CN114506649B - 半导体元件翻转设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体元件翻转设备，包含：架体；上下料模块，上下料模块与架体相连，用于对外部的工件进行上下料；顶料模块，顶料模块与上下料模块相连，用于顶升工件；翻转模块，翻转模块与架体相连，用于对工件进行翻转。本发明可以根据后面工序的生产要求，来进行不同的位置分配，来达到模块化的中转转运，实现智能化的工件加工输送，无需人为操作，中转过程流畅，且速度快、效率高，可以保证加工周期的稳定，并节省人工成本，可以实现中转输送时工件的翻转，解决对于特殊工件需要翻转的问题。
Description
技术领域
本发明涉及半导体元件生产加工转运设备技术领域，特别涉及一种半导体元件翻转设备。
背景技术
现有的半导体元件转运设备不能模块化去搭配满足不同工艺生产的需求，也不能使得车间可以做到完全自动化运转产品线，且洁净等级不满足更高的要求，影响产品的生产加工，延长加工运输的周期，无法保证工期的准确性，对此设计一种半导体元件翻转设备。
发明内容
根据本发明实施例，提供了一种半导体元件翻转设备，包含：
架体；
上下料模块，上下料模块与架体相连，用于对外部的工件进行上下料；
顶料模块，顶料模块与上下料模块相连，用于顶升工件；
翻转模块，翻转模块与架体相连，用于对工件进行翻转。
进一步，上下料模块包含：
第一Z轴直线模组，第一Z轴直线模组与架体相连，用于提供沿Z轴方向运动的驱动力；
箱体，箱体与第一Z轴直线模组的输出端相连；
一对传送带，一对传送带对称设置在箱体的内部的两侧壁上；
整列气缸，整列气缸与箱体相连，用于对工件进行整列定位。
进一步，上下料模块还包含：
调整杆，调整杆与箱体相连，用于调整箱体的两侧宽度。
进一步，顶料模块包含：
第二Z轴直线模组，第二Z轴直线模组与箱体相连，用于提供沿Z轴方向运动的驱动力；
置物台，置物台位于箱体的内部的两侧壁之间，置物台的底部贯穿箱体的底部与第二Z轴直线模组的输出端相连；
挡料器，挡料器与置物台相连，用于当置物台上有工件时，进行工件的格挡限位。
进一步，挡料器包含：
一对挡块，一对挡块位于置物台的两侧；
挡块驱动机构，挡块驱动机构与置物台相连，挡块驱动机构的输出端与一对挡块相连，用于驱动挡块旋转90度。
进一步，翻转模块包含：
一对翻转组件，一对翻转组件设置在架体的顶部两侧，用于对工件进行翻转。
进一步，其中一个翻转组件包含：
直线气缸，直线气缸设置在架体的顶部一侧，用于提供沿X轴方向运动的驱动力；
翻转电机，翻转电机与直线气缸的输出端相连；
夹持气缸，夹持气缸与翻转电机的输出端相连；
夹爪，夹爪与夹持气缸的输出端相连；
导向组件，导向组件与翻转电机和架体相连。
进一步，导向组件包含：
导轨，导轨设置在架体上；
导向块，导向块与翻转电机相连，导向块滑动设置在导轨上。
根据本发明实施例的半导体元件翻转设备，可以根据后面工序的生产要求，来进行不同的位置分配，来达到模块化的中转转运，实现智能化的工件加工输送，无需人为操作，中转过程流畅，且速度快、效率高，可以保证加工周期的稳定，并节省人工成本，可以实现中转输送时工件的翻转，解决对于特殊工件需要翻转的问题。
要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
附图说明
图1为根据本发明实施例半导体元件翻转设备的第一立体结构图。
图2为根据本发明实施例半导体元件翻转设备的第二立体结构图。
图3为根据本发明实施例半导体元件翻转设备的顶料模块的立体结构图。
图4为根据本发明实施例半导体元件翻转设备的翻转模块的第一立体结构图。
图5为根据本发明实施例半导体元件翻转设备的翻转模块的第二立体结构图。
图6为根据本发明实施例半导体元件翻转设备的翻转模块的第三立体结构图。
具体实施方式
以下将结合附图，详细描述本发明的优选实施例，对本发明做进一步阐述。
首先，将结合图1~6描述根据本发明实施例的半导体元件翻转设备，用于对半导体元件（如晶圆、PCB板等）进行转运，并对转运的工件进行翻转，其应用场景很广。
如图1~6所示，本发明实施例的半导体元件翻转设备，具有架体1、上下料模块、顶料模块以及翻转模块。
具体的，如图1~2所示，在本实施例中，上下料模块与架体1相连，用于对外部的工件进行上下料，顶料模块与上下料模块相连，用于顶升工件，翻转模块与架体1相连，用于对工件进行翻转，通过上下料模块、顶料模块以及翻转模块相互配合使用，可以使得工件进行自动的上下料中转，并对工件进行翻转，无需人为操作，中转过程流畅，且速度快、效率高，可以保证加工周期的稳定，并节省人工成本。
进一步，如图1~3所示，在本实施例中，上下料模块包含：第一Z轴直线模组21、箱体22、一对传送带23以及整列气缸24。第一Z轴直线模组21与架体1相连，用于提供沿Z轴方向运动的驱动力，箱体22与第一Z轴直线模组21的输出端相连，用于支撑位于其上的零部件，一对传送带23对称设置在箱体22的内部的两侧壁上，一对传送带23用于对接外部的工件，整列气缸24与箱体22相连，用于对工件进行整列定位。
进一步，如图1~3所示，在本实施例中，上下料模块还包含：调整杆25，调整杆25与箱体22相连，用于调整箱体22的两侧宽度，适用不同宽度的工件，增加设备的实用性。
进一步，如图1~3所示，在本实施例中，顶料模块包含：第二Z轴直线模组31、置物台32以及挡料器。第二Z轴直线模组31与箱体22相连，用于提供沿Z轴方向运动的驱动力，置物台32位于箱体22的内部的两侧壁之间，置物台32的底部贯穿箱体22的底部与第二Z轴直线模组31的输出端相连，用于对工件进行支撑，挡料器与置物台32相连，用于当置物台32上有工件时，进行工件的格挡限位。
进一步，如图1~3所示，在本实施例中，挡料器包含：一对挡块331以及挡块驱动机构332。一对挡块331位于置物台32的两侧，挡块驱动机构332与置物台32相连，挡块驱动机构332的输出端与一对挡块331相连，挡块驱动机构332为曲柄滑块驱动机构，用于驱动挡块331旋转90度，使得挡块331可以站立或躺下。
进一步，如图1~2、4~6所示，在本实施例中，翻转模块包含：一对翻转组件，一对翻转组件设置在架体1的顶部两侧，用于对工件进行翻转，保证翻转时候的稳定性。
进一步，如图1~2、4~6所示，在本实施例中，其中一个翻转组件包含：直线气缸41、翻转电机42、夹持气缸43、夹爪44以及导向组件。直线气缸41设置在架体1的顶部一侧，用于提供沿X轴方向运动的驱动力，翻转电机42与直线气缸41的输出端相连，提供翻转力，夹持气缸43与翻转电机42的输出端相连，夹爪44与夹持气缸43的输出端相连，夹持气缸43驱动夹爪44可以对工件进行夹紧，导向组件与翻转电机42和架体1相连，用于起到导向的作用，保证精度。
进一步，如图1~2、4~6所示，在本实施例中，导向组件包含：导轨451以及导向块452。导轨451设置在架体1上，导向块452与翻转电机42相连，导向块452滑动设置在导轨451上，通过设有导向块452和导轨451，可以对翻转电机42的移动提供很好的导向效果。
在使用的时候，置物台32和一对传送带23处于同一高度，当通过外部设备进行工件的输送，此时挡块驱动机构332驱动位于后端的挡块331正向旋转90度躺下，并且一对传送带23运行，对接外部设备输送过来的工件，将工件流入箱体22内且位于顶置物台32上，然后通过整列气缸24对工件进行整列限位，此时挡块驱动机构332驱动位于后端的挡块331反向旋转90度站立，对工件进行格挡限位，然后第二Z轴直线模组31驱动置物台32上升到翻转位，此时一对翻转组件内的直线气缸41驱动翻转电机42向工件移动到夹持位，让夹持气缸43运行，驱动夹爪44可以对工件进行夹紧，然后第一Z轴直线模组21驱动箱体22和置物台32下降到安全低位，不会干扰翻转，然后翻转电机42运行，带动工件翻转，工件翻转后，置物台32上升接住工件，如果工件随后有吸附动作，置物台32下降到与一对传送带23齐平高度，进行吸附等待，如果没有吸附动作，置物台32下降到一对传送带23以下高度，工件落在一对传送带23上，通过一对传送进行输送流出箱体22。
以上，参照图1~6描述了根据本发明实施例的半导体元件翻转设备，可以根据后面工序的生产要求，来进行不同的位置分配，来达到模块化的中转转运，实现智能化的工件加工输送，无需人为操作，中转过程流畅，且速度快、效率高，可以保证加工周期的稳定，并节省人工成本，可以实现中转输送时工件的翻转，解决对于特殊工件需要翻转的问题。
需要说明的是，在本说明书中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包含……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
Claims (4)
1.一种半导体元件翻转设备，其特征在于，包含：
架体；
上下料模块，所述上下料模块与所述架体相连，用于对外部的工件进行上下料；
顶料模块，所述顶料模块与所述上下料模块相连，用于顶升所述工件；
翻转模块，所述翻转模块与所述架体相连，用于对所述工件进行翻转；所述上下料模块包含，
第一Z轴直线模组，所述第一Z轴直线模组与所述架体相连，用于提供沿Z轴方向运动的驱动力；
箱体，所述箱体与所述第一Z轴直线模组的输出端相连；
一对传送带，所述一对传送带对称设置在所述箱体的内部的两侧壁上；
整列气缸，所述整列气缸与所述箱体相连，用于对所述工件进行整列定位；
所述顶料模块包含，
第二Z轴直线模组，所述第二Z轴直线模组与所述箱体相连，用于提供沿Z轴方向运动的驱动力；
置物台，所述置物台位于所述箱体的内部的两侧壁之间，所述置物台的底部贯穿所述箱体的底部与所述第二Z轴直线模组的输出端相连；
挡料器，所述挡料器与所述置物台相连，用于当所述置物台上有所述工件时，进行所述工件的格挡限位；
翻转模块包含，
一对翻转组件，所述一对翻转组件设置在所述架体的顶部两侧，用于对所述工件进行翻转；
其中一个所述翻转组件包含：
直线气缸，所述直线气缸设置在所述架体的顶部一侧，用于提供沿X轴方向运动的驱动力；
翻转电机，所述翻转电机与所述直线气缸的输出端相连；
夹持气缸，所述夹持气缸与所述翻转电机的输出端相连；
夹爪，所述夹爪与所述夹持气缸的输出端相连；
导向组件，所述导向组件与所述翻转电机和所述架体相连。
2.如权利要求1所述半导体元件翻转设备，其特征在于，所述上下料模块还包含：
调整杆，所述调整杆与所述箱体相连，用于调整所述箱体的两侧宽度。
3.如权利要求1所述半导体元件翻转设备，其特征在于，所述挡料器包含：
一对挡块，一对所述挡块位于所述置物台的两侧；
挡块驱动机构，所述挡块驱动机构与所述置物台相连，所述挡块驱动机构的输出端与所述一对挡块相连，用于驱动所述挡块旋转90度。
4.如权利要求1所述半导体元件翻转设备，其特征在于，所述导向组件包含：
导轨，所述导轨设置在所述架体上；
导向块，所述导向块与所述翻转电机相连，所述导向块滑动设置在所述导轨上。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 201615 Room 101, building 3, no.1589, Lianfu Road, Jiuting Town, Songjiang District, Shanghai Applicant after: Shanghai Shiyu Precision Equipment Co.,Ltd. Address before: 201615 Room 101, building 3, no.1589, Lianfu Road, Jiuting Town, Songjiang District, Shanghai Applicant before: SHANGHAI SHIYU PRECISION MACHINERY Co.,Ltd. |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |