JP2004042984A - 超大型基板用カセット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上下方向に所定間隔毎に基板Sを載支する棚片6を突設した複数の支持体3を、上枠体1と下枠体2間に連結して直方体状の箱型構造となした超大型基板用カセットであって、棚片6は、基板を収容するカセットの有効幅をW、棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/W<1/2なる関係に設定した。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、超大型基板用カセットに係わり、更に詳しくはディスプレイ用のパネルデバイスを多面取りするためのマザー基板若しくは超大型のディスプレイ用基板を多段に収容することが可能な超大型基板用カセットに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の基板用カセットにおいて、上枠体と下枠体とを、基板を載支する棚片を上下方向に一定間隔に突設した支持体で連結して構成する構造は一般的である。
【0003】
近年、ディスプレイ用のパネルデバイスの大型化に伴い、カセットに収容する基板の寸法も大型化してきている。例えば、基板として、縦横寸法が650mm×750mm、厚さ1.1mmや0.7mmの大きさのものが使用されている。ここで、基板をカセット内に収容する場合、基板の両側部を棚片で支持するのであるが、基板の撓みを抑制して、上下収納ピッチを小さくするために、特開平9−36219号公報では、カセットの有効幅をW、棚片の突出長さをLとして、Wが400mm以上の場合では、L/Wが1/10〜1/4の範囲になるように設定することが提案されている。
【0004】
しかし、前述の公報記載のカセットのように、支持体から突設した棚片によってガラス基板をその端部で支持する方法では、基板が更に大きくなると撓みが大きくなって対処しえなくなる。例えば、650mm×830mmの大きさの基板では、厚さが1.1mmの場合でも撓みが大きく、厚さが0.7mmも場合には撓みが更に倍以上になる。
【0005】
そこで、特開平11−35089号公報では、左右のサイドフレーム間に梁部材を所定のピッチで多段に架設し、この梁部材には基板出入用ロボットのフォークが出し入れ可能な上方が開放された空隙部と、該空隙部より高い位置にあって基板を裏面側から支える基板支承部を形成した構造のカセットが開示されている。
【0006】
しかし、この構造のカセットは、原理的には基板が更に大きくなっても適用可能であるが、基板の撓みと、フォークの上下移動を考慮すれば、各段を構成する梁部材の上下寸法を非常に大きくしなけらばならず、そのため上下ピッチが大きくなり、基板の収容効率が非常に悪くなる。
【0007】
尚、特開平11−176921号公報には、上下方向に所定間隔毎に基板を載支する棚片を突設した複数の支持体を、上枠体と下枠体間に連結して直方体状の箱型構造となした大型基板用カセットであって、前記棚片は金属製の支持ピンの先端部に合成樹脂製の先端カバーを被着したものであり、前記支持体の上下方向に一定間隔毎に形成した挿入孔に前記支持ピンの基端部を嵌入し、該支持体の内面側に棚片を突設してなる大型基板用カセットが提供されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、例えば1350mm×1650mm以上、厚さ0.7mm以下の非常に大きなガラス基板又は合成樹脂製のフィルム状基板を、収容効率が高く、安定に支持して収容することが可能であるとともに、基板出入用ロボットでの出し入れが容易である超大型基板用カセットを提供する点にある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述の課題解決のために、上下方向に所定間隔毎に基板を載支する棚片を突設した複数の支持体を、上枠体と下枠体間に連結して直方体状の箱型構造となした超大型基板用カセットであって、前記棚片は、前記基板を収容するカセットの有効幅をW、該棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/W<1/2なる関係に設定した超大型基板用カセットを構成した。
【0010】
また、本発明は、上下方向に所定間隔毎に基板を載支する棚片を突設した複数の支持体を、上枠体と下枠体間に連結して直方体状の箱型構造となした超大型基板用カセットであって、前記棚片は、前記基板を収容するカセットの有効幅をW、該棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/Wなる関係に設定するとともに、両側に位置する棚片先端の間隔Dを少なくとも基板出入用ロボットのフォークが通過し得る間隔に設定した超大型基板用カセットを構成した。
【0011】
ここで、前記棚片は、棒状又は板状であり、主要部分が金属材又はセラッミクス材又はカーボンファイバーと合成樹脂の複合材で作製され、少なくとも先端部に前記基板を載支する載支部を設けたものである。
【0012】
また、前記棚片は、金属製の前記支持ピンの少なくとも先端部と基部に前記基板を載支する合成樹脂製の載支部を設けてなることが好ましい。この場合、前記棚片の支持ピンの全長にわたりフッ素コート若しくは合成樹脂で被覆してなることがより好ましい。
【0013】
また、前記支持体に一定間隔毎に内外に貫通する取付孔を形成し、前記支持ピンの基端を余して基端部に該支持体の内面側に接合する合成樹脂製の保持部材を一体形成するとともに、該支持ピンの基端に螺軸部を形成し、該螺軸部を前記支持体の取付孔に内方から挿入し且つ前記保持部材を支持体の内面側に接合した状態で、外側から前記螺軸部にナットを螺合して、前記支持体に棚片を突設してなることが好ましい。
【0014】
そして、前記棚片の支持ピンの基端部に設けた保持部材に、前記基板の側縁を当止する緩衝部を設けてなることが好ましい。
【0015】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施形態を添付した図面に基づき詳細に説明する。図1及び図2は本発明に係る超大型基板用カセットの全体図、図3及び図4はその要部を示し、図中符号1は上枠体、2は下枠体、3は支持体、4はフロントストッパー、5はバックストッパー、6は棚片、Sは基板、Rは基板出入用ロボットをそれぞれ示している。
【0016】
本発明の超大型基板用カセットは、外形が長方形状の前記上枠体1と下枠体2の両側部間を、複数の支持体3,…で連結するとともに、前端部間をフロントストッパー4,4で連結し、更に後端部をバックストッパー5,5で連結して直方体形状に構成したものであり、前記支持体3には超大型のガラス基板Sを載支するための棚片6,…を上下方向に一定間隔毎に内方へ向けて突設し、また前面は前記基板Sを出し入れするための開口部7となっている構造である。本実施形態では、両側部にそれぞれ4本の支持体3,…を略等間隔に設けているが、前記基板Sの寸法や曲げ剛性に応じて必要な前記棚片6,…の本数が決定されるので、それに応じて前記支持体3を設けるものとする。
【0017】
ここで、前記上枠体1と下枠体2は、アルミニウム製の枠体で構成し、前記支持体3は断面略コ字形のSUS製で作成し、前記フロントストッパー4はSUSと合成樹脂の複合体で作成し、そして前記バックストッパー5は合成樹脂製で作成している。
【0018】
そして、図3及び図4に示すように、前記支持体3の内面側には、一定間隔毎に棚片6,…を突設している。前記棚片6は、金属製の支持ピン9の少なくとも先端部に前記基板Sを載支する合成樹脂製の載支部10を設けたものである。更に詳しくは、前記棚片6は、前記支持ピン9の少なくとも先端部と基部に前記基板Sを載支する合成樹脂製の載支部10,11を設けている。本実施形態では、前記支持ピン9をインサート成形によって、先端部と基部に前記載支部10,11を形成するとともに、該支持ピン9の全長にわたり合成樹脂で被覆している。図中符号12は合成樹脂の被覆部である。尚、前記被覆部12を合成樹脂で形成する代わりに、支持ピン9の外周面を全長にわたりフッ素コートで被覆しても良い。更に、前記棚片6は、支持ピン9の基端を余して基端部に前記支持体3の内面側に接合する合成樹脂製の保持部材13を一体形成するとともに、該支持ピン9の基端に螺軸部14を形成し、該保持部材13の上部は上方に延びて、前記基板Sの側縁を当止する傾斜した緩衝部15となっている。
【0019】
また、前記支持体3には、一定間隔毎に内外に貫通する取付孔16,…を形成してあり、前記棚片6を構成する支持ピン9の螺軸部14を前記支持体3の取付孔16に内方から挿入し且つ前記保持部材13を支持体3の内面側に接合した状態で、外側から前記螺軸部14にナット17を螺合して、前記支持体3に棚片6を突設するのである。尚、前記棚片6を支持体3に突設する構造は前述のものに限定されない。ここで、前記支持ピン9は、SUS又はチタンで作成し、前記載支部10,11及び前記保持部材13は、耐磨耗性を有するPEEKで作成している。
【0020】
本実施形態の超大型基板用カセットの外形寸法は、横幅が1460mm、高さが1990mm、奥行が1680mmであり、有効幅Wは1370mmである。前記棚片6の上下ピッチは、70mmで、24段となっている。また、前記棚片6の突出長さは約380mm〜550mm、支持ピン9の直径は10mm乃至14mmである。両側の棚片6,6の先端間隔は約610mm〜270mmである。本発明では、有効幅をW、前記棚片6の突出長さをLとすると、1/4<L/W<1/2なる関係に設定している。具体的な上記数値を当てはめると、L/Wが1/4より大きくなるためには、棚片6の突出長さをLは342.5mmより長くなければならない。この超大型基板用カセットに、1350mm×1650mm、厚さ0.7mmのガラス基板Sを多段に収容するのである。
【0021】
次に、図5〜図7に基づいて、前記基板Sを本発明に係る超大型基板用カセットに出し入れするための基板出入用ロボットRと、実際にそれを用いて基板Sを出し入れする手順を説明する。本発明に係る超大型基板用カセットでは、前述のL/Wが1/4よりも大きく設定するので、つまり棚片6の突出長さが長いので、両側の棚片6,6の間隔が基板Sに比べて非常に狭くなっており、従来構造の基板移載用のフォークでは基板Sの中央部分に偏った支持となって、基板側縁部が大きく撓んでしまって、基板に過大なストレスをかけることになるばかりでなく、カセットの上下棚片6,6の間隔を大きくしなければ出し入れできない。
【0022】
そこで、本実施形態では、前記両側の棚片6,6の先端の間隔Dよりも幅が狭いフォーク18,18の両側に複数本の受片19,…を突設し、各受片19の少なくとも先端部と基端部に基板Sを載支する合成樹脂製の突起20,20を突設している。前記突起20の個数、間隔及びその高さは、その上に基板Sの裏面を載置した際に、該基板Sが撓んでも前記フォーク18,18や受片19の直接接触しないような条件で設計する。尚、前記受片19の構造は、前記棚片6と同様であり、またフォーク18の長手方向に突設する間隔を前後の支持体3,3の間隔と略同じに設定している。ここで、前記棚片6の突出長さLを550mmとすると、両棚片6,6の間隔Dは270mmとなるので、前記フォーク18,18の外側間の幅を約250mmに設定し、前記受片19の突出長さを約400mmに設定している。すると、基板出入用ロボットRのフォーク部分の全幅は、約1050mmとなる。このフォーク部分に横幅が1350mmの基板Sを載置すると、受片19の先端から更に約150mmはみ出るが、その部分の撓み量は僅かである。
【0023】
そして、前記基板Sを基板出入用ロボットRでカセットに収容するには、先ず前記基板Sを基板出入用ロボットRのフォーク部分に載置した状態で、両側の棚片6,6の先端間(間隔Dの部分)にフォーク18,18を位置させ、カセットの開口部7から上下の棚片6,6間の隙間に進入させ、基板Sの奥端部が前記バックストッパー5,5に接近若しくは接触した状態でフォーク18,18の進行を停止する。それから、前記フォーク18,18を下降させると、前記受片19が前後の棚片6,6間を通過して下がり、前記棚片6,…の載置部10、11,…で基板Sの裏面が載支される。その後、前記フォーク18,18を後退させてカセットから引き出すのである。ここで、前記フロントストッパー4,4には、前記棚片6と同様な突起物22を前記棚片6よりも若干高い位置に設定しているので、前記基板Sをカセットに収容した状態で、前記突起物22が基板Sの前方への移動を規制するようにしている。尚、カセットに収容している基板Sを出す場合には、前述の動作を逆にすれば良い。
【0024】
図7に示すように、基板Sを両側の棚片6,…で載支し、実際には載支部10,11,…で載支した状態では、中央部が下方に撓むようになる。前記棚片6の長さLが有効幅Wの1/4以下になると、中央部の撓み量が極端に増大するとともに、基板Sの側縁が上方へ跳ね上がることになり、基板Sの中央部に過大なストレスがかかり、また基板Sの中央部が下方へ、側縁が上方へ変形するので、上下の棚片6,6の間隔を非常に大きくなって実用的でない。そこで、L/Wを1/4よりも大きくすればするほど、基板Sの中央部の撓み量は減少するとともに、基板Sの側縁が棚片6の基部に作用する荷重が増大する。従って、前記棚片6の先端にかかる荷重が減少し、棚片6自体の撓みを減少させることになり、好ましいのである。尚、前記棚片6が極端に長くなると、棚片6の中央部に対応する基板Sの部分が撓み、支持ピン9の軸部に接触するようになるので、該支持ピン9の中央部にも載支部を設けることが好ましい。
【0025】
図8及び図9は、前記棚片6の他の実施形態を示し、支持ピン9の先端部に上下に貫通した穴21若しくは凹部を形成し、該穴21若しくは凹部に合成樹脂製の載支部10を嵌着し、あるいはインサート成形の手法で載支部10を一体化し、更に支持ピン9の基端部に基端の螺軸部14を余して合成樹脂製の保持部材13を同様に一体化し、前記載支部11も前記保持部材13と一体に形成したものである。
【0026】
また、図10及び図11は、前記棚片6の更に他の実施形態を示し、図8及び図9に示したものより更に長尺の棚片6であり、支持ピン9の中央部に前記載支部10と同様な載支部23を設けたものである。その他の構成は、前記同様であるので、同一構成には同一符号を付して、その説明は省略する。
【0027】
尚、本実施形態では、前記棚片6として棒状のものを例示したが、板状のものでも良く、また主要部分として金属材以外にもセラッミクス材又はカーボンファイバーと合成樹脂の複合材を採用することができ、そしてこの場合も少なくとも先端部に前記基板Sを載支する載支部10を設けるのである。また、本実施形態では、1350mm×1650mm、厚さ0.7mmのガラス基板Sを収容するカセットを例示したが、1470mm×1770mm、厚さ0.7mmのガラス基板やもっと大型の基板にも適用可能である。また、ガラス基板以外にも、合成樹脂製のフィルム状基板を収容することも可能である。
【0028】
【発明の効果】
以上にしてなる本発明の超大型基板用カセットによれば、以下に示すような顕著な効果を奏するものである。
【0029】
請求項1によれば、前記棚片は、前記基板を収容するカセットの有効幅をW、該棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/W<1/2なる関係に設定したので、非常に大きなガラス基板を、収容効率が高く、安定に支持して収容することができるとともに、基板出入用ロボットでの出し入れが容易である。
【0030】
請求項2によれば、前記棚片は、前記基板を収容するカセットの有効幅をW、該棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/Wなる関係に設定するとともに、両側に位置する棚片先端の間隔を少なくとも基板出入用ロボットのフォークが通過し得る間隔に設定したので、非常に大きなガラス基板を、収容効率が高く、安定に支持して収容することができるとともに、基板出入用ロボットでの出し入れが容易である。
【0031】
請求項3によれば、前記棚片は、棒状又は板状であり、主要部分が金属材又はセラッミクス材又はカーボンファイバーと合成樹脂の複合材で作製され、少なくとも先端部に前記基板を載支する載支部を設けたものであるので、支持体からの突出長さが長くなっても十分な支持強度を保つことができる。
【0032】
請求項4によれば、基板の裏面を合成樹脂製の載支部のみで載支して収容することができ、基板を傷付けることがないのである。
【0033】
請求項5によれば、不意に載支部以外の棚片に基板が接触しても、脆いガラス基板が損傷することを防止できるとともに、金属製の支持ピンからのパーティクルの発生を防止できる。
【0034】
請求項6によれば、長尺の棚片でも支持体に強固に突設することができ、また棚片を支持体に対して組み立て式としたことにより、棚片が損傷した場合に交換することができるとともに、長さの異なる棚片に付け替えることもできる。
【0035】
請求項7によれば、カセットに収容した状態で振動等によって基板が横移動した場合に、保持部材の緩衝部で当止することができ、また基板出入用ロボットで基板を出し入れする際に、不意に基板が支持体に接触して損傷することを防止できるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る超大型基板用カセットの全体側面図である。
【図2】同じく正面図である。
【図3】棚片と支持体の関係を示す部分斜視図である。
【図4】同じく支持体に棚片を突設した状態の一部省略断面図である。
【図5】基板出入用ロボットを用いてカセットに基板を収容する前の状態を示す簡略平面図である。
【図6】同じく基板出入用ロボットを用いてカセットに基板を収容した後の状態を示す簡略平面図である。
【図7】両側の棚片で基板を載支した状態の簡略正面図である。
【図8】棚片の他の実施形態を示す斜視図である。
【図9】同じく棚片の断面図である。
【図10】棚片の更に他の実施形態を示す斜視図である。
【図11】同じく棚片の断面図である。
【符号の説明】
S 基板
R 基板出入用ロボット
1 上枠体
2 下枠体
3 支持体
4 フロントストッパー
5 バックストッパー
6 棚片
7 開口部
9 支持ピン
10,11 載支部
12 被覆部
13 保持部材
14 螺軸部
15 緩衝部
16 取付孔
17 ナット
18 フォーク
19 受片
20 突起
21 穴
22突起物
23 載支部
Claims (7)
- 上下方向に所定間隔毎に基板を載支する棚片を突設した複数の支持体を、上枠体と下枠体間に連結して直方体状の箱型構造となした超大型基板用カセットであって、前記棚片は、前記基板を収容するカセットの有効幅をW、該棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/W<1/2なる関係に設定したことを特徴とする超大型基板用カセット。
- 上下方向に所定間隔毎に基板を載支する棚片を突設した複数の支持体を、上枠体と下枠体間に連結して直方体状の箱型構造となした超大型基板用カセットであって、前記棚片は、前記基板を収容するカセットの有効幅をW、該棚片の突出長さをLとすると、1/4<L/Wなる関係に設定するとともに、両側に位置する棚片先端の間隔Dを少なくとも基板出入用ロボットのフォークが通過し得る間隔に設定したことを特徴とする超大型基板用カセット。
- 前記棚片は、棒状又は板状であり、主要部分が金属材又はセラッミクス材又はカーボンファイバーと合成樹脂の複合材で作製され、少なくとも先端部に前記基板を載支する載支部を設けたものである請求項1又は2記載の超大型基板用カセット。
- 前記棚片は、金属製の前記支持ピンの少なくとも先端部と基部に前記基板を載支する合成樹脂製の載支部を設けてなる請求項1又は2記載の超大型基板用カセット。
- 前記棚片の支持ピンの全長にわたりフッ素コート若しくは合成樹脂で被覆してなる請求項4記載の超大型基板用カセット。
- 前記支持体に一定間隔毎に内外に貫通する取付孔を形成し、前記支持ピンの基端を余して基端部に該支持体の内面側に接合する合成樹脂製の保持部材を一体形成するとともに、該支持ピンの基端に螺軸部を形成し、該螺軸部を前記支持体の取付孔に内方から挿入し且つ前記保持部材を支持体の内面側に接合した状態で、外側から前記螺軸部にナットを螺合して、前記支持体に棚片を突設してなる請求項4又は5記載の超大型基板用カセット。
- 前記棚片の支持ピンの基端部に設けた保持部材に、前記基板の側縁を当止する緩衝部を設けてなる請求項6記載の超大型基板用カセット。
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060809 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060818 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061017 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070206 |