CN101415627A - 基底盒 - Google Patents

基底盒 Download PDF

Info

Publication number
CN101415627A
CN101415627A CNA2007800125043A CN200780012504A CN101415627A CN 101415627 A CN101415627 A CN 101415627A CN A2007800125043 A CNA2007800125043 A CN A2007800125043A CN 200780012504 A CN200780012504 A CN 200780012504A CN 101415627 A CN101415627 A CN 101415627A
Authority
CN
China
Prior art keywords
support bar
substrate
vertical direction
substrate cassette
adjustment mechanism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2007800125043A
Other languages
English (en)
Inventor
I·于亚萨
Y·马鲁亚马
T·托基
I·富卡祖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EIDP Inc
Original Assignee
EI Du Pont de Nemours and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EI Du Pont de Nemours and Co filed Critical EI Du Pont de Nemours and Co
Publication of CN101415627A publication Critical patent/CN101415627A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本发明涉及一种基底盒(12),所述基底盒(12)装入许多在垂直方向上成多层的水平取向的基底(14),及其中支承杆件(20)安装成支承基底,以便禁止每个基底的中心部分的弯曲,其中调节支承杆件在垂直方向上的畸变的垂直方向调节机构(110)设置在支承杆件和框架(18)之间,所述框架在基底插入侧的相对侧的后部上形成。

Description

基底盒
发明背景
1.发明领域
本发明涉及一种基底盒,所述基底盒用来储存各种类型基底如液晶显示器中所用的玻璃基底。更具体地说,本发明涉及一种基底盒,所述基底盒防止在使用时储存在支承杆件上的各基底之间接触。
2.相关技术说明
在液晶显示器生产过程中,利用基底盒来暂时储存玻璃基底,上述基底盒装入许多在垂直方向上成多层的水平取向的玻璃基底。这些基底盒当在储存基底的状态下从基底盒的前面看时,通常包含多个支承杆件,所述支承杆件通过在垂直方向上交替式定位多个基底来支承每个基底。
从液晶显示器的生产效率的观点来看,基底盒所要求的功能包括能装入和储存大量玻璃基底。因此,支承杆件是基底盒的构成件,并直接支承玻璃基底,上述支承杆件要求在垂直方向上尽可能薄,并使垂直相邻的基底能极为接近的储存。
此外,从保证玻璃基底的质量的观点来看,基底盒所要求的另一种功能是防止所储存的玻璃基底相互接触。也就是说,尽管基底盒通常装入数十个玻璃基底,但垂直相邻的玻璃基底必须不能相互接触而造成损坏其表面。因此,要求直接支承玻璃基底的支承杆件抗弯曲。
另外,从液晶显示器生产期间可加工性的观点来看,基底盒所要求的另一个功能是总体重量轻。尤其是,因为在液晶显示器的生产中所用的玻璃基底近年来变得越来越大,所以用来储存基底的基底盒也变得相应地更大。因此,要求用作这些基底盒的构成件的支承杆件尽可能重量轻。
这样,要求支承杆件具有表观上具有薄而抗弯曲的特性,而同时还要求尽可能重量轻。
支承杆件、装有支承杆件的储存盒及其相关技术已经公开,如下面所指出的。
日本专利申请公开No.2000-7148公开了一种玻璃基底盒,所述基底盒装入或储存例如在液晶显示器件中所用的玻璃基底。该参考文献详细说明一种玻璃基底盒和中心支承部分,上述玻璃基底盒装入玻璃基底,且具有边缘支承部分,所述边缘支承部分如此组成,以便支承装入的玻璃基底的边缘,而上述中心支承部分如此组成,以便支承玻璃基底的中心部分。
日本专利申请公开No.2000-142876公开了一种装基底的盒,所述盒用来装入例如在利用塑料基底的液晶显示元件的生产过程中所用的塑料基底。该参考文献详细说明了装基底的盒,所属基底盒包括前板、上板、下板、右侧板、左侧板和后板,并具有基底边缘支承件和基底中心支承件,上述前板具有用于取出和插入基底的开口,上述后板具有若干孔,上述基底边缘支承件从两侧板向内部伸出,用于支承基底的左和右边缘,而上述基底中心支承件从后板向内部伸出,用于支承基底的中心部分。
日本专利申请公开No.2004-146578公开了一种能减轻基底盒重量的盒基底支承件和基底盒。该参考文献详细说明了在基底盒中所用的盒基底支承件,上述基底盒以分层状态装入基底,用于从下面以预定的间隔支承基底,上述盒基底支承件如此设置,以便从基底盒框架伸到内部,并具有若干肋条,所述肋条由长杆状构件、夹持件、和辅助支承件形成,上述夹持件设置在肋条的一端上,用于将肋固定到框架上,而上述辅助支承件沿着肋条的轴向方向以预定的间隔设置在肋条上;其中,各肋条具有碳纤维增强塑料材料,所述材料含有在其轴向方向上取向的碳纤维。
美国专利申请公报No.2006/0011507公开了一种装入基底的盒,所述盒在各种类型基底如液晶显示器件中所用的玻璃基底的生产过程中使用,而更具体地说,公开了一种支承件(支承杆件),所述支承件设置在盒的每一层处。该参考文献详细说明了一种基底盒支承杆件,所述支承杆件用于如此支承每个基底,以便禁止其中间部分在基底盒中弯曲,所述基底盒装入许多在垂直方向上成多层的水平取向的基底;其中,上述支承杆件用碳纤维复合材料形成,所述碳纤维复合材料含有按体积计30%或更多的具有抗拉弹性模量为490-950GPa的高弹碳纤维。
在过去,当发现支承杆件的角度在固定了支承杆件之后偏离了所希望的角度时,则将支承杆件重新固定。然而,因为必须将支承杆件牢牢地固定到基底盒的框架上,所以重新固定支承杆件造成在时间和劳力方面的极大负担。在利用短支承杆件的情况下,即使在支承杆件角上有某种程度畸变,但在支承杆件的端部处的畸变也不那样大。然而,在储存所谓第八代基底的大尺寸玻璃基底的基底盒中,支承杆件的长度可以高达约2000mm。因此,当安装支承杆件时即使最轻微的畸变量也可能最后在支承杆件的端部处变得相当大,同时根据特定情况可能造成各玻璃基底之间接触。
发明提要
因此,本发明的目的是提供一种基底盒,所述基底盒能在支承杆件的角度偏离所希望的角度的情况下很容易将支承杆件调到合适的角度。
本发明涉及一种基底盒,所述基底盒装入许多在垂直方向上成多层的水平取向的基底,且其中各支承杆件安装成如此支承基底,以便禁止每个基底的中心部分的弯曲,其中调节支承杆件在垂直方向上的畸变的垂直方向调节机构设置在支承杆件和框架之间,所述框架在基底插入侧的相对侧上的后部形成。在本发明的基底盒中,垂直方向调节机构优选的是用螺钉调节支承杆件的垂直方向相对于框架的角度的机构。
此外,本发明还包括一种基底盒,所述基底盒装入许多在垂直方向上成多层的水平取向的基底,且其中支承杆件安装成如此支承基底,以便禁止每个基底的中心部分的弯曲,其中一水平方向调节机构与垂直方向调节机构一起,上述垂直方向调节机构调节支承杆件在垂直方向上的畸变,它设置在支承杆件和框架之间,所述框架在与基底插入侧相对侧的后部上形成,而上述水平方向调节机构调节支承杆件在水平方向上的畸变,它设置在框架和支承杆件之间。在本发明的这种储存盒中,垂直方向调节机构优选的是用螺钉调节支承杆件的垂直方向相对于框架的角度的机构,而水平方向调节机构优选的是用螺钉调节支承杆件的水平方向相对于框架的角度的机构。
在这种类型基底盒中,支承杆件优选的是用碳纤维复合材料,或者碳纤维复合材料和与碳纤维复合材料不同的材料制成。
本发明的基底盒具有垂直方向调节机构,所述垂直方向调节机构调节支承杆件在框架和支承杆件之间垂直方向上的畸变。因此,在支承杆件已固定到框架上之后,可以很容易调节支承杆件的任何畸变。
附图简介
图1是本发明的玻璃基底盒具有支承杆件的实施例的示意透视图;
图2A是透视图,图2B是俯视图,和图2C是作为图1所示的基底盒12的构成件的支承杆件22的侧视图;及
图3A是俯视图,和图3B是用于固定图1所示的支承件18和支承杆件20的结构的实施例的纵向剖视图。
优选实施例说明
本发明涉及一种基底盒,所述基底盒使用若干预定的构成件。本发明的基底盒装备有一垂直方向调节机构,所述垂直方向调节机构调节支承杆件在框架和支承杆件之间的垂直方向上的畸变。因此,可以在支承杆件固定到基底盒的框架上之后调节支承杆件的角度。换句话说,可以在不必实施麻烦的重新固定支承杆件的情况下将支承杆件的角度调节到所希望的角度。
下面参照附图提供本发明的基底盒的详细说明。
图1是本发明的玻璃基底盒装备有支承杆件的实施例的示意透视图,且玻璃基底或其它基底14从图1所示的箭头A的方向插入和取出。架子16用作边缘支承件,用于支承装入的基底的边缘,上述架子16设置在基底入口的两侧上的多层中,一排支承杆件20设置在垂直方向上,所述支承杆件具有固定端,所述固定端用支承件18固定,同时完成在基底入口的相对侧上框架的角色,且各基底14被水平夹持,而同时禁止基底14的中心部分的弯曲。在图1中,尽管示出一构造其中一排支承杆件20在垂直方向上基底入口的相对侧的中心附近,但本发明不限于此,而是可以使用多排支承杆件,只要它们能禁止基底14的中间部分的弯曲。
可以使用已知材料用于与后面所述调节件不同的那些构件的材料,所述调节件包括组成基底盒12的支承杆件20。另外,对边缘支承架16及其它构成件如用作基底入口的相对侧的底部构架、顶部构架和后部构架等的材料没有特别的限制,并且还可以包括例如碳纤维复合材料。在这种情况下,可以高水平地同时实现基底盒12的重量轻和刚度二者。
在图1所示的实施例中,尽管把每个架子16的宽度制成比支承杆件20的宽度更宽,但许多具有宽度大约等于支承杆件20宽度的架子16可以用预定的间隔安装在基底入口的两侧上。此外,许多架子单元(在图1中是三个单元)在支承杆件20的纵向方向上分开,它们也可以用预定的间隔安装,如图1所示。
接下来,提供支承杆件20的详细说明。图2A是透视图,图2B是俯视图,而图2C是作为图1所示基底盒12的构成件的支承杆件22的侧视图。在图2所示的实施例中,支承杆件22包括上板24、下板26和空心中间件28,上述上板24用碳纤维复合材料(碳纤维增强塑料,简单地缩写为“CFRP”)制成,上述下板26用CFRP制成,而上述空心中间件安装在上板24和下板26之间,和用与CFRP不同的材料制造,并且有一总体空心结构。另外,尽管图2所示的实施例是空心结构的实施例,但支承杆件22不限于这种形式,而是也可以应用实心结构。此外,支承杆件22也可以整个包括CFRP。
关于上板24和下板26所用的CFRP的组成设有特殊的要求。
很宽范围的已知材料可以适用于CFRP。优选的是使用也抗弯曲的重量轻的CFRP。所用的CFRP的实施例是其含有按体积计30%或更多的具有抗拉弹性模量为490-950GPa的高弹碳纤维的CFRP。如果含量按体积计为30%或更多,则得到构件具有足够刚度和高振动衰减特性。高弹碳纤维的含量优选的是按体积计为40%或更多。此外,尽管所用的全部增强纤维都可以是高弹碳纤维,但构件的一部分也可以用其它增强纤维制造,如具有抗拉弹性模量为小于490GPa的碳纤维、玻璃纤维、芳族聚酰胺纤维、碳化硅纤维或其它已知增强纤维。例如,可以用一种组合,其中高弹碳纤维的含量为按体积计不大于90%,而其余部分由其它增强纤维,和尤其是具有抗拉弹性模量为小于490GPa的碳纤维组成。
此外,在图2所示的实施例中,中间件28可以使用与碳复合材料不同的材料,所述中间件28安装在上板24和下板26之间。例如,中间件28优选的是由具有高强度和耐蚀性的铝或不锈钢形成。此外,在实现高水平重量轻的情况下,中间件优选的是由附图中未示出的蜂窝形芳族聚酰胺纤维形成。芳族聚酰胺纤维具有强度约为普通钢丝的5倍,且除了重量轻之外,还有优越的耐热性和抗冲击性,因而使它们用作中间件28尤其有利。
如图2所示,在对整个支承杆件22采用空心结构的情况下,优选的是支承杆件的固定端具有下述结构,其中垂直于支承杆件的纵向方向的横断面的外周边变得朝自由端方向移动较小,以便得到更高的振动衰减特性。这里,“纵向方向”涉及图2所示的空心支承杆件22的固定端横断面重心(G1)与自由端的横断面重心(G2)的连线的方向。
在图2所示的支承杆件22中,在分别把固定端的宽度和高度定义为H1和T1、及分别把自由端的宽度和高度定义为H2和T2的情况下,支承杆件22具有一锥形形状,其中只有宽度朝自由端方向移动变得更窄(H1>H2,T1=T2)。然而,可在本发明的基底盒中使用的支承杆件不限于这种形状。除了支承杆件22具有图2所示的形状之外,可用于本发明的基底盒的支承也可以采用下述形状,其中例如只有厚度朝自由端方向移动变得更小(H1=H2,T1>T2)。而且,尽管在附图中未示出,但适用于本发明的基底盒的支承杆件也可以具有下述锥形形状,其中宽度和高度二者朝自由端方向移动变得更小(H1>H2,T1>T2)。
这样,如图2所示,在支承杆件22的外周边朝自由端方向移动变得更小的情况下,为了减小在起初振动期间的振幅,支承杆件22的自由端的外周边优选的是占固定端的外周边的1/3或更多,而更优选的是1/2或更多。另一方面,为了证明通过减少外周边甚至一点儿比其固定端和自由端具有相同外周边的支承杆件对振动衰减特性的作用,自由端的外周边优选的是为固定端的外周边的9/10或更少,而更优选的是3/5或更少。
此外,其中外周边朝自由端方向移动变得更小的情况不限于如图2所示的其中外周边从固定端朝向自由端均匀减小的情况。例如,可以应用下述情况,其中外周边在固定端附近的一部分处不改变,而然后在那部分之外朝向自由端移动逐渐变得更小,或者可以应用下述情况,其中外周边在纵向方向上减小到中间部分,和然后在那部分之后朝向自由端移动变得恒定不变,及可以应用各种情况。
另外,尽管在附图中未示出,但适用于本发明的基底盒的支承杆件可以是下述形状,其中固定端和自由端二者的宽度和高度具有相同尺寸(例如,在图2中H1=H2,T1=T2)。
支承杆件22的自由端可以如图2所示保持敞开,或者可以将用橡胶或其它弹性件制成的帽插入开口的端部中。
而且,图2所示的支承杆件22的长度可以是这样,即支承杆件22能支承基底,以便当基底装在如图1所示的基底盒12中时,禁止中心部分弯曲。因此,这个长度可以按照待装入的基底的尺寸确定。在本发明中,支承杆件22的长度越大,则本发明所证明的作用变得越显著。尤其是,在其中支承杆件的长度为500mm或以上、优选的是1000mm或以上,而更优选的是2300mm或以上的情况下,本发明极为有用。对支承杆件22的宽度没有特殊限制,而最小宽度是固定到能保持所需的强度和弯曲刚度,用于禁止装入的基底的中间部分弯曲,同时与其中所用材料组合的方式相对应。此外,高度也可以合适地设定,以便能根据在装入基底处间距的范围内与宽度的关系固定最小所需的强度和弯曲刚度。
在支承杆件22中,在例如上板24、下板26、和安装在这些板之间的中心件28包括如图2所示的不同材料的情况下,与只包括碳纤维复合材料的支承杆件相比,支承杆件很容易制造。更准确地说,如日本专利申请公开No.2005-340480中所述的用碳纤维复合材料制成的支承杆件具有重量轻和抗弯曲的特性。然而,由其制造支承杆件的过程是复杂而麻烦。这种支承杆件的制造在生产供第八代基底等等使用的长支承杆件的情况下尤其困难。关于这点,本发明的支承杆件可以通过简单地将板形碳纤维复合材料和中间件成层制造,同时使制造过程显著地简单。根据特定情况,可以将上板、下板和中间件运输到液晶生产厂,和然后在该工厂内装配,以便使支承杆件能甚至更容易制造。
此外,通过用不同的材料组成上板24、下板26和中间件28,可以改善支承杆件的振动衰减特性。因此,在支承杆件的弯曲期间可以有效地防止各玻璃基底之间的接触。此外,因为振动被快速阻尼,所以插入和取出基底可以平稳地进行,因此改善了可加工性。而且,支承杆件的重量可以通过使用CFRP作为上板24和下板26的材料来减少,因而能实现整个基底盒的重量减少。在对中间件应用空心形状的情况下,甚至可以提供更轻重量的支承杆件。
下面,通过尤其是聚焦在如图2所示的用于生产锥形空心支承杆的方法的实施例上,提供适合于本发明的基底盒的支承杆件生产方法的说明。实际上,该领域的技术人员可以很容易理解,通过合适地改变下述方法,也可以生产具有其它形状的支承杆件。
首先,作为预备步骤,制造碳纤维复合材料用于上板和下板,及制备铝薄板用于中间件。
(上板和下板的形成)
用于上述和下板的碳纤维复合材料用下面所述方式形成。首先,将基体树脂预浸渍到碳纤维薄板中,以便形成未固化的预浸处理(prepreg)薄板。这种浸渍处理薄板优选的是例如使用按体积计30%或更多的具有抗拉弹性模量为490-950GPa的高弹碳纤维。此外,也可以将玻璃纤维或其它纤维加到碳纤维复合材料中,只要它们不削弱上板和下板的支承性能。
基体树脂可以使用热固性树脂,如环氧树脂、酚醛树脂、氰酸盐树脂、不饱和聚酯树脂、聚酰亚胺树脂、双马来酰亚胺树脂等。在这种情况下,优选的是其能经受高温高湿环境如橡胶硫化作用的树脂。此外,热固性树脂也可以使用其中加入橡胶或树脂制成的细粒子到热固性树脂中用于改善抗冲击性和粗糙度的目的的热固性树脂,或者其中将热塑性树脂溶于热固性树脂中的热固性树脂。
尽管碳纤维的类型包括PAN(聚丙烯腈)基碳纤维和沥青基碳纤维,但在本发明中可以将它们组合使用。上述PAN基碳纤维具有抗拉弹性模量为小于490GPa,而上述沥青基碳纤维具有抗拉弹性模量为490-950GPa。在这种情况下,沥青基纤维具有高弹性模量的特点,而PAN基纤维具有高抗拉强度的特点。此外,预渍处理薄板的实施例包括单向薄板和纱罗组织薄板,在上述单向取向薄板中增强纤维朝同一方向取向,而上述纱罗组织如常规织造、斜纹组织、锻纹组织及三轴向组织。对具有抗拉弹性模量为490-950GPa的高弹碳纤维预渍处理薄板来说,单向薄板尤其优选。
可以制备不同类型的预浸处理薄板,如具有不同类型增强纤维的那些、具有不同的增强纤维与基体树脂的使用比例的那些、或者具有不同的增强纤维取向的那些。因此,待使用的预浸处理薄板优选的是按照待夹持的玻璃基底合适地选定,以便形成具有最佳弯曲刚度的支承杆件。
预浸处理薄板的外表面如需要时可以覆盖纱罗组织预浸处理薄板。纱罗组织预浸薄板涉及一种未经固化的薄板,其中上述基体树脂预浸渍到朝许多方向织造的增强纤维中。增强纤维优选的是使用织造碳纤维、玻璃纤维、芳族聚酰胺纤维或碳化硅纤维等等。此外,挠性高粘性薄板是优选的,以便能紧密粘合到和涂装预浸处理薄板上。涂层可以实施紧密粘合到预浸处理薄板上而同时用熨斗等加热。
由于涂装这种纱罗组织预浸处理薄板的结果,所以可以防止在后加工如切削和钻孔之后热处理期间在加工部分处发生松散、散开等。因此,使用纱罗组织预浸处理薄板提供下述优点,即不仅改善了可加工性,而且还减少了碎屑的产生等,同时没有损坏液晶显示器基底、等离子体显示器基底、硅片或其它精密基底的危险。
接下来,将预浸处理薄板形成为预定尺寸的预浸处理薄板部分。这种预浸处理薄板部分是例如图2所示的上板24和下板26的形状。用来形成预浸处理薄板的方法可以是通过机械加工切削或者通过激光加工等。
将这样得到的未固化的预浸处理薄板部分放在真空袋及诸如此类之中,然后在炉子或类似设备中加热,而同时施加压力以便得到上板和下板。在这种情况下的加热条件包括从室温开始以每分钟2-10°的速率加热,并于约100-190℃的温度下保温约10-180分钟,和然后中断加热并通过自然冷却返回到室温。这里,将未固化的预浸处理部分放在真空袋中的目的是均匀地施加外部压力(亦即大气压)到未固化的构件上。
(中间件的形成)
用于中间件的材料优选的是具有优越耐蚀性的金属材料如铝或不锈钢。然而,尤其是对支承杆件实现高水平减轻重量的情况下,优选的是使用铝。此外,当希望进一步减轻支承杆件的重量时,更优选的是使用蜂窝形芳族聚酰胺纤维代替铝。
这些金属材料或芳族聚酰胺纤维按照已知成形方法形成金属构件等,以便得到中间件。例如,中间件可以具有图1所示中间件18的形状。成形可以通过用机加工切削或者通过用激光加工等进行。
(支承杆件的形成)
支承杆件可以用上述方式得到的上板、下板和中间件按照已知的成形方法形成。支承杆件可以通过例如粘结这些构件形成。例如,可以使用两组分液体混合型环氧树脂胶粘剂作为胶粘剂。尽管对粘合条件没有特殊的限制,但在考虑可加工性时优选的是使用可在室温下固化的胶粘剂。
这样得到的支承杆件可以如上所述很容易制造。此外,因为支承杆件取包含上板、下板和其它构件的复合件形式,所以整个支承杆件在禁止弯曲方面十分有效。因此,在支承杆件的弯曲期间可以十分有效地防止各玻璃基底之间的接触。另外,通过合适地选择上述材料和采用用于上板和下板的空心结构,可以提供甚至重量更轻的支承杆件。
尽管上述各节已经提供了本发明的基底盒的每种构成件的说明,但下面提供用作这些构成件的其中之一用于图1所示的固定支承件18和支承杆件20的结构的说明。另外,可以采用已知方法来装配与支承杆件不同的那些构件。
图3A是俯视图,和图3B是在基底盒框架20的支承件18和支承杆件20之间的固定结构中使用调节机构100的实施例的纵向剖视图。在图3A和3B中,支承杆件20穿过调节机构100固定到支承件18上。调节机构100由垂直方向调节机构110和水平方向调节机构120构成,上述垂直方向调节机构110用于在垂直方向上相对于支承件18调节支承杆件20,而上述水平方向调节机构120与垂直方向调节机构110耦合,用于在水平方向上相对于支承件18调节支承杆件20。
如图3A和3B中所示,垂直方向调节机构110通过两个螺栓131和132及相应的锁紧螺母133和134固定到支承件18上处于在三个方向上被支承件18包围的状态(图3A)。垂直方向调节机构110具有一种结构,所述结构能通过方向位移绕螺栓131的螺栓孔旋转,上述方向位移在图3B中居于螺栓135和136的相应锁紧螺母137和138之间。上述方向调节机构120通过螺栓139和140固定到垂直方向调节机构110上,并具有一能绕螺栓139的螺栓孔旋转的结构。支承杆件20通过已知的方法如粘合作用接合到水平方向调节机构120上处于下述状态,其中插入水平方向调节机构120的伸出部分。
这里,垂直方向调节机构110可以用任何材料制成,只要该材料可以牢牢地与支承件18耦合,并用螺栓固定到水平方向调节机构120上。例如,在重量轻和加工方便方面优选的是使用铝。此外,水平方向调节机构120也可以用任何材料制造,只要该材料可以支承支承杆件20并用螺栓固定到垂直方向调节机构110上。与垂直方向调节机构相同,在重量轻和加工方便方面优选的是使用铝。
此外,调节机构100的形成可以通过分开形成每个调节机构110和120进行,其中在预定位置处形成预定尺寸的螺栓孔,然后,用螺栓139和140将这些调节机构110和120用螺栓固定,同时对应于在水平方向上使用角度调节的方式。
接下来,提供使用这种调节机构100的方式的说明。
首先,将支承杆件20和水平方向调节机构120牢牢地接合,同时水平方向调节机构120的伸出部分插入空心支承杆件20中。
接下来,当水平方向调节机构120与垂直方向调节机构110耦合时,使水平方向调节机构120相对于垂直方向调节机构110旋转一预定角度,其结果是确定支承杆件20的水平方向上相对于支承件18的角度。这里,尽管螺栓139的螺栓孔尺寸完全与螺栓139的尺寸匹配,但螺栓140的螺栓孔尺寸稍大于螺栓140的尺寸,因而能使支承杆件20朝水平方向移动。螺栓140的螺栓孔的形状可以具有例如大致椭圆形形状,所述椭圆形形状在水平方向上具有它的长轴,如图3A中所示(图3A的垂直方向)。螺栓140的螺栓孔的形状也可以取弧形槽的形状。由于应用这种结构的结果,在水平面中水平方向调节机构120相对于垂直方向调节机构110旋转的情况下,水平方向调节机构120绕螺栓139的螺栓孔的位置旋转成螺栓139和140已松开的状态。接下来,可以通过将螺栓139和140紧固确定水平方向调节机构120相对于垂直方向调节机构110的位置,亦即在支承杆件20的方向上相对于支承件38的角度。
另外,当垂直方向调节机构110和支承件38耦合时,垂直方向调节机构110在垂直平面中相对于支承件18旋转预定的角度,其结果是确定在支承杆件20的垂直方向上相对于支承件18的角度。这里,尽管螺栓131的螺栓孔的尺寸完全匹配螺栓131的尺寸,但螺栓132的螺栓孔的尺寸稍大于螺栓132的尺寸,因而能使支承杆件20在垂直方向上移动。螺栓132的螺栓孔可以具有例如大致的椭圆形形状,所述椭圆形形状在垂直方向上具有它的长轴。螺栓132的螺栓孔形状也可以取弧形槽的形状。由于应用这种结构的结果,在垂直平面中垂直方向调节机构110相对于支承件18旋转的情况下,将垂直方向调节机构110推到图3B的右面或是返回到图3B中左面,且通过在图3B中水平方向上移动螺栓135和136使垂直方向调节机构110绕螺栓131的螺栓孔的位置旋转处于其中螺栓131和132已松开的状态。接下来,通过紧固螺栓131和132确定垂直方向调节机构110相对于支承件18的旋转位置,亦即在支承杆件20的垂直方向上相对于支承件18的角度。
垂直方向调节机构110和水平方向调节机构120在生产基底盒之后可以进行细调。例如,在使用基底盒的过程中一个支承杆件的方向变动的情况下,简单地通过调节上述调节机构将支承杆件的方向调节到合适的方向。
调节机构的使用形式的另一个实施例是调节与玻璃基底的重量相对应的角度。换句话说,将螺栓132朝向其螺栓孔的右侧方向设置。并紧固用于支承杆件,对所述支承杆件来说所夹持的玻璃基底的重量比较轻,而相反,螺栓132朝其螺栓孔的左侧方向设置,并在玻璃基底较重的情况下紧固,以便防止垂直相邻的玻璃基底之间的接触。
此外,由于应用具有上述结构和功能的调节机构100的结果,通过将螺栓140紧固在其螺栓孔中同一位置,用于例如将所有支承杆件20固定到基底盒上,可以使各支承杆件20在基底盒内延伸的方向变均匀,因而使基底盒具有总体优越的外观。此外,因为支承杆件的端部对准,所以支承杆件变得很容易插入和取出基底盒,因此能改善可加工性。
另外,尽管图3所示的实施例具有由垂直方向调节机构110和水平方向调节机构120所构成的调节机构100,但这些调节机构的其中之一可以省略,以便调节机构100只在所希望的方向上调节支承杆件20的角度。另外,在任何情况下,图3A和3B中调节机构100的最左面部分要求具有用于耦合支承杆件20的机构。除非支承件38和调节机构100,及调节机构100牢固地耦合,以便它们不移出位置,否则由调节机构100所证明的作用减小。
本发明的基底盒能在支承杆件已附接到基底盒上之后用调节机构很容易调节支承杆件的角度。因此,可以减少调节支承杆件所需的时间和劳动的量,因而有助于提高工作的生产率,包括使用玻璃基底,如制造液晶显示板。本发明的基底盒尤其适用于储存称之为第八代基底的大尺寸玻璃基底。然而,本发明不限于第八代基底,而是自然也同样可适用于其它尺寸的玻璃基底。

Claims (6)

1.一种基底盒,所述基底盒装入许多在垂直方向上成多层的水平取向的基底,且其中安装支承基底的支承杆件,以便防止每个基底的中心部分的弯曲,其中调节支承杆件在垂直方向上的畸变的垂直方向调节机构设置在支承杆件和框架之间,所述框架在基底插入侧的相对侧的后部上形成。
2.按照权利要求1所述的基底盒,其中调节支承杆件在水平方向上的畸变的水平方向调节机构设置在框架和支承杆件之间。
3.按照权利要求1所述的基底盒,其中垂直方向调节机构用螺钉调节支承杆件的垂直方向相对于框架的角度。
4.按照权利要求2所述的基底盒,其中水平方向调节机构用螺钉调节支承杆件的水平方向相对于框架的角度。
5.按照权利要求1所述的基底盒,其中支承杆件用碳纤维复合材料制成。
6.按照权利要求1所述的基底盒,其中支承杆件用碳纤维复合材料和与碳纤维复合材料不同的材料制成。
CNA2007800125043A 2006-04-07 2007-04-04 基底盒 Pending CN101415627A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP106676/2006 2006-04-07
JP2006106676A JP2007281252A (ja) 2006-04-07 2006-04-07 基板カセット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101415627A true CN101415627A (zh) 2009-04-22

Family

ID=38581620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2007800125043A Pending CN101415627A (zh) 2006-04-07 2007-04-04 基底盒

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20100224524A1 (zh)
EP (1) EP2004526A2 (zh)
JP (1) JP2007281252A (zh)
KR (1) KR20090006175A (zh)
CN (1) CN101415627A (zh)
CA (1) CA2644914A1 (zh)
WO (1) WO2007117546A2 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116845008A (zh) * 2023-07-17 2023-10-03 天合光能股份有限公司 电池片回收装置和回收方法

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012088172A2 (en) * 2010-12-20 2012-06-28 Entegris, Inc. Front opening large substrate container
JP2013063787A (ja) * 2011-09-15 2013-04-11 Sharp Corp 太陽電池モジュール積載具及び太陽電池モジュール梱包体
CN102765557B (zh) * 2012-07-31 2014-07-09 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣和玻璃基板的取放系统
CN102826303A (zh) * 2012-08-28 2012-12-19 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣
CN103144859B (zh) * 2013-03-18 2016-03-02 深圳市华星光电技术有限公司 抽屉式液晶玻璃缓冲包装装置
US8997996B2 (en) * 2013-03-18 2015-04-07 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Drawer type cushioning packaging device for liquid crystal glass
CN103287724B (zh) * 2013-06-24 2015-04-08 南昌欧菲光学技术有限公司 玻璃支撑架
CN103448048B (zh) * 2013-09-09 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 基板存放架
JP6473034B2 (ja) * 2014-06-25 2019-02-20 平田機工株式会社 収容装置、セグメント及び多段の収容部を形成する方法
KR101694378B1 (ko) * 2014-12-31 2017-01-10 주식회사 비아트론 캔틸레버 시스템
CN104743341A (zh) * 2015-01-20 2015-07-01 京东方科技集团股份有限公司 挡块、基板卡匣组件
TWI571420B (zh) * 2016-06-29 2017-02-21 The modified cassette support bar restructuring
CN107472652A (zh) * 2017-07-19 2017-12-15 中国建材国际工程集团有限公司 镀膜玻璃存储箱
KR101859153B1 (ko) 2017-10-11 2018-05-16 주식회사 넥스컴스 외팔보 형태로 된 카세트용 서포트바의 진동감쇠장치
EP4057324A1 (en) 2019-03-07 2022-09-14 Absolics Inc. Packaging substrate and semiconductor apparatus comprising same
CN113272951B (zh) 2019-03-12 2024-04-16 爱玻索立克公司 封装基板及包括其的半导体装置
KR102537005B1 (ko) 2019-03-12 2023-05-26 앱솔릭스 인코포레이티드 유리를 포함하는 기판의 적재 카세트 및 이를 적용한 기판의 적재방법
WO2020185023A1 (ko) 2019-03-12 2020-09-17 에스케이씨 주식회사 패키징 기판 및 이의 제조방법
US11652039B2 (en) 2019-03-12 2023-05-16 Absolics Inc. Packaging substrate with core layer and cavity structure and semiconductor device comprising the same
KR102515304B1 (ko) 2019-03-29 2023-03-29 앱솔릭스 인코포레이티드 반도체용 패키징 유리기판, 반도체용 패키징 기판 및 반도체 장치
CN113366633B (zh) 2019-08-23 2022-07-12 爱玻索立克公司 封装基板及包括其的半导体装置
CN111681979B (zh) * 2020-06-23 2024-10-29 芯米(厦门)半导体设备有限公司 一种承载晶圆的防翘曲装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US496739A (en) * 1893-05-02 kennedy
JPH0734827Y2 (ja) * 1990-07-09 1995-08-09 セントラル硝子株式会社 ガラス板用パレット
US5970887A (en) * 1997-11-13 1999-10-26 Rtc Industries, Inc. Anti-racking pull-out shelf
KR100247138B1 (ko) * 1997-11-20 2000-03-15 구본준, 론 위라하디락사 유리기판 적재용 카세트
DE29803318U1 (de) * 1998-02-25 1998-05-14 Yeh, Kuo-Huei, Taichung Verkaufsregal für Kleidungsstücke
US6879490B2 (en) * 2002-01-09 2005-04-12 Leviton Manufacturing Co., Inc. Incrementally-adjustable wiring tray and hinged wiring tray cover
KR100870661B1 (ko) * 2002-03-15 2008-11-26 엘지디스플레이 주식회사 기판 수납용 카세트
KR100488519B1 (ko) * 2002-11-21 2005-05-11 삼성전자주식회사 Lcd용 글라스 적재 카세트
JP2004273686A (ja) * 2003-03-07 2004-09-30 Yodogawa Hu-Tech Kk 大型基板用カセット
KR101010481B1 (ko) * 2003-12-13 2011-01-21 엘지디스플레이 주식회사 기판 거치대
JP2005340480A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Nippon Oil Corp 基板カセット用サポートバー
TWI268265B (en) * 2004-08-13 2006-12-11 Au Optronics Corp Glass substrate cassette
JP2007281251A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 E I Du Pont De Nemours & Co サポートバーおよび基板カセット

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116845008A (zh) * 2023-07-17 2023-10-03 天合光能股份有限公司 电池片回收装置和回收方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007117546A2 (en) 2007-10-18
US20100224524A1 (en) 2010-09-09
CA2644914A1 (en) 2007-10-18
JP2007281252A (ja) 2007-10-25
WO2007117546A3 (en) 2008-05-08
KR20090006175A (ko) 2009-01-14
EP2004526A2 (en) 2008-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101415627A (zh) 基底盒
CN101415626A (zh) 支承杆件和基底盒
CN101652852B (zh) 用于传送基底的机械手及其末端执行器
CN100595111C (zh) 椭圆状支承部件
WO2005117100A1 (ja) 基板カセット用サポートバー及び基板カセット
TWI603823B (zh) 複合終端效應器及用於製作終端效應器的方法
CN102020066A (zh) 玻璃板包装体
KR20020077179A (ko) 로봇 핸드 부재 및 그 제조 방법
JP2008279590A (ja) 搬送用ロボットハンド
KR101073376B1 (ko) 유리기판용 적재카세트
KR101307627B1 (ko) Cfrp 제 반송용 부재 및 그것을 사용한 로봇 핸드
EP2889505B1 (en) Energy-absorbing member and method for producing same
JP5277338B2 (ja) 基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーの製造方法
KR100447964B1 (ko) 기판 적재용 카세트
KR20100019187A (ko) 평판 디스플레이 제조장비에 이용되는 지지대용 빔 및 이를구비한 디스펜서
JP2019075541A (ja) 片持ち梁状のカセット用サポートバーの振動減衰装置
JP2011211160A (ja) ビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセット
KR100362739B1 (ko) 액정표시장치용 패널 장착 및 탈착용 더블암 타입 로봇에사용되는 복합재료 손목블록 및 이것이 결합된 더블암타입 로봇
JP6953375B2 (ja) 筒状体の製造方法
CN213662214U (zh) 一种用于电路板外侧的防腐蚀软胶套
KR100696833B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 모듈용 샤시 및 이를 구비한 플라즈마디스플레이 모듈
KR102041340B1 (ko) 겐트리 모듈

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20090422