KR100554631B1

KR100554631B1 - 기판용 카세트

Info

Publication number: KR100554631B1
Application number: KR1020030046602A
Authority: KR
Inventors: 요시자와다케노리; 오쓰키고우지; 오카다가쓰미; 마쓰구마히로키
Original assignee: 샤프 가부시키가이샤; 스타라이트 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2002-07-15
Filing date: 2003-07-10
Publication date: 2006-02-22
Also published as: KR20040007294A; CN1477693A; CN1298040C; TW200406039A; TWI242830B

Abstract

본 발명은, 카세트를 지지하는 지지장치의 지지부가 접촉하는 카세트의 하부 프레임의 일부의 부분으로서, 대형의 기판이 수납된 카세트의 전중량을 지지하더라도 카세트에 생기는 휨이, 수용된 기판에 영향을 미치지 않고 또한 중량 증가를 극력 억제한 카세트를 제공하도록 하는 것이다.

복수의 기판을 수납할 수 있고, 상부 프레임과 하부 프레임과의 사이에 복수의 지지체를 가설하는 기판용 카세트로서, 하부 프레임이 서로 교차하는 2개의 브리지와 사각형 모양 프레임으로 구성되는 대략 밭전(田)자의 모양 부분을 구비함과 아울러 상기 2개의 브리지의 교점으로부터 상기 2개의 브리지 중의 일방의 브리지를 따라 제1거리만큼 떨어진 위치로부터, 상기 2개의 브리지 중의 타방의 브리지와 교차하지 않고 사각형 모양 프레임의 모서리부로부터 사각형 모양 프레임의 직선 부분을 따라 제2거리만큼 떨어진 위치에 이르는 보강 브리지를 구비하여 이루어진다.

Description

기판용 카세트{A CASSETTE FOR SUBSTRATES}

도1은 실시예1의 기판용 카세트의 사시도이다.

도2는 실시예1의 기판용 카세트의 평면도이다.

도3은 실시예1의 기판용 카세트의 하부 프레임의 일부를 확대한 평면도이다.

도4(a), (b)는 카세트 위치결정 가이드를 나타내는 기판용 카세트의 하부 프레임의 평면도이다.

도5는 실시예2의 기판용 카세트의 평면도이다.

도6(a)∼(h)는 지지장치 등의 지지부의 형상과 실시예1의 기판용 카세트의 하부 프레임과의 관계를 나타내는 각종 패턴도(1)이다.

도7(a)∼(g)는 지지장치 등의 지지부의 형상과 실시예1의 기판용 카세트의 하부 프레임과의 관계를 나타내는 각종 패턴도(2)이다.

도8(a)∼(h)는 지지장치 등의 지지부의 형상과 실시예2의 기판용 카세트의 하부 프레임과의 관계를 나타내는 각종 패턴도(1)이다.

도9(a)∼(g)는 지지장치 등의 지지부의 형상과 실시예2의 기판용 카세트의 하부 프레임과의 관계를 나타내는 각종 패턴도(2)이다.

도10(a)∼(h)는 지지장치 등의 지지부의 형상과 종래예의 기판용 카세트의 하부 프레임과의 관계를 나타내는 각종 패턴도(1)이다.

도11(a)∼(g)는 지지장치 등의 지지부의 형상과 종래예의 기판용 카세트의 하부 프레임과의 관계를 나타내는 각종 패턴도(2)이다.

도12는 패턴도가 도6(a)인 경우의 실시예1의 카세트를 이용한 선형 구조해석의 상황을 과장하여 표현한 도면이다.

도13(a)는 실시예3의 기판용 카세트의 하부 프레임의 평면도이고, (b)는 실시예4의 기판용 카세트의 하부 프레임의 평면도이다.

도14(a)는 실시예5의 기판용 카세트의 하부 프레임의 평면도이고, (b)는 실시예6의 기판용 카세트의 하부 프레임의 평면도이다.

도15(a)는 실시예7의 기판용 카세트의 하부 프레임의 평면도이고, (b)는 실시예8의 기판용 카세트의 하부 프레임의 평면도이다.

도16은 실시예9의 기판용 카세트의 전체 측면도이다.

도17은 실시예9의 기판용 카세트의 정면도이다.

도18은 실시예9의 기판용 카세트의 측부 선반편과 측부 지지체의 관계를 나타내는 부분 사시도이다.

도19는 실시예9의 기판용 카세트의 측부 지지체에 측부 선반편을 돌출하도록 설치한 상태의 일부를 생략한 단면도이다.

도20은 실시예9의 기판용 카세트에 있어서 기판출입용 로봇을 사용하여 카세트에 기판을 수용하기 전의 상태를 나타내는 간략한 평면도이다.

도21은 실시예9의 기판용 카세트에 있어서 기판출입용 로봇을 사용하여 카세트에 기판을 수용한 후의 상태를 나타내는 간략한 평면도이다.

도22는 실시예9의 기판용 카세트의 양측의 측부 선반편에 기판을 재치한 상태를 나타내는 간략한 정면도이다.

도23은 실시예9의 기판용 카세트의 측부 선반편의 다른 실시예의 사시도(1)이다.

도24는 실시예9의 기판용 카세트의 측부 선반편의 다른 실시예의 단면도(1)이다.

도25는 실시예9의 기판용 카세트의 측부 선반편의 다른 실시예의 사시도(2)이다.

도26은 실시예9의 기판용 카세트의 측부 선반편의 다른 실시예의 단면도(2)이다.

도27은 실시예10의 기판용 카세트의 외관을 나타내는 사시도이다.

도28은 실시예10의 기판용 카세트의 착탈 가능한 일부의 부재를 카세트에서 떼어 낸 사시도이다.

도29는 실시예10의 기판용 카세트의 상부 프레임을 생략한 상태를 나타내는 평면도이다.

도30(a)는 실시예10의 측부 지지체의 일부의 설명도이고, (b)는 측부 지지체에 돌출하도록 설치된 측부 선반편의 설명도이다.

도31은 실시예10의 기판용 카세트의 측부 지지체에 돌출하도록 설치된 측부 선반편의 사시도이다.

도32는 실시예10의 기판용 카세트의 모서리부 지지체에 돌출하도록 설치된 프론트 측부 선반편의 사시도이다.

도33은 실시예10의 기판용 카세트의 모서리부 지지체에 돌출하도록 설치된 프론트 측부 선반편의 설명도이다.

도34는 실시예10의 기판용 카세트의 중앙부 지지체 및 그 설치방법을 나타내는 설명도이다.

도35는 실시예10의 기판용 카세트에 소형기판이 수용되는 상태를 나타내는 설명도이다.

도36은 실시예10의 기판용 카세트의 측부 선반편과 후부 선반편의 관계를 나타내는 설명도이다.

도37은 실시예10의 기판용 카세트에 대형기판 또는 중형기판이 수용되는 상태를 나타내는 설명도이다.

도38(a)는 실시예10의 기판용 카세트에 측부 백 스토퍼를 구비한 측부 선반편의 사시도이고, (b)는 그 설명도이다.

도39는 실시예10의 기판용 카세트의 모서리부 지지체에 세워서 설치한 프론트 측부 선반편의 다른 예의 사시도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

J : 기판(基板)의 삽입 방향 S : 기판

SA : 대형기판 SB : 중형기판

SC : 중형기판 SD : 중형기판

SE : 중형기판 SF : 소형기판

R : 기판출입용 로봇(基板出入用 robot) 1 : 상부 프레임(上部 frame)

1a : 상부 프레임 종간(上部 frame 縱杆)

1b : 상부 프레임 횡간(上部 frame 橫杆)

1c : 상부 프레임 종축 브리지(上部 frame 縱軸 bridge)

1d : 상부 프레임 횡축 브리지(上部 frame 橫軸 bridge)

2 : 하부 프레임(下部 frame)

2a : 하부 프레임 종간(下部 frame 縱杆)

2b : 하부 프레임 횡간(下部 frame 橫杆)

2c : 하부 프레임 종축 브리지(下部 frame 縱軸 bridge)

2d : 하부 프레임 횡축 브리지(下部 frame 橫軸 bridge)

2e : 보강 브리지(補强 bridge) 2f : 모서리부

2g : 교점 2h : 기점

2j : 도착점 2k : 보강 브리지

2m : 도착점 2n : 종간의 중점

2p : 횡간의 중점 2q : 보강 브리지

2r : 기점 2s : 보강 브리지

2t : 보강 브리지 2u : 보강 브리지

2v : 보강 브리지 2w : 보강 브리지

3 : 측부 지지체(側部支持體) 5 : 측부 선반편(側部 shelf片)

6 : 후부 지지체(後部支持體)

8 : 수평 보강 브리지(水平補强 bridge)

9 : 경사 보강 브리지(傾斜補强 bridge) 10 : 모서리부 지지체

11 : 튀어나감 방지편(防止片)

12 : 카세트 위치결정 가이드(cassette 位置決定 guide)

13 : 카세트 위치결정 가이드대(cassette 位置決定 guide臺)

22 : 하부 프레임 24 : 프론트 스토퍼(front stopper)

25 : 백 스토퍼(back stopper) 26 : 측부 선반편

27 : 개구부(開口部) 29 : 지지핀(支持pin)

30, 31 : 재치부(載置部) 32 : 피복부(被覆部)

33 : 지지부재(支持部材) 34 : 나사축부(螺絲軸部)

35 : 완충부(緩衝部) 36 : 부착구멍

37 : 너트(nut) 38 : 포크(fork)

39 : 받침편 40 : 돌기

41 : 구멍 42 : 돌기물(突起物)

43 : 재치부 44 : 후부 지지체

45 : 모서리부 지지체 46 : 중앙부 지지체

46a : 중앙부 지지체 부착구멍 46b : L자형 부착편

46c : L자형 부착편 부착구멍 46d : 부착볼트(付着bolt)

46e : 부착너트(付着nut) 47 : 측부 선반편

47a : 측부 지지핀(側部支持pin) 47b : 측부 재치부(側部載置部)

47c : 외측 사이드 스토퍼(外側 side stopper)

47c1 : 외측 사이드 스토퍼 지지부 47c2 : 외측 사이드 스토퍼 제한부

47d : 내측 사이드 스토퍼(內側 side stopper)

47d1 : 내측 사이드 스토퍼 상단부 47d2 : 내측 사이드 스토퍼 지지부

47d3 : 내측 사이드 스토퍼 제한부 47e : 측부 선반편 백 스토퍼

48 : 최후부 선반편(最後部 shelf片) 49 : 후부 선반편

49a : 후부 지지핀 49b : 후부 재치부

49c : 후부 선반편 백 스토퍼(後部 shelf片 back stopper)

50 : 프론트 측부 선반편 50a : 측부 지지핀

50b : 프론트 스토퍼 50c : 프론트 스토퍼

62 : 종래예의 기판용 카세트의 하부 프레임

본 발명은 기판용 카세트(基板用 cassette)에 관한 것으로서, 더 상세하게는 디스플레이용(display用)의 패널 디바이스(panel device)를 다면화(多面化)하기 위한 머더보드(mother board) 또는 대형의 디스플레이용 기반(基盤)을 다단(多段)으로 수용할 수 있음과 아울러 크기가 다른 디스플레이용 기판을 다단으로 수용할 수 있는 기판용 카세트에 관한 것이다.

최근에 디스플레이의 대형화에 따라 카세트에 수용하는 기판의 치수도 대형화되고 있다. 그 때문에 대형의 기판을 수납할 수 있는 기판용 카세트가 요구되고 있다. 그러나 대형의 기판을 수납할 수 있는 기판용 카세트를 실현하기 위해서는 여러 가지 문제점이 있다.

먼저 제1문제점으로서 카세트에 수용되는 기판 전체의 중량이 증가하여 이것을 지지하기 위하여 카세트의 강도(强度)를 강화하여야 하고, 지금까지 밭전(田)자 모양의 프레임(frame)으로 구성되고 있던 카세트의 저면(底面)인 하부 프레임(下部 frame)의 강도를 특히 강화하여야 한다. 이에 대해서는 종래에 카세트의 하부 프레임으로서 특허문헌1에 기재되어 있는 바와 같이 격자 모양의 프레임으로 구성하는 하부 프레임 등이 제안되어 있다.

또한 제2문제점으로서 기판으로서 종횡(縱橫) 치수가 650mm×750mm, 두께가 1.1mm나 0.7mm의 크기의 것이 사용되고 있지만, 이 기판을 카세트 내에 수용하는 경우에 기판의 양측부를 측부 선반편(側部 shelf片)으로 지지하고, 종래에 기판의 휨을 억제하여 상하 수납 피치(pitch)를 작게 하기 위하여 특허문헌2에 기재되어 있는 바와 같이 카세트의 유효폭을 W, 측부 선반편의 돌출 길이를 L로 하여 W가 400mm 이상인 경우에는 L/W가 1/10 ∼1/4의 범위가 되도록 설정하는 것이 제안되어 있다.

그러나 상기의 공보에 기재된 카세트와 같이 지지체(支持體)로부터 돌출하도록 설치한 측부 선반편에 의하여 글래스기판(glass基板)을 그 단부(端部)에서 지지하는 방법으로는 기판이 더 커지면 휘는 정도가 커져 대처할 수 없게 된다. 예를 들면 650mm×830mm 크기의 기판에서는 두께가 1.1mm인 경우에도 휨이 크고, 두께가 0.7mm인 경우에는 휨이 그 배(倍) 이상이 된다.

그래서 특허문헌3에 기재되어 있는 바와 같이 좌우(左右)의 사이드 프레임(side frame) 사이에 빔부재(beam member)를 일정한 피치로 다단으로 가설(架設)하고, 이 빔부재에는 기판출입용 로봇(基板出入用 robot)의 포크(fork)가 출납할 수 있는 상방(上方)이 개방(開放)된 공극부(空隙部)와, 상기 공극부보다 높은 위치에서 기판을 이면측(裏面側)으로부터 지지하는 기판 지지부를 형성하는 구조의 카세트가 새로 개시되어 있다.

또한 제3문제점으로서 디스플레이의 대형화에 따라 카세트에 수용하는 기판의 치수도 대형화되고 있지만, 중형이나 소형의 디스플레이용의 기판도 여전히 사용되고 있어 카세트의 효율적인 사용의 관점으로부터 1대의 카세트에 크기가 다른 기판을 수납할 수 있는 방법이 모색되고 있다. 그래서 종래에 특허문헌5나 특허문헌6에 기재되어 있는 바와 같은 기구(機構)를 카세트에 구비함으로써 이것을 실현하고 있다. 특허문헌5에 기재된 카세트는, 선반편을 이간(離間)하여 상하로 설치하여 지지홈을 형성한 지지부재를 설치한 한 쌍의 프레임을 병행하여 설치하고, 프레임 상호간을 연결한 슬라이드 레일(slide rail)의 신축(伸縮)에 의하여 수납되는 기판의 폭에 따라 카세트의 폭을 조정할 수 있게 한 것이다. 또한 특허문헌6에 기재된 카세트는, 상하 방향에서 일정한 간격으로 기판을 재치하는 선반편을 돌출하도록 설치한 복수의 지지체를 상부 프레임(上部 frame)과 하부 프레임의 사이에 가설한 카세트에 있어서 지지체의 상부 프레임 및 하부 프레임으로의 부착 위치를 수납되는 기판의 폭에 따라 카세트의 폭 방향으로 이동할 수 있는 기구를 설치한 것이다.

(특허문헌1)

일본국 공개특허공보 특개2001-127146호

(특허문헌2)

일본국 공개특허공보 특개평9-36219호

(특허문헌3)

일본국 공개특허공보 특개평11-35089호

(특허문헌4)

일본국 공개특허공보 특개평11-176921호

(특허문헌5)

일본국 공개특허공보 특개평10-322056호

(특허문헌6)

일본국 공개특허공보 특개평11-171287호

상기 제1문제점의 경우에 카세트(cassette)의 하부 프레임(下部 frame)을 특허문헌1에 기재되어 있는 바와 같이 많은 보강 브리지(補强 bridge)를 이용한 격자 모양의 프레임(frame)으로 구성하면, 카세트 자체의 중량이 증가하는 것으로부터 카세트가 재치되는 바닥 등 건축물(建築物)의 강도(强度) 등에도 영향을 미치게 된다. 또한 대형의 기판이 수용된 카세트는 평탄한 바닥에 재치하는 것 뿐만이 아니라 운반하기 위하여 포크 리프트 트럭(fork lift truck)에 적재하거나 각종 지지장치에 장전하여야 하고, 이와 같은 경우에 이들 지지장치의 지지부가 접촉하는 카세트의 하부 프레임의 일부(一部)의 부분으로 기판이 수용된 카세트의 전중량(全重量)을 지지하더라도 카세트에 생기는 휨이 수용된 기판에 영향을 미치지 않도록 하여야 하는 것으로부터 이 조건에 충분하게 견디고 또한 중량 증가를 극력 억제한 카세트가 요구되고 있다. 즉 본 발명의 제1과제는, 카세트를 지지하는 지지장치의 지지부가 접촉하는 카세트의 하부 프레임의 일부의 부분으로서, 대형의 기판이 수용된 카세트의 전중량을 지지하더라도 카세트에 생기는 휨이, 수용된 기판에 영향을 미치지 않고 또한 중량 증가를 극력 억제한 카세트를 제공하는 것이다.

또한 상기 제2문제점의 경우에 특허문헌3에 기재한 구조의 카세트는 원리적으로는 기판이 더 커지더라도 적용할 수 있지만, 기판의 휨과 포크 의 상하 이동을 고려하면 각 단을 구성하는 빔부재의 상하 치수를 매우 크게 하여야만 하고, 그 때문에 상하 피치가 커져 기판의 수용 효율이 매우 나빠진다. 그런데 특허문헌4에는, 상하 방향에서 일정한 간격으로 기판을 재치하는 측부 선반편을 돌출하도록 설치한 복수의 지지체를 상부 프레임과 하부 프레임 사이에 연결하여 직육면체　모양의 상자형 구조로 만든 대형 기판용 카세트로서, 상기 측부 선반편은 금속제의 지지핀의 선단부에 합성수지제의 선단 커버(先端 cover)를 피복(被覆)한 것이고, 상기 지지체의 상하 방향에 일정한 간격으로 형성한 삽입구멍에 상기 지지핀의 기단부를 끼우고, 상기 지지체의 내면측(內面側)에 측부 선반편을 돌출하도록 설치하여 이루어지는 대형 기판용 카세트가 기재되어 있다. 그래서 이와 같은 구성 하에서 상기의 문제를 해결하기 위하여 본 발명의 제2과제는, 예를 들면 1350mm×1650mm 이상, 두께0.7mm 이하의 매우 큰 글래스기판 또는 합성수지제의 필름 모양 기판을 수용 효율이 높고, 안정하게 지지하여 수용할 수 있음과 아울러 기판출입용 로봇으로의 출납이 용이한 기판용 카세트를 제공하는 것이다.

또한 상기 제3문제점의 경우에 특허문헌5에 기재된 카세트에서는, 수납하는 기판에　따라 상하 네 장소의 슬라이드 레일의 신축을 조정할 필요가 있어 시간이 걸린다. 또한 특허문헌6에 기재된 카세트에서는, 지지체의 상부 프레임 및 하부 프레임으로의 상하 네 장소의 부착 위치를 수납하는 기판의 폭에 따라 카세트의 폭 방향으로 이동하여 조정할 필요가 있어 특허문헌5에 기재된 카세트와 마찬가지로 시간이 걸린다. 즉 상기 양(兩) 카세트에서도 수납되는 기판의 폭에 따라 카세트의 폭을 조정한다라고 하는, 상당히 시간이 걸리는 조정이 필요하다라고 하는 문제가 있다. 그래서 이 문제를 해결하기 위하여 본 발명의 제3과제는, 수납하는 기판에　따라 카세트의 폭을 조정할 필요가 없는 기판용 카세트를 제공하는 것이다.

먼저 상기의 제1과제를 해결하는 기판용 카세트(基板用 cassette)에 대하여 설명한다. 이 기판용 카세트는, 복수의 기판(基板)을 수납할 수 있고, 상부 프레임(上部 frame)과 하부 프레임(下部 frame)과의 사이에 복수의 지지체(支持體)를 가설(架設)하는 기판용 카세트로서, 상기 하부 프레임이 서로 교차하는 2개의 브리지(bridge)와 사각형 모양 프레임으로 구성되는 대략 밭전(田)자의 모양 부분을 구비함과 아울러 상기 2개의 브리지의 교점으로부터 상기 2개의 브리지 중의 일방(一方)의 브리지를 따라 제1거리만큼 떨어진 위치로부터, 상기 2개의 브리지 중의 타방(他方)의 브리지와 교차하지 않고 상기 사각형 모양 프레임의 모서리부로부터 상기 사각형 모양 프레임의 직선 부분을 따라 제2거리만큼 떨어진 위치에 이르는 보강 브리지(補强 bridge)를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한 복수의 기판을 수납할 수 있고, 상부 프레임과 하부 프레임과의 사이에 복수의 지지체를 가설함과 아울러 상기 하부 프레임이 서로 교차하는 2개의 브리지와 사각형 모양 프레임으로 구성되는 대략 밭전(田)자의 모양 부분을 구비하는 본 발명의 기판용 카세트에 있어서, 상기 2개의 브리지의 교점으로부터 상기 2개의 브리지 중의 일방의 브리지를 따라 제1거리만큼 떨어진 위치로부터, 상기 2개의 브리지 중의 타방의 브리지와 교차하지 않고 상기 사각형 모양 프레임의 모서리부에 이르는 보강 브리지를 구비하더라도 좋고 또는 상기 2개의 브리지의 교점으로부터, 상기 사각형 모양 프레임의 모서리부로부터 상기 사각형 모양 프레임의 직선 부분을 따라 제2거리만큼 떨어진 위치에 이르는 보강 브리지를 구비하더라도 좋다.

상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 제1거리는, 상기 일방의 브리지와 상기 보강 브리지와의 교점으로부터 상기 타방의 브리지와 교차하지 않고 상기 일방의 브리지를 따라 상기 사각형 모양 프레임과 교차하는 교점까지의 거리보다 짧게 하는 것이 바람직하다. 또한 상기 제2거리는, 상기 사각형 모양 프레임과 상기 보강 브리지와의 교점으로부터 상기 교점을 포함하는 상기 사각형 모양 프레임의 직선 부분을 따라 상기 일방의 브리지 또는 상기 타방의 브리지와 교차하는 교점까지의 거리보다 짧게 하는 것이 바람직하다.

상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 지지체(支持體)에 상기 기판을 재치(載置)하는 선반편(shelf片)을 돌출하도록 설치하는 것이 바람직하다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 제1거리를 80∼200mm로 하는 것이 바람직하다. 또한 상기 제2거리도 80∼200mm로 하는 것이 바람직하다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 상부 프레임을 대략 밭전(田)자 모양의 프레임으로 구성하더라도 좋다.

다음에 상기 제2과제를 해결하는 기판용 카세트에 대하여 설명한다. 이 기판용 카세트는, 상하 방향에서 일정한 간격으로 기판을 재치하는 측부 선반편(側部 shelf片)을 돌출하도록 설치한 복수의 지지체를 상부 프레임과 하부 프레임 사이에 연결하여 직육면체　모양의 상자형 구조로 만든 기판용 카세트로서, 상기 측부 선반편은, 상기 기판을 수용하는 카세트의 유효폭을 W, 상기 측부 선반편의 돌출 길이를 L로 하면 1/4＜L/W＜1/2의 관계로 설정하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명의 기판용 카세트로서, 상하 방향에서 일정한 간격으로 기판을 재치하는 측부 선반편을 돌출하도록 설치한 복수의 지지체를 상부 프레임과 하부 프레임 사이에 연결하여 직육면체　모양의 상자형 구조로 만든 기판용 카세트에 있어서, 상기 측부 선반편은, 상기 기판을 수용하는 카세트의 유효폭을 W, 상기 측부 선반편의 돌출 길이를 L로 하면 1/4＜L/W의 관계로 설정하여 이루어짐과 아울러 양측(兩側)에 위치하는 측부 선반편의 선단(先端)의 간격D를 적어도 기판출입용 로봇(基板出入用 robot)의 포크(fork)가 통과할 수 있는 간격으로 설정하더라도 좋다.

여기에서 상기 측부 선반편은, 막대 모양 또는 판자 모양으로서 주요 부분이 금속재(金屬材) 또는 세라믹스재(ceramics材) 또는 탄소섬유(carbon fiber)와 합성수지(合成樹脂)의 복합재(複合材)로 제작되고, 적어도 선단부(先端部)에 상기 기판을 재치하는 재치부(載置部)를 설치하여 이루어지는 것이다.

또한 상기 측부 선반편은, 금속제(金屬製)의 상기 지지핀(支持pin)의 적어도 선단부와 기부(基部)에 상기 기판을 재치하는 합성수지제의 재치부를 설치하여 이루어지는 것이 바람직하다. 이 경우에 상기 측부 선반편의 지지핀의 전체 길이에 걸쳐 불소코트(弗素coat) 또는 합성수지로 피복(被覆)하여 이루어지는 것이 더 바람직하다.

또한 상기 지지체에 일정한 간격으로 내외(內外)를 관통하는 부착구멍을 형성하고, 상기 지지핀의 기단을 제외한 기단부에 상기 지지체의 내면측에 접합하는 합성수지제의 지지부재를 일체(一體)로 형성함과 아울러 상기 지지핀의 기단에 나사축부(螺絲軸部)를 형성하고, 상기 나사축부를 상기 지지체의 부착구멍에 내측으로 삽입하고 또한 상기 지지부재를 지지체의 내면측에 접합한 상태에서 외측에서 상기 나사축부에 너트(nut)를 나사결합하여 상기 지지체에 측부 선반편을 돌출하도록 설치하는 것이 바람직하다.

그리고 상기 측부 선반편의 지지핀의 기단부에 설치한 지지부재에 상기 기판의 테두리를 지지하는 완충부(緩衝部)를 설치하는 것이 바람직하다.

다음에 상기 제3과제를 해결하는 기판용 카세트에 대하여 설명한다. 이 기판용 카세트는, 좌우로 설치되고 상하 방향에서 일정한 간격으로 기판 재치용의 측부 선반편을 내측으로 돌출하도록 설치한 복수의 지지체를 상부 프레임과 하부 프레임 사이에 연결하여 직육면체　모양의 상자형 구조로서 이루어짐과 아울러 폭이 다른 적어도 2종류의 상기 기판을 수용할 수 있는 기판용 카세트로서, 상기 측부 선반편의 선단부에는 상기 기판의 좌우의 측부를 재치하는 측부 재치부(側部載置部)를 설치함과 아울러 상기 측부 선반편의 기단부에는 제1기판의 좌단 또는 우단을 지지할 수 있는 외측 사이드 스토퍼(外側 side stopper)를 설치하고, 상기 측부 선반편의 중간부에는 상기 제1기판보다 폭이 좁은 제2기판의 좌단 또는 우단을 지지할 수 있는 내측 사이드 스토퍼(內側 side stopper)를 설치하는 것을 특징으로 한다. 상기 제1기판은, 보통 이 기판용 카세트에 수용할 수 있는 최대폭을 구비하는 기판이다.

상기의 기판용 카세트에 있어서, 동일한 상기 측부 선반편에 폭이 다른 복수의 상기 제2기판의 각각에 대응하는 상기 내측 사이드 스토퍼를 구비하더라도 좋다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 수용되는 상기 기판의 후단변(後端邊)의 위치에 상기 기판의 안길이 치수에 따라 부설되는 착탈(着脫) 가능한 중앙부 지지체(中央部支持體)를 세워 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 연결함과 아울러 상기 중앙부 지지체에는 상기 일정한 간격으로 상기 기판 재치용의 후부 선반편(後部 shelf片)을 전방(前方)으로 돌출하도록 설치하고, 상기 후부 선반편의 선단부에는 상기 기판의 후부를 재치하는 후부 재치부(後部載置部)를 설치하는 것이 바람직하다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 후부 재치부에 재치되는 상기 기판을 동시에 재치하는 상기 측부 선반편에 설치된 상기 측부 재치부의 상단의 위치보다 상기 후부 재치부의 상단의 위치를 높게 하는 것이 바람직하다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 내측 사이드 스토퍼의 상단의 높이를 상기 측부 재치부의 상단의 높이와 동일하게 하는 것이 바람직하다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 내측 사이드 스토퍼의 상기 상단보다 낮은 위치에 설치되고 상기 제2기판의 좌단 또는 우단을 지지하는 지지부와, 상기 지지부로부터 상승하는 제한부를 상기 내측 사이드 스토퍼에 구비함과 아울러 상기 제2기판의 상기 좌단 및 상기 우단이 상기 측부 재치부보다 낮아지도록 상기 후부 선반편의 높이를 설정하는 것이 바람직하다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 후부 재치부가 상기 기판의 대략 중심부를 재치하도록 상기 후부 선반편의 길이를 설정하더라도 좋다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 후부 선반편의 기단부에 상기 기판의 후단을 지지하는 후부 선반편 백 스토퍼(後部 shelf片 back stopper)를 설치하더라도 좋다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 상기 측부 선반편에 상기 기판의 후단을 지지함과 아울러 상하 방향으로 가요성(可撓性)을 구비하는 측부 선반편 백 스토퍼(側部 shelf片 back stopper)를 구비하더라도 좋다.

또한 상기의 기판용 카세트에 있어서, 최전부(最前部)의 좌우의 상기 지지체에는, 상기 측부 선반편을 대신하여 상기 기판의 전단(前端)을 지지하는 프론트 스토퍼(front stopper)를 구비하는 프론트 측부 선반편(front 側部 shelf片)을 돌출하도록 설치하더라도 좋다.

(실시예)

다음에 본 발명의 실시예에 대하여 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 도1은 본 발명의 실시예1의 기판용 카세트(基板用 cassette)의 사시도이고, 도2는 평면도이다. 도1, 도2에 있어서 실시예1의 기판용 카세트는 직육면체　 모양의 상자형 구조를 하고 있고, 세로 방향이 길이 방향인 직사각형 모양의 하부 프레임(下部 frame)2와, 마찬가지로 세로 방향이 길이 방향인 직사각형 모양의 상부 프레임1(上部 frame)과의 사이에 8개의 측부 지지체(側部支持體)3과, 2개의 후부 지지체(後部支持體)6 및 2개의 모서리부 지지체10을 가설(架設)하여 구성하고 있다. 이 기판용 카세트의 크기는 세로가 1800mm, 가로가 1500mm 이상의 기판을 수납할 수 있는 크기이다. 도면 중에서 화살표J는 실시예1의 기판용 카세트에 삽입되는 기판S의 삽입 방향을 나타내고, 이것은 상기의 세로 방향과 동일한 방향이다.

도3은 하부 프레임2의 일부를 확대한 도면이다. 도2, 도3에 있어서 하부 프레임2는, 하부 프레임 종간(下部 frame 縱杆)2a와 하부 프레임 횡간(下部 frame 橫杆)2b로 형성되는 사각형 모양 프레임과, 상기 사각형 모양 프레임 내에 설치되어 서로 교차하는 2개의 브리지(bridge)인 하부 프레임 종축 브리지(下部 frame 縱軸 bridge)2c와 하부 프레임 횡축 브리지(下部 frame 橫軸 bridge)2d로 구성되는 대략 밭전(田)자의 모양 부분을 구비함과 아울러 상기 2개의 브리지의 교점2g로부터 이 2개의 브리지 중의 일방(一方)의 브리지인 하부 프레임 종축 브리지2c를 따라 제1거리만큼 떨어진 기점2h로부터, 상기 2개의 브리지 중의 타방(他方)의 브리지인 하부 프레임 횡축 브리지2d와 교차하지 않고 사각형 모양 프레임의 모서리부2f로부터 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 종간2a의 직선 부분을 따라 제2거리만큼 떨어진 도착점2j에 이르는 보강 브리지(補强 bridge)2e를 구비하고 있다. 또한 도2, 도3에 있어서 모서리부2f는 하부 프레임 종간2a의 중심선과 하부 프레임 횡간2b의 중심선과의 교점이고, 교점2g는 하부 프레임 종축 브리지2c의 중심선과 하부 프레임 횡축 브리지2d의 중심선과의 교점이고, 기점2h는 하부 프레임 종축 브리지2c의 중심선과 보강 브리지2e의 중심선과의 교점이고, 그리고 도착점2j는 하부 프레임 종간2a의 중심선과 보강 브리지2e의 중심선과의 교점이다. 또한 종간의 중점2n은 하부 프레임 종간2a의 중심선과 하부 프레임 횡 축 브리지2d의 중심선과의 교점이고, 횡간의 중점2p는 하부 프레임 횡간2b의 중심선과 하부 프레임 종축 브리지2c의 중심선과의 교점이다.

따라서 상기의 제1거리는, 교점2g에서 기점2h까지의 거리로서 도3의 L11이다. 이 제1거리L11은, 일방의 브리지인 하부 프레임 종축 브리지2c와 보강 브리지2e와의 교점인 기점2h로부터 타방의 브리지인 하부 프레임 횡축 브리지2d와 교차하지 않고 상기한 일방의 브리지인 하부 프레임 종축 브리지2c를 따라 상기 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 횡간2b와 교차하는 교점인 횡간의 중점2p까지의 거리L12보다 짧게 설정한다.

또한 상기의 제2거리는, 모서리부2f에서 도착점2j까지의 거리로서 도3의 L21이다. 이 제2거리L21은, 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 종간2a와 보강 브리지2e와의 교점인 도착점2j로부터 상기 도착점2j를 포함하는 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 종간2a의 직선 부분을 따라 타방의 브리지인 하부 프레임 횡축 브리지2d와 교차하는 교점인 종간의 중점2n까지의 거리L22보다 짧게 설정한다.

교점2g가 아닌 이 교점2g로부터 떨어진 기점2h로부터, 모서리부2f가 아닌 이 모서리부2f로부터 떨어진 도착점2j에 상기의 보강 브리지2e를 가설하고 있다. 이는, 기판용 카세트를 재치(載置)할 때에 그 위치를 결정하기 위하여 재치되는 장소에 구비되고 평면에서 보았을 때에 대략 정사각형 모양인 카세트 위치결정 가이드(cassette 位置決定 guide)12를 도4(a), (b)에 나타내는 바와 같이 하부 프레임2의 모서리부2f의 내측(內側) 네 모서리 및 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d와의 교점2g의 주위에 형성되는 네 모서리에 끼우기 위한 공간을 확보하기 위한 것이다. 따라서 상기의 제1거리L11 및 제2거리L21은 평면에서 보았을 때에 대략 정사각형 모양인 카세트 위치결정 가이드의 대략 한 변(邊)의 길이로 하면 좋지만, 이 일정 거리는 실용적으로는 80∼200mm이다. 여기에서 제1거리L11과 제2거리L21은 반드시 동일하게 할 필요는 없어 상황에 따라 다르게 설정하더라도 좋다. 도4 중에서 13은 이 카세트 위치결정 가이드12를 구비하는 카세트 위치결정 가이드대(cassette 位置決定 guide臺)이다.

또한 도4(a)에 나타내는 바와 같이 하부 프레임2의 모서리부2f의 내측 네 모서리에 끼워지는 위치결정 가이드12를 구비하는 카세트 위치결정대13만을 사용하는 경우에는 제1거리L11을 0으로 하더라도 좋다. 이 경우에는, 도14(a)의 실시예5에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d와의 교점2g로부터, 사각형 모양 프레임의 모서리부2f로부터 하부 프레임 종간2a의 직선 부분을 따라 제2거리L21만큼 떨어진 도착점2j에 이르도록 보강 브리지2t를 설치한다. 또한 도4(b)에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d와의 교점2g의 주위에 형성되는 네 모서리에 끼워지는 위치결정 가이드12를 구비하는 카세트 위치결정대13만을 사용하는 경우에는 제2거리L21을 0으로 하더라도 좋다. 이 경우에는, 도14(b)의 실시예6에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d와의 교점2g 로부터 하부 프레임 종축 브리지2c를 따라 제1거리L11만큼 떨어진 기점2h로부터, 하부 프레임 횡축 브리지2d와 교차하지 않고 상기 사각형 모양 프레임의 모서리부2f에 이르도록 보강 브리지2u를 설치한다.

상부 프레임1은, 상부 프레임 종간1a와 상부 프레임 횡간1b로 이루어지는 사각형 모양 프레임과, 이 사각형 모양 프레임의 프레임면(frame面)을 가로 방향으로 이분(二分)하는 상부 프레임 종축 브리지1c와, 이 상부 프레임 종축 브리지1c와 교차하고 또한 상기 상부 프레임 종간1a와 상부 프레임 횡간1b로 이루어지는 사각형 모양 프레임의 프레임면을 세로 방향으로 이분하는 상부 프레임 횡축 브리지1d로 구성되는 밭전(田)자 모양의 프레임으로 구성된다. 또한 측부 지지체3, …은 하부 프레임2의 하부 프레임 종간2a 상에 세워져 상부 프레임1의 상부 프레임 종간1a와의 사이에 가설되고, 후부 지지체6, 6은 하부 프레임2의 후방(後方)의 하부 프레임 횡간2b에 세워져 상부 프레임1의 후방의 상부 프레임 횡간1b와의 사이에 가설되고, 그리고 하부 프레임2의 하부 프레임 종간2a와 전방(前方)의 하부 프레임 횡간2b로 이루어지는 모서리부 상에 세워지는 모서리부 지지체10, 10은 상부 프레임1의 상부 프레임 종간1a와 전방의 상부 프레임 횡간1b로 이루어지는 모서리부와의 사이에 가설된다. 또한 측부 지지체3을 보강하기 위한 것으로서, 수평 보강 브리지(水平補强 bridge)8 및 경사 보강 브리지(傾斜補强 bridge)9가 설치된다.

이 기판용 카세트에는, 그 전방에서 삽입되는 기판S를 지지하기 위하여 측부 지지체3, …에는 복수의 측부 선반편(側部 shelf片)5, …이 내측을 향하여 돌출하여 설치되어 있다. 또한 전방에서 삽입된 기판S가 전방으로 튀어나가는 것을 방지하기 위하여 튀어나감 방지편(防止片)11이 모서리부 지지체10, 10에 구비되어 있다.

상기 실시예1의 기판용 카세트에는, 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d의 2개의 브리지의 교점2g로부터 이 2개의 브리지 중의 일방의 브리지인 하부 프레임 종축 브리지2c를 따라 제1거리만큼 떨어진 기점2h로부터, 상기 2개의 브리지 중의 타방의 브리지인 하부 프레임 횡축 브리지2d와 교차하지 않고 사각형 모양 프레임의 모서리부2f로부터 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 종간2a의 직선 부분을 따라 제2거리만큼 떨어진 도착점2j에 하부 프레임2의 보강 브리지2e를 가설하고 있지만, 보강 브리지의 가설 위치를 이와 다르게 할 수도 있다. 도5에 나타내는 실시예2의 기판용 카세트에서는, 상기 2개의 브리지의 교점2g로부터 이 2개의 브리지 중의 일방의 브리지인 하부 프레임 종축 브리지2c를 따라 제1거리만큼 떨어진 기점2h로부터, 상기 2개의 브리지 중의 타방의 브리지인 하부 프레임 횡축 브리지2d와 교차하지 않고 사각형 모양 프레임의 모서리부2f로부터 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 횡간2b의 직선 부분을 따라 제2거리만큼 떨어진 도착점2m에 하부 프레임2의 보강 브리지2k를 가설하고 있다.

이 경우의 제1거리는 실시예1과 마찬가지로 교점2g에서 기점2h까지의 거리이고, 이 제1거리는, 일방의 브리지인 하부 프레임 종축 브리지2c와 보강 브리지2k와의 교점인 기점2h로부터 타방의 브리지인 하부 프레임 횡축 브 리지2d와 교차하지 않고 상기한 일방의 브리지인 하부 프레임 종축 브리지2c를 따라 상기 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 횡간2b와 교차하는 교점인 횡간의 중점2p까지의 거리보다 짧게 설정한다.

한편 제2거리는 모서리부2f에서 도착점2m까지의 거리이고, 이 제2거리는, 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 횡간2b와 보강 브리지2k와의 교점인 도착점2m으로부터 상기 도착점2m을 포함하는 사각형 모양 프레임의 하부 프레임 횡간2b의 직선 부분을 따라 일방의 브리지인 하부 프레임 종축 브리지2c와 교차하는 교점인 횡간의 중점2p까지의 거리보다 짧게 설정한다.

이 실시예2의 기판용 카세트는, 상기 보강 브리지2k의 가설 위치가 실시예1의 기판용 카세트의 보강 브리지2e와는 다른 것 뿐이고, 그 이외의 부분은 실시예1의 기판용 카세트와 완전히 동일하다.

또한 이 실시예2의 경우에도 실시예1과 마찬가지로, 도4(a)에 나타내는 바와 같이 하부 프레임2의 모서리부2f의 내측 네 모서리에 끼워지는 위치결정 가이드12를 구비하는 카세트 위치결정대13만을 사용하는 경우에는 제1거리L11을 0으로 하더라도 좋다. 이 경우에는, 도15(a)에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d와의 교점2g로부터, 사각형 모양 프레임의 모서리부2f로부터 하부 프레임 횡간2b의 직선 부분을 따라 제2거리L21만큼 떨어진 도착점2m에 이르도록 보강 브리지2v를 설치한다. 또한 도4(b)에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d와의 교점2g의 주위에 형성되는 네 모서리에 끼워 지는 위치결정 가이드12를 구비하는 카세트 위치결정대13만을 사용하는 경우에는 제2거리L21을 0으로 하더라도 좋다. 이 경우에는 도14(b)에 나타내는 바와 같이 보강 브리지2u를 설치한다.

상기 실시예1 및 실시예2의 기판용 카세트는, 그 내부에 기판S를 삽입하여 유지한 상태에서 포크 리프트 트럭(fork lift truck) 등으로 운반되거나 각종 지지장치(支持裝置) 등에 장전(裝塡)된다. 이러한 기판용 카세트의 중량(重量)을 지지하는 데에 이용되는 포크 리프트 트럭 등의 반송장치(搬送裝置) 또는 지지장치의 지지부(支持部)의 형상은 반송장치 또는 지지장치에 따라 다르고 또한 이들 장치의 지지부가 기판용 카세트와 접촉하는 부분도 다르다. 도6 및 도7은, 실시예1의 기판용 카세트의 중량을 지지할 때의 지지장치 등의 지지부의 형상과 실시예1의 기판용 카세트의 하부 프레임2와의 관계에 대한 각종 패턴(pattern)을 나타내는 것으로서 사선 부분이 지지장치 등의 지지부의 형상을 나타내고 있다. 마찬가지로 도8 및 도9는 실시예2의 기판용 카세트에 대하여 나타내는 것이다.

상기한 실시예1 및 실시예2의 기판용 카세트가 그 내부에 기판S를 삽입하여 유지한 상태에서 그 중량이 이러한 지지장치 등에 의하여 지지되는 경우에 기판용 카세트에 어느 일정한 값 이상의 휨(deflection)이 발생하면 그 기판용 카세트를 반송할 때 등에 그 중에 수용되어 있는 기판S에 악영향을 미치게 된다. 그래서 다음에, 상기한 실시예1 및 실시예2의 기판용 카세트의 중량이 상기의 지지장치 등에 의하여 지지되는 경 우에 어느 정도의 휨이 발생하는가를 조사하기 위하여 ANSYS6.0 구조해석 프로그램(ANSYS6.0 構造解析 program)을 사용하여 시뮬레이션(simulation)에 의한 선형 구조해석(線形構造解析)을 하였다. 이 선형 구조해석에 사용한 기판용 카세트는 전술한 바와 같이 세로가 1800mm, 가로가 1500mm 이상인 기판을 수납할 수 있는 크기이다. 또한 중량은 시산(試算)에 의하면 실시예1의 기판용 카세트는 115.6kg이고, 실시예2의 기판용 카세트는 115.7kg이다.

또한 이 시뮬레이션에 의한 선형 구조해석은, 상기한 실시예1 및 실시예2의 기판용 카세트 이외에 종래예의 기판용 카세트에 대해서도 하였다. 이 종래예의 기판용 카세트는, 하부 프레임의 구조가 실시예1 및 실시예2의 기판용 카세트의 하부 프레임에 대한 보강 브리지2e 또는 보강 브리지2k를 제거한 상태, 즉 하부 프레임이 밭전(田)자 모양의 프레임이고, 재질이나 크기를 포함하는 그 외의 부분은 실시예1 및 실시예2의 기판용 카세트와 완전히 동일하다. 따라서 이 종래예의 기판용 카세트는, 실시예1 및 실시예2의 기판용 카세트와 마찬가지로 세로가 1800mm, 가로가 1500mm 이상인 기판을 수납할 수 있는 크기이다. 또한 이 종래예의 기판용 카세트에 있어서는, 각 부의 부재(部材)의 두께 등이 실시예1 및 실시예2와 동일하고 중량이 112.3kg인 종래예1의 기판용 카세트와, 각 부의 부재의 두께 등을 변화시킴으로써 강도가 다르고 중량이 120.1kg인 종래예2의 기판용 카세트 및 중량이 123.8kg인 종래예3의 기판용 카세트 3종류를 상정하였다. 또한 도10 및 도11은, 지지장치 등의 지지부의 형상과 상기 각 종래예의 기판용 카세트의 하부 프레임62와의 관계에 있어서 그 각종 패턴을 나타내는 것이다. 도면 중에 62는 종래예의 기판용 카세트의 하부 프레임이다.

표1 및 표2는 이들의 선형 구조해석의 결과를 나타낸다. 표1은 실시예1 및 실시예2의 기판용 카세트의 해석 결과이고, 표2는 종래예1, 종래예2 및 종래예3의 기판용 카세트의 해석 결과이다. 실제의 해석은, 도12에 나타내는 바와 같이 기판용 카세트의 우측 반 정도에 대해서만 하였다. 이 해석에서는 측부 지지체3, …을 전방에서부터 순서대로 지주(支柱)1, 지주2, 지주3, 지주4로 하고, 우측에 위치하는 후부 지지체6을 지주5로 한다. 휨량은 해석의 결과로 얻은 값의 최대값을 나타낸다. 또한 발생장소 지주번호는 이 휨량의 최대값을 얻은 장소의 지주번호를 나타내고, 발생장소 지주번호에 괄호가 있는 것은 그 부근을 나타낸다. 또한 도12는, 실시예1의 카세트에 대한 지지장치 등의 지지부의 형상과 기판용 카세트의 하부 프레임2와의 관계를 나타내는 패턴도(pattern diagram)가 도6(a)인 경우의 선형 구조해석의 상황을 과장하여 표현한 것이다. 또한 표1 및 표2에서는 기판용 카세트를 단지 카세트로 한다.

표1, 표2에 의하면 실시예1의 기판용 카세트와 실시예2의 기판용 카세트 모두 종래예1의 기판용 카세트와 비교하면 휨량의 최대값은 작다는 것 을 알 수 있다. 실용상 휨량의 한계값은 2mm이지만, 실시예1의 기판용 카세트와 실시예2의 기판용 카세트 모두 휨량의 최대값은 한계값 이하이다. 또한 종래예의 기판용 카세트이더라도 강도를 강화한 종래예2의 기판용 카세트 및 종래예3의 기판용 카세트에서는 실시예1의 기판용 카세트나 실시예2의 기판용 카세트의 레벨(level)에 준하는 휨량을 최대값으로 할 수 있지만, 그 중량은 모두 실시예1의 기판용 카세트나 실시예2의 기판용 카세트보다 크다. 따라서 실시예1의 기판용 카세트 또는 실시예2의 기판용 카세트를 사용함으로써 카세트에 생기는 휨이 수용된 기판에 영향을 미치지 않고 또한 중량 증가를 극력 억제한 카세트를 제공할 수 있다.

상기 실시예1에서는 하부 프레임 종축 브리지2c 상의 기점2h로부터 하부 프레임 종간2a 상의 도착점2j에 걸쳐 보강 브리지2e를 설치하고 있고, 실시예2에서는 하부 프레임 종축 브리지2c 상의 기점2h로부터 하부 프레임 횡간2b 상의 도착점2m에 걸쳐 보강 브리지2k를 설치하고 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 도13(a)의 실시예3에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 횡축 브리지2d 상의 기점2r로부터 하부 프레임 종간2a 상의 도착점2j에 걸쳐 보강 브리지2q를 설치하더라도 좋고, 이 경우의 제1거리는 교점2g에서 기점2r까지의 거리이고, 제2거리는 모서리부2f에서 도착점2j까지의 거리이다. 또는 도13(b)의 실시예4에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 횡축 브리지2d 상의 기점2r로부터 하부 프레임 횡간2b 상의 도착점2m에 걸쳐 보강 브리지2s를 설치하더라도 좋고, 이 경우의 제1거리는 상기와 마찬가지로 교점2g에서 기 점2r까지의 거리이고, 제2거리는 모서리부2f에서 도착점2m까지의 거리이다. 이들의 경우에 있어서도 제1거리나 제2거리의 설정은 상기 실시예1이나 실시예2와 동일하게 한다. 또한 이들의 경우에도 상기 실시예1이나 실시예2와 동일한 작용, 효과를 얻을 수 있다.

또한 상기의 예에 있어서도 도4(a)에 나타내는 바와 같이 하부 프레임2의 모서리부2f의 내측 네 모서리에 끼워지는 위치결정 가이드12를 구비하는 카세트 위치결정대13만을 사용하는 경우에는 제1거리를 0으로 하더라도 좋다. 이 경우에는, 도15(a)의 실시예7에 나타내는 바와 같이 보강 브리지2v를 설치한다. 또한 도4(b)에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d와의 교점2g의 주위에 형성되는 네 모서리에 끼워지는 위치결정 가이드12를 구비하는 카세트 위치결정대13만을 사용하는 경우에는 제2거리를 0으로 하더라도 좋다. 이 경우에는, 도15(b)의 실시예8에 나타내는 바와 같이 하부 프레임 종축 브리지2c와 하부 프레임 횡축 브리지2d와의 교점2g로부터 하부 프레임 횡축 브리지2d를 따라 제1거리만큼 떨어진 기점2r로부터, 하부 프레임 종축 브리지2c와 교차하지 않고 상기 사각형 모양 프레임의 모서리부2f에 이르도록 보강 브리지2w를 설치한다.

다음에 본 발명의 실시예9의 기판용 카세트에 대하여 설명한다. 도16 및 도17은 본 발명의 실시예9의 기판용 카세트의 전체도이고, 도18 및 도19는 그 요부(要部)를 나타내고, 도면 중의 부호1은 상부 프레임, 2는 하부 프레임, 3은 측부 지지체, 24는 프론트 스토퍼(front stopper), 25는 백 스토퍼(back stopper), 26은 측부 선반편, S는 기판, R은 기판출입용 로봇(基板出入用 robot)을 각각 나타낸다.

실시예9의 기판용 카세트는, 외형이 직사각형 모양인 상부 프레임1과 하부 프레임2의 양(兩) 측부 사이를 복수의 측부 지지체3, …으로 연결함과 아울러 전단부(前端部) 사이를 프론트 스토퍼24, 24로 연결하고 또한 후단부(後端部)를 백 스토퍼25, 25로 연결하여 직육면체 모양으로 구성한 것이다. 상부 프레임1은 상기한 실시예1의 구성을 이용하고 있고, 하부 프레임2의 구성도 상기한 실시예1의 구성을 이용하고 있지만, 하부 프레임2의 구성은 이에 한정되지 않고 상기한 실시예2∼실시예8 중의 어느 구성을 사용하더라도 좋다. 또한 측부 지지체3에는 초대형 글래스기판(glass基板)S를 재치하기 위한 측부 선반편26, …을 상하 방향에서 일정한 간격으로 내측을 향하여 돌출하도록 설치하고 또한 전면(前面)은 기판S를 출납하기 위한 개구부(開口部)27로 되어 있는 구조이다. 본 실시예에서는 양 측부에 각각 4개의 측부 지지체3, …을 대략 동일한 간격으로 설치하고 있지만, 기판S의 치수나 휨에 대한 강성(剛性)에 따라 필요한 측부 선반편26, …의 개수가 결정되기 때문에 그에 따라 측부 지지체3을 설치한다.

여기에서 상부 프레임1과 하부 프레임2는 알루미늄제(aluminium製)의 프레임으로 구성하고, 측부 지지체3은 단면(斷面)이 대략 ㄷ자 모양인 SUS제로 제작하고, 프론트 스토퍼24는 SUS와 합성수지(合成樹脂)의 복합체(複合體)로 제작하고, 그리고 백 스토퍼25는 합성수지제(合成樹脂製)로 제작한다.

그리고 도18 및 도19에 나타내는 바와 같이 측부 지지체3의 내면측에는 일정한 간격으로 측부 선반편26, …을 돌출하도록 설치한다. 측부 선반편26은, 금속제(金屬製)의 지지핀(支持pin)29의 적어도 선단부에 기판S를 재치하는 합성수지제의 재치부(載置部)30을 설치한다. 더 상세하게는 측부 선반편26은, 지지핀29의 적어도 선단부와 기부(基部)에 기판S를 재치하는 합성수지제의 재치부30, 31을 설치한다. 본 실시예에서는, 지지핀29의 선단부와 기부에 재치부30, 31을 삽입성형(揷入成形)에 의하여 형성함과 아울러 상기 지지핀29의 전체 길이에 걸쳐 합성수지로 피복(被覆)하고 있다. 도면 중의 부호32는 합성수지의 피복부(被覆部)이다. 또한 피복부32를 합성수지로 형성하는 대신에 지지핀29의 외주면(外周面)을 전체 길이에 걸쳐 불소코트(弗素coat)로 피복하더라도 좋다. 또한 측부 선반편26은, 지지핀29의 기단을 제외한 기단부에 측부 지지체3의 내면측에 접합하는 합성수지제의 지지부재33을 일체로 형성함과 아울러 상기 지지핀29의 기단에 나사축부(螺絲軸部)34를 형성하고, 상기 지지부재33의 상부는 상방으로 연장되어 기판S의 테두리를 지지하는 경사진 완충부(緩衝部)35로 되어 있다.

또한 측부 지지체3에는 일정한 간격으로 내외를 관통하는 부착구멍36, …이 형성되어 있어 측부 선반편26을 구성하는 지지핀29의 나사축부34를 측부 지지체3의 부착구멍36에 내측으로 삽입하고 또한 지지부재33을 측부 지지체3의 내면측에 접합한 상태에서 외측에서 나사축부34에 너트(nut)37을 나사결합하여 측부 지지체3에 측부 선반편26을 돌출하도록 설치한다. 여기에서 지지핀29는 SUS 또는 티탄(titanium)으로 제작하고, 재치부30, 31 및 지지부재33은 내마모성(耐磨耗性)을 구비하는 PEEK(polyetheretherketone)로 제작한다. 또한 측부 선반편26을 측부 지지체3에 돌출하도록 설치하는 구조는 상기의 것에 한정되지 않는다. 예를 들면 지지부재33과 측부 지지체3과의 사이에 간격을 두어 지지핀29를 부착하더라도 좋다.

본 실시예의 기판용 카세트의 외형 치수는 횡폭(橫幅)이 1460mm, 높이가 1990mm, 안길이가 1680mm이고, 유효폭W는 1370mm이다. 측부 선반편26의 상하 피치(pitch)는 70mm이고, 24단으로 되어 있다. 또한 측부 선반편26의 돌출 길이는 약 380mm∼550mm, 지지핀29의 지름은 10mm∼14mm이다. 양측의 측부 선반편26, 26의 선단 간격은 약 610mm∼270mm이다. 본 발명에서는 유효폭을 W, 측부 선반편26의 돌출 길이를 L로 하면 1/4＜L/W＜1/2의 관계가 설정되어 있다. L/W이 1/4보다 크기 위해서는, 구체적으로 상기 수치를 적용시키면 측부 선반편26의 돌출 길이L은 342.5mm보다 길어야 한다. 이 기판용 카세트에 1350mm×1650mm, 두께0.7mm인 글래스기판S를 다단(多段)으로 수용한다.

다음에 도20∼도22에 의거하여 기판S를 본 발명에 관한 기판용 카세트에 출납하기 위한 기판출입용 로봇R과, 실제로 그것을 사용하여 기판S를 출납하는 순서를 설명한다. 본 발명에 관한 기판용 카세트에서는, 상기의 L/W을 1/4보다 크게 설정하기 때문에, 즉 측부 선반편26의 돌출 길이가 길기 때문에 양측의 측부 선반편26, 26의 간격이 기판S에　비하여 매우 좁 게 되어 있어 종래 구조의 기판이동용의 포크(fork)로는 기판S의 중앙 부분으로 치우쳐 지지되고 기판의 가장자리부가 크게 휘어 기판에 과대한 스트레스(stress)가 걸리게 될 뿐만이 아니라 카세트의 상하 측부 선반편26, 26의 간격을 크게 하지 않으면 출납할 수 없다.

그래서 본 실시예에서는, 양측의 측부 선반편26, 26의 선단의 간격D보다 폭이 좁은 포크38, 38의 양측에 복수의 받침편39, …를 돌출하도록 설치하고, 각 받침편39의 적어도 선단부와 기단부에 기판S를 재치하는 합성수지제의 돌기40, 40을 돌출하도록 형성한다. 돌기40의 개수, 간격 및 그 높이는, 그 위에 기판S의 이면(裏面)을 재치하였을 때에 상기 기판S가 휘어지더라도 포크38, 38이나 받침편39와 직접 접촉하지 않는 조건으로 설계한다. 또한 받침편39의 구조는 측부 선반편26과 동일하고 또한 포크38의 길이 방향으로 돌출하도록 설치하는 간격을 전후의 측부 지지체3, 3의 간격과 대략 동일하게 되도록 설정한다. 여기에서 측부 선반편26의 돌출 길이L을 550mm로 하면 양(兩) 측부 선반편26, 26의 간격D는 270mm가 되기 때문에 포크38, 38의 외측 사이의 폭을 약 250mm로 설정하고, 받침편39의 돌출 길이를 약 400mm로 설정한다. 그러면 기판출입용 로봇R의 포크 부분의 전폭(全幅)은 약 1050mm가 된다. 이 포크 부분에 횡폭이 1350mm인 기판S를 재치하면 받침편39의 선단에서 약 150mm 더 비어져 나오지만, 그 부분의 휨량은 적다.

그리고 기판S를 기판출입용 로봇R로 카세트에 수용하기 위해서는, 먼 저 기판S를 기판출입용 로봇R의 포크 부분에 재치한 상태에서 양측의 측부 선반편26, 26의 선단 사이(간격D의 부분)에 포크38, 38을 위치시키고, 카세트의 개구부27에서 상하의 측부 선반편26, 26 사이의 간격으로 진입시켜 기판S의 끝 부분이 백 스토퍼25, 25에 접근 또는 접촉한 상태에서 포크38, 38의 진행을 정지한다. 그리고 포크38, 38을 하강시키면 받침편39가 전후의 측부 선반편26, 26 사이를 통과하여 내려가고, 측부 선반편26, …의 재치부30, 31, …에 기판S의 이면이 재치된다. 그 후에 포크38, 38을 후퇴시켜 카세트로부터 꺼낸다. 여기에서 프론트 스토퍼24, 24에는 측부 선반편26과 동일한 돌기물(突起物)42가 측부 선반편26보다 약간 높은 위치에 설정되어 있기 때문에 기판S를 카세트에 수용한 상태에서 돌기물42가 기판S의 전방으로의 이동을 규제하도록 한다. 또한 카세트에 수용하고 있는 기판S를 꺼내는 경우에는 상기의 동작을 반대로 하면 좋다.

도22에 나타내는 바와 같이 기판S를 양측의 측부 선반편26, …에 재치하고, 실제로는 재치부30, 31, …에 재치한 상태에서는 중앙부가 하방으로 휘어진다. 측부 선반편26의 길이L이 유효폭W의 1/4 이하이면, 중앙부의 휨량이 극단적으로 증대함과 아울러 기판S의 테두리가 상방으로 올라가 기판S의 중앙부에 과대한 스트레스가 걸리고 또한 기판S의 중앙부가 하방으로, 테두리가 상방으로 변형되기 때문에 상하의 측부 선반편26, 26의 간격이 매우 커져 실용적이지 않다. 그래서 L/W를 1/4보다 크게 하면 할수록 기판S의 중앙부의 휨량은 감소함과 아울러 기판S의 테두리가 측부 선반 편26의 기부에 작용하는 하중(荷重)이 증대한다. 따라서 측부 선반편26의 선단에 걸리는 하중이 감소되어 측부 선반편26 자체의 휨을 감소시켜 바람직하다. 또한 측부 선반편26이 극단적으로 길어지면 측부 선반편26의 중앙부에 대응하는 기판S의 부분이 휘어져 지지핀29의 축부(軸部)에 접촉하기 때문에 상기 지지핀29의 중앙부에도 재치부를 설치하는 것이 바람직하다.

도23 및 도24는 측부 선반편26의 다른 실시예를 나타내는데, 지지핀29의 선단부에 상하를 관통하는 구멍41 또는 오목부를 형성하고, 상기 구멍41 또는 오목부에 합성수지제의 재치부30을 끼워 붙이고 또는 삽입성형의 방법으로 재치부30을 일체화하고, 또한 지지핀29의 기단부에 기단의 나사축부34를 제외하고 합성수지제의 지지부재33을 동일하게 일체화하고, 재치부31도 지지부재33과 일체로 형성한다.

또한 도25 및 도26은 측부 선반편26의 또 다른 실시예를 나타내는데, 도23 및 도24에 나타낸 것보다 더 긴 측부 선반편26으로서, 지지핀29의 중앙부에 재치부30과 동일한 재치부43을 설치한 것이다. 그 외의 구성은 동일하기 때문에 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

또한 상기의 실시예에서는 측부 선반편26으로서 막대 모양의 것을 예시하였지만, 판자 모양의 것이더라도 좋고 또한 주요 부분으로서 금속재 이외에도 세라믹스재(ceramics材) 또는 탄소섬유(carbon fiber)와 합성수지의 복합재(複合材)를 채용할 수 있고, 그리고 이 경우에도 적어도 선단부에 기판S를 재치하는 재치부30을 설치한 것이다. 또한 상기의 실시예에서는 1350mm×1650mm, 두께0.7mm의 글래스기판S를 수용하는 카세트를 예시하였지만, 1470mm×1770mm, 두께0.7mm의 글래스기판이나 더 대형의 기판에도 적용할 수 있다. 또한 글래스기판 이외에도 합성수지제의 필름(film) 모양의 기판을 수용할 수도 있다.

다음에 본 발명의 실시예10의 기판용 카세트에 대하여 설명한다. 도27은 실시예10의 기판용 카세트의 외관을 나타내는 사시도이고, 도28은 도27에 있어서 착탈(着脫) 가능한 일부의 부재(중앙부 지지체)를 카세트에서 떼어 낸 사시도이고, 도29는 실시예10의 기판용 카세트의 상부 프레임을 생략한 상태의 평면도이다. 도면 중에서 화살표J는 실시예10의 기판용 카세트에 삽입되는 기판의 삽입 방향을 나타낸다. 실시예10의 기판용 카세트는 도27, 도28 및 도29에 나타내는 바와 같이 직육면체　모양의 상자형 구조를 하고 있고, 상부 프레임 종간1a와 상부 프레임 횡간1b로 이루어지는 직사각형 모양의 상부 프레임1과, 하부 프레임 종간2a와 하부 프레임 횡간2b로 이루어지는 하부 프레임2와의 사이에 12개의 측부 지지체3과, 2개의 후부 지지체44 및 2개의 모서리부 지지체45를 연결하여 구성하고 있다. 여기에서 측부 지지체3, 후부 지지체44 및 모서리부 지지체45가 상기한 지지체에 상당한다.

상부 프레임1은 상기한 실시예1의 구성을 이용하고 있고, 하부 프레임2의 구성도 상기한 실시예1의 구성을 이용하고 있지만, 하부 프레임2 의 구성은 이에 한정되지 않고 상기한 실시예2∼실시예8 중의 어느 구성을 사용하더라도 좋다. 또한 좌우의 하부 프레임 종간2a 상에는 측부 지지체3이 6개씩 각각 세워지고, 2개의 후부 지지체44가 하부 프레임2의 후방의 하부 프레임 횡간2b 상에 세워지고, 그리고 2개의 모서리부 지지체45가 하부 프레임 종간2a와 전방의 하부 프레임 횡간2b로 이루어지는 모서리부 상에 세워진다. 이 기판용 카세트에는, 상기 전방에서 삽입되는 기판을 지지하기 위하여 측부 지지체3에는 복수의 측부 선반편47, 후부 지지체44에는 복수의 최후부 선반편(最後部 shelf片)48, 그리고 모서리부 지지체45에는 복수의 전측부 선반편(前側部 shelf片)50이 각각 내측을 향하여 상하 방향에서 일정한 간격으로 돌출하도록 설치된다.

실시예10의 기판용 카세트에는 크기가 다른 대형기판, 중형기판 및 소형기판을 수용할 수 있다. 대형기판은 폭 치수와 안길이 치수가 모두 수납할 수 있는 최대 치수이고, 중형기판은 폭 치수가 수납할 수 있는 최대 치수이고 안길이 치수가 수납할 수 있는 최대 치수보다 작고, 소형기판은 폭 치수와 안길이 치수가 모두 수납할 수 있는 최대 치수보다 작다. 구체적으로는 도29의 이점쇄선(二點鎖線)으로 나타내는 부분이 기판의 형상을 나타내고 있고, 대형기판으로서는 SA의 1종류, 중형기판으로서는 SB, SC, SD 및 SE의 4종류, 그리고 소형기판으로서는 SF의 1종류 합계 6종류이다.

대형기판SA는 그 후단이 최후부 선반편48에 재치된다. 중형기판의 후 단과 가까운 좌우의 측부는 중형기판SB가 가장 안쪽의 측부 선반편47에 재치되고, 중형기판SC은 안쪽에서 2번째의 측부 선반편47에 재치되고, 중형기판SD는 안쪽에서 3번째의 측부 선반편47에 재치되고, 그리고 중형기판SE는 안쪽에서 4번째의 측부 선반편47에 재치된다. 즉 안길이 치수의 관계는, SA＞SB＞SC＞SD＞SE이다. 또한 소형기판SF는 그 후단과 가까운 좌우의 측부가 안쪽에서 3번째의 측부 선반편47에 재치된다. 또한 소형기판SF의 안길이 치수의 관계는, SD＞SF＞SE이다.

여기에서 폭 치수가 수납할 수 있는 최대 치수인 SA, SB, SC, SD 및 SE의 기판이 상기한 제1기판에 상당하고, 이들의 기판보다 폭 치수가 작은 SF의 기판이 상기한 제2기판에 상당한다.

측부 지지체3에 돌출하도록 설치된 측부 선반편47은, 도30(a), (b) 및 도31에 나타내는 바와 같이 금속제의 측부 지지핀(側部支持pin)47a와, 이 선단부에 구비되는 측부 재치부(側部載置部)47b, 측부 지지핀47a의 기단부에 구비되는 외측 사이드 스토퍼(外側 side stopper)47c 및 측부 지지핀47a의 중간부에 구비되는 내측 사이드 스토퍼(內側 side stopper)47d로 구성된다. 측부 재치부47b는 상단면이 수평면이고, 대형기판SA, 중형기판SB(SC, SD, SE) 또는 소형기판SF의 좌우의 측부를 재치하는 데에 이용된다. 외측 사이드 스토퍼47c는 대형기판SA 또는 중형기판SB(SC, SD, SE)의 좌단(左端) 또는 우단(右端)을 지지하여 재치하는 데에 이용되고, 상면이 수평면인 외측 사이드 스토퍼 지지부47c1과, 이 외측 사이드 스토퍼 지지부47c1로부터 상승하는 외측 사이드 스토퍼 제한부47c2로 구성된다. 외측 사이드 스토퍼 제한부47c2는, 대형기판 또는 중형기판의 좌단 또는 우단의 지지가 용이하도록 상방의 외측으로 완만하게 경사져 있다. 내측 사이드 스토퍼47d는 소형기판SF의 좌단 또는 우단을 지지하여 재치하는 데에 이용되고, 상면이 수평면인 내측 사이드 스토퍼 지지부47d2와, 이 내측 사이드 스토퍼 지지부47d2로부터 상승하는 내측 사이드 스토퍼 제한부47d3으로 구성된다. 또한 측부 선반편47은, 도30(b)에 나타내는 바와 같이 내측 사이드 스토퍼 제한부47d3과 연결되는 내측 사이드 스토퍼 상단부47d1의 상면의 높이가 측부 재치부47b의 상단면의 높이 및 외측 사이드 스토퍼 지지부47c1의 상면의 높이와 같아지도록 함과 아울러 이 높이보다 내측 사이드 스토퍼 지지부47d2의 상면의 높이가 낮아지도록 각 부재가 구성된다.

또한 모서리부 지지체45에는 상기의 측부 선반편47을 돌출하도록 설치하더라도 좋지만, 실시예10에서는 측부 선반편47을 대신하여 도32에 나타내는 금속제의 측부 지지핀50a와, 이 선단부에 구비되는 프론트 스토퍼50b로 구성되는 프론트 측부 선반편50을 돌출하도록 설치한다. 이 프론트 측부 선반편50에 구비되어 있는 프론트 스토퍼50b는 측부 선반편47에 구비되는 측부 재치부47b보다 높이가 높고, 이에 따라 도33에 나타내는 바와 같이 수납된 기판이 전방으로 튀어나가는 것을 방지하는 기능을 구비하고 있다. 프론트 스토퍼로서는, 도39에 나타내는 바와 같이 계단부를 구비하는 프론트 스토퍼50c를 사용하더라도 좋다.

상기 실시예10의 기판용 카세트에 폭 치수와 안길이 치수가 모두 수납할 수 있는 최대 치수보다 작은 소형기판SF를 수용하기 위하여 도34에 나타내는 바와 같이 착탈 가능한 중앙부 지지체46을 상기 기판용 카세트의 하부 프레임 종축 브리지2c 상에 세워서 부착한다. 즉 하부 프레임2의 하부 프레임 종축 브리지2c의 상면 상의 위치에, 상기 기판용 카세트에 수용되는 소형기판SF의 후단변의 중점 부근의 위치에 상당하는 위치에 미리 L자형 부착편46b가 용접되어 있다. 이 L자형 부착편46b에 중앙부 지지체46의 하단부가 접촉하도록 중앙부 지지체46을 하부 프레임 종축 브리지2c 상에 세워서 부착함과 아울러 중앙부 지지체46을 부착볼트(付着bolt)46d와 부착너트(付着nut)46e에 의하여 중앙부 지지체46의 하단의 중앙부 지지체 부착구멍46a와 L자형 부착편46b의 L자형 부착편 부착구멍46c를 이용하여 L자형 부착편46b에 고정한다. 이 L자형 부착편46b와 동일한 부착편이 상부 프레임 종간1a의 하면에도 용접되어 있고, 이 부착편에 중앙부 지지체46의 상단을 상기와 동일하게 하여 고정한다.

중앙부 지지체46에는, 소형기판SF 재치용 후부 선반편49가, 측부 지지체3에 있어서 측부 선반편47을 돌출하도록 설치한 간격과 동일한 간격으로 전방을 향하여 돌출하도록 설치되어 있다. 이 후부 선반편49는, 도34에 나타내는 바와 같이 금속제의 후부 지지핀49a와, 이 선단부에 구비되는 후부 재치부49b 및 후부 지지핀49a의 기단부에 구비되는 후부 선반편 백 스토퍼(後部 shelf片 back stopper)49c로 구성되어 있다. 후부 선반편 백 스토퍼49c 는, 소형기판SF의 후단을 지지하여 재치하기 때문에 수납 중에 소형기판SF가 전후 방향으로 이동하지 않도록 안정하게 수납할 수 있다. 후부 재치부49b는 소형기판SF를 재치하는 데에 이용되고, 그 상면은 수평면이다. 또한 후부 지지핀49a의 길이는, 후부 재치부49b가 소형기판SF의 중심부 부근을 재치하도록 소형기판SF의 중심부 부근에 미치는 길이로 되어 있다. 이 때문에 후부 재치부49b에 의하여 소형기판SF를 안정하게 재치할 수 있다.

도35는 측부 선반편47과 후부 선반편49에 의하여 소형기판SF가 재치되는 상태를 나타내고, 도36은 측부 선반편47과 후부 선반편49의 관계를 나타낸다. 전술한 바와 같이 소형기판SF의 좌우의 측부는 측부 선반편47의 측부 재치부47b에 의하여 재치됨과 아울러 소형기판SF의 좌단 및 우단은 측부 선반편47의 내측 사이드 스토퍼47d에 의하여 지지되어 재치된다. 또한 도35 및 도36에 나타내는 바와 같이 후부 재치부49b의 상면의 높이가, 후부 재치부49b가 재치하는 것과 동일하게 소형기판SF의 측부를 재치하는 측부 선반편47의 측부 재치부47b의 상면의 높이보다 높은 위치가 되도록 후부 선반편49가 중앙부 지지체46에 부착되어 있고, 도36의 측부 재치부47b와 후부 재치부49b의 높이의 차이L3은 소형기판SF의 좌단 및 우단이 측부 재치부47b의 상단면보다 낮아지도록 설정된다. 또한 이 소형기판SF의 좌단 또는 우단이 지지되어 재치되는 내측 사이드 스토퍼 지지부47d2의 상면의 높이는 전술한 바와 같이 측부 재치부47b의 상단면의 높이보다 낮게 설정되어 있어 수용한 소형기판SF는 도35에 나타내는 바와 같이 상방으로 완만 하게 불룩해지도록 휜 상태에서 그 좌단 및 우단이 내측 사이드 스토퍼47d에 의하여 지지되어 재치되기 때문에 소형기판SF의 폭 치수가 실시예10의 기판용 카세트에 수납할 수 있는 최대 치수보다 작음에도 불구하고 소형기판SF가 실시예10의 기판용 카세트 내에서 가로 방향으로 이동하는 것을 방지할 수 있음과 아울러 소형기판SF를 안정한 상태에서 수납할 수 있다.

상기 실시예10의 기판용 카세트에서는 소형기판으로서는 SF의 1종류뿐이지만, 이에 한정되지 않고 치수가 다른 복수의 소형기판을 수납할 수 있고, 그 경우에는 내측 사이드 스토퍼47d를 그 소형기판의 폭에　따라 측부 선반편47의 측부 지지핀47a의 적당한 위치에 설치함과 아울러 중앙부 지지체46의 부착 위치나 중앙부 지지체46에 돌출하도록 설치하는 후부 선반편49의 길이 등을 그 소형기판의 안길이에 따라 적당하게 설정하면 좋다.

또한 동일한 측부 선반편47의 측부 지지핀47a에 수납되는 폭 치수가 다른 복수의 소형기판의 각각에 대응하는 내측 사이드 스토퍼47d를 몇 개 또는 모두 구비하여 이들 폭 치수가 다른 복수의 소형기판의 각각의 어느 것이라도 그 동일한 측부 선반편47에 수납할 수도 있다. 이렇게 함으로써 1대의 기판용 카세트를 폭 치수가 다른 기판을 수용하는 데에 이용할 수 있어 기판용 카세트의 운용을 플렉시블(flexible)하게 할 수 있다.

상기 실시예10의 기판용 카세트에 대형기판SA 또는 중형기판SB, SC, SD 또는 SE 중의 어느 하나를 수납하는 경우에는 소형기판SF의 수납용으로 설치하는 중앙부 지지체46은 불필요하고, 대형기판SA와, 중형기판SB, SC, SD 또는 SE를 수납하는 경우에는 그 안길이 치수에 따라서는 떼어 낼 필요가 있다. 도37은 상기 실시예10의 기판용 카세트에 폭 치수가 수납할 수 있는 최대 치수인 대형기판SA 또는 중형기판SB, SC, SD 또는 SE 중의 어느 하나를 수용한 상태를 나타낸다. 대형기판SA 또는 중형기판SB, SC, SD 또는 SE는, 상기한 바와 같이 그 좌단 또는 우단이 외측 사이드 스토퍼47c에 지지되어 재치되고, 그 좌우의 측부가 측부 재치부47b에 재치되어 도37에 나타내는 바와 같이 물결(wave) 모양으로 휜 상태에서 지지된다. 이 경우에 상기한 바와 같이 측부 선반편47의 내측 사이드 스토퍼 상단부47d1의 상단의 높이를 도30(b)에 나타내는 바와 같이 측부 재치부47b의 상단의 높이와 동일하게 하고 있기 때문에 수납된 기판이 내측 사이드 스토퍼 상단부47d1의 상단에 접촉 등을 하여 균형(balance)을 깨뜨리지 않고 대형기판이나 중형기판을 안정하게 수납할 수 있다.

상기 실시예10의 기판용 카세트에 의하면, 측부 지지체3에 돌출하도록 설치된 측부 선반편47에 측부 재치부47b와 외측 사이드 스토퍼47c 및 내측 사이드 스토퍼47d를 설치하고 있어 수납되는 기판의 모든 좌우의 측부를 측부 재치부47b에 의하여 재치함과 아울러 폭 치수가 수납할 수 있는 최대 치수인 대형기판 및 중형기판의 좌단 또는 우단을 외측 사이드 스토퍼47c에 의하여 지지하여 재치하고, 폭 치수가 수납할 수 있는 최대 치수보다 작은 소형기판의 좌단 또는 우단을 내측 사이드 스토퍼47d에 의하여 지지하여 재치하기 때문에 수납하는 기판에　따라 카세트의 폭을 조정할 필요가 없는 기판용 카세트를 제공할 수 있다.

상기 실시예10의 기판용 카세트에 있어서, 이 기판용 카세트를 중형기판SB, SC, SD 또는 SE 또는 소형기판SF의 수용에 사용하는 경우에 측부 지지체3에 돌출하도록 설치된 측부 선반편47에 도38(a)에 나타내는 바와 같은 측부 선반편 백 스토퍼47e를 설치하더라도 좋다. 그렇게 함으로써 도38(b)에 나타내는 바와 같이 측부 선반편 백 스토퍼47e가 중형기판 또는 소형기판의 후단을 지지하기 때문에 수납 중에 중형기판이 후방으로 이동하지 않도록 안정하게 수납할 수 있다. 이 경우에 측부 선반편 백 스토퍼47e를 가요성(可撓性)을 구비하는 수지 등으로 제작함으로써 측부 선반편 백 스토퍼47e의 상하 방향으로 가요성을 가지게 하는 것이 바람직하고, 이렇게 함으로써 다음의 이점이 있다. 즉 안길이 치수가 긴 기판을 수용하는 경우에 도38(b)에 나타내는 바와 같이 기판의 후단을 지지하는 측부 선반편 백 스토퍼47e를 구비하는 측부 지지체3보다 전방의 측부 지지체3의 측부 선반편 백 스토퍼47e의 후단의 상단이 그 위를 덮는 기판의 중력에 의하여 하방으로 눌리면 측부 선반편 백 스토퍼47e의 후단이 하방으로 내려가도록 측부 선반편 백 스토퍼47e가 휘어지기 때문에 그 위를 덮는 기판에 무리한 힘이 걸리는 것을 방지할 수 있다.

또한 상기 실시예10의 기판용 카세트를 중형기판SB, SC, SD 또는 SE의 수용에 사용하는 경우에 상기의 소형기판SF의 수납에 사용하는 중앙부 지지 체46을 병용하더라도 좋다. 이렇게 함으로써 중형기판SB, SC, SD 또는 SE의 중심부 부근을 중앙부 지지체46에 돌출하도록 설치된 후부 선반편49의 후부 재치부49b가 재치하기 때문에 중형기판을 안정하게 수납할 수 있다.

상기 실시예10에 있어서, 기판을 수용하는 카세트의 유효폭을 W, 측부 선반편47의 측부 지지핀47a의 길이를 L로 하면 실시예9에서 서술한 바와 같이 측부 선반편47의 측부 지지핀47a의 길이L을 1/4＜L/W＜1/2이 되도록 설정하더라도 좋고 또는 1/4＜L/W이 되도록 설정함과 아울러 측부 선반편47의 측부 지지핀47a의 선단의 간격을 적어도 기판출입용 로봇의 포크가 통과할 수 있는 간격으로 설정하더라도 좋다. 또한 측부 선반편47을 판자 모양으로 하고 또는 주요 부분을 실시예9에서 서술한 바와 같이 금속재 또는 세라믹스재 또는 탄소섬유와 합성수지의 복합재로 제작하더라도 좋다.

청구항1∼9에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 기판을 수납한 카세트를 운반하기 위하여 각종 지지장치 등에 장전하였을 때에 카세트를 지지하는 지지장치 등의 지지부가 접촉하는 카세트의 하부 프레임의 일부의 부분으로서, 기판을 수납한 카세트의 전중량(全重量)을 지지하더라도 카세트에 생기는 휨이, 수용된 기판에 영향을 미치지 않고 또한 중량 증가를 극력 억제한 카세트를 제공할 수 있다.

청구항10에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 측부 선반편은 기판을 수 용하는 카세트의 유효폭을 W, 상기 측부 선반편의 돌출 길이를 L로 하면 1/4＜L/W＜1/2의 관계로 설정하였기 때문에 매우 큰 글래스기판을 수용 효율이 높고, 안정하게 지지하여 수용할 수 있음과 아울러 기판출입용 로봇으로의 출납이 용이하다.

청구항11에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 측부 선반편은 기판을 수용하는 카세트의 유효폭을 W, 상기 측부 선반편의 돌출 길이를 L로 하면 1/4＜L/W의 관계로 설정함과 아울러 양측에 위치하는 측부 선반편의 선단의 간격을 적어도 기판출입용 로봇의 포크가 통과할 수 있는 간격으로 설정하였기 때문에 매우 큰 글래스기판을 수용 효율이 높고, 안정하게 지지하여 수용할 수 있음과 아울러 기판출입용 로봇으로의 출납이 용이하다.

청구항12에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 측부 선반편은, 막대 모양 또는 판자 모양으로서 주요 부분이 금속재 또는 세라믹스재 또는 탄소섬유와 합성수지의 복합재로 제작되고, 적어도 선단부에 기판을 재치하는 재치부를 설치한 것이기 때문에 지지체로부터의 돌출 길이가 길어지더라도 충분한 지지강도를 유지할 수 있다.

청구항13에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 기판의 이면을 합성수지제의 재치부만으로 재치하여 수용할 수 있어 기판이 손상되지 않는다.

청구항14에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 뜻하지 않게 재치부 이외의 측부 선반편에 기판이 접촉하더라도 무른 글래스기판이 손상되는 것을 방지할 수 있음과 아울러 금속제의 지지핀으로부터의 파티클(particle)의 발생을 방지할 수 있다.

청구항15에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 긴 측부 선반편이라도 지지체에 돌출하도록 견고하게 설치할 수 있고 또한 측부 선반편을 지지체에 대하여 조립식으로 함으로써 측부 선반편이 손상되었을 경우에 교환할 수 있음과 아울러 길이가 다른 측부 선반편에 설치할 수도 있다.

청구항16에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 카세트에 수용한 상태에서 진동 등에 의하여 기판이 가로 방향으로 이동되었을 경우에 지지부재의 완충부로 지지할 수 있고 또한 기판출입용 로봇으로 기판을 출납할 때에 뜻하지 않게 기판이 지지체에 접촉하여 손상되는 것을 방지할 수 있다.

청구항17에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 측부 지지체에 돌출하도록 설치된 측부 선반편에 측부 재치부와 외측 사이드 스토퍼 및 내측 사이드 스토퍼를 설치하여 제1기판 및 제1기판보다 폭이 좁은 제2기판의 좌우의 측부를 동시에 재치함과 아울러 그 좌단 및 우단을 지지할 수 있기 때문에 수납하는 기판에　따라 카세트의 폭을 조정할 필요가 없는 기판용 카세트를 제공할 수 있다.

청구항18에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 동일한 측부 선반편에 폭이 다른 복수의 제2기판의 각각에 대응하는 내측 사이드 스토퍼를 구비하기 때문에 그 동일한 측부 선반편에 폭 치수가 다른 복수의 제2기판의 각각을 수납할 수 있어 기판용 카세트의 운용을 플렉시블(flexible)하게 할 수 있다.

청구항19에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 수용되는 기판의 후단변의 위치에 기판의 안길이 치수에 따라 부설되는 착탈 가능한 중앙부 지지체를 세워서 설치함과 아울러 중앙부 지지체는 기판의 후부를 재치하는 후부 재치부를 구비하는 후부 선반편을 전방으로 돌출하도록 설치하기 때문에 제1기판보다 폭이 좁은 제2기판도 수용하여 지지할 수 있다.

청구항20에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 상기 후부 재치부에 재치되는 기판을 동시에 재치하는 측부 선반편에 설치된 측부 재치부의 상단의 위치보다 후부 재치부의 상단의 위치를 높게 하기 때문에 제1기판보다 폭이 좁은 제2기판을 그 중앙 부분이 상방으로 완만하게 불룩해지도록 휜 상태에서 수용하여 지지할 수 있어 제1기판보다 폭이 좁은 제2기판을 안정하게 수납할 수 있다.

청구항21에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 내측 사이드 스토퍼의 상단의 높이를 측부 재치부의 상단의 높이와 동일하게 하기 때문에 제1기판이 내측 사이드 스토퍼의 상단에 접촉 등을 하여 균형(balance)을 깨뜨리지 않고 제1기판을 안정하게 수납할 수 있다.

청구항22에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 내측 사이드 스토퍼의 상단보다 낮은 위치에 설치하고 제2기판의 좌단 또는 우단을 지지하는 지지부와, 상기 지지부로부터 상승하는 제한부를 내측 사이드 스토퍼에 구비함과 아울러 제2기판의 좌단 및 우단이 측부 재치부보다 낮아지도록 후부 선반편 의 높이를 설정하기 때문에 제1기판보다 폭이 좁은 제2기판을 수용하였을 때에 기판용 카세트 내에서 가로 방향으로 이동하는 것을 방지할 수 있다.

청구항23에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 중앙부 지지체의 후부 선반편에 구비되는 후부 재치부가 기판의 대략 중심부를 재치하도록 후부 선반편의 길이를 설정하기 때문에 수용한 기판을 안정하게 재치할 수 있다.

청구항24에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 중앙부 지지체의 후부 선반편의 기단부에 기판의 후단을 지지하는 후부 선반편 백 스토퍼를 설치하기 때문에 수납 중에 기판이 후방으로 이동하지 않도록 안정하게 수납할 수 있다.

청구항25에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 측부 선반편에 기판의 후단을 지지하는 측부 선반편 백 스토퍼를 구비하기 때문에 청구항8에 기재한 기판용 카세트와 마찬가지로 수납 중에 기판이 후방으로 이동하지 않도록 안정하게 수납할 수 있다.

청구항26에 기재한 기판용 카세트에 의하면, 최전부의 좌우의 지지체에는 측부 선반편을 대신하여 기판의 전단을 지지하는 프론트 스토퍼를 구비하는 프론트 측부 선반편을 돌출하도록 설치하기 때문에 수납 중에 기판이 전방으로 이동하지 않도록 안정하게 수납할 수 있다.

Claims

복수의 기판(基板)을 수납할 수 있고, 상부 프레임(上部 frame)과 하부 프레임(下部 frame)과의 사이에 복수의 지지체(支持體)를 가설(架設)하는 기판용 카세트(基板用 cassette)로서,

상기 하부 프레임이 서로 교차하는 2개의 브리지(bridge)와 사각형 모양 프레임으로 구성되는 대략 밭전(田)자의 모양 부분을 구비함과 아울러 상기 2개의 브리지의 교점으로부터 상기 2개의 브리지 중의 일방(一方)의 브리지를 따라 제1거리만큼 떨어진 위치로부터, 상기 2개의 브리지 중의 타방(他方)의 브리지와 교차하지 않고 상기 사각형 모양 프레임의 모서리부로부터 상기 사각형 모양 프레임의 직선 부분을 따라 제2거리만큼 떨어진 위치에 이르는 보강 브리지(補强 bridge)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
복수의 기판을 수납할 수 있고, 상부 프레임과 하부 프레임과의 사이에 복수의 지지체를 가설하는 기판용 카세트로서,

상기 하부 프레임이 서로 교차하는 2개의 브리지와 사각형 모양 프레임으로 구성되는 대략 밭전(田)자의 모양 부분을 구비함과 아울러 상기 2개의 브리지의 교점으로부터 상기 2개의 브리지 중의 일방의 브리지를 따라 제1거리만큼 떨어진 위치로부터, 상기 2개의 브리지 중의 타방의 브 리지와 교차하지 않고 상기 사각형 모양 프레임의 모서리부에 이르는 보강 브리지를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
복수의 기판을 수납할 수 있고, 상부 프레임과 하부 프레임과의 사이에 복수의 지지체를 가설하는 기판용 카세트로서,

상기 하부 프레임이 서로 교차하는 2개의 브리지와 사각형 모양 프레임으로 구성되는 대략 밭전(田)자의 모양 부분을 구비함과 아울러 상기 2개의 브리지의 교점으로부터, 상기 사각형 모양 프레임의 모서리부로부터 상기 사각형 모양 프레임의 직선 부분을 따라 제2거리만큼 떨어진 위치에 이르는 보강 브리지를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 제1거리는, 상기 일방의 브리지와 상기 보강 브리지와의 교점으로부터 상기 타방의 브리지와 교차하지 않고 상기 일방의 브리지를 따라 상기 사각형 모양 프레임과 교차하는 교점까지의 거리보다 짧게 하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 또는 제3항에 있어서,

상기 제2거리는, 상기 사각형 모양 프레임과 상기 보강 브리지와의 교점으로부터 상기 교점을 포함하는 상기 사각형 모양 프레임의 직선 부분을 따라 상기 일방의 브리지 또는 상기 타방의 브리지와 교차하는 교점까지의 거리보다 짧게 하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,

상기 지지체(支持體)에 상기 기판을 재치(載置)하는 선반편(shelf片)을 돌출하도록 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 제1거리를 80∼200mm로 하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 또는 제3항에 있어서,

상기 제2거리를 80∼200mm로 하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,

상기 상부 프레임을 대략 밭전(田)자 모양의 프레임으로 구성하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,

상기 지지체에 상하 방향에서 일정한 간격으로 상기 기판을 재치하는 측부 선반편(側部 shelf片)을 돌출하도록 설치함과 아울러 상기 측부 선반편은, 상기 기판을 수용하는 카세트의 유효폭을 W, 상기 측부 선반편의 돌출 길이를 L로 하면 1/4 < L/W < 1/2의 관계로 설정하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,

상기 지지체에 상하 방향에서 일정한 간격으로 상기 기판을 재치하는 측부 선반편을 돌출하도록 설치함과 아울러 상기 측부 선반편은, 상기 기판을 수용하는 카세트의 유효폭을 W, 상기 측부 선반편의 돌출 길이를 L로 하면 1/4 < L/W의 관계로 설정하여 이루어짐과 아울러 양측(兩側)에 위치하는 측부 선반편의 선단(先端)의 간격D를 적어도 기판출입용 로봇(基板出入用 robot)의 포크(fork)가 통과할 수 있는 간격으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제10항에 있어서,

상기 측부 선반편은, 막대 모양 또는 판자 모양으로서 주요 부분이 금속재(金屬材) 또는 세라믹스재(ceramics材) 또는 탄소섬유(carbon fiber)와 합성수지(合成樹脂)의 복합재(複合材)로 제작되고, 적어도 선단부(先端部)에 상기 기판을 재치하는 재치부(載置部)를 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제11항에 있어서,

상기 측부 선반편은, 막대 모양 또는 판자 모양으로서 주요 부분이 금속재(金屬材) 또는 세라믹스재(ceramics材) 또는 탄소섬유(carbon fiber)와 합성수지(合成樹脂)의 복합재(複合材)로 제작되고, 적어도 선단부(先端部)에 상기 기판을 재치하는 재치부(載置部)를 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제10항에 있어서,

상기 측부 선반편은, 금속제(金屬製)의 지지핀(支持pin)의 적어도 선단부와 기부(基部)에 상기 기판을 재치하는 합성수지제의 재치부를 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제11항에 있어서,

상기 측부 선반편은, 금속제(金屬製)의 지지핀(支持pin)의 적어도 선단부와 기부(基部)에 상기 기판을 재치하는 합성수지제의 재치부를 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제14항에 있어서,

상기 측부 선반편의 지지핀의 전체 길이에 걸쳐 불소코트(弗素coat) 또는 합성수지로 피복(被覆)하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제15항에 있어서,

상기 측부 선반편의 지지핀의 전체 길이에 걸쳐 불소코트(弗素coat) 또는 합성수지로 피복(被覆)하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제14항에 있어서,

상기 지지체에 일정한 간격으로 내외(內外)를 관통하는 부착구멍을 형성하고, 상기 지지핀의 기단을 제외한 기단부에 상기 지지체의 내면측에 접합하는 합성수지제의 지지부재를 일체(一體)로 형성함과 아울러 상기 지지핀의 기단에 나사축부(螺絲軸部)를 형성하고, 상기 나사축부를 상기 지지체의 부착구멍에 내측으로 삽입하고 또한 상기 지지부재를 지지체의 내면측에 접합한 상태에서 외측에서 상기 나사축부에 너트(nut)를 나사결합하여 상기 지지체에 측부 선반편을 돌출하도록 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제15항에 있어서,

상기 지지체에 일정한 간격으로 내외(內外)를 관통하는 부착구멍을 형성하고, 상기 지지핀의 기단을 제외한 기단부에 상기 지지체의 내면측에 접합하는 합성수지제의 지지부재를 일체(一體)로 형성함과 아울러 상기 지지핀의 기단에 나사축부(螺絲軸部)를 형성하고, 상기 나사축부를 상기 지지체의 부착구멍에 내측으로 삽입하고 또한 상기 지지부재를 지지체의 내면측에 접합한 상태에서 외측에서 상기 나사축부에 너트(nut)를 나사결합하여 상기 지지체에 측부 선반편을 돌출하도록 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제18항에 있어서,

상기 측부 선반편의 지지핀의 기단부에 설치한 지지부재에 상기 기판의 테두리를 지지하는 완충부(緩衝部)를 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제19항에 있어서,

상기 측부 선반편의 지지핀의 기단부에 설치한 지지부재에 상기 기판의 테두리를 지지하는 완충부(緩衝部)를 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,

좌우로 설치된 상기 지지체에 상하 방향에서 일정한 간격으로 상기 기판을 재치하는 측부 선반편을 내측으로 돌출하도록 설치함과 아울러 폭이 다른 적어도 2종류의 상기 기판을 수용할 수 있고,

상기 측부 선반편의 선단부에는 상기 기판의 좌우의 측부를 재치하는 측부 재치부(側部載置部)를 설치함과 아울러 상기 측부 선반편의 기단부에는 제1기판의 좌단 또는 우단을 지지할 수 있는 외측 사이드 스토퍼(外側 side stopper)를 설치하고, 상기 측부 선반편의 중간부에는 상기 제1기판보다 폭이 좁은 제2기판의 좌단 또는 우단을 지지할 수 있는 내측 사이드 스토퍼(內側 side stopper)를 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제22항에 있어서,

동일한 상기 측부 선반편에 폭이 다른 복수의 상기 제2기판 의 각각에 대응하는 상기 내측 사이드 스토퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제22항에 있어서,

수용되는 상기 기판의 후단변(後端邊)의 위치에 상기 기판의 안길이 치수에 따라 부설되는 착탈(着脫) 가능한 중앙부 지지체(中央部支持體)를 세워 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 연결함과 아울러 상기 중앙부 지지체에는 상기 일정한 간격으로 상기 기판 재치용의 후부 선반편(後部 shelf片)을 전방(前方)으로 돌출하도록 설치하고, 상기 후부 선반편의 선단부에는 상기 기판의 후부를 재치하는 후부 재치부(後部載置部)를 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제24항에 있어서,

상기 후부 재치부에 재치되는 상기 기판을 동시에 재치하는 상기 측부 선반편에 설치된 상기 측부 재치부의 상단의 위치보다 상기 후부 재치부의 상단의 위치를 높게 하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제22항에 있어서,

상기 내측 사이드 스토퍼의 상단의 높이를 상기 측부 재치부의 상단의 높이와 동일하게 하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제24항에 있어서,

상기 내측 사이드 스토퍼의 상기 상단보다 낮은 위치에 설치되고 상기 제2기판의 좌단 또는 우단을 지지하는 지지부와, 상기 지지부로부터 상승하는 제한부를 상기 내측 사이드 스토퍼에 구비함과 아울러 상기 제2기판의 상기 좌단 및 상기 우단이 상기 측부 재치부보다 낮아지도록 상기 후부 선반편의 높이를 설정하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제24항에 있어서,

상기 후부 재치부가 상기 기판의 대략 중심부를 재치하도록 상기 후부 선반편의 길이를 설정하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제24항에 있어서,

상기 후부 선반편의 기단부에 상기 기판의 후단을 지지하는 후부 선반편 백 스토퍼(後部 shelf片 back stopper)를 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제22항에 있어서,

상기 측부 선반편에 상기 기판의 후단을 지지함과 아울러 상하 방향으로 가요성(可撓性)을 구비하는 측부 선반편 백 스토퍼(側部 shelf片 back stopper)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.
제22항에 있어서,

최전부(最前部)의 좌우의 상기 지지체에는, 상기 측부 선반편을 대신하여 상기 기판의 전단(前端)을 지지하는 프론트 스토퍼(front stopper)를 구비하는 프론트 측부 선반편(front 側部 shelf片)을 돌출하도록 설치하는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트.