JPH09226882A - 基板用カセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課 課】堅固にしてロボット搬送に耐え寿命が永いと
ともに、基板用カセットの基板出入り口が変形せず、ま
た各歯状受棚片間のピッチが一定に保たれる基板用カセ
ットを提供することにある。 【解決手段】基板収容スペース２の前方開口周縁輪郭部
５に配設され、前方開口周縁輪郭部５を保持する矩形の
第１の縁取フレーム５０と、基板収容スペース２の後方
周縁輪郭部６に配設され、後方周縁輪郭部６を保持する
矩形の第２の縁取フレーム６０を備えている。第１のメ
インフレーム１０、第２のメインフレーム２０、中間テ
ィース片３０、後方ストッパ４０、第１の縁取フレーム
５０及び第２の縁取フレーム６０を組み立て方形状の枠
体として形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板、セラ
ミックス基板、半導体ＩＣ用ウエハ等の基板を互いに接
触しないように保持する組立式の基板用カセットの改良
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

（発明の背景）液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示体
用ガラス基板、サーマルヘッド用ガラス基板、ハイブリ
ッドＩＣ用セラミックス基板等の基板の製造工程におい
ては、基板を加工、処理、洗浄、輸送、保管するため、
各基板を互いに接触しないように出入り、収容するため
の基板用カセットが使用されている。この基板用カセッ
トに収容される基板はサイズが大口径する傾向にあり、
それに伴い基板用カセットも大型化し重量も嵩むことに
なるが、基板輸送時等の作業効率を上げるため基板用カ
セットをロボット搬送することが行われており、ロボッ
ト搬送に好適な堅牢にして精度の維持が容易な基板用カ
セットが求められている。

【０００３】（従来技術）従来、この基板用カセット１
０１として、ガラス繊維入りポリフェニレンサルファイ
ド、パーフルオロアルコキ置換ポリテトラフルオロエチ
レン、ポリエーテルエーテルケトン等を用いて形成され
た、上部フレーム１１０、底部フレーム１２０、内側面
に等間隔で多数のリブ状棚部１３６が形成された側板１
３０及びストッパ１４０の各構成要素を組み立てて形成
したものが提案されている（特開平３−１３３１５２号
公報、図６及び図７参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板用カセット１０１にあっては、 側板１３０及びストッパ１４０の上下方向（図６にお
けるＸ−Ｘ方向）に形成した締結用の雌ねじ部にねじ１
９０を螺合することにより、上部フレーム１１０、底部
フレーム１２と側板１３０、ストッパ１４０とを単に固
着したものであり、枠体としての強度が弱く、基板用カ
セットが大型化すると、変形が生じて所定の精度を維持
できなくなりロボット搬送に耐えられなくなる； 図６におけるＹ−Ｙ，Ｚ−Ｚ方向に過負荷がかかると
基板用カセットにひずみが生じ（図８及び図９参照）、
基板用カセットの基板出入り口が変形して基板の出し入
れが不能となったり、側板１３０の各棚片間のピッチが
一定しなくなり、カセットからカセットへ基板を移し替
える作業をスムーズに行えなくなる； 、等の問題点があった。

【０００５】従って、本発明は従来技術の上記欠点を克
服するためになされたものであり、本発明の目的は、堅
固にしてロボット搬送に耐え、寿命の永い基板用カセッ
トを提供することにある。

【０００６】本発明の他の目的は、基板用カセットの基
板出入り口が変形せず、また各歯状受棚片（ティース）
間のピッチが一定に保たれる基板用カセットを提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、第１のメインフレームと、該第１のメインフレーム
に対峙して配置された第２のメインフレームと、相対向
する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の歯状受棚
部が形成された中間ティース片と、前記第１のメインフ
レーム、前記第２のメインフレーム及び前記中間ティー
ス片により形成される基板収容スペースの後端面に配置
された後方ストッパと、基板収容スペースの前方開口周
縁輪郭部に配設され、該前方開口周縁輪郭部を保持する
矩形の第１の縁取フレームと、基板収容スペースの後方
周縁輪郭部に配設され、該後方周縁輪郭部を保持する矩
形の第２の縁取フレームを備え、前記第１のメインフレ
ーム、前記第２のメインフレーム、前記中間ティース
片、前記後方ストッパ、前記第１の縁取フレーム及び前
記第２の縁取フレームを組み立て方形状の枠体として形
成してある。

【０００８】本願の請求項２の発明は、第１のメインフ
レームと、該第１のメインフレームに対峙して配置され
た第２のメインフレームと、相対向する側面に配置さ
れ、内面側に等間隔で多数の歯状受棚部が形成された中
間ティース片と、前記第１のメインフレーム、前記第２
のメインフレーム及び前記中間ティース片により形成さ
れる基板収容スペースの後端面に配置された後方ストッ
パと、基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に配設さ
れ、該前方開口周縁輪郭部を保持する矩形の第１の縁取
フレームと、基板収容スペースの後方周縁輪郭部に配設
され、該後方周縁輪郭部を保持する矩形の第２の縁取フ
レームと、前記中間ティース片を含む基板用カセットの
側面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カセッ
トの外側面に付設する補強フレームを備え、前記第１の
メインフレーム、前記第２のメインフレーム、前記中間
ティース片、前記後方ストッパ、前記第１の縁取フレー
ム、前記第２の縁取フレーム及び前記補強フレームを組
み立て方形状の枠体として形成してある。

【０００９】本願の請求項３の発明は、上記第１の縁取
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の前方フレーム本体と、該前方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部が形成された一対の前方ティース片を含んで
構成されている。

【００１０】本願の請求項４の発明は、上記第１の縁取
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の前方フレーム本体と、該前方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚片が形成された一対の前方ティース片と、該前
方ティース片に平行に配設され、内面側に等間隔で多数
の突起が形成され、前記前方フレーム本体に取り付けら
れる一対の前方ストッパを含んで構成されている。

【００１１】本願の請求項５の発明は、上記第２の縁取
フレームが、対向する側面に一対のくり抜き部が形成さ
れた矩形の後方フレーム本体と、該後方フレーム本体の
くり抜き部に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部が形成された一対の後方ティース片を含んで
構成されている。

【００１２】本願の請求項６の発明は、上記後方ストッ
パが、その内面側において等間隔に形成された多数の歯
状受棚部を備えている。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の基板用カセットでは、基
板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、この前方開口
周縁輪郭を保持する矩形の前方フレームを、又基板収容
スペースの後方周縁輪郭部に、この後方周縁輪郭部を保
持する矩形の後方フレームをそれぞれ配設する。

【００１４】また、基板用カセットの変形（ひずみ）を
阻止するため、中間ティースを含む基板用カセットの側
面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カセット
の外側面に付設される補強フレームを配設すると効果的
である。

【００１５】

【実施例】実施例について図面を参照して説明する。図
１は本発明に係る基板用カセットの斜視図、図２及び図
３は基板用カセットトの構成部品を示す要部分解斜視図
である。これらの図において、基板用カセット１は、図
１において、天板として示されている第１のメインフレ
ーム１０と、この第１のメインフレーム１０に対峙して
配置され、底板として示されている第２のメインフレー
ム２０と、相対向する側面に配置され、内面側に等間隔
で多数の歯状受棚部３６が形成された中間ティース片３
０と、前記第１のメインフレーム１０、前記第２のメイ
ンフレーム２０及び前記中間ティース片３０により形成
される基板収容スペース２の後端面に配置された後方ス
トッパ４０を備えている。

【００１６】このうち、前記後方ストッパ４０は、その
内面側に等間隔に形成された多数の歯状受棚部４６を備
えている。

【００１７】また、基板収容スペース２の前方開口周縁
輪郭部５には、この前方開口周縁輪郭部５を保持する矩
形の第１の縁取フレーム５０を備え、更に基板収容スペ
ース２の後方周縁輪郭部６には、この後方周縁輪郭部６
を保持する矩形の第２の縁取フレーム６０を備えてい
る。

【００１８】前記第１の縁取フレーム５０は、対向する
側面に一対のくり抜き部５２、５３が形成された矩形の
前方フレーム本体５１と、この前方フレーム本体５１の
くり抜き部５２、５３に取り付けられる、内面側に等間
隔で多数の歯状受棚部５６，５６，５６・・・・、５７，５
７，５７・・・・が形成された一対の前方ティース片５４、
５５と、この前方ティース片５４、５５に平行に配設さ
れ、内面側に等間隔で多数の突起５８ａ，５８ａ，５８
ａ・・・・、５９ａ，５９ａ，５７ａ・・・・が形成され、前記
前方フレーム本体５１に取り付けられる一対の前方スト
ッパ５８、５９を含んで構成されている。

【００１９】前記第２の縁取フレーム６０は、対向する
側面に一対のくり抜き部６２、６３が形成され、前記前
方フレーム本体５１と略同形状の後方フレーム本体６１
と、この後方フレーム本体６１のくり抜き部６２、６３
に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受棚部
６６、６７が形成された一対の後方ティース片６４、６
５を含んで構成されている。

【００２０】前記第１のメインフレーム１０と前記第２
のメインフレーム２０を、前記中間ティース３０、前記
後方ストッパ４０、前記前方フレーム本体５１及び前記
後方フレーム本体６１を介して連結するため、前記第１
のメインフレーム１０と前記第２のメインフレーム２０
の周縁部要所に取付ねじ８１、８２が挿通する貫通孔を
穿設し、前記中間ティース３０、前記後方ストッパ４
０、前記前方フレーム本体５１及び前記後方フレーム本
体６１の各構成要素の図１における上端面及び下端面の
要所に取付ねじ８１、８２が螺合する雌ねじ部を形成し
てある。

【００２１】また、前記前方フレーム５１の前後両側の
要所に、前記くり抜き部５２、５３に達する、前記前方
ティース片５４、５５を取付ける取付ねじ８３、８４が
挿通する貫通孔を穿設し、前記前方ティース片５４、５
５の側面に取付ねじ８３、８４が螺合する雌ねじ部が形
成してある。更に、前記前方フレーム本体５１のくり抜
き部５２、５３の近傍要所に、前記前方ストッパ５８、
５９を取付ける取付ねじ８７、８８が螺合する雌ねじ部
を形成し、前記前方ストッパ５８、５９に取付ねじ８
７、８８が挿通する貫通孔を穿設してある。

【００２２】同様に、前記後方フレーム６１の前後両側
の要所に、前記くり抜き部６２、６３に達する、前記後
方ティース片６４、６５を取付ける取付ねじ９３、９４
が挿通する貫通孔を穿設し、前記後方ティース片６４、
６５の側面に取付ねじ９３、９４が螺合する雌ねじ部が
形成してある。

【００２３】そして、基板用カセット１は、前記第１の
メインフレーム１０、前記第２のメインフレーム２０、
前記中間ティース片３０、前記後方ストッパ４０、前記
第１の縁取フレーム５０及び前記第２の縁取フレーム６
０を組み立て方形状の枠体として形成されている。

【００２４】図４及び図５に他の実施例を示す。この実
施例では、 第１のメインフレーム１０； 第１のメインフレーム１０に対峙して配置された第２
のメインフレーム２０； 相対向する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の
歯状受棚部３６が形成された中間ティース片３０； 第１のメインフレーム１０、第２のメインフレーム２
０及び中間ティース片３０により形成される基板収容ス
ペース２の後端面に配置された後方ストッパ４０； 基板収容スペース２の前方開口周縁輪郭部５に配設さ
れ、前方開口周縁輪郭部５を保持する矩形の第１の縁取
フレーム５０； 基板収容スペース２の後方周縁輪郭部６に配設され、
後方周縁輪郭部６を保持する矩形の第２の縁取フレーム
６０；を具備している点は第１の実施例と同じである
が、 中間ティース３０を含む基板用カセットの側面側の骨
格に符合する形状に形成され、基板用カセットの外側面
に付設した補強フレーム７０を備えている点； 基板用カセット１が、第１のメインフレーム１０、第
２のメインフレーム２０、中間ティース片３０、後方ス
トッパ４０、第１の縁取フレーム５０、第２の縁取フレ
ーム６０及び補強フレーム７０を組み立て方形状の枠体
として形成されている点； が第１の実施例と異なる。

【００２５】前記補強フレーム７０と前記第１のメイン
フレーム１０、前記第２のメインフレーム２０、前記中
間ティース３０、前記前方フレーム本体５１及び前記後
方フレーム本体６１の各構成要素を連結するため、前記
第１のメインフレーム１０、前記第２のメインフレーム
２０、前記中間ティース３０、前記前方フレーム本体５
１及び前記後方フレーム本体６１の図５における左右両
側の要所に取付ねじ９９が螺合する雌ねじ部を形成し、
前記補強フレーム７０の要所に取付ねじ９９が挿通する
貫通孔を穿設してある。

【００２６】以上の各実施例においては、 （イ）中間ティース片３０に形成された歯状受棚部３
６； （ロ）後方ストッパ４０に形成された歯状受棚部４６； （ハ）前方テース片５４、５５にそれぞれ形成された歯
状受棚部５６、５７； （ニ）後方テース片６４、６５にそれぞれ形成された歯
状受棚部６６、６７； により形成される各段の歯状受棚部に基板３の周縁部が
保持されことになる（図１及び図４参照）

【００２７】

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、前方
開口周縁輪郭部を保持する矩形の第１の縁取フレーム
を、基板収容スペースの後方周縁輪郭部に、後方周縁輪
郭部部を保持する矩形の第２の縁取フレームを配設し、
第１のメインフレーム、第２のメインフレーム、中間テ
ィース片、後方ストッパ、第１の縁取フレーム及び第２
の縁取フレームの各構成要素を組み立て方形状の枠体と
して形成してあるため、堅固にして精度の維持が容易で
あり、ロボット搬送に耐え寿命の永い基板用カセットが
得られる。 （２）基板収容スペースの前方開口周縁輪郭部に、前方
開口周縁輪郭部を保持する矩形の第１の縁取フレーム
を、更に基板収容スペースの後方周縁輪郭部に後方周縁
輪郭部を保持する矩形の第２の縁取フレームをそれぞれ
配設するとともに、中間ティース片を含む基板用カセッ
トの側面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カ
セットの側面に付設される補強フレームを備えているの
で、基板用カセットの基板出入り口が変形せず、また歯
状受棚部（ティース）間のピッチが正常なピッチに維持
され、カセットからカセットへ基板をスムーズに移し替
えることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図 １】本発明に係る基板用カセットの斜視図であ
る。

【図 ２】図１に示す基板用カセットの構成部品を示す
要部分解斜視図である。

【図 ３】図１に示す基板用カセットの構成部品を示す
要部分解斜視図である。

【図 ４】基板用カセットの他の例を示す斜視図であ
る。

【図 ５】図４に示す基板用カセットの構成部品を示す
要部分解斜視図である。

【図 ６】従来の基板用カセットの他の例を示す斜視図
である。

【図 ７】図６に示す基板用カセットの部分正面図であ
る。

【図 ８】図６に示す基板用カセットが図６のＹ−Ｙ方
向に変形したことを示す正面略図である。

【図 ９】図６に示す基板用カセットが図６のＺ−Ｚ方
向に変形したことを示す正面略図である。

【符号の説明】

１ 基板用カセット ２ 基板収容スペース ３ 基板 ５ 前方開口周縁輪郭部 ６ 後方周縁輪郭部 １０ 第１のメインフレーム ２０ 第２のメインフレーム ３０ 中間ティース片 ３６ 歯状受棚部 ４０ 後方ストッパ ４６ 歯状受棚部 ５０ 第１の縁取フレーム ５１ 前方フレーム本体 ５２ くり抜き部 ５３ くり抜き部 ５４ 前方ティース片 ５５ 前方ティース片 ５６ 歯状受棚部 ５７ 歯状受棚部 ５８ 前方ストッパ ５８ａ 突起 ５９ 前方ストッパ ５９ａ 突起 ６０ 第２の縁取フレーム ６１ 後方フレーム本体 ６２ くり抜き部 ６３ くり抜き部 ６４ 後方ティース片 ６５ 後方ティース片

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１のメインフレーム（１０）と、 該第１のメインフレーム（１０）に対峙して配置された
   第２のメインフレーム（２０）と、 相対向する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の歯
   状受棚部（３６）が形成された中間ティース片（３０）
   と、 前記第１のメインフレーム（１０）、前記第２のメイン
   フレーム（２０）及び前記中間ティース片（３０）によ
   り形成される基板収容スペース（２）の後端面に配置さ
   れた後方ストッパ（４０）と、 基板収容スペース（２）の前方開口周縁輪郭部（５）に
   配設され、該前方開口周縁輪郭部（５）を保持する矩形
   の第１の縁取フレーム（５０）と、 基板収容スペース（２）の後方周縁輪郭部（６）に配設
   され、該後方周縁輪郭部（６）を保持する矩形の第２の
   縁取フレーム（６０）を備え、 前記第１のメインフレーム（１０）、前記第２のメイン
   フレーム（２０）、前記中間ティース片（３０）、前記
   後方ストッパ（４０）、前記第１の縁取フレーム（５
   ０）及び前記第２の縁取フレーム（６０）を組み立て方
   形状の枠体として形成した基板用カセット。
2. 【請求項２】第１のメインフレーム（１０）と、 該第１のメインフレーム（１０）に対峙して配置された
   第２のメインフレーム（２０）と、 相対向する側面に配置され、内面側に等間隔で多数の歯
   状受棚部（３６）が形成された中間ティース片（３０）
   と、 前記第１のメインフレーム（１０）、前記第２のメイン
   フレーム（２０）及び前記中間ティース片（３０）によ
   り形成される基板収容スペース（２）の後端面に配置さ
   れた後方ストッパ（４０）と、 基板収容スペース（２）の前方開口周縁輪郭部（５）に
   配設され、該前方開口周縁輪郭部（５）を保持する矩形
   の第１の縁取フレーム（５０）と、 基板収容スペース（２）の後方周縁輪郭部（６）に配設
   され、該後方周縁輪郭部（６）を保持する矩形の第２の
   縁取フレーム（６０）と、 前記中間ティース片（３０）を含む基板用カセットの側
   面側の骨格に符合する形状に形成され、基板用カセット
   の外側面に付設する補強フレーム（７０）を備え、 前記第１のメインフレーム（１０）、前記第２のメイン
   フレーム（２０）、前記中間ティース片（３０）、前記
   後方ストッパ（４０）、前記第１の縁取フレーム（５
   ０）、前記第２の縁取フレーム（６０）及び前記補強フ
   レーム（７０）を組み立て方形状の枠体として形成した
   基板用カセット。
3. 【請求項３】前記第１の縁取フレーム（５０）が、 対向する側面に一対のくり抜き部（５２、５３）が形成
   された矩形の前方フレーム本体（５１）と、 該前方フレーム本体（５１）のくり抜き部（５２、５
   ３）に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受
   棚部（５６、５７）が形成された一対の前方ティース片
   （５４、５５）を含んで構成されている請求項１又は２
   記載の基板用カセット。
4. 【請求項４】前記第１の縁取フレーム（５０）が、 対向する側面に一対のくり抜き部（５２、５３）が形成
   された矩形の前方フレーム本体（５１）と、 該前方フレーム本体（５１）のくり抜き部（５２、５
   ３）に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受
   棚片（５６、５７）が形成された一対の前方ティース片
   （５４、５５）と、 該前方ティース片（５４、５５）に平行に配設され、内
   面側に等間隔で多数の突起（５８ａ、５９ａ）が形成さ
   れ、前記前方フレーム本体（５１）に取り付けられる一
   対の前方ストッパ（５８、５９）を含んで構成されてい
   る請求項１又は２記載の基板用カセット。
5. 【請求項５】前記第２の縁取フレーム（６０）が、 対向する側面に一対のくり抜き部（６２、６３）が形成
   された矩形の後方フレーム本体（６１）と、 該後方フレーム本体（６１）のくり抜き部（６２、６
   ３）に取り付けられる、内面側に等間隔で多数の歯状受
   棚部（６６、６７）が形成された一対の後方ティース片
   （６４、６５）を含んで構成されている請求項３又は４
   記載の基板用カセット。
6. 【請求項６】前記後方ストッパ（４０）が、その内面側
   において等間隔に形成された多数の歯状受棚部（４６）
   を備えている請求項１又は２記載の基板用カセット。