JPH09226882A - 基板用カセット - Google Patents
基板用カセットInfo
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- JPH09226882A JPH09226882A JP6036096A JP6036096A JPH09226882A JP H09226882 A JPH09226882 A JP H09226882A JP 6036096 A JP6036096 A JP 6036096A JP 6036096 A JP6036096 A JP 6036096A JP H09226882 A JPH09226882 A JP H09226882A
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- Japan
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- frame
- tooth
- main frame
- edging
- substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課 課】堅固にしてロボット搬送に耐え寿命が永いと
ともに、基板用カセットの基板出入り口が変形せず、ま
た各歯状受棚片間のピッチが一定に保たれる基板用カセ
ットを提供することにある。 【解決手段】基板収容スペース2の前方開口周縁輪郭部
5に配設され、前方開口周縁輪郭部5を保持する矩形の
第1の縁取フレーム50と、基板収容スペース2の後方
周縁輪郭部6に配設され、後方周縁輪郭部6を保持する
矩形の第2の縁取フレーム60を備えている。第1のメ
インフレーム10、第2のメインフレーム20、中間テ
ィース片30、後方ストッパ40、第1の縁取フレーム
50及び第2の縁取フレーム60を組み立て方形状の枠
体として形成する。
ともに、基板用カセットの基板出入り口が変形せず、ま
た各歯状受棚片間のピッチが一定に保たれる基板用カセ
ットを提供することにある。 【解決手段】基板収容スペース2の前方開口周縁輪郭部
5に配設され、前方開口周縁輪郭部5を保持する矩形の
第1の縁取フレーム50と、基板収容スペース2の後方
周縁輪郭部6に配設され、後方周縁輪郭部6を保持する
矩形の第2の縁取フレーム60を備えている。第1のメ
インフレーム10、第2のメインフレーム20、中間テ
ィース片30、後方ストッパ40、第1の縁取フレーム
50及び第2の縁取フレーム60を組み立て方形状の枠
体として形成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板、セラ
ミックス基板、半導体IC用ウエハ等の基板を互いに接
触しないように保持する組立式の基板用カセットの改良
に関するものである。
ミックス基板、半導体IC用ウエハ等の基板を互いに接
触しないように保持する組立式の基板用カセットの改良
に関するものである。
【0002】
(発明の背景)液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示体
用ガラス基板、サーマルヘッド用ガラス基板、ハイブリ
ッドIC用セラミックス基板等の基板の製造工程におい
ては、基板を加工、処理、洗浄、輸送、保管するため、
各基板を互いに接触しないように出入り、収容するため
の基板用カセットが使用されている。この基板用カセッ
トに収容される基板はサイズが大口径する傾向にあり、
それに伴い基板用カセットも大型化し重量も嵩むことに
なるが、基板輸送時等の作業効率を上げるため基板用カ
セットをロボット搬送することが行われており、ロボッ
ト搬送に好適な堅牢にして精度の維持が容易な基板用カ
セットが求められている。
用ガラス基板、サーマルヘッド用ガラス基板、ハイブリ
ッドIC用セラミックス基板等の基板の製造工程におい
ては、基板を加工、処理、洗浄、輸送、保管するため、
各基板を互いに接触しないように出入り、収容するため
の基板用カセットが使用されている。この基板用カセッ
トに収容される基板はサイズが大口径する傾向にあり、
それに伴い基板用カセットも大型化し重量も嵩むことに
なるが、基板輸送時等の作業効率を上げるため基板用カ
セットをロボット搬送することが行われており、ロボッ
ト搬送に好適な堅牢にして精度の維持が容易な基板用カ
セットが求められている。
【0003】(従来技術)従来、この基板用カセット1
01として、ガラス繊維入りポリフェニレンサルファイ
ド、パーフルオロアルコキ置換ポリテトラフルオロエチ
レン、ポリエーテルエーテルケトン等を用いて形成され
た、上部フレーム110、底部フレーム120、内側面
に等間隔で多数のリブ状棚部136が形成された側板1
30及びストッパ140の各構成要素を組み立てて形成
したものが提案されている(特開平3−133152号
公報、図6及び図7参照)。
01として、ガラス繊維入りポリフェニレンサルファイ
ド、パーフルオロアルコキ置換ポリテトラフルオロエチ
レン、ポリエーテルエーテルケトン等を用いて形成され
た、上部フレーム110、底部フレーム120、内側面
に等間隔で多数のリブ状棚部136が形成された側板1
30及びストッパ140の各構成要素を組み立てて形成
したものが提案されている(特開平3−133152号
公報、図6及び図7参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板用カセット101にあっては、 側板130及びストッパ140の上下方向(図6にお
けるX−X方向)に形成した締結用の雌ねじ部にねじ1
90を螺合することにより、上部フレーム110、底部
フレーム12と側板130、ストッパ140とを単に固
着したものであり、枠体としての強度が弱く、基板用カ
セットが大型化すると、変形が生じて所定の精度を維持
できなくなりロボット搬送に耐えられなくなる; 図6におけるY−Y,Z−Z方向に過負荷がかかると
基板用カセットにひずみが生じ(図8及び図9参照)、
基板用カセットの基板出入り口が変形して基板の出し入
れが不能となったり、側板130の各棚片間のピッチが
一定しなくなり、カセットからカセットへ基板を移し替
える作業をスムーズに行えなくなる; 、等の問題点があった。
基板用カセット101にあっては、 側板130及びストッパ140の上下方向(図6にお
けるX−X方向)に形成した締結用の雌ねじ部にねじ1
90を螺合することにより、上部フレーム110、底部
フレーム12と側板130、ストッパ140とを単に固
着したものであり、枠体としての強度が弱く、基板用カ
セットが大型化すると、変形が生じて所定の精度を維持
できなくなりロボット搬送に耐えられなくなる; 図6におけるY−Y,Z−Z方向に過負荷がかかると
基板用カセットにひずみが生じ(図8及び図9参照)、
基板用カセットの基板出入り口が変形して基板の出し入
れが不能となったり、側板130の各棚片間のピッチが
一定しなくなり、カセットからカセットへ基板を移し替
える作業をスムーズに行えなくなる; 、等の問題点があった。
【0005】従って、本発明は従来技術の上記欠点を克
服するためになされたものであり、本発明の目的は、堅
固にしてロボット搬送に耐え、寿命の永い基板用カセッ
トを提供することにある。
服するためになされたものであり、本発明の目的は、堅
固にしてロボット搬送に耐え、寿命の永い基板用カセッ
トを提供することにある。
【0006】本発明の他の目的は、基板用カセットの基
板出入り口が変形せず、また各歯状受棚片(ティース)
間のピッチが一定に保たれる基板用カセットを提供する
ことにある。
板出入り口が変形せず、また各歯状受棚片(ティース)
間のピッチが一定に保たれる基板用カセットを提供する
ことにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願の請求項1の発明
は、第1のメインフレームと、該第1のメインフレーム
に対峙して配置された第2のメインフレームと、相対向
する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の歯状受棚
部が形成された中間ティース片と、前記第1のメインフ
レーム、前記第2のメインフレーム及び前記中間ティー
ス片により形成される基板収容スペースの後端面に配置
された後方ストッパと、基板収容スペースの前方開口周
縁輪郭部に配設され、該前方開口周縁輪郭部を保持する
矩形の第1の縁取フレームと、基板収容スペースの後方
周縁輪郭部に配設され、該後方周縁輪郭部を保持する矩
形の第2の縁取フレームを備え、前記第1のメインフレ
ーム、前記第2のメインフレーム、前記中間ティース
片、前記後方ストッパ、前記第1の縁取フレーム及び前
記第2の縁取フレームを組み立て方形状の枠体として形
成してある。
は、第1のメインフレームと、該第1のメインフレーム
に対峙して配置された第2のメインフレームと、相対向
する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の歯状受棚
部が形成された中間ティース片と、前記第1のメインフ
レーム、前記第2のメインフレーム及び前記中間ティー
ス片により形成される基板収容スペースの後端面に配置
された後方ストッパと、基板収容スペースの前方開口周
縁輪郭部に配設され、該前方開口周縁輪郭部を保持する
矩形の第1の縁取フレームと、基板収容スペースの後方
周縁輪郭部に配設され、該後方周縁輪郭部を保持する矩
形の第2の縁取フレームを備え、前記第1のメインフレ
ーム、前記第2のメインフレーム、前記中間ティース
片、前記後方ストッパ、前記第1の縁取フレーム及び前
記第2の縁取フレームを組み立て方形状の枠体として形
成してある。
【0008】本願の請求項2の発明は、第1のメインフ
レームと、該第1のメインフレームに対峙して配置され
た第2のメインフレームと、相対向する側面に配置さ
れ、内面側に等間隔で多数の歯状受棚部が形成された中
間ティース片と、前記第1のメインフレーム、前記第2
のメインフレーム及び前記中間ティース片により形成さ
れる基板収容スペースの後端面に配置された後方ストッ
パと、基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に配設さ
れ、該前方開口周縁輪郭部を保持する矩形の第1の縁取
フレームと、基板収容スペースの後方周縁輪郭部に配設
され、該後方周縁輪郭部を保持する矩形の第2の縁取フ
レームと、前記中間ティース片を含む基板用カセットの
側面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カセッ
トの外側面に付設する補強フレームを備え、前記第1の
メインフレーム、前記第2のメインフレーム、前記中間
ティース片、前記後方ストッパ、前記第1の縁取フレー
ム、前記第2の縁取フレーム及び前記補強フレームを組
み立て方形状の枠体として形成してある。
レームと、該第1のメインフレームに対峙して配置され
た第2のメインフレームと、相対向する側面に配置さ
れ、内面側に等間隔で多数の歯状受棚部が形成された中
間ティース片と、前記第1のメインフレーム、前記第2
のメインフレーム及び前記中間ティース片により形成さ
れる基板収容スペースの後端面に配置された後方ストッ
パと、基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に配設さ
れ、該前方開口周縁輪郭部を保持する矩形の第1の縁取
フレームと、基板収容スペースの後方周縁輪郭部に配設
され、該後方周縁輪郭部を保持する矩形の第2の縁取フ
レームと、前記中間ティース片を含む基板用カセットの
側面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カセッ
トの外側面に付設する補強フレームを備え、前記第1の
メインフレーム、前記第2のメインフレーム、前記中間
ティース片、前記後方ストッパ、前記第1の縁取フレー
ム、前記第2の縁取フレーム及び前記補強フレームを組
み立て方形状の枠体として形成してある。
【0009】本願の請求項3の発明は、上記第1の縁取
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の前方フレーム本体と、該前方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部が形成された一対の前方ティース片を含んで
構成されている。
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の前方フレーム本体と、該前方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部が形成された一対の前方ティース片を含んで
構成されている。
【0010】本願の請求項4の発明は、上記第1の縁取
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の前方フレーム本体と、該前方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚片が形成された一対の前方ティース片と、該前
方ティース片に平行に配設され、内面側に等間隔で多数
の突起が形成され、前記前方フレーム本体に取り付けら
れる一対の前方ストッパを含んで構成されている。
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の前方フレーム本体と、該前方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚片が形成された一対の前方ティース片と、該前
方ティース片に平行に配設され、内面側に等間隔で多数
の突起が形成され、前記前方フレーム本体に取り付けら
れる一対の前方ストッパを含んで構成されている。
【0011】本願の請求項5の発明は、上記第2の縁取
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の後方フレーム本体と、該後方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部が形成された一対の後方ティース片を含んで
構成されている。
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の後方フレーム本体と、該後方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部が形成された一対の後方ティース片を含んで
構成されている。
【0012】本願の請求項6の発明は、上記後方ストッ
パが、その内面側において等間隔に形成された多数の歯
状受棚部を備えている。
パが、その内面側において等間隔に形成された多数の歯
状受棚部を備えている。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の基板用カセットでは、基
板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、この前方開口
周縁輪郭を保持する矩形の前方フレームを、又基板収容
スペースの後方周縁輪郭部に、この後方周縁輪郭部を保
持する矩形の後方フレームをそれぞれ配設する。
板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、この前方開口
周縁輪郭を保持する矩形の前方フレームを、又基板収容
スペースの後方周縁輪郭部に、この後方周縁輪郭部を保
持する矩形の後方フレームをそれぞれ配設する。
【0014】また、基板用カセットの変形(ひずみ)を
阻止するため、中間ティースを含む基板用カセットの側
面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カセット
の外側面に付設される補強フレームを配設すると効果的
である。
阻止するため、中間ティースを含む基板用カセットの側
面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カセット
の外側面に付設される補強フレームを配設すると効果的
である。
【0015】
【実施例】実施例について図面を参照して説明する。図
1は本発明に係る基板用カセットの斜視図、図2及び図
3は基板用カセットトの構成部品を示す要部分解斜視図
である。これらの図において、基板用カセット1は、図
1において、天板として示されている第1のメインフレ
ーム10と、この第1のメインフレーム10に対峙して
配置され、底板として示されている第2のメインフレー
ム20と、相対向する側面に配置され、内面側に等間隔
で多数の歯状受棚部36が形成された中間ティース片3
0と、前記第1のメインフレーム10、前記第2のメイ
ンフレーム20及び前記中間ティース片30により形成
される基板収容スペース2の後端面に配置された後方ス
トッパ40を備えている。
1は本発明に係る基板用カセットの斜視図、図2及び図
3は基板用カセットトの構成部品を示す要部分解斜視図
である。これらの図において、基板用カセット1は、図
1において、天板として示されている第1のメインフレ
ーム10と、この第1のメインフレーム10に対峙して
配置され、底板として示されている第2のメインフレー
ム20と、相対向する側面に配置され、内面側に等間隔
で多数の歯状受棚部36が形成された中間ティース片3
0と、前記第1のメインフレーム10、前記第2のメイ
ンフレーム20及び前記中間ティース片30により形成
される基板収容スペース2の後端面に配置された後方ス
トッパ40を備えている。
【0016】このうち、前記後方ストッパ40は、その
内面側に等間隔に形成された多数の歯状受棚部46を備
えている。
内面側に等間隔に形成された多数の歯状受棚部46を備
えている。
【0017】また、基板収容スペース2の前方開口周縁
輪郭部5には、この前方開口周縁輪郭部5を保持する矩
形の第1の縁取フレーム50を備え、更に基板収容スペ
ース2の後方周縁輪郭部6には、この後方周縁輪郭部6
を保持する矩形の第2の縁取フレーム60を備えてい
る。
輪郭部5には、この前方開口周縁輪郭部5を保持する矩
形の第1の縁取フレーム50を備え、更に基板収容スペ
ース2の後方周縁輪郭部6には、この後方周縁輪郭部6
を保持する矩形の第2の縁取フレーム60を備えてい
る。
【0018】前記第1の縁取フレーム50は、対向する
側面に一対のくり抜き部52、53が形成された矩形の
前方フレーム本体51と、この前方フレーム本体51の
くり抜き部52、53に取り付けられる、内面側に等間
隔で多数の歯状受棚部56,56,56・・・・、57,5
7,57・・・・が形成された一対の前方ティース片54、
55と、この前方ティース片54、55に平行に配設さ
れ、内面側に等間隔で多数の突起58a,58a,58
a・・・・、59a,59a,57a・・・・が形成され、前記
前方フレーム本体51に取り付けられる一対の前方スト
ッパ58、59を含んで構成されている。
側面に一対のくり抜き部52、53が形成された矩形の
前方フレーム本体51と、この前方フレーム本体51の
くり抜き部52、53に取り付けられる、内面側に等間
隔で多数の歯状受棚部56,56,56・・・・、57,5
7,57・・・・が形成された一対の前方ティース片54、
55と、この前方ティース片54、55に平行に配設さ
れ、内面側に等間隔で多数の突起58a,58a,58
a・・・・、59a,59a,57a・・・・が形成され、前記
前方フレーム本体51に取り付けられる一対の前方スト
ッパ58、59を含んで構成されている。
【0019】前記第2の縁取フレーム60は、対向する
側面に一対のくり抜き部62、63が形成され、前記前
方フレーム本体51と略同形状の後方フレーム本体61
と、この後方フレーム本体61のくり抜き部62、63
に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受棚部
66、67が形成された一対の後方ティース片64、6
5を含んで構成されている。
側面に一対のくり抜き部62、63が形成され、前記前
方フレーム本体51と略同形状の後方フレーム本体61
と、この後方フレーム本体61のくり抜き部62、63
に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受棚部
66、67が形成された一対の後方ティース片64、6
5を含んで構成されている。
【0020】前記第1のメインフレーム10と前記第2
のメインフレーム20を、前記中間ティース30、前記
後方ストッパ40、前記前方フレーム本体51及び前記
後方フレーム本体61を介して連結するため、前記第1
のメインフレーム10と前記第2のメインフレーム20
の周縁部要所に取付ねじ81、82が挿通する貫通孔を
穿設し、前記中間ティース30、前記後方ストッパ4
0、前記前方フレーム本体51及び前記後方フレーム本
体61の各構成要素の図1における上端面及び下端面の
要所に取付ねじ81、82が螺合する雌ねじ部を形成し
てある。
のメインフレーム20を、前記中間ティース30、前記
後方ストッパ40、前記前方フレーム本体51及び前記
後方フレーム本体61を介して連結するため、前記第1
のメインフレーム10と前記第2のメインフレーム20
の周縁部要所に取付ねじ81、82が挿通する貫通孔を
穿設し、前記中間ティース30、前記後方ストッパ4
0、前記前方フレーム本体51及び前記後方フレーム本
体61の各構成要素の図1における上端面及び下端面の
要所に取付ねじ81、82が螺合する雌ねじ部を形成し
てある。
【0021】また、前記前方フレーム51の前後両側の
要所に、前記くり抜き部52、53に達する、前記前方
ティース片54、55を取付ける取付ねじ83、84が
挿通する貫通孔を穿設し、前記前方ティース片54、5
5の側面に取付ねじ83、84が螺合する雌ねじ部が形
成してある。更に、前記前方フレーム本体51のくり抜
き部52、53の近傍要所に、前記前方ストッパ58、
59を取付ける取付ねじ87、88が螺合する雌ねじ部
を形成し、前記前方ストッパ58、59に取付ねじ8
7、88が挿通する貫通孔を穿設してある。
要所に、前記くり抜き部52、53に達する、前記前方
ティース片54、55を取付ける取付ねじ83、84が
挿通する貫通孔を穿設し、前記前方ティース片54、5
5の側面に取付ねじ83、84が螺合する雌ねじ部が形
成してある。更に、前記前方フレーム本体51のくり抜
き部52、53の近傍要所に、前記前方ストッパ58、
59を取付ける取付ねじ87、88が螺合する雌ねじ部
を形成し、前記前方ストッパ58、59に取付ねじ8
7、88が挿通する貫通孔を穿設してある。
【0022】同様に、前記後方フレーム61の前後両側
の要所に、前記くり抜き部62、63に達する、前記後
方ティース片64、65を取付ける取付ねじ93、94
が挿通する貫通孔を穿設し、前記後方ティース片64、
65の側面に取付ねじ93、94が螺合する雌ねじ部が
形成してある。
の要所に、前記くり抜き部62、63に達する、前記後
方ティース片64、65を取付ける取付ねじ93、94
が挿通する貫通孔を穿設し、前記後方ティース片64、
65の側面に取付ねじ93、94が螺合する雌ねじ部が
形成してある。
【0023】そして、基板用カセット1は、前記第1の
メインフレーム10、前記第2のメインフレーム20、
前記中間ティース片30、前記後方ストッパ40、前記
第1の縁取フレーム50及び前記第2の縁取フレーム6
0を組み立て方形状の枠体として形成されている。
メインフレーム10、前記第2のメインフレーム20、
前記中間ティース片30、前記後方ストッパ40、前記
第1の縁取フレーム50及び前記第2の縁取フレーム6
0を組み立て方形状の枠体として形成されている。
【0024】図4及び図5に他の実施例を示す。この実
施例では、 第1のメインフレーム10; 第1のメインフレーム10に対峙して配置された第2
のメインフレーム20; 相対向する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部36が形成された中間ティース片30; 第1のメインフレーム10、第2のメインフレーム2
0及び中間ティース片30により形成される基板収容ス
ペース2の後端面に配置された後方ストッパ40; 基板収容スペース2の前方開口周縁輪郭部5に配設さ
れ、前方開口周縁輪郭部5を保持する矩形の第1の縁取
フレーム50; 基板収容スペース2の後方周縁輪郭部6に配設され、
後方周縁輪郭部6を保持する矩形の第2の縁取フレーム
60;を具備している点は第1の実施例と同じである
が、 中間ティース30を含む基板用カセットの側面側の骨
格に符合する形状に形成され、基板用カセットの外側面
に付設した補強フレーム70を備えている点; 基板用カセット1が、第1のメインフレーム10、第
2のメインフレーム20、中間ティース片30、後方ス
トッパ40、第1の縁取フレーム50、第2の縁取フレ
ーム60及び補強フレーム70を組み立て方形状の枠体
として形成されている点; が第1の実施例と異なる。
施例では、 第1のメインフレーム10; 第1のメインフレーム10に対峙して配置された第2
のメインフレーム20; 相対向する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部36が形成された中間ティース片30; 第1のメインフレーム10、第2のメインフレーム2
0及び中間ティース片30により形成される基板収容ス
ペース2の後端面に配置された後方ストッパ40; 基板収容スペース2の前方開口周縁輪郭部5に配設さ
れ、前方開口周縁輪郭部5を保持する矩形の第1の縁取
フレーム50; 基板収容スペース2の後方周縁輪郭部6に配設され、
後方周縁輪郭部6を保持する矩形の第2の縁取フレーム
60;を具備している点は第1の実施例と同じである
が、 中間ティース30を含む基板用カセットの側面側の骨
格に符合する形状に形成され、基板用カセットの外側面
に付設した補強フレーム70を備えている点; 基板用カセット1が、第1のメインフレーム10、第
2のメインフレーム20、中間ティース片30、後方ス
トッパ40、第1の縁取フレーム50、第2の縁取フレ
ーム60及び補強フレーム70を組み立て方形状の枠体
として形成されている点; が第1の実施例と異なる。
【0025】前記補強フレーム70と前記第1のメイン
フレーム10、前記第2のメインフレーム20、前記中
間ティース30、前記前方フレーム本体51及び前記後
方フレーム本体61の各構成要素を連結するため、前記
第1のメインフレーム10、前記第2のメインフレーム
20、前記中間ティース30、前記前方フレーム本体5
1及び前記後方フレーム本体61の図5における左右両
側の要所に取付ねじ99が螺合する雌ねじ部を形成し、
前記補強フレーム70の要所に取付ねじ99が挿通する
貫通孔を穿設してある。
フレーム10、前記第2のメインフレーム20、前記中
間ティース30、前記前方フレーム本体51及び前記後
方フレーム本体61の各構成要素を連結するため、前記
第1のメインフレーム10、前記第2のメインフレーム
20、前記中間ティース30、前記前方フレーム本体5
1及び前記後方フレーム本体61の図5における左右両
側の要所に取付ねじ99が螺合する雌ねじ部を形成し、
前記補強フレーム70の要所に取付ねじ99が挿通する
貫通孔を穿設してある。
【0026】以上の各実施例においては、 (イ)中間ティース片30に形成された歯状受棚部3
6; (ロ)後方ストッパ40に形成された歯状受棚部46; (ハ)前方テース片54、55にそれぞれ形成された歯
状受棚部56、57; (ニ)後方テース片64、65にそれぞれ形成された歯
状受棚部66、67; により形成される各段の歯状受棚部に基板3の周縁部が
保持されことになる(図1及び図4参照)
6; (ロ)後方ストッパ40に形成された歯状受棚部46; (ハ)前方テース片54、55にそれぞれ形成された歯
状受棚部56、57; (ニ)後方テース片64、65にそれぞれ形成された歯
状受棚部66、67; により形成される各段の歯状受棚部に基板3の周縁部が
保持されことになる(図1及び図4参照)
【0027】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。 (1)基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、前方
開口周縁輪郭部を保持する矩形の第1の縁取フレーム
を、基板収容スペースの後方周縁輪郭部に、後方周縁輪
郭部部を保持する矩形の第2の縁取フレームを配設し、
第1のメインフレーム、第2のメインフレーム、中間テ
ィース片、後方ストッパ、第1の縁取フレーム及び第2
の縁取フレームの各構成要素を組み立て方形状の枠体と
して形成してあるため、堅固にして精度の維持が容易で
あり、ロボット搬送に耐え寿命の永い基板用カセットが
得られる。 (2)基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、前方
開口周縁輪郭部を保持する矩形の第1の縁取フレーム
を、更に基板収容スペースの後方周縁輪郭部に後方周縁
輪郭部を保持する矩形の第2の縁取フレームをそれぞれ
配設するとともに、中間ティース片を含む基板用カセッ
トの側面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カ
セットの側面に付設される補強フレームを備えているの
で、基板用カセットの基板出入り口が変形せず、また歯
状受棚部(ティース)間のピッチが正常なピッチに維持
され、カセットからカセットへ基板をスムーズに移し替
えることが可能となる。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。 (1)基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、前方
開口周縁輪郭部を保持する矩形の第1の縁取フレーム
を、基板収容スペースの後方周縁輪郭部に、後方周縁輪
郭部部を保持する矩形の第2の縁取フレームを配設し、
第1のメインフレーム、第2のメインフレーム、中間テ
ィース片、後方ストッパ、第1の縁取フレーム及び第2
の縁取フレームの各構成要素を組み立て方形状の枠体と
して形成してあるため、堅固にして精度の維持が容易で
あり、ロボット搬送に耐え寿命の永い基板用カセットが
得られる。 (2)基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、前方
開口周縁輪郭部を保持する矩形の第1の縁取フレーム
を、更に基板収容スペースの後方周縁輪郭部に後方周縁
輪郭部を保持する矩形の第2の縁取フレームをそれぞれ
配設するとともに、中間ティース片を含む基板用カセッ
トの側面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カ
セットの側面に付設される補強フレームを備えているの
で、基板用カセットの基板出入り口が変形せず、また歯
状受棚部(ティース)間のピッチが正常なピッチに維持
され、カセットからカセットへ基板をスムーズに移し替
えることが可能となる。
【図 1】本発明に係る基板用カセットの斜視図であ
る。
る。
【図 2】図1に示す基板用カセットの構成部品を示す
要部分解斜視図である。
要部分解斜視図である。
【図 3】図1に示す基板用カセットの構成部品を示す
要部分解斜視図である。
要部分解斜視図である。
【図 4】基板用カセットの他の例を示す斜視図であ
る。
る。
【図 5】図4に示す基板用カセットの構成部品を示す
要部分解斜視図である。
要部分解斜視図である。
【図 6】従来の基板用カセットの他の例を示す斜視図
である。
である。
【図 7】図6に示す基板用カセットの部分正面図であ
る。
る。
【図 8】図6に示す基板用カセットが図6のY−Y方
向に変形したことを示す正面略図である。
向に変形したことを示す正面略図である。
【図 9】図6に示す基板用カセットが図6のZ−Z方
向に変形したことを示す正面略図である。
向に変形したことを示す正面略図である。
1 基板用カセット 2 基板収容スペース 3 基板 5 前方開口周縁輪郭部 6 後方周縁輪郭部 10 第1のメインフレーム 20 第2のメインフレーム 30 中間ティース片 36 歯状受棚部 40 後方ストッパ 46 歯状受棚部 50 第1の縁取フレーム 51 前方フレーム本体 52 くり抜き部 53 くり抜き部 54 前方ティース片 55 前方ティース片 56 歯状受棚部 57 歯状受棚部 58 前方ストッパ 58a 突起 59 前方ストッパ 59a 突起 60 第2の縁取フレーム 61 後方フレーム本体 62 くり抜き部 63 くり抜き部 64 後方ティース片 65 後方ティース片
Claims (6)
- 【請求項1】第1のメインフレーム(10)と、 該第1のメインフレーム(10)に対峙して配置された
第2のメインフレーム(20)と、 相対向する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の歯
状受棚部(36)が形成された中間ティース片(30)
と、 前記第1のメインフレーム(10)、前記第2のメイン
フレーム(20)及び前記中間ティース片(30)によ
り形成される基板収容スペース(2)の後端面に配置さ
れた後方ストッパ(40)と、 基板収容スペース(2)の前方開口周縁輪郭部(5)に
配設され、該前方開口周縁輪郭部(5)を保持する矩形
の第1の縁取フレーム(50)と、 基板収容スペース(2)の後方周縁輪郭部(6)に配設
され、該後方周縁輪郭部(6)を保持する矩形の第2の
縁取フレーム(60)を備え、 前記第1のメインフレーム(10)、前記第2のメイン
フレーム(20)、前記中間ティース片(30)、前記
後方ストッパ(40)、前記第1の縁取フレーム(5
0)及び前記第2の縁取フレーム(60)を組み立て方
形状の枠体として形成した基板用カセット。 - 【請求項2】第1のメインフレーム(10)と、 該第1のメインフレーム(10)に対峙して配置された
第2のメインフレーム(20)と、 相対向する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の歯
状受棚部(36)が形成された中間ティース片(30)
と、 前記第1のメインフレーム(10)、前記第2のメイン
フレーム(20)及び前記中間ティース片(30)によ
り形成される基板収容スペース(2)の後端面に配置さ
れた後方ストッパ(40)と、 基板収容スペース(2)の前方開口周縁輪郭部(5)に
配設され、該前方開口周縁輪郭部(5)を保持する矩形
の第1の縁取フレーム(50)と、 基板収容スペース(2)の後方周縁輪郭部(6)に配設
され、該後方周縁輪郭部(6)を保持する矩形の第2の
縁取フレーム(60)と、 前記中間ティース片(30)を含む基板用カセットの側
面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カセット
の外側面に付設する補強フレーム(70)を備え、 前記第1のメインフレーム(10)、前記第2のメイン
フレーム(20)、前記中間ティース片(30)、前記
後方ストッパ(40)、前記第1の縁取フレーム(5
0)、前記第2の縁取フレーム(60)及び前記補強フ
レーム(70)を組み立て方形状の枠体として形成した
基板用カセット。 - 【請求項3】前記第1の縁取フレーム(50)が、 対向する側面に一対のくり抜き部(52、53)が形成
された矩形の前方フレーム本体(51)と、 該前方フレーム本体(51)のくり抜き部(52、5
3)に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受
棚部(56、57)が形成された一対の前方ティース片
(54、55)を含んで構成されている請求項1又は2
記載の基板用カセット。 - 【請求項4】前記第1の縁取フレーム(50)が、 対向する側面に一対のくり抜き部(52、53)が形成
された矩形の前方フレーム本体(51)と、 該前方フレーム本体(51)のくり抜き部(52、5
3)に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受
棚片(56、57)が形成された一対の前方ティース片
(54、55)と、 該前方ティース片(54、55)に平行に配設され、内
面側に等間隔で多数の突起(58a、59a)が形成さ
れ、前記前方フレーム本体(51)に取り付けられる一
対の前方ストッパ(58、59)を含んで構成されてい
る請求項1又は2記載の基板用カセット。 - 【請求項5】前記第2の縁取フレーム(60)が、 対向する側面に一対のくり抜き部(62、63)が形成
された矩形の後方フレーム本体(61)と、 該後方フレーム本体(61)のくり抜き部(62、6
3)に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受
棚部(66、67)が形成された一対の後方ティース片
(64、65)を含んで構成されている請求項3又は4
記載の基板用カセット。 - 【請求項6】前記後方ストッパ(40)が、その内面側
において等間隔に形成された多数の歯状受棚部(46)
を備えている請求項1又は2記載の基板用カセット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6036096A JPH09226882A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 基板用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6036096A JPH09226882A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 基板用カセット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09226882A true JPH09226882A (ja) | 1997-09-02 |
Family
ID=13139909
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6036096A Pending JPH09226882A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 基板用カセット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09226882A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1298040C (zh) * | 2002-07-15 | 2007-01-31 | 夏普株式会社 | 基板用框架 |
CN100399503C (zh) * | 2005-01-31 | 2008-07-02 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板处理装置 |
KR101435432B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2014-08-29 | 주식회사 에스아이 플렉스 | 인쇄회로기판 적재용 랙 |
CN106216317A (zh) * | 2016-08-10 | 2016-12-14 | 宁夏高创特能源科技有限公司 | 一种平面靶材清洗防护用模块化组合插片花篮 |
-
1996
- 1996-02-23 JP JP6036096A patent/JPH09226882A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1298040C (zh) * | 2002-07-15 | 2007-01-31 | 夏普株式会社 | 基板用框架 |
CN100399503C (zh) * | 2005-01-31 | 2008-07-02 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板处理装置 |
KR101435432B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2014-08-29 | 주식회사 에스아이 플렉스 | 인쇄회로기판 적재용 랙 |
CN106216317A (zh) * | 2016-08-10 | 2016-12-14 | 宁夏高创特能源科技有限公司 | 一种平面靶材清洗防护用模块化组合插片花篮 |
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