KR102176141B1 - 제진대 - Google Patents

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KR102176141B1
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김면수
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주식회사 해광
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
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Abstract

제진대가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 제진대는 서로 간에 이격된 제1 본체부의 외측으로 보강재가 돌출되지 않고서도 연결부를 매개로 결합이 가능한 제진대를 제공한다.

Description

제진대{Shock absorbing desk}
본 발명은 반도체 장비를 안정적으로 안착 시키기 위해 사용되는 제진대에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼를 가공하여 반도체 소자를 제조하는 반도체 제조라인에는 포토(Photo) 공정, 에칭(Etching)공정, 박막 증착 공정 등 각각의 단위공정을 수행하는 다수의 반도체 장비들이 사용된다.
상기 반도체 장비들 중 대부분은 매우 정밀한 공정들을 수행하기 때문에 외부로부터 전달되는 진동에 매우 취약해진다. 특히, 포토 공정을 진행하는 포토 리소그래피 장비는 포토 마스크 기판에 그려진 반도체 회로 패턴을 웨이퍼 상에 전사하는 매우 정밀한 공정을 수행하기 때문에 외부로부터 전달되는 진동에 매우 취약해진다.
이 경우 포토 리소그래피 장비를 포함한 대부분의 반도체 장비들은 반도체 제조라인에 설치될 때, 반도체 제조라인의 바닥면 상에 직접 설치되는 것이 아니라 외부 진동을 일정부분 흡수 및 완화하는 제진대에 설치된다.
이와 같이 반도체 장비들이 설치될 위치에는 사전에 제진대가 설치되며, 진동 등에 취약한 반도체 장비들을 보호하여 안정적인 작동을 도모할 수 있다.
상기 제진대는 일 예로 내부에 철근 구조체가 배치된 철근 콘크리트 구조물이 사용되는데, 상기 철근 콘크리트 구조물을 서로 간에 연결하기 위해 내부에 배치된 철근 구조체가 철근 콘리트 구조물의 외측으로 노출된 상태로 제작되었다.
이 경우 종래의 제진대는 철근 구조체가 공기와 접촉되면서 시간이 경과될 경우 산화로 인한 녹이 발생될 수 있어 구조적인 강도가 저하되거나 품질 이 저하될 수 있는 문제점이 유발되었다.
또한 종래의 제진대는 철근 구조체가 철근 콘크리트 구조물의 외측으로 노출될 경우 보관이 불리해 지고, 이동을 위해 지게차 또는 차량에 적재하고자 할 때 주변 구조물과 직접적인 충돌로 인한 파손의 우려가 있어 이에 대한 대책이 필요하게 되었다.
대한민국등록특허 제10-0791079호
본 발명의 실시 예들은 제진대의 보관 및 이동이 용이하고 작업자가 손쉽게 조립이 가능한 제진대를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대는 외형을 이루는 프레임부(50)의 내측에 형성되고, 서로 마주보며 바닥면(10)에서 이격되며 콘크리트로 형성된 제1 본체부(100, 100a); 상기 이격된 제1 본체부(100, 100a) 사이에 콘크리트로 형성된 제2 본체부(200); 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(300, 300a); 상기 보강재(300, 300a)의 연장된 단부에 각각 결합되어 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 매립된 상태로 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측면과 동일면을 이루는 소켓부(400); 및 상기 이격된 제1 본체부(100, 100a)가 서로 간에 연결되도록 상기 소켓부(300)에 양단이 결합되어 상기 제2 본체부(200)에 구비된 연결부(500)를 포함한다.
상기 보강재(300, 300a)는 상기 본체부(100, 100a)의 내측 가로 방향을 향해 상하로 서로 마주보며 배치된 제1 철근(310, 310a); 상기 제1 철근(310, 310a)과 직교하며 세로 방향에 상하로 마주보며 배치된 제2 철근(320, 320a)을 포함하고, 상기 제1,2 철근(310, 310a, 320, 320a)은 서로 간에 동일한 제1 간격(D1)으로 이격된 것을 특징으로 한다.
상기 소켓부(400)는 외형을 이루는 바디부(402, 402a); 상기 보강재(300, 300a)의 단부와 마주보는 상기 바디부(402, 402a)의 내측에 형성된 제1 홈부(410, 410a); 상기 제1 홈부(410, 410a)와 일체로 형성되고 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측을 향해 직경이 확장된 플랜지(404, 404a)의 내측 중앙에서 상기 보강재(300, 300a)와 동축을 이루며 연장된 소켓 샤프트(420, 420a); 일단이 상기 소켓 샤프트(420, 420a)에 각각 결합되고, 타단이 상기 연결부(500)에 결합되는 제1 커플러(430, 430a)를 포함한다.
상기 소켓부(400)는 외형을 이루는 바디부(402, 402a); 상기 보강재(300, 300a)의 단부와 마주보는 상기 바디부(402, 402a)의 내측에 형성된 제1 홈부(410, 410a); 상기 제1 홈부(410, 410a)와 일체로 형성되고 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측을 향해 직경이 확장된 플랜지(404, 404a)의 내측 중앙에 형성되고 상기 연결부(500)가 결합되는 제2 홈부(440, 440a)를 포함한다.
상기 연결부(500)는 상기 제1 커플러(430, 430a)에 나사 결합되도록 외주면에 제1 나사산(502)이 형성되고, 소정의 길이로 연장된 볼트가 사용된다.
상기 연결부(500)는 축 방향에서 서로 다른 직경으로 연장되되, 축 방향 중앙을 기준으로 상기 제1 커플러(430, 430a)를 향해 제1 직경(d1)으로 제1 구간(S1)에 걸쳐 연장된 제1 연결부(500a)와, 상기 제1 연결부(500a)의 연장된 단부에서 각각 제2 홈부(440, 440a)를 향해 제2 직경(d2)으로 제2 구간(S2)에 걸쳐 연장된 제2 연결부(500b)를 포함한다.
상기 제1 연결부(500a)에는 제1 나사산(502a)이 형성되고, 상기 제2 연결부(500b)에는 제2 나사산(504a)이 형성돨 수 있다.
실시 예들에 따라, 상기 제1 나사산(502a)과 상기 제2 나사산(504a)은 서로 다른 깊이와 폭으로 연장될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 제1 나사산(502a)과 상기 제2 나사산(504a)은 동일한 깊이와 폭으로 연장될 수 있다. 예컨대, 연결부(500)는 동일한 형태를 가지는 제1 연결부(500a)와 제2 연결부(500b)로 형성될 수 있다.
상기 연결부(500)는 축 방향 중앙에 고정된 고정부(506); 상기 고정부(506)를 기준으로 일측 단부에서 이격된 위치에 설치되고, 상기 고정부(506)에 의해 상기 연결부(500)가 회전될 경우 어느 하나의 플랜지(404, 404a)의 외측면에 면접촉되어 상기 연결부(500)가 상기 소켓부(400)에 정위치 되도록 구비된 스토퍼(508)를 포함한다.
상기 연결부(500)는 상기 보강재(300, 300a)와 동축이 유지되는 것을 특징으로 한다.
상기 소켓부(400)는 상기 제1 본체부(100, 100a)의 전, 후, 좌우면에 모두 설치된다.
본 발명의 실시 예들은 제진대를 구성하는 제1 본체부와 제2 본체부에 대한 연결 및 설치가 손쉽게 이루어질 수 있어 작업자의 작업성이 향상되고, 설치 현장에서 신속한 작업이 가능해 진다.
본 발명의 실시 예들은 보강재가 제1 본체부의 외측으로 노출되지 않아 변형 및 강도 저하를 방지할 수 있어 제진대의 내구성이 향상된다.
본 발명의 실시 예들은 연결부의 설치가 손쉽게 이루어질 수 있고, 다양한 방식으로 설치가 가능해진다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대를 구성하는 제1 본체부를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대가 설치된 상태를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제1 본체부와 제2 본체부를 도시한 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제1 본체부를 서로 간에 연결하기 위한 소켓과, 상기 소켓에 결합된 연결부를 도시한 사시도.
도 5내지 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대의 결합 상태를 도시한 횡 단면도.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 의한 소켓에 결합된 연결부를 도시한 반단면 사시도.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 소켓에 결합된 연결부를 도시한 반단면 사시도.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시 예에 의한 연결부를 도시한 도면.
도 10 내지 도 11은 본 발명의 일 실시 예에 의한 연결부가 소켓에 설치되는 상태를 도시한 도면.
본 발명의 일 실시 예에 따른 구체적인 설명에 앞서 본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조 하여야만 한다.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2 구성 요소는 제1 구성 요소로도 명명될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
참고로 도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대를 구성하는 제1 본체부를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제진대가 설치된 상태를 도시한 사시도 이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 의한 제1 본체부와 제2 본체부를 도시한 사시도 이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 의한 제1 본체부를 서로 간에 연결하기 위한 소켓과, 상기 소켓에 결합된 연결부를 도시한 사시도이다.
첨부된 도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시 예에 의한 제진대(1)는 진동에 취약한 반도체 장비가 안정적으로 안착 되도록 바닥면(10)에 다수개가 서로 간에 조립 되는 제1 본체부(100, 100a)가 구비된다.
상기 제1 본체부(100, 100a)는 일 예로 판 형태의 직사각형으로 형성되나 반드시 한정하는 것은 아니며 다양한 규격으로 제작이 가능할 수 있으며 후술할 제2 본체부(200)를 매개로 서로 간에 조립된다.
일 예로 본 실시 예는 상기 제2 본체부(200)를 사전에 제작하지 않고 상기 제1 본체부(100, 100a)만을 사전에 규격화 하여 제작하고, 현장에서 제2 본체부(200)를 제작하는 방법도 가능하므로 현장에서 설치가 손쉽게 이루어질 수 있다.
또한 상기 제1 본체부(100, 100a)는 반도체 장비가 안착될 위치로 차량을 통해 이동될 때 후술할 보강재(300, 300a)가 외측으로 돌출되지 않아 이동 및 보관이 유리해진다.
참고로 상기 제2 본체부(200)는 조립 현장에서 상기 제1 본체부(100, 100a)를 도 3에 도시된 바와 같이 배치시킨 후에 후술할 연결부(500)를 통해 이격된 제1 본체부(100, 100a)를 서로 간에 연결하고 콘크리트를 주입하여 양생하는 방법으로 제작될 수 있다.
또한 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)는 콘크리트로 형성되나 다른 재질로 변경되는 것도 가능할 수 있다.
이를 위해 본 실시 예는 서로 마주보며 바닥면에서 이격되며 콘크리트로 형성된 제1 본체부(100, 100a)와, 상기 이격된 제1 본체부(100, 100a) 사이에 콘크리트로 형성된 제2 본체부(200)와, 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(300, 300a)(도 5 참조)와, 상기 보강재(300, 300a)의 연장된 단부에 각각 결합되어 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 매립된 상태로 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측면과 동일면을 이루는 소켓부(400)와, 및 상기 이격된 제1 본체부(100, 100a)가 서로 간에 연결되도록 상기 소켓부(300)에 양단이 결합되어 상기 제2 본체부(200)에 구비된 연결부(500)를 포함한다.
실시 예들에 따라, 제 1 본체부(100, 100a)는 외형을 이루는 프레임부(50)의 내측에 형성될 수 있다. 상기 프레임부(50)는 제1 본체부(100, 100a) 및 제2 본체부(200)에 대한 성형을 위해 콘크리트가 주입될 때 외형을 이루기 위해 구비된다. 일 예로 프레임부(50)는 상면을 제외한 나머지 부분은 막힌 상태로 형성되며, 바닥에 설치되는 제1 프레임과, 정면과 배면과 좌측면과 우측면에 각각 제2 내제 제4프레임이 구비된다.
상기 프레임부(50)는 도면 기준 상면을 제외한 나머지 하면과 전면과 후면과 좌측면 및 우측면이 모두 밀폐된 상태로 형성되고, 후술할 소켓부(400)가 삽입되도록 전면과 후면과 좌측면 및 우측면은 상기 소켓부(400)가 삽입되는 삽입 홀(미도시)이 형성된다.
프레임부(50)는 서로 간에 고정을 위해 별도의 체결부재가 구비되며 특별히 특정 구성으로 한정하지는 않는다.
본 실시 예에 의한 제2 본체부(200)는 전술한 프레임부(50)와 동일한 구성을 갖는 보조 프레임부(52)가 설치되므로 콘크리트 주입시 외측으로 넘치지 않고 도2와 같이 제1 본체부(100, 100a)와 동일 평면을 이루며 타설이 이루어진다.
상기 제1 본체부(100, 100a)는 콘크리트로 형성되고, 상기 보강재(300, 300a)가 내부에 함께 성형된다. 상기 보강재(300, 300a)는 제1 본체부(100, 100a)의 외측으로 돌출되지 않고 후술할 소켓부(400)에 각각 결합되므로 외부 노출로 인한 부식 발생 이나 변형 발생이 방지된다. 참고로 도1 에서는 어느 하나의 제1 본체부(100)만 도시하였고, 다른 하나의 본체부(100a)는 구조가 동일하므로 도 2에 제2 본체부(200)와 결합된 상태로 도시하였다.
상기 제1 본체부(100, 100a)는 서로 간에 이격되어 있고 상기 제2 본체부(200)를 통해 연결된 상태가 유지되는데, 상기 연결부(500)는 이를 가능하게 하는 중요한 구성품에 해당된다.
본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)의 전, 후, 좌우면에 모두 소켓부(400)가 설치되므로 도면에 도시된 조립 상태 이외에도 전면과 후면 및 좌우측면에 상기 연결부(500)를 이용하여 작업자가 손쉽게 조립 작업을 실시한 후에 제2 본체부(200)로 콘크리트를 타설할 경우 빠르고 쉽게 제진대에 대한 작업이 이루어지게 되어 작업 효율 향상과 비용 절감을 동시에 도모할 수 있다.
상기 보강재(300, 300a)가 제1 본체부(100, 100a)의 외측으로 미 노출될 경우 상기 제1 본체부(100, 100a)의 구조적인 강도가 시간이 경과해도 일정하게 유지되므로 최초 설계시 반영된 강도가 일정하게 유지된다.
또한 제1 본체부(100, 100a)가 이동될 때 상기 보강재(300, 300a)의 파손 또는 상기 보강재(300, 300a)와 연결된 제1 본체부(100, 100a)의 파손으로 인한 문제점이 발생되지 않아 구조적인 강도가 항시 일정하게 유지된다.
또한 제1 본체부(100, 100a)는 블록화 시켜 다수개를 사전에 제작할 경우 적층이 용이하여 보관의 편리성도 향상된다. 참고로 제1 본체부(100, 100a)는 가로 길이와 세로 길이가 동일하게 구성되거나, 어느 한 방향에서의 길이가 다른 한 방향에서의 길이 보다 길게 연장되도록 구성될 수 있다.
상기 보강재(300, 300a)는 이형 철근이 사용되어 콘크리트와의 부착 강도를 향상시켜 구조적인 강도를 증가시켜 인장 및 압축 응력에 의한 변형을 최소화 시킬 수 있다.
상기 보강재(300, 300a)는 상기 본체부(100, 100a)의 내측 가로 방향을 향해 상하로 서로 마주보며 배치된 제1 철근(310, 310a)과, 상기 제1 철근(310, 310a)과 직교하며 세로 방향에 상하로 마주보며 배치된 제2 철근(320, 320a)을 포함한다.
상기 제1 철근(310, 310a)과 제2 철근(320, 320a)은 격자 형태로 서로 간에 동일한 제1 간격(D1)으로 이격되므로 반도체 장비의 하중이 가해질 경우 제1 본체부(100, 100a)의 특정 위치에 하중이 집중되지 않고 안정적으로 지지될 수 있다.
상기 제1,2 철근(310, 310a, 320, 320a)이 제1 간격(D1)으로 배치될 경우 제1 본체부(100, 100a)는 상면 어느 위치에 반도체 장비가 위치되는 경우에도 진동에 의한 영향을 최소한으로 받게 되므로 안정적인 장비 운영과 함께 반도체 장비가 가동될 때 발생될 수 있는 오차 발생을 줄일 수 있다.
만약 전술한 실시 예와 같이 동일하게 제1 간격(D1)이 유지되지 않고 서로 다른 간격이 유지될 경우 제1 철근(310, 310a) 또는 제2 철근(320, 320a)의 이격된 간격이 상대적으로 멀리 이격된 구간에 집중 하중이 가해지면서 제1 본체부(100, 100a)에서 변형이 발생되거나 진동 흡수 측면에서 불리해지므로 본 실시 예와 같이 제1,2 철근(310, 310a, 320, 320a)이 서로 간에 동일한 제1 간격(D1)으로 이격 되는 것이 유리해 진다.
본 실시 예에 의한 제1 본체부(100, 100a)는 외측에서 바라볼 때 보강재(300, 300a)가 전혀 노출되지 않고 소켓부(400)만 제1 본체부(100, 100a)의 전, 후, 좌우측면에서 동일면을 이루며 매립된다.
이와 같이 소켓부(400)가 제1 본체부(100, 100a)에 매립될 경우 위치 이동 없이 항시 정 위치에 위치될 수 있어 상기 보강재(300, 300a)와 동일 축선을 유지할 수 있다. 또한 상기 제1 본체부(100, 100a)의 상면에서 중력 방향으로 가해지는 반도체 장비의 하중 또는 외력에 의해 발생된 진동을 감소시키는데 보다 유리해 진다.
상기 소켓부(400)는 제1 본체부(100, 100a)의 상면과 하면을 제외한 위치에 가로 및 세로 방향을 향해 다수개가 매립될 수 있어 작업자가 보다 손쉽게 작업을 실시할 수 있다.
또한 작업자가 현장에서 블록화 된 제1 본체부(100, 100a)를 바닥면(10)에 일정 간격으로 복수 개 위치시키고 제2 본체부200)로 성형될 위치에 콘크리트를 주입할 경우 손쉽게 제진대(1)에 대한 성형 및 설치 작업을 실시할 수 있어 작업성도 동시에 향상될 수 있다.
소켓부(400)는 제2 본체부(200)와 연결되는 위치에는 후술할 연결부(500)가 설치되고, 상기 제2 본체부(200)가 미 성형되는 위치에는 별도의 커버(미도시)가 부착될 수 있다.
상기 소켓부(400)는 금속 또는 비금속 재질로 형성되며, 금속 재질일 경우 부식 발생이 방지되도록 별도로 도금 처리가 이루어지므로 산화반응으로 인한 녹 발생이 방지된다.
첨부된 도 4 내지 도 7을 참조하면, 소켓부(400)는 제1 본체부(100, 100a)의 외측면에 위치되고 전술한 보강제(300, 300a)에 결합된 상태로 콘크리트가 주입될 경우 일체 성형된다.
특히 본 실시 예는 보강재(300, 300a)가 제2 본체부(200)에 노출되지 않고 소켓부(400)를 매개로 연결부(500)와 연결될 수 있어 보강재(300, 300a)의 변형 또는 파손이 방지되므로 안전성과 시공성이 향상된다.
상기 소켓부(400)는 외형을 이루는 바디부(402, 402a)와, 상기 보강재(300, 300a)의 단부와 마주보는 상기 바디부(402, 402a)의 내측에 형성된 제1 홈부(410, 410a)와, 상기 제1 홈부(410, 410a)와 일체로 형성되고 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측을 향해 직경이 확장된 플랜지(404, 404a)의 내측 중앙에서 상기 보강재(300, 300a)와 동축을 이루며 연장된 소켓 샤프트(420, 420a)와, 일단이 상기 소켓 샤프트(420, 420a)에 각각 결합되고, 타단이 상기 연결부(500)에 결합되는 제1 커플러(430, 430a)를 포함한다.
상기 바디부(402, 402a)는 콘크리트와의 접촉면적이 증가되도록 제1 본체부(100, 100a)의 외측(플랜지 방향)으로 갈수록 직경이 확장된다.
상기 제1 홈부(410, 410a)는 보강재(300, 300a)가 삽입되는 공간을 제공하며 도면에 도시된 바와 같이 일정 깊이로 형성되어 있어 상기 보강재(300, 300a)가 삽입된 후에 용접을 통해 고정되므로 분리 또는 이탈되는 문제점이 발생되지 않는다.
상기 소켓 샤프트(420, 420a)는 보강재(300, 300a)와 동축을 이루며 연장되므로 후술할 연결부(500)를 통해 축 방향 하중이 전달될 경우 상기 보강재(300, 300a)로 일부가 전달되어 하중 지지 분포 능력이 향상되므로 진동 감소 효과를 도모할 수 있고, 이를 통해 반도체 장비에 진동이 전달되는 현상을 최소화 할 수 있다.
또한 소켓 샤프트(420, 420a)는 도면에 도시된 바와 같이 상기 플랜지(404, 404a)의 외측으로 돌출되지 않는 범위 이내에서 소정의 길이로 연장된다.
연결부(500)가 소켓 샤프트(420, 420a)에 조립될 경우 축 방향 단부가 각각 접촉되어 삽입 깊이가 설정된 깊이만큼만 조립되므로 서로 간에 이격된 제1 본체부(100, 100a)에 좌우 길이가 동일하게 삽입되어 정확한 이격 간격으로 조립이 가능해 진다.
상기 플랜지(404, 404a)는 제1 본체부(100, 100a)에 일면이 지지되고, 제2 본체부(200)에 타면이 지지되므로 양측면에서 가해지는 하중 지지 분포 성능이 향상될 수 있다.
상기 제1 커플러(430, 430a)는 상기 소켓 샤프트(420, 420a)에 각각 나사 결합 방식으로 설치되고, 후술할 연결부(500)가 도면에 도시된 바와 같이 결합된다. 제1 커플러(430, 430a)는 내측면에 나사산이 형성된 관 형태의 구성품으로 상기 연결부(500)에 결합 또는 결합 해제가 가능해진다.
상기 연결부(500)는 상기 제1 커플러(430, 430a)에 나사 결합되도록 외주면에 제1 나사산(502)이 형성되고, 소정의 길이로 연장된 볼트가 사용된다.
연결부(500)는 콘크리트가 제2 본체부(200)로 주입될 경우 제1 나사산(502)과의 면접촉에 따른 축 방향 접촉 면적이 증가하고 축 방향 전체에서 부착 면적이 증가하여 결합력이 향상된다.
이 경우 상기 제2 본체부(200)에 보강재(300, 300a)가 미 설치된 경우에도 상기 연결부(500)가 도면에 도시된 바와 같이 전 구간에서 보강재(300, 300a)와 유사한 역할을 할 수 있어 구조적 강도를 안정적으로 유지할 수 있다.
작업자는 상기 연결부(500)를 설치하기 위해 서로 마주보며 배치된 어느 하나의 제1 커플러(430a)에 일단을 우선 결합시킨 후에 상기 소켓 샤프트(420a)에 연결부(500)의 우측 단부(도면기준)가 접촉될 때까지 회전시킨다.
그리고 반대 방향에 위치된 제1 커플러(430)에 연결부(500)의 타단을 결합시켜 소켓 샤프트(420)에 연결부(500)의 좌측 단부(도면기준)가 접촉될 때까지 회전시켜 조립하면 설치가 완료된다.
첨부된 도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 의한 소켓부(400)는 외형을 이루는 바디부(402, 402a)와, 상기 보강재(300, 300a)의 단부와 마주보는 상기 바디부(402, 402a)의 내측에 형성된 제1 홈부(410, 410a)와, 상기 제1 홈부(410, 410a)와 일체로 형성되고 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측을 향해 직경이 확장된 플랜지(404, 404a)의 내측 중앙에 형성되고 상기 연결부(500)가 결합되는 제2 홈부(440, 440a)를 포함한다.
본 실시 예는 제1 홈부(410, 410a)에 제1 철근(310, 310a)가 각각 결합되고, 제2 홈부(440, 440a)에는 연결부(500)의 양측 단부가 각각 결합되어 서로 간에 이격된 제1 본체부(100, 100a)에 손쉽게 설치가 이루어질 수 있다. 실시 예들에 따라, 제1 철근(310, 310a)은 제1 홈부(410, 410a)와 용접 연결될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 제1 홈부(410, 410a)는 상기 소켓부(400)의 축 방향 전체 길이의 1/2이상의 깊이로 형성되어 있어 보강재(300, 300a)가 삽입될 경우 결합 안정성이 향상되므로 이탈 또는 분리되는 현상이 방지되어 결합 안정성이 향상된다.
상기 연결부(500)는 제1 홈부(410, 410a)에 삽입된 이후에 용접을 통해 서로 간에 고정되며 세부 구성은 도 10을 참조하여 설명한다.
참고로 제1 홈부(410, 410a)와 제2홈부(440, 440a)내에 나사선이 형성될 수 있다.
상기 제2 홈부(440, 440a)는 연결부(500)의 양측 단부가 도면에 도시된 깊이로 삽입되기 위한 공간을 제공한다. 상기 플랜지(404, 404a)는 외측에서 바라볼 때 상기 제2 홈부(440, 440a)를 제외한 나머지 부분이 막힌 상태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
실시 예들에 따라, 제1 홈부(410, 410a)와 제2 홈부(440, 440a)는 서로 연결되어 하나의 관통홀의 형태로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 홈부(410, 410a)의 직경과 제2 홈부(440, 440a)의 직경은 동일할 수 있다. 이 때, 제1 철근(310, 310a)과 연결부(500)의 직경 또한 서로 동일할 수 있다.
실시 예들에 따라, 상기 플랜지(404, 404a)가 외측에서 바라볼 때 상기 제2 홈부(440, 440a)를 제외한 나머지 부분이 막힌 상태로 형성될 때, 제2 홈부(440, 440a)는 후술할 연결부(500)가 삽입될 경우 삽입 깊이가 상기 제2 홈부(440, 440a)에 의해 한정되므로 소켓 샤프트(420, 420a)와 같이 정 위치에 설치될 수 있는 스토퍼 역할을 할 수 있다.
첨부된 도 9를 참조하면, 본 실시 예에 의한 연결부(500)는 축 방향에서 연장되되, 축 방향 중앙을 기준으로 상기 제1 커플러(430, 430a)(도 7 참조)를 향해 제1 직경(d1)으로 제1 구간(S1)에 걸쳐 연장된 제1 연결부(500a)와, 상기 제1 연결부(500a)의 연장된 단부에서 각각 제2 홈부(440, 440a)를 향해 제2 직경(d2)으로 제2 구간(S2)에 걸쳐 연장된 제2 연결부(500b)를 포함한다.
실시 예들에 따라, 제1 직경(d1)과 제2 직경(d2)은 서로 동일할 수 있다. 제1 직경(d1)과 제2 직경(d2)이 동일한 경우, 연결부(500)는 균일한 직경을 가질 수 있다. 이에 따라, 제조 및 관리가 용이해질 수 있다.
실시 예들에 따라, 제1직경(d1)과 제2 직경(d2)은 서로 다를 수 있다. 예컨대, 제1직경(d1)은 제2 직경(d2) 보다 클 수 있고, 이 경우,
작업자는 더 큰 직경을 가지는 상기 제1 연결부(500a)를 회전시킴으로써 제1 본체부(100, 100a)를 보다 용이하게 연결할 수 있다.
비록 도 9에는 제1직경(d1)이 제2 직경(d2) 보다 크게 도시되어 있으나, 본 발명의 실시 예들은 이에 한정되지 않는다.
상기 제1 구간(S1)은 제1 직경(d1)으로 형성되는데, 상기 제1 직경(d1)은 제2 구간(S2)의 제2 직경(d2) 보다 크게 형성되므로 소켓부(400)의 크기 증가 없이 사용이 가능해지므로 원가 절감이 가능해지고 작업자가 현장에서 연결부(500)를 설치할 때 파지 및 회전이 손쉽게 이루어진다.
상기 제1 연결부(500a)에는 제1 나사산(502a)이 형성되고, 상기 제2 연결부(500b)에는 제2 나사산(504a)이 형성되되, 상기 제1 나사산(502a)과 상기 제2 나사산(504a)은 서로 다른 깊이와 폭으로 연장된다.
상기 제1 나사산(502a)이 이와 같이 형성되는 이유는 콘크리트와의 부착력을 증가시켜 보다 안정적으로 연결부(500)의 결합 상태를 유지하기 위해서이다.
첨부된 도 10 내지 도 11을 참조하여 연결부의 구성과 회전에 따른 소켓부와의 체결과정을 설명한다.
연결부(500)는 축 방향 중앙에 고정된 고정부(506)와, 상기 고정부(506)를 기준으로 일측 단부에서 이격된 위치에 설치되고, 상기 고정부(506)에 의해 상기 연결부(500)가 회전될 경우 어느 하나의 플랜지(404, 404a)의 외측면에 면접촉되어 상기 연결부(500)가 상기 소켓부(400)에 정위치 되도록 구비된 스토퍼(508)를 포함한다.
참고로 본 실시 예에서는 상기 스토퍼(508)가 연결부(500)의 축 방향 좌측에 결합된 것으로 도시하였으나, 우측에 결합되는 것도 가능할 수 있으며, 이 경우 최초 소켓부와는 좌측에서 먼저 결합된다.
고정부(506)는 작업자가 연결부(500)를 설치하기 위해 공구와 결합되는 구성품으로 상기 고정부(506)를 화살표 방향으로 회전시킬 경우 제2 홈부(440a)에 연결부(500)의 일측 단부(도면 기준 우측 단부)가 먼저 삽입된다.
연결부(500)는 삽입 깊이가 전술한 제2 홈부(440a)의 내측 축 방향 단부까지 회전되고, 더 이상 회상되지 않을 경우에 상기 고정부(506)를 최초 회전 방향의 반대 방향으로 회전시킨다.
이 경우 연결부(500)는 좌측에 위치된 소켓부(400)를 향해 연결부(500)의 연장된 단부가 제2 홈부(440)에 정 위치까지 삽입될 경우 상기 스토퍼(508)에 의해 플랜지(404)와 면접촉이 이루어져 더 이상 연결부(500)가 축 방향에 도시된 화살표 방향으로 이동되지 못하게 되어 상기 연결부(500)의 좌측과 우측이 상기 제2 홈부(440, 440a)에 동일 깊이로 삽입된 상태가 유지된다.
작업자는 위와 같은 방법으로 다수개의 연결부(500)를 서로 간에 이격된 제1 본체부(100, 100a) 사이에 설치하되, 상기 소켓부(400, 400a) 사이에만 연결부(500)를 설치하면 되므로 보강재(300, 300a)와 직접적인 접촉을 실시하지 않고서도 작업을 완료할 수 있다.
상기 연결부(500)는 상기 보강재(300, 300a)와 동축이 유지되므로 전술한 바와 같이 다수개의 연결부(500)가 소켓부(400, 400a)에 설치될 경우 제2 본체부(200)에서 안정적으로 이격된 제1 본체부(100, 100a)에 대한 결합을 실시할 수 있다.
따라서 연결부(500)는 소켓부(400)에 정 위치 되도록 항시 설치가 이루어지므로 제1 본체부(100, 100a)를 서로 간에 동일 간격으로 이격시킨 상태로 설치할 수 있다.
이상, 본 발명의 일 실시 예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
100, 100a : 제1 본체부
200 : 제2 본체부
300, 300a : 보강재
310, 310a : 제1 철근
320, 320a : 제2 철근
400 : 소켓부
402, 402a : 바디부
410, 410a : 제1 홈부
420, 420a : 소켓 샤프트
430, 430a : 제1 커플러
440, 440a : 제2 홈부
500 : 연결부
502, 504 : 제1,2 연결부
506 : 고정부
508 : 스토퍼

Claims (10)

  1. 서로 마주보며 바닥면(10)에 위치된 제1 본체부(100, 100a);
    상기 제1 본체부(100, 100a) 사이에 구비된 제2 본체부(200);
    상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측에 돌출되지 않고 내측에 강도 보강을 위해 구비된 보강재(300, 300a);
    상기 보강재(300, 300a)의 연장된 단부에 각각 결합되어 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측에 매립된 상태로 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측면과 동일면을 이루는 소켓부(400); 및
    상기 이격된 제1 본체부(100, 100a)가 서로 간에 연결되도록 상기 소켓부(400)에 양단이 결합되어 상기 제2 본체부(200)에 구비된 연결부(500)를 포함하는 제진대.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 보강재(300, 300a)는 상기 제1 본체부(100, 100a)의 내측 가로 방향을 향해 상하로 서로 마주보며 배치된 제1 철근(310, 310a);
    상기 제1 철근(310, 310a)과 직교하며 세로 방향에 상하로 마주보며 배치된 제2 철근(320, 320a)을 포함하고, 상기 제1,2 철근(310, 310a, 320, 320a)은 서로 간에 동일한 제1 간격(D1)으로 이격된 것을 특징으로 하는 제진대.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 소켓부(400)는 외형을 이루는 바디부(402, 402a);
    상기 보강재(300, 300a)의 단부와 마주보는 상기 바디부(402, 402a)의 내측에 형성된 제1 홈부(410, 410a);
    상기 제1 홈부(410, 410a)와 일체로 형성되고 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측을 향해 직경이 확장된 플랜지(404, 404a)의 내측 중앙에서 상기 보강재(300, 300a)와 동축을 이루며 연장된 소켓 샤프트(420, 420a);
    일단이 상기 소켓 샤프트(420, 420a)에 각각 결합되고, 타단이 상기 연결부(500)에 결합되는 제1 커플러(430, 430a)를 포함하는 제진대.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 소켓부(400)는 외형을 이루는 바디부(402, 402a);
    상기 보강재(300, 300a)의 단부와 마주보는 상기 바디부(402, 402a)의 내측에 형성된 제1 홈부(410, 410a);
    상기 제1 홈부(410, 410a)와 일체로 형성되고 상기 제1 본체부(100, 100a)의 외측을 향해 직경이 확장된 플랜지(404, 404a)의 내측 중앙에 형성되고 상기 연결부(500)가 결합되는 제2 홈부(440, 440a)를 포함하는 제진대.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 연결부(500)는 상기 제1 커플러(430, 430a)에 나사 결합되도록 외주면에 제1 나사산(502)이 형성되고, 소정의 길이로 연장된 볼트가 사용되는 제진대.
  6. 제3 항에 있어서,
    상기 연결부(500)는 축 방향 중앙을 기준으로 상기 제1 커플러(430, 430a)를 향해 제1 직경(d1)으로 제1 구간(S1)에 걸쳐 연장된 제1 연결부(500a);
    상기 제1 연결부(500a)의 연장된 단부에서 각각 제2 홈부(440, 440a)를 향해 제2 직경(d2)으로 제2 구간(S2)에 걸쳐 연장된 제2 연결부(500b)를 포함하는 제진대.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 연결부(500a)에는 제1 나사산(502a)이 형성되고, 상기 제2 연결부(500b)에는 제2 나사산(504a)이 형성되되는 제진대.
  8. 제4 항에 있어서,
    상기 연결부(500)는 축 방향 중앙에 고정된 고정부(506);
    상기 고정부(506)를 기준으로 일측 단부에서 이격된 위치에 설치되고, 상기 고정부(506)에 의해 상기 연결부(500)가 회전될 경우 어느 하나의 플랜지(404, 404a)의 외측면에 면접촉되어 상기 연결부(500)가 상기 소켓부(400)에 정 위치 되도록 구비된 스토퍼(508)를 포함하는 제진대.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 연결부(500)는 상기 보강재(300, 300a)와 동축이 유지되는 제진대.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 소켓부(400)는 상기 제1 본체부(100, 100a)의 전, 후, 좌우면에 모두 설치된 제진대.
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