JP6934573B2 - 搬送装置及び制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハ等の基板をアンパッキング／パッキングする技術に関する。

半導体ウエハの搬送容器としてコインスタック容器が提案されている。コインスタック容器には、半導体ウエハと保護材とが交互に重ねて収容される。コインスタック容器から半導体ウエハを搬出する場合（アンパッキング）、保護材と半導体ウエハとを交互に搬出することが必要となる。また、コインスタック容器へ保護材と半導体ウエハを収容する場合（パッキング）、容器内へ保護材と半導体ウエハとを交互に搬入する必要がある。特許文献１には、シート状の保護材を用いたコインスタック容器について、アンパッキングとパッキングとを自動化する装置が開示されている。

一方、半導体ウエハに形成された回路の保護性能を向上するため、非接触式のコインスタック容器が提案されている。特許文献２には、保護材としてリング状のスペーサを用いたものが開示されている。半導体ウエハに形成された回路と保護材との接触を回避でき、回路の保護性能を向上できる。

特表２００５−５３６８７８号公報 特表２０１７−５０８２９１号公報

シート状の保護材を用いた接触式のコインスタック容器と、リング状のスペーサを用いた非接触器のコインスタック容器を、共通の装置でアンパッキング／パッキングができれば利便性が高い。しかし、これらのコインスタック容器は、容器の仕様も異なるし、保護材も異なるため、全く同じ装置でアンパッキング／パッキングを行うことは困難である。

本発明の目的は、接触式及び非接触式の各コインスタック容器に対応して、アンパッキング／パッキングを行うことにある。

本発明によれば、例えば、
容器内に保護材と基板の積層体を形成する梱包動作、及び、容器内の前記積層体から前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作の各動作の際に、前記保護材を搬送する搬送手段と、
前記保護材が積載される保護材載置部と、
前記容器の容器本体部が載置される容器載置部と、
前記保護材の種類に対応した複数の動作モードのうち、選択された動作モードにて前記搬送手段を制御する制御手段と、
前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定手段と、
選択された前記動作モードと前記装着判定手段の判定結果との整合性を判定する整合性判定手段と、を備える、
ことを特徴とする搬送装置が提供される。

本発明によれば、接触式及び非接触式の各コインスタック容器に対応して、アンパッキング／パッキングを行うことができる。

本発明の一実施形態に係る搬送システムの斜視図。 図１の搬送システムの内部のレイアウトを示す平面図。 ロードポートの説明図。 容器の説明図。 容器の説明図。 スペーサ搬送装置の説明図。 容器載置装置の説明図。 容器載置装置の説明図。 保護材載置装置の説明図。 保護材搬送ロボットの説明図。 保持ユニットの説明図。 保持ユニットの説明図。 図１１の保持ユニットによる保持動作の説明図。 図１１の保持ユニットによる保持動作の説明図。 図１１の保持ユニットによる保持動作の説明図。 図１１の保持ユニットによる保持動作の説明図。 図１の搬送システムの制御装置のブロック図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 容器の説明図。 保護材搬送ロボットの一部の分解斜視図。 保持ユニットの説明図。 アダプタの説明図。 アダプタの説明図。 コントローラの入力ポートの説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 コントローラの処理例を示すフローチャート。 コントローラの別の処理例を示すフローチャート。 搬送システムの他のレイアウトの例を示す平面図。 搬送システムの他のレイアウトの例を示す平面図。 搬送システムの他のレイアウトの例を示す平面図。

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。図中、各図において、矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは鉛直方向を示す。

＜搬送システム＞
図１は本発明の一実施形態に係る搬送システム１の斜視図である。搬送システム１は、コインスタック容器のアンパッキングを行って、コインスタック容器内の基板（ここでは半導体ウエハ）をＦＯＵＰ等の容器に移載する機能を有する。また、搬送システム１は、ＦＯＵＰ等の容器から基板を搬出し、搬出した基板をコインスタック容器においてパッキングする機能を有する。すなわち、搬送システム１は、コインスタック容器のアンパッキング／パッキング（解梱動作／梱包動作）を行うパッキングシステムである。

搬送システム１は、基板の搬送機構を内蔵する基板搬送装置２と、複数のロードポート３と、基板のアライニングを行うアライニング装置４と、保護材の搬送機構を内蔵する保護材搬送装置５と、情報表示装置６とを含む。情報表示装置６は例えばタッチパネル式のディスプレイであり、搬送システム１に対する設定の入力を受け付けたり、搬送システム１の稼働情報等の表示を行うものである。

＜基板搬送装置＞
図２を参照して基板搬送装置２の構成について説明する。図２は搬送システム１の内部のレイアウトを示す平面図であり、基板搬送装置２は、搬送システム１の内部において基板を搬送する搬送機構を構成する。基板搬送装置２は、その内部空間２ａに設けられた基板搬送ロボット２０を備える。基板搬送ロボット２０は、Ｘ方向に延設された一対の案内部材２４の案内によってＸ方向に往復可能となっている。一対の案内部材２４は例えばレール部材であり、基板搬送ロボット２０の移動通路を画定する。

基板搬送ロボット２０は、水平多関節機構２１と、ベースユニット２２と、走行ユニット２３とを含む。走行ユニット２３は案内部材２４に沿ってＸ方向に移動する駆動機構を備える。この駆動機構は、例えば、モータ等の駆動源と、ベルト伝動機構やラック−ピニオン機構等の駆動伝達機構とを含む。ベースユニット２２は走行ユニット２３に搭載されており、水平多関節機構２１の昇降と旋回を行う駆動機構を備える。この駆動機構は、例えば、モータ等の駆動源と、ベルト伝動機構、ラック−ピニオン機構、歯車機構等の駆動伝達機構とを含む。水平多関節機構２１は、ハンド２１ａと、ハンド２１ａを水平方向に進退させるアームと、ハンド２１ａを表裏自在に反転させる機構と、それらの駆動機構を含む。この駆動機構は、例えば、モータ等の駆動源と、ベルト伝動機構等の駆動伝達機構とを含む。ハンド２１ａには、エアの吸引等によって基板を吸着する複数の吸着部が設けられており、基板の搬送の際、基板はハンド２１ａに吸着されて保持される。

本実施形態の場合、ロードポート３及び保護材搬送装置５は、基板搬送ロボット２０の移動通路（案内部材２４）の一側方に、当該移動通路に沿って並設されている。これによって、アンパッキング、パッキングの際に、保護材搬送装置５による保護材の搬送と、基板搬送装置２による基板の搬送とを交互に行うことができ、保護材の搬送と基板の搬送とを並行して行うことができるため、タクトタイムの低減を図ることができる。また、搬送システム１の共通側部において、コインスタック容器の搬入出と、ＦＯＵＰ等の容器の搬入出とを行うことができ、作業者の作業性も向上できる。

アライニング装置４は、基板搬送ロボット２０の移動通路（案内部材２４）の他側方に配置されている。この配置によりパッキングの際、基板搬送ロボット２０によって、ロードポート３（FOUP等の容器開閉装置）から基板を搬出し、アライニング装置４を経由して保護材搬送装置５へ基板を効率的に搬送することができる。

アライニング装置４は、保護材搬送装置５と対向する位置に配置される。これにより、基板搬送ロボット２０は、アライニング装置４から基板を搬出した後、背面側に反転するだけで、保護材搬送装置５に正対するため、Ｘ方向の位置決めが不要となり、位置ずれが生じるおそれはない。

＜ロードポート＞
図３を参照してロードポート３の構成について説明する。図３はロードポート３の部分概略側断面図である。ロードポート３は容器１００を開閉するオープナである。容器１００は、FOUP、FOSB、SMIFまたはオープンカセット等である。容器１００は、半導体ウエハである円形の基板Ｗを出し入れする開口部１０２を側部に有する箱状の容器本体１０１と、開口部１０２に着脱自在に装着され、開口部１０２を塞ぐ蓋（ドア）１０３と、を有する。なお、図３は、容器１００が蓋１０３で塞がれた閉位置と、ロードポート３により蓋１０３が開放された開位置（図３中に二点鎖線で図示）とを示している。

容器本体１００は、その開口部１０２が図３に示すように孔部３１１に対向した姿勢で搭載部３２に搭載される。基板搬送装置２の水平多関節機構２１は、孔部３１１、開口部１０２を介して容器本体１０１内の基板Ｗにアクセス可能となっている。

搭載部３２はテーブル状に設けられている。搭載部３２は容器１００が搭載される可動のドックプレート３２１を備え、このドックプレート３２１は不図示の移動機構により、壁体３１の孔部３１１に近接した位置（図３に示す位置）と、離間した位置とでＹ方向に進退自在に移動される。容器１００の搬送時にはドックプレート３２１は孔部３１１から離間した位置（後退位置）に、容器１００の開閉及び開放中にはドックプレート３２１は孔部３１１に近接した位置（前進位置）に、それぞれ移動される。

また、ロードポート３は開閉機構３３を備えており、開閉機構３３は、蓋１０３を保持する保持部（ポートドア）３３０と、ポートドア３３０を矢印方向ＡＹに進退させるとともに、後退位置において矢印方向ＡＺに昇降させる移動機構３３１とを備える。

以上の構成のロードポート３と基板搬送装置２とを上位コントローラにて協働制御することにより、基板Ｗが容器本体１０１外へ搬出され、また、基板Ｗが容器本体１０１内に搬入される。

＜アライニング装置＞
アライニング装置４は、図２に示すようにセンタリングユニット４０を含む。本実施の形態において挙げるセンタリングユニット４０は基板Ｗのセンタリングを行う装置であるが、これに限定するものではない。例えば、半導体製造装置で慣用的に用いられているアライナのように、基板Ｗのセンタリングとノッチ（又はオリエンテーションフラット）位置の調整を行うものであってもよい。

センタリングユニット４０は、本実施形態の場合、３つのチャック４４を備える。各チャック４４は、図示しないアクチュエータによって同期して開閉駆動される。センタリングユニット４０に載置された基板Ｗは、各チャック４４で把持されることで、心出し、すなわちセンタリングがなされる。

＜非接触式コインスタック容器＞
図４Ａはコインスタック容器である容器２００の説明図であり、その断面図である。容器２００は、容器本体部２０１と容器本体部２０１の蓋となるカバー２０２とを含む中空体である。保護材２０３と保護材２０３に載置された基板Ｗの積層体が容器２００内に収容される。この積層体は容器本体部２０１上に載置されており、容器本体部２０１の周壁によって径方向への移動が規制されている。容器本体部２０１の内部の底面には、後述する保持ユニット７１が保護材２０３を一括取り出しする際の干渉を防ぐための凹部２０１ａが形成されている。また、容器本体部２０１は、その底面に、後述する保護材２０３の凹部２０３ａに係合する凸部２０１ｃを備える。

保護材２０３は、基板Ｗの間に隙間を設けるためのスペーサであり、例えば樹脂製である。保護材２０３のことをスペーサと呼ぶ場合がある。スペーサ２０３は、基板Ｗの形状に沿った枠状の部材であり、本実施形態の場合、基板Ｗが円形であることから、スペーサ２０３は円環形状を有している。しかし、スペーサ２０３の形状はこれに限られず、基板Ｗ上の保護領域（回路形成部等）を避けた形状であれば、例えば、矩形や多角形であってもよい。スペーサ２０３の周縁部には、下面側に凹部２０３ａ、上面側に凸部２０３ｂおよび載置面２０３ｃが形成されている。凸部２０３ｂは凹部２０３ａと係合する環状突起である。最下段の保護材２０３の凹部２０３ａは前述した凸部２０１ｃに係合され、隣接する保護材２０３同士においては、下段側の保護材２０３の凸部２０３ｂが上段側の保護材２０３の凹部２０３ａと係合される。凹部２０３ａと凸部２０３ｂの係合によって、スペーサ２０３をより安定して積層することができる。載置面２０３ｃは、基板Ｗの周縁部が載置される環状の平面である。

このようにして基板Ｗ間にスペーサ２０３を介在させることで、基板Ｗの回路部分を他の基板Ｗやスペーサ２０３に接触させることなく、容器２００内に複数の基板Ｗを積み重ねることができる。

＜保護材搬送装置＞
図１、図２、図５を参照して保護材搬送装置５について説明する。図５は保護材搬送装置５の概略を示す図であり、外装パネルを取り外した状態を模式的に示している。保護材搬送装置５は保護材であるスペーサ２０３を搬送する装置である。本実施形態の場合、保護材搬送装置５はスペーサ２０３を保護材として用いた場合における保護材２０３の搬送の他、一部の部品の脱着によって、後述するシート状の保護材３０３も搬送することが可能である。シート状の保護材３０３のことをシート３０３と呼ぶ場合がある。

保護材搬送装置５は、複数の柱及び梁から構成されるフレーム５０を備え、このフレーム５０に各構成が支持されている。フレーム５０は、Ｚ方向に長い直方体形状の外形を有しており、その内部空間は、Ｘ方向に並んだ棚部５Ａとロボット収容部５Ｂとを有している。

（棚部の構成）
フレーム５０は、棚部５Ａの内部空間をＺ方向に区画する棚部材５０ａ〜５０ｃを含み、棚部材５０ａにより上段の載置部５１ａが、棚部材５０ｂにより中段の載置部５１ｂが、棚部材５０ｃにより下段の載置部５１ｃが形成されている。載置部５１ａ〜５１ｃを上下に配置することで、保護材搬送装置５のフットプリントを小さくすることができる。

各載置部５１ａ〜５１ｃには、図１に示すように搬送システム１の正面において、横開き式のドア５ａ〜５ｃが設けられている。各ドア５ａ〜５ｃには、アクリルパネルやガラスパネルで形成される透光性を有する窓５ａ’〜５ｃ’が形成されており、各載置部５１ａ〜５１ｃは外部から視認可能である。

載置部５１ａ及び５１ｂには、アンパッキング又はパッキングの対象となる容器２００が載置される。作業者はドア５ａ、５ｂを開放することで、載置部５１ａ及び５１ｂに対して容器２００の搬入、搬出が可能である。本実施形態の場合、容器２００は、カバー２０２を取り外した状態で、容器本体部２０１のみが載置部５１ａ及び５１ｂに載置される。しかし、搬送システム１にカバー取り外し機構を設け、カバー２０２が装着された容器２００を載置部５１ａ及び５１ｂに載置し、カバー２０２はカバー取り外し機構により、取り外すようにしてもよい。本実施形態の場合、２つの載置部５１ａ及び５１ｂを備えているが、１つでもよいし、３つ以上でもよい。

載置部５１ｃには、アンパッキング又はパッキングの際に、スペーサ２０３が載置される。つまり、スペーサ２０３の一時保管場所である。スペーサ２０３は載置部５１ｃに積載される。ドア５ｃを開放することで、作業者は載置部５１ｃからスペーサ２０３を搬出したり、また、載置部５１ｃにスペーサ２０３を搬入したりすることができる。このような作業は、例えば、スペーサ２０３の過不足が生じた場合等に行われる。

載置部５１ａ及び５１ｂには、それぞれ容器載置装置５２が設けられ、載置部５１ｃには保護材載置装置５３が設けられている。以下、容器載置装置５２、保護材載置装置５３について説明する。なお、以下、容器載置装置５２、保護材載置装置５３を単に載置装置５２、載置装置５３と呼ぶ場合がある。まず、載置装置５２について説明する。

図６は載置装置５２の斜視図、図７は容器本体部２０１が搭載された載置装置５２の斜視図である。載置装置５２は、ベースプレート５２０と、ベースプレート５２０をＹ方向に移動可能に支持する一対のガイド部材５２１とを含む。ガイド部材５２１は例えばスライドレールである。

ベースプレート５２０は、Ｙ方向の奥側が開放したＣ字型の外形を有し、Ｙ方向の手前側にはハンドル５２０ａが設けられている。容器本体部２０１を載置部５１ａ又は５１ｂに搬入する場合、或いは、載置部５１ａ又は５１ｂから搬出する際、作業者は、ドア５ａ又は５ｂを開放し、ハンドル５２０ａを把持して、載置部５１ａ又は５１ｂからベースプレート５２０を、図６及び図７の位置から、手前に引きだすことができる。このように、載置装置５２にスライド機構を設け、保護材搬送装置５に対してベースプレート５２０ごと出没自在に出し入れできるため、容器本体部２０１の搬入、搬出作業が容易である。

ベースプレート５２０には、複数のガイド部材５２０ｂが設けられている。これら複数のガイド部材５２０ｂの案内により、容器本体部２０１をベースプレート５２０上に載置した際、ベースプレート５２０に対して容器本体部２０１が大まかに位置決めされ、ガタツキが防止される。

ベースプレート５２０の開口部分には、昇降テーブル５２２が設けられている。昇降テーブル５２２は、その下方に配置された昇降機構５２３によってＺ方向に移動される。昇降テーブル５２２には、容器本体部２０１の位置決め用の複数のピン５２２ａが設けられている。ピン５２２ａは、キネマティックカップリングのための係合ピンであり、容器本体部２０１に設けられた係合部２０１ｂ（本実施形態の場合、谷型の溝）と係合し、昇降テーブル５２２に対して正確に容器本体部２０１を位置決めする。

昇降テーブル５２２には、センサ５２２ｂ、５２２ｃが設けられている。センサ５２２ｂは、容器本体部２０１が昇降テーブル５２２上に載置されているか否かを検出するセンサであり、本実施形態の場合、容器本体部２０１の自重によってＯＮ状態となる押しボタン式のスイッチである。センサ５２２ｃは後述するアダプタ５２８の脱着を検知するセンサである。アダプタ５２８は、後述するシート３０３を用いたコインスタック容器を用いる場合に装着される部材である。センサ５２２ｃは、本実施形態の場合、アダプタ５２８の自重によってＯＮ状態となる押しボタン式のスイッチ（在席センサ）である。

容器本体部２０１の搬入の際、昇降テーブル５２２は昇降機構５２３によってベースプレート５２０よりも低い退避位置に位置する。作業者がベースプレート５２０を引き出し、ベースプレート５２０に容器本体部２０１を載置した後、ベースプレート５２０を元の位置へ戻す。その後、昇降テーブル５２２は昇降機構５２３によって上昇され、ベースプレート５２０から容器本体部２０１を僅かに持ち上げる。この持ち上げの際に、ピン５２２ａが容器本体部２０１の係合部２０１ｂと係合して容器本体部２０１を位置決めすると共に、容器本体部２０１が昇降テーブル５２２上に支持される。なお、センサ５２２ｃは容器本体部２０１が昇降テーブル５２２上に支持されてもＯＮ状態とならないように配置されている。

載置装置５２の周辺には、容器本体部２０１内のスペーサ２０３及び基板Ｗの収容状態を検知するセンサ５２４、５２６、５２７がフレーム５０に支持されている。

センサ５２４は、レーザ測位センサであり、本実施形態では２つ設けられている。センサ５２４はブラケット５２５ａを介してフレーム５０に支持される反射ミラー５２５によりレーザの方向を屈曲させ、狙った位置を検知するようにしている。センサ５２４は、例えば、容器本体部２０１上のスペーサ２０３と基板Ｗの積層体の高さを検知する。センサ５２６は、カラーセンサであり、容器本体部２０１上のスペーサ２０３と基板Ｗの積層体の、最上層の部材の種類を判別するために用いられる。センサ５２７はレーザ測位センサであり、容器本体部２０１上に積載されるスペーサ２０３のみの積層体の高さを検知する。

次に、載置装置５３について説明する。図８は載置装置５３の斜視図である。載置装置５３はベースプレート５３０を備える。ベースプレート５３０には複数の位置決めピン５３１が立設されている。本実施形態では、位置決めピン５３１の数は３つである。

スペーサ２０３は、３つの位置決めピン５３１の内側において、ベースプレート５３０上に積載される。図４Ｂはベースプレート５３０上に積載されたスペーサ２０３の例を図示している。後述する積層体２０３Ｓの内の少なくとも一部のスペーサ２０３の外周面が位置決めピン５３１により位置決めされることで、ベースプレート５３０に対してスペーサ２０３の積層体が位置決めされる。ベースプレート５３０には、スペーサ２０３の内周部と重なる位置に開口部５３０ａが形成されている。位置決めピン５３１で位置決めするスペーサ２０３の数は、必ずしも積層体２０３を構成する全てのスペーサ２０３である必要はないが、もちろん全てのスペーサ２０３を位置決めするようにしてもよい。

ベースプレート５３０には、センサ５３２が設けられている。センサ５３２は後述するアダプタ５３４の脱着を検知するセンサである。アダプタ５３４は、後述するシート３０３の積層体を保持するための部材である。センサ５３２は本実施形態の場合、反射型の光学センサであり、ベースプレート５３０に設けた開口の下方に配置されている。

載置装置５３の周辺には、ベースプレート５３０上のスペーサ２０３の積載状態を検知するセンサ５３３が設けられている。センサ５３３はレーザ測位センサであり、ベースプレート５３０に積載されるスペーサ２０３の積層体の高さを検知する。センサ５３３はブラケット５３３ａを介してフレーム５０に支持される。

（ロボット収容部の構成）
ロボット収容部５Ｂには、保護材搬送ロボット７が設けられている。保護材搬送ロボット７は、スペーサ２０３を載置部５１ａ又は５１ｂと、載置部５１ｃとの間で搬送するロボットである。図１、図５、図９を参照して保護材搬送ロボット７について説明する。図９は保護材搬送ロボット７の説明図であり、その斜視図である。以下、保護材搬送ロボット７を単に搬送ロボット７と呼ぶ場合がある。

搬送ロボット７は、保持ユニット７０、保持ユニット７１及び移動ユニット７２を含む。保持ユニット７０、７１はいずれもスペーサ２０３を保持するユニットであり、移動ユニット７２は、保持ユニット７０、７１を支持し、これらを載置部５１ａ又は５１ｂと、載置部５１ｃとの間で移動するユニットである。本実施形態の場合、保持ユニット７０と保持ユニット７１はＺ方向に重なるように配置されている。これは、保護材搬送装置５のＸ方向及びＹ方向の小型化に寄与する。

移動ユニット７２は、保持ユニット７０を回動自在に支持する移動ユニット７２１と、保持ユニット７１を回動自在に支持する移動ユニット７２２と、移動ユニット７２１及び７２２を共に移動する移動ユニット７２０と、を含む。移動ユニット７２１及び７２２は、保持ユニット７０及び７１に個別のユニットであり、移動ユニット７２０は、保持ユニット７０及び７１に共通のユニットである。

移動ユニット７２０は、Ｚ方向に延びる柱部材７２００を含む。柱部材７２００の側部には、スライダ７２０２の移動を案内するガイド溝７２０１が設けられている。ガイド溝７２０１は、スライダ７２０２のＺ方向の移動を案内する。スライダ７２０２は、Ｘ方向に厚みを有する板状の部材であって、ガイド溝７２０１に沿って昇降する。駆動ユニット７２０５はスライダ７２０２を昇降する駆動機構の特に駆動源を含む。この駆動機構は、モータ等の駆動源と、駆動源の回転駆動をＺ方向の直線運動に変換し、スライダ７２０２に伝達する伝達機構（例えば、ボールねじ機構やベルト伝動機構）を含む。伝達機構の一部は柱部材７２００に内蔵される。

スライダ７２０２には、移動ユニット７２１を支持するベース部材７２０３と、移動ユニット７２２を支持するベース部材７２０４が固定されている。ベース部材７２０３、７２０４はいずれもＺ方向に厚みを有する板状の部材であり、スライダ７２０２に対して垂直にかつ、Ｚ方向に重なるように固定されている。スライダ７２０２の昇降により、移動ユニット７２１及び７２２、つまり、保持ユニット７０及び７１を共に昇降することができる。

移動ユニット７２１は、保持ユニット７０を水平方向に回動自在に支持するユニットである。移動ユニット７２１は、アーム部材７２１０と、アーム部材７２１０を回動自在に支持する回動支持部７２１１と、駆動ユニット７２１２とを含む。アーム部材７２１０は水平方向に延びる部材であり、その一端に保持ユニット７０が支持されており、その他端が回動支持部７２１１に支持されている。回動支持部７２１１は、Ｚ方向の回動中心軸Ｚ１回りにアーム部材７２１０を回動自在に支持する機構であり、アーム部材７２１０に接続される回転子と、ベース部材７２０３に固定され、回転子をＺ１軸回りに回転自在に支持する支持部とを含む。駆動ユニット７２１２は、モータ等の駆動源と、駆動源の駆動力を回動支持部７２１１の回転子へ伝達する伝達機構（例えばベルト伝動機構や歯車機構）とを含む。

移動ユニット７２２は、保持ユニット７１を水平方向に回動自在に支持するユニットである。移動ユニット７２２は、アーム部材７２２０と、アーム部材７２２０を回動自在に支持する回動支持部７２２１と、駆動ユニット７２２２とを含む。アーム部材７２２０は水平方向に延びる部材であり、その一端に保持ユニット７１が支持されており、その他端が回動支持部７２２１に支持されている。

回動支持部７２２１は、Ｚ方向の回動中心軸Ｚ１回りにアーム部材７２２０を回動自在に支持する機構であり、アーム部材７２２０に接続される回転子と、ベース部材７２０４に固定され、回転子をＺ１軸回りに回転自在に支持する支持部とを含む。駆動ユニット７２２２は、モータ等の駆動源と、駆動源の駆動力を回動支持部７２２１の回転子へ伝達する伝達機構（例えばベルト伝動機構や歯車機構）とを含む。

本実施形態の場合、移動ユニット７２１及び７２２はＺ方向にオフセットして配置され、かつ、同軸上の回動中心軸Ｚ１を有している。このため、保護材搬送装置５のＸ方向及びＹ方向の省スペース化、小型化が図れる。また、下側に位置する移動ユニット７２１では、駆動ユニット７２１２がベース部材７２０３の下側に配置され、上側に位置する移動ユニット７２２では、駆動ユニット７２２２がベース部材７０４の上側に配置されている。これにより、移動ユニット７２１及び７２２をＺ方向により近接して配置することができる。

本実施形態の場合、移動ユニット７２１及び７２２は、対応する保持ユニット７０及び７１を独立して９０度の範囲で水平方向に回動する。図５は、保持ユニット７０及び７１が棚部５Ａ内に位置する場合の回動位置を示している。この回動位置を作動位置と呼ぶ。図２は保持ユニット７０及び７１が作動位置から９０度回動して棚部５Ａ外に位置している回動位置を示している。この回動位置を昇降位置と呼ぶ。図２の矢印Ｄは、保持ユニット７０及び７１の回動方向を示している。

次に、保持ユニット７０、７１の構成について説明する。まず、保持ユニット７０について説明する。図１０は保持ユニット７０の説明図であり、アーム部材７２１０、回動支持部材７２１１と共に示した保持ユニット７０の斜視図である。

保持ユニット７０は、Ｚ方向に厚みを有する板状で矩形のベース部材７００と、ベース部材７００の四隅から放射状に延びる複数の支持部材７０１とを備える。各支持部材７０１の先端には吸着部７０２が支持されている。本実施形態の吸着部７０２は、不図示の負圧源に接続され、その下端の開口から空気を吸引するノズル部材である。４つの吸着部７０２は、スペーサ２０３（（本実施形態では上面２０３ｄ）を吸着するように、スペーサ２０３と同径の仮想円上に配置されている。４つの吸着部７０２で、一つのスペーサ２０３を水平姿勢で保持することができる。なお、吸着部７０２の数は４つ以外でもよい。また、スペーサ２０３の保持方式としては、吸着以外の保持方式（例えば、把持等）であってもよい。

次に、保持ユニット７１について説明する。図１１は保持ユニット７１の説明図であり、アーム部材７２２０、回動支持部材７２２１と共に示した保持ユニット７１の斜視図である。

ここで、本実施形態におけるアーム部材７２２０の構成について更に説明する。アーム部材７２２０は、本実施形態の場合、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとの二部材構成とされており、互いに脱着自在に接続されている。保持ユニット７１と先端側部材７２２０ｂは、一つの交換ユニットとなるアーム部材を構成している。後述するシート３０３を用いる場合、このアーム部材を単位として交換する。詳細は後述する。

次に、保持ユニット７１は、Ｚ方向に厚みを有する板状で円形のベース部材７１０と、ベース部材７１０から三方へ放射状に延びる３つの支持部材７１１とを備える。ベース部材７１０は、複数の吊り下げ軸７１０ａを介してアーム部材７２２０に接続されている。これにより、スペーサ２０３の積層体を一括して保持する際に、スペーサ２０３の積層体とアーム部材７２２０との干渉を回避することができる。

各支持部材７１１の先端には、変位ユニット７１２を介して係合部材７１３が支持されている。変位ユニット７１２は、係合部材７１３を、同図において矢印Ａ１で示すようにベース部材７１０の径方向（支持部材７１１の長手方向）に拡縮自在に変位させる。係合部材７１３が径方向外側に変位した位置を係合位置と呼び、内側に変位した位置を退避位置と呼ぶ。本実施形態の場合、変位ユニット７１２は支持部材７１１の長手方向に伸縮するエアシリンダである。

係合部材７１３は、合計で３つ設けられている。３つの係合部材７１３はベース部材７１０を中心とした仮想円上で周方向に等間隔（等角度）で設けられている。各係合部材７１３が係合位置に位置するとき、この仮想円はスペーサ２０３の内周円に相当し、したがって、３つの係合部材７１３はスペーサ２０３の周方向に等間隔で設けられている。

係合部材７１３は、Ｚ方向に延びる略直方体形状の外形を有する本体部７１３０を有する。本体部７１３０の外周部７１３０ａは、スペーサ２０３の積層体の内周面に沿った曲面を有している。係合部材７１３は、本体部７１３０の下端（外周部７１３０ａの下端）に、外側に延設される鍔状の係合部７１３１を有している。スペーサ２０３の積層体を一括して保持する際、係合部７１３１が最下層のスペーサ２０３に下側から当接し、積層体をすくい上げる。

図１２Ａ〜図１３Ｂは、保持ユニット７１によりスペーサ２０３の積層体２０３Ｓを一括して保持する動作の例を示している。スペーサ２０３の積層体２０３Ｓは、例えば、数十のスペーサ２０３を図４Ｂに示したように積層して形成される。積層体２０３Ｓは、載置部５１ａ又は５１ｂにおいて容器本体部２０１上に載置される場合と、載置装置５３のベースプレート５３０上に載置される場合がある。

保持ユニット７１は、図１２Ａに示すように、積層体２０３Ｓの上方に移動ユニット７３によって移動される。このとき、保持ユニット７１は作動位置に、保持ユニット７０は昇降位置に、それぞれ位置している。保持ユニット７１は、各係合部材７１３が退避位置に位置した状態で、移動ユニット７３によって図１２Ｂに示すように積層体２０３Ｓの内部空間に下降される。積層体２０３Ｓが容器本体部２０１上に載置されている場合、係合部７１３１は、凹部２０１ａ（図４Ａ参照）に進入する。積層体２０３Ｓがベースプレート５３０上に載置されている場合、係合部７１３１は、開口部５３０ａ（図４Ｂ、図８参照）に進入する。

図１３Ａは保持ユニット７１が下降された状態を、積層体２０３Ｓの上から見た図である。この状態から図１３Ｂに示すように、変位ユニット７１２を駆動し、係合部材７１３を係合位置へ変位させる。これにより、積層体２０３Ｓが、その内側から３つの保持部材７１３にて保持される。具体的には、積層体２０３Ｓの最下層のスペーサ２０３の下に係合部７１３１が入り込み、積層体２０３Ｓが３つの係合部７１３１に載置された状態になる。これによって、保持ユニット７１が積層体２０３Ｓを一括して持ち上げた状態のまま、移動させることが可能となり、積層体２０３Ｓが保持された状態となる。

また、本実施形態では、３つの係合部材７１３の各外周部７１３０ａが積層体２０３Ｓの内周面と当接する。これにより、積層体２０３Ｓの保持力が向上する。積層体２０３Ｓを構成する隣接するスペーサ２０３は、凸部２０３ｂと凹部２０３ａとの係合によって、互いに径方向に変位しづらくなっているが、外周部７１３０ａの高さ（Ｚ方向の高さ）が、積層体２０３Ｓの高さの２／３以上、好ましくは３／４以上であると、積層体２０３Ｓの全体をより安定して保持することができる。

＜制御装置＞
図１４は搬送システム１の制御装置８のブロック図である。制御装置８は、システム全体の制御を司るホストコントローラ８ａと、基板搬送装置２を制御するコントローラ８ｂと、ロードポート３を制御するコントローラ８ｃと、アライニング装置４を制御するコントローラ８ｄと、保護材搬送装置５を制御するコントローラ８ｅとを含み、これらは互いに通信可能に接続されている。コントローラ８ｂ〜８ｅは、例えば、ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）、センサやアクチュエータとＰＬＣとの間の信号を中継する入出力インタフェースを含む。ホストコントローラ８ａは、各コントローラ８ｂ〜８ｅとの通信により、これらの制御を行い、基板Ｗのアンパッキングやパッキングを実行する。

＜制御例＞
制御装置８による搬送システム１の制御例を説明する。ここでは、基板Ｗのアンパッキングとパッキングの例を説明する。まず、アンパッキングの例について説明する。

（アンパッキングの例）
アンパッキングの例について説明する。概説すると、アンパッキングは、載置部５１ａ又は５１ｂ上（載置装置５２上）の容器本体部２０１に載置されているスペーサ２０３及び基板Ｗの積層体から、スペーサ２０３と基板Ｗとを一つずつ交互に取り出す動作である。本実施形態では、保護材搬送ロボット７がスペーサ２０３を取り出し、載置部５１ｃへ積載する。また、基板搬送ロボット２０が基板Ｗを取り出し、ロードポート３上の容器１００へ基板Ｗを移載する。アンパッキングが進むにつれて載置部５１ｃにはスペーサ２０３の積層体２０３Ｓが形成される。最後に、保護材搬送ロボット７が積層体２０３Ｓを載置部５１ａ又は５１ｂ上の容器本体部２０１に一括して搬送する。この一括搬送によって、アンパッキングの効率化を図れる。

図１５Ａ〜図２２を参照して、アンパッキングの例について具体的に説明する。ここでは、載置部５１ａ上（載置装置５２上）の容器本体部２０１に載置されているスペーサ２０３及び基板Ｗの積層体をアンパッキングの対象とする。しかし、載置部５１ｂ上の容器本体部２０１に載置されているスペーサ２０３及び基板Ｗの積層体をアンパッキングの対象とする場合も同様の手順である。

図１５Ａ及び図１５Ｂは保護材搬送ロボット７が、スペーサ２０３及び基板Ｗの積層体から最上層のスペーサ２０３を取り出す工程を示している。図１５Ａの段階では、保護材搬送ロボット７の保持ユニット７０及び７１は昇降位置に位置している。

まず、図１５Ｂに示すように保護材搬送ロボット７を作動させ、保持ユニット７０を作動位置へ回動させ、最上層のスペーサ２０３上に位置させる。次に、保持ユニット７０を下降させて最上層のスペーサ２０３を保持した後、保持ユニット７０を上昇させるとともに回動させて図１６Ａに示すように保持ユニット７０を昇降位置に戻す。なお、保持ユニット７０の昇降の際には保持ユニット７１も共に昇降する。

この動作に続いて、基板搬送ロボット２０は水平多関節機構２１を伸展してハンド２１ａを基板Ｗ上に位置させ、ベースユニット２２により水平多関節機構２１を降下し、ハンド２１ａで基板Ｗを吸着する。その後、ベースユニット２２により水平多関節機構２１を上昇し、水平多関節機構２１を屈曲させて、基板Ｗを取り出す。続いて、ハンド２１aを１８０°回転させ基板Ｗを反転させた後、基板搬送ロボット２０を図１６Ｂに示すようにロードポート３に正対する位置まで走行させる。その後、基板搬送ロボット２０を作動させ、水平多関節機構２１を伸展させるとともに、ハンド２１ａをロードポート３上の容器１００内まで伸ばし、容器１００内に基板Ｗを移載する。容器１００の蓋はロードポート３によって予め開放されている。

基板搬送ロボット２０の動作に並行して、スペーサ２０３を保持した保持ユニット７０は図１７に示すように載置部５１ｃの高さまで下降される。そして、図１８に示すように保持ユニット７０が作動位置に回動され、保持ユニット７０が更に下降される。その際、保持ユニット７１は昇降位置のままである。その後、保持ユニット７０によるスペーサ２０３の保持が解除され、スペーサ２０３が載置部５１ｃ上（載置装置５３上）に移載される。その後、保持ユニット７０は再び昇降位置に回動される。

更に保護材搬送ロボット７を上昇させ、載置部５１ａの高さに位置させる。そして、基板搬送ロボット２０の走行開始とともに、次のスペーサ２０３の吸着、移載が行われる。

以降、同様の手順によって、スペーサ２０３は保護材搬送ロボット７により載置部５１ｃ上に移載され、基板Ｗは基板搬送ロボット２０により容器１００へ移載される。載置部５１ａ上の全ての基板Ｗ及びスペーサ２０３が取り出されると、載置部５１ｃ上には図１９に示すようにスペーサ２０３の積層体２０３Ｓが形成される。この積層体２０３Ｓは保護材搬送ロボット７により載置部５１ａ上の容器本体部２０１上に戻される。

まず、図２０に示すように、保持ユニット７１を下降させるとともに作動位置に回動させ、保持ユニット７１を積層体２０３Ｓの上方に位置させる。保持ユニット７０は昇降位置のままである。図２１に示すように保持ユニット７１を積層体２０３Ｓの内側に下降させ、積層体２０３Ｓを保持ユニット７１にて保持する。続いて、保持ユニット７１に保持された積層体２０３Ｓを載置部５１ａ上の容器本体部２０１へ一括して搬送する。具体的には、保持ユニット７１の上昇、昇降位置への回動、載置部５１ａの高さへの上昇、作動位置への回動が行われ、図２２に示すように容器本体部２０１の上方に保持ユニット７１及び積層体２０３Ｓが移動される。保持ユニット７１を容器本体部２０１内に下降させるとともに積層体２０３Ｓの保持を解除することで積層体２０３Ｓが容器本体部２０１に移載される。

以上により、アンパッキングの際の動作が完了する。なお、本実施形態では、図２１、図２２に示した積層体２０３Ｓの一括搬送の際、全てのスペーサ２０３を一括して搬送したが、複数回に分けて一括搬送してもよい。例えば、全部で２６個のスペーサ２０３からなる積層体２０３Ｓを容器本体部２０１へ戻す場合、まず半分（１３個）のスペーサ２０３からなる積層体２０３Ｓを搬送し、その後、残りの半分のスペーサ２０３からなる積層体２０３Ｓを搬送しても構わない。この場合も、スペーサ２０３を一個ずつ搬送する場合よりも、搬送効率を高められる。

また、本実施形態では、アンパッキングの際、容器本体部２０１上から載置部５１ｃへ全てのスペーサ２０３を搬送したが、容器本体部２０１に一個のスペーサ２０３を残しておいてもよい。何故なら、本実施形態では載置部５１ｃ上のスペーサ２０３を容器本体部２０１へ戻すところ、容器本体部２０１の最下層のスペーサ２０３は、その下に基板Ｗが存在せず、載置部５１ｃへ搬送する必要性が必ずしもないからである。容器本体部２０１の最下層のスペーサ２０３を載置部５１ｃへ搬送しないでおくことで、アンパッキング後にパッキングを行うときにおいて、１個のスペーサ２０３を載置部５１ｃから載置部５１ａへ移載する手間が省け、タクトタイムの低減を図ることができる。

（パッキングの例）
パッキングの例について説明する。概説すると、パッキングは、アンパッキングの逆の動作であり、載置部５１ａ又は５１ｂ上（載置装置５２上）の容器本体部２０１に、スペーサ２０３と基板Ｗとを一つずつ交互に積載する動作である。本実施形態では、まず、保護材搬送ロボット７が、載置部５１ａにおける容器本体部２０１からスペーサ２０３の積層体２０３Ｓを、載置部５１ｃ上へ一括して搬送する。この一括搬送によって、パッキングの効率化を図ることができる。次に、保護材搬送ロボット７が載置部５１ｃ上の積層体２０３Ｓからスペーサ２０３を一つ取り出し、容器本体部２０１に移載する。

基板搬送ロボット２０がロードポート３上の容器１００から基板Ｗを取り出し、アライナ４０へ、取り出した基板Ｗを受け渡す。基板Ｗはアライナ４０によってセンタリングされる。センタリングされた基板Ｗは、基板搬送ロボット２０によってアライナ４０から取り出され、容器本体部２０１に移載される。容器本体部２０１へのスペーサ２０３の移載と基板Ｗの移載とが交互に繰り返し行われて、容器本体部２０１にスペーサ２０３と基板Ｗの積層体が形成される。

図２３Ａ〜図２７Ｂを参照して、パッキングの例について具体的に説明する。ここでは、載置部５１ａ上（載置装置５２上）の容器本体部２０１に、スペーサ２０３及び基板Ｗの積層体を形成することを説明する。しかし、載置部５１ｂ上の容器本体部２０１にスペーサ２０３及び基板Ｗの積層体を形成する場合も同様の手順である。

容器本体部２０１上のスペーサ２０３の積層体２０３Ｓを載置部５１ｃに移載した後、載置部５１ｃ上の積層体２０３Ｓからスペーサ２０３を一つ取り出し、容器本体部２０１に移載する作業を行う。図２３Ａに示すように、積層体２０３Ｓ上に保持ユニット７１が位置するよう、保持ユニット７１が作動位置に回動される。このとき、保持ユニット７０は昇降位置のままである。保持ユニット７１を積層体２０３Ｓ内に下降させるとともに、変位ユニット７１２を駆動させて係合部材７１３を係合位置に伸長させる。これにより、各支持部材７１１により積層体２０３Ｓが保持される。その後、保持ユニット７１を上昇して図２３Ｂに示すように保持ユニット７１を昇降位置へ回動する。並行して、基板搬送ロボット２０がロードポート３上の容器１００から基板Ｗを取り出す準備を行う。

続いて、保持ユニット７１が載置部５１ｃの高さまで下降され、作業位置へ回動される。その後、図２４に示すように保持ユニット７１がベースプレート５３０における各位置決めピン５３１の内側に下降される。その後、保持ユニット７１による積層体２０３Ｓの保持が解除され、積層体２０３Ｓが載置部５１ｃ上に移載される。このようにして積層体２０３Ｓが一括搬送される。

続いて保持ユニット７０によってスペーサ２０３を一つ保持する動作に移る。保持ユニット７１を一旦積層体２０３Ｓの上方へ上昇させた後、保持ユニット７１は昇降位置へ回動させ、保持ユニット７０は作動位置へ回動させる。更に、図２５に示すように、保持ユニット７０をベースプレート５３０における各位置決めピン５３１の内側に下降させるとともに吸着を行い、積層体２０３Ｓの最上層のスペーサ２０３が保持ユニット７１で保持される。その後、保持ユニット７０を上昇させることで、最上段のスペーサ２０３が１個だけ保持される。

保持ユニット７０が昇降位置に回動された後、図２６に示すように、保持ユニット７０が容器本体部２０１の高さまで上昇される。図２７Ａに示すように、保持ユニット７０が作動位置へ回動され、更に、下降されることで容器本体部２０１上にスペーサ２０３が移載される。並行して、基板搬送ロボット２０がロードポート３上の容器１００から基板Ｗを取り出す。そして、アライナ４０へ、取り出した基板Ｗを受け渡す。基板Ｗはアライナ４０によってセンタリングされる。センタリングされた基板Ｗは、基板搬送ロボット２０によってアライナ４０から取り出され、図２７Ｂに示すように、基板搬送ロボット２０が容器本体部２０１に載置されているスペーサ２０３上に基板Ｗを移載する。

以降、同様の手順によって、スペーサ２０３は保護材搬送ロボット７により載置部５１ｃから容器本体部２０１へ移載され、基板Ｗは基板搬送ロボット２０により容器１００からアライナ４０を経由して容器本体部２０１へ移載されて、容器本体部２０１にスペーサ２０３と基板Ｗの積層体が形成される。本実施形態では、この後、作業者が容器本体部２０１を保護材搬送装置５から取り出し、カバー２０２を容器本体部２０１に装着することで、コインスタック容器２００のパッキングが完了となる。しかし、特にこの実施形態に限定するものではなく、保護材搬送装置５自体に、カバー２０２を容器本体部２０１に自動装着する機構を設けてもよい。この場合、パッキングが完了したコインスタック容器２００が保護材搬送装置５から取り出される。

なお、アンパッキングの場合と同様、図２３Ａ〜図２４に示した積層体２０３Ｓの一括搬送においては、全てのスペーサ２０３を一括して搬送せずに、複数回に分けて一括搬送してもよい。また、この一括搬送の際、容器本体部２０１上から載置部５１ｃへ全てのスペーサ２０３を搬送せず、容器本体部２０１に一つのスペーサ２０３を残しておいてもよい。

＜接触式コインスタック容器＞
本実施形態の保護材搬送装置５は、上述した非接触式のコインスタック容器２００以外に、接触式のコインスタック容器にも対応可能となっている。図２８は接触式のコインスタック容器である容器３００の説明図であり、その断面図である。容器３００は、容器本体部３０１と容器本体部３０１の蓋となるカバー３０２とを含む中空体である。保護材であるシート３０３と基板Ｗとが交互に積層された積層体が容器３００内に収容される。この積層体は容器本体部３０１上に載置されており、容器本体部２０１の周壁によって径方向への移動が規制されている。容器３００の底部と天部にはクッション３０４が設けられている。

シート３０３は、隣接する基板Ｗに全面的に接触するスペーサであり、例えば、紙製である。シート３０３は、基板Ｗの形状に沿って円形状を有しており、かつ、基板Ｗよりも直径が大きい。

＜シートへの対応＞
保護材搬送装置５は、容器３００のアンパッキング、パッキングを行う際に、一部の部品を交換或いは脱着することで、シート３０３や容器３００に対応することができる。

（保持ユニットの交換）
シート３０３に対応する場合、保持ユニット７１をシート３０３の保持に対応した保持ユニット７４に交換する。図２９は保持ユニット７１の交換構造の説明図であり、図３０は保持ユニット７４の説明図である。なお、保持ユニット７０はシート３０３の搬送には用いない。このため、シート３０３の搬送の際、保持ユニット７０は特に取り外す必要は無いが、取り外し可能に構成しておき、取り外すようにしてもよい。

本実施形態におけるアーム部材７２２０は、既に述べた通り、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとの二部材構成とされており、互いに脱着自在に接続されている。図２９は、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとを分離した状態を示している。根元側部材７２２０ａには位置決め部７２２０ｃが形成されている。本実施形態の場合、位置決め部７２２０ｃは凹部状に形成されており、その内周壁と底壁とに、先端側部材７２２０ｂの端部７２２０ｅを嵌め合わせることで、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとが位置決めされる。端部７２２０ｅは位置決め部７２２０ｃの形状に合致する形状を有している。位置決め部７２２０ｃにはねじ穴が形成されていて、複数のボルトＶによって根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとが固定される。

保持ユニット７４について説明する。保持ユニット７４は、Ｚ方向に厚みを有する板状で矩形のベース部材７４０と、ベース部材７４０から放射状に延びる複数の支持部材７４１とを備える。本実施形態の場合、支持部材７４１は６つ設けられている。各支持部材７４１の先端には吸着部７４２が支持されている。本実施形態の吸着部７４２は、不図示の負圧源に接続され、その下端の開口から空気を吸引するノズル部材である。６つの吸着部７４２は、シート３０３の上面を吸着するように、シート３０３よりも小径の仮想円上に配置されている。なお、吸着部７４２の数は６つ以外でもよい。また、シート３０３の保持方式としては、吸着以外の保持方式（例えば、ベルヌーイ効果やコアンダ効果を利用したチャック等）であってもよい。

保持ユニット７４が取り付けられる先端部材７２２０ｂ’は、クランク形状を有している。先端部材７２２０ｂ’の端部７２２０ｅ’は位置決め部７２２０ｃに合致する形状を有しており、先端側部材７２２０ｂと同様、複数のボルトＶによって根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂ’とが固定される。

保持ユニット７１は先端部材７２２０ｂと一体のアーム部材として一つの交換ユニットを構成している。また、保持ユニット７４は先端部材７２２０ｂ’と一体のアーム部材として一つの交換ユニットを構成している。

保持ユニット７１が取り付けられる先端部材７２２０ｂ及び保持ユニット７４が取り付けられる先端部材７２２０ｂ’には、それぞれ、センサ７２２３、７２２３’とセンサ７２２３、７２２３’の信号線が接続される中継コネクタ７２２４とが設けられている。センサ７２２３、７２２３’は、ブラケット７２２３ａ、７２２３ａを介して先端側部材７２２０ｂ、７２２０ｂ’に支持されている。センサ７２２３、７２２３’は、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂ又は７２２０ｂ’とが接続されているか否か、つまり、保持ユニット７１又は保持ユニット７４が装着されているか否かを検知するセンサである。本実施形態の場合、センサ７２２３、７２２３’は、根元側部材７２２０ａに設けた被検知片７２２０ｄを検知する光センサ（フォトインタラプタ）である。

中継コネクタ７２２４は、センサ７２２３、７２２３’を含む各種センサ部品の信号線が接続される複数の接続部Ｃ１と、中継コネクタ７２２４とコントローラ８ｅとを電気的に接続するハーネスが接続される接続部Ｃ２とを含む。各接続部Ｃ１の各端子と、接続部Ｃ２の各端子とは内部で電気的に接続されている。接続部Ｃ１は、保持ユニット７１の装着を検知するセンサ７２２３の信号線が接続される接続部と、保持ユニット７４の装着を検知するセンサ７２２３’の信号線が接続される接続部とを含み、各センサ７２２３、７２２３’の検知結果は、接続部Ｃ２の異なる端子からコントローラ８ｅへ出力される。

（容器のアダプタ）
容器３００をアンパッキング、パッキングの対象とする場合、容器本体部３０１をアダプタ５２８を介して載置装置５２に載置する。アダプタ５２８は載置装置５２の昇降テーブル５２２に装着される。図３１は載置装置５２の昇降テーブル５２２とアダプタ５２８の斜視図である。

アダプタ５２８は全体として矩形の板状の部材である。アダプタ５２８の底面にはピン５２２ａと係合する係合部（不図示）が形成されており、この係合部とピン５２２ａとの係合によってアダプタ５２８が位置決めされる。アダプタ５２８の上面には、容器本体部３０１をアダプタ５２８に位置決めする複数の位置決め部材５２８ａが設けられている。

また、アダプタ５２８には、複数のセンサドグ５２８ｂが設けられている。センサドグ５２８ｂはＺ方向に移動可能に支持されており、かつ、アダプタ５２８をＺ方向に貫通している。センサドグ５２８ｂは、昇降テーブル５２２のセンサ５２２ｂに対応する位置に配置されている。アダプタ５２８上に容器本体部３０１が載置されると、容器本体部３０１の自重によってセンサドグ５２８ｂが下方へ押し出され、センサ５２２ｂがＯＮ状態となる。つまり、センサドグ５２８ｂを介して、センサ５２２ｂが、アダプタ５２８上に容器本体部３０１が載置されているか否かを検出することができる。昇降テーブル５２２に対するアダプタ５２８の装着はセンサ５２２ｃによって検知される。

（シートのアダプタ）
本実施形態の場合、シート３０３は再利用せず、アンパッキングの際に廃棄する。パッキングの際には、シート３０３を新たに供給する。このため、載置装置５３には、シート３０３のマガジンとなるアダプタ５３４を装着する。図３２は載置装置５３とアダプタ５３４の斜視図である。

アダプタ５３４は、シート３０３の積層体が載置されるベースプレート５３４ａと、ベースプレート５３４ａに立設され、シート３０３の積層体を外側からガイドする複数のガイド部材５３４ｂとを備える。ベースプレート５３４ａには、載置装置５３の位置決めピン５３１と係合するとともに干渉を防ぐための切欠き５３４ａ’が形成されており、アダプタ５３４は位置決めピン５３１によって載置装置５３に対して位置決めされる。アダプタ５３４の装着はセンサ５３２によって検知される。

（コントローラの入力ポート）
後述するように、本実施形態では、保持ユニット７０、７４の装着、アダプタ５２８、５３４の脱着を自動判定する。そのため、コントローラ８ｅの入力ポートには、これらの検知結果が入力されるポートが割り当てられている。図３３は入力ポートの説明図である。

図３３の例では、入力ポートＰ１〜Ｐ５を例示している。例えば、入力ポートＰ１はセンサ７２２３の検知結果が入力されるポートであり、入力ポートＰ２はセンサ７２２３’の検知結果が入力されるポートであり、入力ポートＰ３、Ｐ４は載置部５１ａ、５１ｂの各センサ５２２ｃの検知結果が入力されるポートであり、入力ポートＰ５はセンサ５３２の検知結果が入力されるポートである。

（アンパッキングとパッキング）
容器３００のアンパッキング、パッキングについて説明する。まず、アンパッキングについて説明する。

容器３００のアンパッキングは、容器２００のアンパッキングと基本的に同じである。つまり、アンパッキングは、載置部５１ａ又は５１ｂ上（載置装置５２上）の容器本体部３０１に載置されているシート３０３及び基板Ｗの積層体から、シート３０３と基板Ｗとを一つずつ交互に取り出す動作である。但し、シート３０３は再利用せずに廃棄する。この動作を図３４、図３５を参照して説明する。

図３４は、載置部５１ａ上の容器本体部３０１からシート３０３を取り出す動作を示している。容器本体部３０１はアダプタ５２８を介して載置装置５２上に載置されている。保護材搬送ロボット７には、保持ユニット７１に代えて保持ユニット７４が装着されている。容器本体部３０１からシート３０３を取り出す際、保持ユニット７４は移動ユニット７２によって作動位置に回動されて容器本体部３０１の上方に位置した後、下降されて最上層のシート３０３を吸着保持する。

続いて保持ユニット７４は図３４に示すように上昇されて、保持しているシート３０３を廃棄する動作に移る。シート３０３は、作業者により予め搬送システム１内に設置される廃棄箱９０へ投入される。廃棄箱９０の上側には、投入されるシート３０３を廃棄箱９０へ案内する案内板（シュート）９１が作業者により予め設置されている。

図３４の状態から、シート３０３を保持した保持ユニット７４は、移動ユニット７２によって昇降位置に回動された後、下降される。図３５に示すように、保持ユニット７０を作業位置に回動して、保持ユニット７４の下方空間を開放した後、保持ユニット７４がシート３０３の保持を解除する。シート３０３は案内板９１上に自然落下し、廃棄箱９０に回収される。

次に、パッキングについて説明する。容器３００のパッキングも、容器２００のパッキングと基本的に同じである。つまり、パッキングは、載置部５１ａ又は５１ｂ上（載置装置５２上）の容器本体部３０１に、シート３０３と基板Ｗとを一つずつ交互に積載する動作である。但し、シート３０３は新しいシートを供給する。この動作を図３６を参照して説明する。

載置装置５３にはアダプタ５３４を介して新規のシート３０３の積層体３０３Ｓが準備されている。保護材搬送ロボット７には、保持ユニット７４によって、積層体３０３Ｓから最上層のシート３０３を取り出し、容器本体部３０１へ搬送する。保持ユニット７４は移動ユニット７２によって作動位置に回動されて積層体３０３Ｓの上方に位置した後、下降されて最上層のシート３０３を吸着保持する。続いて保持ユニット７４は図３６に示すように上昇されて、保持しているシート３０３を容器本体部３０１へ搬送する動作に移る。シート３０３の容器本体部３０１への搬送はスペーサ２０３の搬送の場合と同様である。

以上により、本実施形態によれば、接触式及び非接触式の各コインスタック容器に対応して、アンパッキング／パッキングを行うことができる。

＜部品の整合性の自動判定＞
上記の通り、本実施形態の保護材搬送装置５では、一部の部品の交換、脱着により接触式及び非接触式の各コインスタック容器に対応可能である。部品の交換、脱着は作業者が行うため、使用するコインスタック容器の種類（換言すると保護材の種類）と、部品が整合していないと、アンパッキング／パッキングの動作が適切に行われない。そこで、本実施形態では部品の整合性を自動判定する。図３７はその処理例を示すフローチャートであり、保護材搬送装置５を制御するコントローラ８ｅが実行する処理例を示している。

図３７は、保護材搬送装置５の動作モードを作業者が事前設定する処理例を示している。Ｓ１では動作モードの設定を受け付ける。設定方法はどのような方法でもよいが、本実施形態では、情報表示装置６に動作モードの種類を表示し、作業者が選択可能としている。図３７にはその表示例も図示されている。図示の例では、４種類の動作モードが示されている。

「リング：パッキング」は、非接触式のコインスタック容器２００に対するパッキングを行う動作モードであり、保護材の種類はスペーサ２０３である。「リング：アンパッキング」は、非接触式のコインスタック容器２００に対するアンパッキングを行う動作モードであり、保護材の種類はスペーサ２０３である。「シート：パッキング」は、接触式のコインスタック容器３００に対するパッキングを行う動作モードであり、保護材の種類はシート３０３である。「シート：アンパッキング」は、接触式のコインスタック容器３００に対するアンパッキングを行う動作モードであり、保護材の種類はシート３０３である。

作業者がいずれかの動作モードを選択すると、Ｓ２で装着判定を行う。ここでは、保護材の種類に対応した、保護材搬送ロボット７、載置部５１ａ〜５１ｃの構成部品の脱着を判定する。具体的には、保護材搬送ロボット７については、保持ユニット７１と保持ユニット７４のどちらが装着されているかを判定する。載置部５１ａ、５１ｂについてはアダプタ５２８の脱着を判定する。載置部５１ｃについてはアダプタ５３４の脱着を判定する。これらの判定は、入力ポートＰ１〜Ｐ５に入力される各センサ７２２３、７２２３’、５２２ｃ、５２２ｃ、５３２の検知結果から行うことができる。

Ｓ３では、Ｓ１で選択された動作モードとＳ２の装着判定の結果とを照合してその整合性を判定する。各動作モードと、正常な部品の状態の関係は以下の通りである。
○「リング：パッキング」
保持ユニット７１を装着、アダプタ５２８、５３４を非装着
○「リング：アンパッキング」
保持ユニット７１を装着、アダプタ５２８、５３４を非装着
○「シート：パッキング」
保持ユニット７４を装着、アダプタ５２８、５３４を装着
○「シート：アンパッキング」
保持ユニット７４を装着、アダプタ５２８、５３４を装着
なお、「シート：アンパッキング」モードにおいては、アダプタ５３４の脱着は不問としてもよい。

Ｓ４ではＳ３の整合性判定の結果が整合であるか否かにより、その後の処理を分岐する。整合している場合はＳ５へ進み、選択された動作モードでの保護材搬送装置５の動作が許可される。その後、作業者の動作開始指示により、選択された動作モードでの搬送動作等が開始される。整合していない場合はＳ６へ進み、作業者に部品の脱着に誤りがあることが報知されると共に、選択された動作モードでの保護材搬送装置５の動作が禁止される。報知は、例えば、表示や音声で行うことができる。表示の場合、情報表示装置６に表示してもよい。

以上の処理により、コインスタック容器及び保護材の種類に対応しつつ、動作モードに対応した部品の取り違えを防止できる。なお、本実施形態では、シート３０３を使用する場合に、アダプタ５２８、５３４を使用するようにしており、デフォルトの保護材の種類はスペーサ２０３とした。しかし、デフォルトの保護材をシート３０３とし、スペーサ２０３、つまり、非接触式のコインスタック容器のアンパッキング／パッキングを行う場合にアダプタを装着する構成であってもよい。

また、図３７の例では、選択された動作モードの種類と、部品の脱着との間の整合性を判定するようにしたが、部品間の整合性を判定するようにしてもよい。図３８はその処理例を示すフローチャートであり、コントローラ８ｅが実行する処理例である。

Ｓ１１では予め定めた判定タイミングか否かを判定する。判定タイミングは、例えば、アンパッキングやパッキングの動作開始指示があった場合や、システムの起動時等である。

Ｓ１２では装着判定を行う。図３７のＳ２と同じ処理である。Ｓ１３では部品間の整合性判定を行う。ここでは、例えば、以下の組合せを整合しているとする。
○保持ユニット７１を装着、アダプタ５２８、５３４を非装着
○保持ユニット７４を装着、アダプタ５２８、５３４を装着
例えば、保持ユニット７１の装着が検知され、アダプタ５２８の装着も検知された場合は、整合していないと判定される。また、例えば、保持ユニット７４の装着が検知され、アダプタ５２８の装着が検知されない場合は、整合しないと判定される。

Ｓ１４ではＳ１３の整合性判定の結果が整合であるか否かにより、その後の処理を分岐する。整合している場合はＳ１５へ進み、保護材搬送装置５の動作を許可する。整合していない場合はＳ１６へ進み、図３７のＳ６と同様の処理を行う。

＜搬送システムの他のレイアウトの例＞
（保持ユニットと移動ユニット）
上記実施形態では、保持ユニット７０と保持ユニット７１とで、これらを上下に移動する移動ユニット７２０を共通とした保護材搬送装置５を例示したが、移動ユニット７２０を保持ユニット７０、７１に個別に設けることも可能である。図３９はその一例を示す。図３９の例は棚部５ＡのＸ方向の両側にロボット収容部５Ｂをそれぞれ配置している。

２つのロボット収容部５Ｂの一方には、保持ユニット７０と、その回動を行う移動ユニット７２１と、移動ユニット７２１の上下の移動を行う移動ユニット７２０とが設けられており、他方には保持ユニット７１と、その回動を行う移動ユニット７２２と、移動ユニット７２２の上下の移動を行う移動ユニット７２０とが設けられている。この例では、移動ユニット７０、７１を独立して回動するだけでなく、独立して昇降することができる。そして、保持ユニット７０、７１が共通の棚部５Ａ内のスペーサ２０３にアクセスすることができる。

（載置部の配置）
上記実施形態では、載置部５１ａ及び５１ｂに対して、載置部５１ｃを下方に配置したが、載置部５１ｃを載置部５１ａ、５１ｂの上方に配置してもよい。また、載置部５１ｃを載置部５１ａと載置部５１ｂとの間に配置してもよい。

また、載置部５１ｃを、載置部５１ａ、５１ｂに対して、横方向にオフセットして配置してもよい。図４０、図４１はその一例を示す。

図４０は、載置部５１ｃを、保持ユニット７０、７１の回動範囲内で、載置部５１ａ、５１ｂに対して横方向にオフセットした例を示しており、載置部５１ｃの配置は破線で図示されている。載置部５１ｃの、載置部５１ａ、５１ｂに対する上下方向のオフセットについては、一方の載置部５１ａ、５１ｂと同じ高さに載置部５１ｃを配置してもよいし、いずれの載置部５１ａ、５１ｂと異なる高さに載置部５１ｃを配置してもよい。

二点鎖線で図示する載置部５１ｃは、保持ユニット７０、７１の昇降位置における上下の移動軌道上にある。しかし、載置部５１ｃの横方向の配置はこれに限られない。例えば、回動中心軸Ｚ１回りの保持ユニット７０、７１の回動可能範囲を一点鎖線で示す軌道Ｒとすると、軌道Ｒ上の任意の位置を適宜選択でき、選択した位置に対応して周辺の構成を設計すればよい。この場合も、載置部５１ｃの、載置部５１ａ、５１ｂに対する上下方向のオフセットについては、一方の載置部５１ａ、５１ｂと同じ高さに載置部５１ｃを配置してもよいし、いずれの載置部５１ａ、５１ｂと異なる高さに載置部５１ｃを配置してもよい。

図４１の例は、載置部５１ａ〜５１ｃを同じ高さで横並びに配置した例を示している。図示の例では、載置部５１ａ〜５１ｃをＸ方向に横並びに配置し、載置部５１ａと載置部５１ｂとの間に、載置部５１ｃを配置している。しかし、載置部５１ａ〜５１ｃの配置方向や配置順序はこれに限られない。

図４１の例では、保護材搬送ロボット７がＸ方向に往復できる構成（移動ユニット７２３）を更に備えている。移動ユニット７２３は、Ｘ方向に延びるレール状の一対の案内部材７２３ａに沿ってＸ方向に移動する走行体である。移動ユニット７２３の駆動機構は、モータ等の駆動機構と、ボールねじ機構やベルト伝動機構等の駆動力伝達機構とから構成することができる。

移動ユニット７２０は移動ユニット７２３に搭載されており、また、移動ユニット７２１、７２２は移動ユニット７２０によって昇降される。したがって、保持ユニット７０、７１は、移動ユニット７２１、７２２による回動と、移動ユニット７２０による昇降と、移動ユニット７２３によるＸ方向の水平移動と、が可能である。図４１における保持ユニット７０、７１の位置は、上記実施形態の昇降位置に相当し、一対の案内部材７２３ａの上方の位置である。図４１の例における保持ユニット７０、７１の作動位置は、図４１に図示の位置から９０度反時計回りに回動した、載置部５１ａ、５１ｂ又は５１ｃの上方の位置である。

図４０や図４１に図示したレイアウトにおいても、上記実施形態と同様に、アンパッキング、パッキングを行うことができる。

以上、発明の実施形態について説明したが、発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。従って、本発明の範囲を公にするために、以下の請求項を添付する。

Claims (18)

1. 容器内に保護材と基板の積層体を形成する梱包動作、及び、容器内の前記積層体から前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作の各動作の際に、前記保護材を搬送する搬送手段と、
   前記保護材が積載される保護材載置部と、
   前記容器の容器本体部が載置される容器載置部と、
   前記保護材の種類に対応した複数の動作モードのうち、選択された動作モードにて前記搬送手段を制御する制御手段と、
   前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定手段と、
   選択された前記動作モードと前記装着判定手段の判定結果との整合性を判定する整合性判定手段と、を備える、
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 請求項１に記載の搬送装置であって、
   前記保護材の種類は、シートと枠状のスペーサであり、
   前記搬送手段は、
   一つの前記スペーサを保持する第一の保持手段と、
   前記搬送手段を構成する前記部品として、選択的に装着される第二の保持手段と、を備え、
   前記第二の保持手段は、
   前記シートを保持するシート保持手段か、又は、
   積層された複数の前記スペーサを一括して保持するスペーサ保持手段であり、
   前記装着判定手段は、前記シート保持手段と前記スペーサ保持手段とのどちらが装着されているかを判定する、
   ことを特徴とする搬送装置。
3. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記スペーサ保持手段は、
   積層された前記スペーサを内側から保持する複数の保持部材と、
   前記複数の保持部材を支持し、拡縮自在に変位させる変位手段と、を備え、
   それぞれの前記保持部材は、その下端に、外側に延設される鍔状の係合部を、を備える、
   ことを特徴とする搬送装置。
4. 請求項３に記載の搬送装置であって、
   前記スペーサが円環形状を有し、
   前記複数の保持部材は、前記スペーサの周方向に等間隔で配置され、
   それぞれの前記保持部材は、積層された前記スペーサの内周面に沿って当接する外周部を含み、該外周部の下端に前記係合部を有する、
   ことを特徴とする搬送装置。
5. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記搬送手段は、
   前記第一の保持手段を回動自在に支持する第一の移動ユニットと、
   前記第二の保持手段を回動自在に支持する第二の移動ユニットと、
   前記第一の移動ユニット及び前記第二の移動ユニットをともに移動する第三の移動手段と、を含み、
   前記第三の移動手段は、前記第一の移動ユニット及び前記第二の移動ユニットを上下に移動させ、
   前記第一の移動ユニット及び前記第二の移動ユニットは、上下方向にオフセットして配置され、かつ、それぞれの回動の中心軸を同軸上に配置した、
   ことを特徴とする搬送装置。
6. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記シート保持手段の装着を検知するセンサを、前記装着判定手段に電気的に接続するための第一の接続手段を備え、
   前記スペーサ保持手段の装着を検知するセンサを、前記装着判定手段に電気的に接続するための第二の接続手段を備え、
   前記装着判定手段は、
   前記第一の接続手段からの電気信号が入力される第一の入力ポート、及び、前記第二の接続手段からの電気信号が入力される第二の入力ポートを備え、かつ、
   前記第一の入力ポートまたは前記第二の入力ポートのどちらに電気信号が入力されたかによって、前記シート保持手段または前記スペーサ保持手段のどちらの装着かを判定する、
   ことを特徴とする搬送装置。
7. 請求項５に記載の搬送装置であって、
   前記第二の移動ユニットは、前記第二の保持手段を位置決めする位置決め部を備える、
   ことを特徴とする搬送装置。
8. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記シート保持手段は、前記シートの上面を吸着する複数の吸着部を備える、
   ことを特徴とする搬送装置。
9. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記第一の保持手段は、
   前記スペーサの上面を吸着する複数の吸着部を備える、
   ことを特徴とする搬送装置。
10. 請求項１に記載の搬送装置であって、
    前記保護材の種類は、シートと枠状のスペーサであり、
    前記保護材載置部を構成する前記部品として、着脱自在なアダプタを備え、
    前記保護材載置部には、前記アダプタを装着しない場合に、前記シート又は前記スペーサの一方が積載可能であり、
    前記保護材載置部には、前記アダプタを装着することで、前記シート又は前記スペーサの他方が積載可能であり
    前記装着判定手段は、前記アダプタの装着の有無を判定する、
    ことを特徴とする搬送装置。
11. 請求項１に記載の搬送装置であって、
    前記保護材の種類は、シートと枠状のスペーサであり、
    前記容器載置部を構成する前記部品として、着脱自在なアダプタを備え、
    前記容器載置部には、前記アダプタを装着しない場合に、前記シート用の容器本体部又は前記スペーサ用の容器本体部の一方が積載可能であり、
    前記容器載置部には、前記アダプタを装着することで、前記シート用の容器本体部又は前記スペーサ用の容器本体部の他方が載置可能であり
    前記装着判定手段は、前記アダプタの装着の有無を判定する、
    ことを特徴とする搬送装置。
12. 請求項１に記載の搬送装置であって、
    前記整合性判定手段が、整合しないと判定した場合に、これを報知する報知手段を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
13. 請求項１に記載の搬送装置であって、
    前記制御手段は、前記整合性判定手段が整合すると判定したことを条件として、前記搬送手段を動作させる、
    ことを特徴とする搬送装置。
14. 容器内に保護材と基板の積層体を形成する梱包動作、及び、容器内の前記積層体から前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作の各動作の際に、複数種類の中から選択される前記保護材に対応して動作モードが設定される制御手段と、
    選択された前記保護材に対応して脱着され、該保護材が載置される保護材載置部材と、
    選択された前記保護材に対応して脱着され、前記容器の容器本体部が載置される容器載置部材と、
    選択された前記保護材に対応して選択され、前記保護材を保持するアーム部材を含み、該保護材を搬送する搬送手段と、
    前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および装着されている前記アーム部材の種類を判定する装着判定手段と、
    前記装着判定手段による前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および前記アーム部材の種類の整合性を判定する整合性判定手段と、を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
15. 容器本体部に保護材と基板の積層体を形成した後、該容器本体部に容器カバーを被せる梱包動作を行う装置の制御方法であって、
    前記装置は、
    前記保護材を搬送する搬送手段と、
    前記保護材が積載される保護材載置部と、
    前記容器本体部が載置される容器載置部と、を備え、
    前記制御方法は、
    前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定工程と、
    前記保護材の種類に対応して設定される動作モードの設定と前記装着判定工程の判定結果との整合性を判定する整合性判定工程と、
    前記整合性判定工程において整合性が肯定されたとき、設定された前記動作モードで前記梱包動作を行うべく、前記装置を制御する制御工程と、を備える、
    ことを特徴とする制御方法。
16. 容器本体部に保護材と基板の積層体を形成した後、該容器本体部に容器カバーを被せる梱包動作を行う装置の制御方法であって、
    前記装置は、
    前記保護材の種類に対応して脱着され、該保護材が載置される保護材載置部材と、
    前記保護材の種類に対応して脱着され、前記容器本体部が載置される容器載置部材と、
    前記保護材の種類に対応して選択され、前記保護材を保持するアーム部材を含み、該保護材を搬送する搬送手段と、を備え、
    
    前記制御方法は、
    前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および装着されている前記アーム部材の種類を判定する装着判定工程と、
    前記装着判定工程による前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および前記アーム部材の種類の整合性を判定する整合性判定工程と、
    前記整合性判定工程において整合性が肯定されたとき、前記梱包動作を行うべく、前記装置を制御する制御工程と、を備える、
    ことを特徴とする制御方法。
17. 保護材と基板の積層体が収容される容器から容器カバーを取り外した後、前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作を行う装置の制御方法であって、
    前記装置は、
    前記保護材を搬送する搬送手段と、
    前記保護材が積載される保護材載置部と、
    前記容器の容器本体部が載置される容器載置部と、を備え、
    前記制御方法は、
    前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定工程と、
    前記保護材の種類に対応して設定される動作モードの設定と前記装着判定工程の判定結果との整合性を判定する整合性判定工程と、
    前記整合性判定工程において整合性が肯定されたとき、設定された前記動作モードで前記解梱動作を行うべく、前記装置を制御する制御工程と、を備える、
    ことを特徴とする制御方法。
18. 保護材と基板の積層体が収容される容器から容器カバーを取り外した後、前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作を行う装置の制御方法であって、
    前記装置は、
    前記保護材の種類に対応して脱着され、該保護材が載置される保護材載置部材と、
    前記保護材の種類に対応して脱着され、前記容器の容器本体部が載置される容器載置部材と、
    前記保護材の種類に対応して選択され、前記保護材を保持するアーム部材を含み、該保護材を搬送する搬送手段と、を備え、
    前記制御方法は、
    前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および装着されている前記アーム部材の種類を判定する装着判定工程と、
    前記装着判定工程による前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および前記アーム部材の種類の整合性を判定する整合性判定工程と、
    前記整合性判定工程において整合性が肯定されたとき、前記解梱動作を行うべく、前記装置を制御する制御工程と、を備える、
    ことを特徴とする制御方法。

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