KR101982195B1 - 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 및 이의 시공방법 - Google Patents

일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 및 이의 시공방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 바닥구조체 상에 설치되어, 장비의 설치 장소를 제공하는 제진대에 있어서, 상방이 개방되는 수용공간을 형성하는 케이싱의 측부로부터 양측면과 하부면이 수평되게 연장되어 연결공간을 형성하고, 상기 수용공간 내에 철근콘크리트가 판상으로 형성되며, 상기 철근콘크리트로부터 상기 연결공간의 폭방향에 직교하는 방향으로 철근 끝단이 수평되게 각각 돌출되어 상기 연결공간 내에 나란하게 다수로 배열되는 다수의 분할제진대; 상기 분할제진대 각각이 연결공간을 서로 연결시킨 상태를 유지하도록 상기 분할제진대 각각의 케이싱을 서로 연결시키는 연결부; 상기 연결부에 의해 서로 연결되는 상기 연결공간 각각의 내측에 위치함으로써 서로 일렬로 마주 대하는 철근 끝단을 서로 연결시키는 다수의 철근이음부; 및 상기 분할제진대 간에 서로 연결되는 연결공간에 채워짐으로써 상기 철근 끝단 및 상기 철근이음부가 매립된 상태로 경화되어 상기 분할제진대 각각이 서로 일체화를 이루도록 하는 마감부;를 포함하는 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 및 이의 시공방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 다수의 분할제진대를 일체화하도록 결합시킴으로써, 제진대의 설치에 소요되는 공간을 최소화하면서도 제진대 설치의 제약을 줄일 수 있고, 제진대의 설치시 분진 발생을 최소화할 수 있으며, 분할제진대 간의 결합이 용이하여 제진대의 설치에 소요되는 시간과 노력을 줄일 수 있다.

Description

일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 및 이의 시공방법{Separable vibration isolation table capable of integrated construction and construction method thereof}
본 발명은 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 및 이의 시공방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수의 분할제진대를 일체화하도록 연결시킴으로써, 제진대의 설치에 소요되는 공간을 최소화하면서도 제진대 설치의 제약을 줄일 수 있도록 하는 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 및 이의 시공방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자의 제조 공정은 포토, 에칭, 박막증착을 비롯하여, 다양한 단위 공정을 거치게 되는데, 이를 위해 다양한 반도체 제조 장비들이 사용된다.
이러한 반도체 제조 장비들은 정밀한 공정을 수행하기 때문에 외부로부터 전달되는 진동 등에 매우 취약하므로, 반도체 소자의 높은 품질 및 수율을 확보하기 위해서, 이에 대한 해결이 필요하게 되었으며, 이로 인해 제진대가 제안되고 있다.
종래의 제진대는 반도체 제조 장치가 바닥면 상에 직접 설치되지 않도록, 상면에 반도체 제조 장치가 설치되도록 하여, 외부 진동을 일정 부분 흡수 및 완화하도록 한다.
그러나, 종래의 제진대는 대부분 단일의 몸체로 이루어짐으로써, 투입 및 설치시 많은 공간을 필요로 하고, 많은 분진의 발생을 야기하는 문제점을 가지고 있었다.
이러한 문제점들을 개선하기 위하여, 한국등록특허 제10-0791079호의 "제진대 및 이의 설치방법"이 종래 기술로서 제시된 바 있는데, 이는 2개 이상의 장비지지셀 및 상기 장비지지셀들의 측면을 관통하여 상기 장비지지셀들을 상호간 연결하는 셀 연결 유닛을 구비하는 장비지지체; 및 상기 장비지지체의 하부에 설치되어 상기 장비지지체를 지지하는 바닥구조체를 포함한다.
그러나, 이러한 종래 기술은 장비지지셀 간의 결합력 향상에 대한 고려가 충분하지 못하여, 내구성 증대에 한계를 가짐으로써, 이를 개선시킬 필요성을 가지고 있었다.
상기한 종래 기술에 대한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 다수의 분할제진대를 일체화하도록 연결시킴으로써, 제진대의 설치에 소요되는 공간을 최소화하면서도 제진대 설치의 제약을 크게 줄이고, 제진대의 설치시 분진 발생을 최소화하며, 분할제진대 간의 결합이 용이하여 제진대의 설치에 소요되는 시간과 노력을 줄이고, 분할제진대 간의 결합력이 뛰어나도록 하여 내구성이 우수하도록 하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 바닥구조체 상에 설치되어, 장비의 설치 장소를 제공하는 제진대에 있어서, 상방이 개방되는 수용공간을 형성하는 케이싱의 측부로부터 양측면과 하부면이 수평되게 연장되어 연결공간을 형성하고, 상기 수용공간 내에 철근콘크리트가 판상으로 형성되며, 상기 철근콘크리트로부터 상기 연결공간의 폭방향에 직교하는 방향으로 철근 끝단이 수평되게 각각 돌출되어 상기 연결공간 내에 나란하게 다수로 배열되는 다수의 분할제진대; 상기 분할제진대 각각이 연결공간을 서로 연결시킨 상태를 유지하도록 상기 분할제진대 각각의 케이싱을 서로 연결시키는 연결부; 상기 연결부에 의해 서로 연결되는 상기 연결공간 각각의 내측에 위치함으로써 서로 일렬로 마주 대하는 철근 끝단을 서로 연결시키는 다수의 철근이음부; 및 상기 분할제진대 간에 서로 연결되는 연결공간에 채워짐으로써 상기 철근 끝단 및 상기 철근이음부가 매립된 상태로 경화되어 상기 분할제진대 각각이 서로 일체화를 이루도록 하는 마감부;를 포함하는, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대가 제공된다.
상기 연결부 및 상기 철근이음부에 의해 서로 연결된 상기 분할제진대 각각에 서로 연결되도록 수평되게 형성되는 관통홀에 텐션부재가 관통하여 상기 연결공간을 가로지르도록 설치되고, 상기 텐션부재의 양단이 고정부재에 의해 상기 관통홀의 입구측에 고정됨으로써, 상기 분할제진대에 텐션을 인가하도록 하며, 상기 텐션부재에서 상기 연결공간을 가로지르는 부분이 상기 마감부에 매립되는 텐셔너를 더 포함할 수 있다.
상기 철근콘크리트에 매립되어 상기 연결공간으로 다수로 돌출됨으로써, 상기 마감부에 매립되고, 상기 연결공간으로 돌출되는 끝단에 걸림부가 형성되는 전단키를 더 포함할 수 있다.
상기 연결부는, 상기 연결공간 각각의 양측면에 포개짐과 아울러 상기 연결공간 각각의 하부면에 포개지도록 판상부재로 이루어지고, 리벳이나 볼트 및 너트에 의해 상기 연결공간을 서로 연결시키도록 할 수 있다.
상기 철근이음부는, 수나사 가공된 상기 철근 끝단 각각에 나사 체결되어 고정되는 커플러, 상기 철근 끝단 각각에 삽입되어 압착에 의해 고정되는 슬리브 및 한 쌍으로 이루어져서 상기 철근 끝단 각각에 양측으로 밀착되어 용접과 볼트 및 너트의 체결에 의해 고정되는 커넥션 중 어느 하나일 수 있다.
상기 연결공간은, 내측면이 거칠어지도록 가공됨으로써, 상기 마감부와의 부착력을 증가시키도록 할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 바닥구조체 상에 설치되어, 장비의 설치 장소를 제공하는 제진대를 시공하는 방법에 있어서, 케이싱에서 상방이 개방되는 수용공간에 철근콘크리트가 판상으로 형성됨과 아울러 상기 케이싱의 측부에 연결공간이 형성된 한 쌍의 분할제진대를 상기 연결공간이 서로 맞댄 상태로 상기 바닥구조체 상에 위치시키는 단계; 상기 분할제진대 각각의 케이싱을 연결부에 의해 서로 연결시킴과 아울러, 상기 분할제진대 각각의 철근콘크리트로부터 상기 연결공간으로 다수로 돌출됨으로써 서로 일렬로 마주 대하는 철근 끝단끼리 철근이음부에 의해 서로 연결시키는 단계; 및 상기 분할제진대 간에 서로 연결되는 연결공간에 채워짐으로써 경화되는 마감부에 의해 상기 분할제진대를 서로 일체화시키는 단계;를 포함하는, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 시공방법이 제공된다.
본 발명에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 및 이의 시공방법에 의하면, 다수의 분할제진대를 일체화하도록 결합시킴으로써, 제진대의 설치에 소요되는 공간을 최소화하면서도 제진대 설치의 제약을 줄일 수 있고, 제진대의 설치시 분진 발생을 최소화할 수 있으며, 분할제진대 간의 결합이 용이하여 제진대의 설치에 소요되는 시간과 노력을 줄일 수 있고, 분할제진대 간의 결합력이 뛰어나도록 하여 내구성이 우수하도록 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대가 설치된 상태를 구체적으로 도시한 평단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대가 설치된 상태를 구체적으로 도시한 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대에서 철근이음부의 다른 예를 도시한 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대에서 철근이음부의 또 다른 예를 도시한 측단면도이다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 시공방법을 개략적으로 설명하기 위한 개략도이다.
본 발명은 다양한 변경에 의하여 여러 가지의 실시례를 가질 수 있으므로, 특정 실시례를 예로서 도면에 나타내어 설명하고자 한다. 또한 본 발명은 이러한 특정 실시례로 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례에 대해서 상세히 설명하기로 하며, 도면 부호에 관계없이 동일 내지 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대하여 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대가 설치된 상태를 구체적으로 도시한 평단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대가 설치된 상태를 구체적으로 도시한 측단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대(100)는 바닥구조체(400) 상에 설치되어, 장비, 예컨대 반도체 소자 제조장비의 설치 장소를 제공하는 제진대로서, 분할제진대(110), 연결부(120), 철근이음부(130) 및 마감부(140)를 포함할 수 있다. 여기서 바닥구조체(400)는 반도체 장비 등이 설치되기 위한 바닥면, 예컨대 클린룸의 바닥면에 설치되는 구조물로서, 다수의 보 조립체로 이루어질 수 있고, 이에 한하지 않고, 반도체 소자 제조장비 등의 지지를 위한 다양한 구조체로 이루어질 수 있다.
분할제진대(110)는 다수, 예컨대 본 실시례에서처럼 2개로 이루어질 수 있는데, 각각에 대한 결합 개수를 본 실시례에서와 같은 1개의 변이 아닌, 2개의 변으로 확대시킴으로써, 4개로 이루어질 수도 있으며, 설치 장소와는 별개의 장소에서 미리 제작될 수 있다.
분할제진대(110)는 상방이 개방되는 수용공간(112)을 형성하는 케이싱(111)의 측부로부터 양측면(111a)과 하부면(111b)이 수평되게 연장되어 연결공간(113)을 형성하고, 수용공간(112) 내에 철근콘크리트(114)가 판상으로 형성되며, 철근콘크리트(114)로부터 연결공간(113)의 폭방향에 직교하는 방향으로 철근(114a) 끝단이 수평되게 각각 돌출되어 연결공간(113) 내에 나란하게 다수로 배열된다. 여기서, 케이싱(111)은 스틸 등의 금속이나 금속합금의 재질로 이루어질 수 있다. 수용공간(112)은 케이싱(111)에 의해 하부면과 사방 측면으로 둘러 쌓임으로써 상방으로 개방되도록 형성된다. 연결공간(113)은 케이싱(111)에 의해 수용공간(112)에 인접하도록 형성되되, 본 실시례에서처럼 수직을 이루는 측벽에 의해 수용공간(112)으로부터 격리되도록 형성될 수 있는데, 케이싱(111)으로부터 일측에 수평되게 연장되는 양측면(111a)과 하부면(111b)에 의해 상방과 끝단의 측방이 개방되는 공간을 제공하게 된다. 연결공간(113)은 내측면에 거칠어지도록 가공됨으로써, 마감부(140)와의 부착력을 증가시키도록 하는데, 요구되는 거칠기의 정도는 최초 상태의 거칠기 보다 큰 정도로서, 거친 표면을 가진 숫돌을 이용하여 가공되거나, 그 밖에 다양한 공지된 거칠기 가공 방식이 적용될 수 있다. 철근콘크리트(114)는 시멘트, 골재 및 철근(114a,114b)을 주재료로 하여 수용공간(112) 내에 판상으로 채워져서 양생에 의한 경화로 인해 제작될 수 있는데, 이때, 다수의 나란한 제 1 철근(114a)이 케이싱(111)의 측벽을 관통하여 그 끝단이 연결공간(113) 내측으로 돌출되도록 하며, 제 1 철근(114a)에 직교하는 제 2 철근(114b)이 다수로 나란하도록 배근될 수 있다.
연결부(120)는 분할제진대(110) 각각이 연결공간(113)을 서로 연결시킨 상태를 유지하도록 분할제진대(110) 각각의 케이싱(111)을 서로 연결시키도록 한다. 연결부(120)는 이를 위해, 일례로 본 실시례에서처럼, 연결공간(113) 각각의 양측면에 포개짐과 아울러, 연결공간(113) 각각의 하부면에 포개지도록 판상부재로 이루어지고, 리벳(121)이나 볼트 및 너트에 의해 연결공간(113)을 서로 연결시키도록 할 수 있다. 여기서 연결부(120)에 해당하는 판상부재는 스틸 등의 금속이나 금속합금 등으로 이루어질 수 있고, 상기의 양측면 및 하부면 각각에 대응하도록 다수로 이루어지거나, 절곡에 의해 단일로 이루어짐으로써, 상기의 양측면 및 하부면의 내측 또는 외측에 면접촉되도록 설치될 수 있다.
철근이음부(130)는 연결부(120)에 의해 서로 연결되는 연결공간(113) 각각의 내측에 위치함으로써 서로 일렬로 마주 대하는 철근(114a) 끝단을 서로 연결시키도록 하고, 서로 일렬로 마주 대하는 철근(114a) 끝단에 대응되는 다수의 개수로 이루어진다. 철근이음부(130)는 본 실시례에서처럼 수나사 가공된 철근(114a) 끝단 각각에 나사 체결되어 고정되는 커플러로 이루어질 수 있다. 이 경우, 일렬을 이루는 철근(114a) 끝단 각각은 서로 상이하거나 동일한 방향의 수나사를 형성할 수 있되, 이에 따라 커플러의 결합 방식 및 순서를 작업 순서 및 분할제진대(110)의 운반 장비 등을 고려하여 적절히 선택할 수 있다.
도 3을 참조하면, 다른 예에 따른 철근이음부(230)는 철근(114a) 끝단 각각에 삽입되어 압착에 의해 고정되는 슬리브일 수 있다. 여기서 철근이음부(230)에 해당하는 슬리브는 압착이 가능한 금속재질로 이루어질 수 있고, 일렬로 배치되는 철근(114a) 끝단 각각이 양측으로 삽입되도록 한 상태에서 압착에 의해 철근(114a)의 마디와 리브에 상응하도록 변형되어 밀착됨으로써, 철근(114a)의 이탈을 최대한 억제시킬 수 있다.
도 4를 참조하면, 또 다른 예에 따른 철근이음부(330)는 한 쌍으로 이루어져서 철근(114a) 끝단 각각에 양측으로 밀착되어 용접과 볼트(331) 및 너트(332)의 체결에 의해 고정되는 커넥션일 수 있다. 여기서 철근이음부(330)에 해당하는 커넥션 각각은 철근(114a) 둘레의 1/2이 수용되기 위하여 반원에 해당하는 곡률면을 가지고, 양측으로 볼트(331) 및 너트(332)의 체결을 위한 플랜지가 형성될 수 있다. 또한 철근이음부(330)에 해당하는 커넥션은 철근(114a)과의 다양한 접촉부위 중에서 용접 작업의 편의성, 부착 강도의 증대를 고려한 부위에 대해 용접이 수행될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 마감부(140)는 분할제진대(110) 간에 서로 연결되는 연결공간(113)에 채워짐으로써 철근(114a) 끝단 및 철근이음부(130)가 매립된 상태로 경화되어 분할제진대(110) 각각이 서로 일체를 이루도록 한다. 마감부(140)는 콘크리트의 타설 및 경화에 의해 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대(100)는 텐셔너(150) 및 전단키(160)를 더 포함할 수 있다.
텐셔너(150)는 연결부(120) 및 철근이음부(130)에 의해 서로 연결된 분할제진대(110) 각각에 서로 연결되도록 수평되게 형성되는 관통홀(115)에 텐션부재(151)가 관통하여 연결공간(113)을 가로지르도록 설치될 수 있고, 텐션부재(151)의 양단이 고정부재(152)에 의해 관통홀(115)의 입구측에 고정됨으로써, 분할제진대(110)에 텐션을 인가하도록 할 수 있으며, 텐션부재(151)에서 연결공간(113)을 가로지르는 부분이 마감부(140)에 매립될 수 있다. 여기서, 텐션부재(151)는 전산볼트나 와이어를 비롯하여, 인장된 상태에서 양단이 고정부재(152)에 의해 고정됨으로써 서로 연결되는 분할제진대(110)에 대하여 수평방향으로 압축력을 제공하도록 하는 다양한 부재로 이루어질 수 있다. 고정부재(152)는 관통홀(115)의 입구 측에 고정됨으로써 관통하는 텐션부재(151)를 나사 체결 또는 클램핑 내지 그립핑 등을 비롯하여 다양한 방법에 의하여 고정시킬 수 있다.
전단키(160)는 철근콘크리트(114)에 매립되어 연결공간(113)으로 다수로 돌출됨으로써, 마감부(140)에 매립되고, 연결공간(113)으로 돌출되는 끝단에 걸림부(161)가 형성될 수 있다. 여기서 걸림부(161)는 일례로 본 실시례에서처럼 "T"자 형태로 이루어질 수 있으며, 이로 인해 마감부(140)에 걸리도록 박힘으로써 분할제진대(110) 간의 결합력을 높이도록 할 수 있다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 시공방법을 개략적으로 설명하기 위한 개략도이다.
본 발명의 다른 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 시공방법은 앞서 설명한 본 발명의 일 실시례에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대(100)에 대한 설치 방법으로서, 먼저, 도 1, 도 2 및 도 5에서와 같이, 케이싱(111)에서 상방이 개방되는 수용공간(112)에 철근콘크리트(114)가 판상으로 형성됨과 아울러 케이싱(111)의 측부에 연결공간(113)이 형성된 한 쌍의 분할제진대(110)를 준비하여, 도 6에서와 같이, 이러한 분할제진대(110)를 연결공간(113)이 서로 맞댄 상태로 바닥구조체(400) 상에 위치시킨다.
그런 다음, 도 7을 참조하면, 분할제진대(110) 각각의 케이싱(111)을 연결부(120)에 의해 서로 연결시킴과 아울러, 분할제진대(100) 각각의 철근콘크리트(114)로부터 연결공간(113)으로 다수로 돌출됨으로써 서로 일렬로 마주 대하는 철근(114a) 끝단끼리 철근이음부(130,230,330)에 의해 서로 연결시킨다. 이때, 철근이음부(130,230,330)는 커플러나 슬리브 또는 커넥션을 사용할 수 있다. 또한 도 1 및 도 2에서 설명한 전단키(160)를 설치하여 마감부(140)에 매립되도록 하거나, 마감부(140) 형성 전에 텐셔너(150)의 설치를 수행할 수도 있다. 한편, 연결부(120) 및 철근이음부(130,230,330) 등의 설치를 위하여, 필요한 경우 분할제진대(110)의 위치를 가변시킬 수 있다.
그리고, 분할제진대(110)의 연결을 마치면, 도 8에서와 같이, 분할제진대(110) 간에 서로 연결되는 연결공간(113)에 채워짐으로써 경화되는 마감부(140)에 의해 노출되던 철근(114a) 끝단, 연결부(120) 및 철근이음부(130,230,330) 그리고 텐셔너(150) 및 전단키(160)의 노출부위를 매립하여 분할제진대(110)를 서로 일체화시키도록 한다.
이와 같은 본 발명에 따른 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 및 이의 시공방법에 따르면, 다수의 분할제진대를 일체화하도록 결합시킴으로써, 제진대의 설치에 소요되는 공간을 최소화하면서도 제진대 설치의 제약을 줄일 수 있고, 제진대의 설치시 분진 발생을 최소화할 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 분할제진대 간의 결합이 용이하여 제진대의 설치에 소요되는 시간과 노력을 줄일 수 있고, 분할제진대 간의 결합력이 뛰어나도록 하여 내구성이 우수하도록 할 수 있다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 상기한 실시례에 국한되어 정해져서는 아니되며, 특허청구범위, 그리고 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
110 : 분할제진대 111 : 케이싱
111a : 양측면 111b : 하부면
112 : 수용공간 113 : 연결공간
114 : 철근콘크리트 114a : 제 1 철근
114b : 제 2 철근 115 : 관통홀
120 : 연결부 121 : 리벳
130,230,330 : 철근이음부 140 : 마감부
150 : 텐셔너 151 : 텐션부재
152 : 고정부재 160 : 전단키
161 : 걸림부 331 : 볼트
332 : 너트 400 : 바닥구조체

Claims (7)

  1. 바닥구조체 상에 설치되어, 장비의 설치 장소를 제공하는 제진대에 있어서,
    상방이 개방되는 수용공간을 형성하는 케이싱의 측부로부터 양측면과 하부면이 수평되게 연장되어 연결공간을 형성하고, 상기 수용공간 내에 철근콘크리트가 판상으로 형성되며, 상기 철근콘크리트로부터 상기 연결공간의 폭방향에 직교하는 방향으로 철근 끝단이 수평되게 각각 돌출되어 상기 연결공간 내에 나란하게 다수로 배열되는 다수의 분할제진대;
    상기 분할제진대 각각이 연결공간을 서로 연결시킨 상태를 유지하도록 상기 분할제진대 각각의 케이싱을 서로 연결시키는 연결부;
    상기 연결부에 의해 서로 연결되는 상기 연결공간 각각의 내측에 위치함으로써 서로 일렬로 마주 대하는 철근 끝단을 서로 연결시키는 다수의 철근이음부; 및
    상기 분할제진대 간에 서로 연결되는 연결공간에 채워짐으로써 상기 철근 끝단 및 상기 철근이음부가 매립된 상태로 경화되어 상기 분할제진대 각각이 서로 일체화를 이루도록 하는 마감부;
    를 포함하는, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 연결부 및 상기 철근이음부에 의해 서로 연결된 상기 분할제진대 각각에 서로 연결되도록 수평되게 형성되는 관통홀에 텐션부재가 관통하여 상기 연결공간을 가로지르도록 설치되고, 상기 텐션부재의 양단이 고정부재에 의해 상기 관통홀의 입구측에 고정됨으로써, 상기 분할제진대에 텐션을 인가하도록 하며, 상기 텐션부재에서 상기 연결공간을 가로지르는 부분이 상기 마감부에 매립되는 텐셔너를 더 포함하는, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 철근콘크리트에 매립되어 상기 연결공간으로 다수로 돌출됨으로써, 상기 마감부에 매립되고, 상기 연결공간으로 돌출되는 끝단에 걸림부가 형성되는 전단키를 더 포함하는, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 연결부는,
    상기 연결공간 각각의 양측면에 포개짐과 아울러 상기 연결공간 각각의 하부면에 포개지도록 판상부재로 이루어지고, 리벳이나 볼트 및 너트에 의해 상기 연결공간을 서로 연결시키도록 하는, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 철근이음부는,
    수나사 가공된 상기 철근 끝단 각각에 나사 체결되어 고정되는 커플러, 상기 철근 끝단 각각에 삽입되어 압착에 의해 고정되는 슬리브 및 한 쌍으로 이루어져서 상기 철근 끝단 각각에 양측으로 밀착되어 용접과 볼트 및 너트의 체결에 의해 고정되는 커넥션 중 어느 하나인, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 연결공간은,
    내측면이 거칠어지도록 가공됨으로써, 상기 마감부와의 부착력을 증가시키도록 하는, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대.
  7. 바닥구조체 상에 설치되어, 장비의 설치 장소를 제공하는 제진대를 시공하는 방법에 있어서,
    케이싱에서 상방이 개방되는 수용공간에 철근콘크리트가 판상으로 형성됨과 아울러 상기 케이싱의 측부에 연결공간이 형성된 한 쌍의 분할제진대를 상기 연결공간이 서로 맞댄 상태로 상기 바닥구조체 상에 위치시키는 단계;
    상기 분할제진대 각각의 케이싱을 연결부에 의해 서로 연결시킴과 아울러, 상기 분할제진대 각각의 철근콘크리트로부터 상기 연결공간으로 다수로 돌출됨으로써 서로 일렬로 마주 대하는 철근 끝단끼리 철근이음부에 의해 서로 연결시키는 단계; 및
    상기 분할제진대 간에 서로 연결되는 연결공간에 채워짐으로써 경화되는 마감부에 의해 상기 분할제진대를 서로 일체화시키는 단계;
    를 포함하는, 일체화 시공이 가능한 분리형 제진대 시공방법.
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