KR101331106B1 - 반송 장치 및 반송 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 반송물(搬送物)의 자세를 변경할 수 있으면서, 반송 능력이 높은 반송 장치를 제공하고자 하는 것으로서, 제어 수단이 자세 변경 수단(24)에서의 유지부(25)의 유지 작동, 이동 수단(27)의 이동 작동, 및 회전 수단의 회전 작동을 제어하여, 비접촉 상태로 지지된 상태의 반송물(W)을 유지 위치 P3에 있어서 유지부(25)에 의해 유지하고, 이동 수단(27)에 의해 유지부(25)을 이동시켜 반송 방향을 따라 유지 위치 P3보다 하류측의 유지 해제 위치 P4까지 비접촉 상태로 지지된 상태의 반송물(W)를 반송하는 동안, 이동 수단(27)에 의해 유지부(25)를 이동시키면서 회전 수단에 의해 유지부(25)를 회전시켜 유지하고 있는 반송물(W)의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키고, 유지 해제 위치 P4에서 반송물(W)의 유지를 해제하는 반송 장치이다.

Description

반송 장치 및 반송 방법{TRANSPORT DEVICE AND TRANSPORT METHOD}

본 발명은, 반송물(搬送物)의 하면을 향해 공기를 공급하여 수평 자세로 또는 거의 수평 자세로 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 반송물에 접촉하여 반송물에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하는 반송 수단과, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 반송물을 세로 축심(軸心) 주위로 회전시켜 반송물의 반송 자세를 변경하는 자세 변경 수단과, 상기 반송 수단 및 상기 자세 변경 수단의 작동을 제어하는 제어 수단이 설치된 반송 장치와 이와 같은 반송 장치를 이용한 반송 방법에 관한 것이다.

상기 반송 장치는, 송풍식 지지 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지하고, 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향의 추진력을 접촉 상태로 반송물에 부여하여, 반송물을 반송하는 것이다. 반송물로서, 예를 들면, 액정 모니터 등의 FPD용의 유리 기판을 반송하는 경우에는, 유리 기판의 반송 방향을 전후 방향으로 했을 때의 좌우 방향의 중앙 부분을 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지하고, 반송 방향을 전후 방향으로 했을 때의 좌우 양 단부(端部)에 대하여 추진력 부여 수단을 접촉시켜 추진력을 부여함으로써, 유리 기판에서의 제품화되는 좌우 중앙 부분을 보호하면서 반송하도록 되어 있다.

그리고, 반송물에 대한 가공 등의 처리를 행하는 처리 장치 사이에서 반송물을 반송하는 경우에 있어서, 전(前) 공정의 처리 장치와 후속 공정의 처리 장치에서, 반송 장치에 대한 반송물의 교환 자세[즉 수취(受取)나 받아건넬 때의 자세]가 상이할 때 등과 같이, 반송 장치에 의해 반송되는 반송물의 반송 자세를 변경할 필요가 있는 경우가 있다. 이와 같은 반송물의 자세를 변경할 수 있는 반송 장치의 종래예로서, 반송 장치에서 반송 수단에 의해 반송되는 반송물을 세로 축심 주위로 회전시켜 반송물의 반송 자세를 변경하는 자세 변경 수단이 설치된 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

종래에는, 특허 문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 반송물을 회전시켜 반송 자세를 변경하는 회전 위치가 설정되고, 반송물의 저면(底面)에 흡착되어 반송물을 유지하는 흡착부를 회전 위치에 있어서 세로 축심 주위로 회전 가능하고, 또한 승강 가능하게 설치하여 자세 변경 수단을 구성하고 있다. 그리고, 흡착부를 하강 위치로 하강시킨 상태에서 회전 위치로 반송물을 반송시켜 정지시킨 후, 흡착부를 상승 위치로 상승시켜 흡착부에 의해 반송물을 흡착 지지시켜, 이 상태에서 흡착부를 세로 축심 주위로 설정 각도 회전시킴으로써, 반송물을 회전시켜 반송 자세를 변경한다. 그리고, 반송물의 회전이 완료한 후, 흡착부에 의한 흡착 지지를 해제하고, 흡착부를 하강 위치로 하강시키고 나서 반송물의 반송을 재개하도록 하고 있다.

일본공개특허 제2005-145651호 공보

종래에는, 반송물을 반송 방향에서 일정한 회전 위치에 정지시킨 상태에서 흡착부에 의해 흡착 유지하여 회전시켜 자세를 변경하므로, 자세 변경에 필요한 시간을 단축하도록 하여 흡착부의 회전 속도를 빠르게 하면, 회전 속도의 가속 시 및 감속 시에 반송물의 회전 중심에 생기는 관성 토크(torgue)가 흡착부의 흡착 지지력보다 크게 되어 흡착부에 의한 반송물의 유지가 해제되어 반송물의 회전을 제어할 수 없게 될 우려가 있다. 그러므로, 흡착부를 저속으로 회전시킬 필요가 있어, 반송물의 자세 변경에 시간을 필요로 하고 있었다. 또한, 자세 변경 수단에 의해 반송물을 회전시키고 있는 동안은, 반송물은 회전 위치에 정지한 채이므로, 반송 수단에 의한 반송물의 반송 방향을 따른 이동이 정체되어 버린다. 이와 같이, 자세 변경 수단을 설치하여 반송물의 자세를 변경할 수 있도록 하면 반송 장치로서의 반송 능력이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 반송물의 자세를 변경할 수 있으면서, 반송 능력이 높은 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 반송 장치에서는, 반송물의 하면을 향해 공기를 공급하여 수평 자세로 또는 거의 수평 자세로 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 반송물에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하는 반송 수단과, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 반송물을 세로 축심 주위로 회전시켜 반송물의 반송 자세를 변경하는 자세 변경 수단과, 상기 반송 수단 및 상기 자세 변경 수단의 작동을 제어하는 제어 수단이 설치된 반송 장치에 있어서,

상기 자세 변경 수단은, 비접촉 상태로 지지된 반송물의 평면에서 볼 때의 복수개의 단부에 대하여 걸어맞춤으로써 반송물을 유지 가능한 유지부와, 상기 유지부를 세로 축심 주위로 회전시키는 회전 수단과, 상기 유지부를 반송 방향을 따라 이동시키는 이동 수단을 포함하여 구성되며, 상기 제어 수단은, 비접촉 상태로 지지된 상태의 반송물을 유지 위치에 있어서 상기 유지부에 의해 유지하고, 상기 이동 수단에 의해 상기 유지부를 이동시켜 반송 방향을 따라 상기 유지 위치보다 하류측의 유지 해제 위치까지 비접촉 상태로 지지된 상태의 반송물을 반송하는 동안, 상기 이동 수단에 의해 상기 유지부를 이동시키면서 상기 회전 수단에 의해 상기 유지부를 회전시켜 유지하고 있는 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키고, 상기 유지 해제 위치에서 반송물의 유지를 해제할 수 있도록, 상기 유지부의 유지 작동, 상기 이동 수단의 이동 작동, 및 상기 회전 수단의 회전 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

이와 같은 구성에 의하면, 제어 수단에 의해 반송 수단이 제어됨으로써, 반송물은, 송풍식 지지 수단에 비접촉 상태로 지지된 상태에서 추진력 부여 수단에 의한 추진력에 의해 반송 방향으로 반송된다. 반송 장치는 자세 변경 수단을 구비하고 있고, 이 자세 변경 수단은, 반송물의 평면에서 볼 때의 복수개의 단부에 대하여 걸어맞춤으로써 반송물을 유지하는 유지부와, 유지부를 세로 축심 주위로 회전시키는 회전 수단과, 유지부를 반송 방향을 따라 이동시키는 이동 수단을 포함하고 있다. 그리고, 제어 수단이 자세 변경 수단의 작동을 제어함으로써, 유지 위치에 있어서 반송물의 평면에서 볼 때의 복수개의 단부에 대하여 유지부를 걸어맞춤으로써 반송물을 유지부에 유지시키고, 회전 수단 및 이동 수단에 의해, 반송물을 걸어맞추어 유지하고 있는 유지부를 이동시키면서 회전시켜, 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키는 것이 가능하다.

이와 같이, 반송물의 평면에서 볼 때의 복수개의 단부에 대하여 걸어맞춤으로써 반송물을 유지하고 있는 유지부를 회전시킴으로써 유지된 반송물을 세로 축심 주위로 회전시킬 수 있으므로, 유지부의 회전 속도를 빠르게 해도 유지부로부터 반송물이 쉽게 벗어나지 않아, 유지부에 의해 확실하게 유지한 상태로 반송물을 고속으로 회전시키는 것이 가능하다. 그러므로, 반송물의 자세 변경을 단시간에 행할 수 있다.

또한, 제어 수단은, 회전 수단과 이동 수단을 제어하여, 유지부를 회전시키면서 반송 방향을 따라 이동시키므로, 반송물은, 유지 위치에서 유지부에 유지된 후, 회전하면서 반송 방향으로 이동하여, 유지 해제 위치에서 유지부에 의한 유지가 해제되게 된다. 즉, 반송물의 반송 자세가 변경되는 동안에도 반송 수단에 의한 반송 방향에서의 이동이 정체되지 않게 되어, 반송물은, 반송 자세가 변경되고 있는 동안에도 반송 방향을 따라 이동되게 되므로, 반송 장치로서의 반송 능력이 높은 것으로 된다.

이와 같이, 반송물의 자세를 변경할 수 있으면서, 반송 능력이 높은 반송 장치를 얻기에 이르렀다.

본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 유지부는, 상기 반송물의 단부에 대하여 걸어맞추는 걸어맞춤 자세와 상기 단부에 대한 걸어맞춤이 해제되는 해제 자세로 가로 축심 주위의 요동(搖動)에 의해 자세 전환 가능한 복수개의 걸어맞춤 작용부를 구비하고, 이 걸어맞춤 작용부가 상기 걸어맞춤 자세로 되면 반송물을 유지하고, 상기 해제 자세로 되면 반송물을 해방(release)하도록 구성되며, 상기 제어 수단은, 상기 유지 위치 및 상기 유지 해제 위치에 있어서 상기 걸어맞춤 작용부의 자세 전환 작동을 제어하도록 구성되는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 반송물의 평면에서 볼 때의 복수개의 단부에 대하여 걸어맞추는 복수개의 걸어맞춤 작용부를 가로 축심 주위로 요동시킴으로써 걸어맞춤 자세와 해제 자세로 그 자세를 전환함으로써, 반송물의 유지와 유지 해제의 동작을 행할 수 있다. 그러므로, 유지부의 일부분인 복수개의 걸어맞춤 작용부의 자세를 변경시키게 되므로, 유지부 전체를 승강시키는 등의 큰 동작을 수반하지 않고, 간소한 구성으로, 또한 단시간에 반송물의 유지 및 유지 해제를 행할 수 있다. 따라서, 자세 변경 수단의 컴팩트화를 도모할 수 있는 동시에, 유지부에 의한 반송물의 유지나 유지 해제를 비교적 단시간에 완료시킬 수 있다. 예를 들면, 유지부에 의한 반송물의 유지나 유지 해제를, 반송물을 정지시킨 상태에서 행하는 경우에, 유지 위치나 유지 해제 위치에서의 정지 시간을 매우 짧게 할 수 있어, 반송 능력의 저하를 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 반송 수단은, 복수개의 반송물을 순차적으로 반송하도록 구성되며, 상기 이동 수단은, 상기 유지부를 상기 유지 위치와 상기 유지 해제 위치와의 사이에서 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 왕복 이동시키도록 구성되며, 상기 유지 위치보다 상류측에 설정된 도입(導入) 위치로부터 상기 유지 위치까지 반송물을 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도입 반송 수단이 설치되고, 상기 제어 수단은, 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로 이동시킨 후 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로 복귀 이동시키기 위해, 상기 자세 변경 수단의 작동을 반복 제어하도록 구성되며, 또한 상기 유지 상태의 유지부의 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로의 이동을 개시하게 한 후, 상기 비유지 상태의 유지부의 상기 유지 위치로의 복귀 이동을 종료시키기까지, 후속하는 반송물을 상기 유지 위치로 반송할 수 있도록, 상기 도입 반송 수단의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 유지 위치보다 상류측에 설정된 도입 위치로부터 유지 위치까지 반송물을 반송 수단의 반송 방향을 따라 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도입 반송 수단을 포함함으로써, 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 유지부를 유지 위치로부터 유지 해제 위치로 이동시키기 시작한 후, 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 유지부를 복귀 이동시켜 유지 위치에 위치시키기까지, 도입 반송 수단에 의해 후속(後續)하는 반송물을 유지 위치로 반송하여 둘 수 있다.

즉, 복수개의 반송물을 순차적으로 반송하는 경우에, 유지부는, 선행하는 반송물을 유지한 상태에서 유지 위치로부터 하류측의 유지 해제 위치로 이동한 후, 반송물을 유지하고 있지 않은 상태에서 다시 유지 위치로 돌아오는 동안, 도입 반송 수단에 의해, 후속하는 반송물을 유지 위치로 반송하여 둠으로써, 유지부가 비유지 상태에서 유지 위치로 돌아왔을 때, 다음의 유지 대상의 반송물이 유지 위치에 준비되어 있는 상태로 할 수 있다.

이와 같이, 도입 위치로부터 유지 위치의 사이는 도입 반송 수단에 의해 반송하고, 유지 위치로부터 유지 해제 위치까지는 자세 변경 수단에 의해 반송하도록 하여 반송물을 분담하여 반송함으로써, 반송물을 자세 변경시키면서 효율적으로 반송할 수 있다.

본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 제어 수단은, 상기 유지부의 회전과 상기 유지부의 상기 유지 위치로부터의 이동을 동시에 또는 거의 동시에 개시하게 하도록, 상기 회전 수단 및 상기 이동 수단의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 유지부가 유지 위치로부터의 이동을 개시하는 동시에 또는 거의 동시에 유지부의 회전이 개시되므로, 유지부가 복귀 이동하여 유지 위치에 위치했을 때 도입 반송 수단에 의해 이미 유지 위치로 반송물이 반송되어 있으면, 즉시 반송물을 유지하여 반송물의 반송 자세를 회전시키기 시작할 수 있다. 따라서, 반송물의 회전 개시까지에 유지체가 반송 방향을 따라 이동하는 거리를 매우 짧게 할 수 있으므로, 자세 변경 수단을 유지체의 이동 방향에서 컴팩트하게 구성할 수 있다.

본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 반송 수단은, 복수개의 반송물을 순차적으로 반송하도록 구성되며, 상기 이동 수단은, 상기 유지부를 상기 유지 위치와 상기 유지 해제 위치와의 사이에서 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 왕복 이동시키도록 구성되며, 상기 유지 해제 위치로부터 상기 유지 해제 위치보다 하류측에 설정된 도출(導出) 위치까지 반송물을 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도출 반송 수단이 설치되고, 상기 제어 수단은, 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로 이동시킨 후, 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로 복귀 이동시키기 위해, 상기 자세 변경 수단의 작동을 반복 제어하도록 구성되며, 또한 상기 유지 상태의 유지부가 상기 유지 해제 위치에 위치한 상태에서 유지하고 있는 반송물을 해방시킨 후, 후속의 반송물을 유지하고 있는 상기 유지 상태의 유지부를 상기 유지 해제 위치로 이동시키기까지, 상기 유지부로부터 해방된 반송물을 상기 유지 해제 위치로부터 반송할 수 있도록, 상기 도출 반송 수단의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 유지 해제 위치로부터 유지 해제 위치보다 하류측에 설정된 도출 위치까지 반송물을 반송 수단의 반송 방향을 따라 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도출 반송 수단을 포함함으로써, 유지부가 유지 해제 위치에 위치한 상태에서 유지하고 있는 반송물을 해방시킨 후, 후속의 반송물을 유지하고 있는 유지부를 유지 해제 위치로 이동시키기까지, 도출 반송 수단에 의해 유지부로부터 해방된 반송물을 유지 해제 위치로부터 반송하여 둘 수 있다.

즉, 복수개의 반송물을 순차적으로 반송하는 경우에, 유지부는, 선행하는 반송물을 유지 해제 위치에서 개방한 후, 후속하는 다음의 반송물을 유지한 상태에서 다시 유지 해제 위치로 돌아오는 동안, 도출 반송 수단에 의해, 선행하는 반송물을 도출 위치로 반송하여 둠으로써, 유지부가 유지 해제 위치로 돌아왔을 때, 먼저 개방한 반송물이 유지 해제 위치로부터 도출되어 유지 해제 위치가 빈 상태로 되도록 준비해 둘 수 있다.

이와 같이, 유지 위치로부터 유지 해제 위치의 사이는 자세 변경 수단에 의해 반송하고, 유지 해제 위치로부터 도출 위치까지는 도출 반송 수단에 의해 반송하도록 하여 반송물을 분담하여 반송함으로써, 반송물을 자세 변경시키면서 효율적으로 반송할 수 있다.

본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에서는, 상기 제어 수단은, 상기 유지부의 회전과 상기 유지부의 상기 유지 해제 위치까지의 이동을 동시에 또는 거의 동시에 종료시키도록, 상기 회전 수단 및 상기 이동 수단의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 유지부가 유지 해제 위치까지의 이동을 종료함과 동시에 또는 거의 동시에 유지부의 회전이 종료되므로, 도출 반송 수단에 유지 해제 위치로부터 도출 위치까지의 반송을 담당시킴으로써, 유지부가 유지 해제 위치로 이동한 후에는, 즉시 유지 해제 위치에서 반송물을 해방시켜, 후속의 반송물을 유지하기 위해 유지 위치로 복귀 이동할 수 있다. 따라서, 반송물의 회전이 종료한 후에 유지체가 반송 방향을 따라 이동하는 거리를 매우 짧게 할 수 있으므로, 자세 변경 수단을 유지체의 이동 방향에서 컴팩트하게 구성할 수 있다.

또한, 본 발명에는, 상기 구성에 대응하는 반송 방법이 포함되고, 반송 방법에 있어서는, 상기 구성에 대응하는 작용이나 효과를 기대할 수 있다.

즉, 본 발명에 의한 방법은, 반송물의 하면을 향해 공기를 공급하여 수평 자세로 또는 거의 수평 자세로 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 반송물에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하는 반송 수단과, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 반송물을 세로 축심 주위로 회전시켜 반송물의 반송 자세를 변경하는 자세 변경 수단과, 상기 반송 수단 및 상기 자세 변경 수단의 작동을 제어하는 제어 수단이 설치되고, 상기 자세 변경 수단은, 비접촉 상태로 지지된 반송물의 평면에서 볼 때의 복수개의 단부에 대하여 걸어맞춤으로써 반송물을 유지 가능한 유지부와, 상기 유지부를 세로 축심 주위로 회전시키는 회전 수단과, 상기 유지부를 반송 방향을 따라 이동시키는 이동 수단을 포함하여 구성된 반송 장치를 이용한 반송 방법으로서, 비접촉 상태로 지지된 상태의 반송물을 유지 위치에 있어서 상기 유지부에 의해 유지하는 공정과, 상기 이동 수단에 의해 상기 유지부를 이동시켜 반송 방향을 따라 상기 유지 위치보다 하류측의 유지 해제 위치까지 비접촉 상태로 지지된 상태의 반송물을 반송하는 동안 상기 이동 수단에 의해 상기 유지부를 이동시키면서 상기 회전 수단에 의해 상기 유지부를 회전시켜 유지하고 있는 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키는 공정과, 상기 유지 해제 위치에서 반송물의 유지를 해제하는 공정을 포함한다.

본 발명의 실시예에 있어서는, 상기 유지부는, 상기 반송물의 단부에 대하여 걸어맞추는 걸어맞춤 자세와 상기 단부에 대한 걸어맞춤이 해제되는 해제 자세로 가로 축심 주위의 요동에 의해 자세 전환 가능한 복수개의 걸어맞춤 작용부를 구비하여 구성되며, 상기 유지 위치 및 상기 유지 해제 위치에 있어서 상기 걸어맞춤 작용부의 자세 전환을 행하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명의 실시예에 있어서는, 상기 유지 위치보다 상류측에 설정된 도입 위치로부터 상기 유지 위치까지 반송물을 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도입 반송 수단이 설치되고, 상기 반송 방법은, 복수개의 반송물을 순차적으로 반송하도록 구성되며, 상기 이동 수단은, 상기 유지부를 상기 유지 위치와 상기 유지 해제 위치와의 사이에서 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 왕복 이동시키는 공정이 포함되고, 이 왕복 이동시키는 공정에는, 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로 이동시킨 후, 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로 복귀 이동시키는 공정이 포함되고, 상기 유지 상태의 유지부의 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로의 이동을 개시하게 한 후, 상기 비유지 상태의 유지부의 상기 유지 위치로의 복귀 이동을 종료시키기까지, 상기 도입 반송 수단에 의해 후속하는 반송물을 상기 유지 위치로 반송하는 공정이 포함되는 것이 바람직하다.

본 발명의 실시예에 있어서는, 반송물을 반송하는 동안, 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키는 상기 공정에서는, 상기 유지부의 회전과 상기 유지부의 상기 유지 위치로부터의 이동을 동시에 또는 거의 동시에 개시하게 하도록, 상기 회전 수단 및 상기 이동 수단의 작동을 제어하는 공정이 포함되는 것이 바람직하다.

본 발명의 실시예에 있어서는, 상기 유지 해제 위치로부터 상기 유지 해제 위치보다 하류측에 설정된 도출 위치까지 반송물을 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도출 반송 수단이 설치되고, 상기 반송 방법은, 복수개의 반송물을 순차적으로 반송하도록 구성되며, 상기 이동 수단은, 상기 유지부를 상기 유지 위치와 상기 유지 해제 위치와의 사이에서 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 왕복 이동시키는 공정이 포함되고, 이 왕복 이동시키는 공정에는, 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로 이동시킨 후, 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로 복귀 이동시키는 공정이 포함되고, 상기 유지 상태의 유지부가 상기 유지 해제 위치에 위치한 상태에서 유지하고 있는 반송물을 해방시킨 후, 후속의 반송물을 유지하고 있는 상기 유지 상태의 유지부를 상기 유지 해제 위치로 이동시키기까지, 상기 유지부로부터 해방된 반송물을 상기 유지 해제 위치로부터 반송하는 공정이 포함되는 것이 바람직하다.

본 발명의 실시예에 있어서는, 반송물을 반송하는 동안, 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키는 상기 공정에서는, 상기 유지부의 회전과 상기 유지부의 상기 유지 해제 위치까지의 이동을 동시에 또는 거의 동시에 종료시키도록, 상기 회전 수단 및 상기 이동 수단의 작동을 제어하는 공정이 포함되는 것이 바람직하다.

도 1은 반송 장치의 전체 평면도이다.
도 2는 반송 장치의 전체 측면도이다.
도 3은 반송 유닛의 사시도이다.
도 4는 반송 유닛의 종단 단면도이다.
도 5는 자세 변경 모듈의 종단 단면도이다.
도 6은 자세 변경 수단의 모식도이다.
도 7은 회전암의 단부 확대도이다.
도 8은 도입 컨베이어의 측면도이다.
도 9는 제어 장치의 제어 블록도이다.
도 10은 제어 장치의 제어 동작의 플로우차트이다.
도 11은 반송 장치의 반송 작용도이다.
도 12는 반송 장치의 반송 작용도이다.
도 13은 반송 장치에 있어서의 각각의 장치의 동작 타이밍 차트이다.

본 발명에 관한 반송 장치의 실시예에 대하여, 반송물로서 액정 디스플레이용의 유리 기판(W)을 반송하는 반송 장치(1)를 예로 들어 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(1)는, 각각의 반송 방향이 동일 방향으로 되도록 직선형으로 배열하여 배치된 상류측 컨베이어(2) 및 하류측 컨베이어(3)와, 상류측 컨베이어(2) 및 하류측 컨베이어(3) 사이에 배치된 자세 변경 모듈(4)을 구비하고, 상류측 컨베이어(2) 및 하류측 컨베이어(3) 및 자세 변경 모듈(4)의 작동을 제어하는 제어 장치(H)를 구비하여 구성되어 있다.

반송 장치(1)는, 도 1 및 도 2에서 상류측 컨베이어(2)로부터 하류측 컨베이어(3)를 향하는 방향을 반송 방향으로 하여 직선형의 반송 경로를 따라 상류측으로부터 하류측으로 복수개의 유리 기판(W)을 수평 자세로 또는 거의 수평 자세로 순차적으로 반송하고, 직선형의 반송 경로 도중에 유리 기판(W)을 세로 축심 X1 주위로 회전시켜 유리 기판(W)의 반송 자세를 상류측 컨베이어(2)에서의 상류측 자세로부터 하류측 컨베이어(3)에서의 하류측 자세로 변경할 수 있도록 되어 있다. 여기서, 거의 수평 자세란, 수평 방향으로부터, 예를 들면, 10도 이하의 경사를 가지는 자세이다. 본 실시예에서는, 유리 기판(W)은 평면에서 볼 때 직사각형이며, 일방향(폭 방향)으로 연장되는 변은, 다른 방향(길이 방향)으로 연장되는 변보다 짧고, 상류측 컨베이어(2)는 유리 기판(W)을 그 폭 방향이 반송 방향을 따른 자세로 반송하고, 하류측 컨베이어(3)는 유리 기판(W)을 그 길이 방향이 반송 방향을 따른 자세로 반송한다.

상류측 컨베이어(2) 및 하류측 컨베이어(3) 및 자세 변경 모듈(4)에 의해, 송풍식 지지 수단(10) 및 추진력 부여 수단(11)을 구비한 반송 수단(D)이 구성되어 있다. 또한, 제어 수단(H)이, 반송 수단(D)의 작동을 제어하는 제어 수단으로서 기능한다. 이하, 상류측 컨베이어(2) 및 하류측 컨베이어(3) 및 자세 변경 모듈(4)에 대하여 구체적으로 설명한다.

상류측 컨베이어(2) 및 하류측 컨베이어(3)의 각각은, 가대(架臺)(5) 상에 설치되는 복수개의 반송 유닛(6)을 반송 방향을 따라 배열된 상태로 배치하여, 인접하는 것끼리를 서로 접속하여 구성되어 있다. 상류측 컨베이어(2)의 반송 유닛(6a)과 하류측 컨베이어(3)의 반송 유닛(6b)은, 좌우 방향(반송 방향과는 수직의 방향)의 길이가 상이한 것 이외에는 기본적인 구성은 같으므로, 상류측 컨베이어(2)를 구성하는 반송 유닛(6a)을 예로 들어 반송 유닛(6)에 대하여 설명하고, 하류측 컨베이어(3)를 구성하는 반송 유닛(6b)에 대해서는 설명을 생략한다.

반송 유닛(6a)은, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상면 커버(7) 및 지지 프레임(8)으로 이루어지는 케이스체(9)에 송풍식 지지 수단(10a) 및 추진력 부여 수단(11a)를 구비하여 구성되어 있다.

반송 유닛(6a)의 송풍식 지지 수단(10a)은, 유리 기판(W)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 복수개의 팬 필터 유닛(12)과, 다수의 통기공(13a)이 형성되어 팬 필터 유닛(12)에 탑재 지지되어 유리 기판(W)의 하면에 공급되는 청정 공기의 정풍(整風)을 행하는 정풍판(13)을 구비하여 구성되어 있다. 팬 필터 유닛(12)은, 지지 프레임(8)에 연결 고정되어 있고, 먼지를 제거하는 제진(除塵) 필터(14)와, 그 제진 필터(14) 아래에 배치되고, 제진 필터(14)를 통해 유리 기판(W)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하기 전동식의 송풍팬(15)을 일체로 조립하여 구성되어 있다. 이 실시예에서는, 송풍식 지지 수단(10a)은, 팬 필터 유닛(12)을 전후 방향으로 인접 시켜 2개 배열하고, 좌우 방향으로 간격을 두고 2개 배열한 합계 4개의 팬 필터 유닛(12)을 구비하고 있다. 또한, 자세 변경 모듈(4)에 상류측으로 인접하는 반송 유닛(6a)의 송풍식 지지 수단(10a)의 정풍판(13)의 하류측 부분에는, 후술하는 도입 컨베이어(29)가 송풍식 지지 수단(10a)보다 위쪽으로 돌출 가능하도록 도입 컨베이어용 슬릿(13b)이 반송 방향을 따라 형성되어 있다.

반송 유닛(6a)의 추진력 부여 수단(11a)은, 좌우 방향에서의 양단 부분에 있어서 반송 방향을 따라 배열하여 배치되고, 송풍식 지지 수단(10a)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(W)의 좌우 양 단부의 하면에 접촉하여 유리 기판(W)에 반송 방향의 추진력을 부여하는 복수개의 구동 롤러(16)와, 이들 구동 롤러(16)를 회전 구동시키는 구동 롤러용 모터(M1)(도 9 참조)를 구비하고 있다.

구동 롤러(16) 및 구동 롤러용 모터(M1)를 지지하는 케이스체(9)의 지지 프레임(8)은, 외부 공기를 도입하는 공기 도입구(17)를 하면에 구비한 저부 플레이트(18)와, 지지 프레임(8)의 좌우 방향의 양측으로 반송 방향을 따라 고정 상태로 구비한 좌우 한쌍의 수납 프레임(19)을 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 상면 커버(7)가 양쪽의 수납 프레임(19)에 걸쳐서 구비되어 있다. 좌우 한쌍의 수납 프레임(19)의 각각에, 구동 롤러용 모터(M1) 및 이 구동 롤러용 모터(M1)의 회전 구동력을 복수개의 구동 롤러(16)에 분배하는 전동축(20)을 구비한 전동 기구가 내장되어 있다. 그리고, 구동 롤러(16)에는, 유리 기판(W)의 좌우 방향의 양 단부의 측면에 맞닿아, 유리 기판(W)의 좌우 방향으로의 이동을 받아들이는 대경부(大徑部)(16a)가 구비되어 있다.

다음에, 자세 변경 모듈(4)의 구성에 대하여 설명한다. 도 1, 도 2 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 자세 변경 모듈(4)은, 상면 커버(21) 및 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 지지 프레임(22)으로 이루어지는 케이스체(23)에 송풍식 지지 수단(10b) 및 추진력 부여 수단(11b)를 구비하여 구성되어 있다.

자세 변경 모듈(4)의 송풍식 지지 수단(10b)은, 반송 유닛(6)의 송풍식 지지 수단(10a)과 마찬가지로 구성되어 있다. 즉, 도 5에도 나타낸 바와 같이, 유리 기판(W)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 복수개의 팬 필터 유닛(12)과, 다수의 통기공(13a)이 형성되어 팬 필터 유닛(12)에 탑재 지지되어 유리 기판(W)의 하면에 공급되는 청정 공기의 정풍을 행하는 정풍판(13)을 구비하여 구성되어 있다. 팬 필터 유닛(12)은, 지지 프레임(22)에 연결 고정되어 있고, 먼지를 제거하는 제진 필터(14)와, 그 제진 필터(14) 아래에 배치되고, 제진 필터(14)를 통해 유리 기판(W)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하기 전동식의 송풍팬(15)을 일체로 조립하여 구성되어 있다.

자세 변경 모듈(4)의 송풍식 지지 수단(10b)은, 지지 프레임(22)에 탑재 지지된 복수개의 팬 필터 유닛(12)을 전후 방향으로 인접하는 상태로 구비하고 있지만, 좌우 방향으로 배열되는 개수는 상류측으로부터 하류측을 향해 2개, 3개, 2개로 반송 방향에서 상이하게 되어 있다. 상류측의 단부에 배열되는 2개의 팬 필터 유닛(12)과, 하류측의 단부에 배열되는 2개의 팬 필터 유닛(12)의 크기 및 자세는 같으며, 이들 팬 필터 유닛(12)의 크기 및 자세는, 반송 방향에서 중간에 위치하는 3개의 팬 필터 유닛(12)의 크기 및 자세와는 상이하게 되어 있다. 또한, 후술하는 도입 컨베이어(29)가 송풍식 지지 수단(10b)보다 위쪽으로 돌출 가능하도록 자세 변경 모듈(4)의 송풍식 지지 수단(10b)에서의 정풍판(13)의 상류측 부분에는, 도입 컨베이어용 슬릿(13c)이 형성되어 있다(도 1 참조). 이 도입 컨베이어용 슬릿(13c)은, 자세 변경 모듈(4)에 상류측으로 인접하는 반송 유닛(6a)의 송풍식 지지 수단(10a)의 정풍판(13)에 형성된 도입 컨베이어용 슬릿(13b)에 연속되어 있다.

자세 변경 모듈(4)은, 유리 기판(W)을 세로 축심 X1 주위로 회전시키는 자세 변경 수단(24)을 구비하고 있고, 자세 변경 모듈(4)의 추진력 부여 수단(11b)은, 이 자세 변경 수단(24)에 의해 겸용되고 있다.

도 2, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 자세 변경 수단(24)은, 송풍식 지지 수단(10b)에 의해 비접촉 상태로 지지된 유리 기판(W)의 평면에서 볼 때 복수개의 단부에 대하여 걸어맞춤으로써 유리 기판(W)을 유지 가능한 유지부로서의 회전암(25)과, 회전암(25)을 세로 축심 X1 주위로 회전시키는 회전 수단으로서의 회전부(26)와, 회전암(25)을 반송 방향을 따라 이동시키는 이동 수단으로서의 슬라이드부(27)를 구비하고 있다.

도 5, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 회전암(25)은, 송풍식 지지 수단(10b)에 의해 비접촉 상태로 지지되는 유리 기판(W)의 높이보다 상방측으로 배치되어 있고, 그 양 단부에는, 유리 기판(W)의 평면에서 볼 때 한쌍의 단부에 대하여 걸어맞추어지는 걸어맞춤 자세와 이들 단부에 대한 걸어맞춤이 해제되는 해제 자세로 가로 축심 Y1 주위의 요동에 의해 자세 전환 가능한 복수개의 걸어맞춤 작용부로서, 한쌍의 척부재(chuck portion)(28)를 구비하고 있다. 이 한쌍의 척부재(28)가 걸어맞춤 자세로 되면 유리 기판(W)을 유지하고, 해제 자세로 되면 유리 기판(W)을 해방하도록 구성되어 있다. 그리고, 상세한 설명은 생략하지만, 한쌍의 척부재(28)의 자세를 전환 구동하는 척용 모터(M2)(도 9 참조)가, 회전암(25)의 양 단부에 내장되어 있다.

회전암(25)은, 평면에서 볼 때 직사각형의 유리 기판(W)의 단변(短邊)의 길이에 대응한 길이의 장척형(長尺形)의 중공(中空) 부재에 의해 구성되며, 양단에 설치된 한쌍의 척부재(28)의 각각이, 유리 기판(W)의 장변의 좌우 방향에서의 대략 중앙 부분에 걸어맞추어짐으로써 유리 기판(W)을 유지하도록 되어 있다. 한쌍의 척부재(28)의 각각은, 가로 축심 Y1 방향으로 배열된 2개의 접촉편(28a·28b)을 구비하고 있고, 유리 기판(W)의 장변의 대략 중앙 부분에 대하여, 2개의 접촉편(28a·28b)이 2개소에서 맞닿음으로써, 한쌍의 척부재(28)가 걸어맞춤 자세이면, 회전암(25)에 대한 유리 기판(W)의 상대 회전이 규제된다. 그리고, 한쌍의 척부재(28)에서의 접촉편(28a·28b)의 접촉면에 우레탄 고무 등의 탄성 부재를 설치하여, 유리 기판(W)과 한쌍의 척부재(28)가 탄성 접촉 가능하도록 하고 있다.

회전부(26)는, 회전암(25)을 한쪽 방향과 그 역방향으로 회전 구동하는 회전용 모터(M3)(도 9 참조) 및 회전용 모터(M3)의 회전 구동량을 검출함으로써 회전암(25)의 회전 위치를 검출하는 회전 위치 검출 수단으로서의 회전 위치 검출용 로터리 인코더(RE1)(도 9 참조)를 구비하고 있다.

슬라이드부(27)는, 지지 프레임(22)이 구비하는 전후 한쌍의 지지 프레임(22a)에 의해 복수 개소가 지지된 상태로 반송 방향을 따라 설치된 가이드 레일(27a)과, 이 가이드 레일(27a)에 안내되어, 유리 기판(W)을 유지 위치 P3[도 11의 (b) 참조]에 위치시키는 후퇴 한도 위치와 유리 기판(W)을 유지 해제 위치 P4[도 12의 (d) 참조]에 위치시키는 전진 한도 위치와의 사이에서 왕복 이동 가능하게 설치된 슬라이드 블록(27b)과, 슬라이드 블록(27b)을 반송 방향에서 상류에서 하류를 향해 전진 구동시키고, 또한 반송 방향에서 하류에서 상류를 향해 후퇴 구동시키는 이동용 모터(M4)(도 9 참조)를 구비하고 있다. 슬라이드 블록(27b)에 이동용 모터(M4)의 구동력을 전달하는 방법으로서, 종래 기술의 구조를 이용할 수 있다. 예를 들면, 이동용 모터(M4)에 의해 회전되는 나사축에 대하여 나사결합되는 부재에 슬라이드 블록(27b)을 고정시킬 수 있다. 다른 하나의 예로서, 가이드 레일(27a)의 일단 영역에 배치된 1개의 풀리의 축심에 이동용 모터(M4)를 직접 또는 기어를 통하여 간접적으로 연결하고, 가이드 레일(27a)의 타단 영역에, 자유 회전 가능한 풀리를 배치하고, 이들 2개의 풀리의 사이에 무단 벨트를 감고, 그 무단(無端) 벨트의 1개소에 대하여 슬라이드 블록(27b)을 고정시킬 수 있다. 또한, 가이드 레일(27a)의 전후 양 단부에는, 후퇴 한도 위치의 슬라이드 블록(27b)을 검출하는 유지 위치 검출용 센서(S3)(도 9 참조), 및 전진 한도 위치의 슬라이드 블록(27b)을 검출하는 유지 해제 위치 검출용 센서(S4)(도 9 참조)가 설치되어 있다.

유지 위치 P3에서는, 제어 장치(H)에 의해 회전암(25)의 한쌍의 척부재(28)가 해제 자세로부터 유지 자세로 자세 변경되는 것에 의해, 유리 기판(W)이 회전암(25)에 의해 유지된다. 또한, 유지 해제 위치 P4에서는, 제어 장치(H)에 의해 회전암(25)의 한쌍의 척부재(28)가 유지 자세로부터 해제 자세로 자세 변경되는 것에 의해, 유리 기판(W)이 회전암(25)으로부터 해방된다. 즉, 제어 장치(H)는, 유지 위치 P3 및 유지 해제 위치 P4에 있어서 한쌍의 척부재(28)의 자세 전환 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

자세 변경 수단(24)은, 한쌍의 척부재(28)를 유리 기판(W)에 걸어맞추는 걸어맞춤 자세로 전환한 상태에서 회전부(26)에 의해 회전암(25)을 세로 축심 X1 주위로 회전시키면서 슬라이드부(27)에 의해 회전부(26)를 반송 방향을 따른 가이드 레일(27a)을 따라 이동시킴으로써, 송풍식 지지 수단(10b)에 의해 유리 기판(W)을 지지한 상태에서, 유리 기판(W)을 세로 축심 X1 주위로 회전시키면서, 유리 기판(W)에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하여 반송 방향으로 반송한다.

이와 같이, 자세 변경 모듈(4)은, 추진력 부여 수단(11b)을 겸용하는 자세 변경 수단(24)을 구비하고 있고, 유리 기판(W)의 자세 변경 기능에 더하여 유리 기판(W)에 대하여 접촉하여 반송 방향에 대한 추진력을 부여하는 기능을 가지고 있다. 자세 변경 모듈(4)에 의한 반송 방향으로 되는 회전암(25)의 회전 세로 축심 X1의 이동 방향은, 상류측 컨베이어(1) 및 하류측 컨베이어(2)의 반송 방향과 일치하고 있다.

반송 장치(1)에는, 도 1, 도 4, 도 5 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 유지 위치 P3보다 상류측에 설정된 도입 위치 P2로부터 유지 위치 P3까지 유리 기판(W)을 반송 방향을 따라 유리 기판(W)의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도입 반송 수단으로서 도입 컨베이어(29)가 설치되어 있다. 도입 컨베이어(29)에 의해 반송되는 유리 기판(W)의 반송 하류측의 단부를 캐치하는 좌우 한쌍의 스토퍼(40)가 자세 변경 모듈(4)에 설치되어 있다.

한쌍의 스토퍼(40)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 자세 변경 모듈(4)의 반송 방향에서 중간 위치에 있어서 좌우 방향으로 3개 배열된 팬 필터 유닛(12) 사이에 형성되는 2개의 간극의 각각에 1개씩 배치되어 있다. 한쌍의 스토퍼(40)는, 스토퍼 승강용 모터(M9)(도 9 참조)를 한쪽 방향과 그 역방향으로 회전 작동시킴으로써, 도입 컨베이어(29)에 의해 유지 위치 P3까지 반송된 유리 기판(W)의 반송 하류측의 단변의 2개소에 맞닿아, 유리 기판(W)을 상류측 자세로 유지하면서 유리 기판(W)의 반송 방향 하류측으로의 이동을 규제하는 상승 위치와, 유리 기판(W)의 반송 방향 하류측으로의 이동을 허용하는 하강 위치로, 전환 가능하게 구성되어 있다(도 11 및 도 12 참조).

또한, 반송 장치(1)에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 유지 해제 위치 P4로부터 그 유지 해제 위치 P4보다 하류측에 설정된 도출 위치 P5까지 유리 기판(W)을 반송 방향을 따라 유리 기판(W)의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도출 반송 수단으로서의 도출 컨베이어(30)가 설치되어 있다. 도입 컨베이어(29) 및 도출 컨베이어(30)는 배치 위치가 상이할뿐이며 기본적인 구성은 동일하므로, 도입 컨베이어(29)를 예로 들어 구체적으로 설명한다.

도입 컨베이어(29)는, 도 1, 도 4, 도 5 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 상류측 자세[도출 컨베이어(30)의 경우에는 하류측 자세]의 유리 기판(W)에서의 좌우 방향의 중앙부를 접촉 지지하는 도입측 벨트식 추진력 부여부(31)를 구비하고 있다. 이 도입측 벨트식 추진력 부여부(31)는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 팬 필터 유닛(12)을 좌우 방향으로 2개 배열함으로써, 좌우 방향으로 중간 위치에 형성되는 전후 방향으로 가늘고 긴 간극(G)에 설치되어 있다.

도입측 벨트식 추진력 부여 수단(31)은, 도 8에 나타낸 바와 같이, 반송 방향의 상류측에 위치하여 도입 컨베이어 구동용 모터(M5)에 의해 회전하는 구동륜(32)과, 반송 방향의 상류측에 위치하는 회전 가능한 종동륜(從動輪)(33)과, 이들 구동륜(32)과 종동륜(33)에 걸쳐 권취되고, 유리 기판(W)의 하면을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 타이밍 벨트(34)와, 타이밍 벨트(34)에서의 이송 경로 부분을 내주면측으로부터 지지하는 내측 지지륜(35)과, 이들을 지지하는 지지 프레임(36)으로 구성되어 있다. 그리고, 도 8에 나타낸 바와 같이, 지지 프레임(36)에는, 도입측 벨트식 추진력 부여부(31)를 승강 조작하기 위한 도입 컨베이어 승강용 모터(M6)가 전후 한쌍 형성되어 있고, 각 도입 컨베이어 승강용 모터(M6)의 출력 기어(37)와, 팬 필터 유닛(12)의 측면에 형성된 랙(rack)(38)이 맞물려 있다.

한쌍의 도입 컨베이어 승강용 모터(M6)를 동기(同期)한 상태에서 한쪽 방향과 그 역방향으로 구동 회전시킴으로써, 도입측 벨트식 추진력 부여부(31)는, 타이밍 벨트(34)의 위쪽 경로 부분의 외주면이 상류측 컨베이어(2) 및 자세 변경 모듈(4)이 구비하는 정풍판(13)보다 위쪽에 위치하여 유리 기판(W)의 하면에 접촉 가능한 상승 위치와, 타이밍 벨트(34)의 위쪽 경로 부분의 외주면이 상류측 컨베이어(2) 및 자세 변경 모듈(4)이 구비하는 정풍판(13)보다 아래쪽에 위치하여 유리 기판(W)의 하면에 접촉하지 않는 하강 위치로 상하 승강 가능하게 구성되어 있다. 벨트식 추진력 부여부(31)가 상하 승강할 때는, 타이밍 벨트(34)의 위쪽 경로 부분이 상류측 컨베이어(2) 및 자세 변경 모듈(4)이 각각 구비하는 정풍판(13)에 연속되는 상태로 형성된 슬릿(13b·13c)을 통과하게 된다.

도출 컨베이어(30)는, 도출 컨베이어 구동용 모터(M7) 및 한쌍의 도출 컨베이어 승강용 모터(M8)를 구비하고 있다(도 9 참조). 도출 컨베이어 구동용 모터(M7)를 회전 구동시킴으로써, 도출측 벨트식 추진력 부여 수단(39)의 타이밍 벨트가 권취 작동하고, 도입 컨베이어 승강용 모터(M8)를 동기한 상태에서 정역 방향으로 구동 회전시킴으로써, 도출측 벨트식 추진력 부여 수단(39)이 승강 작동한다.

다음에, 반송 장치(1)의 제어 구성에 대하여 설명한다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(1)의 작동을 제어하는 제어 장치(H)에는, 상류측 컨베이어(2), 도입 컨베이어(29), 자세 변경 모듈(4), 도출 컨베이어(30) 및 하류측 컨베이어(3)가 구비하는 각각의 전동 모터나 팬 필터 유닛(12)이나 각종 센서류가 접속되어 있다.

제어 장치(H)에는, 상류측 컨베이어(2)의 최하류의 반송 유닛(6a)에서의 준비 위치용 재하(在荷) 센서(S1), 각각의 반송 유닛(6a)에서의 복수개의 구동 롤러용 모터(M1) 및 복수개의 팬 필터 유닛(12)이 접속되어 있다. 상류측 컨베이어(2)의 준비 위치용 재하 센서(S1)는, 상류측 컨베이어(2)의 반송 방향에서 하류측의 단부에 설정된 준비 위치 P1[도 11의 (a) 참조]까지 유리 기판(W)이 반송된 것을 검출하는 광학식 센서이다.

마찬가지로, 제어 장치(H)에는, 하류측 컨베이어(3)의 최상류의 반송 유닛(6b)에서의 완료 위치용 재하 센서(S2), 각각의 반송 유닛(6b)에서의 복수개의 구동 롤러용 모터(M1) 및 복수개의 팬 필터 유닛(12)이 접속되어 있다. 하류측 컨베이어(3)의 완료 위치용 재하 센서(S2)는, 하류측 컨베이어(3)의 반송 방향에서 상류측의 단부에 설정된 완료 위치 P6[도 12의 (e) 참조]까지 유리 기판(W)이 반송된 것을 검출하는 광학식 센서이다.

제어 장치(H)에는, 자세 변경 모듈(4)의 자세 변경 수단(24)에서의 한쌍의 척용 모터(M2), 회전용 모터(M3), 이동용 모터(M4), 회전 위치 검출용 로터리 인코더(RE1), 한쌍의 스토퍼 승강용 모터(M9) 및 복수개의 팬 필터 유닛(12)이 접속되어 있다.

제어 장치(H)에는, 도입 컨베이어(29)의 도입 컨베이어 구동용 모터(M5) 및 한쌍의 도입 컨베이어 승강용 모터(M6)가 접속되어 있다. 마찬가지로, 제어 장치(H)에는, 도출 컨베이어(30)의 도출 컨베이어 구동용 모터(M7) 및 한쌍의 도출 컨베이어 승강용 모터(M8)가 접속되어 있다.

제어 장치(H)는, 비접촉 상태로 지지된 상태의 유리 기판(W)을 유지 위치 P3에서 회전암(25)에 의해 유지하고, 슬라이드부(27)에 의해 회전암(25)을 이동시켜 반송 방향을 따라 유지 위치 P3보다 하류측의 유지 해제 위치 P4까지 비접촉 상태로 지지된 상태의 유리 기판(W)을 반송하는 동안, 슬라이드부(27)에 의해 회전암(25)을 이동시키면서 회전부(26)에 의해 회전암(25)을 회전시켜 유지하고 있는 유리 기판(W)의 반송 자세를 세로 축심 X1 주위에 90° 회전시키고, 유지 해제 위치 P4에서 유리 기판(W)의 유지를 해제할 수 있도록, 회전암(25)의 유지 작동, 슬라이드부(27)의 이동 작동, 및 회전부(26)의 회전 작동을 제어한다.

제어 장치(H)는, 유리 기판(W)을 유지하고 있는 유지 상태의 회전암(25)을 유지 위치 P3로부터 유지 해제 위치 P4로 이동시킨 후, 유리 기판(W)을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 회전암(25)을 유지 위치 P3로 복귀 이동시키기 위해, 회전암(25)의 유지 작동, 슬라이드부(27)의 이동 작동, 및 회전부(26)의 회전 작동을 반복 제어한다.

제어 장치(H)는, 유지 상태의 회전암(25)의 회전과 유지 상태의 회전암(25)의 유지 위치 P3로부터의 이동을 동시에 또는 거의 동시에 개시하게 하도록, 회전부(26) 및 슬라이드부(27)의 작동을 제어하고, 또한 유지 상태의 회전암(25)의 유지 위치 P3로부터 유지 해제 위치 P4로의 이동을 개시하게 한 후, 비유지 상태의 회전암(25)의 유지 위치 P3로의 복귀 이동을 종료시키기까지, 후속하는 유리 기판(W)을 유지 위치 P3로 반송할 수 있도록, 도입 컨베이어(29)의 작동을 제어한다.

제어 장치(H)는, 유지 상태의 회전암(25)의 회전과 유지 상태의 회전암(25)의 유지 해제 위치 P4까지의 이동을 동시에 또는 거의 동시에 종료시키도록, 회전부(26) 및 슬라이드부(27)의 작동을 제어하고, 또한 유지 상태의 회전암(25)가 유지 해제 위치 P4에 위치한 상태에서 유지하고 있는 유리 기판(W)을 해방시킨 후, 후속의 유리 기판(W)을 유지하고 있는 유지 상태의 회전암(25)을 유지 해제 위치 P4로 이동시키기까지, 회전암(25)으로부터 해방된 유리 기판(W)을 유지 해제 위치 P4로부터 반송할 수 있도록, 도출 컨베이어(30)의 작동을 제어한다. 여기서, 거의 동시란, 시간차가 예를 들면, 1초 이내인 것을 의미하고, 또한 바람직하게는, 시간차가 0.5초 이내인 것을 의미한다.

제어 장치(H)의 제어 동작에 대하여 도 10의 플로우차트와 도 11 및 도 12의 동작도를 참조하여 설명한다. 도 10의 플로우차트는, 상류측 컨베이어(2)에 의해 준비 위치 P1까지 반송되어 온 유리 기판(W)이, 준비 위치 P1으로부터 완료 위치 P6까지 반송 방향으로 반송되면서 자세 변경될 때까지의 사이에 발생하는 상류측 컨베이어(2), 하류측 컨베이어(3), 자세 변경 모듈(4), 도입 컨베이어(29), 도출 컨베이어(30)의 동작을 나타내고 있다.

그리고, 도 10에 나타낸 좌우 3열의 단계군 중, 좌열의 단계군은 상류측 컨베이어(2) 및 하류측 컨베이어(3) 및 도입 컨베이어(29) 및 도출 컨베이어(30)의 동작을 나타내고, 중앙열의 단계군은 자세 변경 수단(24)의 동작을 나타내고, 우열의 단계군은 스토퍼(40)의 동작을 나타내고 있다.

먼저, 단계 #1 ~ 단계 #5에서, 준비 위치용 재하 센서(S1)에 의해 준비 위치 P1에 유리 기판(W)이 반송된 것이 검출되면, 준비 위치 P1에 위치하는 유리 기판(W)을 상류측 컨베이어(2)의 최하류의 반송 유닛(6a)에 의해 도입 위치 P2까지 상류측 자세로 반송한다[도 11의 (a) 참조]. 이 동안, 단계 #2에서 하강 위치에 위치하고 있는 도입 컨베이어(29)의 상승을 개시하게 하고, 단계 #3에서 도입 컨베이어(29)의 반송 작동을 개시하게 한다. 이로써, 상류측 컨베이어(2)에 의해 도입 위치 P2로 반송된 유리 기판(W)은, 즉시 도입 컨베이어(29)에 인계되어 유지 위치 P3를 향해 반송된다. 그리고, 도입 컨베이어(29)를 상승 위치로 전환하기 전에 반송 작동을 개시하게 해 두어도 된다.

유지 위치 P3로 반송되는 유리 기판(W)은, 상류측 부분의 좌우 양 단부가 상류측 컨베이어(2)의 하류 단부에 배치된 롤러(16)에 의해 안내되면서 도입 컨베이어(29)에 의해 좌우 방향의 중앙부에 대하여 반송 방향을 따른 방향의 추진력이 부여되므로 유지 위치 P3까지 반송되기 직전까지 그 자세가 상류측 자세로 유지된 상태로 반송된다. 그리고, 자세 변경 모듈(4)이 구비하는 좌우 한쌍의 스토퍼(40)에 유리 기판(W)의 하류측의 한 변의 2개소가 캐치됨으로서, 유리 기판(W)은, 유지 위치 P3에 위치 결정된다[도 11의 (b) 참조].

단계 #5에서, 도입 컨베이어(29)의 반송 작동이 정지된 후, 단계 #6에서 도입 컨베이어(29)가 하강 위치로 전환되고, 단계 #7에서 척부재(28)가 해제 자세로부터 걸어맞춤 자세로 전환되고, 단계 #8에서 한쌍의 스토퍼(40)가 하강 위치로 전환된다.

단계 #9에서 자세 변경 수단(24)에 의한 유리 기판(W)의 자세 변경과 반송 방향을 따른 이동이 개시된다. 즉, 회전암(25)의 세로 축심 X1 주위의 플러스 방향(우측 회전)의 회전과 반송 방향 하류측으로의 이동이 동시에 개시된다. 이로써, 대향하는 장변(長邊)의 각각에 대하여 척부재(28)가 걸어맞추어짐으로써 회전암(25)에 확실하게 유지된 유리 기판(W)은, 세로 축심 X1 주위로 회전함으로써 상류측 자세로부터 하류측 자세로 자세가 변경되면서, 반송 방향을 따라 유지 해제 위치 P4까지 이동된다[도 11의 (c) 참조].

유리 기판(W)이 유지 해제 위치 P4에 접근 또는 도착하면, 단계 #10에서 도출 컨베이어(30)가 하강 위치로부터 상승 위치로 전환되고, 도출 컨베이어(30)가 준비된다. 그리고, 단계 #11에서 자세 변경 수단(24)에 의한 유리 기판(W)의 자세 변경과 반송 방향을 따른 이동이 종료된다. 즉, 회전암(25)의 세로 축심 X1 주위의 플러스 방향(우측 회전)의 회전과 반송 방향 하류측으로의 이동이 동시에, 또는 거의 동시에 종료된다. 여기서, 거의 동시란, 시간차가 예를 들면, 1초 이내인 것을 의미하고, 보다 바람직하게는, 시간차가 0.5초 이내인 것을 의미한다.

회전암(25)의 회전 작동 및 이동 작동의 정지 제어는, 회전암(25)의 회전 위치를 검출하는 회전 위치 검출용 로터리 인코더(RE1) 및 유지 위치 검출용 센서(S3) 및 유지 해제 위치 검출용 센서(S4)의 검출 정보에 기초하여 피드백 제어된다.

이와 같이, 회전암(25)의 회전 작동과 이동 작동은 동시에 또는 거의 동시에 개시되고, 동시에 또는 거의 동시에 종료된다. 즉, 회전암(25)의 회전 속도와 이동 속도는, 회전부(26)가 회전암(25)을 90° 회전시킬 때의 소요 시간과, 슬라이드부(27)가 회전암(25)을 유지 위치 P3로부터 유지 해제 위치 P4까지 이동시킬 때의 소요 시간이 거의 일치하는 관계로 되어 있다. 여기서, 거의 동시나 거의 일치란, 시간차가 예를 들면, 1초 이내인 것을 의미하고, 또한 바람직하게는, 시간차가 0.5초 이내인 것을 의미한다.

회전암(25)의 회전 작동 및 이동 작동이 정지하면, 단계 #12에서 척부재(28)가 걸어맞춤 자세로부터 해제 자세로 전환되고, 유리 기판(W)은 유지 해제 위치 P4에서 해방된다. 그리고, 단계 #13에서 상승 위치에 있는 도출 컨베이어(30)의 반송 작동이 개시되고, 유리 기판(W)은 하류측 자세를 유지한 채 유지 해제 위치 P4로부터 도출 위치 P5까지 반송된다[도 12의 (d) 참조]. 이로써, 자세 변경 수단(24)에 의해 유지 해제 위치 P4로 반송된 유리 기판(W)은, 즉시 도출 컨베이어(30)에 인계되어 도출 위치 P5를 향해 반송된다. 그리고, 도출 컨베이어(30)를 상승 위치로 전환하기 전에 반송 작동을 개시하게 해 두어도 된다.

반송 대상의 유리 기판(W)을 유지 해제 위치 P4까지 유지하고 있던 회전암(25)은, 단계 #12에서 척부재(28)가 해제 자세로 전환되면, 반송 대상의 유리 기판(W)을 유지 해제 위치 P4로부터 도출 위치 P5로 도출 컨베이어(30)에 의해 반송하고 있는 동안, 후속하는 유리 기판(W)의 반송을 위해, 단계 #15 ~ 단계 #16에서 유지 위치 P3까지 후퇴시키고, 또한 유지 위치 P3용의 회전 위치까지 역회전시켜, 유지 위치 P3에 의해 후속하는 유리 기판(W)을 유지하게 할 수 있는 상태로 복귀하게 한다[도 12의 (d), (e) 참조].

또한, 유리 기판(W)을 유지 위치 P3에 의해 위치결정하는 한쌍의 스토퍼(40)는, 반송 대상의 유리 기판(W)이, 단계 #9 ~ 단계 #10에 있어서 회전암(25)이 전진 및 정회전하여 하강 위치의 한쌍의 스토퍼(40)의 위쪽을 통과한 후에 단계 #14에서 상승 위치로 복귀하게 한다. 이로써, 회전암(25)의 유지 위치 P3로의 복귀 이동 및 역회전이 종료하기 전에, 후속하는 다음의 반송 대상의 유리 기판(W)을 준비 위치 P1으로부터 선행하여 반송하여 두고 미리 도입 위치 P3에 상류측 자세로 대기하게 할 수 있다[도 12의 (e) 참조].

도출 위치 P5로 반송되는 유리 기판(W)은, 하류측 부분의 좌우 양 단부가 하류측 컨베이어(3)의 상류 단부에 배치된 롤러(16)에 의해 안내되면서 도출 컨베이어(30)에 의해 좌우 방향의 중앙부에 대하여 반송 방향을 따른 방향의 추진력이 부여되므로, 그 자세가 하류측 자세로 유지된 상태로 반송된다[도 12의 (d) 참조].

유리 기판(W)이 도출 위치 P5까지 반송되면, 단계 #18에서 도출 컨베이어(30)의 반송 작동이 정지되고, 단계 #19에서 도출 컨베이어(30)가 하강 위치로 전환된다. 그리고, 도출 위치 P5까지 반송된 유리 기판(W)은, 단계 #17 ~ 단계 #20에 있어서 하류측 컨베이어(3)에 의해 완료 위치 P6까지 하류측 자세로 반송된다[도 12의 (e) 참조].

이상 설명한 제어 장치(H)의 제어 동작에 의하면, 도입 컨베이어(29), 자세 변경 모듈(4) 및 도출 컨베이어(30)가, 유리 기판(W)을 도입 위치 P2로부터 도출 위치 P5까지 분담하여 반송함으로써, 선행하는 유리 기판(W)을 반송하면서 후속의 유리 기판(W)도 반송하는 것이 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 자세 변경 모듈(4)의 회전암(25)이 유지 위치 P3에서 반송 대상의 유리 기판(W)을 유지하여 유지 위치 P3로부터 이동하고 있는 동안, 상류측 컨베이어(2)에 의해 준비 위치 P1으로부터 도입 위치 P2로 후속의 유리 기판(W)을 반송하고, 회전암(25)이 유지 위치 P3로 복귀할 때까지, 도입 컨베이어(29)에 의해 유지 위치 P3에 후속의 유리 기판을 반송하여 준비해 둘 수 있다.

이로써, 도 13의 타이밍 차트에 나타낸 바와 같이, 1개의 유리 기판(W)을 준비 위치 P1으로부터 완료 위치 P6까지 반송하는 경우의 소요 시간에 대하여, 유리 기판(W)에 대한 준비 위치 P1으로부터의 반송이 개시되고나서, 후속하는 다음의 유리 기판(W)에 대한 준비 위치 P1으로부터의 반송이 개시될 때까지의 공정 작업 시간[택트 타임(takt time)]을 짧게 할 수 있다. 예를 들면, 도 13의 타이밍 차트에 있어서 1매스(mass)를 2초로 한 경우, 1개의 유리 기판(W)에 대한 반송 소요 시간은 33초인데 대하여, 택트 타임은 대략 17초로 된다. 이와 같이, 복수개의 유리 기판(W)을 준비 위치 P1으로부터 자세 변경시키면서 반송 방향을 따라 순차적으로 반송할 때의 반송 효율이 향상된다.

[다른 실시예]

(1) 회전암(25)의 이동 작동의 정지 제어에 대해서는, 가이드 레일(27a)의 전후 양 단부에 유지 위치 검출용 센서(S3) 및 유지 해제 위치 검출용 센서(S4)를 설치하고, 이들 센서의 검출 정보에 기초하여 피드백 제어하는 것을 예시했지만, 이에 한정되지 않고, 슬라이드부(27)의 이동 개시 위치(예를 들면, 후퇴 한도 위치)로부터의 이동량을 검출함으로써 회전암(25)의 반송 방향에서의 위치 또는 가이드 레일(27a)에서의 위치를 검출하는 이동 위치 검출 수단을 설치하고, 이 이동 위치 검출 수단의 검출 정보에 기초하여 피드백 제어해도 된다. 또한, 회전 위치 검출용 로터리 인코더(RE1)의 검출 정보에 기초하여, 회전암(25)의 이동 작동을 피드백 제어해도 된다. 이 경우, 회전부(26)와 슬라이드 블록(27b)을 연동 연결하여, 슬라이드부(27)에 의한 회전암(25)의 이동 작동과 회전부(26)에 의한 회전암(25)의 회전 작동을 연동시키는 것이 바람직하다.

(2) 도입 컨베이어(29)의 반송 작동의 정지 제어는, 도 10의 단계 #3에서 도입 컨베이어(29)의 반송 작동을 개시하고 나서 설정 시간 경과 후에 정지하도록 피드 포워드 제어해도 되고, 유지 위치 P3로 유리 기판(W)이 반송된 것을 검출하는 유지 위치용 재하 센서를 설치하여, 이 유지 위치용 재하 센서의 검출 정보에 기초하여 반송 작동을 정지하도록 피드백 제어해도 된다.

(3) 상기 실시예에서는, 도입 위치 P2로부터 유지 위치 P3까지 유리 기판(W)을 도입 컨베이어(29)에 의해 반송하는 것을 예시했지만, 도입 컨베이어(29)를 설치하지 않고, 회전암(25)의 반송 방향의 이동 범위를 상류측으로 연장하고, 유지 위치를 상기 실시예에 있어서의 도입 위치 P2에 상당하는 위치에 설정하여, 제어 장치(H)에 의해, 상기 실시예에 있어서의 도입 위치 P2에 상당하는 위치에서 유리 기판(W)을 유지하고 그 후, 회전암(25)을 회전시키지 않고 반송 방향 하류측으로 설정량 이동시킨 후에 회전암(25)의 회전을 개시하도록 회전부(26) 및 이동부(27) 및 척부재(28)의 작동을 제어해도 된다.

(4) 상기 실시예에서는, 유지 해제 위치 P4로부터 도출 위치 P5까지 유리 기판(W)을 도출 컨베이어(30)에 의해 반송하는 것을 예시했지만, 도출 컨베이어(30)를 설치하지 않고, 회전암(25)의 반송 방향의 이동 범위를 하류측으로 연장하고, 유지 해제 위치를 상기 실시예에 있어서의 도출 위치 P5에 상당하는 위치로 설정하여, 제어 장치(H)에 의해, 유리 기판(W)을 유지하고 있는 회전암(25)을 상기 실시예에 있어서의 유지 해제 위치 P4에 상당하는 위치로부터 회전시키지 않고 반송 방향 하류측으로 설정량 이동시켜 상기 실시예에 있어서의 도출 위치 P5에 상당하는 위치에서 유리 기판(W)의 유지를 해제하도록 회전부(26) 및 이동부(27) 및 척부재(28)의 작동을 제어해도 된다.

(5) 상기 실시예에서는, 도입 반송 수단 및 도출 반송 수단이, 승강 가능한 벨트 컨베이어에 의해 구성된 것을 예시했지만, 이에 한정되지 않고, 반송물의 저면에 흡착 가능한 흡착부를 승강 가능하고, 또한 반송 방향으로 이동 가능하게 설치하여 구성해도 된다. 또한, 반송물의 저면에서의 상류측 단부에 걸어맞추어지는 돌기를 왕복 이동 가능하고, 또한 승강 가능하게 구비하여 구성해도 된다.

또한, 반송물의 저면에서의 상류측 단부에 걸어맞추는 돌기를, 무단 벨트의 권취 외측으로 돌출하는 상태로 구비한 돌기를 가지는 벨트를 구비하여 구성해도 된다. 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지되어 있는 반송물의 저면보다 아래쪽에 돌기를 가지는 벨트의 권취 경로를 배치하여, 돌기가 상부측 권취 부분에 위치할 때 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지되어 있는 반송물의 저면보다 위쪽으로 돌출하는 높이에 위치하도록 구성하여 두면, 돌기를 가지는 벨트를 승강 가능하게 설치하지 않아도 된다. 이 경우, 돌기를 복수개 형성하기 위해서는, 권취 방향에서 인접하는 돌기의 권취 방향을 따른 간격을 도입 반송 수단의 반송 거리보다 길게 설정하면 된다.

(6) 상기 실시예에서는, 도입 반송 수단 및 도출 반송 수단이 반송되는 반송물보다 아래쪽에 배치된 것을 예시했지만, 이 대신에, 도입 반송 수단 또는 도출 반송 수단을 반송되는 반송물의 위쪽에 배치해도 된다.

(7) 상기 실시예에서는, 상류측 컨베이어(2)가 유리 기판(W)을 그 폭 방향이 반송 방향을 따른 자세로 반송하고, 하류측 컨베이어(3)가 그 길이 방향이 반송 방향을 따른 자세로 반송하는 것을 예시했지만, 이와는 반대의 자세로 반송하는 것이어도 된다.

(8) 상기 실시예에서는, 유지부가, 평면에서 볼 때 직사각형의 반송물의 대향하는 단변에 대하여 걸어맞추어지는 2개의 걸어맞춤 작용부를 양 단부에 구비하여, 반송물의 폭 방향을 따른 자세로 반송물을 유지하는 것을 예시했지만, 유지부의 구체적 구성이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 3개 이상의 걸어맞춤 작용부를 구비한 것이라도 되고, 그 일례로서는, 평면에서 볼 때 직사각형의 반송물의 사방의 각각에 걸어맞추는 4개의 걸어맞춤 작용부를 구비한 것이라도 된다.

(9) 상기 실시예에서는, 유지부의 복수개의 걸어맞춤 작용부로서, 반송물의 단부에 대하여 걸어맞추는 걸어맞춤 자세와 단부에 대한 걸어맞춤이 해제되는 해제 자세로 가로 축심 주위의 요동에 의해 자세 전환 가능한 것을 예시했지만, 유지부의 복수개의 걸어맞춤 작용부로서, 그 하단부가, 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지되는 반송물의 하면 높이보다 아래쪽에 위치하는 상태로 반송물의 단부에 대하여 걸어맞추는 걸어맞춤 높이와, 그 하단부가, 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지되는 반송물의 상면 높이보다 위쪽에 위치하는 상태로 반송물의 단부에 대한 걸어맞춤이 해제되는 해제 높이로 높이 전환 가능한 것이라도 된다.

(10) 상기 실시예에서는, 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도로서 90° 회전시켜 반송 자세를 변경하는 것을 예시했지만, 반송물을 회전시키는 각도는 적절하게 변경 가능하다.

(11) 상기 실시예에서는, 반송 장치의 반송 방향이 일직선에 따른 것을 예시했지만, 예를 들면, 자세 변경 수단보다 상류측의 반송 부분과 하류측의 반송 부분에서 반송 방향이 상이한 것이라도 된다. 이 경우, 자세 변경 수단에서의 이동 수단은, 상류측 반송 방향 또는 하류측 반송 방향의 어딘가에 따라 유지부를 이동시키도록 구성된다.

(12) 상기 실시예에서는, 송풍식 지지 수단으로서, 팬 필터 유닛을 종횡으로 복수개 배열하여 구성된 것을 예시했지만, 송풍식 지지 수단은 팬 필터 유닛을 이용하지 않고 구성해도 된다. 예를 들면, 청정 공기를 외부로부터 공급하는 공기 공급로를 반송 장치와 접속하여, 송풍식 지지 수단이 외부 공급로로부터 공급되는 청정 공기를 반송물의 하면을 향해 공급하는 것이라도 된다.

(13) 상기 실시예에서는, 상류측 컨베이어(2) 및 하류측 컨베이어(3)에서의 반송 유닛(6)의 추진력 부여 수단(11a)으로서, 복수개의 가이드 롤러를 구비한 것을 예시했지만, 추진력 부여 수단(11a)으로서는 반송 벨트를 구비한 것 등, 각종 변경이 가능하다.

(14) 상기 실시예에서는, 자세 변경 수단의 전체가 반송 수단과 평면에서 볼 때 겹치는 위치에 배치된 것을 예시했지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 자세 변경 수단에서의 이동 수단의 일부를 반송 수단의 가로 방향의 옆으로 배치하는 등, 자세 변경 수단의 일부를, 평면에서 볼 때 반송 수단의 존재 영역으로부터 벗어난 위치에 배치해도 된다. 이와 같은 배치로 함으로써, 반송 장치에 있어서의 자세 변경 수단이 설치된 개소의 상하 높이를 낮게 억제할 수 있다.

구체적으로는, 예를 들면, 상기 실시예에 있어서의 가이드 레일(27a)을 자세 변경 모듈(4)에서의 가로 측부에 배치하여, 가이드 레일(27a)로부터 자세 변경 모듈(4)의 내측에, 수평면에 있어서 반송 방향과 직교하는 방향을 따라 연장되는 상태의 슬라이드 암을, 반송 방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 설치하여, 이 슬라이드 암의 선단부에 회전암(25)을 세로 축심 주위로 회전 가능하게 설치하여, 자세 변경 수단(24)을 구성해도 된다.

또한, 평면에서 볼 때 자세 변경 모듈(4)의 외부에 위치하는 세로 축심 주위로 요동 가능한 요동암을 설치하여, 이 요동암의 요동 반경 방향에서 외측의 부분(예를 들면, 선단 부분)에 회전암(25)을 세로 축심 주위로 회전 가능하게(또는, 세로 축심 주위로 회전 가능하고, 또한 요동암에 따라 이동 가능하게) 설치하여, 자세 변경 수단(24)을 구성해도 된다. 이 경우, 제어 수단은, 요동암의 요동 작동[또는, 요동암의 요동 작동 및 요동암에 따르는 회전암(25)의 이동 작동]을 제어하도록 구성하면 된다.

2, 3, 4: 반송 수단
10: 송풍식 지지 수단
11: 추진력 부여 수단
24: 자세 변경 수단
25: 유지부
26: 회전 수단
27: 이동 수단
28: 걸어맞춤 작용부
29: 도입 반송 수단
30: 도출 반송 수단
X1: 세로 축심
Y1: 가로 축심
D: 반송 수단
H 제어 수단
W: 반송물
P2: 도입 위치
P3: 유지 위치
P4: 유지 해제 위치
P5: 도출 위치

Claims (12)

1. 반송물(搬送物)의 하면을 향해 공기를 공급하여 수평 자세로 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 상기 반송물에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하는 반송 수단과,
   상기 반송 수단에 의해 반송되는 상기 반송물을 세로 축심(軸心) 주위로 회전시켜 상기 반송물의 반송 자세를 변경하는 자세 변경 수단과,
   상기 반송 수단 및 상기 자세 변경 수단의 작동을 제어하는 제어 수단이 설치된 반송 장치로서,
   상기 자세 변경 수단은, 비접촉 상태로 지지된 상기 반송물의 평면에서 볼 때의 복수개의 단부(端部)에 대하여 걸어맞춤으로써 상기 반송물을 유지 가능한 유지부와, 상기 유지부를 세로 축심 주위로 회전시키는 회전 수단과, 상기 유지부를 반송 방향을 따라 이동시키는 이동 수단을 포함하여 구성되며,
   상기 제어 수단은, 비접촉 상태로 지지된 상태의 상기 반송물을 유지 위치에 있어서 상기 유지부에 의해 유지하고, 상기 이동 수단에 의해 상기 유지부를 이동시켜 반송 방향을 따라 상기 유지 위치보다 하류측의 유지 해제 위치까지 비접촉 상태로 지지된 상태의 상기 반송물을 반송하는 동안, 상기 이동 수단에 의해 상기 유지부를 이동시키면서 상기 회전 수단에 의해 상기 유지부를 회전시켜 유지하고 있는 상기 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키고, 상기 유지 해제 위치에서 상기 반송물의 유지를 해제할 수 있도록, 상기 유지부의 유지 작동, 상기 이동 수단의 이동 작동, 및 상기 회전 수단의 회전 작동을 제어하도록 구성되어 있는,
   반송 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 유지부는, 상기 반송물의 단부에 대하여 걸어맞추는 걸어맞춤 자세와 상기 단부에 대한 걸어맞춤이 해제되는 해제 자세로 가로 축심 주위의 요동(搖動)에 의해 자세 전환 가능한 복수개의 걸어맞춤 작용부를 구비하여 구성되며,
   상기 제어 수단은, 상기 유지 위치 및 상기 유지 해제 위치에 있어서 상기 걸어맞춤 작용부의 자세 전환 작동을 제어하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 반송 수단은, 복수개의 상기 반송물을 순차적으로 반송하도록 구성되며,
   상기 이동 수단은, 상기 유지부를 상기 유지 위치와 상기 유지 해제 위치와의 사이에서 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 왕복 이동시키도록 구성되며,
   상기 유지 위치보다 상류측에 설정된 도입(導入) 위치로부터 상기 유지 위치까지 상기 반송물을 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 상기 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도입 반송 수단이 설치되고,
   상기 제어 수단은, 상기 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로 이동시킨 후, 상기 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로 복귀 이동시키기 위해, 상기 자세 변경 수단의 작동을 반복 제어하도록 구성되며, 또한 상기 유지 상태의 유지부의 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로의 이동을 개시하게 한 후, 상기 비유지 상태의 유지부의 상기 유지 위치로의 복귀 이동을 종료시키기까지, 후속하는 상기 반송물을 상기 유지 위치로 반송할 수 있도록, 상기 도입 반송 수단의 작동을 제어하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 제어 수단은, 상기 유지부의 회전과 상기 유지부의 상기 유지 위치로부터의 이동을 동시에 개시하게 하도록, 상기 회전 수단 및 상기 이동 수단의 작동을 제어하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 반송 수단은, 복수개의 상기 반송물을 순차적으로 반송하도록 구성되며,
   상기 이동 수단은, 상기 유지부를 상기 유지 위치와 상기 유지 해제 위치와의 사이에서 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 왕복 이동시키도록 구성되며,
   상기 유지 해제 위치로부터 상기 유지 해제 위치보다 하류측에 설정된 도출(導出) 위치까지 상기 반송물을 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 상기 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도출 반송 수단이 설치되고,
   상기 제어 수단은, 상기 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로 이동시킨 후, 상기 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로 복귀 이동시키기 위해, 상기 자세 변경 수단의 작동을 반복 제어하도록 구성되며, 또한 상기 유지 상태의 유지부가 상기 유지 해제 위치에 위치한 상태에서 유지하고 있는 상기 반송물을 해방(release)시킨 후, 후속의 상기 반송물을 유지하고 있는 상기 유지 상태의 유지부를 상기 유지 해제 위치로 이동시키기까지, 상기 유지부로부터 해방된 상기 반송물을 상기 유지 해제 위치로부터 반송할 수 있도록, 상기 도출 반송 수단의 작동을 제어하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 제어 수단은, 상기 유지부의 회전과 상기 유지부의 상기 유지 해제 위치까지의 이동을 동시에 종료시키도록, 상기 회전 수단 및 상기 이동 수단의 작동을 제어하도록 구성되어 있는, 반송 장치.
7. 반송물의 하면을 향해 공기를 공급하여 수평 자세로 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 상기 반송물에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하는 반송 수단과,
   상기 반송 수단에 의해 반송되는 상기 반송물을 세로 축심 주위로 회전시켜 상기 반송물의 반송 자세를 변경하는 자세 변경 수단과,
   상기 반송 수단 및 상기 자세 변경 수단의 작동을 제어하는 제어 수단이 설치되고,
   상기 자세 변경 수단은, 비접촉 상태로 지지된 상기 반송물의 평면에서 볼 때의 복수개의 단부에 대하여 걸어맞춤으로써 상기 반송물을 유지 가능한 유지부와, 상기 유지부를 세로 축심 주위로 회전되는 회전 수단과, 상기 유지부를 반송 방향을 따라 이동시키는 이동 수단을 포함하여 구성된 반송 장치를 이용한 반송 방법으로서,
   비접촉 상태로 지지된 상태의 상기 반송물을 유지 위치에 있어서 상기 유지부에 의해 유지하는 공정;
   상기 이동 수단에 의해 상기 유지부를 이동시켜 반송 방향을 따라 상기 유지 위치보다 하류측의 유지 해제 위치까지 비접촉 상태로 지지된 상태의 상기 반송물을 반송하는 동안, 상기 이동 수단에 의해 상기 유지부를 이동시키면서 상기 회전 수단에 의해 상기 유지부를 회전시켜 유지하고 있는 상기 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키는 공정; 및
   상기 유지 해제 위치에서 상기 반송물의 유지를 해제하는 공정;
   을 포함하는, 반송 방법.
8. 제7항에 있어서,
   상기 유지부는, 상기 반송물의 단부에 대하여 걸어맞추는 걸어맞춤 자세와 상기 단부에 대한 걸어맞춤이 해제되는 해제 자세로 가로 축심 주위의 요동에 의해 자세 전환 가능한 복수개의 걸어맞춤 작용부를 구비하여 구성되며,
   상기 유지 위치 및 상기 유지 해제 위치에 있어서 상기 걸어맞춤 작용부의 자세 전환을 행하는 공정을 포함하는, 반송 방법.
9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
   상기 유지 위치보다 상류측에 설정된 도입 위치로부터 상기 유지 위치까지 상기 반송물을 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 상기 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도입 반송 수단이 설치되고,
   상기 반송 방법은, 복수개의 상기 반송물을 순차적으로 반송하도록 구성되며,
   상기 이동 수단이, 상기 유지부를 상기 유지 위치와 상기 유지 해제 위치와의 사이에서 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 왕복 이동시키는 공정을 포함하고,
   상기 왕복 이동시키는 공정에는, 상기 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로 이동시킨 후, 상기 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로 복귀 이동시키는 공정이 포함되고,
   상기 유지 상태의 유지부의 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로의 이동을 개시하게 한 후, 상기 비유지 상태의 유지부의 상기 유지 위치로의 복귀 이동을 종료시키기까지, 상기 도입 반송 수단에 의해 후속하는 상기 반송물을 상기 유지 위치로 반송하는 공정이 포함되는, 반송 방법.
10. 제9항에 있어서,
    상기 반송물을 반송하는 동안, 상기 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키는 상기 공정에서는,
    상기 유지부의 회전과 상기 유지부의 상기 유지 위치로부터의 이동을 동시에 개시하게 하도록, 상기 회전 수단 및 상기 이동 수단의 작동을 제어하는 공정이 포함되는, 반송 방법.
11. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 유지 해제 위치로부터 상기 유지 해제 위치보다 하류측에 설정된 도출 위치까지 상기 반송물을 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 상기 반송물의 반송 자세를 유지하면서 반송하는 도출 반송 수단이 설치되고,
    상기 반송 방법은, 복수개의 상기 반송물을 순차적으로 반송하도록 구성되며,
    상기 이동 수단이, 상기 유지부를 상기 유지 위치와 상기 유지 해제 위치와의 사이에서 상기 반송 수단의 반송 방향을 따라 왕복 이동시키는 공정이 포함되고,
    상기 왕복 이동시키는 공정에는, 상기 반송물을 유지하고 있는 유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로부터 상기 유지 해제 위치로 이동시킨 후, 상기 반송물을 유지하고 있지 않은 비유지 상태의 상기 유지부를 상기 유지 위치로 복귀 이동시키는 공정이 포함되고,
    상기 유지 상태의 유지부가 상기 유지 해제 위치에 위치한 상태에서 유지하고 있는 상기 반송물을 해방시킨 후, 후속의 상기 반송물을 유지하고 있는 상기 유지 상태의 유지부를 상기 유지 해제 위치로 이동시키기까지, 상기 유지부로부터 해방된 상기 반송물을 상기 유지 해제 위치로부터 반송하는 공정이 포함되는, 반송 방법.
12. 제11항에 있어서,
    상기 반송물을 반송하는 동안, 상기 반송물의 반송 자세를 세로 축심 주위로 소정 각도 회전시키는 상기 공정에서는,
    상기 유지부의 회전과 상기 유지부의 상기 유지 해제 위치까지의 이동을 동시에 종료시키도록, 상기 회전 수단 및 상기 이동 수단의 작동을 제어하는 공정이 포함되는, 반송 방법.
    

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