CN1298040C - 基板用框架 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种框架，即使在用与支承框架的支承装置的支承部接触的框架的下框体的一部分支承装有大型基板的框架的全部重量，框架所产生的挠度对所装有的基板没有影响，并且可以尽量抑止重量增加。该基板用框架可容纳多块基板，在上框体和下框体之间架设多个支承体；下框体具有由互相交叉的两个格棂和四角形的框构成的大致为田字形的部分，同时，具有增强格棂；该增强格棂从自所述两个格棂的交点起沿着该两个格棂中的一个格棂离开第一距离的位置开始，不与所述两个格棂中的另一个格棂相交地，延伸到，自所述四角形框的角部起沿着所述四角形框的直线部分离开第二距离的位置。

Description

基板用框架

技术领域

本发明涉及基板用框架；更详细地说，涉及可多层收纳用于多面获取显示器用镶板的母板、或大型显示器用基盘，同时多层收纳大小不同的显示器用基板的基板用框架。

背景技术

近年来，随着显示器尺寸的增大，收纳在框架中的基板的尺寸也增大。因此，要求能容纳大型基板的基板用框架。然而，为了实现能容纳大型基板的基板用框架，有各种各样的问题。

首先，第一个问题是，装在框架中的全部基板的重量增加，为了支承该重量，框架的强度必需提高，特别是必需提高作为由田字形框体所形成的框架的底面的下框体的强度。为此，以前，作为框架的下框体，提出了如专利文献1所述的由格子形框体形成的下框体等。

另外，第二个问题是，作为基板，所使用的纵向和横向尺寸为650mm×750mm，厚度为1.1mm或0.7mm，当将这种基板装在框架内时，基板的两个侧部用侧部支承片支承。以前，为了抑制基板的挠度，要减小上下容纳间距，如专利文献2所述，若取框架的有效宽度为W，侧部支承片的突出长度为L，则在W超过400mm的情况下，提出将L/W设定在1/10-1/4的范围内。

但是，如上述公报所述的框架那样，利用由从支承体突出的侧部支承片的端部支承玻璃基板的方法，当基板更大时，挠度增大，不能对付。例如，对于大小为650mm×830mm的基板，在厚度为1.1mm的情况下，挠度已很大，当厚度为0.7mm时，挠度更达到一倍以上。

又如专利文献3所述，提出了一个新的结构的框架，该结构是：在左右侧框架之间，以给定的间距架设多层梁部件，在梁部件上形成可供基板出入用机械手叉子可以出入的上部开放的空隙部；和在比该空隙部高的位置上，从背面支承基板的基板支承部。

另外，第三个问题是，随着显示器尺寸的增大，装在框架中的基板尺寸也增大，但中型或小型显示器用基板仍然在使用，从有效利用框架的观点来看，探索一种能在一个框架中容纳大小不同的基板的方法。目前，通过在框架中具有如专利文献5或专利文献6所述的机构，来实现这种方法。专利文献5所述的框架是将支承片离开一定间隔而上下配置，并且并行地配置一对设置有形成了保持槽的支承部件的框体；通过连接框体之间的滑动轨道的伸缩，可以与容纳的基板宽度相适应调整框架的宽度。另外，专利文献6所述的框架，在其上框体和下框体之间架设多个支承体，支承体上装有支承片，可在上下方向将基板支承在每一个规定的间隔中。另外，与装入的基板宽度相适应，设有可使支承体在上框体和下框体上的安装位置，在框架的宽度方向移动的机构。

专利文献1：特开2001-127146号公报，

专利文献2：特开平9-36219号公报，

专利文献3：特开平11-35089号公报，

专利文献4：特开平11-176921号公报，

专利文献5：特开平10-322056号公报，

专利文献6：特开平11-171287号公报，

发明要解决的问题

在上述第一个问题的情况下，当如专利文献1所述那样，由使用许多增强格棂的格子形框体构成框架的下框体时，由于框架的重量增加，对载置框架的地面等建筑物的强度等有影响。另外，装大型基板的框架不仅放置在平坦的地面上，而且装在搬运的升降叉车上，必需要装填在各种支承装置中。在这种情况下，即使装有基板的框架的全部重量由与这些支承装置的支承部接触的框架的下框体的一部分支承，也必需要使框架的产生的挠度对装入的基板没有影响，因此要求能很好地满足这个条件，而且可以尽量抑制重量增加的框架。即：本发明的第一个任务是要提供一种，即使收纳大型基板的框架的全部重量由与支承框架的支承装置的支承部接触的框架的下框体的一部分支承，框架所产生的挠度，也对装入的基板没有影响，而且可以尽量抑制重量增加的框架。

另外，在上述第2个问题的情况下，专利文献3所述结构的框架，原理上可以适用于更大的基板。但当基板弯曲时，考虑到叉子的上下移动，必需使构成各层的梁部件的上下尺寸非常大，因而上下间距增大，基板的收纳效率非常低。在专利文献4中所述的大型基板用框架是，将在上下方向每隔给定间隔突出设置有支承基板的侧部支承片的多个支承体，连接在上框体和下框体之间，作成长方体形的箱形结构，另外上述侧部支承片覆盖着在金属制的支承销的前端的合成树脂制的前端盖，将上述支承销的基端部分嵌入在上述支承体的上下方向上，每隔一定间隔形成的插入孔中，将侧部支承片设置在该支承体的内面侧。采用这种结构，可以解决上述问题，因此，本发明的第二个任务是，要提供一种基板用框架，可以高收纳效率地、稳定地支承和收纳例如1350mm×1650mm以上，厚度在0.7mm以下的非常大的玻璃基板或合成树脂制薄膜状基板，同时利用基板出入用的机械手容易取出和放入基板。

在上述第三个问题的情况下，在专利文献5所述的框架中，根据容纳的基板，必需调整在上下四个部位的滑动轨道的伸缩，较麻烦费事。另外，利用专利文献6所述的框架，必需与装入的基板宽度相适应，在框架的宽度方向移动调整支承体在上框体和下框体的上下四个部位的安装位置，与专利文献5所述的框架同样，比较费事。即：上述二种框架，都要与容纳的基板宽度相适应，调整框架的宽度，存在需要费事的调整的问题。因此，为了解决这个问题，本发明的第三个任务是要提供一种无需根据容纳的基板调整框架的宽度的基板用框架。

发明内容

首先，说明解决上述第一个问题的基板用框架。它可容纳多块基板，在上框体和下框体之间架设多个支承体；其特征为，上述下框体具有由互相交叉的二个格棂和四角形的框构成的为田字形的部分，同时，具有增强格棂；该增强格棂从自上述两个格棂的交点起沿着该两个格棂中的一个格棂离开第一距离的位置开始，与上述两个格棂中的另一个格棂不相交地，延伸到，自上述四角形框的角部起沿着该四角形框的直线部分离开第二距离的位置。

在基板用框架中，可容纳多块基板，在上框体和下框体之间架设多个支承体；其特征为，上述下框体具有由互相交叉的两个格棂和四角形的框构成的为田字形的部分，同时，具有增强格棂；该增强格棂从自上述两个格棂的交点起沿着该两个格棂中的一个格棂离开第一距离的位置开始，与上述两个格棂中的另一个格棂不相交地，延伸至上述四角形框的角部，或者，从自上述两个格棂的交点开始，延伸到，自上述四角形框的角部起沿着上述四角形框的直线部分离开第二距离的位置。

在上述基板用框架中，优选，上述第一距离，比从上述一个格棂和上述增强格棂的交点，与上述另一个格棂不相交地沿着上述一个格棂，到与上述四角形框相交的交点之间的距离小。上述第二距离，比从上述四角形框和上述增强格棂的交点，沿着包含该交点的上述四角形框的直线部分，至与上述一个格棂或上述另一个格棂相交的交点之间的距离小。

在上述基板用框架中，优选，将支承上述基板的支承片突出设置在上述支承体上。

又在上述基板用框架中，优选上述第一距离为80-200mm。优选上述第二距离为80-200mm。

在上述基板用框架中，也可由为田字形的框体构成上述上框体。

其次，说明解决上述第二个问题的基板用框架。这种基板用框架是将在上下方向每隔规定的间隔突出设置有支承基板的侧部支承片的多个支承体，连接在上框体下框体之间，形成长方体形的箱形结构的基板用框架，其特征在于，当收纳上述基板的框架的有效宽度为W，该侧部支承片的突出长度为L时，按1/4＜L/W＜1/2的关系设定上述侧部支承片。

另外，本发明的基板用框架是将在上下方向每隔规定的间隔突出设置有支承基板的侧部支承片的多个支承体，连接在上框体下框体之间，形成长方体形的箱形结构的基板用框架，当收纳上述基板的框架的有效宽度为W，该侧部支承片的突出长度为L时，按1/4＜L/W的关系设定上述侧部支承片；同时，将位于两侧的侧部支承片前端的间隔D，设定为至少可使基板出入用机械手的叉子通过的间隔。

在此，上述侧部支承片为棒状或板状，主体部分由金属材料制成或者由陶瓷材料制成或由碳纤维与合成树脂的复合材料制成，至少在前端设置有支承上述基板的支承部。

另外，上述侧部支承片优选在金属制的支承销的至少前端部和基部，设置支承上述基板的、合成树脂制的支承部。在此情况下，上述侧部支承片的支承销的全长上，用氟涂层或合成树脂覆盖。

另外，优选在上述支承体上，每隔开一定间隔，作出内外贯通的安装孔，在上述支承销的基端部，以该基端露出的状态一体形成与该支承体内面侧接合的合成树脂制的保持部件；同时，在该支承销的基端形成螺纹轴部，从内部将该螺纹轴部插入上述支承体的安装孔中，并且在使上述保持部件与支承体内面侧接合的状态下，从外部将螺母拧在上述螺纹轴部上，将侧部支承片突出设置在上述支承体。

在上述侧部支承片的支承销的基端部所设置的保持部件上，优选设置定位上述基板的侧边缘的缓冲部。

下面来说明解决上述第三个问题的基板用框架，是将配置在左右的、在上下方向每隔开规定的间隔就向内侧突出设置有支承基板的侧部支承片的多个支承体，连接在上框体和下框体之间，形成长方体形的箱形结构的基板用框架，它可装入宽度不同的至少两种上述基板；其特征在于，在上述侧部支承片的前端部，设置支承上述基板的左右侧部的侧部支承部，并在上述侧部支承片的基端部，设置可将第一种基板的左端或右端定位的外侧挡块，而在上述侧部支承片的中间部，设置可将宽度比上述第一种基板窄的第二种基板的左端或右端定位的内侧挡块。上述第一种基板通常是宽度为该基板用框架中可收纳的最大宽度的基板。

在上述基板用框架中，在同一个上述侧部支承片上具有分别与宽度不同的多个上述第二种基板对应的上述内侧挡块。

另外，优选，在上述基板用框架中，在所收纳的上述基板的后端处位置上，垂直设置与上述基板的深度尺寸对应而设的可装拆的中央部支承体，它与上述上框体和上述下框体连接；同时，在上述中央部支承体上，每隔上述规定的间隔，向前突出设置支承上述基板的后部支承片，在该后部支承片的前端部设置支承上述基板后部的后部支承部。

在上述基板用框架中，优选，上述后部支承部的上端的位置比上述侧部支承部上端的位置高，该侧部支承部设置在对由该后部支承部所支承的上述基板同时支承的上述侧部支承片上。

在上述基板用框架中，优选上述内侧挡块上端的高度，与上述侧部支承部上端的高度相等。

另外，在上述基板用框架中，优选，在上述内侧挡块上具有设置在比上述内侧挡块的上端低的位置处的、保持上述第二种基板的左端或右端的保持部，和从该保持部直立起来的限制部；同时，设定上述后部支承片的高度，使上述第二种基板的上述左端和上述右端，比上述侧部支承部低。

在上述基板用框架中，可以设定上述后部支承片的长度，使上述后部支承部支承上述基板的大致中心部。

在上述基板用框架中，可以在上述后部支承片的基端部设置将上述基板的后端定位的后部支承片后挡块。

在上述基板用框架中，可以在上述侧部支承片上具有侧部支承片后挡块，该侧部支承片后挡块将上述基板的后端定位，并在上下方向可以挠曲。

另外，在上述基板用框架中，可以在最前部的左右的上述支承体上，可以突出设置前侧部支承片代替上述侧部支承片，该前侧部支承片具有将上述基板的前端定位的前挡块。

附图说明

图1为实施例1的基板用框架的立体图。

图2为实施例1的基板用框架的平面图。

图3为将实施例1的基板用框架的下框体的一部分放大后的平面图；

图4(a)、(b)为表示框架定位导向块的基板用框架的下框体的平面图。

图5为实施例2的基板用框架的平面图。

图6(a)-(h)为表示支承装置等的支承部的形状与实施例1的基板用框架的下框体的关系的各种模式图(之一)。

图7(a)-(g)为表示支承装置等的支承部的形状与实施例1的基板用框架的下框体的关系的各种模式图(之二)。

图8(a)-(h)为表示支承装置等的支承部的形状与实施例2的基板用框架的下框体的关系的各种模式图(之一)。

图9(a)-(g)为表示支承装置等的支承部的形状与实施例2的基板用框架的下框体的关系的各种模式图(之二)。

图10(a)-(h)为表示支承装置等的支承部的形状与现有例子的基板用框架的下框体的关系的各种模式图(之一)。

图11(a)-(g)为表示支承装置等的支承部的形状与现有例子的基板用框架的下框体的关系的各种模式图(之二)。

图12为了夸张表示使用在模式图为图6(a)时的实施例1的框架的线形结构分析状况的图。

图13(a)为实施例3的基板用框架的下框体的平面图；(b)为实施例4的基板用框架的下框体的平面图。

图14(a)为实施例5的基板用框架的下框体的平面图，(b)为实施例6的基板用框架的下框体的平面图。

图15(a)为实施例7的基板用框架的下框体的平面图；(b)为实施例8的基板用框架的下框体的平面图。

图16为实施例9的基板用框架的整个侧视图。

图17为实施例9的基板用框架的主视图。

图18为表示实施例9的基板用框架的侧部支承片和侧部支承体的关系的部分立体图。

图19为将侧部支承片突出设置在实施例9的基板用框架的侧部支承体处的状态的一部分省略的截面图。

图20表示在实施例9的基板用框架中利用基板出入用机械手，将基板放入框架中前的状态的简略平面图。

图21表示在实施例9的基板用框架的利用基板出入用机械手，将基板放入框架中后的状态的简略平面图。

图22为用实施例9的基板用框架的两侧的侧部支承片支承基板的状态的简略正视图。

图23为实施例9的基板用框架的侧部支承片的另一个实施方式的立体图(之一)。

图24为实施例9的基板用框架的侧部支承片的另一个实施方式的截面图(之一)。

图25为实施例9的基板用框架的侧部支承片的另一个实施方式的立体图(之二)。

图26为实施例9的基板用框架的侧部支承片的另一个实施方式的截面图(之二)。

图27为表示实施例10的基板用框架的外观的立体图。

图28为将实施例10的基板用框架的可装拆的部分部件从框架中取出后的立体图。

图29为省略了实施例10的基板用框架的上框体的状态的平面图。

图30(a)为实施例10的侧部支承体的一部分的说明图；(b)为突出设置在侧部支承体上的侧部支承片的说明图。

图31为突出设置在实施例10的基板用框架的侧部支承体上的侧部支承片的立体图。

图32为突出设置在实施例10的基板用框架的角部支承体上的前端侧部支承片的立体图。

图33为突出设置在实施例10的基板用框架的角部支承体上的前端侧部支承片的说明图。

图34为表示实施例10的基板用框架的中央部支承体及其安装方法的说明图。

图35为表示将小型基板装入实施例10的基板用框架中的状态的说明图。

图36为表示实施例10的基板用框架的侧部支承片和后部支承片的关系的说明图。

图37为表示将大型基板或中型基板装入实施例10的基板用框架中的状态的说明图。

图38(a)为在实施例10的基板用框架中具有侧面后挡块的侧部支承片的立体图；(b)为其说明图。

图39为立设在实施例10的基板用框架的角部支承体上的前端侧部支承片的另一个例子的立体图。

符号说明：J基板插入方向；S基板；SA大型基板；SB中型基板；SC中型基板；SD中型基板；SE中型基板；SF小型基板；R基板出入用机械手；1上框体；1a上框体纵杆；1b上框体横杆；1c上框体纵格棂；1d上框体横格棂；2下框体；2a下框体纵杆；2b下框体横杆；2c下框体纵格棂；2d下框体横格棂；2e增强格棂；2f角部；2g交点；2h基点；2j到点；2k增强格棂；2m到点；2n纵杆中点；2p横杆中点；2q增强格棂；2r基点；2s增强格棂；2t增强格棂；2u增强格棂；2v增强格棂；2w增强格棂；3侧部支承体；5侧部支承片；6后部支承体；8水平增强格棂；9斜的增强格棂；10角部支承体；11防止飞出片；12框架定位导向块；13框架定位导向台；22下框体；24前挡块；25后挡块；26侧部支承片；27开口部；29支承销；30，31支承部；32覆盖部；33保持部件；34螺纹轴部；35缓冲部；36安装孔；37螺母；38叉子；39支承片；40突起；41孔；42突起物；43支承部；44后部支承体；45角部支承体；46中央部支承体；46a中央部支承体安装孔；46b L形安装片；46c L形安装片的安装孔；46d安装螺钉；46e安装螺母；47侧部支承片；47a侧部支承销；47b侧部支承部；47c外侧挡块；47c1外侧挡块保持部；47c2外侧挡块限制部；47d内侧挡块；47d1内侧挡块上端；47d2内侧挡块保持部；47d3内侧挡块限制部；47e侧部支承片后挡块；48最后部支承片；49后部支承片；49a后部支承销；49b后部支承部；49c后部支承片的后挡块；50前侧部支承片；50a侧部支承销；50b前挡块；50c前挡块；62现有例子的基板用框架的下框体。

具体实施方式

下面，根据附图来详细说明本发明的实施方式。图1为本发明实施例1的基板用框架的立体图，图2为其平面图。在图1和图2中，实施例1的基板用框架作成长方体形状的箱形结构，它由8根侧部支承体3，2根后部支承体6和二根角部支承体10架设在纵向为长度方向的长方形下框体2和同样纵向为长度方向的长方形上框体1之间构成。该基板用框架的大小能容纳纵向为1800mm、横向为1500mm以上的基板。图中，箭头J表示基板S插入实施例1的基板用框架中的方向，它与上述纵向为同一个方向。

图3为下框体2的一部分的放大图。在图2和图3中，下框体2具有由下框体纵杆2a和下框体横杆2b形成的四角形框、和设置在该四角形框内的、由作为相互交叉的二根格棂的下框体纵格棂2c与下框体横格棂2a构成的大约为田字形的部分，同时，下框体2还具有增强格棂2e，它从自上述二个格棂的交点2g起并沿着作为二个格棂中的一个格棂的下框体纵格棂2c离开第一距离的基点2h，不与作为上述二个格棂中的中另一个格棂的下框体模格棂2d相交地，延伸到，自四角形框的角部2f起并沿着四角形框的下框体纵杆2a的直线部分离开第二距离的点2j。另外，在图2和图3中，角部2f为下框体纵杆2a的中心线与下框体横杆2b的中心线的交点；交点2g为下框体纵格棂2c的中心线与下框体横格棂2d的中心线的交点；基点2h为下框体纵格棂2c的中心线与增强格棂2e的中心线的交点。因此，到点2j为下框体纵杆2a的中心线与增强格棂2e的中心线的交点。此外，纵杆中点2n为下框体纵杆2a的中心线与下框体横格棂2d的中心线的交点。横杆中点2p为下框体横杆2b的中心线与下框体纵格棂2c的中心线的交点。

这样，上述第一距离为从交点2g至基点2h的距离，为图3中的L11。该第一距离L11设定成，比从自作为一个格棂的下框体纵格棂2c和增强格棂2e的交点的基点2h起，不与作为另一个格棂的下框体横格棂2d相交地沿着作为上述一个格棂的下框体纵格棂2c，到作为与上述四角形框的下框体横杆2b相交的交点的横杆中点2p之间的距离L12小。

上述第二距离为从角部2f至到点2j的距离，为图3中的L21。该第二距离L21设定成，比从作为四角形框的下框体纵杆2a和增强格棂2e的交点的到点2j起，沿着含有该到点2j的四角形框的下框体纵杆2a的直线部分，到与作为另一个格棂的下框体横格棂2d相交的交点的纵杆中点2n之间的距离L22小。

上述增强格棂2e不是从交点2g而是从离开该交点2g的基点2h，架设到不是角部2f而是离开角部2f的到点2j。当放置基板用框架时，如图4(a)(b)所示，在作为定位用的地方上作出的平面形状大致为正方形的框架的定位导向块12，嵌入下框体2的角部2f的内侧四个角中和在下框体纵格棂2c与下框体横格棂2d的交点2g周围形成的四个角中；因此可以确保空间。另外上述第一距离L11和第二距离L21，可以大约为平面形状大致为正方形的框架定位导向块的一边的长度，实用上该规定距离为80-200mm。第一距离L11和第二距离L21，不是必需作成相同的，可以根据情况，作成不同的尺寸，图4中，13为具有该框架定位导向块12的框架定位台。

另外，如图4(a)所示，在只使用具有嵌入下框体2的角部2f的内侧四个角中的定位导向块12的框架定位台13时，第一距离L11可以为零。此时，如图14(a)的实施例5所示，可将增强格棂2t设置成从下框体纵格棂2c和下框体横格棂2d的交点2g起，到自四角形框的角部2f起并沿着下框体纵杆2a的直线部分离开第二距离L21的到点2j。又如图4(b)所示，在只使用具有嵌入在下框体纵格棂2c和下框体横格棂2d的交点2g周围形成的四个角中的定位导向块12的框架定位台13的情况下，第二个距离L21也可以为零。在这种情况下，如图14(b)的实施例6所示，可将增强格棂2u设置成从自下框体纵格棂2c和下框体横格棂2d的交点2g起沿着下框体纵格棂2c离开第一距离L11的节点2h，不与下框体横格棂2d相交地，到上述四角形框的角部2f。

上框体1由一个田字形框体构成，该田字形框体则由上框体纵杆1a和上框体横杆1b组成的四角形框，将该四角形框的框面在横向分为两部分的上框体纵格棂1c，和上框体横格棂1d构成，该上框体横格棂1d与该上框体纵格棂1c交叉，并且将由上述上框体纵杆1a和上框体横杆1b组成的四角形框的框面在纵向分为两部分。另外，侧部支承体3…直立设置在下框体2的下框体纵杆2a上，架设在与上框体1的上框体纵杆1a之间，后部支承体6、6直立设置在下框体2的后部下框体横杆2b上，架设在与上框体1的后部的上框体横杆1b之间，这样，直立设置在下框体2的下框体纵杆2a和前部的下框体横杆2b形成的角上的角部支承体10、10，架设在与上框体1的上框体纵杆1a和前部的上框体横杆1b形成的角之间。为了增强侧部支承体3，设置有水平增强格棂8和斜的增强格棂9。

在这个基板用框架中，为了支承从前方插入的基板S，在侧部支承体3…上，向着内侧突出设置有多个侧部支承片5…。另外，为了防止从前方插入的基板S向前方飞出，在角部支承体10、10上具有防止飞出片11。

在上述实施例1的基板用框架中，下框体2的增强格棂2e架设在从自下框体纵格棂2c与下框体横格棂2d的二个格棂的交点2g起沿着作为二个格棂中的一个格棂的下框体纵格棂2c离开第一距离的基点2h开始，不与作为上述二个格棂中的另一个格棂的下框体横格棂2d相交地，到，自四角形框的角部2f起沿着四角形框的下框体纵杆2a的直线部分离开第二距离的到点2j之间，但是增强格棂的架设位置也可以与该位置不同。在如图5所示的实施例2的基板用框架中，下框体2的增强格棂2k，架设在从自上述二个格棂的交点2g起沿着作为二个格棂中的一个格棂的下框体纵格棂2c离开第一距离的基点2h开始，不与作为上述二个格棂中的另一个格棂的下框体横格棂2d相交地，到，自四角形框的角部2f沿着四角形框的下框体横杆2b的直线部分离开第二距离的到点2m之间。

在这种情况下的第一距离，与实施例1相同，为从交点2g至基点2h的距离。这个第一距离设置成，比从作为一个格棂的下框体纵格棂2c和增强格棂2e的交点的基点2h开始，不与作为另一个格棂的下框体横格棂2d相交地，沿着作为上述一个格棂的下框体纵格棂2c，到作为与上述四角形框的下框体横杆2b相交的交点的横杆中点2p为止的距离小。

另一方面，第二距离为从角部2f至到点2m的距离。这个第二距离比从作为四角形框的下框体横杆2b和增强格棂2e的交点的到点2m开始，沿着含有该到点2m的四角形框的下框体横杆2b的直线部分，到作为与一个格棂的下框体纵格棂2c相交的交点的横杆中点2p为止的距离小。

实施例2的基板用框架是上述增强格棂2k的架设位置，与实施例1的基板用框架的增强格棂2e的架设位置不同，其他部分与实施例1的基板用框架完全相同。

又，在实施例2的情况下，也与实施例1相同，在如图4(a)所示的只使用具有嵌入下框体2的角部2f的内侧四个角中的定位导向块12的框架定位台13的情况下，第一距离L11可以为零。在这种情况下，如图15(a)所示，增强格棂2v设置成从下框体纵格棂2c和下框体横格棂2d的交点2g起，到，自四角形框的角部2f起沿着下框体横杆2b的直线部分离开第二距离L21后的到点2m。另外，如图4(b)所示，在只使用具有嵌入在下框体纵格棂2c和下框体横格棂2d的交点2g周围形成的四个角中的定位导向块12的框架定位台13的情况下，第二个距离L21也可以为零。在这种情况下，可如图14(b)那样设置增强格棂2u。

上述实施例1和实施例2的基板用框架，在基板S插入内部并保持在内部的状态下，可用升降叉车等搬运，将它们装入各种支承装置中。支承这种基板用框架的重量所使用的升降叉车等搬运装置或支承装置的支承部的形状，根据搬运装置或支承装置的不同而不同；另外，这种装置的支承部，在与基板用框架接触的部分不同。图6和图7为表示支承实施例1的基板用框架的重量时，有关支承装置等的支承部的形状和实施例1的基板用框架的下框体2的关系的各种模式图。斜线部分表示支承装置等的支承部的形状。同样，图8和图9表示实施例2的基板用框架。

在上述实施例1和实施例2的基板用框架，在将基板S插入内部并保持的状态下，利用这种支承装置等支承其重量的情况下，当基板用框架产生一定值以上的挠度时，在搬运该基板用框架时，对装在其中的基板S有不好的影响。其次，在上述实施例1和实施例2的基板用框架用上述支承装置等支承其重量的情况下，为了研究产生多大的挠度，可利用ANSYS6.0结构分析程序，通过模拟进行线形结构分析。该线形结构分析用的基板用框架大小如上所述能容纳纵向尺寸为1800mm、横向尺寸为1500mm以上的基板。根据试算，实施例1的基板用框架的重量为115.6kg，实施例2的基板用框架的重量为115.7kg。

另外，这种用模拟进行的线性结构分析，除了上述实施例1和实施例2的基板用框架以外，也可在现有例子的基板用框架上进行。这种现有例子的基板用框架是，除了其下框体的结构是除去实施例1和实施例2的基板用框架的下框体的增强格棂2e或增强格棂2k的状态、即下框体为田字形的框体以外，其他部分(包括材质和大小)都与实施例1和实施例2的基板用框架完全相同。因此，这种现有例子的基板用框架，与实施例1和实施例2的基板用框架相同，其大小能容纳纵向尺寸为1800mm、横向尺寸为1500mm以上的基板。另外，现有例子的基板用框架是其各个部件的厚度，与实施例1和实施例2相同，假设有重量为112.3kg的第一现有例子的基板用框架，和通过改变各部分的部件厚度而强度不同的重量为120.1kg的第二现有例子的基板用框架、以及重量为123.8kg的第三现有例子的基板用框架。图10和图11表示支承装置等的支承部的形状和上述各个现有例子的基板用框架的下框体2的关系的各种模式。图中62为现有例子的基板用框架的下框体。

表1和表2表示这种线性结构分析的结果。表1为实施例1和实施例2的基板用框架的分析结果，表2为第一现有例子和第二现有例子及第三现有例子的基板用框架的分析结果。实际的分析，如图12所示那样，只对基板用框架的右半部进行。在分析中，按从面前开始的顺序，称侧部支承体3…为支柱1、支柱2、支柱3、支柱4；称位于右侧的后部支承体6为支柱5。挠度量表示分析结果得到的值的最大值。另外，产生部位支柱号表示挠度量的最大值发生部位的支柱号；产生部位号中的括弧表示产生部位附近。图12为实施例1的框架的支承装置等的支承部的形状和基板用框架的下框体2的关系模式图，它夸张地表示图6(a)情况下的线形结构分析的状况。另外，在表1和表2中，简单地称基板用框架为框架。

表1

实施例1的框架			实施例2的框架
						重量：115.6kg			重量：115.7kg
模式图	挠度量(mm)	产生部位支柱号	模式图	挠度量(mm)	产生部位支柱号
						图6(a)	0.044	1	图8(a)	0.045	2

图6(b)	0.19	2	图8(b)	0.18	2
						图6(c)	0.33	4	图8(c)	0.28	4
图6(d)	1.81	1	图8(d)	1.97	1
						图6(e)	1.61	1	图8(e)	1.17	(1)
图6(f)	0.15	1	图8(f)	0.13	1
						图6(g)	1.15	1	图8(g)	0.97	4
图6(h)	0.27	2	图8(h)	0.23	2
						图7(a)	0.19	2	图9(a)	0.18	1
图7(b)	1.63	1	图9(b)	1.62	1
						图7(c)	0.40	4	图9(c)	0.35	4
图7(d)	0.88	4	图9(d)	0.80	4
						图7(e)	0.44	(4)	图9(e)	0.70	4
图7(f)	0.25	4	图9(f)	0.26	4
						图7(g)	1.21	1	图9(g)	1.33	1

表2

现有例子的框架	第一	第二	第三
				重量	112.3kg	120.1kg	123.8kg
模式图	挠度量(mm)	挠度量(mm)	挠度量(mm)
				图10(a)	0.045	0.030	0.028
图10(b)	0.20	0.14	0.12
				图10(c)	0.34	0.25	0.22
图10(d)	2.73	1.79	1.53
				图10(e)	2.46	1.61	1.37
图10(f)	0.15	0.11	0.10
				图10(g)	1.19	0.81	0.71
图10(h)	0.26	0.91	0.17
				图11(a)	0.23	0.15	0.14
图11(b)	3.06	2.00	1.71

图11(c)	0.41	0.30	0.26
				图11(d)	0.89	0.62	0.55
图11(e)	0.80	0.56	0.49
				图11(f)	0.32	0.22	0.19
图11(g)	1.67	1.11	0.95

从表1和表2中可看出，实施例1的基板用框架和实施例2的基板用框架，与第一现有例子的基板用框架比较，挠度量的最大值减小。实用上，挠度量的界限值为2mm。实施例1的基板用框架和实施例2的基板用框架中的任何一个的挠度量的最大值，都在界限值以下。另外，即使在现有例子的基板用框架中，强度提高后的第二现有例子的基板用框架及第三现有例子的基板用框架，虽然也可满足以实施例1的基板用框架或实施例2的基板用框架的值为标准的挠度量的最大值；然而其重量都比实施例1的基板用框架或实施例2的基板用框架重。因此，通过利用实施例1的基板用框架或实施例2的基板用框架，可以提供框架中产生的挠度对装入的基板没有影响、而且可以尽可能抑制重量增加的框架。

在上述实施例1中，将增强格棂2e设置成从下框体纵格棂2c上的基点2h延伸至下框体纵杆2a上的到点2j；而在实施例2中，将增强格棂2k设置成从下框体纵格棂2c上的基点2h延伸至下框体横杆2b上的到点2m。但是，不是仅限于此，如图13(a)的实施例3所示，增强格棂2q也可设置成从下框体横格棂2d上的基点2r延伸至下框体纵杆2a上的点2j。在这种情况下的第一距离，为从交点2g至基点2r的距离；而第二距离为从角部2f至到点2j的距离。或者，如图13(b)的实施例4所示，增强格棂2s设置成从下框体横格棂2d上的基点2r延伸至下框体横杆2b上的点2m也可以。在这种情况下，第一距离与上述相同，为从交点2g至基点2r的距离；而第二距离为从角部2f至到点2m的距离。在这种情况下，第一个距离和第二个距离的设定，也可与上述实施例1和实施例2相同。即使在这种情况下，可以得到与上述实施例1和实施例2相同的作用和效果。

另外，在上述例子中，如图4(a)所示，在只使用具有嵌入到下框体2的角部2f的内侧四个角中的定位块12的框架定位台13的情况下，第一距离也可以为零。在这种情况下，如图15(a)的实施例7所示的那样，设置增强格棂2v。又如图4(b)所示，在只使用具有嵌入到在下框体纵格棂2c和下框体横格棂2d的交点2g的周围形成的四个角中的定位导向块12的框架定位台13的情况下，第二距离也可以为零。在这种情况下，如图15(b)所示的实施例8那样，增强格棂2w设置成从自下框体纵格棂2c和下框体横格棂2d的交点2g起沿着下框体横格棂2d离开第一距离的基点2r开始，与下框体纵格棂2c不相交地延伸至上述四角形框的角部2f。

其次，说明本发明实施例9的基板用框架。图16和图17表示本发明的实施例9的基板用框架的全体图，图18和图19表示其主要部分。图中，符号1表示上框体，2表示下框体，3表示侧部支承体，24表示前挡块，25表示后挡块，26表示侧部支承片，S表示基板，R表示基板出入用机械手。

实施例9的基板用框架，用多个侧部支承体3、…连接外形为长方形的上框体1和下框体2的两侧面部之间；同时，前端部之间用前挡块24、24连接，后端部之间用后挡块25、25连接，形成长方体形状。上框体1采用上述实施例1的结构；下框体2的结构也采用上述实施例1的结构。但下框体2的结构不是仅限于这个结构，可以采用上述实施例2-8中任何一个的结构。另外，在侧部支承体3上，沿着上下方向每隔一定间隔，向内部突出设置用于支承超大型玻璃基板S的侧部支承片26…，前面则作出使基板S出入用的开口部27。在本实施例中，在两侧面部上，以大致相等的间隔分别装有4根侧部支承体3、…，但是由于必要的侧部支承片26…的块数可根据基板S的尺寸和弯曲刚性决定，侧部支承体3可与其相适应地设置。

上框体1和下框体2为由铝制成的框体，侧部支承体3用截面大致为コ字形的SUS(不锈钢)制成，前挡块24由SUS和合成树脂的复合体制成，后挡块25由合成树脂制成。

又如图18和图19所示，在侧部支承体3的内表面上，每隔一定间隔，突出设置侧部支承片26…。侧部支承片26是，至少在金属制的支承销29的前端部，设置支承基板S的、合成树脂制的支承部30。更详细地说，侧部支承片26是至少在支承销29的是前端部和基部作出支承基板S的合成树脂制的支承部30、31。在本实施例中，通过将支承销29镶嵌成形，在前端部和基部形成支承部30、31的同时，该支承销29的全长用合成树脂覆盖。图中的符号32为合成树脂的覆盖部。另外，覆盖部32也可不用合成树脂制成，而将支承销29的外圆周面全长用氟涂层覆盖也可以。另外，侧部支承片26空余支承销29的基端而在基端部一体形成与侧部支承体3的内面侧接合的合成树脂制保持部件33，同时，在该支承销29的基端作出螺纹轴部34，该保持部件33的上部向上延伸，成为将基板S的侧边缘定位的倾斜的缓冲部35。

另外，在侧部支承体3上，每隔一定间隔作出内外贯通的安装孔36…，在将构成侧部支承片26的支承销29的螺纹轴部34，从内部插入侧部支承体3的安装孔36中，并且使保持部件33与侧部支承体3的内表面接合的状态下，将螺母37从外侧拧在螺纹轴部34上，在侧部支承体3上形成侧部支承片26。这里，支承销29由SUS或钛制成，支承部30、31和保持部件33由具有耐磨性的PEEK制成。另外，不是仅限于将侧部支承片26突出设置在侧部支承体3上的的结构。例如，也可以在保持部件33和侧面支承体3之间设置一定间隔并安装支承销29。

本实施例的基板用框架的外形尺寸为：横向宽度为1460mm，高度为1990mm，深度为1680mm，有效宽度W为1370mm，侧部支承片26的上下间距为70mm，由24层构成。侧部支承片26的突出长度大约为380-550mm，支承销29的直径为10-14mm。两侧的侧部支承片26、26的前端间隔大约为610-270mm。在本发明中，当令有效宽度为W，侧部支承片26的突出长度为L时，则可设定1/4＜L/W＜1/2。当使用上述具体的数值时，由于L/W比1/4大，因此侧部支承片26的突出长度L必需比342.5mm长。这样，可在该基板用框架中多层收纳1350mm×1650mm、厚度0.7mm的玻璃基板S。

其次，根据图20-图22来说明用于使基板S在本发明的基板用框架中出入的基板出入用机械手R，和实际利用该机械手使基板S出入的次序。在本发明基板用框架中，由于设定上述的L/W比1/4大，即侧部支承片26的突出长度长，因此，两偶的侧部支承片26、26的间隔与基板S比较非常狭窄，利用现有结构的搬运基板的叉子，则会偏向基板S的中央部分进行支承，这样基板侧边缘部弯曲大，因此，不但使作用在基板上的应力过大，而且必需增大框架的上下侧部支承片26、26的间隔，否则不能取出和放入基板。

在本实施例中，在宽度比两侧的侧部支承片26、26前端的间隔D狭窄的叉子38、38的两侧，突出设置多块支承片39…；在各个支承片39的至少是前端和基端部，突出设置支承基板S的用合成树脂制成的突起40、40。突起40的个数、间隔和高度，根据在将基板S的背面放在其上时，即使该基板S弯曲，也不与叉子38、38和支承片39直接接触的条件来设计。另外，支承片39的结构与侧部支承片26相同，将突出设置在叉子38的长度方向的间隔，设定成与前后的侧部支承体3、3的间隔大致相同。由于侧部支承片26的突出长度L为550mm时，两个侧部支承片26、26的间隔D为270mm，所以叉子38、38的外侧之间的宽度约为250mm，支承片39的突出长度约为400mm。这样，基板出入用机械手R的叉子部分的全部宽度大约为1050mm。当将横向宽度为1350mm的基板S支承在该叉子部分上时，从支承片39的前端伸出大约150mm，这部分的挠度量很小。

另外，在用基板出入用机械手R将基板S装入框架中时，首先，在将基板S放置在基板出入用机械手R的叉子部分上的状态下，使叉子38、38位于两侧的侧部支承片26、26的前端之间(间隔D的部分)，从框架的开口部27进入上下的侧部支承片26、26之间的间隔中，在基板S的进深端部接近或接触后挡块25、25的状态下，使叉子38、38停止前进。当叉子38、38下降时，支承片39通过前后的侧面支承26、26之间而下降，利用侧部支承片26…的支承部30、31…支承基板S的背面。以后，使叉子38、38后退，从框架中退出。由于将与侧部支承片26同样的突起物42在比侧部支承片26高一些的位置上设置在前挡块24、24上，因此在将基板S放入框架中的状态下，突起物42可限制基板S向前移动。在将放在框架中的基板S取出的情况下，可使上述动作相反地进行。

如图22所示，在用两侧的侧部支承片26…支承基板S，实际上是用支承部30、31…支承基板S的状态下，基板的中央部向下弯曲。当侧部支承片26的长度L在有效宽度W的1/4以下时，中央部的挠度量极端地增大；同时基板S的侧边缘向上方跳起，基板S的中央部受到过大的应力作用，又因为基板S的中央部向下变形，侧边缘向上变形，使上下的侧部支承片26、26的间隔要非常的大，不实用。然而如果使L/W比1/4大，则基板S的中央部的挠度量可减小，同时，基板S的侧边缘作用在侧部支承片26的基部上的负载增大。因此，优选是减小作用在侧部支承片26的前端的负载，减小侧部支承片26本身的挠度。另外，当侧部支承片26很长时，由于与侧部支承片26的中央部对应的基板S的部分弯曲，与支承销29的轴部接触，因此，优选在该支承销29的中央部设置支承部。

图23和图24表示侧部支承片26的另一个实施方式。在支承销29的前端部作出上下贯通的孔41或凹部，将合成树脂制的支承部30嵌入该孔41或凹部中；或者利用镶嵌成形的方法，将支承部30与之一体化，进而，可在支承销29的基端部空余基端的螺纹轴部34而将合成树脂制的保持部件33同样地一体化，将支承部31与保持部件33作成一体。

图25和图26表示侧部支承片26的又一个实施方式。它是比图23和图24所示的侧部支承片更长的侧部支承片26，在支承销29的中央部设置与支承部30同样的支承部43。由于其他的结构相同，所以用相同的符号表示相同的结构，说明省略。

另外，在上述实施方式中，所表示的侧部支承片26为棒状，但板状也可以，作为主要部分，除了用金属材料以外，也可以采用陶瓷材料或碳纤维与合成树脂的复合材料制成，在这种情况下，至少在前端部要作出支承基板S的支承部30。另外，在上述实施方式中，表示了将1350mm×1650mm、厚度为0.7mm的玻璃基板S放入框架中的例子，对于1470mm×1770mm、厚度为0.7mm的玻璃基板或更大型的基板也适用。除了玻璃基板以外，可以放置合成树脂制的薄膜状基板。

其次来说明本发明的实施例10的基板用框架。图27为表示实施例10的基板用框架的外观的立体图，图28为在图27中将可以装拆的一部分部件(中央部支承体)从框架中取出的立体图，图29为省略了实施例10中的基板用框架的上框体的状态的平面图。图中，箭头J表示基板插入实施例10的基板用框架中的插入方向。如图27、图28和图29所示，实施例10的基板用框架具有长方体形的箱形结构，将12根侧部支承体3和二根后部支承体44与二根角部支承体45连接在由上框体纵杆1a和上框体横杆1b组成的长方形上框体1，和由下框体纵杆2a与下框体横杆2b组成的下框体2之间构成。这里，侧部支承体3，后部支承体44和角部支承体45，与上述的支承体相当。

上框体1采用上述实施例1的结构，下框体2的结构了采用上实施例1的结构，但下框体2的结构不是仅限于此，也可以采用上述实施例2-8中任何一个的结构。另外，在左右的下框体纵杆2a上分别竖立6根侧部支承体3；在下框体2的内部的下框体横杆2b上竖立2根后部支承体44，而在下框体纵杆2a与前面的下框体横杆2b形成的角上，设置2根角部支承体45。由于要支承从前方插入基板用框架中的基板，因此，在上下方向，每隔一个规定的间隔，向着内部突出地在侧部支承体3、后部支承体44和角部支承体45上，分别设置多个侧部支承片47、多个最后部支承片48和多个前侧部支承片50。

在实施例10的基板用框架中，可以装入大小不同的大型基板，中型和小型基板。大型基板的宽度和深度尺寸都是可以容纳的最大尺寸；中型基板的宽度尺寸为可容纳的最大尺寸，而深度尺寸比可容纳的最大尺寸小；小型基板的宽度尺寸和深度尺寸都比可容纳的最大尺寸小。具体地，图29中双点划线表示的部分表示基板的形状，作为大型基板，有SA一种；作为中型基板，有SB、SC、SD和SE共4种；作为小型基板有SF一种，合计6种。

大型基板SA是其后端部用最后部支承片48支承。中型基板的后端附近的左右侧部是，中型基板SB用最后面侧部支承片47支承；中型基板SC用从后面数的第二块侧部支承片47支承；中型基板SD用从后面数的第三块侧部支承片47支承；中型基板SE用从后面数的第四块侧部支承片47支承。即：深度尺寸关系为SA＞SB＞SC＞SD＞SE。另外，小型基板SF是其后端附近的左右侧部，用从后面数的第三块侧部支承片47支承，另外，小型基板SF的深度尺寸关系为：SD＞SF＞SE。

这里，宽度尺寸为可容纳最大尺寸的SA、SB、SC、SD和SE基板，相当于上述的第一种基板；而宽度尺寸比这些基板小的SF基板，相当于上述的第二种基板。

如图30(a)、(b)和图31所示，突出设置在侧部支承体3的侧部支承片47由金属制的侧部支承销47a，在其前端部具有的侧部支承部47b，在侧部支承销47a的基端部具有的外侧挡块47c和在侧部支承销47a的中间具有的内侧挡块47d构成。侧部支承部47b的上端面为水平面，用于支承大型基板SA、中型基板SB(SC、SD、SE)或小型基板SF的左右侧部。外侧挡块47c用于将大型基板SA或中型基板SB(SC、SD、SE)的左端或右端定位并支承；它由上表面为水平面的外侧挡块保持部47c1，和从外侧挡块保持部47c1直立起来的外侧挡块限制部47c2构成。外侧挡块限制部47c2缓慢地向上方外侧倾斜，容易将大型基板或中型基板的左端或右端定位。内侧挡块47d用于将小型基板SF的左端或右端定位并支承，它由上表面为水平面的内侧挡块保持部47d2，和从该内侧挡块保持部47d2直立起来的内侧挡块限制部47d3构成。如图30(b)所示，侧部支承片47的各个部位构成如下：与内侧挡块限制部47d3相连的内侧挡块上端部47d1的上面的高度，与侧部支承部47b的上端面的高度和外侧挡块保持部47c1的上面高度相等；同时，内侧挡块保持部47d2的上面的高度比该高度低。

另外，使上述侧部支承片47突出设置在角部支承体45上也可以。在实施例10中，如图32所示，突出设置有由金属制的侧部支承销50a，和其前端所具有的前挡块50b构成的前侧部支承片50，以代替侧部支承片47。前侧部支承片50所具有的前挡块50b的高度，比侧部支承片47所具有的侧部支承部47b高，这样，如图33所示，具有防止装入的基板向前方飞出的功能。作为前挡块，可以使用具有图39所示的台阶的前挡块50c。

为了将宽度尺寸和深度尺寸都比可容纳的最大尺寸小的小型基板SF装入上述实施例10的基板用框架中，可如图34所示，将可以装拆的中央部支承体46直立设置安装在上述基板用框架的下框体纵格棂2c上。即：在下框体2的下框体纵格棂2c的上表面上的位置上，预先将L形安装片46b焊接在与装入上述基板用框架中的小型基板SF的后端边中点附近的位置相当的位置上。中央部支承体46的下端部与该L形安装片46b连接，中央部支承体46直立设置在下框体纵格棂2c上；同时，通过安装螺钉46d和安装螺母46e，使用中央部支承体46下端的中央部支承体安装孔46a和L形安装片46b的L形安装片安装孔46c，将中央部支承体46固定在L形安装片46b上。与该L形安装片46b同样的安装片，焊接在上框体纵杆1a的下表面，将中央部支承体46的上端和上述一样，固定在该安装片上。

在中央部支承体46上，以与侧部支承体3上突出设置的侧部支承片47的间隔相同的间隔，向前方突出设置有支承小型基板SF用的后部支承片49。如图34所示，该后部支承片49由金属制的后部支承销49a、其前端所具有的后部支承部49b，和后部支承销49a的基端部所具有的后部支承片的后挡块49c构成。由于后部支承片的后挡块49c将小型基板SF的后端定位并支承，因此，在装入过程中小型基板SF不能在前后方向移动，可以稳定地装入。后部支承部49b用于支承小型基板SF，其上表面为水平面。另外，后部支承销49a的长度为达到小型基板SF的中心部附近的长度，以便后部支承部49b可支承小型基板SF的中心附近。这样，利用后部支承部49b，可以稳定地支承小型基板SF。

图35表示利用侧部支承片47和后部支承片49，支承小型基板SF的状态；图36表示侧部支承片47和后部支承片49的关系。如上所述，小型基板SF的左右侧部由侧部支承片47的侧部支承部47b支承，同时，小型基板SF的左端和右端，用侧部支承片47的内侧挡块47d定位支承。又如图35和图36所示，后部支承片49按照如下方式安装在中央部支承体46上：后部支承部49b的上表面的高度，位于比侧部支承片47的侧部支承部47b的上表面高度高的位置上，该支承部47b支承着后部支承部49b所支承的相同小型基板SF的侧部；图36所示的侧部支承部47b和后部支承部49b的高度差L3，应设定成使小型基板SF的左端和右端，比侧部支承部47b的上端面低。又如上所述，将小型基板SF的左端或右端定位并支承的内侧挡块保持部47d2的上表面高度，比侧部支承部47b的上端面的高度低。放入的小型基板SF，如图35所示，在缓慢地向上方膨出弯曲的状态下，其左端和右端由内侧挡块47d定位并支承，因此，尽管小型基板SF的宽度尺寸比可容纳在实施例10的基板用框架的最大尺寸小，仍可防止小型基板SF在实施例10的基板用框架内横向移动，因此，可以稳定的状态下，容纳小型基板SF。

在上述实施例10的基板用框架中只装入一种小型基板SF，但不只是限于此，也可以容纳尺寸不同的多个小型基板，在这种情况下，与小型基板的宽度对应而将内侧挡块47d安放在侧部支承片47的侧部支承销47a的最佳位置上；同时，中央部支承体46的安装位置和突出设置在中央部支承体46的后部支承片49的长度，也应与小型基板的深度对应而设定为最适。

另外，在同一个侧部支承片47的侧部支承销47a上，可以具有几个或全部分别与装入的宽度尺寸不同的多个小型基板对应的内侧挡块47d；这些宽度尺寸不同的多个小型基板中的任何一个都可装在同一个侧部支承片47上。这样，可以用一个基板用框架，收纳宽度尺寸不同的基板，因此可以灵活地使用基板用框架。

在将大型基板SA或中型基板SB、SC、SD或SE中的任何一种装入上述实施例10的基板用框架中的情况下，可以不需要为装入小型基板SF而设置的中央部支承体46，在装入大型基板SA和中型基板SB、SC、SD或SE的情况下，根据其深度尺寸，有必要取出。图37表示在上述实施例10的基板用框架中，装入宽度尺寸为可容纳的最大尺寸的大型基板SA或中型基板SB、SC、SD或SE中任何一种的状态。如上所述，大型基板SA或中型基板SB、SC、SD或SE的左端或右端，由外侧挡块47c定位并支承，其左右侧部由侧部支承部47b支承，如图37所示，保持呈波浪形弯曲状态。在这种情况下，如上所述，如图30(b)所示，由于侧部支承片47的内侧挡块上端部47d1的上端高度，与侧部支承部47b的上端高度相等，因此装入的基板与内侧挡块上端47d1的上端接触，不会破坏平衡，可以稳定地容纳大型基板和中型基板。

利用上述实施例10的基板用框架，可以提供这样一种基板用框架：在突出设置侧部支承体3上的侧部支承片47上设置侧部支承部47b，外侧挡块47c和内侧挡块47d；全部装入的基板的左右侧部都由侧部支承部47b支承；同时，宽度尺寸为可容纳的最大尺寸的大型基板和中型基板的左端或右端，由外侧挡块47c定位并支承，宽度尺寸比可容纳的最大尺寸小的小型基板的左端或右端，由内侧挡块47d定位并支承，没有必要根据装入基板而调整框架的宽度。

在上述实施例10的基板用框架中，在利用该基板用框架装入中型基板SB、SC、SD或SE，或小型基板SF的情况下，如图38(a)所示，也可以在突出设置侧部支承体3的侧部支承片47上，设置侧部支承片的后挡块47e。这样，如图38(b)所示，由于侧部支承片后挡块47e使中型基板或小型基板的后端定位，在装入过程中，中型基板不能向后移动，因此可以稳定地收纳。在这种情况下，优选利用有挠性的树脂等制造侧部支承片后挡块47e，这样，侧部支承片后挡块47e，可在上下方向挠曲，这种结构有下列优点。即：如图38(b)所示，在装入深度尺寸长的基板的情况下，比具有定位基板后端的侧部支承片后挡块47e的侧部支承体3还靠前的侧部支承体3的侧部支承片后挡块47e的后端上端，在覆盖在其上的基板的重力作用下，被压向下方时，由于侧部支承片后挡块47e按照侧部支承片后挡块47e的后端向下下降的方式弯曲，因此，可防止过大的力作用在覆盖在其上的基板上。

另外，在利用上述实施例10的基板用框架收纳中型基板SB、SC、SD或SE的情况下，也可以合用上述容纳小型基板SF用的中央部支承体46。这样，由于突出设置在中央部支承体46上的后部支承片49的后部支承部49b支承中型基板SB、SC、SD或SE的中心部附近，因此可以稳定地收纳中型基板。

在上述实施例10中，如实施例9所述那样，当令收纳基板的框架的有效宽度为W，侧部支承片47的侧部支承销47a的长度为L时，可将侧部支承片47的侧部支承销47a的长度L设定为1/4＜L/W＜1/2；或者在使1/4＜L/W的同时，将侧部支承片47的侧部支承销47a的前端间隔设定为至少可使基板出入用机械手的叉子可以通过的间隔。另外，侧部支承片47可以作成板状，或者如实施例9所述那样，主要部分用金属材料或陶瓷材料或碳纤维与合成树脂的复合材料制成。

根据发明方面1-9所述的基板用框架，在将装有基板的框架装在搬运的各种支承装置等上时，即使利用与支承框架的支承装置等的支承部接触的框架的下框体的一部分来支承装有基板的框架的全部重量，框架所产生的挠度不会影响装入的基板，并可尽量抑止重量的增加。

根据发明方面10所述的基板用框架，当令收纳基板的框架的有效宽度为W，该侧部支承片的突出长度为L时，由于设定1/4＜L/W＜1/2，因此，该侧部支承片可以将非常大的玻璃基板稳定地支承和收纳，收纳效率高；同时，利用基板出入用机械手，容易取出和放入基板。

根据发明方面11所述的基板用框架，当令装入基板的框架的有效宽度为W，侧部支承片的突出长度为L时，设定1/4＜L/W，同时将位于两侧的侧部支承片前端的间隔设定为基板出入用机械手的叉子至少可通过的间隔，因此，侧部支承片可将非常大的玻璃基板稳定地支承和收纳，收纳效率高；同时，利用基板出入用机械手，容易取出和装入基板。

根据发明方面12所述的基板用框架，由于侧部支承片为棒状或板状，主要部分由金属或陶瓷材料或碳纤维与合成树脂的复合材料制成，至少在前端部设置支承基板的支承部，因此，即使从支承体突出的长度长，也可以保持充分的支承强度。

根据发明方面13所述的基板用框架，由于只用由合成树脂制成的支承部支承收纳基板的背面，因此不会损伤基板。

根据发明方面14所述的基板用框架，即使无意中基板与支承部以外的侧部支承片接触，也可防止损伤脆的玻璃基板，同时可防止由金属制的支承销产生的颗粒。

根据发明方面15所述的基板用框架，即使是长的侧部支承片，也可以牢固地突出设置在支承体；另外通过将侧部支承片安装在支承体上，在侧部支承片损伤的情况下，可以更换，同时，可以更换成长度不同的侧部支承片。

根据发明方面16所述的基板用框架，在装入框架中的状态下，基板由振动等造成横向移动时，可以用保持部件的缓冲部分加以阻止；另外，在用基板出入用机械手，取出和装入基板时，可以防止无意中基板与支承体接触而损伤。

根据发明方面17所述的基板用框架，提供如下的基板：在突出设置在侧部支承体的侧部支承片上，设置侧部支承部、外侧挡块和内侧挡块；另外，由于同时支承第一种基板和宽度比第一种基板窄的第二种基板的左右侧部，并使其左端和右端定位，因此，没有必要根据容纳的基板而调整框架的宽度。

根据发明方面18所述的基板用框架，由于在同一块侧部支承片上具有分别与宽度不同的多个上述第二种基板对应的内侧挡块，因此，可以将宽度尺寸不同的多个第二种基板，分别装在同一个侧部支承片上，可以灵活地运用基板用框架。

根据发明方面19所述的基板用框架，由于在所装入的基板的后端处位置上，垂直设置与上述基板的深度尺寸匹配的可装拆的中央部支承体；同时，在上述中央部支承体上，向前突出设置有具有支承上述基板后部的后部支承部的后部支承片，在该后部支承片和前端作出支承上述基板后部的后部支承部。因此，也可以收纳宽度比一种基板狭窄的第二种基板。

根据发明方面20所述的基板用框架，由于后部支承部的上端的位置比侧部支承部上端的位置高，该侧部支承部设置在对由该后部支承部支承的基板同时加以支承的侧部支承片上，因此，可以将比第一种基板窄的第二种基板在其中央部向上方缓慢膨出弯曲的状态下加以收纳保持，可以稳定地收纳宽度比第一种基板窄的第二种基板。

根据发明方面21所述的基板用框架，由于上述内侧挡块上端的高度，与上述侧部支承部上端的高度相等，因此，第一种基板可与内侧挡块的上端接触，不会破坏平衡，因此可以稳定地容纳第一种基板。

根据发明方面22所述的基板用框架，由于在内侧挡块上具有设置在比内侧挡块的上端低的位置处的、保持第二种基板的左端或右端的保持部，和从该保持部直立起来的限制部；同时，设定后部支承片的高度，使第二种基板的左端和右端比侧部支承部低，因此，当收纳宽度比第一种基板窄的第二种基板时，可防止在基板用框架内的横向移动。

根据发明方面23所述的基板用框架，由于设定后部支承片的长度，使中央部支承体的后部支承片所具有的后部支承部支承基板的大致中心部，因此可以稳定地支承装有的基板。

根据发明方面24所述的基板用框架，由于在中央部支承体的后部支承片的基端部上，设置定位基板后端的后部支承片后挡块，因此在收纳中，基板不会向后移动，可以稳定地收纳。

根据发明方面25所述的基板用框架，由于在侧部支承片上具有定位基板后端的侧部支承片后挡块，因此，与发明项8所述的基板用框架一样，在收纳中，基板不会向后移动，可以稳定地装入。

根据发明方面26所述的基板用框架，由于在最前部的左右的支承体上，突出设置有具有对基板的前端加以定位的前挡块的前侧部支承片，以代替侧部支承片，因此，在收纳过程中，基板不会向前移动，可以稳定地收纳。

Claims (31)

1.一种基板用框架，可容纳多块基板，在上框体和下框体之间架设多个支承体；其特征为，

所述下框体具有由互相交叉的两个格棂和四角形的框构成的为田字形的部分，同时，具有增强格棂；该增强格棂从自所述两个格棂的交点起沿着该两个格棂中的一个格棂离开第一距离的位置开始，与所述两个格棂中的另一个格棂不相交地，延伸到，自所述四角形框的角部起沿着所述四角形框的直线部分离开第二距离的位置。

2.一种基板用框架，可容纳多块基板，在上框体和下框体之间架设多个支承体；其特征为，

所述下框体具有由互相交叉的两个格棂和四角形的框构成的为田字形的部分，同时，具有增强格棂；该增强格棂从自所述两个格棂的交点起沿着该两个格棂中的一个格棂离开第一距离的位置开始，与所述两个格棂中的另一个格棂不相交地，延伸到，所述四角形框的角部。

3.如权利要求1或2所述的基板用框架，其特征为，所述第一距离，比从所述一个格棂和所述增强格棂的交点起，不与所述另一个格棂相交地沿着所述一个格棂，到与所述四角形框相交的交点之间的距离小。

4.如权利要求1或2所述的基板用框架，其特征为，所述第一距离为80-200mm。

5.一种基板用框架，可容纳多块基板，在上框体和下框体之间架设多个支承体；其特征为，

所述下框体具有由互相交叉的两个格棂和四角形的框构成的为田字形的部分，同时，具有增强格棂；该增强格棂从所述两个格棂的交点起，延伸到，自所述四角形框的角部起沿着所述四角形框的直线部分离开第二距离的位置。

6.如权利要求1或5所述的基板用框架，其特征为，所述第二距离，比从所述四角形框和所述增强格棂的交点，沿着包含该交点的所述四角形框的直线部分，到与所述两个格棂中的一个格棂或另一个格棂相交的交点之间的距离小。

7.如权利要求1或5所述的基板用框架，其特征为，所述第二距离为80-200mm。

8.如权利要求1、2或5中任一项所述的基板用框架，其特征为，将支承所述基板的支承片突出设置在所述支承体。

9.如权利要求1、2、或5中任一项所述的基板用框架，其特征为，所述上框体作成为田字形框体的结构。

10.如权利要求1、2、或5中任一项所述的基板用框架，其特征为，将支承所述基板的侧部支承片在上下方向每隔给定的间隔突出设置在所述支承体上，同时，当收纳所述基板的框架的有效宽度为W，该侧部支承片的突出长度为L时，按1/4＜L/W＜1/2的关系设定所述侧部支承片。

11.如权利要求1、2、或5中任一项所述的基板用框架，其特征为，将支承所述基板的侧部支承片在上下方向每隔给定的间隔突出设置在所述支承体上，同时，当收纳所述基板的框架的有效宽度为W，该侧部支承片的突出长度为L时，按1/4＜L/W的关系设定所述侧部支承片；同时，将位于两侧的侧部支承片前端的间隔D，设定为至少可使基板出入用机械手的叉子通过的间隔。

12.如权利要求10所述的基板用框架，其特征为，所述侧部支承片为棒状或板状，主体部分由金属材料制成、或者由陶瓷材料制成、或由碳纤维与合成树脂的复合材料制成，至少在前端部作出支承所述基板的支承部。

13.如权利要求11所述的基板用框架，其特征为，所述侧部支承片为棒状或板状，主体部分由金属材料制成、或者由陶瓷材料制成、或由碳纤维与合成树脂的复合材料制成，至少在前端部作出支承所述基板的支承部。

14.如权利要求10所述的基板用框架，其特征为，所述侧部支承片，将支承所述基板的、合成树脂制的支承部设置在金属制的支承销的至少前端部和基部处。

15.如权利要求11所述的基板用框架，其特征为，所述侧部支承片，将支承所述基板的、合成树脂制的支承部设置在金属制的支承销的至少前端部和基部处。

16.如权利要求14所述的基板用框架，其特征为，在所述侧部支承片的支承销的全长上，用氟涂层或合成树脂覆盖。

17.如权利要求15所述的基板用框架，其特征为，在所述侧部支承片的支承销的全长上，用氟涂层或合成树脂覆盖。

18.如权利要求14所述的基板用框架，其特征为，在所述支承体上，每隔开一定间隔，形成内外贯通的安装孔，在所述支承销的基端部，以该基端露出的状态一体形成与所述支承体内面侧接合的合成树脂制的保持部件；同时，在该支承销的基端形成螺纹轴部，从内部将该螺纹轴部插入所述支承体的安装孔中，并且在使所述保持部件与支承体内面侧接合的状态下，从外侧将螺母拧在所述螺纹轴部上，从而将侧部支承片安装在所述支承体上。

19.如权利要求15所述的基板用框架，其特征为，在所述支承体上，每隔开一定间隔，形成内外贯通的安装孔，在所述支承销的基端部，以该基端露出的状态一体形成与所述支承体内面侧接合的合成树脂制的保持部件；同时，在该支承销的基端形成螺纹轴部，从内部将该螺纹轴部插入所述支承体的安装孔中，并且在使所述保持部件与支承体内面侧接合的状态下，从外侧将螺母拧在所述螺纹轴部上，从而将侧部支承片安装在所述支承体上。

20.如权利要求18所述的基板用框架，其特征为，在所述侧部支承片的支承销的基端部处所设置的保持部件上，设置定位所述基板的侧边缘的缓冲部。

21.如权利要求19所述的基板用框架，其特征为，在所述侧部支承片的支承销的基端部处所设置的保持部件上，设置定位所述基板的侧边缘的缓冲部。

22.如权利要求1、2或5中任一项所述的基板用框架，其特征为，

在左右配置的所述支承体上，将支承所述基板的侧部支承片在内侧沿着上下方向每隔规定的间隔突出设置；同时，可收纳宽度不同的至少二种所述基板；

在所述侧部支承片的前端部，设置支承所述基板的左右侧部的侧部支承部，同时在所述侧部支承片的基端部，设置可将第一种基板的左端或右端定位的外侧挡块，而在所述侧部支承片的中间部，设置可将宽度比所述第一种基板窄的第二种基板的左端或右端定位的内侧挡块。

23.如权利要求22所述的基板用框架，其特征为，在同一块所述侧部支承片上具有分别与宽度不同的多个所述第二种基板对应的所述内侧挡块。

24.如权利要求22所述的基板用框架，其特征为，将与所述基板的深度尺寸对应而设的可装拆的中央部支承体，垂直设置在所收纳的所述基板的后端处位置上，在与所述上框体和所述下框体连接的同时，在所述中央部支承体上，每隔所述规定的间隔，向前方突出设置支承所述基板用的后部支承片，在该后部支承片的前端部设置支承所述基板后部的后部支承部。

25.如权利要求24所述的基板用框架，其特征为，所述后部支承部的上端的位置比所述侧部支承部上端的位置高，该侧部支承部设置在对由该后部支承部支承的所述基板同时加以支承的所述侧部支承片上。

26.如权利要求22所述的基板用框架，其特征为，所述内侧挡块上端的高度，与所述侧部支承部上端的高度相等。

27.如权利要求24所述的基板用框架，其特征为，在所述内侧挡块上具有设置在比所述内侧挡块的上端低的位置处的、保持所述第二种基板的左端或右端的保持部，和从该保持部直立起来的限制部；同时，设定所述后部支承片的高度，使所述第二种基板的所述左端和右端，比所述侧部支承部还低。

28.如权利要求24所述的基板用框架，其特征为，设定所述后部支承片的长度，使所述后部支承部支承所述基板的中心部。

29.如权利要求24所述的基板用框架，其特征为，在所述后部支承片的基端部设置将所述基板的后端定位的后部支承片后挡块。

30.如权利要求22所述的基板用框架，其特征为，在所述侧部支承片上具有可将所述基板的后端定位并在上下方向可以挠曲的侧部支承片后挡块。

31.如权利要求22所述的基板用框架，其特征为，在最前部的左右的所述支承体上，突出设置具有将所述基板的前端定位的前挡块的前侧部支承片，以代替所述侧部支承片。

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