CN102211712B - 搬送装置和搬送方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种搬送装置和搬送方法。具体而言，提供一种搬送装置，该搬送装置能够变更搬送物的姿势，同时，搬送能力高。关于搬送装置，控制机构控制姿势变更机构(24)中的保持部(25)的保持工作、移动机构(27)的移动工作以及旋转机构的旋转工作，由保持部(25)将以非接触状态支撑的状态的搬送物(W)保持在保持位置(P3)，在由移动机构(27)使保持部(25)移动而将以非接触状态支撑的状态的搬送物(W)沿着搬送方向从保持位置(P3)搬送至下游侧的保持解除位置(P4)的期间，一边由移动机构(27)使保持部(25)移动，一边由旋转机构使保持部(25)旋转，使所保持的搬送物(W)的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度，在保持解除位置(P4)解除搬送物(W)的保持。

Description

搬送装置和搬送方法
技术领域
本发明涉及一种搬送装置(Transport Device)和利用这样的搬送装置的搬送方法(Transport Method)，该搬送装置设有搬送机构、姿势变更机构以及控制机构，其中，搬送机构具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，推进力赋予机构与由上述送风式支撑机构支撑的搬送物接触，对搬送物赋予搬送方向的推进力，姿势变更机构使由上述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心旋转而变更搬送物的搬送姿势，控制机构控制上述搬送机构和上述姿势变更机构的工作。
背景技术
上述搬送装置由送风式支撑机构以非接触状态支撑搬送物，由推进力赋予机构以接触状态对搬送物赋予搬送方向的推进力，搬送搬送物。在搬送例如液晶监视器等的FPD用的玻璃基板以作为搬送物的情况下，由送风式支撑机构以非接触状态支撑以玻璃基板的搬送方向作为前后方向时的左右方向的中央部分，使推进力赋予机构相对于以搬送方向作为前后方向时的左右两端部而接触并赋予推进力，由此，一边保护玻璃基板的制品化的左右中央部分，一边进行搬送。
而且，在对搬送物进行加工等处理的处理装置之间搬送搬送物的情况下，如搬送物相对于搬送装置的授受姿势(即接收和交接时的姿势)在前工序的处理装置和后工序的处理装置不同时等那样，有时候有必要变更由搬送装置搬送的搬送物的搬送姿势。作为能够变更这样的搬送物的姿势的搬送装置的现有示例，存在着在搬送装置设有使由搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心旋转而变更搬送物的搬送姿势的姿势变更机构的示例(例如，参照专利文献1)。
在现有技术中，如专利文献1所记载，设定使搬送物旋转而变更搬送姿势的旋转位置，在旋转位置将吸附于搬送物的底面并保持搬送物的吸附部围绕纵轴心旋转自如地且升降自如地设置，构成姿势变更机构。而且，在使吸附部下降至下降位置的状态下，使搬送物搬送至旋转位置并停止，然后，使吸附部上升至上升位置，由吸附部吸附保持搬送物，在该状态下，使吸附部围绕纵轴心旋转设定角度，由此，使搬送物旋转而变更搬送姿势。然后，在搬送物的旋转完成之后，解除吸附部的吸附保持，并且，在使吸附部下降至下降位置后，立即重新开始搬送物的搬送。
专利文献1：日本特开2005-145651号公报
发明内容
在现有技术中，由于在使搬送物在搬送方向上停止于一定的旋转位置的状态下，由吸附部吸附保持搬送物，使搬送物旋转而变更姿势，因而如果欲缩短姿势变更所需要的时间而加快吸附部的旋转速度，那么，在旋转速度的加速时和减速时，在搬送物的旋转中心产生的惯性转矩比吸附部的吸附保持力更大，吸附部对搬送物的保持有可能脱落而不能控制搬送物的旋转。因此，有必要使吸附部以低速旋转，搬送物的姿势变更需要时间。另外，由于在由姿势变更机构使搬送物旋转的期间，搬送物依然停止在旋转位置，因而搬送机构对搬送物的沿着搬送方向的移动延误。如果这样地设置姿势变更机构而能够变更搬送物的姿势，那么，存在着作为搬送装置的搬送能力下降的问题。
本发明是鉴于上述实际情况而做出的，其目的在于，提供一种搬送装置，该搬送装置能够变更搬送物的姿势，同时，搬送能力高。
为了达成该目的，关于本发明的搬送装置，具备：搬送机构，具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，其中，该送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，该推进力赋予机构对由所述送风式支撑机构支撑的搬送物赋予搬送方向的推进力；姿势变更机构，使由所述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心而旋转，变更搬送物的搬送姿势；以及控制机构，控制所述搬送机构和所述姿势变更机构的工作，所述姿势变更机构具备保持部、旋转机构以及移动机构而构成，其中，该保持部通过对以非接触状态支撑的搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而自如地保持搬送物，该旋转机构使所述保持部围绕纵轴心而旋转，该移动机构使所述保持部沿着搬送方向移动，所述控制机构构成为，控制所述保持部的保持工作、所述移动机构的移动工作以及所述旋转机构的旋转工作，从而由所述保持部将以非接触状态支撑的状态的搬送物保持在保持位置，在由所述移动机构使所述保持部移动而将以非接触状态支撑的状态的搬送物沿着搬送方向从所述保持位置搬送至下游侧的保持解除位置的期间，一边由所述移动机构使所述保持部移动，一边由所述旋转机构使所述保持部旋转，使所保持的搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度，在所述保持解除位置解除搬送物的保持。
依照这样的构成，由控制机构控制搬送机构，由此，在搬送物由送风式支撑机构以非接触状态支撑的状态下，利用推进力赋予机构的推进力将搬送物沿搬送方向搬送。搬送装置具备姿势变更机构，该姿势变更机构具备通过对搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而保持搬送物的保持部、使保持部围绕纵轴心而旋转的旋转机构以及使保持部沿着搬送方向移动的移动机构。而且，控制机构控制姿势变更机构的工作，由此，能够通过使保持部在保持位置对搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合，从而由旋转机构和移动机构使卡合保持搬送物的保持部一边移动一边旋转，使搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度。
这样，由于将通过对搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而保持搬送物的保持部旋转，由此，能够使所保持的搬送物围绕纵轴心而旋转，因而即使加快保持部的旋转速度，搬送物也难以从保持部脱落，能够使搬送物在由保持部可靠地保持的状态下以高速旋转。因此，能够在短时间内进行搬送物的姿势变更。
并且，由于控制机构控制旋转机构和移动机构，使保持部一边旋转一边沿着搬送方向移动，因而搬送物在保持位置由保持部保持，然后，一边旋转一边沿搬送方向移动，在保持解除位置解除保持部的保持。即，由于在变更搬送物的搬送姿势的期间，搬送机构的在搬送方向上的移动也不延误，搬送物在变更搬送姿势的期间，也沿着搬送方向移动，因而作为搬送装置的搬送能力高。
这样，得到了一种搬送装置，该搬送装置能够变更搬送物的姿势，同时，搬送能力高。
在本发明的搬送装置的实施方式中，优选，所述保持部具备多个卡合作用部，该卡合作用部通过围绕横轴心的摇动而在对所述搬送物的端部进行卡合的卡合姿势和解除对所述端部的卡合的解除姿势自如地进行姿势切换，该卡合作用部构成为，如果成为所述卡合姿势，则保持搬送物，如果成为所述解除姿势，则解放搬送物，所述控制机构构成为，在所述保持位置和所述保持解除位置控制所述卡合作用部的姿势切换工作。
依照这样的构成，通过使对搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合的多个卡合作用部围绕横轴心而摇动，从而将其姿势在卡合姿势和解除姿势进行切换，由此，能够进行搬送物的保持和保持解除的动作。因此，由于只使作为保持部的一部分的多个卡合作用部的姿势变更即可，因而不伴随着使保持部整体升降等的大规模的动作，就能够以简单的构成且在短时间内进行搬送物的保持和保持解除。所以，能够谋求姿势变更机构的紧凑化，并且，能够使保持部对搬送物的保持或保持解除在比较短的时间内完成。例如，在使搬送物停止的状态下进行保持部对搬送物的保持或保持解除的情况下，能够极力缩短保持位置或保持解除位置处的停止时间，能够抑制搬送能力的下降。
在本发明的搬送装置的实施方式中，优选，所述搬送机构构成为，依次搬送多个搬送物，所述移动机构构成为，使所述保持部在所述保持位置和所述保持解除位置之间沿着所述搬送机构的搬送方向往复移动，设有导入搬送机构，该导入搬送机构沿着所述搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从比所述保持位置更设定在上游侧的导入位置搬送至所述保持位置，所述控制机构构成为，反复地控制所述姿势变更机构的工作，从而在使保持搬送物的保持状态的所述保持部从所述保持位置向所述保持解除位置移动之后，使不保持搬送物的非保持状态的所述保持部复位移动至所述保持位置，而且，构成为，控制所述导入搬送机构的工作，从而在使所述保持状态的保持部的从所述保持位置向所述保持解除位置的移动开始之后，将后续的搬送物搬送至所述保持位置，直到使所述非保持状态的保持部的向所述保持位置的复位移动结束为止。
依照这样的构成，具备导入搬送机构，该导入搬送机构沿着搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从比保持位置更设定在上游侧的导入位置搬送至保持位置，由此，能够在开始使保持搬送物的保持状态的保持部从保持位置向保持解除位置移动之后，预先由导入搬送机构将后续的搬送物搬送至保持位置，直到使不保持搬送物的非保持状态的保持部复位移动而位于保持位置为止。
即，在依次搬送多个搬送物的情况下，保持部在保持先行的搬送物的状态下从保持位置移动至下游侧的保持解除位置，然后，在不保持搬送物的状态下再次返回至保持位置，在这期间，预先由导入搬送机构将后续的搬送物搬送至保持位置，由此，能够当保持部在非保持状态下返回至保持位置时，使下一个保持对象的搬送物成为在保持位置准备的状态。
这样，以从导入位置至保持位置之间由导入搬送机构搬送且从保持位置至保持解除位置由姿势变更机构搬送的方式分担地搬送搬送物，由此，能够一边使搬送物进行姿势变更，一边效率良好地进行搬送。
在本发明的搬送装置的实施方式中，优选，所述控制机构构成为，控制所述旋转机构和所述移动机构的工作，从而使所述保持部的旋转和所述保持部的从所述保持位置起的移动同时或大致同时地开始。
依照这样的构成，由于在保持部开始从保持位置起的移动的同时或大致同时开始保持部的旋转，因而如果在保持部复位移动而位于保持位置时，已经由导入搬送机构将搬送物搬送至保持位置，那么，能够立即保持搬送物并开始使搬送物的搬送姿势旋转。所以，由于能够极力缩短保持体沿着搬送方向移动直到搬送物的旋转开始为止的距离，因而能够使姿势变更机构在保持体的移动方向上紧凑地构成。
在本发明的搬送装置的实施方式中，优选，所述搬送机构构成为，依次搬送多个搬送物，所述移动机构构成为，使所述保持部在所述保持位置和所述保持解除位置之间沿着所述搬送机构的搬送方向往复移动，设有导出搬送机构，该导出搬送机构沿着所述搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从所述保持解除位置搬送至比所述保持解除位置更设定在下游侧的导出位置，所述控制机构构成为，反复地控制所述姿势变更机构的工作，从而在使保持搬送物的保持状态的所述保持部从所述保持位置向所述保持解除位置移动之后，使不保持搬送物的非保持状态的所述保持部复位移动至所述保持位置，而且，构成为，控制所述导出搬送机构的工作，从而在所述保持状态的保持部在位于所述保持解除位置的状态下使所保持的搬送物解放之后，将从所述保持部解放的搬送物从所述保持解除位置起搬送，直到使保持后续的搬送物的所述保持状态的保持部移动至所述保持解除位置为止。
依照这样的构成，具备导出搬送机构，该导出搬送机构沿着搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从保持解除位置搬送至比保持解除位置更设定在下游侧的导出位置，由此，能够在保持部在位于保持解除位置的状态下解放所保持的搬送物之后，预先由导出搬送机构将从保持部解放的搬送物从保持解除位置起搬送，直到使保持后续的搬送物的保持部移动至保持解除位置为止。
即，在依次搬送多个搬送物的情况下，保持部在保持解除位置将先行的搬送物放开，然后，在保持后续的下一个搬送物的状态下再次返回至保持解除位置，在这期间，预先由导出搬送机构将先行的搬送物搬送至导出位置，由此，能够在保持部返回至保持解除位置时，预先将先放开的搬送物从保持解除位置导出而进行准备，使得保持解除位置成为空闲状态。
这样，以从保持位置至保持解除位置之间由姿势变更机构搬送且从保持解除位置至导出位置由导出搬送机构搬送的方式分担地搬送搬送物，由此，能够一边使搬送物进行姿势变更，一边效率良好地进行搬送。
在本发明的搬送装置的实施方式中，优选，所述控制机构构成为，控制所述旋转机构和所述移动机构的工作，从而使所述保持部的旋转和所述保持部的至所述保持解除位置为止的移动同时或大致同时地结束。
依照这样的构成，由于在保持部结束至保持解除位置为止的移动的同时或大致同时结束保持部的旋转，因而通过使导出搬送机构承担从保持解除位置至导出位置的搬送，使得保持部能够在移动至保持解除位置之后，立即在保持解除位置解放搬送物，复位移动至保持位置，从而保持后续的搬送物。所以，由于能够极力缩短保持体在搬送物的旋转结束之后沿着搬送方向移动的距离，因而能够使姿势变更机构在保持体的移动方向上紧凑地构成。
另外，在本发明中，包括与上述构成相对应的方法，在方法中，能够期待与上述构成相对应的作用和效果。
即，本发明涉及的方法是一种利用了搬送装置的搬送方法，其中，该搬送装置设有以下机构：搬送机构，具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，其中，该送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，该推进力赋予机构对由所述送风式支撑机构支撑的搬送物赋予搬送方向的推进力；姿势变更机构，使由所述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心而旋转，变更搬送物的搬送姿势；以及控制机构，控制所述搬送机构和所述姿势变更机构的工作，所述姿势变更机构具备保持部、旋转机构以及移动机构而构成，其中，该保持部通过对以非接触状态支撑的搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而自如地保持搬送物，该旋转机构使所述保持部围绕纵轴心而旋转，该移动机构使所述保持部沿着搬送方向移动，该搬送方法包括：由所述保持部将以非接触状态支撑的状态的搬送物保持在保持位置的工序；在由所述移动机构使所述保持部移动而将以非接触状态支撑的状态的搬送物沿着搬送方向从所述保持位置搬送至下游侧的保持解除位置的期间，一边由所述移动机构使所述保持部移动，一边由所述旋转机构使所述保持部旋转，使所保持的搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度的工序；以及在所述保持解除位置解除搬送物的保持的工序。
在本发明的实施方式中，优选，所述保持部具备多个卡合作用部而构成，该卡合作用部通过围绕横轴心的摇动而在对所述搬送物的端部进行卡合的卡合姿势和解除对所述端部的卡合的解除姿势自如地进行姿势切换，包括在所述保持位置和所述保持解除位置进行所述卡合作用部的姿势切换的工序。
在本发明的实施方式中，优选，设有导入搬送机构，该导入搬送机构沿着所述搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从比所述保持位置更设定在上游侧的导入位置搬送至所述保持位置，所述搬送方法构成为，依次搬送多个搬送物，包括所述移动机构使所述保持部在所述保持位置和所述保持解除位置之间沿着所述搬送机构的搬送方向往复移动的工序，在该往复移动的工序中，包括在使保持搬送物的保持状态的所述保持部从所述保持位置向所述保持解除位置移动之后，使不保持搬送物的非保持状态的所述保持部复位移动至所述保持位置的工序，包括在使所述保持状态的保持部的从所述保持位置向所述保持解除位置的移动开始之后，由所述导入搬送机构将后续的搬送物搬送至所述保持位置，直到使所述非保持状态的保持部的向所述保持位置的复位移动结束为止的工序。
在本发明的实施方式中，优选，在搬送搬送物的期间，在使搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度的所述工序中，包括控制所述旋转机构和所述移动机构的工作，从而使所述保持部的旋转和所述保持部的从所述保持位置起的移动同时或大致同时地开始的工序。
在本发明的实施方式中，优选，设有导出搬送机构，该导出搬送机构沿着所述搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从所述保持解除位置搬送至比所述保持解除位置更设定在下游侧的导出位置，所述搬送方法构成为，依次搬送多个搬送物，包括所述移动机构使所述保持部在所述保持位置和所述保持解除位置之间沿着所述搬送机构的搬送方向往复移动的工序，在该往复移动的工序中，包括在使保持搬送物的保持状态的所述保持部从所述保持位置向所述保持解除位置移动之后，使不保持搬送物的非保持状态的所述保持部复位移动至所述保持位置的工序，包括在所述保持状态的保持部在位于所述保持解除位置的状态下使所保持的搬送物解放之后，将从所述保持部解放的搬送物从所述保持解除位置起搬送，直到使保持后续的搬送物的所述保持状态的保持部移动至所述保持解除位置为止的工序。
在本发明的实施方式中，优选，在搬送搬送物的期间，在使搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度的所述工序中，包括控制所述旋转机构和所述移动机构的工作，从而使所述保持部的旋转和所述保持部的至所述保持解除位置为止的移动同时或大致同时地结束的工序。
附图说明
图1是搬送装置的整体平面图。
图2是搬送装置的整体侧面图。
图3是搬送单元的立体图。
图4是搬送单元的纵断截面图。
图5是姿势变更模块的纵断截面图。
图6是姿势变更机构的模式图。
图7是旋转臂的端部放大图。
图8是导入输送机的侧面图。
图9是控制装置的控制框图。
图10是控制装置的控制动作的流程图。
图11是搬送装置的搬送作用图。
图12是搬送装置的搬送作用图。
图13是搬送装置中的各装置的动作时序图。
符号说明
2、3、4  搬送机构
10    送风式支撑机构
11    推进力赋予机构
24    姿势变更机构
25    保持部
26    旋转机构
27    移动机构
28    卡合作用部
29    导入搬送机构
30    导出搬送机构
X1    纵轴心
Y1    横轴心
D    搬送机构
H    控制机构
W    搬送物
P2   导入位置
P3   保持位置
P4   保持解除位置
P5   导出位置
具体实施方式
以搬送液晶显示器用的玻璃基板W而作为搬送物的搬送装置1为例，基于附图，对本发明的搬送装置的实施方式进行说明。
如图1和图2所示，搬送装置1具备以直线状并排配置而使得各自的搬送方向成为同一方向的上游侧输送机2和下游侧输送机3以及配置在上游侧输送机2和下游侧输送机3之间的姿势变更模块4，具备控制上游侧输送机2和下游侧输送机3以及姿势变更模块4的工作的控制机构H而构成。
搬送装置1，以在图1和图2中从上游侧输送机2向着下游侧输送机3的方向作为搬送方向，将多个玻璃基板W以水平姿势或大致水平姿势沿着直线状的搬送路径从上游侧依次搬送至下游侧，在直线状的搬送路径途中，使玻璃基板W围绕纵轴心X1旋转，从而能够将玻璃基板W的搬送姿势从上游侧输送机2处的上游侧姿势变更成下游侧输送机3处的下游侧姿势。在此，大致水平姿势是指具有从水平方向起的例如10度以下的倾斜的姿势。在本实施方式中，玻璃基板W在平面视图中呈矩形，沿一个方向(宽度方向)延伸的边比沿另一方向(长度方向)延伸的边更短，上游侧输送机2将玻璃基板W以其宽度方向沿着搬送方向的姿势搬送，下游侧输送机3将玻璃基板W以其长度方向沿着搬送方向的姿势搬送。
由上游侧输送机2和下游侧输送机3以及姿势变更模块4构成具备送风式支撑机构10和推进力赋予机构11的搬送机构D。另外，控制装置H作为控制搬送机构D的工作的控制机构而起作用。以下，对上游侧输送机2和下游侧输送机3以及姿势变更模块4具体地进行说明。
上游侧输送机2和下游侧输送机3的各个以设置于架台5上的多个搬送单元6沿着搬送方向并排的状态配置，邻接的搬送单元6彼此互相连接而构成。由于上游侧输送机2的搬送单元6a和下游侧输送机3的搬送单元6b除了左右方向(与搬送方向垂直的方向)的长度不同以外，基本的构成相同，因而以构成上游侧输送机2的搬送单元6a为例而对搬送单元6进行说明，对构成下游侧输送机3的搬送单元6b省略说明。
如图3和图4所示，搬送单元6a在由上面罩7和支撑框8构成的壳体9具备送风式支撑机构10a和推进力赋予机构11a而构成。
搬送单元6a的送风式支撑机构10a具备多个风扇过滤器单元12和整风板13而构成，其中，风扇过滤器单元12向着玻璃基板W的下面供给清洁空气，整风板13形成有许多通气孔13a，载置并支撑于风扇过滤器单元12，进行供给至玻璃基板W的下面的清洁空气的整风。风扇过滤器单元12联接并固定于支撑框8，将除去尘埃的除尘过滤器14和电动式的送风风扇15一体地组装而构成，其中，送风风扇15配置于该除尘过滤器14之下，通过除尘过滤器14而向着玻璃基板W的下面供给清洁空气。在该实施方式中，送风式支撑机构10a具备使风扇过滤器单元12沿前后方向邻接而并排2个且沿左右方向隔开间隔而并排2个的合计4个风扇过滤器单元12。另外，在从上游侧邻接于姿势变更模块4的搬送单元6a的送风式支撑机构10a的整风板13的下游侧部分，沿着搬送方向形成有导入输送机用狭缝13b，使得后述的导入输送机29能够比送风式支撑机构10a更突出至上方。
搬送单元6a的推进力赋予机构11a具备多个驱动辊16和使这些驱动辊16旋转驱动的驱动辊用电动机M1(参照图9)，其中，多个驱动辊16在左右方向上的两端部分沿着搬送方向并排配置，与由送风式支撑机构10a以非接触状态支撑的玻璃基板W的左右两端部的下面接触，对玻璃基板W赋予搬送方向的推进力。
支撑驱动辊16和驱动辊用电动机M1的壳体9的支撑框8具备底部板18和左右一对收纳框架19而构成，其中，底部板18在下面具备导入外部空气的空气导入口17，收纳框架19在支撑框8的左右方向的两侧沿着搬送方向以固定状态配备。而且，上面罩7遍及两侧的收纳框架19而配备。在左右一对收纳框架19的各个，内装有传动机构，该传动机构具备驱动辊用电动机M1和将该驱动辊用电动机M1的旋转驱动力分配至多个驱动辊16的传动轴20。此外，在驱动辊16具备大径部16a，该大径部16a抵接于玻璃基板W的左右方向的两端部的侧面，阻挡玻璃基板W的向左右方向的移动。
接着，对姿势变更模块4的构成进行说明。如图1、图2以及图5所示，姿势变更模块4在壳体23具备送风式支撑机构10b和推进力赋予机构11b而构成，其中，壳体23由上面罩21和平面视图为大致矩形状的支撑框22构成。
姿势变更模块4的送风式支撑机构10b与搬送单元6的送风式支撑机构10a同样地构成。即，也如图5所示，具备多个风扇过滤器单元12和整风板13而构成，其中，风扇过滤器单元12向着玻璃基板W的下面供给清洁空气，整风板13形成有许多通气孔13a，载置并支撑于风扇过滤器单元12，进行供给至玻璃基板W的下面的清洁空气的整风。风扇过滤器单元12联接并固定于支撑框22，将除去尘埃的除尘过滤器14和电动式的送风风扇15一体地组装而构成，其中，送风风扇15配置于该除尘过滤器14之下，通过除尘过滤器14而向着玻璃基板W的下面供给清洁空气。
姿势变更模块4的送风式支撑机构10b以沿前后方向邻接的状态具备载置并支撑于支撑框22的多个风扇过滤器单元12，沿左右方向并排的个数从上游侧向着下游侧为2个、3个、2个而在搬送方向上不同。排列于上游侧的端部的2个风扇过滤器单元12和排列于下游侧的端部的2个风扇过滤器单元12的大小和姿势相同，这些风扇过滤器单元12的大小和姿势与在搬送方向上位于中间的3个风扇过滤器单元12的大小和姿势不同。另外，在姿势变更模块4的送风式支撑机构10b的整风板13的上游侧部分，形成有导入输送机用狭缝13c，使得后述的导入输送机29能够比送风式支撑机构10b更突出至上方(参照图1)。该导入输送机用狭缝13c与导入输送机用狭缝13b连续，其中，导入输送机用狭缝13b形成于在上游侧邻接于姿势变更模块4的搬送单元6a的送风式支撑机构10a的整风板13。
姿势变更模块4具备使玻璃基板W围绕纵轴心X1旋转的姿势变更机构24，由该姿势变更机构24兼作姿势变更模块4的推进力赋予机构11b。
如图2、图5以及图6所示，姿势变更机构24具备旋转臂25、旋转部26以及滑动部27，其中，旋转臂25作为通过对由送风式支撑机构10b以非接触状态支撑的玻璃基板W的平面视图中的多个端部进行卡合而自如地保持玻璃基板W的保持部，旋转部26作为使旋转臂25围绕纵轴心X1旋转的旋转机构，滑动部27作为使旋转臂25沿着搬送方向移动的移动机构。
如图5、图6以及图7所示，旋转臂25比由送风式支撑机构10b以非接触状态支撑的玻璃基板W的高度更配置在上方侧，在其两端部，具备一对卡盘部28，以作为通过围绕横轴心Y1的摇动而在对玻璃基板W的平面视图中的一对端部进行卡合的卡合姿势和解除对这些端部的卡合的解除姿势自如地进行姿势切换的多个卡合作用部。该一对卡盘部28构成为，如果成为卡合姿势，则保持玻璃基板W，如果成为解除姿势，则解放玻璃基板W。此外，省略详细的说明，对一对卡盘部28的姿势进行切换驱动的卡盘用电动机M2(参照图9)内装于旋转臂25的两端部。
旋转臂25由与平面视图呈矩形状的玻璃基板W的短边的长度相对应的长度的超长状的中空部件构成，设于两端的一对卡盘部28的各个卡合在玻璃基板W的长边的左右方向上的大致中央部分，由此，保持玻璃基板W。一对卡盘部28的各个具备沿横轴心Y1方向并排的2个抵接片28a和28b，2个抵接片28a和28b相对于玻璃基板W的长边的大致中央部分而在2处抵接，由此，如果一对卡盘部28为卡合姿势，那么，限制玻璃基板W相对于旋转臂25的相对旋转。此外，在一对卡盘部28的抵接片28a和28b的抵接面，设有聚氨酯橡胶等的弹性部件，使得玻璃基板W和一对卡盘部28能够进行弹性接触。
旋转部26具备旋转用电动机M3(参照图9)和旋转位置检测用旋转编码器RE1(参照图9)，该旋转用电动机M3沿一方的方向及其反方向旋转驱动旋转臂25，该旋转位置检测用旋转编码器RE1作为通过检测旋转用电动机M3的旋转驱动量而检测旋转臂25的旋转位置的旋转位置检测机构。
滑动部27具备导轨27a、滑动块27b以及移动用电动机M4(参照图9)，其中，导轨27a以由支撑框22所具备的前后一对支撑框架22a支撑多处的状态沿着搬送方向设置，滑动块27b被该导轨27a引导，在使玻璃基板W位于保持位置P3(参照图11(b))的后退限度位置和使玻璃基板W位于保持解除位置P4(参照图12(d))的前进限度位置之间往复移动自如地设置，移动用电动机M4使滑动块27b在搬送方向上从上游向着下游前进驱动且在搬送方向上从下游向着上游后退驱动。作为将移动用电动机M4的驱动力传递至滑动块27b的方法，能够利用现有技术的构造。例如，能够将滑动块27b固定于相对于由移动用电动机M4旋转的螺纹轴而螺纹接合的部件。作为另一个示例，将移动用电动机M4直接或经由齿轮而间接地联接至配置于导轨27a的一端区域的一个滑轮的轴心，在导轨27a的另一端区域，配置能够自由旋转的滑轮，在这2个滑轮之间缠绕无接头带，能够将滑动块27b相对于该无接头带的一处而固定。另外，在导轨27a的前后两端部，设有检测后退限度位置的滑动块27b的保持位置检测用传感器S3(参照图9)和检测前进限度位置的滑动块27b的保持解除位置检测用传感器S4(参照图9)。
在保持位置P3处，由控制装置H将旋转臂25的一对卡盘部28从解除姿势变更成保持姿势，由此，由旋转臂25保持玻璃基板W。另外，在保持解除位置P4处，由控制装置H将旋转臂25的一对卡盘部28从保持姿势变更成解除姿势，由此，将玻璃基板W从旋转臂25解放。即，控制装置H构成为，在保持位置P3和保持解除位置P4处，控制一对卡盘部28的姿势切换工作。
姿势变更机构24，在将一对卡盘部28切换成卡合于玻璃基板W的卡合姿势的状态下，一边由旋转部26使旋转臂25围绕纵轴心X1旋转，一边由滑动部27使旋转部26顺着沿着搬送方向的导轨27a移动，由此，在由送风式支撑机构10b支撑玻璃基板W的状态下，一边使玻璃基板W围绕纵轴心X1旋转，一边对玻璃基板W赋予搬送方向的推进力而沿搬送方向搬送。
这样，姿势变更模块4具备兼作推进力赋予机构11b的姿势变更机构24，不仅具有玻璃基板W的姿势变更功能，还具有相对于玻璃基板W而接触并赋予向搬送方向的推进力的功能。成为姿势变更模块4的搬送方向的旋转臂25的旋转纵轴心X1的移动方向，与上游侧输送机1和下游侧输送机2的搬送方向一致。
如图1、图4、图5以及图11所示，在搬送装置1，设有导入输送机29，以作为沿着搬送方向一边维持玻璃基板W的搬送姿势一边将玻璃基板W从比保持位置P3更设定于上游侧的导入位置P2搬送至保持位置P3的导入搬送机构。在姿势变更模块4设有阻挡由导入输送机29搬送的玻璃基板W的搬送下游侧的端部的左右一对止动件40。
如图1所示，在姿势变更模块4的搬送方向上，在中间位置处，在形成于沿左右方向并排3个的风扇过滤器单元12之间的2个间隙的各个，各配置有1个一对止动件40。一对止动件40构成为通过使止动件升降用电动机M9(参照图9)沿一方的方向及其反方向旋转工作而在上升位置和下降位置自如地切换，其中，上升位置为抵接在由导入输送机29搬送至保持位置P3的玻璃基板W的搬送下游侧的端边的2处，一边将玻璃基板W维持为上游侧姿势，一边限制玻璃基板W的向搬送方向下游侧的移动的位置，下降位置为容许玻璃基板W的向搬送方向下游侧的移动的位置(参照图11和图12)。
另外，如图1所示，在搬送装置1，设有导出输送机30，该导出输送机30作为沿着搬送方向一边维持玻璃基板W的搬送姿势一边将玻璃基板W从保持解除位置P4搬送至比该保持解除位置P4更设定在下游侧的导出位置P5的导出搬送机构。由于导入输送机29和导出输送机30虽然配置位置不同，但是基本的构成相同，因而以导入输送机29为例而具体地进行说明。
如图1、图4、图5以及图8所示，导入输送机29具备接触并支撑上游侧姿势(在导出输送机30的情况下，为下游侧姿势)的玻璃基板W的左右方向的中央部的导入侧带式推进力赋予部31。如图4和图5所示，该导入侧带式推进力赋予部31设在沿前后方向细长的间隙G，该间隙G通过沿左右方向并排2个风扇过滤器单元12而在左右方向上形成于中间位置。
如图8所示，导入侧带式推进力赋予机构31由驱动轮32、从动轮33、同步带34、内支撑轮35以及支撑框36构成，其中，驱动轮32位于搬送方向的上游侧，由导入输送机驱动用电动机M5旋转，从动轮33位于搬送方向的上游侧且旋转自如，同步带34遍及这些驱动轮32和从动轮33而卷绕，接触并支撑玻璃基板W的下面并赋予推进力，内支撑轮35从内周面侧支撑同步带34的运送路径部分，支撑框36支撑这些部件。而且，如图8所示，在支撑框36，设有前后一对用于对导入侧带式推进力赋予部31进行升降操作的导入输送机升降用电动机M6，各导入输送机升降用电动机M6的输出齿轮37和形成于风扇过滤器单元12的侧面的齿条(rack)38啮合。
使一对导入输送机升降用电动机M6在同步的状态下沿一方的方向及其反方向驱动旋转，由此，导入侧带式推进力赋予部31构成为在上升位置和下降位置自如地上下升降，其中，上升位置为同步带34的上侧路径部分的外周面比上游侧输送机2和姿势变更模块4所具备的整风板13更位于上方且与玻璃基板W的下面接触自如的位置，下降位置为同步带34的上侧路径部分的外周面比上游侧输送机2和姿势变更模块4所具备的整风板13更位于下方且不与玻璃基板W的下面接触的位置。带式推进力赋予部31在进行上下升降时，通过狭缝13b和13c，该狭缝13b和13c以同步带34的上侧路径部分与上游侧输送机2和姿势变更模块4分别具备的整风板13连续的状态形成。
导出输送机30具备导出输送机驱动用电动机M7和一对导出输送机升降用电动机M8(参照图9)。通过使导出输送机驱动用电动机M7旋转驱动，使得导出侧带式推进力赋予机构39的同步带进行卷绕工作，使导出输送机升降用电动机M8在同步的状态下沿正反方向驱动旋转，由此，导出侧带式推进力赋予机构39进行升降工作。
接着，对搬送装置1的控制构成进行说明。如图9所示，在控制搬送装置1的工作的控制装置H，连接有上游侧输送机2、导入输送机29、姿势变更模块4、导出输送机30以及下游侧输送机3所具备的各电动机、风扇过滤器单元12以及各种传感器类。
在控制装置H，连接有上游侧输送机2的最下游的搬送单元6a的准备位置用载荷传感器S1、各搬送单元6a的多个驱动辊用电动机M1以及多个风扇过滤器单元12。上游侧输送机2的准备位置用载荷传感器S1是检测在上游侧输送机2的搬送方向上将玻璃基板W搬送至设定于下游侧的端部的准备位置P1(参照图11(a))的光学式传感器。
同样地，在控制装置H，连接有下游侧输送机3的最上游的搬送单元6b的完成位置用载荷传感器S2、各搬送单元6b的多个驱动辊用电动机M1以及多个风扇过滤器单元12。下游侧输送机3的完成位置用载荷传感器S2是检测在下游侧输送机3的搬送方向上将玻璃基板W搬送至设定于上游侧的端部的完成位置P6(参照图12(e))的光学式传感器。
在控制装置H，连接有姿势变更模块4的姿势变更机构24的一对卡盘用电动机M2、旋转用电动机M3、移动用电动机M4、旋转位置检测用旋转编码器RE1、一对止动件升降用电动机M9以及多个风扇过滤器单元12。
在控制装置H，连接有导入输送机29的导入输送机驱动用电动机M5和一对导入输送机升降用电动机M6。同样地，在控制装置H，连接有导出输送机30的导出输送机驱动用电动机M7和一对导出输送机升降用电动机M8。
控制装置H控制旋转臂25的保持工作、滑动部27的移动工作以及旋转部26的旋转工作，从而由旋转臂25将以非接触状态支撑的状态的玻璃基板W保持在保持位置P3处，在由滑动部27使旋转臂25移动而沿着搬送方向将以非接触状态支撑的状态的玻璃基板W搬送至保持位置P3的下游侧的保持解除位置P4的期间，一边由滑动部27使旋转臂25移动，一边由旋转部26使旋转臂25旋转，使所保持的玻璃基板W的搬送姿势围绕纵轴心X1旋转90度，在保持解除位置P4处解除玻璃基板W的保持。
控制装置H反复地控制旋转臂25的保持工作、滑动部27的移动工作以及旋转部26的旋转工作，从而在使保持玻璃基板W的保持状态的旋转臂25从保持位置P3向保持解除位置P4移动之后，使不保持玻璃基板W的非保持状态的旋转臂25复位移动至保持位置P3。
控制装置H控制旋转部26和滑动部27的工作，从而使保持状态的旋转臂25的旋转和保持状态的旋转臂25的从保持位置P3起的移动同时或大致同时地开始，并且，控制导入输送机29的工作，从而在使保持状态的旋转臂25的从保持位置P3向保持解除位置P4的移动开始之后，将后续的玻璃基板W搬送至保持位置P3，直到使非保持状态的旋转臂25的向保持位置P3的复位移动结束为止。
控制装置H控制旋转部26和滑动部27的工作，从而使保持状态的旋转臂25的旋转和保持状态的旋转臂25的至保持解除位置P4为止的移动同时或大致同时地结束，并且，控制导出输送机30的工作，从而在保持状态的旋转臂25在位于保持解除位置P4的状态下使所保持的玻璃基板W解放之后，将从旋转臂25解放的玻璃基板W从保持解除位置P4起搬送，直到使保持后续的玻璃基板W的保持状态的旋转臂25移动至保持解除位置P4为止。在此，大致同时意味着时间差为例如1秒以内，更优选地，意味着时间差为0.5秒以内。
基于图10的流程图以及图11和图12的动作图，对控制装置H的控制动作进行说明。图10的流程图显示了在由上游侧输送机2搬送至准备位置P1的玻璃基板W一边沿搬送方向从准备位置P1搬送至完成位置P6一边进行姿势变更为止的期间发生的上游侧输送机2、下游侧输送机3、姿势变更模块4、导入输送机29、导出输送机30的动作。
此外，在图10所示的左右3列步骤组中，左列的步骤组显示上游侧输送机2和下游侧输送机3以及导入输送机29和导出输送机30的动作，中央列的步骤组显示姿势变更机构24的动作，右列的步骤组显示止动件40的动作。
首先，在步骤#1～步骤#4中，如果由准备位置用载荷传感器S1检测到玻璃基板W搬送至准备位置P1，那么，由上游侧输送机2的最下游的搬送单元6a将位于准备位置P1的玻璃基板W以上游侧姿势搬送至导入位置P2(参照图11(a))。在这期间，在步骤#2中，使位于下降位置的导入输送机29的上升开始，在步骤#3中，使导入输送机29的搬送工作开始。由此，由上游侧输送机2搬送至导入位置P2的玻璃基板W立即被移交至导入输送机29并向着保持位置P3搬送。此外，也可以在将导入输送机29切换成上升位置之前预先使搬送工作开始。
由于向保持位置P3搬送的玻璃基板W一边由配置于上游侧输送机2的下游端部的辊16引导上游侧部分的左右两端部，一边由导入输送机29对左右方向的中央部赋予沿着搬送方向的方向的推进力，因而至即将搬送至保持位置P3之前为止以其姿势维持为上游侧姿势的状态搬送。然后，由姿势变更模块4所具备的左右一对止动件40阻挡玻璃基板W的下游侧的一边的2处，由此，将玻璃基板W定位在保持位置P3(参照图11(b))。
在步骤#5中，停止导入输送机29的搬送工作，然后，在步骤#6中，将导入输送机29切换成下降位置，在步骤#7中，将卡盘部28从解除姿势切换成卡合姿势，在步骤#8中，将一对止动件40切换成下降位置。
在步骤#9中，开始姿势变更机构24对玻璃基板W的姿势变更和沿着搬送方向的移动。即，同时地开始旋转臂25的围绕纵轴心X1的正方向(右旋)的旋转和向搬送方向下游侧的移动。由此，通过卡盘部28卡合于相对的长边的各个而由旋转臂25可靠地保持的玻璃基板W围绕纵轴心X1旋转，由此，一边将姿势从上游侧姿势变更成下游侧姿势，一边沿着搬送方向移动至保持解除位置P4(参照图11(c))。
如果玻璃基板W接近或到达保持解除位置P4，那么，在步骤#10中，将导出输送机30从下降位置切换成上升位置，准备导出输送机30。然后，在步骤#11中，结束姿势变更机构24对玻璃基板W的姿势变更和沿着搬送方向的移动。即，同时地或大致同时地结束旋转臂25的围绕纵轴心X1的正方向(右旋)的旋转和向搬送方向下游侧的移动。在此，大致同时意味着时间差为例如1秒以内，更优选地，意味着时间差为0.5秒以内。
旋转臂25的旋转工作和移动工作的停止控制，基于检测旋转臂25的旋转位置的旋转位置检测用旋转编码器RE1以及保持位置检测用传感器S3和保持解除位置检测用传感器S4的检测信息而进行反馈控制。
这样，旋转臂25的旋转工作和移动工作同时或大致同时地开始且同时或大致同时地结束。即，旋转臂25的旋转速度和移动速度成为旋转部26使旋转臂25旋转90度时的所需时间和滑动部27使旋转臂25从保持位置P3移动至保持解除位置P4时的所需时间大致一致的关系。在此，大致同时和大致一致意味着时间差为例如1秒以内，更优选地，意味着时间差为0.5秒以内。
如果旋转臂25的旋转工作和移动工作停止，那么，在步骤#12中，将卡盘部28从卡合姿势切换成解除姿势，将玻璃基板W在保持解除位置P4处解放。然后，在步骤#13中，开始位于上升位置的导出输送机30的搬送工作，玻璃基板W依然维持下游侧姿势并从保持解除位置P4搬送至导出位置P5(参照图12(d))。由此，由姿势变更机构24搬送至保持解除位置P4的玻璃基板W立即被移交至导出输送机30并向着导出位置P5搬送。此外，也可以在将导出输送机30切换成上升位置之前预先使搬送工作开始。
关于将搬送对象的玻璃基板W保持至保持解除位置P4为止的旋转臂25，如果在步骤#12中，将卡盘部28切换成解除姿势，那么，在由导出输送机30将搬送对象的玻璃基板W从保持解除位置P4搬送至导出位置P5的期间，为了进行后续的玻璃基板W的搬送，在步骤#15～步骤#16中，预先使该旋转臂25后退至保持位置P3，而且，反旋转至保持位置P3用的旋转位置，在保持位置P3处复位成能够保持后续的玻璃基板W的状态(参照图12(d)(e))。
另外，关于将玻璃基板W定位在保持位置P3处的一对止动件40，在步骤#9～步骤#10中，旋转臂25前进和正旋转，搬送对象的玻璃基板W通过下降位置的一对止动件40的上方，然后，在步骤#14中，预先使该一对止动件40复位至上升位置。由此，能够在旋转臂25的向保持位置P3的复位移动和反旋转结束之前，预先将后续的下一个搬送对象的玻璃基板W从准备位置P1起先行地搬送，预先使该玻璃基板W以上游侧姿势在导入位置P3待机(参照图12(e))。
由于向导出位置P5搬送的玻璃基板W一边由配置于下游侧输送机3的上游端部的辊16引导下游侧部分的左右两端部，一边由导出输送机30对左右方向的中央部赋予沿着搬送方向的方向的推进力，因而以其姿势维持为下游侧姿势的状态搬送(参照图12(d))。
如果将玻璃基板W搬送至导出位置P5，那么，在步骤#18中，停止导出输送机30的搬送工作，在步骤#19中，将导出输送机30切换成下降位置。然后，在步骤#17～步骤#20中，由下游侧输送机3将搬送至导出位置P5的玻璃基板W以下游侧姿势搬送至完成位置P6(参照图12(e))。
依照以上所说明的控制装置H的控制动作，导入输送机29、姿势变更模块4以及导出输送机30分担地将玻璃基板W从导入位置P2搬送至导出位置P5，由此，能够一边搬送先行的玻璃基板W一边也搬送后续的玻璃基板W。具体而言，如图13所示，在姿势变更模块4的旋转臂25将搬送对象的玻璃基板W保持在保持位置P3处并从保持位置P3移动的期间，由上游侧输送机2将后续的玻璃基板W从准备位置P1向导入位置P2搬送，能够预先由导入输送机29将后续的玻璃基板搬送至保持位置P3而进行准备，直到旋转臂25复位至保持位置P3为止。
由此，如图13的时序图所示，能够针对将1块玻璃基板W从准备位置P1搬送至完成位置P6的情况的所需时间而缩短从开始关于玻璃基板W的自准备位置P1起的搬送至开始关于后续的下一个玻璃基板W的自准备位置P1起的搬送为止的工序作业时间(生产节拍时间(Takt Time))。例如，在图13的时序图中，在1方格为2秒的情况下，关于1块玻璃基板W的搬送所需时间是33秒，与此相对的是，生产节拍时间成为大概17秒。这样，提高了一边使多个玻璃基板W从准备位置P1起进行姿势变更一边将该多个玻璃基板W沿着搬送方向依次搬送时的搬送效率。
[其他实施方式]
(1)关于旋转臂25的移动工作的停止控制，举例说明了在导轨27a的前后两端部设置保持位置检测用传感器S3和保持解除位置检测用传感器S4并基于这些传感器的检测信息而进行反馈控制，但不限于此，也可以设置通过检测滑动部27的从移动开始位置(例如，后退限度位置)起的移动量而检测旋转臂25的在搬送方向上的位置或位于导轨27a的位置的移动位置检测机构，并基于该移动位置检测机构的检测信息而进行反馈控制。另外，也可以基于旋转位置检测用旋转编码器RE1的检测信息而对旋转臂25的移动工作进行反馈控制。在这种情况下，优选将旋转部26和滑动块27b连动联接而使滑动部27对旋转臂25的移动工作和旋转部26对旋转臂25的旋转工作连动。
(2)关于导入输送机29的搬送工作的停止控制，也可以进行前馈控制，使得从在图10的步骤#3中开始导入输送机29的搬送工作起经过设定时间之后停止，也可以设置检测玻璃基板W搬送至保持位置P3的保持位置用载荷传感器，并基于该保持位置用载荷传感器的检测信息而进行反馈控制，从而停止搬送工作。
(3)在上述实施方式中，举例说明了由导入输送机29将玻璃基板W从导入位置P2搬送至保持位置P3，但也可以不设置导入输送机29，而是将旋转臂25的搬送方向的移动范围延长至上游侧，将保持位置设定在相当于上述实施方式中的导入位置P2的位置，由控制装置H控制旋转部26和移动部27以及卡盘部28的工作，从而将玻璃基板W保持在相当于上述实施方式中的导入位置P2的位置，随后，不使旋转臂25旋转，而是使旋转臂25以设定量移动至搬送方向下游侧，然后，开始旋转臂25的旋转。
(4)在上述实施方式中，举例说明了由导出输送机30将玻璃基板W从保持解除位置P4搬送至导出位置P5，但也可以不设置导出输送机30，而是将旋转臂25的搬送方向的移动范围延长至下游侧，将保持解除位置设定在相当于上述实施方式中的导出位置P5的位置，由控制装置H控制旋转部26和移动部27以及卡盘部28的工作，从而不使保持玻璃基板W的旋转臂25从相当于上述实施方式中的保持解除位置P4的位置旋转，而是使该旋转臂25以设定量移动至搬送方向下游侧，在相当于上述实施方式中的导出位置P5的位置解除玻璃基板W的保持。
(5)在上述实施方式中，举例说明了导入搬送机构和导出搬送机构由升降自如的带式输送机构成，但不限于此，也可以将与搬送物的底面自如地吸附的吸附部升降自如地且沿搬送方向移动自如地设置而构成。另外，也可以将卡合在搬送物的底面的上游侧端部的突起往复移动自如地且升降自如地配备而构成。
而且，也可以具备以突出至无接头带的卷绕外方侧的状态配备的带有突起的带而构成卡合在搬送物的底面的上游侧端部的突起。如果预先构成为，带有突起的带的卷绕路径比由送风式支撑机构以非接触状态支撑的搬送物的底面更配置在下方，在突起位于上部侧卷绕部分时，位于比由送风式支撑机构以非接触状态支撑的搬送物的底面更突出至上方的高度，那么，也可以不将带有突起的带升降自如地设置。在这种情况下，为了设置多个突起，将在卷绕方向上相邻的突起的沿着卷绕方向的间隔设定为比导入搬送机构的搬送距离更长即可。
(6)在上述实施方式中，举例说明了导入搬送机构和导出搬送机构比所搬送的搬送物更配置在下方，但也可以将导入搬送机构或导出搬送机构配置在所搬送的搬送物的上方而进行代替。
(7)在上述实施方式中，举例说明了上游侧输送机2将玻璃基板W以其宽度方向沿着搬送方向的姿势搬送，下游侧输送机3以其长度方向沿着搬送方向的姿势进行搬送，但也可以以与此相反的姿势进行搬送。
(8)在上述实施方式中，举例说明了保持部在两端部具备对平面视图呈矩形状的搬送物的相对的短边进行卡合的2个卡合作用部，并以沿着搬送物的宽度方向的姿势保持搬送物，但保持部的具体的构成不限定于此。例如，也可以具备3个以上卡合作用部，作为其一个示例，也可以具备卡合在平面视图呈矩形状的搬送物的四边的各个的4个卡合作用部。
(9)在上述实施方式中，作为保持部的多个卡合作用部，举例说明了通过围绕横轴心的摇动而在对搬送物的端部进行卡合的卡合姿势和解除对端部的卡合的解除姿势自如地进行姿势切换的卡合作用部，但也可以是这样的部件：在卡合高度和解除高度自如地进行高度切换，其中，卡合高度为在其下端部比由送风式支撑机构以非接触状态支撑的搬送物的下面高度更位于下方的状态下对搬送物的端部进行卡合的高度，解除高度为在其下端部比由送风式支撑机构以非接触状态支撑的搬送物的上面高度更位于上方的状态下解除对搬送物的端部的卡合的高度。
(10)在上述实施方式中，举例说明了使搬送物的搬送姿势围绕纵轴心旋转90度以作为规定角度而变更搬送姿势，但也能够适当变更使搬送物旋转的角度。
(11)在上述实施方式中，举例说明了搬送装置的搬送方向沿着一直线，但搬送方向也可以例如在姿势变更机构的上游侧的搬送部分和下游侧的搬送部分不同。在这种情况下，姿势变更机构中的移动机构构成为使保持部沿着上游侧搬送方向或下游侧搬送方向的任一个移动即可。
(12)在上述实施方式中，举例说明了纵横排列多个风扇过滤器单元而构成的机构以作为送风式支撑机构，但送风式支撑机构也可以不使用风扇过滤器单元而构成。例如，也可以将从外部供给清洁空气的空气供给路连接至搬送装置，送风式支撑机构将从外部供给路供给的清洁空气向着搬送物的下面供给。
(13)在上述实施方式中，举例说明了具备多个导辊的机构以作为上游侧输送机2和下游侧输送机3中的搬送单元6的推进力赋予机构11a，但也能够是具备搬送带的机构等以作为推进力赋予机构11a而进行各种变更。
(14)在上述实施方式中，举例说明了姿势变更机构的整体配置于在平面视图中与搬送机构重叠的位置，但不限于此，例如，也可以将姿势变更机构中的移动机构的一部分配置于搬送机构的横侧等，将姿势变更机构的一部分配置于在平面视图中从搬送机构的存在区域脱离的位置。通过这样的配置，从而能够将搬送装置的设置姿势变更机构之处的上下高度抑制得较低。
具体而言，例如，也可以将上述实施方式中的导轨27a配置于姿势变更模块4的横侧部，将在水平面沿着与搬送方向正交的方向而从导轨27a延伸至姿势变更模块4的内方侧的状态的滑动臂沿着搬送方向而滑移自如地设置，将旋转臂25围绕纵轴心旋转自如地设在该滑动臂的前端部，构成姿势变更机构24。
另外，也可以设置围绕在平面视图中位于姿势变更模块4的外部的纵轴心自如地摇动的摇动臂，在该摇动臂的摇动半径方向上，在外方侧的部分(例如，前端部分)，将旋转臂25围绕纵轴心旋转自如(或围绕纵轴心旋转自如且沿着摇动臂移动自如)地设置，构成姿势变更机构24。在这种情况下，控制机构构成为控制摇动臂的摇动工作(或摇动臂的摇动工作和沿着摇动臂的旋转臂25的移动工作)即可。

Claims (14)

1.一种搬送装置，具备：
搬送机构，具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，其中，该送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，该推进力赋予机构对由所述送风式支撑机构支撑的搬送物赋予搬送方向的推进力；
姿势变更机构，使由所述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心而旋转，变更搬送物的搬送姿势；以及
控制机构，控制所述搬送机构和所述姿势变更机构的工作，
其特征在于，
所述搬送机构构成为，所述姿势变更机构的上游侧的搬送部分的搬送方向和所述姿势变更机构的下游侧的搬送部分的搬送方向沿着一直线，
所述姿势变更机构具备保持部、旋转机构以及移动机构而构成，其中，该保持部通过对以非接触状态支撑的搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而自如地保持搬送物，该旋转机构使所述保持部围绕纵轴心而旋转，该移动机构使所述保持部沿着所述搬送机构的搬送方向移动，
所述控制机构构成为，控制所述保持部的保持工作、所述移动机构的移动工作以及所述旋转机构的旋转工作，从而由所述保持部将以非接触状态支撑的状态的搬送物保持在保持位置，在由所述移动机构使所述保持部移动而将以非接触状态支撑的状态的搬送物沿着所述搬送机构的搬送方向从所述保持位置搬送至下游侧的保持解除位置的期间，一边由所述移动机构使所述保持部移动，一边由所述旋转机构使所述保持部旋转，使所保持的搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度，在所述保持解除位置解除搬送物的保持。
2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，
所述保持部具备多个卡合作用部而构成，该卡合作用部通过围绕横轴心的摇动而在对所述搬送物的端部进行卡合的卡合姿势和解除对所述端部的卡合的解除姿势自如地进行姿势切换，
所述控制机构构成为，在所述保持位置和所述保持解除位置控制所述卡合作用部的姿势切换工作。
3.一种搬送装置，具备：
搬送机构，具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，其中，该送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，该推进力赋予机构对由所述送风式支撑机构支撑的搬送物赋予搬送方向的推进力；
姿势变更机构，使由所述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心而旋转，变更搬送物的搬送姿势；以及
控制机构，控制所述搬送机构和所述姿势变更机构的工作，
其特征在于，
所述姿势变更机构具备保持部、旋转机构以及移动机构而构成，其中，该保持部通过对以非接触状态支撑的搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而自如地保持搬送物，该旋转机构使所述保持部围绕纵轴心而旋转，该移动机构使所述保持部沿着搬送方向移动，
所述控制机构构成为，控制所述保持部的保持工作、所述移动机构的移动工作以及所述旋转机构的旋转工作，从而由所述保持部将以非接触状态支撑的状态的搬送物保持在保持位置，在由所述移动机构使所述保持部移动而将以非接触状态支撑的状态的搬送物沿着搬送方向从所述保持位置搬送至下游侧的保持解除位置的期间，一边由所述移动机构使所述保持部移动，一边由所述旋转机构使所述保持部旋转，使所保持的搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度，在所述保持解除位置解除搬送物的保持，
所述搬送机构构成为，依次搬送多个搬送物，
所述移动机构构成为，使所述保持部在所述保持位置和所述保持解除位置之间沿着所述搬送机构的搬送方向往复移动，
设有导入搬送机构，该导入搬送机构沿着所述搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从比所述保持位置更设定在上游侧的导入位置搬送至所述保持位置，
所述控制机构构成为，反复地控制所述姿势变更机构的工作，从而在使保持搬送物的保持状态的所述保持部从所述保持位置向所述保持解除位置移动之后，使不保持搬送物的非保持状态的所述保持部复位移动至所述保持位置，而且，构成为，控制所述导入搬送机构的工作，从而在使所述保持状态的保持部的从所述保持位置向所述保持解除位置的移动开始之后，将后续的搬送物搬送至所述保持位置，直到使所述非保持状态的保持部的向所述保持位置的复位移动结束为止。
4.根据权利要求3所述的搬送装置，其特征在于，
所述保持部具备多个卡合作用部而构成，该卡合作用部通过围绕横轴心的摇动而在对所述搬送物的端部进行卡合的卡合姿势和解除对所述端部的卡合的解除姿势自如地进行姿势切换，
所述控制机构构成为，在所述保持位置和所述保持解除位置控制所述卡合作用部的姿势切换工作。
5.根据权利要求3所述的搬送装置，其特征在于，
所述控制机构构成为，控制所述旋转机构和所述移动机构的工作，从而使所述保持部的旋转和所述保持部的从所述保持位置起的移动同时或大致同时地开始。
6.一种搬送装置，具备：
搬送机构，具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，其中，该送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，该推进力赋予机构对由所述送风式支撑机构支撑的搬送物赋予搬送方向的推进力；
姿势变更机构，使由所述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心而旋转，变更搬送物的搬送姿势；以及
控制机构，控制所述搬送机构和所述姿势变更机构的工作，
其特征在于，
所述姿势变更机构具备保持部、旋转机构以及移动机构而构成，其中，该保持部通过对以非接触状态支撑的搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而自如地保持搬送物，该旋转机构使所述保持部围绕纵轴心而旋转，该移动机构使所述保持部沿着搬送方向移动，
所述控制机构构成为，控制所述保持部的保持工作、所述移动机构的移动工作以及所述旋转机构的旋转工作，从而由所述保持部将以非接触状态支撑的状态的搬送物保持在保持位置，在由所述移动机构使所述保持部移动而将以非接触状态支撑的状态的搬送物沿着搬送方向从所述保持位置搬送至下游侧的保持解除位置的期间，一边由所述移动机构使所述保持部移动，一边由所述旋转机构使所述保持部旋转，使所保持的搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度，在所述保持解除位置解除搬送物的保持，
所述搬送机构构成为，依次搬送多个搬送物，
所述移动机构构成为，使所述保持部在所述保持位置和所述保持解除位置之间沿着所述搬送机构的搬送方向往复移动，
设有导出搬送机构，该导出搬送机构沿着所述搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从所述保持解除位置搬送至比所述保持解除位置更设定在下游侧的导出位置，
所述控制机构构成为，反复地控制所述姿势变更机构的工作，从而在使保持搬送物的保持状态的所述保持部从所述保持位置向所述保持解除位置移动之后，使不保持搬送物的非保持状态的所述保持部复位移动至所述保持位置，而且，构成为，控制所述导出搬送机构的工作，从而在所述保持状态的保持部在位于所述保持解除位置的状态下使所保持的搬送物解放之后，将从所述保持部解放的搬送物从所述保持解除位置起搬送，直到使保持后续的搬送物的所述保持状态的保持部移动至所述保持解除位置为止。
7.根据权利要求6所述的搬送装置，其特征在于，
所述保持部具备多个卡合作用部而构成，该卡合作用部通过围绕横轴心的摇动而在对所述搬送物的端部进行卡合的卡合姿势和解除对所述端部的卡合的解除姿势自如地进行姿势切换，
所述控制机构构成为，在所述保持位置和所述保持解除位置控制所述卡合作用部的姿势切换工作。
8.根据权利要求6所述的搬送装置，其特征在于，
所述控制机构构成为，控制所述旋转机构和所述移动机构的工作，从而使所述保持部的旋转和所述保持部的至所述保持解除位置为止的移动同时或大致同时地结束。
9.一种搬送方法，利用了搬送装置，其中，
所述搬送装置设有以下机构：
搬送机构，具备送风式支撑机构和推进力赋予机构，其中，该送风式支撑机构向着搬送物的下面供给空气，以水平姿势或大致水平姿势并以非接触状态支撑搬送物，该推进力赋予机构对由所述送风式支撑机构支撑的搬送物赋予搬送方向的推进力；
姿势变更机构，使由所述搬送机构搬送的搬送物围绕纵轴心而旋转，变更搬送物的搬送姿势；以及
控制机构，控制所述搬送机构和所述姿势变更机构的工作，
所述姿势变更机构具备保持部、旋转机构以及移动机构而构成，其中，该保持部通过对以非接触状态支撑的搬送物的平面视图中的多个端部进行卡合而自如地保持搬送物，该旋转机构使所述保持部围绕纵轴心而旋转，该移动机构使所述保持部沿着搬送方向移动，
所述搬送方法包括以下：
由所述保持部将以非接触状态支撑的状态的搬送物保持在保持位置的工序；
在由所述移动机构使所述保持部移动而将以非接触状态支撑的状态的搬送物沿着搬送方向从所述保持位置搬送至下游侧的保持解除位置的期间，一边由所述移动机构使所述保持部移动，一边由所述旋转机构使所述保持部旋转，使所保持的搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度的工序；以及
在所述保持解除位置解除搬送物的保持的工序。
10.根据权利要求9所述的搬送方法，其特征在于，
所述保持部具备多个卡合作用部而构成，该卡合作用部通过围绕横轴心的摇动而在对所述搬送物的端部进行卡合的卡合姿势和解除对所述端部的卡合的解除姿势自如地进行姿势切换，
在所述搬送方法中，包括在所述保持位置和所述保持解除位置进行所述卡合作用部的姿势切换的工序。
11.根据权利要求9或10所述的搬送方法，其特征在于，
设有导入搬送机构，该导入搬送机构沿着所述搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从比所述保持位置更设定在上游侧的导入位置搬送至所述保持位置，
所述搬送方法构成为，依次搬送多个搬送物，
包括所述移动机构使所述保持部在所述保持位置和所述保持解除位置之间沿着所述搬送机构的搬送方向往复移动的工序，
在该往复移动的工序中，包括在使保持搬送物的保持状态的所述保持部从所述保持位置向所述保持解除位置移动之后，使不保持搬送物的非保持状态的所述保持部复位移动至所述保持位置的工序，
包括在使所述保持状态的保持部的从所述保持位置向所述保持解除位置的移动开始之后，由所述导入搬送机构将后续的搬送物搬送至所述保持位置，直到使所述非保持状态的保持部的向所述保持位置的复位移动结束为止的工序。
12.根据权利要求9所述的搬送方法，其特征在于，
在搬送搬送物的期间，在使搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度的所述工序中，包括控制所述旋转机构和所述移动机构的工作，从而使所述保持部的旋转和所述保持部的从所述保持位置起的移动同时或大致同时地开始的工序。
13.根据权利要求9或10所述的搬送方法，其特征在于，
设有导出搬送机构，该导出搬送机构沿着所述搬送机构的搬送方向一边维持搬送物的搬送姿势，一边将搬送物从所述保持解除位置搬送至比所述保持解除位置更设定在下游侧的导出位置，
所述搬送方法构成为，依次搬送多个搬送物，
包括所述移动机构使所述保持部在所述保持位置和所述保持解除位置之间沿着所述搬送机构的搬送方向往复移动的工序，
在该往复移动的工序中，包括在使保持搬送物的保持状态的所述保持部从所述保持位置向所述保持解除位置移动之后，使不保持搬送物的非保持状态的所述保持部复位移动至所述保持位置的工序，
包括在所述保持状态的保持部在位于所述保持解除位置的状态下使所保持的搬送物解放之后，将从所述保持部解放的搬送物从所述保持解除位置起搬送，直到使保持后续的搬送物的所述保持状态的保持部移动至所述保持解除位置为止的工序。
14.根据权利要求9所述的搬送方法，其特征在于，
在搬送搬送物的期间，在使搬送物的搬送姿势围绕纵轴心而旋转规定角度的所述工序中，包括控制所述旋转机构和所述移动机构的工作，从而使所述保持部的旋转和所述保持部的至所述保持解除位置为止的移动同时或大致同时地结束的工序。
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