내측 가로 방향을 향해 상하로 서로 마주보며 배치된 제1 철근(210, 210a)과, 상기 제1 철근(210, 210a)과 직교하며 세로 방향에 상하로 마주보며 배치된 제2 철근(220, 220a)을 포함한다.
상기 제1 철근(210, 210a)과 제2 철근(220, 220a)은 서로 간에 특정 간격으로 이격 되므로 반도체 장비의 하중이 가해질 경우 본체부(100, 100a)의 특정 위치에 하중이 집중되는 현상이 최소화 된다.
상기 제1,2 철근(210, 210a, 220, 220a)이 특정 간격으로 배치될 경우 본체부(100, 100a)의 상면 어느 위치에 반도체 장비가 위치되는 경우에도 진동에 의한 영향을 최소한으로 받게 될 수 있어 안정적인 장비 운영과 오차 발생을 줄일 수 있다.
본 실시 예에 의한 결합 홀(110)은 상기 본체부(100, 100a)를 상부에서 바라볼 때 어느 하나의 본체부(100)에서 다른 하나의 본체부(100a)를 향해 경사지게 개구된 제1 결합 홀(112)과, 상기 제1 결합 홀(112)과 마주보며 배치되고 다른 하나의 본체부(100a)에서 어느 하나의 본체부(100)를 향해 경사지게 개구된 제2 결합 홀(114)을 포함한다.
상기 제1,2 결합 홀(112, 114)은 체결부(300)가 결합되기 위한 공간을 제공하며 배치 상태는 본체부(100, 100a)가 서로 간에 조립될 경우 제1,2 결합 홀(112, 114)이 상면과 측면에서 서로 마주보며 배치된다.
제1 결합 홀(112)은 어느 하나의 본체부(100)에서 이격 거리가 동일 하게 배치되고, 제2 결합 홀(114) 또한 다른 하나의 본체부(100a)에서 이격 거리가 동일하게 배치된다.
상기 제1 결합 홀(112)은 어느 하나의 본체부(100)의 상면(PV1)에서 개구 되어 정면(FV1)과, 배면(BV1)과, 좌측면(LSV1)과, 우측면(RSV1)을 향해 제1 방향(D1)으로 경사지게 개구된다.
상기 제1 결합 홀(112)은 어느 하나의 본체부(100)의 측면에서 바라볼 때 도면에 도시된 바와 같이 하면이 아닌 측면 일측에 개구되어 다른 하나의 본체부(100a)에 형성된 제2 결합 홀(114)과 연통되므로 후술할 체결부(300)가 삽입될 경우 제1, 2 결합 홀(112, 114)을 경유하여 결합된다.
따라서 본체부(100, 100a)에 체결부(300)가 설치되면 서로 간에 밀착되게 조립될 수 있다.
상기 제2 결합 홀(114)은 다른 하나의 본체부(100a)의 상면(PV2)에서 개구 되어 정면(FV2)과, 배면(BV2)과, 좌측면(LSV2)과, 우측면(RSV2)을 향해 제2 방향(D2)으로 경사지게 개구 된다.
상기 제2 결합 홀(114)은 제1 결합 홀(112)과 측면에서 연통되므로 상기 제2 결합 홀(114)을 통해 삽입된 체결부(300)가 상기 제1 결합 홀(112)에 삽입될 경우 본체부(100, 100a)는 서로 간에 밀착되게 조립될 수 있다.
상기 제1 결합 홀(112)은 어느 하나의 본체부(100)의 상면(PV1)에 개구되어 있으나, 수직으로 하측을 향해 개구 되지 않고, 정면(FV1)과, 배면(BV1)과, 좌측면(LSV1)과, 우측면(RSV1)을 향해 제1 방향(D1)으로 경사지게 개구 된다.
상기 제1 결합 홀(112)이 이와 같이 제1 방향(D1)으로 경사지게 개구되는 이유는 어느 하나의 본체부(100)와 다른 하나의 본체부(100a)가 서로 간에 밀착된 상태에서 체결부(300)를 이용하여 어느 하나의 본체부(100)에서 다른 하나의 본체부(100a)에 형성된 제2 결합 홀(114)로 상기 체결부(300)를 결합시켜 서로 간에 조립하기 위해서이다.
즉 본 실시 예는 작업자가 설치 현장에서 추가로 현장 타설을 실시하거나 본체부(100, 100a)의 가장자리를 감싸는 프레임 부재(미도시)를 사용하지 않고서도 건식으로 제진대를 서로 간에 밀착시킨 후에 체결부(300)를 이용하여 조립할 수 있어 작업 효율과 속도가 동시에 향상되고, 오조립으로 인한 문제점이 발생되지 않는다.
상기 제1 결합 홀(112)은 정면(FV1)과, 배면(BV1)과, 좌측면(LSV1)과, 우측면(RSV1)에 개구된 위치가 상기 어느 하나의 본체부(100) 두께(t)의 1/2*t 위치에 개구될 수 있다.
이 경우 체결부(300)가 상기 제1 결합 홀(112)을 통해 결합될 경우 일부분이 마주보는 다른 하나의 본체부(100a)에 형성된 제2 결합 홀(114)에 안정적으로 체결 가능한 위치에 해당되어 상기 본체부(100, 100a)가 서로 간에 밀착된 상태로 설치될 수 있다.
제2 결합 홀(114)은 제1 결합 홀(112)과 동일하게 개구 되고, 방향만 제2 방향(D2)으로 개구되어 있어 체결부(300)가 상기 제1,2 결합 홀(112, 114)에 각각 삽입될 경우 어느 하나의 본체부(100)와 다른 하나의 본체부(100a)가 서로 마주보는 상대면이 밀착된 상태로 조립될 수 있다.
상기 본체부(100, 100a)에는 상기 체결부(300)가 상기 1,2 결합 홀(112, 114)에 삽입되기 이전에 상기 본체부(100, 100a)와 일체로 성형된 리테이너(400)가 구비되고, 상기 리테이너(400)는 내측에 상기 체결부(300)와 나사 결합되는 제1 나사산(410)이 형성된다.
상기 리테이너(400)는 스틸로 이루어질 수 있으며, 상기 본체부(100, 100a)가 성형될 때 함께 성형된다. 상기 리테이너(400)는 체결부(300)가 직접적으로 본체부(100, 100a)와 접촉되지 않도록 하여 상기 본체부(100, 100a)의 파손 또는 변형을 방지하여 안정적인 체결과 함께 고정된 상태를 유지할 수 있어 다수개의 본체부가 서로 간에 면대면으로 결합될 때 결합력은 유지하고 파손으로 인한 변형은 최소화 할 수 있다.
참고로 본 실시 예는 기 도시된 본체부(100, 100a)의 정면과 배면과 좌측면과 우측면에 각각 별도의 본체부(미도시)가 상기 체결부(300)를 통해 밀착 된 상태로 조립될 수 있다.
리테이너(400)는 전술한 보강재(200, 200a)와 직접적으로 접촉되지 않고 형성되므로 체결부(300)가 결합될 경우 결합이 손쉽게 이루어진다.
상기 제1 나사산(410)은 전 구간에 형성되지 않고 후술할 체결부(300)에 형성된 제2 나사산(330)과 동일 구간에 한정되어 형성된다.
첨부된 도 4 내지 도 6을 참조하면, 체결부(300)는 상기 제1,2 결합 홀(112, 114)의 내측 상부에 위치된 헤드부(310)와, 상기 헤드부(310)의 하단에서 축 방향을 따라 소정의 길이로 연장된 체결 축(320)과, 상기 체결 축(320)의 하측에 형성되고 상기 리테이너(400)와 결합되기 위해 상기 제1 나사산(410)과 나사 결합되는 제2 나사산(330)을 포함한다.
상기 체결부(300)는 전술한 리테이너(400)의 내측에 결합되고, 상기 본체부(100, 100a)가 밀착된 위치에서 도면에 도시된 바와 같이 본체부(100, 100a)의 좌측과 우측에서 각각 교대로 설치될 경우 본체부(100, 100a)가 밀착된 위치에서 안정적인 결합력이 유지된다.
상기 체결 축(320)은 설치된 이후에 외력이 가해질 경우 안정적인 강도가 유지되도록 합금강이 사용되나, 다른 구성으로 이루어지는 것도 가능할 수 있다.
상기 제2 나사산(330)은 체결 축(320)의 전 구간에 형성되지 않고 하측 일부 구간에만 형성된다. 상기 제2 나사산(330)이 상기 구간에만 형성되는 이유는 실제 제1 나사산(410)이 형성된 구간에서만 서로 간에 맞물리고, 상기 제2 나사산(330)이 미 형성된 구간에서는 리테이너(400)의 내측과 밀착 결합되어 본체부(100, 100a)의 하측에서의 하중 지지력을 증가시키기 위해서이다.
즉 상기 본체부(100, 100a)의 상측에 반도체 장비가 위치될 경우 톤 단위의 무게가 가해지게 되는데 이 경우 본체부(100, 100a)에는 중력 방향으로 처짐이 발생될 수 있으나 상기 보강재(200, 200a)와 상기 체결부(300)에 의해 처짐량이 최소화 되고, 상기 체결부(300)와 리테이너(400)가 서로 간에 나사 결합된 구간에서는 서로 간에 밀착된 본체부(100, 100a)의 결합력이 일정하게 유지되어 면접촉된 부분에서 틈새가 발생되거나 또는 결합력이 저하되는 현상이 발생되지 않는다.
상기 보강재(200, 200a)는 격자 형태로 배치되어 있어 본체부(100, 100a)의 상면에서 가해지는 대부분의 하중을 지지하고, 상기 체결부(300)는 상기 본체부(100, 100a)가 서로 간에 연결된 위치에 가해지는 하중을 지지 분산하되, 상기 체결부(300)가 본체부(100, 100a)가 면 접촉된 위치에서 서로 간에 교차되게 설치되므로 상기 본체부(100, 100a)에 가해지는 비틀림 응력에 대한 저항성도 향상된다.
상기 체결부(300)는 상기 헤드부(310)의 상면과 결합되고, 상기 본체부(100, 100a)의 상면과 동일평면을 이루며 공구가 삽입되도록 공구 삽입 홈(302a)이 형성된 체결 캡(302)을 더 포함한다.
상기 체결 캡(302)은 공구가 헤드부(310)에 결합되지 않도록 하여 상기 헤드부(310)에 대한 파손 및 변형을 방지하고, 상기 본체부(100, 100a)의 외측에서 헤드부(310)가 노출되지 않도록 함으로써 체결부(300)의 변형 및 파손을 방지할 수있다.
상기 체결 캡(302)은 상기 공구 삽입 홈(302a)으로 공구(미도시)가 결합되며, 상기 공구는 전동공구가 사용된다. 예를 들어 공구가 특정 방향으로 회전될 경우 상기 체결부(300)가 상기 리테이너(400)의 내측에 삽입된 상태에서 전술한 제1 나사산(410)에 체결 축(320)의 제2 나사산(330)이 나사 결합되어 안정적인 설치가 이루어진다.
첨부된 도 7을 참조하면, 본체부(100, 100a)는 반도체 장비에 의한 하중(P)이 본체부(100, 100a)가 서로 간에 면접촉된 위치에 집중될 수 있다. 본 실시 예는 상기 위치에 하중(P)이 가해지는 경우에도 체결부(300)가 교차되게 설치되면서 체결 축(320)의 축 방향에서 하중이 지지 분산될 수 있어 본체부(100, 100a)의 하면에서 화살표 방향으로 각각 발생되는 모멘트(M1, M2)가 최소한으로 발생되어 파손 또는 변형이 최대한 억제될 수 있어 내구성이 향상된다.
첨부된 도 8을 참조하면, 본체부(100, 100a)에는 상기 체결부(300)와 결합되기 위한 너트부(N)가 상기 리테이너(400)의 내측 하단에 구비된다. 상기 너트부(N)는 체결 축(320)의 단부와 나사 결합되도록 내측에 나사산이 형성되어 있어 상기 체결부(300)가 상기 리테이너(400)와 너트부(N)에 동시에 결합되므로 안정적인 결합 상태가 유지된다.
상기 너트부(N)는 리테이너(400)와 동일하게 본체부(100, 100a)가 성형될 때 함께 성형되며 금속 또는 합금강으로 구성될 수 있다.
상기 체결부(300)는 상기 제1 결합 홀(112)을 경유하여 상기 제2 결합 홀(114)에 일부가 부분 삽입되어 체결이 이루어지므로 본체부(100, 100a)의 사방에 결합될 경우 체결력이 안정적으로 유지된다.
첨부된 도 9를 참조하면, 본 실시 예는 상기 어느 하나의 본체부(100)와 상기 다른 하나의 본체부(100a)가 서로 간에 면 접촉되는 위치에는 전달된 진동을 흡수하기 위한 방진패드(50)가 설치된다.
상기 방진패드(50)는 고무 또는 폼 재질로 이루어지거나 다른 재질로 이루어질 수 있으며 단일층 또는 복수개의 층으로 이루어져 전달된 진동을 최소화 시킨다.
첨부된 도 7 또는 10을 참조하면, 본 실시 예에 의한 제진대(1)는 전술한 실시 예와 다르게 체결부(300)의 설치 방향이 본체부(100, 100a)를 위에서 바라볼 때 어느 하나의 본체부(100)에서 다른 하나의 본체부(100a)를 향해 대각선 방향으로 삽입될 수 있다.
체결부(300)는 어느 하나의 본체부(100)에서 다른 하나의 본체부(100a)를 향해 대각선 방향으로 배치되고, 다른 하나의 본체부(100a)에서는 어느 하나의 본체부(100)를 향해 대각선 방향으로 배치될 수 있다.
이와 같이 체결부(300)가 대각선 방향으로 교대로 반복되게 설치되는 이유는 본체부(100, 100a)의 결합 안전성 향상과 보강재(200, 200a)와의 간섭으로 인한 레이 아웃의 불리함을 최소화 시킬 수 있어 도면에 도시된 바와 같은 배치 구조로 설치된다.
이상, 본 발명의 일 실시 예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
100, 100a : 제1 본체부
110 : 결합 홀
112, 114 : 제1,2 결합 홀
200, 200a : 보강재
210, 210a : 제1 철근
220, 220a : 제2 철근
300 : 체결부
400 : 리테이너

Claims (10)

  1. 상측 가장자리를 따라 다수개의 결합 홀(110)이 형성된 본체부(100, 100a);
    상기 본체부(100, 100a)의 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(200, 200a); 및
    상기 결합 홀(110)에 체결되어 상기 본체부(100, 100a)가 서로 간에 밀착된 상태로 조립되도록 구비된 체결부(300)를 포함하는 제진대.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 결합 홀(110)은 상기 본체부(100, 100a)를 상부에서 바라볼 때 어느 하나의 본체부(100)에서 다른 하나의 본체부(100a)를 향해 경사지게 개구된 제1 결합 홀(112);
    상기 제1 결합 홀(112)과 마주보며 배치되고 다른 하나의 본체부(100a)에서 어느 하나의 본체부(100)를 향해 경사지게 개구된 제2 결합 홀(114)을 포함하는 제진대
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 결합 홀(112)은 어느 하나의 본체부(100)의 상면(PV1)에서 개구 되어 정면(FV1)과, 배면(BV1)과, 좌측면(LSV1)과, 우측면(RSV1)을 향해 제1 방향(D1)으로 경사지게 개구되고,
    상기 제2 결합 홀(114)은 다른 하나의 본체부(100a)의 상면(PV2)에서 개구 되어 정면(FV2)과, 배면(BV2)과, 좌측면(LSV2)과, 우측면(RSV2)을 향해 제2 방향(D2)으로 경사지게 개구된 것을 특징으로 하는 제진대.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 본체부(100, 100a)에는 상기 체결부(300)가 상기 1,2 결합 홀(112, 114)에 삽입되기 이전에 상기 본체부(100, 100a)와 일체로 성형된 리테이너(400)가 구비되고,
    상기 리테이너(400)는 내측에 상기 체결부(300)와 나사 결합되는 제1 나사산(410)이 형성된 제진대
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 체결부(300)는 상기 제1,2 결합 홀(112, 114)의 내측 상부에 위치된 헤드부(310);
    상기 헤드부(310)의 하단에서 축 방향을 따라 소정의 길이로 연장된 체결 축(320);
    상기 체결 축(320)의 하측에 형성되고 상기 리테이너(400)와 결합되기 위해 상기 제1 나사산(410)과 나사 결합되는 제2 나사산(330)을 포함하는 제진대
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 체결부(300)는 상기 헤드부(310)의 상면과 결합되고, 상기 본체부(100, 100a)의 상면과 동일평면을 이루며 공구가 삽입되도록 공구 삽입 홈(302a)이 형성된 체결 캡(302)을 더 포함하는 제진대
  7. 제4 항에 있어서,
    상기 본체부(100, 100a)에는 상기 체결부(300)와 결합되기 위한 너트부(N)가 상기 리테이너(400)의 내측 하단에 구비된 제진대.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 보강재(200, 200a)는 상기 본체부(100, 100a)의 내측 가로 방향을 향해 상하로 서로 마주보며 배치된 제1 철근(210, 210a)과, 상기 제1 철근(210, 210a)과 직교하며 세로 방향에 상하로 마주보며 배치된 제2 철근(220, 220a)을 포함하는 제진대.
  9. 제2 항에 있어서,
    상기 체결부(300)는 상기 제1 결합 홀(112)을 경유하여 상기 제2 결합 홀(114)에 일부가 부분 삽입되어 체결이 이루어지는 제진대.
  10. 제2 항에 있어서,
    상기 어느 하나의 본체부(100)와 상기 다른 하나의 본체부(100a)가 서로 간에 면접촉되는 위치에는 전달된 진동을 흡수하기 위한 방진패드(50)가 설치된 제진대
KR1020200038619A 2020-03-30 2020-03-30 제진대 KR20210122368A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200038619A KR20210122368A (ko) 2020-03-30 2020-03-30 제진대

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200038619A KR20210122368A (ko) 2020-03-30 2020-03-30 제진대

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210122368A true KR20210122368A (ko) 2021-10-12

Family

ID=78078545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200038619A KR20210122368A (ko) 2020-03-30 2020-03-30 제진대

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20210122368A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230174351A (ko) 2022-06-20 2023-12-28 주식회사 해광 제진대

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100791079B1 (ko) 2007-01-22 2008-01-04 삼성전자주식회사 제진대 및 이의 설치방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100791079B1 (ko) 2007-01-22 2008-01-04 삼성전자주식회사 제진대 및 이의 설치방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230174351A (ko) 2022-06-20 2023-12-28 주식회사 해광 제진대

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11462793B2 (en) Battery case structure for vehicle
KR102176141B1 (ko) 제진대
KR100704779B1 (ko) 리브홈 형강 및 그의 연결부재
US20080174057A1 (en) Vibration control pedestal and installation method thereof
US11460058B2 (en) Separable integrated type vibration isolator
KR20210122368A (ko) 제진대
KR101903485B1 (ko) 기판 적재용 카세트
JP2008019890A (ja) 防振架台
KR101116928B1 (ko) 구동 스테이지 및 그것을 사용한 칩 마운터
JP2017186808A (ja) 木質ブレース構造
JP2883026B2 (ja) 壁体パネル取付金具
JP2008019692A (ja) 筋かい接合部材
KR20220041279A (ko) 제진대용 콘크리트 패드
JP2019523840A (ja) 一体型耐震ドアフレーム
JP6209784B2 (ja) 減震ストッパ構造並びに当該減震ストッパ構造を備えた防振架台
KR102481590B1 (ko) 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법
WO2021044805A1 (ja) 基板収納容器
JP4585228B2 (ja) エレベータの揚重梁固定装置
JP6222861B1 (ja) レールブラケットおよびレールブラケットの固定方法
JP2005305569A (ja) 機械用構造材およびロボットアーム装置用ハンド
US20050044970A1 (en) Force measurement cell
JP4354390B2 (ja) 木質系住宅用の制振装置
JP2005282230A (ja) 建物の制震構造
KR102390664B1 (ko) 구조물 보강 시스템 및 이를 이용한 구조물 보강 방법
JP4251284B2 (ja) ガラスリブ構造およびガラススクリーン構造