CN101373708A - 基板处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种基板处理装置，分度器机械手具有第一以及第二基板保持机构、第一以及第二升降机构、转动机构和移动机构。第一以及第二基板保持机构分别具有臂部和手部，分别设置在第一以及第二升降机构上。第一以及第二升降机构分别独立地使第一以及第二基板保持机构进行升降动作。第一以及第二升降机构设置在转动机构上。转动机构设置在移动机构上。

Description

基板处理装置
技术领域
本发明涉及一种对基板进行处理的基板处理装置。
背景技术
以往，为了对半导体晶片、光掩模用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、光盘用玻璃基板等基板进行各种处理而使用基板处理装置。
例如，在JP特开2005-85882号公报所示的基板处理装置中，在矩形处理区域的大致中央部配置有用于搬运基板的基板搬运机械手。以包围基板搬运机械手的方式配置有多个(例如为四个)基板药液处理部。
在处理区域的一端部一侧，设置有具有分度器机械手的分度器单元。在分度器单元装载有用于容纳多个基板的盒。分度器机械手从任意一个盒中取出处理前的基板并将其交给基板搬运机械手，并且从基板搬运机械手接受处理后的基板并将其容纳在盒中。
在分度器机械手设置有用于保持基板的手部。例如，具有两个手部以规定间隔被上下重叠设置的分度器机械手。该分度器机械手例如如下进行而从盒取出基板以及向盒内容纳基板的操作。
分度器机械手在将从基板搬运机械手接受的处理后的基板保持在下侧的手部的状态下向盒的正面位置移动。在盒内设有多层搁板。接着，将上侧的手部的高度调整到盒的容纳有基板的搁板的高度。从而使上侧的手部向盒内前进，并且稍微上升从而保持盒内的基板，此后，使上侧的手部后退。由此，能够从盒中取出处理前的基板。
接着，将保持基板的下侧的手部的高度调整到盒的应该容纳基板的搁板的高度。从而使下侧的手部向盒内前进，并且稍微下降将基板装载在盒的搁板上，此后，使下侧的手部后退。由此，能够将处理后的基板容纳在盒中。
在如上所述的分度器机械手中，分别需要调整上侧的手部的高度的时间和调整下侧的手部的高度的时间。并且，分别需要通过上侧的手部进行的基板的容纳动作和通过下侧的手部进行的基板的取出动作所要的时间。由此，难以缩短基板从盒中取出以及将基板容纳于盒中时分度器机械手的动作时间。其结果是，阻碍基板处理装置的生产效率的提高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够提高生产效率的基板处理装置。
(1)本发明的基板处理装置具有：处理部，其用于对基板进行处理；搬入搬出部，其用于对处理部搬入以及搬出基板；搬入搬出部包含：容器装载部，其用于装载容纳容器，其中该容纳容器用于将多个基板容纳为多层；第一基板搬运装置，其用于在装载于容器装载部的容纳容器和处理部之间搬运基板；第一基板搬运装置具有：第一以及第二基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；移动机构部，其设置为能够在大致水平的一个方向上移动并且能够围绕大致铅垂方向的轴转动；第一进退机构部，其使第一基板保持部在大致水平方向上进退；第二进退机构部，其使第二基板保持部在大致水平方向上进退；第一升降机构部，其使第一进退机构部相对于移动机构部在大致铅垂方向上升降；第二升降机构部，其使第二进退机构部相对于移动机构部在大致铅垂方向上升降。
在该基板处理装置中，在多层上容纳有多个未处理的基板的容纳容器装载在搬入搬出部的容器装载部。未处理的基板通过第一基板搬运装置从容纳容器被取出，并且被搬运到处理部。在处理部对基板进行处理。处理后的基板通过第一基板搬运装置再次被容纳在容纳容器中。
在从容纳容器取出未处理的基板以及向容纳容器容纳处理后的基板时，第一基板搬运装置在通过第一以及第二基板保持部中的一个保持处理后的基板的状态下，通过移动机构部向与容纳容器相对的位置移动。第一以及第二基板保持部通过第一以及第二升降机构部分别被调整到规定的高度。
接着，第一基板搬运装置通过第一以及第二进退机构部使第一以及第二基板保持部同时前进，使其进入到容纳容器内。另外，第一基板搬运装置通过第一以及第二升降机构部使第一以及第二基板保持部中的一个下降并且使另一个上升。由此，能够将通过第一以及第二基板保持部中的一个所保持的处理后的基板容纳在容纳容器内，并且能够通过第一以及第二基板保持部中的另一个保持容纳在容纳容器内的未处理的基板。此后，第一基板搬运装置通过第一以及第二进退机构部使第一以及第二基板保持部同时后退。
这样，第一基板搬运装置能够同时进行从容纳容器取出未处理的基板以及向容纳容器容纳处理后的基板的操作。由此，能够缩短第一基板搬运装置的动作时间。结果，能够提高基板处理装置的处理能力。
另外，因为能够通过第一以及第二升降机构部任意调整第一以及第二基板保持部的间隔，所以即使容纳容器的应该取出未处理的基板的位置和应该容纳处理后的基板的位置之间的间隔不固定，也能够可靠地同时进行基板的取出以及容纳操作。因此，可以可靠地缩短第一基板搬运装置的动作时间。
(2)本发明的基板处理装置也可是，容纳容器具有用于容纳基板的多层搁板，第一基板搬运装置在第一基板保持部保持基板并且第二基板保持部没有保持基板的状态下通过移动机构部而与容纳容器相对，通过第一升降机构部将第一基板保持部调整到容纳容器的没有容纳基板的搁板的高度，并且通过第二升降机构部将第二基板保持部调整到容纳容器的容纳着基板的搁板的高度，通过第一以及第二进退机构部使第一以及第二基板保持部向容纳容器内同时前进，通过第一升降机构部使第一基板保持部下降，并且通过第二升降机构部使第二基板保持部上升，通过第一以及第二进退机构部使第一以及第二基板保持部从容纳容器同时后退。
此时，第一基板搬运装置能够在将保持在第一基板保持部的处理后的基板容纳在容纳容器的未容纳基板的搁板上的同时，通过第二基板保持部从容纳容器的搁板取出未处理的基板。由此，能够缩短第一基板搬运装置的动作时间。结果，能够提高基板处理装置的处理能力。
(3)本发明的基板处理装置也可是，容纳容器具有用于容纳基板的多层搁板，第一基板搬运装置在第一基板保持部没有保持基板并且第二基板保持部保持基板的状态下通过移动机构部与容纳容器相对，通过第一升降机构部将第一基板保持部调整到容纳容器的容纳着基板的搁板的高度，并且通过第二升降机构部将第二基板保持部调整到容纳容器的没有容纳基板的搁板的高度，通过第一以及第二进退机构部使第一以及第二基板保持部向容纳容器内同时前进，通过第一升降机构部使第一基板保持部上升，并且通过第二升降机构部使第二基板保持部下降，通过第一以及第二进退机构部使第一以及第二基板保持部从容纳容器同时后退。
此时，第一基板搬运装置能够在通过第一基板保持部从容纳容器的搁板取出未处理的基板的同时，将保持在第二基板保持部的处理后的基板容纳在容纳容器的未容纳基板的搁板上。由此，能够缩短第一基板搬运装置的动作时间。结果，能够提高基板处理装置的处理能力。
(4)基板处理装置还具有用于在处理部和搬入搬出部之间进行基板的交接的交接装置；交接装置包含：第三以及第四基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；第一开闭驱动机构，其将第三以及第四基板保持部向相互离开的方向以及相互靠近的方向驱动；处理部包含：处理单元，其用于处理基板；第二基板搬运装置，其用于在交接装置和处理单元之间搬运基板；第二基板搬运装置具有呈上下配置并且用于保持基板的第五以及第六基板保持部。
此时，第一基板搬运装置将未处理的基板交给交接装置，并且从交接装置接受处理后的基板。交接装置将未处理的基板交给第二基板搬运装置，并且从第二基板搬运装置接受处理后的基板。第二基板搬运装置对处理单元进行未处理的基板的搬入和处理后的基板的搬出的操作。
在进行第一基板搬运装置和交接装置之间的基板的交接时，在第一基板搬运装置通过第一以及第二基板保持部中的一个保持未处理的基板，交接装置通过第三以及第四基板保持部中的一个保持处理后的基板的状态下，第一基板搬运装置与交接装置相对。另外，第一基板搬运装置使第一以及第二基板保持部向与交接装置的第三以及第四基板保持部在上下方向重叠的位置前进。
在该状态下，交接装置通过第一开闭驱动机构改变第三以及第四基板保持部的间隔。由此，通过第一基板搬运装置的第一以及第二基板保持部中的一个保持的未处理的基板交给交接装置的第三以及第四基板保持部中的另一个。同时，通过交接装置的第三以及第四基板保持部中的一个保持的处理后的基板交给第一基板搬运装置的第一以及第二基板保持部中的另一个。
这样，能够同时进行从第一基板搬运装置向交接装置的未处理的基板的交接以及从交接装置向第一基板搬运装置的处理后的基板的交接。
在进行交接装置和第二基板搬运装置之间的基板的交接时，在交接装置通过第三以及第四基板保持部中的另一个保持未处理的基板，第二基板搬运装置通过第五以及第六基板保持部中的一个保持处理后的基板的状态下，交接装置与第二基板搬运装置相对。另外，第二基板搬运装置使第五以及第六基板保持部向与交接装置的第三以及第四基板保持部在上下方向重叠的位置前进。
在该状态下，交接装置通过第一开闭驱动机构改变第三以及第四基板保持部的间隔。由此，通过交接装置的第三以及第四基板保持部中的另一个保持的未处理的基板交给第二基板搬运装置的第五以及第六基板保持部中的另一个。同时，通过第二基板搬运装置的第五以及第六基板保持部中的一个保持的处理后的基板交给交接装置的第三以及第四基板保持部中的一个。
这样，能够同时进行从交接装置向第二基板搬运装置的未处理的基板的交接以及从第二基板搬运装置向交接装置的处理后的基板的交接。
由此，能够在短时间内进行第一基板搬运装置与交接装置之间的基板的交接以及交接装置与第二基板搬运装置之间的基板的交接。结果，能够进一步提高基板处理装置的处理能力。
(5)基板处理装置还具有用于在处理部和搬入搬出部之间进行基板的交接的交接装置；交接装置包含呈上下配置并且用于保持基板的第三以及第四基板保持部；处理部包含：处理单元，其用于处理基板；第二基板搬运装置，其用于在交接装置和处理单元之间搬运基板；第二基板搬运装置具有：第五以及第六基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；第二开闭驱动机构，其将第五以及第六基板保持部向相互离开的方向以及相互靠近的方向驱动。
此时，在进行第一基板搬运装置和交接装置之间的基板的交接时，在第一基板搬运装置通过第一以及第二基板保持部中的一个保持未处理的基板，交接装置通过第三以及第四基板保持部中的一个保持处理后的基板的状态下，第一基板搬运装置与交接装置相对。另外，第一基板搬运装置使第一以及第二基板保持部向与交接装置的第三以及第四基板保持部在上下方向重叠的位置前进。
在该状态下，第一基板搬运装置通过第一以及第二升降机构部改变第一以及第二基板保持部的间隔。由此，通过第一基板搬运装置的第一以及第二基板保持部中的一个保持的未处理的基板交给交接装置的第三以及第四基板保持部中的另一个。同时，通过交接装置的第三以及第四基板保持部中的一个保持的处理后的基板交给第一基板搬运装置的第一以及第二基板保持部中的另一个。
这样，能够同时进行从第一基板搬运装置向交接装置的未处理的基板的交接以及从交接装置向第一基板搬运装置的处理后的基板的交接。
在进行交接装置和第二基板搬运装置之间的基板的交接时，在交接装置通过第三以及第四基板保持部中的另一个保持未处理的基板，第二基板搬运装置通过第五以及第六基板保持部中的一个保持处理后的基板的状态下，交接装置与第二基板搬运装置相对。另外，第二基板搬运装置使第五以及第六基板保持部向与交接装置的第三以及第四基板保持部在上下方向重叠的位置前进。
在该状态下，第二基板搬运装置通过第二开闭驱动机构改变第五以及第六基板保持部的间隔。由此，通过交接装置的第三以及第四基板保持部中的另一个保持的未处理的基板交给第二基板搬运装置的第五以及第六基板保持部中的另一个。同时，通过第二基板搬运装置的第五以及第六基板保持部中的一个保持的处理后的基板交给交接装置的第三以及第四基板保持部中的一个。
这样，能够同时进行从交接装置向第二基板搬运装置的未处理的基板的交接以及从第二基板搬运装置向交接装置的处理后的基板的交接。
由此，能够在短时间内进行第一基板搬运装置与交接装置之间的基板的交接以及交接装置与第二基板搬运装置之间的基板的交接。结果，能够进一步提高基板处理装置的处理能力。
(6)处理部包含：处理单元，其用于处理基板；第二基板搬运装置，其用于在第一基板搬运装置和处理单元之间搬运基板；第二基板搬运装置也可以具有呈上下配置并且用于保持基板的第五以及第六基板保持部。
此时，第一基板搬运装置将未处理的基板交给第二基板搬运装置，并且从第二基板搬运装置接受处理后的基板。第二基板搬运装置对处理单元进行未处理的基板的搬入以及处理后的基板的搬出的操作。
在进行第一基板搬运装置和第二基板搬运装置之间的基板的交接时，在第一基板搬运装置通过第一以及第二基板保持部中的一个保持未处理的基板，第二基板搬运装置通过第五以及第六基板保持部中的一个保持处理后的基板的状态下，第一以及第二基板搬运装置相对。另外，为了使第一以及第二基板保持部和第五以及第六基板保持部在上下方向重叠，第一基板搬运装置使第一以及第二基板保持部前进，并且第二基板搬运装置使第五以及第六基板保持部前进。
在该状态下，第一基板搬运装置通过第一以及第二升降机构部改变第一以及第二基板保持部的间隔。由此，通过第一基板搬运装置的第一以及第二基板保持部中的一个保持的未处理的基板交给第二基板搬运装置的第五以及第六基板保持部中的另一个。同时，通过第二基板搬运装置的第五以及第六基板保持部中的一个保持的处理后的基板交给第一基板搬运装置的第一以及第二基板保持部中的另一个。
这样，能够同时进行从第一基板搬运装置向第二基板搬运装置的未处理的基板的交接以及从第二基板搬运装置向第一基板搬运装置的处理后的基板的交接。由此，能够在短时间内进行第一基板搬运装置与第二基板搬运装置之间的基板的交接。结果，能够进一步提高基板处理装置的处理能力。
附图说明
图1是表示第一实施方式的基板处理装置的结构的俯视图；
图2是图1的K1—K1剖视图；
图3是图1的K2—K2剖视图；
图4A和图4B是表示搬运器的详细情况的图；
图5A和图5B是用于说明分度器机械手对搬运器进行基板的取出以及容纳动作的侧视示意图；
图6C是用于说明分度器机械手对搬运器进行基板的取出以及容纳动作的侧视示意图；
图7A～图7D是用于说明分度器机械手和梭搬运机构之间的基板的交接动作的侧视示意图；
图8A～图8D是用于说明梭搬运机构和基板搬运机械手之间的基板的交接动作的侧视示意图；
图9A和图9B是用于说明分度器机械手的基板的取出以及容纳动作的其他例子的侧视示意图；
图10C是用于说明分度器机械手的基板的取出以及容纳动作的其他例子的侧视示意图；
图11是第二实施方式的基板处理装置的剖视图；
图12A～图12D是用于说明第二实施方式中的分度器机械手和梭搬运机构之间的基板的交接动作的侧视示意图；
图13A～图13D是用于说明第二实施方式中的梭搬运机构和基板搬运机械手之间的基板的交接动作的图；
图14是第三实施方式的基板处理装置的俯视图；
图15A～图15D是用于说明第三实施方式中的分度器机械手和基板搬运机械手之间的基板的交接动作的图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方式的基板处理装置。
在以下的说明中，基板指的是半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板、PDP(等离子显示屏)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等。
(1)第一实施方式
(1—1)基板处理装置的结构
图1是表示第一实施方式的基板处理装置的结构的俯视图。图2是图1的K1—K1剖视图、图3是图1的K2—K2剖视图。
如图1所示，该基板处理装置100具有相互相邻的分度器ID和处理部PR。在分度器ID中，以与处理部PR的一端相邻的方式形成有沿着水平方向的第一轴Sa延伸的基板搬运路径190。沿着基板搬运路径190的侧边设置有搬运器装载部1S。在搬运器装载部1S上，装载有用于容纳多个基板W的四个搬运器1。
在基板搬运路径190内设置有在四个搬运器1和处理部PR之间搬运基板W的分度器机械手IR。分度器机械手IR在基板搬运路径190内可以沿第一轴Sa移动。
在分度器ID的一部分上，装载有控制部4。控制部4包括具有CPU(中央运算处理装置)的计算机等，用于控制基板处理装置100的各构成要素。
在处理部PR的中央部，设置有基板搬运机械手CR。以环绕基板搬运机械手CR的方式设置有清洗处理单元5a～5h以及交接部3。
清洗处理单元5a～5d层叠在清洗处理单元5e～5h上，清洗处理单元5a、5b、5e、5f和清洗处理单元5d、5c、5h、5g隔着基板搬运机械手CR分别相对。清洗处理单元5a～5h例如使用BHF(缓冲氢氟酸)、DHF(稀氢氟酸)或氢氟酸等处理液进行基板W的清洗处理。
在处理部PR的四个角部，设置有流体箱部2a～2d。流体箱部2a～2d的每一个容纳有与流向清洗处理单元5a～5h的处理液的供给以及来自清洗处理单元5a～5h的处理液的废弃等相关的配管、接头、阀、流量计、调节器、泵、温度调整器、处理液积存槽等的流体相关器件。
交接部3以沿与上述第一轴Sa垂直的水平方向的第二轴Sb延伸的方式配置。交接部3具有搬运轨道301以及梭搬运机构310。
搬运轨道301沿第二轴Sb延伸。梭搬运机构310在保持基板W的同时在搬运轨道301上往复移动。由此，梭搬运机构310在交接部3的分度器ID侧的一个端部(以下称为第一交接位置)和处理部PR侧的另一个端部(以下称为第二交接位置)之间搬运基板W。
如图2所示，图1的分度器机械手IR具有第一以及第二基板保持机构110、120、第一以及第二升降机构130、140、转动机构150和移动机构160。
第一以及第二基板保持机构110、120分别设置在第一以及第二升降机构130、140上。第一以及第二升降机构130、140设置在转动机构150上。转动机构150设置在移动机构160上。
如图3所示，第一以及第二基板保持机构110、120分别具有臂部AR1、AR2以及手部IH1、IH2。手部IH1、IH2在水平方向上延伸，分别由臂部AR1、AR2支承。手部IH1配置成重叠在手部IH2的上方。通过臂部AR1、AR2的屈伸，手部IH1、IH2在水平方向进行进退动作。在搬运基板W时，在手部IH1、IH2的上表面一侧保持基板W。
回到图2，第一以及第二升降机构130、140分别独立地使第一以及第二基板保持机构110、120进行升降动作。转动机构150如箭头θ所示使第一以及第二升降机构130、140围绕铅垂方向的轴转动。移动机构160具有分度器导轨161以及移动台162。分度器导轨161沿第一轴Sa安装在基板处理装置100的底面。移动台162在分度器导轨161上沿第一轴Sa移动。
根据上述结构，该分度器机械手IR进行如下动作：沿第一轴Sa在水平方向移动的往复移动动作；使第一以及第二基板保持机构110、120围绕铅垂方向的轴转动的转动动作；使第一以及第二基板保持机构110、120在铅垂方向升降的升降动作；使手部IH1、IH2进退的进退动作。
如图3所示，交接部3的梭搬运机构310具有梭移动装置320、手部SH1、SH2、以及升降缸311、312。升降缸311、312固定在梭移动装置320上。手部SH1固定在升降缸312的上端，手部SH2固定在升降缸311的上端。在搬运基板W时，在手部SH1、SH2的上表面一侧保持基板W。
手部SH1和手部SH2相互配置在上下位置。手部SH1、SH2通过升降缸311、312进行相互离开的打开状态和相互靠近的闭合状态之间的切换。另外，代替分别独立地驱动手部SH1、SH2的升降缸311、312，也可以使用一体地驱动手部SH1、SH2而在闭合状态和打开状态之间进行切换的机构。
另外，在交接部3中，通过未图示的传感器检测在手部SH1、SH2上是否存在基板W。为了容易地进行该检测，在水平方向上彼此错开地配置手部SH1和手部SH2。而且，若能够检测在手部SH1、SH2上是否存在基板，则也可以在手部SH2的正上方配置手部SH1。
基板搬运机械手CR具有手部CRH1、CRH2以及搬运臂321、322。手部CRH1、CRH2分别在水平方向延伸，以相距一定间隔在上下方向相互重叠的方式分别被搬运臂321、322支承。手部CRH1、CRH2的间隔比梭搬运机构310的手部SH1、SH2呈打开状态时的间隔小，比梭搬运机构310的手部SH1、SH2呈闭合状态时的间隔大。
搬运臂321、322通过未图示的升降机构一体地升降，并且，通过未图示的转动机构围绕铅垂方向的轴一体地转动。
(1—2)动作
接着，参照图1～图3依次说明分度器机械手IR、梭搬运机构310以及基板搬运机械手CR的动作。以下说明的各构成要素的动作由控制部4控制。
分度器机械手IR通过手部IH2从搬运器1取出未处理的基板W。接着，分度器机械手IR移动到与梭搬运机构310相对的位置，通过手部IH1从梭搬运机构310的手部SH1接收处理后的基板W，并且将保持在手部IH2的未处理的基板W交给梭搬运机构310的手部SH2。
接着，分度器机械手IR移动到与任意一个搬运器1相对的位置，通过手部IH2从搬运器1取出未处理的基板W，并且将保持在手部IH1的处理后的基板W容纳在搬运器1中。分度器机械手IR连续地进行如上所述的动作。
梭搬运机构310在第一交接位置上通过手部SH2从分度器机械手IR的手部IH2接受未处理的基板W后，移动到第二交接位置。接着，通过手部SH1从基板搬运机械手CR的手部CRH1接受处理后的基板W，并且将保持在手部SH2的未处理的基板W交给基板搬运机械手CR的手部CRH2。
接着，梭搬运机构310移动到第一交接位置，通过手部SH2从分度器机械手IR的手部IH2接受未处理的基板W，并且将保持在手部SH1的处理后的基板W交给分度器机械手IR的手部IH1。梭搬运机构310连续地进行如上所述的动作。
基板搬运机械手CR在通过手部CRH2从梭搬运机构310的手部SH2接受未处理的基板W后，为了与清洗处理单元5a～5h中的任一个相对而进行转动。接着，通过手部CRH1从清洗处理单元5a～5h搬出处理后的基板W，并且向该清洗处理单元5a～5h搬入保持在手部CRH2上的未处理的基板W。
接着，基板搬运机械手CR转动以与梭搬运机构310相对，通过手部CRH2从梭搬运机构310的手部SH2接受未处理的基板W，并且将保持在手部CRH1的处理后的基板W交给梭搬运装置310的手部SH1。基板搬运机械手CR连续地进行如上所述的动作。
通过这样的分度器机械手IR的动作、梭搬运机构310的动作以及基板搬运机械手CR的动作，未处理的基板W从搬运器1依次搬运到清洗处理单元5a～5h，处理后的基板W从清洗处理单元5a～5h依次搬运到搬运器1中。
(1—3)搬运器的详细结构
接着，说明搬运器1的详细结构。图4A是搬运器1的立体图，图4B是搬运器1的主视图。
如图4A以及图4B所示，搬运器1具有前面开口的箱型形状，并且具有从两侧面向内侧突出设置的多个搁板31。多个搁板31在上下方向以规定间隔设置，在各搁板31上装载基板W。
在本实施方式中，使用可以容纳25张基板W的搬运器1。在以下的说明中，从搬运器1的最上层的搁板31向最下层的搁板31依次称为第1层、第2层、第3层......以及第25层的搁板31。另外，在本实施方式中，未处理的基板W从搬运器1的第1层～第25层的搁板31依次被取出，处理后的基板W依次容纳于在处理前被容纳的搬运器1的搁板31上。
在此，在基板处理装置100进行动作时，在清洗处理单元5a～5h中并行地进行基板W的处理，并且通过分度器机械手IR、梭搬运机构310以及基板搬运机械手CR分别保持一张基板W。即，成为共有11张基板W存在于搬运器1的外部的状态。由此，在搬运器1中未容纳有基板W的搁板31共有11层。
例如，在从第12层的搁板31取出未处理的基板W时，在第1层～第11层的搁板31上未容纳基板W。此时，在第1层的搁板31上容纳处理后的基板W。另外，在从第16层的搁板31取出未处理的基板W时，在第5层～第15层的搁板31未容纳基板W。此时，在第5层的搁板31上容纳处理后的基板W。
以下，具有说明分度器机械手IR对搬运器1进行基板W的取出以及容纳动作。图5A和图5B以及图6C是用于说明分度器机械手IR对搬运器1进行基板W的取出以及容纳动作的侧视示意图。在图5A和图5B以及图6C中，作为一个例子，说明从第12层的搁板31取出未处理的基板W，并且在第1层的搁板31上容纳处理后的基板W的情况。
首先，如图5A所示，在通过手部IH1保持处理后的基板W的状态下，分度器机械手IR与搬运器1相对。此时，手部IH1被调整到搬运器1的第1层的搁板31的高度，并且手部IH2被调整到搬运器1的第12层的搁板31的高度。详细地说，手部IH1被调整到比第1层的搁板31稍高的位置，手部IR2被调整到比第12层的搁板31稍低的位置。
另外，分度器机械手IR的手部IH1、IH2的高度的调整也可以在分度器机械手IR从与梭搬运机构310相对的位置移动到与搬运器1相对的位置时进行。
接着，如图5B所示，手部IH1、IH2同时前进，进入到搬运器1内。接着，如图6C所示，手部IH1稍微下降并后退，手部IH2稍微上升并后退。由此，手部IH1所保持的基板W被装载在搬运器1的第1层，并且通过手部IH2取出装载在搬运器1的第12层的未处理的基板W。
这样，在本实施方式中，因为能够分别独立地使手部IH1、IH2升降，所以能够同时进行从搬运器1取出未处理的基板W以及将处理后的基板W容纳于搬运器1中的操作。
另外，在上述例子中说明了11张基板W存在于搬运器1外部的情况，但根据清洗处理单元5a～5h的数量的不同，存在于搬运器1外部的基板W的数量发生变动。例如，若因故障等而导致使用的清洗处理单元5a～5h的数量减少，则存在于搬运器1外部的基板W的数量变得比11张少。
由于存在于搬运器1外部的基板W数量发生变动，应该取出搬运器1中的未处理的基板W的搁板31和应该容纳处理后的基板W的搁板31之间的间隔发生变动。与此对应，需要改变分度器机械手IR的手部IH1、IH2之间的间隔。
在本实施方式中，因为能够任意改变分度器机械手IR的手部IH1、IH2之间的间隔，所以对应不同的状况，能够准确地同时进行从搬运器1取出基板W以及向搬运器1容纳基板W操作。
(1—4)分度器机械手和梭搬运机构之间的基板的交接
接着，说明分度器机械手IR和梭搬运机构310之间的基板W的交接动作。图7A～图7D是用于说明分度器机械手IR和梭搬运机构310之间的基板W的交接动作的侧视示意图。
如图7A所示，在通过分度器机械手IR的手部IH2保持未处理的基板W，通过梭搬运机构310的手部SH1保持处理后的基板W的状态下，分度器机械手IR与梭搬运机构310彼此相对。
此时，梭搬运机构310的手部SH1、SH2被调整为相互离开的打开状态。分度器机械手IR的手部IH1被调整到比呈打开状态的梭搬运机构310的手部SH1稍低的位置，分度器机械手IR的手部IH2被调整到比呈打开状态的梭搬运机构310的手部SH2稍高的位置。另外，分度器机械手IR的手部IH1、IH2与梭搬运机构310的手部SH1、SH2相配合在水平方向相互错开。
另外，分度器机械手IR的手部IH1、IH2的高度以及水平方向的位置的调整也可以在分度器机械手IR从与搬运器1相对的位置移动到与梭搬运机构310相对的位置时进行。
接着，如图7B所示，分度器机械手IR的手部IH1、IH2前进。由此，成为在梭搬运机构310的手部SH1、SH2之间插入有分度器机械手IR的手部IH1、IH2的状态。
接着，如图7C所示，梭搬运机构310的手部SH1、SH2被调整为相互靠近的闭合状态。由此，将保持于梭搬运机构310的手部SH1的基板W交给分度器机械手IR的手部IH1，并且通过梭搬运机构310的手部SH2接受保持于分度器机械手IR的手部IH2的基板W。接着，如图7D所示，分度器机械手IR的手部IH1、IH2后退。
这样，在本实施方式中，在分度器机械手IR的手部IH1、IH2和梭搬运机构310的手部SH1、SH2在上下方向重叠的状态下，改变梭搬运机构310的手部SH1、SH2的上下方向的间隔。由此，同时进行从分度器机械手IR向梭搬运机构310的未处理的基板W的交接以及从梭搬运机构310向分度器机械手IR的处理后的基板W的交接。因此，可以在短时间内进行分度器机械手IR和梭搬运机构310之间的基板W的交接。
(1—5)梭搬运机构和基板搬运机械手之间的基板的交接
接着，说明梭搬运机构310和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接动作。图8A～图8D是用于说明梭搬运机构310和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接动作的侧视示意图。
如图8A所示，在通过梭搬运机构310的手部SH2保持未处理的基板W，通过基板搬运机械手CR的手部CRH1保持处理后的基板W的状态下，梭搬运机构310与基板搬运机械手CR彼此相对。
此时，梭搬运机构310的手部SH1、SH2被调整为相互靠近的闭合状态。基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2被调整到与梭搬运机构310的手部SH1、SH2相对的高度。
如上所述，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2之间的间隔比呈闭合状态的梭搬运机构310的手部SH1、SH2之间的间隔大。因此，基板搬运机械手CR的手部CRH1位于比梭搬运机构310的手部SH1高的位置，基板搬运机械手CR的手部CRH2位于比梭搬运机构310的手部SH2低的位置。另外，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2与梭搬运机构310的手部SH1、SH2相配合在水平方向相互错开。
在此状态下，如图8B所示，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2前进。由此，成为在基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2之间插入有梭搬运机构310的手部SH1、SH2的状态。
接着，如图8C所示，梭搬运机构310的手部SH1、SH2被调整为相互离开的打开状态。由此，通过梭搬运机构310的手部SH1接受保持在基板搬运机械手CR的手部CRH1的基板W，并且将保持在梭搬运机构310的手部SH2的基板W交给基板搬运机械手CR的手部CRH2。接着，如图8D所示，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2后退。
这样，在本实施方式中，在基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2和梭搬运机构310的手部SH1、SH2在上下方向重叠的状态下，改变梭搬运机构310的手部SH1、SH2的上下方向的间隔。由此，同时进行从梭搬运机构310向基板搬运机械手CR的未处理的基板W的交接以及从基板搬运机械手CR向梭搬运机构310的处理后的基板W的交接。因此，可以在短时间内进行梭搬运机构310和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接。
(1—6)第一实施方式的效果
在本实施方式中，能够同时进行通过分度器机械手IR从搬运器1取出未处理的基板W以及向搬运器1容纳处理后的基板W的操作。由此，缩短在对搬运器1进行基板W的取出及容纳时的分度器机械手IR的动作时间。其结果是，能够提高基板处理装置100的处理能力。
另外，在本实施方式中，通过使用可以改变手部SH1、SH2之间的间隔的梭搬运机构310，能够在短时间内进行分度器机械手IR和梭搬运机构310之间以及梭搬运机构310和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接。由此，能够进一步提高基板处理装置100的处理能力。
(1—7)其他动作例
在上述例子中，通过分度器机械手IR的手部IH2从搬运器1中取出未处理的基板W，通过手部IH1将处理后的基板W容纳于搬运器1中，但也可以通过分度器机械手IR的手部IH1从搬运器1中取出未处理的基板W，通过手部IH2使处理后的基板返回到搬运器1中。
此时，将未处理的基板W从搬运器1(图4A和图4B)的第25层～第1层的搁板31依次取出，将处理后的基板W依次容纳于在处理前被容纳的搬运器1的搁板31上。另外，与上述相同，在搬运器1中存在11层未容纳有基板W的搁板31。以下，参照图9A和图9B以及图10C进行具体说明。
图9A和图9B以及图10C是用于说明分度器机械手IR的基板W的取出及容纳动作的其他例子的侧视示意图。在图9A和图9B以及图10C中，说明从搬运器1的第25层的搁板31取出未处理的基板W，并且将处理后的基板W容纳于第14层的搁板31的情况。
首先，如图9A所示，在通过手部IH2保持处理后的基板W的状态下，分度器机械手IR与搬运器1相对。此时，手部IH1被调整到搬运器1的第14层的搁板31的高度，并且手部IH2被调整到搬运器1的第25层的搁板31的高度。详细地说，手部IH1被调整到比第14层的搁板31稍低的位置，手部IR2被调整到比第25层的搁板31稍高的位置。
接着，如图9B所示，手部IH1、IH2同时前进，进入到搬运器1内。接着，如图10C所示，手部IH1稍微上升并后退，手部IH2稍微下降并后退。由此，通过手部IH1取出装载在搬运器1的第14层上的未处理的基板W，并且将保持于手部IH2的基板W装载在搬运器1的第25层。
此时，也通过分别独立地升降分度器机械手IR的手部IH1、IH2，同时进行从搬运器1取出未处理的基板W以及向搬运器1中容纳处理后的基板W的操作。由此，可以缩短在对搬运器1进行基板W的取出以及容纳时的分度器机械手IR的动作时间。
另外，分度器机械手IR在进行上述动作的情况下，梭搬运机构310在第一交接位置上通过手部SH1从分度器机械手IR的手部IH1接受未处理的基板W，并且通过手部SH2将处理后的基板W交给分度器机械手IR的手部IH2。
另外，基板搬运机械手CR通过手部CRH1从梭搬运机构310的手部SH1接受未处理的基板W，并且通过手部CRH2将处理后的基板W交给梭搬运机构310的手部SH2。
(2)第二实施方式
对于第二实施方式的基板处理装置100，说明与上述第一实施方式不同的地方。
图11是第二实施方式的基板处理装置100的剖视图。如图11所示，在该基板处理装置100中，梭搬运装置310的手部SH1、SH2经由支承轴311a、312a固定在梭移动装置320上。因此，手部SH1、SH2的上下方向的间隔一定。
另外，基板搬运机械手CR具有用于使搬运臂321、322分别独立地升降的第三以及第四升降机构331、332。手部CRH1、CRH2通过第三以及第四升降机构331、332进行相互离开的打开状态和相互靠近的闭合状态的切换。另外，也可以代替分别独立地驱动搬运臂321、322的第三以及第四升降机构331、332，使用一体地驱动搬运臂321、322使手部CRH1、CRH2在打开状态和闭合状态之间进行切换的机构。
接着，说明第二实施方式的分度器机械手IR和梭搬运机构310之间的基板W的交接动作。图12A～图12D是用于说明第二实施方式中的分度器机械手IR和梭搬运机构310之间的基板W的交接动作的侧视示意图。
如图12A所示，在通过分度器机械手IR的手部IH2保持未处理的基板W，通过梭搬运机构310的手部SH1保持处理后的基板W的状态下，分度器机械手IR与梭搬运机构310彼此相对。
此时，分度器机械手IR的手部IH1被调整到比梭搬运机构310的手部SH1的高度稍低的位置，分度器机械手IR的手部IH2被调整到比梭搬运机构310的手部SH2的高度稍高的位置。另外，分度器机械手IR的手部IH1、IH2与梭搬运机构310的手部SH1、SH2相配合在水平方向相互错开。
在该状态下，如图12B所示，分度器机械手IR的手部IH1、IH2前进。由此，成为在梭搬运机构310的手部SH1、SH2之间插入有分度器机械手IR的手部IH1、IH2的状态。
接着，如图12C所示，分度器机械手IR的手部IH1上升，并且手部IH2下降。由此，通过分度器机械手IR的手部IH1接受保持在梭搬运机构310的手部SH1上的基板W，并且将保持在分度器机械手IR的手部IH2上的基板W交给梭搬运机构310的手部SH2。接着，如图12D所示，分度器机械手IR的手部IH1、IH2后退。
这样，在本实施方式中，在分度器机械手IR的手部IH1、IH2和梭搬运机构310的手部SH1、SH2在上下方向重叠的状态下，分度器机械手IR的手部IH1上升并且手部IH2下降。由此，同时进行从分度器机械手IR向梭搬运机构310的未处理的基板W的交接以及从梭搬运机构310向分度器机械手IR的处理后的基板W的交接。因此，能够在短时间内进行分度器机械手IR和梭搬运机构310之间的基板W的交接。
接着，说明第二实施方式中的梭搬运机构310和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接动作。图13A～图13D是用于说明第二实施方式中的梭搬运机构310和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接动作的图。
如图13A所示，在通过梭搬运机构310的手部SH2保持未处理的基板W，通过基板搬运机械手CR的手部CRH1保持处理后的基板W的状态下，梭搬运机构310与基板搬运机械手CR彼此相对。
此时，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2被调整为相互离开的打开状态。在此情况下，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2的上下方向的间隔比梭搬运机构310的手部SH1、SH2的上下方向的间隔大。
由此，基板搬运机械手CR的手部CRH1位于比梭搬运机构310的手部SH1稍高的位置，基板搬运机械手CR的手部CRH2位于比梭搬运机构310的手部SH2稍低的位置。另外，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2与梭搬运机构310的手部SH1、SH2相配合在水平方向相互错开。
在该状态下，如图13B所示，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2前进。由此，成为在基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2之间插入有梭搬运机构310的手部SH1、SH2的状态。
接着，如图13C所示，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2被调整为相互靠近的闭合状态。由此，将保持在基板搬运机械手CR的手部CRH1上的基板W交给梭搬运机构310的手部SH1，并且通过基板搬运机械手CR的手部CRH2接受保持在梭搬运机构310的手部SH2上的基板W。接着，如图13D所示，基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2后退。
这样，在本实施方式中，在梭搬运机构310的手部SH1、SH2和基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2在上下方向重叠的状态下，改变基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2的上下方向的间隔。由此，同时进行从基板搬运机械手CR向梭搬运机构310的未处理的基板W的交接以及从梭搬运机构310向基板搬运机械手CR的处理后的基板W的交接。因此，可以在短时间内进行梭搬运机构310和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接。
另外，在图12A～图12D以及图13A～图13D所示的例子中，通过分度器机械手IR的手部IH2、梭搬运机构310的手部SH2以及基板搬运机械手CR的手部CRH2搬运未处理的基板W，通过分度器机械手IR的手部IH1、梭搬运机构310的手部SH1以及基板搬运机械手CR的手部CRH1搬运处理后的基板W，但也可以通过分度器机械手IR的手部IH1、梭搬运机构310的手部SH1以及基板搬运机械手CR的手部CRH1搬运未处理的基板W，通过分度器机械手IR的手部IH2、梭搬运机构310的手部SH2以及基板搬运机械手CR的手部CRH2搬运处理后的基板W。
(3)第三实施方式
接着，对于第三实施方式的基板处理装置100，说明与上述第一实施方式不同的地方。
图14是第三实施方式的基板处理装置100的俯视图。如图14所示，在该基板处理装置100中，未设置交接部3，在分度器机械手IR和基板搬运机械手CR之间直接进行基板W的交接。另外，分度器机械手IR的手部IH1、IH2以及基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2设定为可以彼此不干扰地进行基板W的交接的形状。
接着，说明第三实施方式的分度器机械手IR和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接动作。图15A～图15D是用于说明第三实施方式中的分度器机械手IR和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接动作的图。
如图15A所示，在通过分度器机械手IR的手部IH2保持未处理的基板W，通过基板搬运机械手CR的手部CRH1保持处理后的基板W的状态下，分度器机械手IR和基板搬运机械手CR彼此相对。
此时，分度器机械手IR的手部IH1被调整到比基板搬运机械手CR的手部CRH1的高度稍低的位置，分度器机械手IR的手部IH2被调整到比基板搬运机械手CR的手部CRH2的高度稍高的位置。
在该状态下，如图15B所示，分度器机械手IR的手部IH1、IH2以及基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2前进。由此，成为在基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2之间插入有分度器机械手IR的手部IH1、IH2的状态。
接着，如图15C所示，分度器机械手IR的手部IH1上升，并且手部IH2下降。由此，通过分度器机械手IR的手部IH1接受保持在基板搬运机械手CR的手部CRH1上的基板W，并且将保持在分度器机械手IR的手部IH2上的基板W交给基板搬运机械手CR的手部CRH2。此时，如图14所示，分度器机械手IR的手部IH1、IH2不干扰基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2。
接着，如图15D所示，分度器机械手IR的手部IH1、IH2以及基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2后退。
这样，在本实施方式中，在基板搬运机械手CR的手部CRH1、CRH2和分度器机械手IR的手部IH1、IH2在上下方向重叠的状态下，分度器机械手IR的手部IH1上升，手部IH2下降。由此，同时进行从分度器机械手IR向基板搬运机械手CR的未处理的基板W的交接以及从基板搬运机械手CR向分度器机械手IR的处理后的基板W的交接。因此，能够在短时间内进行分度器机械手IR和基板搬运机械手CR之间的基板W的交接。
另外，在图15A～图15D所示的例子中，通过分度器机械手IR的手部IH2以及基板搬运机械手CR的手部CRH2搬运未处理的基板W，通过分度器机械手IR的手部IH1以及基板搬运机械手CR的手部CRH1搬运处理后的基板W，但也可以通过分度器机械手IR的手部IH1以及基板搬运机械手CR的手部CRH1搬运未处理的基板W，通过分度器机械手IR的手部IH2以及基板搬运机械手CR的手部CRH2搬运处理后的基板W。
(4)其他实施方式
在上述实施方式中，使用可以容纳25张基板W的搬运器1，但并不仅限于此，也可以使用可以容纳25张以外的张数的基板W的搬运器1。另外，根据使用的搬运器1的种类，变动应该取出未处理的基板W的搁板31和应该容纳处理后的基板W的搁板31之间的间隔。因此，对应搬运器1的种类，调整基板W的取出及容纳时的分度器机械手IR的手部IH1、IH2的间隔。由此，对各种搬运器1能够同时进行基板W的取出以及容纳操作。
另外，作为搬运器1，能够使用OC(Open Cassette：开放式盒子)、FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式统一标准箱)、SMIF(Standard MechanicalInter Face：标准机械界面)容器等。
另外，在上述实施方式中，作为分度器机械手IR以及基板搬运机械手CR，使用通过使活动关节直线状地进行手部的进退动作的多关节型搬运机械手，但并不限于此，也可以使用使手部相对于基板W直线状地滑动进行进退动作的直动型搬运机械手。
(5)权利要求的各构成要素和实施方式的各要素的对应
以下，说明权利要求的各构成要素和实施方式的各要素的对应的例子，但本发明并不限于下述例子。
在上述实施方式中，分度器ID为搬入搬出部的例子，搬运器1为容纳容器的例子，搬运器装载部1S为容器装载部的例子，分度器机械手IR为第一搬运装置的例子，手部IH1、IH2为第一以及第二基板保持部的例子，转动机构150以及移动机构160为移动机构部的例子，臂部AR1、AR2为第一以及第二进退机构部的例子，第一以及第二升降机构130、140为第一以及第二升降机构部的例子。
另外，梭搬运机构310为交接装置的例子，手部SH1、SH2为第三以及第四基板保持部的例子，升降缸311、312为第一开闭驱动机构的例子，清洗处理单元5a～5h为处理单元的例子，基板搬运机械手CR为第二基板搬运装置的例子，手部CRH1、CRH2为第五以及第六基板保持部的例子，第三以及第四升降机构331、332为第二开闭驱动机构的例子。
作为权利要求的各构成要素，能够使用具有在权利要求中记载的结构或者功能的其他各种要素。

Claims (6)

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：
处理部，其用于对基板进行处理；
搬入搬出部，其用于对所述处理部搬入以及搬出基板；
所述搬入搬出部包含：
容器装载部，其用于装载容纳容器，其中该容纳容器用于将多个基板容纳为多层；
第一基板搬运装置，其用于在装载于所述容器装载部的所述容纳容器和所述处理部之间搬运基板；
所述第一基板搬运装置具有：
第一以及第二基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；
移动机构部，其设置为能够在大致水平的一个方向上移动并且能够围绕大致铅垂方向的轴转动；
第一进退机构部，其使所述第一基板保持部在大致水平方向上进退；
第二进退机构部，其使所述第二基板保持部在大致水平方向上进退；
第一升降机构部，其使所述第一进退机构部相对于所述移动机构部在大致铅垂方向上升降；
第二升降机构部，其使所述第二进退机构部相对于所述移动机构部在大致铅垂方向上升降。
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述容纳容器具有用于容纳基板的多层搁板，
所述第一基板搬运装置在第一基板保持部保持基板并且第二基板保持部没有保持基板的状态下通过所述移动机构部而与所述容纳容器相对，通过所述第一升降机构部将所述第一基板保持部调整到所述容纳容器的没有容纳基板的搁板的高度，并且通过所述第二升降机构部将第二基板保持部调整到所述容纳容器的容纳着基板的搁板的高度，通过所述第一以及第二进退机构部使所述第一以及第二基板保持部向所述容纳容器内同时前进，通过所述第一升降机构部使所述第一基板保持部下降，并且通过所述第二升降机构部使所述第二基板保持部上升，通过所述第一以及第二进退机构部使所述第一以及第二基板保持部从所述容纳容器同时后退。
3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述容纳容器具有用于容纳基板的多层搁板，
所述第一基板搬运装置在第一基板保持部没有保持基板并且第二基板保持部保持基板的状态下通过所述移动机构部与所述容纳容器相对，通过所述第一升降机构部将所述第一基板保持部调整到所述容纳容器的容纳着基板的搁板的高度，并且通过所述第二升降机构部将所述第二基板保持部调整到所述容纳容器的没有容纳基板的搁板的高度，通过所述第一以及第二进退机构部使所述第一以及第二基板保持部向所述容纳容器内同时前进，通过所述第一升降机构部使所述第一基板保持部上升，并且通过所述第二升降机构部使所述第二基板保持部下降，通过所述第一以及第二进退机构部使所述第一以及第二基板保持部从所述容纳容器同时后退。
4.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，还具有用于在所述处理部和所述搬入搬出部之间进行基板的交接的交接装置；
所述交接装置包含：
第三以及第四基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；
第一开闭驱动机构，其将所述第三以及第四基板保持部向相互离开的方向以及相互靠近的方向驱动；
所述处理部包含：
处理单元，其用于处理基板；
第二基板搬运装置，其用于在所述交接装置和所述处理单元之间搬运基板；
所述第二基板搬运装置具有呈上下配置并且用于保持基板的第五以及第六基板保持部。
5.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，还具有用于在所述处理部和所述搬入搬出部之间进行基板的交接的交接装置；
所述交接装置包含呈上下配置并且用于保持基板的第三以及第四基板保持部；
所述处理部包含：
处理单元，其用于处理基板；
第二基板搬运装置，其用于在所述交接装置和所述处理单元之间搬运基板；
所述第二基板搬运装置具有：
第五以及第六基板保持部，其呈上下配置并且用于保持基板；
第二开闭驱动机构，其将所述第五以及第六基板保持部向相互离开的方向以及相互靠近的方向驱动。
6.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述处理部包含：
处理单元，其用于处理基板；
第二基板搬运装置，其用于在所述第一基板搬运装置和所述处理单元之间搬运基板；
所述第二基板搬运装置具有呈上下配置并且用于保持基板的第五以及第六基板保持部。
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