KR20030057380A

KR20030057380A - 기판수납 카세트

Info

Publication number: KR20030057380A
Application number: KR1020020083981A
Authority: KR
Inventors: 기마타가즈오; 나카모리다카오; 가토가츠히코; 나카노기요노리
Original assignee: 가부시키가이샤 아이테크
Priority date: 2001-12-27
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2003-07-04
Also published as: TW200301533A; CN1428279A; TW594903B; JP2003197728A

Abstract

본 발명은 기판수납 피치를 축소화할 수 있어, 기판수납 카세트의 소형화, 경량화를 도모하는 것이다.

기판수납 카세트(1)는 기판(100)의 중심 가까이의 위치를 지지하는 상향 볼록부(53)가 형성된 기판받이(5)를 구비하고, 기판(100)의 출입이 로봇 등 반송수단(200)에 의해 행하여지는 기판수납 카세트(1)에 있어서, 기판받이(5)의 형상을 반송수단(200)이 기판(100)을 아래쪽으로부터 지지하고 있을 때에 발생하는 기판(100)의 휨형상을 모방한 형상으로 하였다.

Description

기판수납 카세트{CASSETTE FOR STORAGING SUBSTRATE}

본 발명은 LCD, PDP, FED 등 FPD(플랫 패널 디스플레이)의 유리기판 등 각종기판의 반송, 보관용으로서 사용되는 기판수납 카세트에 관한 것이다.

종래부터의 일반적인 기판수납 카세트는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판받이(5)에 의해 기판(100)의 양 단부(101)만을 지지하고 있어, 기판(100)의 자중에 의해 휘어짐이 발생하고, 로봇 등 반송수단에 의해 기판(100)의 출입을 행하기 위해서는, 기판수납 피치〔상하 기판받이(5)간의 간격〕를 크게 설정할 필요가 있어, 기판수납 카세트의 대형화 등을 초래하고 있었다.

또 종래부터의 다른 기판수납 카세트로서, 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판(100)의 휘어짐을 줄이기 위하여 기판(100)의 중심 가까이의 위치를 지지하는 상향 볼록부(53)가 형성된 기판받이(5)를 구비한 것이 알려져 있으나, 이와 같은 기판수납 카세트는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 기판(100)을 로봇 핸드(200) 등으로 인출할 때에 기판(100)이 상향 볼록형상으로 휘어, 기판(100)의 단부(101)가 기판받이(5)와 간섭하고, 또 기판(100)의 중앙부(102)가 바로 위의 기판(100)과 간섭하는 경우가 있다는 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고, 기판수납 피치를 축소화하면서, 기판 인출시에 기판과 기판받이 또는 다른 기판과의 간섭을 방지할 수 있는 기판수납 카세트를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 기판수납 카세트의 사시도,

도 2는 기판받이의 확대 정면도,

도 3은 기판수납 카세트로부터 기판을 인출할 때의 동작설명도,

도 4는 종래부터의 일반적인 기판수납 카세트의 구성도,

도 5는 종래부터의 다른 기판수납 카세트의 구성도,

도 6은 도 5 도시의 종래예의 문제점의 설명도이다.

※ 도면의 주요 부분에 있어서의 부호의 설명

1 : 기판수납 카세트 5 : 기판받이

53 : 상향 볼록부 100 : 기판

200 : 로봇 등 반송수단

본 발명의 기판수납 카세트는 기판의 중심 가까이의 위치를 지지하는 상향 볼록부가 형성된 기판받이를 구비하고, 기판의 출입이 로봇 등 반송수단에 의해 행하여지는 기판수납 카세트에 있어서, 상기 기판받이의 형상을 상기 반송수단이 기판을 아래쪽으로부터 지지하고 있을 때에 발생하는 기판의 휨형상을 모방한 형상으로 한 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

도 1은 본 실시형태에 관한 기판수납 카세트의 사시도를 나타내고 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 이 기판수납 카세트(1)는 바닥판(2)의 좌단 및 우단으로부터 좌우 한쌍의 지지기둥(3)이 복수조 깊이방향으로 소정 간격을 두고 세워 설치되어 있고, 각 지지기둥(3)의 상단에 천정판(4)이 고정되어 있다. 또 각각의 지지기둥(3)에는 상하방향으로 동일 간격으로 복수의 기판받이(5)가 내향으로 돌출 설치되어 있다. 긴 판형상의 기판받이(5)는 각각의 지지기둥(3)에 있어서 동일한 높이 위치에 있는 12개의 기판받이(5)가 1매의 기판(100)을 공동하여 지지하는 역활을 하고 있다.

도 2는 기판받이(5)의 확대 정면도를 나타내고 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판받이(5)는 지지기둥(3)의 안쪽면으로부터 수평으로 신장한 기초부(51)와, 이 기초부(51)로부터 비스듬하게 윗쪽으로 신장한 경사부(52)와, 이 경사부(52)의 선단에 상향으로 돌출한 상향 볼록부(53)를 가지고 있다. 기판받이(5), 특히 경사부(52)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판(51)이 로봇 등 반송수단에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있을 때〔도 2는 부분적으로 도시 생략하였으나, 좌우 한쌍의 로봇 핸드(200)에 의해 지지되어 있는 경우에 대응한다〕에 발생하는 기판(100)의 휘어짐에 착안하여, 이 때의 기판(100)의 연직 단면형상(휘어짐 각도)과 대략 일치하는 연직 단면형상(경사각도)를 가지도록 설정되어 있다. 환언하면, 기판받이(5)의 형상을 기판(100)이 반송수단(200)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있을 때에 발생하는 휘어짐을 모방한 형상으로 하고 있다. 또 상향 볼록부(53)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판(100)의 중심 가까이의 위치를 지지한다. 상하에 인접한 기판받이(5) 사이에 있어서는, 위쪽의 기판받이(5A)의 기초부(51A)의 하면의 높이 위치는, 아래쪽의 기판받이(5B)의 상향 볼록부(53B)의 상단의 높이 위치보다도 높고, 아래쪽의 기판받이(5B)에 의해 지지된 기판(100B)의 단부(101B)가 위쪽의 기판받이(5A)와 간섭하지 않도록 설정되어 있다.

도 3은 기판수납 카세트(1)로부터 기판(100)을 인출할 때의 동작설명도를 나타내고 있다. 도 3에 있어서, (A)는 인출 대상이 되는 상측 기판(100A)과 그 바로 밑의 하측 기판(10OB)과의 사이에 로봇의 핸드(200)를 진입시킨 상태를 나타내고 있다. 이 상태에 있어서는, 상하 어느쪽의 기판(100A, 100B)도 중앙부(102A, 102B)가 약간 내려간 상태에서 기판받이(5A, 5B)에 의해 지지되어 있다. 이 상태로부터, 핸드(200)를 상승시켜, 핸드(200)에 의해 상측 기판(100A)을 지지하도록 한다. (B)는 이 핸드(200) 상승시에 있어서, 핸드(200)가 상측 기판(100A)을 지지하기 시작한 후, 상측 기판(100A)이 막 기판받이(5A)의 상향 볼록부(53A)로부터 떠나려고 하고 있는 시점에서의 상태를 나타내고 있다. (B)의 상태에서는, 상측 기판(100A)에 상향 볼록형상의 휘어짐이 발생하고, 상측 기판(100A)은 기판받이(5A)의 경사부(52A)와 대략 평행한 상태가 되기 때문에, 상측 기판(100A)의 단부(101A)와 기판받이(5A)와는 간섭하지 않는다. (C)는 (B)의 상태로부터 핸드(200)가 더욱 상승하고, 상측 기판(100A)을 기판수납 카세트(1)로부터 인출하기 위하여 상측 기판(100A)을 수평으로 자기 앞으로 이동시키고 있는 상태를 나타내고 있다. (C)의상태에서는, 상측 기판(100A)의 중앙부(102A)는 상향 볼록형상에 의해 최대높이위치가 되나, 상측 기판(100A)의 바로 위의 기판(100C)은 경사부(52C)를 가지는 기판받이(5C)의 상향 볼록부(53C)에 의해 중심 가까이의 위치에서 지지되어 있기 때문에, 그 중앙부(102C)의 휘어짐이 적고, 게다가 중앙부(102C)의 높이위치가 높다. 이 때문에, 기판수납 피치〔상하에 인접하는 기판받이(5A, 5B, 5C) 사이의 간격〕가 비교적 작아도, 상측 기판(100A)의 중앙부(102A)와 그 위의 기판(100C)은 간섭하지 않게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 기판수납 카세트(1)는 기판(100)의 중심 가까이의 위치를 지지하는 상향 볼록부(53)가 형성된 기판받이(5)를 구비하고, 기판(100)의 출입이 로봇 등 반송수단(200)에 의해 행하여지는 기판수납 카세트(1)에 있어서, 기판받이(5)의 형상을 반송수단(200)이 기판(100)을 아래쪽으로부터 지지하고 있을 때에 발생하는 기판(100)의 휨형상을 모방한 형상으로 하였다. 이 때문에 본 실시형태에 의하면, 기판(100)을 기판받이(5)로 지지하고 있을 때는, 상향 볼록부(53)가 기판(100)의 중심 가까이의 위치를 지지하고 있으므로 기판(100)의 상하방향의 휘어짐은 적은 것이 되고, 또 기판(100)을 인출할 때, 반송수단(200)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있는 기판(100)에 휘어짐이 발생하나, 이 휘어짐은 기판받이(5)의 형상에 따른 형상이 되기 때문에, 기판수납 피치를 축소하여도 기판(100)과 기판받이(5)와의 간섭 및 기판(100)끼리의 간섭을 방지하는 것이 가능하게 되어, 기판수납 카세트(1)의 소형화, 경량화를 도모할 수 있다.

본 발명의 기판수납 카세트에 의하면, 기판받이의 형상을 반송수단이 기판을 아래쪽으로부터 지지하고 있을 때에 발생하는 기판의 휨형상을 모방한 형상으로 하였기 때문에, 기판수납 피치를 축소화시켜 기판수납 카세트의 소형화, 경량화를 도모할 수 있다.

Claims

기판의 중심 가까이의 위치를 지지하는 상향 볼록부가 형성된 기판받이를 구비하고, 기판의 출입이 로봇 등 반송수단에 의해 행하여지는 기판수납 카세트에 있어서,

상기 기판받이의 형상을, 상기 반송수단이 기판을 아래쪽으로부터 지지하고 있을 때에 발생하는 기판의 휨형상을 모방한 형상으로 한 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트.