CN115303796A - 一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，包括提篮和料片取放料机构，所述料片取放料机构设置于提篮一侧，且提篮顶部滑动有料片篮并水平设置，所述料片取放料机构底部水平设置有铁质晶圆承载片，且提篮远离料片取放料机构的一侧两端均设有晶圆承载贴片，所述料片取放料机构上设有铁原片取放料机构，所述铁原片取放料机构包括导向件。本发明料片前段插入提篮之后，分离机构使料片与磁铁条分离，此外，分离机构的末端加入一个弹性机构，保证料片进入提篮并与提篮内侧平齐，吸附机构(磁铁条)：晶圆承载铁片采用一个吸附组件，吸附组件可实现自动归中，再配合导向件的作用，可在料片提篮中精准取料。
Description
技术领域
本发明涉及取放料机构技术领域，尤其涉及一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
现有的晶圆承载铁原片的取放料机构，在取料时往往会发生偏移，不具有精准取料的功能，容易造成无法取料的情况发生，因此，亟需解决这一问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，包括提篮和料片取放料机构，所述料片取放料机构设置于提篮一侧，且提篮顶部滑动有料片篮并水平设置，所述料片取放料机构底部水平设置有铁质晶圆承载片，且提篮远离料片取放料机构的一侧两端均设有晶圆承载贴片，所述料片取放料机构上设有铁原片取放料机构。
作为本发明的进一步技术方案，所述铁原片取放料机构包括导向件，且导向件有两个并分别安装于料片取放料机构底部两端，两个所述导向件均水平设置。
作为本发明的进一步技术方案，所述料片取放料机构底部中心处还水平安装有同步皮带动力系统，且两个导向件对立的侧面均安装有分离机构，两个所述导向件之间水平设置有磁铁条。
作为本发明的进一步技术方案，两个所述分离机构内部均水平安装有推杆电机，且两个推杆电机顶端均安装有弹性自适应机构，且料片取放料机构底部一端安装有收料和释放机构。
本发明的有益效果：
1.本发明，放料分离机构：料片前段插入提篮之后，分离机构使料片与磁铁条分离，此外，分离机构的末端加入一个弹性机构，保证料片进入提篮并与提篮内侧平齐。
2.本发明，吸附机构(磁铁条)：晶圆承载铁片采用一个吸附组件，吸附组件可实现自动归中，再配合导向件的作用，可在料片提篮中精准取料。
3.本发明，动力机构：取料机构采用电机同步带动力(以及丝杠电机动力传输结构等)，在进入导向件之后完整的进入取料机构，此外，结构采用碳纤维材料等轻型高强度材料，提高强度同时并降低了重量。
附图说明
图1是根据本发明的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构的结构示意图；
图2是根据本发明的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构的俯视图；
图3是根据本发明的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构的侧面仰视图；
图4是根据本发明的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构的料片取放料机构仰视图。
图中：1、提篮；2、晶圆承载贴片；3、导向件；4、同步皮带动力系统；5、料片篮；6、铁质晶圆承载片；7、料片取放料机构；8、弹性自适应机构；9、分离机构；10、收料和释放机构；11、推杆电机；12、磁铁条。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-4，一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，包括提篮1和料片取放料机构7，料片取放料机构7设置于提篮1一侧，且提篮1顶部滑动有料片篮5并水平设置，料片取放料机构7底部水平设置有铁质晶圆承载片6，且提篮1远离料片取放料机构7的一侧两端均设有晶圆承载贴片2，料片取放料机构7上设有铁原片取放料机构。
本发明，铁原片取放料机构包括导向件3，且导向件3有两个并分别安装于料片取放料机构7底部两端，两个导向件3均水平设置。
本发明，料片取放料机构7底部中心处还水平安装有同步皮带动力系统4，且两个导向件3对立的侧面均安装有分离机构9，两个导向件3之间水平设置有磁铁条12。
本发明，两个分离机构9内部均水平安装有推杆电机11，且两个推杆电机3顶端均安装有弹性自适应机构，且料片取放料机构底部一端安装有收料和释放机构10。
本实施例的工作原理：取料：取料机构前端贴近提篮1，同步带动力机构将磁铁条12推到取料机构最前端，磁铁条12吸附上铁质晶圆承载片6(磁铁条12有一定的归中作用，导向件3的导向槽前段为喇叭状开口，以便铁片顺利的收入取料机构中)，并在同步带动力下顺利拉回到取料机构中。
放料：取料机构把取到的铁片前段先插入提篮1中，然后移动取料机构使取料机构前端贴紧提篮1，同步带动力机构再将料片推出，由于磁铁的吸附，需要分离机构9(直线电动推杆)缓慢顶出，分离机构9顶头搭配了一个弹性机构，有一定的自适应作用，保证料片进入提篮1之后且贴片进入到最顶端。
其中，动力机构可采用同步带传动之外的传动方式，例如丝杠、齿轮齿条等；吸附可采用负压，磁性等替换；分离可使用电机、电磁铁等替换。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明，因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，包括提篮(1)和料片取放料机构(7)，其特征在于，所述料片取放料机构(7)设置于提篮(1)一侧，且提篮(1)顶部滑动有料片篮(5)并水平设置，所述料片取放料机构(7)底部水平设置有铁质晶圆承载片(6)，且提篮(1)远离料片取放料机构(7)的一侧两端均设有晶圆承载贴片(2)，所述料片取放料机构(7)上设有铁原片取放料机构。
2.根据权利要求1所述的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，其特征在于，所述铁原片取放料机构包括导向件(3)，且导向件(3)有两个并分别安装于料片取放料机构(7)底部两端，两个所述导向件(3)均水平设置。
3.根据权利要求2所述的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，其特征在于，所述料片取放料机构(7)底部中心处还水平安装有同步皮带动力系统(4)，且两个导向件(3)对立的侧面均安装有分离机构(9)，两个所述导向件(3)之间水平设置有磁铁条(12)。
4.根据权利要求3所述的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，其特征在于，两个所述分离机构(9)内部均水平安装有推杆电机(11)，且两个推杆电机(11)顶端均安装有弹性自适应机构，且料片取放料机构底部一端安装有收料和释放机构(10)。
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Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1473129A (zh) * | 2001-08-10 | 2004-02-04 | Asml | 光刻标线片的保护和转移 |
| TW200715458A (en) * | 2005-07-15 | 2007-04-16 | Nidec Sankyo Corp | Substrate carrying-in/carrying-out method and substrate carrying-in/carrying-out system |
| CN101390197A (zh) * | 2006-02-22 | 2009-03-18 | 株式会社荏原制作所 | 基板处理装置、基板搬运装置、基板把持装置以及药液处理装置 |
| TW200947600A (en) * | 2008-01-24 | 2009-11-16 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk | Substrate holding apparatus, substrate transferring robot equipped with the same, and semiconductor production apparatus |
| TW201107639A (en) * | 2007-04-27 | 2011-03-01 | Edwards Japan Ltd | Plate rotating device, exhaust path opening degree changing device, exhausted device, transfer device, beam device, and gate valve |
| CN102779775A (zh) * | 2011-05-12 | 2012-11-14 | 联达科技设备私人有限公司 | 使用配置为处理和传输组件板的多种组件板处理器的系统及方法 |
| CN110213906A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-09-06 | 深圳市诺泰自动化设备有限公司 | 一种转塔式贴片机 |
| CN209668261U (zh) * | 2018-12-29 | 2019-11-22 | 深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司 | 一种转运系统 |
| CN210335999U (zh) * | 2019-06-17 | 2020-04-17 | 上海广矩自动化设备有限公司 | 一种钢板永磁吸放机构 |
| CN210763162U (zh) * | 2019-09-02 | 2020-06-16 | 成都晶宝时频技术股份有限公司 | 晶片转移装置 |
| CN211162734U (zh) * | 2019-11-11 | 2020-08-04 | 迅河科技（珠海）有限公司 | 一种刮刀磁吸式抓取结构 |
| CN212763527U (zh) * | 2020-07-10 | 2021-03-23 | 山东大千制动系统有限公司 | 一种用于刹车片生产的磁铁吸盘 |
| JP2021048322A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
| TW202117904A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-05-01 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置 |
| CN213444667U (zh) * | 2020-10-13 | 2021-06-15 | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 | 提篮缓存装置 |
| CN113990786A (zh) * | 2021-11-15 | 2022-01-28 | 苏州康沃斯智能装备有限公司 | 一种单轨硅片收篮机 |
| CN216807063U (zh) * | 2021-12-08 | 2022-06-24 | 舟山海山机械密封材料股份有限公司 | 一种片状类金属零件的供料工装 |
-
2022
- 2022-08-17 CN CN202210984204.8A patent/CN115303796A/zh active Pending
Patent Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1473129A (zh) * | 2001-08-10 | 2004-02-04 | Asml | 光刻标线片的保护和转移 |
| TW200715458A (en) * | 2005-07-15 | 2007-04-16 | Nidec Sankyo Corp | Substrate carrying-in/carrying-out method and substrate carrying-in/carrying-out system |
| CN101390197A (zh) * | 2006-02-22 | 2009-03-18 | 株式会社荏原制作所 | 基板处理装置、基板搬运装置、基板把持装置以及药液处理装置 |
| TW201107639A (en) * | 2007-04-27 | 2011-03-01 | Edwards Japan Ltd | Plate rotating device, exhaust path opening degree changing device, exhausted device, transfer device, beam device, and gate valve |
| TW200947600A (en) * | 2008-01-24 | 2009-11-16 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk | Substrate holding apparatus, substrate transferring robot equipped with the same, and semiconductor production apparatus |
| CN102779775A (zh) * | 2011-05-12 | 2012-11-14 | 联达科技设备私人有限公司 | 使用配置为处理和传输组件板的多种组件板处理器的系统及方法 |
| CN209668261U (zh) * | 2018-12-29 | 2019-11-22 | 深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司 | 一种转运系统 |
| CN110213906A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-09-06 | 深圳市诺泰自动化设备有限公司 | 一种转塔式贴片机 |
| CN210335999U (zh) * | 2019-06-17 | 2020-04-17 | 上海广矩自动化设备有限公司 | 一种钢板永磁吸放机构 |
| CN210763162U (zh) * | 2019-09-02 | 2020-06-16 | 成都晶宝时频技术股份有限公司 | 晶片转移装置 |
| JP2021048322A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
| TW202117904A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-05-01 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置 |
| CN211162734U (zh) * | 2019-11-11 | 2020-08-04 | 迅河科技（珠海）有限公司 | 一种刮刀磁吸式抓取结构 |
| CN212763527U (zh) * | 2020-07-10 | 2021-03-23 | 山东大千制动系统有限公司 | 一种用于刹车片生产的磁铁吸盘 |
| CN213444667U (zh) * | 2020-10-13 | 2021-06-15 | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 | 提篮缓存装置 |
| CN113990786A (zh) * | 2021-11-15 | 2022-01-28 | 苏州康沃斯智能装备有限公司 | 一种单轨硅片收篮机 |
| CN216807063U (zh) * | 2021-12-08 | 2022-06-24 | 舟山海山机械密封材料股份有限公司 | 一种片状类金属零件的供料工装 |
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