TWI242830B - Cartridge for substrate - Google Patents

Description

1242830 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 該發明是關於基板用匣’更詳細地說，是關於能夠多 段收容要多面搭載顯示器用面板裝置的母板，或者大型顯 示器用基板的同時，對於尺寸不同的顯示器用基板的多段 收容也是可能的基板用匣。

【先前技術】 近年來，伴隨著顯示器的大型化，所欲收容在匣內的 基板尺寸也有大型化的趨勢。因此，就需要有可收納大型 基板的基板用匣。但是，爲要實現大型基板可收納的基板 用匣，產生有種種問題。

首先，第1問題點是：收容在匣內的基板全體重量會 增加，爲要支撐該重量，匣強度需謀求強化，目前爲止以 田字形框體所構成的匣底面的下框體強度需要強化。針對 於此，習知的匣下框體，已提案有日本特許文獻1所記載 之以格子狀框體構成的下框體等。 接著’第2問題點是：基板是使用縱橫尺寸爲 650mmx750mm，厚度爲1.1mm或0.7mm尺寸的基板，但 在將該基板收容在匣內時，是以側部棚片支撐基板的兩側 部’習知’爲要抑制基板的彎曲變形，而將上下收納間隔 變小時，如日本特許文獻2所記載般，已提案有匣的有效 寬度爲W，側部棚片的突出長度爲l，當W爲400mm以 上時，L/W是設定成1/1〇〜1/4。 -5- 1242830 (2) 但是，如上述公報中所記載的匣，就利用從支撐體突 設的側部棚片以其端部來支撐玻璃基板的方法而言，當基 板變得更大時彎曲變形就會變大而無法應對。例如：以 650mmx830mm尺寸的基板而言，即使厚度爲時其 彎曲變形就大，更何況是厚度爲0.7mm時彎曲變形就會 變成加倍以上。

因此，如日本特許文獻3所記載般，新揭示有··於左 右的側部框架間隔著指定距離架設有多段的樑構件，於該 樑構件上形成有基板出入用機器手臂叉可出入之上方爲開 放的空隙部’及在比該空隙部還高的位置從裡面側支撐基 板的基板支撐部構造的匣。

此外，第3問題點是：伴隨著顯示器的大型化，雖然 所欲收容在匣內的基板尺寸也有大型化的趨勢，但中型或 小型的顯示器用基板也依然被使用著，從匣的有效率使用 觀點出發，1台匣內可收納不同尺寸基板的方法是於摸索 中。因此，習知，是藉由具備有如日本特許文獻5或特許 文獻6所記載之機構的匣來實現該方法。日本特許文獻5 所記載之匣，是平行配設的一對框體是設有棚片是隔著間 隔配設於上下形成有保持溝的支撐構件，藉由框體彼此連 結成的滑動軌道的伸縮，以應對所欲收納的基板寬度，可 調整匣寬度的基板用匣。另外，日本特許文獻6所記載之 匣，是在上框體和下框體間架設有於上下方向在每個指定 間隔突設有基板載放支撐用棚片的複數支撐體所形成的匣 中，設有可將支撐體要安裝在上框體及下框體上的安裝位 -6 - (3) 1242830 @動在匣寬度方向的機

置’應對於所欲收納的基板寬度 構。 飞曰本特許文獻1】 特開2001-127146號公報。 【曰本特許文獻2】 特開平9 - 3 6 2 1 9號公報。 【曰本特許文獻3】 特開平11_35089號公報。 【曰本特許文獻4】 特開平11-176921號公報。 【曰本特許文獻5】 特開平10-322056號公報。 【曰本特許文獻6】 特開平1 1 - 1 7 1 2 8 7號公報。 【發明內容】 〔發明內容所欲解決之課題〕 是當以日本特許文獻1所記 上述第1問題點的狀況 載之多數使用加強棧的格子狀框體來構成匣的下框體時， 因匣其本身的重量會增加，使要放置匣的地板等建築物的 強度等也受到影響。此外，大型基板並不僅是放置在平坦 的地板上而已，於搬運時有時需要堆積在堆高機上，或需 要裝塡在各種支擦裝置上，於如此狀況時，即使是以這些 支撐裝置的支撐部所接觸之匣下框體局部的部份來支撐已 (4) 1242830 收容有基板的匣全重量時，也必需使匣所產生的彎曲變形 不會波及影響到已收容的基板，所以就需要有可充分滿足 該條件，並且可極力抑制本身重量增加的匣。即，本發明 第1課題，是提供一種即使是以匣支撐用支撐裝置的支撐 部所接觸之匣下框體局部的部份來支撐已收容有大型基板 的匣全重量，也不會使匣所產生的彎曲變形波及影響到已 收容的基板，並且可極力抑制本身重量增加的基板用匣。

接著，上述第2問題點的狀況，是日本特許文獻3所 記載之構造的匣，雖然於原理上即使基板變得更大也可適 用，但若考慮到基板的彎曲變形及機器手臂叉的上下移動 時，各段構成用的樑構件上下尺寸就必須要非常大，，因 此上下間距會變大，使基板的收容效率變得非常差。然而 ，於日本特許文獻4中，是記載有將於上下方向在每個指 定間隔突設有基板載置支撐用棚片的複數支撐體，連結在 上框體和下下框體間形成平行六面體矩形的箱型構造的大 型基板用匣，其爲上述側部棚片是於金屬製的支撐銷前端 物包覆有合成樹脂製的前端套，對形成在上述支撐體上下 方向的每一定間隔上的插入孔嵌入上述支撐銷的基端部， 槪該支撐體的內面側突設有側部棚片所形成的大型基板用 匣。因此，要在如此構成下解決上述問題的本發明第2課 題，是提供一種可將例如尺寸爲1350mmxl650mm，厚度 爲〇.7mm以下之非常大的玻璃基板或合成樹脂製的薄片 狀基板在收容效率高的狀況下，穩定支撐收容的同時，對 基板出入用機器手臂叉的出入也是容易的基板用匣。 -8- (5) 1242830

此外，上述第3問題點的狀況，是於日本特許文獻5 所記載之匣中’需要配合所欲收納的基板，來調整上下四 處滑動軌道的伸縮，需花費功夫。另外，於日本特許文獻 6所記載之匣中，是需要將支撐體要安裝在上框體及下框 框體上的上下四處安裝位置，應對著所欲收納的基板寬度 ，於匣寬度方向進行移動調整，所以和日本特許文獻5所 曰己載之匣相问’需花費功夫。即，上述兩匣，均有需要應 對著所欲收納的基板寬度來調整匣寬度所謂的需花費功夫 的問題。因此，爲要解決該問題，本發明第3課題，是提 供一種不需要配合所欲收納的基板寬度來調整匣寬度的基 板用匣。 〔用以解決課題之手段〕

首先，對要解決上述第1課題的基板用匣進行說明。 該基板用匣，其可收納複數基板，是於上框體和下框體間 架設有複數支撐體的基板用匣，其上述下框體，是在具備 著以相互交叉的2支棧和四角形框所構成的大致呈田字形 部份的同時’具備有從上述2支棧的交點沿著該2支棧中 的一方棧離有第1距離的位置開始，與上述2支棧中的另 一方棧不相交地，延伸到從四角形框的角部沿著四角形框 的直線部份離有第2距離的位置爲止的加強棧。 此外’針對其可收納複數基板，於上框體和下框體間 架設有複數支撐體的同時，其上述下框體，是在具備著以 相互交叉的2支棧和四角形框所構成的大致呈田字形部份 -9 - (6) 1242830 的基板用匣，是可構成爲具備有從上述2支棧的交點沿著 該2支棧中的一方棧離有第1距離的位置開始，與上述2 支棧中的另一方棧不相交地，延伸至上述四角形框的角部 爲止的加強棧，或者是，也可構成爲具備有從上述2支棧 的交點開始，延伸至從上述四角形框的角部沿著上述四角 形框的直線部份離有第2距離的位置爲止的加強棧。

於上述基板用匣中，上述第1距離，最好是比上述一 方棧和上述加強棧的交點起，與上述2支棧中的另一方棧 不相交地，至沿著上述一方棧相交在上述四角形框上的交 點爲止的距離還小。另外，上述第2距離，最好是比上述 四角形框和上述加強棧的交點起，至沿著包括著該交點的 上述四角形框的直線部份相交在上述一方棧或上述另一方 棧上的交點爲止的距離還小。 於上述基板用匣中，在上述支撐體上以突設有上述基 板載置支撐用棚片爲佳。

此外，於上述基板用匣中，上述第1距離，是以 80〜200mm爲佳。另外，上述第2距離，是以80〜200mm 爲佳。 又，於上述基板用匣中，上述上框體也可構成爲大致 呈田字形框體。 接著，對要解決上述第2課題的基板用匣進行說明。 該基板用匣，是將於上下方向在每個指定間隔上突設有上 述基板載置支撐用側部棚片的支撐體，連結在上框體和下 框體間形成爲平行六面體矩形箱型構造的基板用匣，其特 -10- (7) 1242830 徵爲上述側部棚片，是在上述基板收容用的匣有效寬度爲 W’該側部棚片的突出長爲L時，其關係是設定成 l/4<L/W<l/2。

此外’本發明之基板用匣，也可構成爲是將於上下方 向在每個指定間隔上突設有上述基板載置支撐用側部棚片 的支撐體’連結在上框體和下框體間形成爲平行六面體矩 形的箱型構造的基板用匣，上述側部棚片，是在上述基板 收容用的匣有效寬度爲W，該側部棚片的突出長爲L時 ，其關係是設定成1/4 <L/W< 1/2的同時，位於兩側上的側 部棚片前端的間隔D至少是設定成基板出入用機器手臂 叉可通過的間隔。 於此，上述側部棚片，爲棒狀或板狀，其主要部份是 以金屬材或陶瓷材或碳纖和合成樹脂的複合材製作而成， 至少於其前端部是設有上述基板載置支撐用的載置支撐部

此外，上述側部棚片，以在金屬製上述支撐銷的至少 前端部和基部設有上述基板載置支撐用的合成樹脂製載置 支撐部爲佳。於該狀況，上述側部棚片的支撐銷全長都是 以氟素烤漆或以合成樹脂包覆著爲佳。 另外，最好是於上述支撐體在每一定間隔形成有貫穿 內外的安裝孔，在留有上述支撐銷的基端然後於基端部上 一體形成有接合於該支撐體內側面的合成樹脂製保持構件 的同時，於該支撐銷的基端形成有螺軸部，以該螺軸部是 從內方插入在上述支撑體的安裝孔並且是將上述保持構件 -11 - (8) 1242830 接合在支撐體內面側的狀態，從外側對上述螺軸部螺合螺 帽，在上述支撐體上形成爲突設著側部棚片。 接著，最好是於設置在上述側部棚片的支撐銷基端部 上的保持構件，設有上述基板側緣抵接止動用的緩衝部。

其次，對要解決上述第3課題的基板用匣進行說明。 該基板用匣，是將配設在左右，於上下方向在每個指定間 隔於內側突設有基板載置支撐用側部棚片的複數支撐體， 連結在上框體和下框體間形成爲平行六面體矩形箱型構造 的同時，爲至少可收容2種類寬度不同上述基板的基板用 匣，其特徵爲於上述側部棚片的前端部，設有上述基板左 右側部載置支撐用的側部載置支撐部的同時，於上述側部 棚片的基端部，設有可抵接止動第1基板左端或右端的外 側側止動件，於上述側部棚片的中途部，設有有可抵接止 動比上述第1基板還寬度窄的第2基板左端或右端的內側 側止動件。

於上述基板用匣中，在同一上述側部棚片上，也可具 備有要各別應對於寬度不同的複數上述第2基板的上述內 側側止動件。 此外，於上述基板用匣中，最好是將配合著上述基板 深度尺寸而附設的可拆裝的中央部支撐體，立設在欲收容 的上述基板後端邊位置上，連結於上述上框體和上述下框 體的同時，於上述中央支撐體上在前方的每個指定間隔突 設有上述基板載置支撐用的後部棚片，於該後部棚片前端 部上設有上述基板後部載置支撐用的後部載置支撐部。 -12- (9) 1242830 另外，於上述基板用匣中，上述後部載置支撐部的上 端位置，最好是形成爲要比可將被載置支撐在該後部載置 支撐部上的上述基板於同時載置支撐的上述側部棚片上所 設置的上述側部載置支撐部的上端位置還高。 接著，於上述基板用匣中，最好是將上述內側側止動 件的上端高度，形成爲等於上述側部載置支撐部的上端高

此外，於上述基板用匣中，最好是將被設置成比上述 內側側止動件的上述上端還低位置上的上述第2基板左端 或右端保持用的保持部和從該保持部豎立的限制部具備在 上述內側側止動件上的同時，將上述後部棚片的高度設定 成上述第2基板的上述左端及上述右端是比上述側部載置 支撐部還低。

又，於上述基板用匣中，也可將上述後部棚片的長度 設定成上述後部載置支撐部是可載置支撐著上述基板的大 致呈中心部。 另外，於上述基板用匣中，也可於上述後部棚片的基 端部，設有上述基板後端抵接止動用的後部棚片後止動件 此外，於上述基板用匣中，也可於上述側部棚片，備 有可抵接止動著上述基板後端的同時於上下方向具撓性的 側部棚片後止動件。 又，於上述基板用匣中，也可於最前部的左右上述支 撐體上，將上述側部棚片取代成是突設有具備著上述基板 •13- 1242830 do) 前端抵接止動用的前止動件。 【實施方式】 〔發明之實施形態〕

接著，根據圖面對本發明之實施形態進行詳細說明。 第1圖爲本發明第1實施例的基板用匣透視圖，第2圖爲 其平面圖。於第1圖及第2圖中，第1實施例的基板用匣 ，是形成爲平行六面體矩形箱型構造，其是構成爲在縱向 爲長度方向的長方形下框體2和縱向同樣爲長度方向的長 方形上框體1間，架設有：8支側部支撐體3和2支後部 支撐體6及2支角支撐體10。該基板用匣的尺寸，是形 成爲可收納縱爲1 800mm、橫爲1 500 mm以上的基板。圖 中，箭頭符號J，是表示要插入在第1實施例的基板用匣 內的基板S的插入方向，此與上述縱方向同方向。

弟3圖爲下框體2的局部放大圖。於第2圖及第3圖 中，下框體2，在具備有：以下框體縱桿2a和下框體橫 桿2 b所形成的四角形框；及，設置在該四角形框內，以 相互交叉的2支棧下框體縱棧2c和下框體橫棧2d所構成 的大致呈田字形部份的同時，具備有從上述2支棧的交點 2g沿著該2支棧中一方棧的下框體縱棧2c離有第1距離 的基點2h開始，與上述2支棧中另一方棧的下框體橫棧 2 d不相交地，延伸至從四角形框的角2 f沿著四角形框的 下框體縱桿2a直線部份離有第2距離的到點2j爲止的加 強棧2e。另，於第2圖及第3圖中，角2f是下框體縱桿 •14- (11) 1242830 2a中心線和下框體橫桿2b中心線的交點；交點2g是下 框體縱棧2 c中心線和下框體橫綫2 d中心線的父點’基點 2 h是下框體縱棧2 c中心線和加強棧2 e中心線的父點， 到點2 j是下框體縱桿2 a中心線和加強棧2 e中心線的交 點。又，縱桿中點2n是下框體縱桿2a中心線和下框體橫 棧2d中心線的交點，橫桿中點2P是下框體橫桿2b中心 線下框體縱棧2 c中心線的交點。

因此，上述第1距離，是交點2g至基點2h的距離， 其爲第3圖中的L11。該第1距離L11，是設定成要比「 從一方棧的下框體縱棧2c和加強棧2 e的交點基點2h起 ，與另一方棧的下框體橫棧2d不相交地，至沿著上述一 方棧的下框體縱棧2c相交在上述四角形框的下框體橫桿 2b上的交點橫桿中點2p爲止的」距離L 1 2還小。

另外，上述第2距離，是角2f至到點2j的距離，其 爲第3圖中的L2 1。該第2距離L2 1，是設定成要比「從 四角形框的下框體縱桿2a和加強棧2e的交點到點2j起 ’至沿著包括有該到點2 j的四角形框的下框體縱桿2 a直 線部份相交在另一方棧的下框體橫棧2 d上的交點縱桿中 點2 η爲止的」距離L 2 2還小。 將上述加強棧2e ’架設成並不從交點2g開始而是從 離該父點2有距離的基點2}1開始，並非延伸至角2jf而是 延伸至離該角2 f有距離的到點。其原因在於當要載置 基板用厘時’爲使其定位而具備在載置場所上從平面看爲 大致呈正方形的匣定位導件丨2，如第4 ( a ) 、（ b )圖所 -15· (12) 1242830

示，因是嵌入在下框體2的角2f內側四角落，以及是嵌 入在下框體縱棧2c和下框體橫棧2d的交點2g周圍所形 成的四角落，所以可確保該定位空間。因此，上述第1距 離L11及第2距離L21，只要形成爲從平面看爲大致呈正 方形的匣定位導件的一邊大致長度即可’但該指定距離， 於實用上是爲80〜200mm。於此’第1距離L11和第2距 離L2 1，並非要設定成相同不可，視狀況設定成不同亦可 。第4圖中，圖號13是具備有該匣定位導件12的匣定位 導件台。

另，如第4(a)圖所示，當只使用具備有可對下框 體2的角2f內側四角落進行嵌入的匣定位導件12的匣定 位導件台13時，也可將第1距離L11爲零。該狀況，如 第1 4 ( a )圖的第5實施例所示，是將加強棧2t設置成從 下框體縱棧2c和下框體橫棧2d的交點2g開始，延伸至 從四角形框的角部2f沿著下框体縱桿2a直線部份離有第 2距離L2 1的到點2j。此外，如第4 ( b )圖所示，當只 使用具備有可對下框體縱棧2 c和下框體橫棧2 d的交點 2g周圍所形成的四角落進行嵌入的匣定位導件12的匣定 位導件台13時’也可將第2距離L12爲零。該狀況，如 第14(b)圖的第6實施例所示，是將加強棧2ιι設置成 從下框體縱棧2 c和下框體橫棧2 d的交點2 g沿著下框體 縱棧2c離有第1距離的基點2h開始，與下框體橫棧2d 不相交地，延伸至上述四角形框的角部2f。 上框體1，是由：上框體縱桿la和上框體橫桿lb所 -16· (13) 1242830 形成的四角形框；將該四角形框的框面分成2個橫向的上 框體縱棧lc;與該上框體縱棧lc交叉並且是將上框體縱 桿1 a和上框體橫桿1 b所形成的四角形框的框面分成2個 縱向的上框體橫棧1 d所構成。此外，側部支撐體3、3 · • •，是立設在下框體2的下框體縱桿2a上架設在下框

體縱桿2a和上框體1的上框體縱桿1 a間；後部支撐體6 、6是立設在下框體2的後方的下體橫桿2b上架設在下 體橫桿2b和上框體1後方的上框體橫桿1 b間；立設在下 框體2的下框體縱桿2a和前方下框體橫桿2b所形成的角 上的角支撐體10、1〇是架設在上框體1的上框體縱桿la 和前方上框體橫桿1 b所形成的角間。另外，做爲側部支 撐體3的加強用，設有水平加強棧8和斜加強棧9。

於該基板用匣，爲要支撐著從其前方插入的基板S， 在側部支撐體3、3 ···上，朝內側突設有複數側部棚 片5、5 · · •。此外，爲要防止從其前方插入的基板S

朝前方飛出，於角支撐體備有飛出防止片11。 於上述第1實施例的基板用匣，雖是將下框體的加強 棧2e架設成是從下框體縱棧2c和下框體橫棧2d之2支 棧的交點2g沿著該2支棧中一方棧的下框體縱棧2c離有 第1距離的基點2 h開始，與上述2支棧中另一方棧的下 框體橫棧2 d不相交地，延伸至從四角形框的角2 f沿著四 角形框的下框體縱桿2a直線部份離有第2距離的到點2j ，但加強棧的架設位置也可與此不同。於第5圖中所示之 第2實施例的基板用匣，是將下框體2的加強棧2k架設 -17- (14) 1242830 成是從上述2支棧的交點2g沿著該2支棧中一方棧的下 框體縱棧2c離有第1距離的基點2h開始，與上述2支棧 中另一方棧的下框體橫棧2d不相交地，延伸至從四角形 框的角2 f沿著四角形框的下框體橫桿2 b直線部份離有第 2距離的到點2m。

於該狀況的第1距離，是與第1實施例相同，其爲交 點2g至基點2h的距離，該第1距離，是設定成要比「從 一方棧的下框體縱棧2c和加強棧2 e的交點基點2h起， 與另一方棧的下框體橫棧2 d不相交地至沿著上述一方棧 的下框體縱棧2c相交在上述四角形框的下框體橫桿2b上 的交點橫桿中點2p爲止的」距離還小。

另一方面，第2距離雖是爲角f至到點2m的距離， 但該第2距離，是設定成要比「從四角形框的下框體橫桿 2b和加強棧2e的交點其爲到點2m起，至沿著包括有該 到點2m的四角形框的下框體橫桿2b直線部份相交在一 方棧的下框體縱棧2c上的交點橫桿中點2p爲止的」距離 還小。 該第2實施例的基板用匣，只有上述加強棧2k的架 設位置是與第1實施例的基板用匣的加強棧2e不同，其 他部份完全與第1實施例的基板用匣相同。 此外，該第2實施例的狀況，也是和第1實施例相同 ’如第4 ( a )圖所示，當只使用具備有可對下框體2的 角2f內側四角落進行嵌入的匣定位導件1 2的匣定位導件 台13時，第1距離L11也可爲零。該狀況，如第15(a -18- (15) 1242830 } ®所示’是將加強棧2v設置成從下框體縱棧2c和下框 體橫梭2d的交點2g開始，延伸至從四角形框的角部2f 沿著下框体橫桿2b直線部份離有第2距離L21的到點2m 。另外，如第4 ( b )圖所示，當只使用具備有可對下框 體縱棧2C和下框體橫棧2d的交點2g周圍所形成的四角 落進行嵌入的匣定位導件12的匣定位導件台13時，第2 距離L12也可爲零。該狀況，是與第ι4(1))圖爲相同設 有加強棧2 u。

上述地實施例及第2實施例的基板用匣，是以保持著 基板在S插入在其內的狀態，用堆高機等進行搬運，或裝 塡在各種支撐裝置等內。如此般基板用匣重量支撐用的堆 高機等的搬運裝置或支撐裝置的支撐部形狀，會因搬運裝 置或支撐裝置而有所不同，此外，這些裝置的支撐部與基 板用匣接觸的部份也會有所不同。第6圖及第7圖，是針 對在支撐第1實施例的基板用匣時之支撐裝置等的支撐部 形狀和第1實施例基板用匣下框體2的關係，表示出各種 不同模式的圖，斜線部份是表示支撐裝置等的支撐部形狀 。同樣地’第8圖及第9圖，是針對第2實施例的基板用 匣表示出兩者關係各種不同模式的圖。 當藉由如此般的支撐裝置，使上述第丨實施例及第2 實施例的基板用匣在保持著基板S是插入在其內的狀態下 的重量爲被支撐的狀況時’若在基板用匣產生有某種程度 一定値以上的彎曲變形時’於該基板用匣的搬運時等，收 容在其內的基板S將會受到不良的影響。因此，接著爲了 -19- (16) 1242830 要對上述第1實施例及第2實施例的基板用匣在藉由上述 支撐裝置等來支撐其重量時，究竟會產生何種程度的彎曲 變形進行調查，就使用ANSYS 6.0構造解析程式來進行模 擬操作的線形構造解析。於該線形構造解析中所使用的基

板用匣，如上述，其尺寸爲可收納縱爲1800mm、橫爲 1500mm以上之基板的尺寸。此外，其重量，經試算結果 第1實施例的基板用匣爲115.6 kg，第2實施例的基板用 匣爲 1 15.7kg。

另，該模擬操作的線形構造解析，除了是對上述第1 實施例及第2實施例的基板用匣進行以外，也對習知例的 基板用匣進行。該習知例的基板用匣，其下框體的構造是 形成爲從第1實施例及第2實施例的基板用匣下框體中除 去加強棧2e或加強棧2k的狀態，及下框體爲田字形框體 ，其他的部份，包括材質及尺寸都完全和第1實施例及第 2實施例的基板用匣相同。因此該習知例的基板用匣的尺 寸和第1實施例及第2實施例的基板用匣相同，爲可收納 縱爲1800mm、橫爲1500mm以上之基板的尺寸。此外， 對於該習知例的基板用匣，假設其有3種類：其各部構件 的厚度是與第1實施例及第2實施例相同，重量爲 1 12.3kg的第1習知例基板用匣；藉由改變其各部構件的 厚度’使其強度有所不同，重量爲120.1kg的第2習知例 基板用匣及其重量爲123.8kg的第3習知例基板用匣。另 ’第10圖及第11圖，是針對支撐裝置等的支撐部的形狀 和上述習知例基板用匣的下框體的關係，表示出爲各種不 -20- (17) 1242830 同模式的圖。圖中，圖號62爲習知例基板用匣的下框體 表1及表2，是表示這些線形構造解析的結果。表1 爲第1實施例及第2實施例的基板用匣的解析結果，表2 爲第1習知例及第2習知例以及第3習知例的基板用匣的 解析結果。實際的解析，如第1 2圖所示，是只針對基板 用匣的右半部進行。於該解析中，是將側部支撐體3 · ·

•依前後的位置順序稱爲支柱1、支柱2、支柱3、支柱4 ，將位於右側的後部支撐體6稱爲支柱5。彎曲變形量， 是表示解析結果所得値中的最大値。此外，彎曲變形發生 處的支柱No是表示該彎曲變形量最大値產生處的支柱No 。另，第12圖，雖然是表示第1實施例基板用匣的支撐 裝置等的支撐部的形狀和基板用匣的下框體2的關係模式 圖，但有點誇張表現爲第6 ( a )圖狀況時的線形構造解 析狀況。另外，於表1及表2中，是將基板用匣簡稱爲匣 鲁 (18)1242830 【表1】 第1實施例的匣 第2實施例的匣 重量：115.6kg 重量：115.7kg 模式圖 彎曲變形量 (mm) 變形量發生處 支柱No 模式圖 彎曲變形量 (mm) 變形量發生處 支柱No 第6⑻圖 0.044 1 第8⑻圖 0.045 2 第6(b)圖 0.19 2 第8(b)圖 0.18 2 第6(c)圖 0.33 4 第8(c)圖 0.28 4 第6(d)圖 1.81 1 第8(d)圖 1.97 1 第6(e耀 1.61 1 第8(e)圖 1.17 (1) 第6(f)圖 0.15 1 第8(f)圖 0.13 1 第6(g)圖 1.15 1 第8(g)圖 0.97 4 第6⑻圖 0.27 2 第8⑻圖 0.23 2 第7⑻圖 0.19 2 第9⑷圖 0.18 1 第7(b)圖 1.63 1 第9⑼圖 1.62 1 第7(c)圖 0.40 4 第9(c)圖 0.35 4 第7⑷圖 0.88 4 第9(d)圖 0.80 4 第7(e)圖 0.44 (4) 第9(e腦 0.70 4 第7(f)圖 0.25 4 第9(f)圖 0.26 4 第7(g)圖 1.21 1 第9(g)圖 1.33 1

-22- (19)1242830 【表2】 習知例的匣 第1 第2 第3 重量 112.3kg 120.1kg 123.8kg 模式圖 彎曲變形量 (mm ) 彎曲變形量 (mm ) 彎曲變形量 (mm ) 第 10(a)圖 0.045 0.030 0.028 第 10(b)圖 0.20 0.14 0.12 第 10(c)圖 0.34 0.25 0.22 第 10(d)圖 2.73 1 .79 1.53 第 10(e)圖 2.46 1.61 1 .37 第 10(f)圖 0.15 0.11 0.10 第 10(g)圖 1.19 0.8 1 0.7 1 第 10(h)圖 0.26 0.91 0.17 第 11(a)圖 0.23 0.15 0.14 第 1 1 (b)圖 3.06 2.00 1.7 1 第 1 1(C)圖 0.4 1 0.30 0.26 第 1 1 ( d)圖 0.89 0.62 0.55 第 1 1(e)圖 0.80 0.56 0.49 第 1 1(f)圖 0.32 0.22 0.19 第 1 1(g)圖 1.67 1.11 0.95

-23- (20) 1242830

根據表1及表2，得知第1實施例的基板用匣和第2 實施例的基板用匣的彎曲變形量的最大値也都比第1習知 例的基板用匣來得小。於實用上彎曲變形量的極限値雖是 爲2mm，但，第1實施例的基板用匣和第2實施例的基 板用匣的彎曲變形量的最大値均都在極限値以下。此外， 即使是習知例的基板用匣，對於強度加強後的第2習知例 的基板用匣及第3習知例的基板用匣來講其彎曲變形量最 大値雖也可達到第1實施例的基板用匣或第2實施例的基 板用匣的水準，但其重量卻都要比第1實施例的基板用匣 或第2實施例的基板用匣還重。因此，採用第1實施例的 基板用匣或第2實施例的基板用匣，就可提供一種匣所產 生的彎曲變形不波及影響到所收容的基板，並且已是極力 抑制其本身重量增加的基板用匣。

於上述第1實施例，是將加強棧2 e設置成從下框體 縱棧2 c上的基點2 h開始延伸至下框體縱桿2 a上的到點 2j，於第2實施例，是將加強棧2k設置成從下框體縱棧 2c上的基點2h開始延伸至下框體橫桿2b上的到點2m。 但是可不受限於此’如第1 3 ( a )圖的第3實施例所示， 加強棧2 q也可設置成是從下框體橫棧2 d上的基點2 r開 始延伸至下匡體縱桿2 a上的到點2 j，於該狀況時的第1 距離’是爲交點2g至基點2r的距離，第2距離，是爲角 2 f至到點2 j的距離。或者是如如第1 3 ( b )圖的第4實 施例所示，加強棧2 s也可設置成是從下框體2 d上的基點 2r延伸至下框體橫桿2b上的到點2ηι，於該狀況時的第1 -24- (21) 1242830 距離’是與上述相同，爲交點2g至基點2r的距離，第2 距離，是爲角2 f至到點2 m的距離。於這些狀況中，對於 第1距離或第2距離的設定同·樣也可和上述第1實施例或 第2實施例相同。此時不論爲何種狀況，都可獲得和上述 第1實施例或第2實施例相同的作用及效果。 此外，於上述例中，若只採用如第4 ( a )圖所示般 的具備有可對下框體2的角2f內側四角落進行嵌入的匣 定位導件12的匣定位導件台13時，也可將第1距離L11 爲零。該狀況，如第1 5 ( a )圖的第7實施例所示，是設 有加強棧2v。此外，若只使用如第4 ( b )圖所示般的具 備有可對下框體縱棧2c和下框體橫棧2d的交點2g周圍 所形成的四角落進行嵌入的匣定位導件12的匣定位導件 台13時，也可將第2距離L12爲零。該狀況，如第15( Μ圖的第8實施例所示，是將加強棧2w設置成從下框 體縱棧2c和下框體橫棧2d的交點2g沿著下框體橫棧2d 離有第1距離的基點2r開始，與下框體橫棧2d不相交地 ’延伸至上述四角形框的角部2f。 其次，是對本發明第9實施例的基板用匣進行說明。 第16圖及第17圖爲本發明第9實施例的基板用匣整體圖 ’第18圖及第19圖是表示其主要部份，圖中圖號1是表 示上框體、圖號2是表示下框體、圖號3是表示側部支撐 體、圖號24是表示前止動件、圖號25是表示後止動件、 圖號26是表示側部棚片、圖號S是表示基板、圖號R是 表示基板出入用機器手臂叉。 •25- (22) 1242830

第9實施例的基板用匣，是將外形爲長方形的上框體 1和下框體2的兩側用複數側部支撐體3、3 ··連結的同 時，將前端部間用前止動件24、24連結，又將後端部用 後止動件2 5、2 5連結而構成爲平行六面體矩形。上框體 1，是採用上述第1實施例的構成，下框體2的構成雖也 是採用上述第1實施例的構成，但下框體2的構成並不限 於此，也可採用上述第2〜8實施例中的任一構成。此外， 於側部支撐體3上於上下方向在每一定間隔突設有朝內的 超大型玻璃基板S載置支撐用的側部棚片26、26 ··， 又其前面是形成爲具有基板S出入用開口部27的構造。 於本實施例中，雖是在兩側部分別設有大致呈等間隔的4 支側部支撐體3、3 ··但因要視基板S的尺寸或彎曲剛 性來決定所需要的側部棚片26、26 ··的片數，所以側 部支撐體3是設置成可應對於此的數量。

於此，上框體1和下框體2，是以鋁製的框體構成， 側部支撐體3是以剖面爲大致呈C字形的SUS (不銹鋼） 製成，前止動件24是以SUS和合成樹脂的複合體製成， 後止動件25是以合成樹脂製成。 接著，如第1 8圖及第1 9圖所示，於側部支撐體3的 內側面，在每一定間隔突設有側部棚片26、26 ··。側 部棚片26，爲至少是於金屬製支撐銷29的前端部設有基 板S載置支撐用合成樹脂製載置支撐部30的棚片。更詳 細地說，側部棚片2 6，是在至少是金屬製支撐銷2 9的前 端部和基部設有基板S載置支撐用合成樹脂製載置支撐部 -26- (23) 1242830 3〇、31。於本實施例中，是將支撐銷29藉由插入成形 使載置支撐部30、31形成在其前端部和基部的同時， 支撐銷29全長均以合成樹脂包覆著。圖中圖號32爲合 樹脂包覆部。另，包覆部3 2除了以合成樹脂形成外， 可以氟素烤漆包覆著支撐銷2 9全長。再者，側部棚片 ，又構成爲留有支撐銷29的基端然後在基端部一體形 有可與側部支撐體3的內面側接合的合成樹脂製保持構 3 3的同時，於該支撐銷2 9的基端形成有螺軸部3 4，該 持構件3 3的上部是往上方延伸，形成爲可抵接止動基 S的傾斜緩衝部3 5。 此外，於側部支撐體3上，在每一定間隔形成有貫 內外的安裝孔3 6、3 6 ··，以側部棚片2 6構成用的支 銷2 9的螺軸部3 4是從內方插入在側部支撐體3的安裝 3 6並且保持構件3 3是接合在側部支撐體3內面側的狀 ，從外側對螺軸部3 4螺合螺帽3 7，使側部支撐體3上 成爲突設有側部棚片2 6。於此，支撐銷2 9，是以S U S 鈦金製成，載置支撐部3 0、3 1及保持構件3 3，是以具 磨損性的PEEK製成。另，側部棚片26突設在側部支 體3上的構造並不限於上述構造。例如也可構成爲是在 持構件3 3和側部支撐體3間設有間隔然後安裝支撐銷 〇 本實施例基板用匣的外形尺寸，橫寬爲1 460mm、

度爲 1 990mm、深度爲 1 680mm，其有效寬度 W 1 3 70mm。側部棚片26的上下間距爲7〇mm，形成有24 該 成 也 26 成 件 保 板 穿 撐 孔 態 形 或 耐 撐 保 29 局 爲 段 (24) 1242830

。此外’側部棚片2 6的突出長度約爲3 8 0 m m〜5 5 0 m m，支 撐銷2 9的直徑爲1 0 m m〜1 4 m m。兩側的側部棚片2 6、2 6 的前端間隔約爲 6 1 0 m m〜2 7 0 m m。於本明中，當有效寬度 爲W，側部棚片2 6的突出長度爲L時，其關係是設定成 l/4<L/W<l/2。套用上述具體性的數値時，若要使L/w比 “4還大，則側部棚片26的突出長度L就必須要比 342.5mm還長。於該基板用匣內，是可多段收容usOmm xl650mm、厚度（K7mm的玻璃基板S。

接著，根據第20圖〜第22圖對本發明相關之基板用 匣中要出入基板S時的基板出入用機器手臂叉R和實際 使用該機器手臂叉來抽出放入基板S的步驟進行說明。於 本發明相關之基板用匣，因其上述L/W是設定成比1/4還 大，即因側部棚片2 6的突出長度較長，所以兩側的側部 棚片2 6、2 6的間隔和基板S相比就顯得非常狹窄，因此 以習知構造的基板移載用機器手臂叉來講就會變成支撐會 偏掉而不在基板S中央部份，使基板側緣部產生大彎曲， 除了對基板上造成有過大的壓力外，匣上下側部棚片2 6 ' 26的間隔若不加大是無法進行抽出放入基板。 因此，於本實施例中，是於比兩側的側部棚片26、 2 6的前端間隔D還寬度小的叉片3 8、3 8兩側突設有複數 片承接片39、39· ·，至少於各承接片39、39前端部和 基端部突設有基板S載置支撐用的合成樹脂製突出體40 、40。突出體40的數量、間隔及其高度，其設計條件是 當其上面載置著基板S的底面時，即使該基板S彎曲也不 -28- (25) 1242830

會直接接觸到叉片3 8、3 8或承接片3 9。另，承接片3 9 的構造，是與側部棚片26相同，又其突設在叉片3 8長度 方向的間隔是設定成與前後的側部支撐體3、3的間隔大 致呈相同。於此，當將側部棚片2 6的突出長度爲5 5 0 m m 時，因兩側部棚片2 6、2 6的間隔D會變成2 7 0mm，所以 將叉片3 8、3 8的外側間寬度設定成約爲2 5 0mm，將承接 片39的突出長度設定成約爲400mm。如此一來，基板出 入用機器手臂叉的叉片部份的全寬，就形成約l〇5〇mm。 當該叉片部份上載置著橫寬維1 3 5 0mm的基板S時，雖在 承接片3 9前端會突出約有1 5 0mm，但該部份的彎曲變形 量只有些許。

接著，要將基板S以基板出入用機器手臂叉R來收 容在匣內時，首先是以基板S是載置在基板出入用機器手 臂叉R叉片部份上的狀態，使叉片3 8、3 8位於兩側的側 部棚片2 6、2 6的前端間（間隔D的部份），從匣開口部 2 7進入到上下的側部棚片2 6、2 6間的間隙，在基板S的 深度端部是接近或者是接觸著後止動件25、25的狀態下 停止叉片38、38的進行。接著，當降下叉片38、38時’ 承接片39會通過前後的側部棚片26、26間往下降，以側 部棚片26、26· ·的載置部30、31載置支撐著基板S的 底面。然後，使叉片3 8、3 8進行後退使其從匣內抽出。 於此，在前止動件24、24上，因是將與側部棚片26相同 的突出物42設定在比側部棚片26還若干高的位置上，所 以是在基板S爲收容在匣內的狀態下’形成爲突出物42 -29- (26) 1242830 可限制基板S往前方的移動。另，要抽出收容在匣內的基 板S時，只要將上述動作相反即可。

如第2 2圖所不’基板S是於以兩側的側部棚片2 6、 26· ·載置支撐，於實際上是於以載置支出部30、31載 置支撐的狀態下，其中央部會產生下方彎曲。當側部棚片 26的長度L形成爲有效寬度W的1/4以下時，其中央部 的彎曲變形量會極端增大的同時，基板S的側緣會往上方 翹起，因基板S的中央部施加有過大的壓力，基板S的中 央部就會又往下方變形，其側緣又會往上方變形，所以上 下的側部棚片26、26的間隔會變非常大並不實用。因此 ，最好是將L/W愈大於1/4，則基板S中央部的彎曲變形 量會愈少，於同時基板S的側緣作用在側部棚片26上的 荷重會增加。因此，施加在側部棚片26前端的荷重會減 少，使側部棚片26本身的彎曲變形減少。另，當側部棚 片26形成爲極端長時，應對在側部棚片26中央部的基板 S部份會彎曲變形，而將會接觸於支撐銷29的軸部，所 以在該支撐銷29的中央部最好是也設有載置支撐部。 第23圖及第24圖，是表示側部棚片26的另一實施 形態，其是構成爲在支撐銷29的前端部形成有貫穿上下 的孔41或是凹部，於該孔41或是凹部嵌著有合成樹脂製 的載置支撐部30，或者是以插入成形的手法將載置支撐 部30形成爲一體，再者於支撐銷29的基端部留有基端的 螺軸部34將合成樹脂製的保持構件33同樣形成爲一體， 使載置支撐部3 1也是和保持構件3 3形成爲一體。 -30- (27) 1242830 此外。第25圖及第26圖，是表示側部棚片26的又 另一實施形態，其爲比第23圖及第24圖所示之側部棚片 26還更長尺度的側部棚片26’其是在支撐銷29的中央部 設有與載置支撐部30相同的載置支撐部43。其他的構成 因是相同，所以同一構成採同一圖號，省大致呈其說明。

另，於上述實施形態中，側部棚片2 6雖是以棒狀物 例示，但其也可以是膽狀物，又其主要部份除了金屬才以 外癟可採用陶瓷材或碳纖和合成樹脂的複合材，然後於該 狀況同樣是至少於其前端部設有基板S載置支撐用的載置 支撐部3 0。此外，於上述實施形態中，雖是例示著可收 容1350mmxl650mm、厚度爲0.7mm的玻璃基板S的匣， 但也適合收容1470mmxl770mm、厚度爲0.7mm的玻璃基 板或更大型的基板。另外，除了玻璃基板以外，也可收容 合成樹脂製的薄片狀基板。

其次，對本發明第1 0實施例的基板用匣進行說明。 第2 7圖，是表示第1 〇實施例的基板用匣的外觀透視圖， 第28圖爲第27圖中將可拆裝的局部構件（中央部支撐體 )從匣中拆下後的透視圖，第29圖爲第1 0實施例的基板 用匣中省大致呈上框體時的平面圖。圖中，箭頭符號J， 是表示要插入在第10實施例的基板用匣內的基板的插入 方向。第1〇實施例的基板用匣，如第27圖及第28圖以 及第29圖所示，是形成爲平行六面體矩形的箱型構造， 其是構成爲在上框體縱桿1 a和上框體橫桿1 b所形成的長 方形上框體1與下框體縱桿2a和下框體橫竿2b所形成的 -31 - (28) 1242830 下框體2之間，連結著12支側部支撐體3和2支後部支 撐體44及2支角部支撐體45。於此’側部支撐體3和後 部支撐體44及角部支撐體45是相當於上述的支撐體。

上框體1，是採用上述第1實施例的構成，下框體2 的構成雖也是採用上述第1實施例的構成’但下框體的構 成並不限於此，也可採用上述第2〜8實施例中的任一構成 。此外，於左右的下框體縱桿2 a上，各分別立設有6支 側部支撐體3，2支後部支撐體44是立設在下框體2最裡 側的下框體橫桿2b上，然後2支角部支撐體45是立設在 下框體縱桿2a和最前方的下框體橫桿2b所形成的角上。 於該基板用匣中，爲要能支撐從前方插入的基板，所以在 側部支撐體3上，突設有複數側部棚片47，在後部支撐 體44上，突設有複數最後部棚片48，然後，在角支撐體 45上，突設有複數前側部棚片50，上述各棚片是分別朝 內側突設在上下方向的每一定間隔。

於第1〇實施例的基板用匣內，可收容尺寸不同的大 型基板大型基板、中型基板及小型基板。大型基板，其寬 度尺寸和深度尺寸均是爲最大收納尺寸’中型基板’其寬 度尺寸是爲最大收納尺寸而其深度尺寸是比最大收納尺寸 小，小型基板其寬度尺寸和深度尺寸均是比最大收納尺寸 小。具體而言，第2 9圖中以2點虛線所示部份是表示基 板的形狀，大型基板有SA的1種類，中型基板有SB、 S C、S D及S E的4種類，小型基板有S F的1種類，合計 有6種類。 -32- (29) 1242830 大型基板SA其後端是以最後部棚片48載置支撐著 。中型基板靠近後端的左右側部，中型基板SB是以最裡 側的側部棚片47載置支撐著，中型基板SC是以從最裡 側算起第2片的側部棚片47載置支撐著’中型基板SD 是以從最裡側算起第3片的側部棚片4 7載置支撑者’然 後中型基板SE是以從最裡側算起第4片的側部棚片47載 置支撐著。即，深度尺寸關係是sb〉sc>sd>se。另外， 小型基板S F其靠近後端的左右側部是以從最裡側算起第 3片的側部棚片4 7載置支撐著。又’小型基板S F的深度 尺寸關係是SD > SF >SE。 於此，寬度尺寸爲可最大收納尺寸的SB、SC、SD& SE基板，是相當於上述第1基板’比該等基板寬度小的 小型基板SF，是相當於上述第2基板。 突設在側部支撐體上的側部棚片47 ’如第3 0 ( a )、 (b )圖及第3 1圖所示，是由：金屬製的側部支撐銷47a ;該前端部所具備的側部載置支撐部47b ;側部支撐銷 47a的基端部所具備的外側側止動件47 c ;及側部支撐銷 4 7a中途部所具備的內側側止動件47d所構成。側部載置 支撐部4 7b其上端面爲平坦面，其是用來載置支撐大型基 板SA、中型基板SB(SC、SD、SE)或小型基板SF的左 右側部。外側側止動件47 c，是用來抵接止動著大型基板 SA或者是中型基板SB(SC、SD、SE)的左端或右端然 後載釐支撐，其是由··上面爲平坦面的外側側止動件保持 部4 7 c 1 ;及，從該外側側止動件保持部4 7 c 1豎起的外 (30) 1242830

側側止動件限制部47 c2所構成。外側側止動件限制部47 c2’爲要能谷易抵接止動著大型基板或者是中型基板的左 端或右端，而形成爲上方是緩和傾斜於外側的斜邊。內側 側止動件4 7 d，是用來抵接止動著小型基板S F的左端或 右端然後載置支撐，其是由··上面爲平坦面的內側側止動 件保持部47 d2 ;及，從該內側側止動件保持部47d2豎起 的內側側止動件限制部47d3所構成。另外，側部棚片47 ，如第3 0 ( b )圖所示，下述各部是構成爲：起自於內側 側止動件限制部47d3相連成的內側側止動件上端部47 d 1 上面高度，是形成爲和側部載置支撐部47b的上端面高度 及外側側止動件保持部4 7 c 1的上面高度相等，同時內側 側止動件保持部47d2的上面高度是形成爲比該高度還低

此外，於角部支撐體45上，雖也可突設有上述側部 棚片47，但於第1 〇實施例中，是將側部棚片47取代爲 突設有第32圖所示由：金屬製側部支撐銷50a ;及，該 前端部所具備的前止動件5 Ob所構成的前側部棚片5 0。 該前側部棚片5 0所具備的前止動件5 Ob，其高度是形成 爲要比側部棚片47所具備的側部載置支撐部47b還高， 藉此，如第3 3圖所示，使其具有防止收納在內的基板往 前方飛出的功能。前止動件，也可採用如第39圖所示具 有段部的前止動件50c。 在上述第10實施例的基板用匣內，爲要能收容寬度 尺寸和深度尺寸均比最大收納尺寸還小的小型基板SF， -34- (31) 1242830

如第34圖所示，是將可拆裝的中央部支撐體46立設安裝 在上述基板用匣的下框體縱棧2c上。即，在下框體的下 框體縱棧2c上面上的位置，相當於上述基板用匣所收容 的小型基板SF的後端邊中點附近的位置，於事先焊接有 L形安裝片46b。爲使中央部支撐體46的下端不接觸於該 L形安裝片4 6b，而將中央部支撐體46立設在下框體縱棧 2c上的同時，用安裝用螺栓46d和安裝用螺帽46e插入 中央部支撐體46下端的中央部支撐體安裝孔46a和L形 安裝片46b的L形安裝片安裝孔46c，使中央部支撐體46 固定在L形安裝片4 6b上。與該L形安裝片46b相同的 安裝片也焊接在上框體縱桿la的下面，將中央部支撐體 46的上端與上述同樣方式固定在該安裝片。

於中央部支撐體46上，朝前方突設有和側部支撐體 3上的側部棚片47的突設間隔爲相同間隔的小型基板SF 的載置支撐用後部棚片49。該後部棚片49，如第34圖所 示，是由金屬製後部支撐銷49a及該前端部所具備的後部 載置支撐部49b以及後部載置支撐部49b基端部上所具備 的後部棚片後止動件49c所構成。後部棚片後止動件49c ，因可抵接止動小型基板SF的後端來將其載置支撐，所 以可穩定收納著小型基板SF使其於收納中不會往前後方 向移動。後部載置支撐部4 9b是用來載置支撐小型基板 SF ’其上面爲平坦面。此外，後部支撐銷49a的長度，是 形成爲可到達小型基板SF的中心附近的長度，使後部載 置支撐部4 9 b得以載置支撐小型基板s F的中心附近。因 -35- (32) 1242830 此，藉由後部載置支撐部49b就可穩定載置支撐著小型基 板SF。 第3 5圖，是表示小型基板SF被載置支撐在側部棚片 4 7和後部棚片4 9上的狀態，第3 6圖是表示側部棚片4 7 和後部棚片49的關係。如上述般，小型基板SF左右的側 部是由側部棚片47的側部載置支撐部47b載置支撐著的 同時，小型基板S F的左端及右端是由側部棚片4 7的內側

側止動件47b抵接止動且載置支撐著。此外’如第35圖 及第36圖所示，後部棚片49是被安裝在中央部支撐體 46上，使後部載置支撐部49b的上面高度是形成爲是在 要比和後部載置支撐部49b所載置支撐爲相同的小型基板 SF載置支撐用的側部棚片47的側部載置支撐部47b的上 面高度還高的位置，第3 6圖中側部載置支撐部4 7 b和後 部載置支撐部49b的高度差L3，是設定成小型基板SF的 左端及右端是要比側部載置支撐部4 7b的上端面還低。另 外1該小型基板SF的左端及右辆抵接止動且載置支撑用 的內側側止動件保持部4 7 d 2的上面高度，如上述，是設 定成要比側部載置支撐部47b的上面高度還低，收容在內 的小型基板S F，如第3 5圖所示因是在緩和往上方膨脹般 的彎曲狀態下，其左端及右端是被內側側止動件4 7 d抵接 止動且載置支撐著，所以小型基板SF的寬度尺寸，雖然 是要比第1 0實施例的基板用匣最大收納尺寸還小，但卻 可防止小型基板S F在第1 〇實施例的基板用匣內的橫向移 動，於同時可將小型基板S F以穩定狀態收納在內。 -36- (33) 1242830 於上述第1 〇實施例的基板用匣中，收納的小型基板 雖只有S F的1種，但並不限於此，其也可收納尺寸不同 的複數小型基板，於該狀況時，只要將內側側止動件47d 配合著該小型基板的寬度設置在側部棚片47的側部支撐 銷47a的最佳位置的同時，將中央部支撐體46的安裝位 置或中央部支撐體46上所突設的後部載置支撐部49b長 度等配合著該小型基板的深度成最佳設定即可。

此外，在同一側部棚片47的側部支撐銷47a上，具 備著幾個或全部欲收納寬度尺寸不同的複數小型基板分別 應對用的內側側止動件47d，就可在該同一側部棚片47 上分別收納這些寬度尺寸不同的複數小型基板。如此一來 ’就可將1台的基板用匣使用在收容寬度尺寸不同的基 板，使基板用匣的運用具彈性。 於上述第1 〇實施例的基板用匣中，若要收納大型基

板SA，或者中型基板SB、SC、SD或SE中任一中型基板 基板時，則不需要小型基板SF收納用所設置的中央部支 撐體46，若爲大型基板SA和欲收納的中型基板SB、SC 、SD或SE時，視該等深度尺寸而定，有時需拆掉中央部 支撐體46。第37圖，是表示在上述第1〇實施例的基板 用匣內’收容有寬度尺寸爲最大收納尺寸的大型基板SA 或者中型基板SB、SC、SD或SE中任一中型基板基板的 狀態。大型基板SA或者中型基板SB、SC、SD或SE，如 上述’該等的左端或右端是被外側側止動件4 7 c抵接止動 且載置支撐著，該等左右的側部是被側部載置支撐部47b -37- (34) 1242830 載置支撐著，如第37圖所示’是被保持成波浪狀彎曲狀 態。此時，如上述，因是將側部棚片4 7的內側側止動件 上端部4 7 d 1的上端高度’如第3 0 ( a )圖所示，與側部 載置支撐部47b的上端高度相等’所以被收納在那的基板 ，是等接觸於內側側止動件上端部47dl的上端，並不破 壞均衡，因此可穩定收納大型基板或中型基板。

根據上述第1〇實施例的基板用匣時，因是在側部支 撐體3所突設的側部棚片47設有側部載置支撐部47b和 外側側止動件47c及內側側止動件47d，使被收納的基板 全部左右的側部是由側部載置支撐部47b載置支撐的同時 ，因是將寬度尺寸爲最大收納尺寸的大型基板及中型基板 的左端或右端由外側側止動件4 7c抵接止動且載置支撐著 ，將是寬度尺寸要比最大收納尺寸還小的小型基板的左端 或右端是由內側側止動件47d抵接止動且載置支撐著’所 以可提供一種不需配合所欲收納的基板來調整匣寬度的基 板用匣。 於上述第10實施例的基板用匣中，若是將該基板用 匣使用在收容中型基板SB、SC、SD或SE，或者使用在 收容小型基板SF時，也可在側部支撐體3所突設的側部 棚片47上設有第38 ( a)圖所示的側部棚片後止動件47e 。如此一來，如第38(b)圖所示，因側部棚片後止動件 4 7e抵接止動著中型基板或小型基板的後端，所以可穩定 收納中型基板使其於收納中不會往後方向移動。此時’最 好是以具有撓性的樹脂等來製作側部棚片後止動件47e ’ -38- (35)1242830 使側部棚片後止動件4 7 e的上下方向具撓性，如此一來 就有以下優點。即，在收容深度尺寸長的基板時，如 3 8 ( b )圖所示，當比具有著基板後端抵接止動用側部 片後止動件47e的側部支撐體3還前面的側部支撐體3 側部棚片後止動件47e的後端上端被覆蓋在其上面的基 重力往下方壓時，因側部棚片後止動件47e的後端會向 方降地使側部棚片後止動件47e彎曲，所以就可防止覆 在其上面的基板上強迫受力。 另外，將上述第10實施例的基板用匣使用在收容 型基板SB ' SC、SD或SE時，也可倂用上述小型基板 納時所使用的中央部支撐體46。如此一來，因是將中 基板SB、SC、SD或SE的中心部附近由中央部支撐體 所突設的後部棚片49的後部載置支撐部49b載置支撐 ，所以就可穩定收納中型基板。 於上述第1 〇實施例中，當將基板收容用的匣有效 度爲W，側部棚片4 7的側部支撐銷4 7的長度爲L時 也可將側部棚片4 7的側部支撐銷4 7的長度爲L如第9 施例所述，設定成爲 l/4<L/W<l/2，或是，設定 1/4 <L/W，於同時也可將側部棚片47的側部支撐銷47 前端間隔至少是設定成基板出入用機器手臂叉能夠通過 間隔。此外，也可將側部棚片47形成爲板狀，或者將 主要部份是以第9實施例所述的金屬材或陶瓷材或碳纖 合成樹脂的複合材製成。 第 棚 的 板 下 蓋 中 收 型 46 著 寬

實 成 的 的 其 和 -39 - (36) 1242830 〔發明效果〕

根據申請專利範圍第1〜9項所記載的基板用匣時，可 提供一種：當將收納有基板的匣裝塡在搬運用的各種支撐 裝置等上時，即使是以匣支撐用的支撐裝置等的支撐部所 接觸的匣下框體局部的部份來支撐的基板用匣時，可提供 一種：當將收納有基板的匣的全重量，匣所產生的彎曲變 形也不會波及影響到所收容的基板，並且已是極力抑制其 本身重量增加的基板用匣。 根據申請專利範圍第1 0項所記載的基板用匣時，側 部棚片，因是在基板收容用的匣有效寬度爲W，該側部棚 片的突出長度爲L時，其關係是設定成1/4 <L/W< 1/2，所 以其收容效率高，能夠穩定支撐收容非常大的玻璃基板的 同時，基板出入用機器手臂叉的出入也容易。

根據申請專利範圍第1 1項所記載的基板用匣時，側 部棚片，因是在基板收容用的匣有效寬度爲W，該側部棚 片的突出長度爲L時，其關係是設定成1/4 <L/W的同時 ，並將位於兩側的側部棚片前端間隔至少是設定成基板出 入用機器手臂叉能夠通過的間隔，所以其收容效率高，能 夠穩定支撐收容非常大的玻璃基板的同時，基板出入用機 器手臂叉的出入也容易。 根據申請專利範圍第1 2項所記載的基板用匣時，側 部棚片，因是爲棒狀或板狀，其主要部份是以金屬材或陶 瓷材或碳纖和合成樹脂的複合材製成，至少於其前端部設 有基板載置支撐用的載置支撐部，所以從支撐體突出的突 -40- (37) 1242830 出長度即使長也能具有充分的支撐強度。 根據申請專利範圍第1 3項所記載的基板用匣時，只 要以合成樹脂製的載置支撐部就可載置支撐基板的底面將 其收容在內，不損傷基板。

根據申請專利範圍第1 4項所記載的基板用匣時，即 使基板意外性地接觸到載置支撐部以外的側部棚片，也可 防止脆性玻璃基板受損，於同時可防止來自於金屬製支撐 銷的微粒產生。 根據申請專利範圍第1 5項所記載的基板用匣時，即 使是長尺度的側部棚片也可牢固地突設在支撐體上，此外 是將側部棚片以組裝方式設置在支出體上，所以除了側部 棚片損傷時可進行替換外，又可換裝成長度不同的側部棚 片。

根據申請專利範圍第！ 6項所記載的基板用匣時，當 基板是在被收容在匣內的狀態下受到振動等使其橫向移動 時，用保持構件的緩衝部就可將其抵接止動，此外在用基 板出入用機器手臂叉取出放入基板時，也可防止基板意外 性地接觸到支撐體而受損。 根據申請專利範圍第1 7項所記載的基板用匣時，因 是在側部支撐體所突設的側部棚片上，設有側部載置支撐 部和外側側止動件及內側側止動件，使第1基板及比第1 基板還窄的第2基板該等左右的側部均被載置支撐著，於 同時又可抵接止動該等的左端及右端，所以可提供一種不 需要配合所欲收納的基板來調整匣寬度的基板用匣。 -41 - (38) 1242830 根據申請專利範圍第1 8項所記載的基板用匣時，因 是於同一側部棚片具備著寬度不同的複數第2基板分別應 對用的內側側止動件，所以可將寬度不同的複數第2基板 分別收納在該同一側部棚片上，使基板用匣的運用有彈性

根據申請專利範圍第19項所記載的基板用匣時，因 是將配合著基板深度尺寸而附設的可拆裝中央部支撐體立 設在所欲收容的基板後端顛位置上，於同時中央部支撐體 因是在前方突設有具基板後部載置支撐用的後部載置支撐 部的後部棚片，所以也可收容保持著比第1基板還寬度窄 的第2基板。

根據申請專利範圍第2 0項所記載的基板用匣時，因 後部載置支撐部的上端位置，是形成爲要比可將被載置支 撐在該後部載置支撐部上的上述基板於同時載置支撐的上 述側部棚片上所設置的上述側部載置支撐部的上端位置還 高，所以可將比第1基板還寬度窄的第2基板以其中央部 是緩和向上膨脹般彎曲狀態來收容保持著，可穩定收納比 第1基板還寬度窄的第2基板。 根據申請專利範圍第2 1項所記載的基板用匣時，因 是將內側側止動件的上端高度與側部載置支撐部的上端高 度相等，所以第1基板會等接觸到內側側止動件的上端， 不會破壞平衡，可穩定收納第1基板。 根據申請專利範圍第22項所記載的基板用匣時，因 是在內側側止動件上具備有：被設置在比內側側止動件上 -42· (39) 1242830 端還低位置的第2基板的左端或右端保持用的保持部；及 ，從該保持部豎起的限制部’於同時因是將後部棚片高度 設定成第2基板的左端或右端是要比側部載置支撐部還低 ，所以當收容有比第1基板還寬度窄的第2基板時，就可 防止其在基板用匣內的橫向移動。

根據申請專利範圍第2 3項所記載的基板用匣時，因 是將後部棚片的長度設定成中央部支撐體的後部棚片所具 備的後部載置支撐部可載置支撐著基板的大致呈中心部， 所以可穩定載置支撐已被收容的基板。 根據申請專利範圍第24項所記載的基板用匣時，因 是在中央支撐體的後部棚片基端部上，設有基板後端抵接 止動用的後部棚片後止動片，所以可穩定收納基板使其於 收納中不會往後方向移動。

根據申請專利範圍第2 5項所記載的基板用匣時，因 是在側部棚片上，具備有基板後端抵接止動用的側部棚片 後止動片，所以可和申請專利範圍第8項所記載的基板用 匣相同，可穩定收納基板使其於收納中不會往後方向移動 根據申請專利範圍第26項所記載的基板用匣時，因 是在最前部左右的支撐體上，將側部棚片取代爲突設有具 備著基板前端抵接止動用前止動片的前側部棚片，所以可 穩定收納基板使其於收納中不會往前方向移動。 【圖式簡單說明】 -43- (40) 1242830 第1圖爲第1實施例的基板用匣透視圖。 第2圖爲第1實施例的基板用匣平面圖。 第3圖爲爲第1實施例的基板用匣下框體的局部放大 平面圖。 第4(a) 、 （b)圖爲示有匣定位導件的基板用匣下 框體平面圖。 第5圖爲第2實施例的基板用匣平面圖。

第6(a)〜（h)圖爲表示支撐裝置等的支撐部形狀 和第1實施例的基板用匣下框體的各種關係模式圖（其1 第7(a)〜（g)圖爲表示支撐裝置等的支撐部形狀 和第1實施例的基板用匣下框體的各種關係模式圖（其2 第8(a)〜（h)圖爲表示支撐裝置等的支撐部形狀 和第2實施例的基板用匣下框體的各種關係模式圖（其1 )° 第9(a)〜（g)圖爲表示支撐裝置等的支撐部形狀 和第2實施例的基板用匣下框體的各種關係模式圖（其2 第10(a)〜（h)圖爲表示支撐裝置等的支撐部形狀 和習知例的基板用匣下框體的各種關係模式圖（其1 )。 第11 (a)〜（g)圖爲表示支撐裝置等的支撐部形狀 和習知例的基板用匣下框體的各種關係模式圖（其2 )。 第12圖爲誇張表現使用模式圖爲第6(a)圖時的第 -44 - (41) 1242830 1實施例的基板用匣線形構造解析狀況圖 第13(a)圖爲第3實施例的基板用匣下框體平面圖 ，第13 (b)圖爲第4實施例的基板用匣下框體平面圖。 第14(a)圖爲第5實施例的基板用匣下框體平面圖 ，第14(b)圖爲第6實施例的基板用匣下框體平面圖。 第15(a)圖爲第7實施例的基板用匣下框體平面圖 ，第15(b)圖爲第8實施例的基板用匣下框體平面圖。 第1 6圖爲第9實施例的基板用匣整體側面圖。 第17圖爲第9實施例的基板用匣正面圖。 第1 8圖爲表示第9實施例的基板用匣側部棚片和側 部支撐體的關係部份透視圖。 第1 9圖爲第9實施例的基板用匣側部支撐體上側部 棚片突設狀態局部省大致呈剖面圖。 第20圖爲表示第9實施例的基板用匣使用機器手臂 叉將基板要收容在匣內前的狀態簡大致呈平面圖。 第21圖爲表示第9實施例的基板用匣使用機器手臂 叉將基板收容在匣內後的狀態簡大致呈平面圖。 第22圖爲第9實施例的基板用匣的兩側側部棚片載 置支撐著基板時的載置支撐狀態簡大致呈平面圖。 第23圖爲第9實施例的基板用匣側部棚片的另一實 施形態透視圖（其1 )。 第24圖爲第9實施例的基板用匣側部棚片的另一實 其第 (爲 圖圖 面5 剖 2 態第 形 施 9 另 又 的 片 棚 部 側 匣 用 板 基 的 例 施 -45- (42) 1242830 實施形態透視圖（其2 )。 第26圖爲第9實施例的基板用匣側部棚片的另一實 施形態剖面圖（其2 )。 第2 7圖爲表示第1 〇實施例的基板用匣的外觀透視圖 〇 第28圖爲將第1〇實施例的基板用匣的可拆裝的局部 構件從匣拆掉後的透視圖。 第29圖爲第1 〇實施例的基板用匣省大致呈上框體後 的狀態平面圖。 第3 0 ( a )圖爲第1 〇實施例的側部支撐體局部說明 圖，第3 0(b)圖爲突設在側部支撐體上的側部棚片說明 圖。 第3 1圖爲突設在第1 〇實施例的基板用匣側部支撐體 上的側部棚片透視圖。 第32圖爲突設在第10實施例的基板用匣角部支撐體 上的前側部棚片透視圖。 第33圖爲突設在第10實施例的基板用匣角部支撐體 上的前側部棚片說明圖。 第34圖爲表示第10實施例的基板用匣中央部支撐體 及其安裝方法的說明圖。 第3 5圖爲表示第1 0實施例的基板用匣中小型基板被 收容在內的狀態說明圖。 第3 6圖爲表示第1 〇實施例的基板用匣側部棚片和後 部棚片的關係說明圖。 -46 - (43) 1242830 第37圖爲表示第1〇實施例的基板用匣中大型基板或 中型基被收容在內的狀態說明圖。 第38(a)圖爲第1〇實施例的基板用匣中具備有側 部後止動件的側部棚片透視圖’第3 8 ( b )圖爲其說明圖 第39圖爲立設在第1〇實施例的基板用匣角部支撐體 上的前側部棚片另一實施例透視圖。

〔圖號說明〕 J :基板插入方向 S :基板 SA :大型基板 S B :中型基板 S C :中型基板 S D :中型基板

S E :中型基板 SF :小型基板 R:基板出入用機器手臂叉 1 :上框體 1 a :上框體縱桿 1 b :上框體橫桿 1 c :上框體縱棧 1 d :上框體橫棧 2 :下框體 -47- 1242830 (44)

2a :上框體縱桿 2b :上框體橫桿 2c :上框體縱棧 2d :上框體橫棧 2 e :加強棧 2f ··角 2 g :交點 2 h :基點 2j :到點 2 k :加強棧 2m :到點 2n :縱桿中點 2p :橫桿中點 2 q :加強棧 :基點 2 s :加強棧 21 :加強棧 2 u :加強棧 2 v :加強棧 2 w :加強棧 3 :側部支撐體 5 :側部棚片 6 :後部支撐體 8 :水平加強棧 -48- (45) (45)1242830 9 :斜加強棧 10 :角支撐體 1 1 :飛出防止片 1 2 :匣定位導件 1 3 :匣定位導件台 22 :下框體 24 :前止動件 25 :後止動件 26 :側部棚片 27 :開口部 2 9 :支撐銷 3 0、3 1 :載置支撐部 3 2 :包覆部 3 3 :保持構件 3 4 :螺軸部 3 5 :緩衝部 3 6 :安裝孔 3 7 :螺帽 38 :叉片 3 9 :承接片 40 :突出體 41 :孔 42 :突出物 43 :載置支撐部 -49 (46) (46)1242830 4 4 :後部支撐體 45 :角部支撐體 46:中央部支撐體 46a :中央部支撐體安裝孔 46b : L形安裝片 46c : L形安裝片安裝孔 46d:安裝用螺栓 46e :安裝用螺帽 47 :側部棚片 47a :側部支撐銷 47b :側部載置支撐部 47c :外側側止動件 47cl :外側側止動件保持部 47c2 :外側側止動件限制部 4 7 d :內側側止動件 4 7 d 1 :內側側止動件上端部 47d2 :內側側止動件保持部 47d3 :內側側止動件限制部 47e :側部棚片後止動件 4 8 :最後部棚片 49 :後部棚片 4 9 a ·後部支撑銷 49b :後部載置支撐部 49c :後部棚片後止動件 -50 (47) (47)1242830 5 〇 =前側部棚片 5〇a :側部支撐銷 50b :前止動件 5 0 c :前止動件 62 :習知例的基板用匣下框體

-51 -

Claims (1)

1242830 (1) 拾、申請專利範圍 第9 2 1 1 7 8 5 4號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國94年3月1〇日修正 1 · 一種基板用匣，其可收納複數基板，是於上框體 和下框體間架設有複數支撐體的基板用匣，其特徵爲：上 述下框體’是具備著相互交叉的2支棧和四角形框所構成 的大致呈田字形部份的同時，具備有從上述2支棧的交點 沿著該2支棧中的一方棧離有第1距離的位置開始，與上 述2支棧中的另一方棧不相交地，延伸到從四角形框的角 部沿著四角形框的直線部份離有第2距離的位置爲止的加 強梭。 2 · —種基板用匣，其可收納複數基板，是於上框體 和下框體間架設有複數支撐體的基板用匣，其特徵爲：上 述下框體’是具備著相互交叉的2支棧和四角形框所構成 的大致呈田字形部份的同時，具備有從上述2支棧的交點 沿著該2支棧中的一方棧離有第〗距離的位置開始，與上 述2支棧中的另一方棧不相交地，延伸至上述四角形框的 角部爲止的加強棧。 3 · —種基板用匣，其可收納複數基板，是於上框體 和下框體間架設有複數支撐體的基板用匣，其特徵爲：上 述下框體，是具備著相互交叉的2支棧和四角形框所構成 的大致呈田字形部份的同時，具備有從上述2支棧的交點 1242830 (2) 開始，延伸至從上述四角形框的角部沿著上述四角形框的 直線部份離有第2距離的位置爲止的加強棧。 4.如申請專利範圍第1項或第2項所記載的基板用 匣’其中，上述第1距離，是比上述一方棧和上述加強棧 的交點起，與上述2支棧中的另一方棧不相交地，至沿著 上述一方棧相交在上述四角形框上的交點爲止的距離還小 〇 5 .如申請專利範圍第1項或第3項所記載的基板用 匣’其中，上述第2距離，是比上述四角形框和上述加強 棧的交點起’至沿著包括著該交點的上述四角形框的直線 部份相交在上述一方棧或上述另一方棧上的交點爲止的距 離還小。 6 ·如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所記載 的基板用匣，其中，在上述支撐體上突設有上述基板載置 支撐用的棚片。 7 ·如申請專利範圍第1項或第2項所記載的基板用 匣’其中’上述第1距離，是形成爲80〜200mm。 8*如申請專利範圍第1項或第3項所記載的基板用 匣’其中，上述第2距離，是形成爲80〜2〇〇mm。 9.如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所記載 的基板用匣，其中，上述上框體是以大致呈田字形框體構 成。 1 0 ·如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所記載 的基板用厘，其中，是在上述支撐體上於上下方向在每個 -2- 1242830 (3) 指定間隔突設有上述基板載置支撐用側部棚片的同時，上 述側部棚片，是在上述基板收容用的匣有效寬度爲W，該 側部棚片的突出長度爲L時，其關係是設定成1/4< L/W< 1/2 ° 11·如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所記載 的基板用匣，其中，是在上述支撐體上於上下方向在每個 指定間隔突設有上述基板載置支撐用側部棚片的同時，上 述側部棚片，是在上述基板收容用的匣有效寬度爲W，該 側部棚片的突出長度爲L時，其關係是設定成1/4<L/W 的同時，位於兩側上的側部棚片前端的間隔D至少是設 定成基板出入用機器手臂叉可通過的間隔。 12·如申請專利範圍第1 〇項所記載的基板用匣，其 中，上述側部棚片，爲棒狀或板狀，其主要部份是以金屬 材或陶瓷材或碳纖和合成樹脂的複合材製成，至少於其前 端部是設有上述基板載置支撐用的載置支撐部。 13.如申請專利範圍第1 1項所記載的基板用匣，其 中，上述側部棚片，爲棒狀或板狀，其主要部份是以金屬 材或陶瓷材或碳纖和合成樹脂的複合材製成，至少於其前 端部是設有上述基板載置支撐用的載置支撐部。 1 4 ·如申請專利範圍第1 〇項所記載的基板用匣，其 中，上述側部棚片，是在金屬製支撐銷的至少前端部和基 部設有上述基板載置支撐用的合成樹脂製載置支撐部。 15·如申請專利範圍第Π項所記載的基板用匣，其 中，上述側部棚片，是在金屬製支撐銷的至少前端部和基 -3- 1242830 (4) 部設有上述基板載置支撐用的合成樹脂製載置支撐部。 16. 如申請專利範圍第1 4項所記載的基板用匣，其 中，上述側部棚片的支撐銷全長都是以氟素烤漆或以合成 樹脂包覆著。 17. 如申請專利範圍第1 5項所記載的基板用匣，其 中，上述側部棚片的支撐銷全長都是以氟素烤漆或以合成 樹脂包覆著。 18. 如申請專利範圍第1 4項所記載的基板用匣，其 中，是於上述支撐體在每一定間隔形成有貫穿內外的安裝 孔，在留有上述支撐銷的基端然後於基端部上一體形成有 接合於該支撐體內側面的合成樹脂製保持構件的同時，於 該支撐銷的基端形成有螺軸部，以該螺軸部是從內方插入 在上述支撐體的安裝孔並且是將上述保持構件接合在支撐 體內面側的狀態，從外側對上述螺軸部螺合螺帽，在上述 支撐體上形成爲突設著側部棚片。 1 9.如申請專利範圔第1 5項所記載的基板用匣，其 中，是於上述支撐體在每一定間隔形成有貫穿內外的安裝 孔，在留有上述支撐銷的基端然後於基端部上一體形成有 接合於該支撐體內側面的合成樹脂製保持構件的同時，於 該支撐銷的基端形成有螺軸部，以該螺軸部是從內方插入 在上述支撐體的安裝孔並且是將上述保持構件接合在支撐 體內面側的狀態，從外側對上述螺軸部螺合螺帽，在上述 支撐體上形成爲突設著側部棚片。 20.如申請專利範圍第1 8項所記載的基板用匣，其 -4- 1242830 (5) 中，是於設置在上述側部棚片的支撐銷基端部上的保持構 件，設有上述基板側緣抵接止動用的緩衝部。 21. 如申請專利範圍第1 9項所記載的基板用匣，其 中，是於設置在上述側部棚片的支撐銷基端部上的保持構 件，設有上述基板側緣抵接止動用的緩衝部。 22. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所記載 的基板用匣，其中，是於配設在左右的上述支撐體上，在 內側於上下方向的每個指定間隔突設有基板載置支撐用的 側部棚片的同時，其是形成爲至少可收容2種類寬度不同 的上述基板；於上述側部棚片的前端部，設有上述基板左 右側部載置支撐用的側部載置支撐部的同時，於上述側部 棚片的基端部，設有可抵接止動第1基板左端或右端的外 側側止動件，於上述側部棚片的中途部，設有有可抵接止 動比上述第1基板還寬度窄的第2基板左端或右端的內側 側止動件。 23. 如申請專利範圍第22項所記載的基板用匣，其 中，是在同一上述側部棚片上，具備有要各別應對於寬度 不同的複數上述第2基板的上述內側側止動件。 24. 如申請專利範圍第22項所記載的基板用匣，其 中，是將配合著上述基板深度尺寸而附設的可拆裝的中央 部支撐體，立設在欲收容的上述基板後端邊位置上，連結 於上述上框體和上述下框體的同時，於上述中央支撐體上 在前方的上述每個指定間隔突設有上述基板載置支撐用的 後部棚片，於該後部棚片前端部上設有上述基板後部載置 -5- 1242830 (6) 支撐用的後部載置支撐部。 2 5·如申請專利範圍第2 4項所記載的基板用匣；，其 中，上述後部載置支撐部的上端位置，是形成爲要比可將 被載置支撐在該後部載置支撐部上的上述基板於同時載置 支撑的上述側部棚片上所設置的上述側部載置支撐部的上 端位置還高。 26.如申請專利範圍第2 2項所記載的基板用匣，其 中，是將上述內側側止動件的上端高度，形成爲等於上述 側部載置支撐部的上端高度。 27·如申請專利範圍第24項所記載的基板用匣，其 中，是將被設置成比上述內側側止動件的上述上端還低位 置上的上述第2基板左端或右端保持用的保持部和從該保 持部豎立的限制部具備在上述內側側止動件上的同時，將 上述後部棚片的高度，設定成上述第2基板的上述左端及 上述右端是比上述側部載置支撐部還低。 28. 如申請專利範圍第24項所記載的基板用匣，其 中，是將上述後部棚片的長度設定成上述後部載置支撐部 是可載置支撐著上述基板的大致呈中心部。 29. 如申請專利範圍第24項所記載的基板用匣，其 中，是於上述後部棚片的基端部，設有上述基板後端抵接 止動用的後部棚片後止動件。 3〇.如申請專利範圍第22項所記載的基板用匣，其 中，是於上述側部棚片，備有可抵接止動著上述基板後端 的同時於上下方向具撓性的側部棚片後止動件。 -6- 1242830 (7) 31.如申請專利範圍第22項所記載的基板用匣，其中 ，是於最前部左右的上述支撐體上，將上述側部棚片取代 成是突設有具備著上述基板前端抵接止動用的前止動件。