JP2002252277A - 半導体ウェハーキャリア用保管棚 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 保管棚の床面積を大きくすることなく、半導
体ウェハーキャリアの大口径化に対応できる半導体ウェ
ハーキャリア用保管棚を提供する。 【解決手段】 棚の骨格を形成する柱３と、前記半導体
ウェハーキャリアを支持するキネマティックピン４を備
えた天板５と、前記柱３に固定され、前記柱３から前記
天板５に沿って延在し、前記天板５を支持する支持リブ
と、で構成され、前記柱３が保管棚１の背面にのみ配置
され、前記柱３から延在する前記支持リブが前方に延び
ている半導体ウェハーキャリア用保管棚１とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハーキ
ャリアを保管する半導体ウェハーキャリア用保管棚に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体製品の製造工程におい
て、半導体製品を各工程間或いは各工程中に自動搬送す
るためには、半導体製品を輸送する搬送装置と、これら
半導体製品を一時的に保管する保管棚が不可欠である。

【０００３】近年、歩留りの向上、製品コストの低減を
目的として、半導体ウェハーサイズが大きくなる傾向に
あり、これを保管する保管棚も大きくなる傾向にある。
これら、半導体ウェハーを扱う工程は、クリーンルーム
内で行われている。クリーンルーム内での工程は、床面
積に比例してランニングコストがかさむため、クリーン
ルーム内の保管棚は、大きくするにしてもある程度の限
界があった。

【０００４】図５に従来のこの種の保管棚の一例を示
す。図５に示すように、従来の保管棚５０は、背板５１
と、この背板５１に対して直角に前方に延び、半導体ウ
ェハーキャリアを保管する各保管部５５を区画する複数
の柱５２と、各柱５２に設けられた棚受５４と、隣り合
う各棚受５４、５４を跨ぐようにして固定された天板５
３とで構成されている。このように、天板５３がその両
側端で、棚受５４に固定されているため、半導体ウェハ
ーキャリアをキネマティックピンに載置した場合には、
天板５３の曲げ強さによってその重量を支え、天板５３
に負荷される力を棚受５４が設けられている柱５２や、
背板５１で分配して支えている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の保管棚５０で
は、各保管部５５を区画するとともに天板５３が固定さ
れる柱５２が必要であったため、保管する半導体ウェハ
ーキャリアが大きくなると、天板５３を大きくし、各柱
５２間を広げる必要があった。前述のように、クリーン
ルーム内では、使用できる床面積に制限があるため、各
柱５２間を広げると、その分半導体ウェハーキャリアを
保管できる保管部の数が減ってしまうことになる。その
ため、制限された床面積で、できるだけ多くの半導体ウ
ェハーキャリアを保管できる保管棚をという要望に答え
られないものであった。

【０００６】本発明は、保管棚の床面積を大きくするこ
となく、半導体ウェハーキャリアの大口径化に対応でき
る半導体ウェハーキャリア用保管棚を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の請求項１に記載の半導体ウェハーキャリア用
保管棚は、半導体ウェハーキャリアを保管する保管棚で
あって、棚の骨格を形成する柱と、前記半導体ウェハー
キャリアを支持するキネマティックピンを備えた天板
と、前記柱に固定され、前記柱から前記天板に沿って延
在し、前記天板を支持する支持リブと、で構成され、前
記柱が保管棚の背面にのみ配置され、前記柱から延在す
る前記支持リブが前方に延びているものである。

【０００８】この請求項１の構成によると、保管棚前方
に半導体ウェハーキャリアを保管する各保管部を区画す
る柱がなくなるため、前面が開放される。このため、半
導体ウェハーキャリアの保管間隔を各半導体ウェハーキ
ャリアの大きさに合わせて詰めることができる。これに
よって、床面積を広げることなく、半導体ウェハーキャ
リアの保管面積を広げることができる。

【０００９】請求項２に記載の半導体ウェハーキャリア
用保管棚は、請求項１において、前記支持リブが、前記
キネマティックピンに向かって斜め前方に延びているも
のである。

【００１０】この請求項２の構成によると、天板前方に
位置するキネマティックピンに向かって斜め前方に延び
ているため、天板上のキネマティックピンによって支持
される半導体ウェハーキャリアの重量を十分に支え得る
強度とすることができる。

【００１１】請求項３に記載の半導体ウェハーキャリア
用保管棚は、請求項１又は２において、前記天板が、前
記支持リブに前記キネマティックピンによって固定され
ているものである。

【００１２】この請求項３の構成によると、天板を支持
リブに固定する際に、天板に設けられるキネマティック
ピンを用いて固定するため、天板固定用の締結部材を別
途用いることがなくなるため、使用する部品数を減らす
ことができ、製造コストを低減することができる。

【００１３】請求項４に記載の半導体ウェハーキャリア
用保管棚は、請求項３において、前記天板が、前方に切
り欠きを有する略U字状をしているものである。

【００１４】この請求項4の構成によると、半導体ウェ
ハーキャリアを移載する移載ロボットの移載アームのフ
ィンガーが、半導体ウェハーキャリアの各保管部内に入
り込むことができ、半導体ウェハーキャリアのスムーズ
な移載が可能となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
半導体ウェハーキャリア用保管棚(以下、保管棚とい
う。)の一実施形態例について説明する。

【００１６】図１は、本発明に係る半導体ウェハーキャ
リアを保管する保管棚の実施形態の一例を示した概略斜
視図である。図1において、保管棚１は、背面側に設け
られた背板２と、保管棚１の骨格を形成する複数の柱３
と、半導体ウェハーキャリアを支持するキネマティック
ピン４を備えた天板５と、柱３に固定され、柱３から天
板５に沿って延在し、天板５を支持する支持リブ６と、
棚の側面を形成する枠板７とから構成されている。

【００１７】図1に示すように、棚の骨格を形成する複
数の柱３は、保管棚１の背面側にのみ設けられており、
保管棚１の前面部は、柱3等の障害物がなく、開放され
た状態となる。また、半導体ウェハーキャリアを保管す
る保管部が区画されることもない。このため、半導体ウ
ェハーキャリアの保管間隔を詰めることができ、半導体
ウェハーキャリアの大口径化に対応することができる。

【００１８】また、柱３は、半導体ウェハーキャリアを
保管した場合に、各半導体ウェハーキャリア間に位置す
るように配置されている。通常、半導体ウェハーキャリ
アの保管棚１の背板２側は、曲面形状をしているため、
各半導体ウェハーキャリア間には、空間１１(図２参照)
が形成される。これによって、柱３を各半導体ウェハー
キャリア間、即ち、空間１１に位置するように配置する
ことができ、従来の保管棚に比べて前方に柱３を配置す
ることができるので、保管棚１の奥行き寸法を小さくす
ることができる。

【００１９】図1に示すように、各天板５は、上面側に
半導体ウェハーキャリアを載置するキネマティックピン
４が設けられている。また、天板５は、前方に略U字状
の切り欠き８が形成されている。この切り欠き８が形成
されているため、半導体ウェハーキャリアを移載する移
載ロボットの移載アームが保管棚１に出入りすることが
できる(図４参照)。

【００２０】この天板５は、図２に示すように、一端を
柱３に固定され、この柱３から斜め前方に延びる支持リ
ブ６に載置される。そして、天板５の切り欠き８の両側
前方に配置されたキネマティックピン４ｂ、４ｃが、支
持リブ６に螺合等の任意の方法で締結されることで固定
されている。

【００２１】キネマティックピン４は、図１又は図２に
示すように、ＳＥＭＩ Ｅ５７−０２９９（３００ｍｍ
ウェハーキャリアの位置決めおよび支持のために使用さ
れるキネマティックカップリングの機械仕様(暫定仕
様)）に準じて天板５の切り欠き８の両側前方部４ｂ、
４ｃ及び底部中央部４ａに配置されている。このキネマ
ティックピン４の半導体ウェハーキャリアを載置する側
の端部もＳＥＭＩ Ｅ５７−０２９９に基づき形成され
ている。一方、キネマティックピン４の他端側は、支持
リブ６に締結できるように螺子加工が施されているもの
が好ましい。これによって、支持リブ６との締結を容易
に行え、天板５の締結部材数を減らすことができる。

【００２２】半導体ウェハーキャリア１０は、図３に示
すように、天板５に設けられたキネマティックピン４に
載置されて保管される。そして、支持リブ６によって、
その重量が支持され、支持リブ６に掛かる重量は、モー
メントとして柱３によって支えられる。

【００２３】半導体ウェハーキャリア１０は、図４に示
すように、移載ロボット２０によって各保管棚１の所定
の保管部に運ばれる。この時、半導体ウェハーキャリア
１０は、移載ロボット２０の移載アーム２１の先端部の
フィンガー上に載っている。そして、移載アーム２１を
保管棚１の前面側から所定の保管部内に伸ばし、保管部
内で天板５の切り欠き８を介して、フィンガーを上下左
右に移動させることでキネマティックピン４によって位
置決めされる。

【００２４】このように、本実施形態例に係る保管棚１
では、半導体ウェハーキャリアの重量を支えるのに、従
来の保管棚のように、天板５の曲げ強さを介在させるこ
となく、支持リブ６で直接支えるために、従来のよう
に、天板に係る重量を支えるための柱を前方に設ける必
要がなくなる。このために、保管棚１の前面を開放した
状態にすることが可能となり、各半導体ウェハーキャリ
アの間隔を詰めることが可能なる。

【００２５】また、キネマティックピン４によって、天
板５と支持リブ６との結合を共締めで行っているため、
従来のように、天板を棚受に締結するための締結部材が
不要となり、部品数を減らすことができる。

【００２６】また、背板２側に設ける柱３を、半導体ウ
ェハーキャリアの形状によってできる空間１１に配置す
るので、従来例よりも柱３の位置を保管棚１の前方側に
配置することができる。これにより、保管棚の奥行き寸
法を小さくすることができる。さらに、支持リブ６の先
端のキネマティックピンとの締結部との距離を短くする
ことができるため、半導体ウェハーキャリアの重量によ
り、柱３が支えなければならないモーメントを小さくす
ることもできる。

【００２７】なお、本発明に係る半導体ウェハーキャリ
ア用保管棚は、前記実施形態例に限定されるものではな
く、例えば、天板５を一枚の板とし、各半導体ウェハー
キャリアの載置位置に相当する部分にキネマティックピ
ンを配置し、切り欠きを形成するようにしたものを使用
することもできる。

【００２８】

【発明の効果】本発明の半導体ウェハーキャリア用保管
棚によると、保管棚の前面に柱を配置しないで、半導体
ウェハーキャリアを支持することができる。このため、
半導体ウェハーキャリアの保管間隔をギリギリまで詰め
ることができる。また、背板に設けられ、棚の骨格を形
成する柱を半導体ウェハーキャリアと半導体ウェハーキ
ャリアの間に配置するので、保管棚の奥行き寸法を小さ
くすることができる。このように、保管棚の床面積を大
きくすることなく、半導体ウェハーキャリアの大口径化
に対応でき、多くの半導体ウェハーキャリアを保管する
ことができる保管棚とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚
の一実施形態例を示す斜視概略図である。

【図２】本発明に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚
の一実施形態例の平面断面図である。

【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図４】本実施形態例に係る半導体ウェハーキャリア用
保管棚への半導体ウェハーキャリアを移載する移載ロボ
ットの動きを説明するための図である。

【図５】従来の半導体ウェハーキャリア用保管棚の一例
を示す平面断面図である。

【符号の説明】

１ 半導体ウェハーキャリア ２ 背板 ３ 柱 ４ キネマティックピン ５ 天板 ６ 支持リブ ７ 枠板 ８ 切り欠き １０ 半導体ウェハーキャリア １１ 空間 ２０ 移載ロボット ２１ アーム

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェハーキャリアを保管する保管
   棚であって、 棚の骨格を形成する柱と、 前記半導体ウェハーキャリアを支持するキネマティック
   ピンを備えた天板と、 前記柱に固定され、前記柱から前記天板に沿って延在
   し、前記天板を支持する支持リブと、で構成され、 前記柱が保管棚の背面にのみ配置され、前記柱から延在
   する前記支持リブが前方に延びている半導体ウェハーキ
   ャリア用保管棚。
2. 【請求項２】 前記支持リブが、前記キネマティックピ
   ンに向かって斜め前方に延びている請求項１に記載の半
   導体ウェハーキャリア用保管棚。
3. 【請求項３】 前記天板が、前記支持リブに前記キネマ
   ティックピンによって固定されている請求項１又は２に
   記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚。
4. 【請求項４】 前記天板が、前方に切り欠きを有する略
   U字状をしている請求項３に記載の半導体ウェハーキャ
   リア用保管棚。