KR20200143485A - 반송 장치 및 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

반송 장치는, 용기 내에 보호재와 기판의 적층체를 형성하는 패킹 동작, 및 용기 내의 상기 적층체로부터 상기 보호재와 상기 기판을 교대로 취출하는 언패킹 동작의 각 동작시에, 상기 보호재를 반송하는 반송 수단과, 상기 보호재가 적재되는 보호재 안착부와, 상기 용기의 용기 본체부가 놓이는 용기 안착부와, 상기 보호재의 종류에 대응한 복수의 동작 모드 중, 선택된 동작 모드로 상기 반송 수단을 제어하는 제어 수단과, 상기 보호재의 종류에 대응하여 선택되고, 또한 상기 반송 수단, 상기 보호재 안착부 및 상기 용기 안착부를 구성하는 각 부품의 탈착을 판정하는 장착 판정 수단과, 선택된 상기 동작 모드와 상기 장착 판정 수단의 판정 결과의 정합성을 판정하는 정합성 판정 수단을 구비한다.

Description

반송 장치 및 제어 방법
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 언패킹/패킹하는 기술에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼의 반송 용기로서 코인 스택 용기가 제안되어 있다. 코인 스택 용기에는, 반도체 웨이퍼와 보호재가 교대로 겹쳐 수용된다. 코인 스택 용기로부터 반도체 웨이퍼를 반출하는 경우(언패킹), 보호재와 반도체 웨이퍼를 교대로 반출하는 것이 필요해진다. 또한, 코인 스택 용기에 보호재와 반도체 웨이퍼를 수용하는 경우(패킹), 용기 내에 보호재와 반도체 웨이퍼를 교대로 반입할 필요가 있다. 특허문헌 1에는, 시트형상의 보호재를 이용한 코인 스택 용기에 대해, 언패킹과 패킹을 자동화하는 장치가 개시되어 있다.
한편, 반도체 웨이퍼에 형성된 회로의 보호 성능을 향상시키기 위해, 비접촉식의 코인 스택 용기가 제안되어 있다. 특허문헌 2에는, 보호재로서 링형상의 스페이서를 이용한 것이 개시되어 있다. 반도체 웨이퍼에 형성된 회로와 보호재의 접촉을 회피할 수 있어, 회로의 보호 성능을 향상시킬 수 있다.
특허문헌 1: 일본공표특허 2005-536878호 공보 특허문헌 2: 일본공표특허 2017-508291호 공보
시트형상의 보호재를 이용한 접촉식의 코인 스택 용기와, 링형상의 스페이서를 이용한 비접촉기의 코인 스택 용기를, 공통의 장치로 언패킹/패킹이 가능하면 편리성이 높다. 그러나, 이들 코인 스택 용기는, 용기의 사양도 다르고, 보호재도 다르기 때문에, 완전히 동일한 장치로 언패킹/패킹을 행하는 것은 곤란하다.
본 발명의 목적은, 접촉식 및 비접촉식의 각 코인 스택 용기에 대응하여, 언패킹/패킹을 행하는 것에 있다.
본 발명에 의하면, 예를 들어,
용기 내에 보호재와 기판의 적층체를 형성하는 패킹 동작, 및 용기 내의 상기 적층체로부터 상기 보호재와 상기 기판을 교대로 취출하는 언패킹 동작의 각 동작시에, 상기 보호재를 반송하는 반송 수단과,
상기 보호재가 적재되는 보호재 안착부와,
상기 용기의 용기 본체부가 놓이는 용기 안착부와,
상기 보호재의 종류에 대응한 복수의 동작 모드 중, 선택된 동작 모드로 상기 반송 수단을 제어하는 제어 수단과,
상기 보호재의 종류에 대응하여 선택되고, 또한 상기 반송 수단, 상기 보호재 안착부 및 상기 용기 안착부를 구성하는 각 부품의 탈착을 판정하는 장착 판정 수단과,
선택된 상기 동작 모드와 상기 장착 판정 수단의 판정 결과의 정합성(整合性)을 판정하는 정합성 판정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치가 제공된다.
본 발명에 의하면, 접촉식 및 비접촉식의 각 코인 스택 용기에 대응하여, 언패킹/패킹을 행할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 관한 반송 시스템의 사시도.
도 2는, 도 1의 반송 시스템의 내부의 레이아웃을 나타내는 평면도.
도 3은, 로드 포트의 설명도.
도 4a는, 용기의 설명도.
도 4b는, 용기의 설명도.
도 5는, 스페이서 반송 장치의 설명도.
도 6은, 용기 안착 장치의 설명도.
도 7은, 용기 안착 장치의 설명도.
도 8은, 보호재 안착 장치의 설명도.
도 9는, 보호재 반송 로봇의 설명도.
도 10은, 보유지지 유닛의 설명도.
도 11은, 보유지지 유닛의 설명도.
도 12a는, 도 11의 보유지지 유닛에 의한 보유지지 동작의 설명도.
도 12b는, 도 11의 보유지지 유닛에 의한 보유지지 동작의 설명도.
도 13a는, 도 11의 보유지지 유닛에 의한 보유지지 동작의 설명도.
도 13b는, 도 11의 보유지지 유닛에 의한 보유지지 동작의 설명도.
도 14는, 도 1의 반송 시스템의 제어 장치의 블록도.
도 15a는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 15b는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 16a는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 16b는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 17은, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 18은, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 19는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 20은, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 21은, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 22는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 23a는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 23b는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 24는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 25는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 26은, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 27a는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 27b는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 28은, 용기의 설명도.
도 29는, 보호재 반송 로봇의 일부의 분해 사시도.
도 30은, 보유지지 유닛의 설명도.
도 31은, 어댑터의 설명도.
도 32는, 어댑터의 설명도.
도 33은, 컨트롤러의 입력 포트의 설명도.
도 34는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 35는, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 36은, 도 1의 반송 시스템의 동작 설명도.
도 37은, 컨트롤러의 처리예를 나타내는 흐름도.
도 38은, 컨트롤러의 다른 처리예를 나타내는 흐름도.
도 39는, 반송 시스템의 다른 레이아웃의 예를 나타내는 평면도.
도 40은, 반송 시스템의 다른 레이아웃의 예를 나타내는 평면도.
도 41은, 반송 시스템의 다른 레이아웃의 예를 나타내는 평면도.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시형태를 자세하게 설명한다. 또, 이하의 실시형태는 청구범위에 관한 발명을 한정하는 것은 아니고, 또한 실시형태에서 설명되어 있는 특징의 조합 전부가 발명에 필수적인 것이라고는 할 수 없다. 실시형태에서 설명되어 있는 복수의 특징 중 2가지 이상의 특징이 임의로 조합되어도 된다. 또한, 동일 혹은 마찬가지의 구성에는 동일한 참조 번호를 부여하고, 중복된 설명은 생략한다. 도면 중, 각 도면에서, 화살표 X 및 Y는 서로 직교하는 수평 방향을 나타내고, 화살표 Z는 연직 방향을 나타낸다.
<반송 시스템>
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 반송 시스템(1)의 사시도이다. 반송 시스템(1)은, 코인 스택 용기의 언패킹을 행하여, 코인 스택 용기 내의 기판(여기서는 반도체 웨이퍼)을 FOUP 등의 용기로 이동 탑재하는 기능을 가진다. 또한, 반송 시스템(1)은, FOUP 등의 용기로부터 기판을 반출하고, 반출한 기판을 코인 스택 용기에서 패킹하는 기능을 가진다. 즉, 반송 시스템(1)은, 코인 스택 용기의 언패킹/패킹(언패킹 동작/패킹 동작)을 행하는 패킹 시스템이다.
반송 시스템(1)은, 기판의 반송 기구를 내장하는 기판 반송 장치(2)와, 복수의 로드 포트(3)와, 기판의 얼라이닝을 행하는 얼라이닝 장치(4)와, 보호재의 반송 기구를 내장하는 보호재 반송 장치(5)와, 정보 표시 장치(6)를 포함한다. 정보 표시 장치(6)는 예를 들어 터치 패널식의 디스플레이로서, 반송 시스템(1)에 대한 설정의 입력을 접수하거나, 반송 시스템(1)의 가동 정보 등의 표시를 행하는 것이다.
<기판 반송 장치>
도 2를 참조하여 기판 반송 장치(2)의 구성에 대해 설명한다. 도 2는 반송 시스템(1)의 내부의 레이아웃을 나타내는 평면도이며, 기판 반송 장치(2)는, 반송 시스템(1)의 내부에서 기판을 반송하는 반송 기구를 구성한다. 기판 반송 장치(2)는, 그 내부 공간(2a)에 설치된 기판 반송 로봇(20)을 구비한다. 기판 반송 로봇(20)은, X방향으로 연장 설치된 한 쌍의 안내 부재(24)의 안내에 의해 X방향으로 왕복 가능하게 되어 있다. 한 쌍의 안내 부재(24)는 예를 들어 레일 부재로서, 기판 반송 로봇(20)의 이동 통로를 획정한다.
기판 반송 로봇(20)은, 수평 다관절 기구(21)와, 베이스 유닛(22)과, 주행 유닛(23)을 포함한다. 주행 유닛(23)은 안내 부재(24)를 따라 X방향으로 이동하는 구동 기구를 구비한다. 이 구동 기구는, 예를 들어, 모터 등의 구동원과, 벨트 전동(傳動) 기구나 랙-피니언 기구 등의 구동 전달 기구를 포함한다. 베이스 유닛(22)은 주행 유닛(23)에 탑재되어 있고, 수평 다관절 기구(21)의 승강과 선회를 행하는 구동 기구를 구비한다. 이 구동 기구는, 예를 들어, 모터 등의 구동원과, 벨트 전동 기구, 랙-피니언 기구, 기어 기구 등의 구동 전달 기구를 포함한다. 수평 다관절 기구(21)는, 핸드(21a)와, 핸드(21a)를 수평 방향으로 진퇴시키는 아암과, 핸드(21a)를 안팎이 바뀌도록 자유롭게 반전시키는 기구와, 이들의 구동 기구를 포함한다. 이 구동 기구는, 예를 들어, 모터 등의 구동원과, 벨트 전동 기구 등의 구동 전달 기구를 포함한다. 핸드(21a)에는, 에어의 흡인 등에 의해 기판을 흡착하는 복수의 흡착부가 설치되어 있고, 기판의 반송시, 기판은 핸드(21a)에 흡착되어 보유지지된다.
본 실시형태의 경우, 로드 포트(3) 및 보호재 반송 장치(5)는, 기판 반송 로봇(20)의 이동 통로(안내 부재(24))의 일 측방에, 그 이동 통로를 따라 병설(竝設)되어 있다. 이에 따라, 언패킹, 패킹시에, 보호재 반송 장치(5)에 의한 보호재의 반송과, 기판 반송 장치(2)에 의한 기판의 반송을 교대로 행할 수 있고, 보호재의 반송과 기판의 반송을 병행하여 행할 수 있기 때문에, 택트 타임의 저감을 도모할 수 있다. 또한, 반송 시스템(1)의 공통 측부에서, 코인 스택 용기의 반입출과, FOUP 등의 용기의 반입출을 행할 수 있어, 작업자의 작업성도 향상시킬 수 있다.
얼라이닝 장치(4)는, 기판 반송 로봇(20)의 이동 통로(안내 부재(24))의 다른 측방에 배치되어 있다. 이 배치에 의해 패킹시, 기판 반송 로봇(20)에 의해, 로드 포트(3)(FOUP 등의 용기 개폐 장치)로부터 기판을 반출하고, 얼라이닝 장치(4)를 경유하여 보호재 반송 장치(5)로 기판을 효율적으로 반송할 수 있다.
얼라이닝 장치(4)는, 보호재 반송 장치(5)와 대향하는 위치에 배치된다. 이에 의해, 기판 반송 로봇(20)은, 얼라이닝 장치(4)로부터 기판을 반출한 후, 배면측으로 반전시키는 것만으로도, 보호재 반송 장치(5)에 정면으로 마주하기 때문에, X방향의 위치 결정이 불필요해지고, 위치 어긋남이 발생할 우려는 없다.
<로드 포트>
도 3을 참조하여 로드 포트(3)의 구성에 대해 설명한다. 도 3은 로드 포트(3)의 부분 개략 측단면도이다. 로드 포트(3)는 용기(100)를 개폐하는 오프너이다. 용기(100)는, FOUP, FOSB, SMIF 또는 오픈 카세트 등이다. 용기(100)는, 반도체 웨이퍼인 원형의 기판(W)을 출입하는 개구부(102)를 측부에 갖는 상자형의 용기 본체(101)와, 개구부(102)에 착탈이 자유롭게 장착되어, 개구부(102)를 막는 덮개(도어)(103)를 가진다. 또, 도 3은, 용기(100)가 덮개(103)로 막힌 폐쇄 위치와, 로드 포트(3)에 의해 덮개(103)가 개방된 개방 위치(도 3 중에 이점쇄선으로 도시)를 나타내고 있다.
용기 본체(100)는, 그 개구부(102)가 도 3에 도시된 바와 같이 구멍부(311)에 대향한 자세로 탑재부(32)에 탑재된다. 기판 반송 장치(2)의 수평 다관절 기구(21)는, 구멍부(311), 개구부(102)를 통해 용기 본체(101) 내의 기판(W)에 액세스 가능하게 되어 있다.
탑재부(32)는 테이블 형상으로 설치되어 있다. 탑재부(32)는 용기(100)가 탑재되는 가동의 도크 플레이트(321)를 구비하고, 이 도크 플레이트(321)는 도시하지 않은 이동 기구에 의해, 벽체(31)의 구멍부(311)에 근접한 위치(도 3에 도시된 위치)와, 이간된 위치에서 Y방향으로 진퇴가 자유롭게 이동된다. 용기(100)의 반송시에는 도크 플레이트(321)는 구멍부(311)로부터 이간된 위치(후퇴 위치)로, 용기(100)의 개폐 및 개방 중에는 도크 플레이트(321)는 구멍부(311)에 근접한 위치(전진 위치)로 각각 이동된다.
또한, 로드 포트(3)는 개폐 기구(33)를 구비하고 있고, 개폐 기구(33)는, 덮개(103)를 보유지지하는 보유지지부(포트 도어)(330)와, 포트 도어(330)를 화살표 방향(AY)으로 진퇴시킴과 아울러, 후퇴 위치에서 화살표 방향(AZ)으로 승강시키는 이동 기구(331)를 구비한다.
이상의 구성의 로드 포트(3)와 기판 반송 장치(2)를 상위 컨트롤러에서 협력 제어함으로써, 기판(W)이 용기 본체(101) 밖으로 반출되고, 또한 기판(W)이 용기 본체(101) 내에 반입된다.
<얼라이닝 장치>
얼라이닝 장치(4)는, 도 2에 도시된 바와 같이 센터링 유닛(40)을 포함한다. 본 실시형태에서 언급하는 센터링 유닛(40)은 기판(W)의 센터링을 행하는 장치이지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 반도체 제조 장치에서 관용적으로 이용되고 있는 얼라이너와 같이, 기판(W)의 센터링과 노치(또는 오리엔테이션 플랫) 위치의 조정을 행하는 것이어도 된다.
센터링 유닛(40)은, 본 실시형태의 경우, 3개의 척(44)을 구비한다. 각 척(44)은, 도시하지 않은 액추에이터에 의해 동기하여 개폐 구동된다. 센터링 유닛(40)에 놓인 기판(W)은, 각 척(44)에 의해서 파지됨으로써, 중심내기, 즉 센터링이 이루어진다.
<비접촉식 코인 스택 용기>
도 4a는 코인 스택 용기인 용기(200)의 설명도로서, 그 단면도이다. 용기(200)는, 용기 본체부(201)와 용기 본체부(201)의 덮개가 되는 커버(202)를 포함하는 중공체이다. 보호재(203)와 보호재(203)에 놓인 기판(W)의 적층체가 용기(200) 내에 수용된다. 이 적층체는 용기 본체부(201) 상에 놓여 있고, 용기 본체부(201)의 둘레벽에 의해 지름 방향으로의 이동이 규제되어 있다. 용기 본체부(201)의 내부의 바닥면에는, 후술하는 보유지지 유닛(71)이 보호재(203)를 일괄 취출할 때의 간섭을 막기 위한 오목부(201a)가 형성되어 있다. 또한, 용기 본체부(201)는, 그 바닥면에, 후술하는 보호재(203)의 오목부(203a)에 걸어맞춤하는 볼록부(201c)를 구비한다.
보호재(203)는, 기판(W)의 사이에 간극을 마련하기 위한 스페이서로서, 예를 들어 수지제이다. 보호재(203)를 스페이서라고 부르는 경우가 있다. 스페이서(203)는, 기판(W)의 형상에 따른 틀 형상의 부재로서, 본 실시형태의 경우, 기판(W)이 원형이기 때문에, 스페이서(203)는 원환(圓環) 형상을 가지고 있다. 그러나, 스페이서(203)의 형상은 이에 한정되지 않고, 기판(W) 상의 보호 영역(회로 형성부 등)을 피한 형상이면, 예를 들어, 직사각형이나 다각형이어도 된다. 스페이서(203)의 주연부에는, 하면측에 오목부(203a), 상면측에 볼록부(203b) 및 안착면(203c)이 형성되어 있다. 볼록부(203b)는 오목부(203a)와 걸어맞춤하는 환상 돌기이다. 최하단의 보호재(203)의 오목부(203a)는 전술한 볼록부(201c)에 걸어맞춤되고, 인접하는 보호재(203)끼리에서는, 하단측의 보호재(203)의 볼록부(203b)가 상단측의 보호재(203)의 오목부(203a)와 걸어맞춤된다. 오목부(203a)와 볼록부(203b)의 걸어맞춤에 의해, 스페이서(203)를 보다 안정적으로 적층할 수 있다. 안착면(203c)은, 기판(W)의 주연부가 놓이는 환상의 평면이다.
이와 같이 하여 기판(W) 사이에 스페이서(203)를 개재시킴으로써, 기판(W)의 회로 부분을 다른 기판(W)이나 스페이서(203)에 접촉시키지 않고, 용기(200) 내에 복수의 기판(W)을 겹쳐 쌓을 수 있다.
<보호재 반송 장치>
도 1, 도 2, 도 5를 참조하여 보호재 반송 장치(5)에 대해 설명한다. 도 5는 보호재 반송 장치(5)의 개략을 나타내는 도면으로, 외장 패널을 분리한 상태를 모식적으로 나타내고 있다. 보호재 반송 장치(5)는 보호재인 스페이서(203)를 반송하는 장치이다. 본 실시형태의 경우, 보호재 반송 장치(5)는 스페이서(203)를 보호재로서 이용한 경우에서의 보호재(203)의 반송 외에, 일부의 부품의 탈착에 의해, 후술하는 시트형상의 보호재(303)도 반송하는 것이 가능하다. 시트형상의 보호재(303)를 시트(303)라고 부르는 경우가 있다.
보호재 반송 장치(5)는, 복수의 기둥 및 빔으로 구성되는 프레임(50)을 구비하고, 이 프레임(50)에 각 구성이 지지되어 있다. 프레임(50)은, Z방향으로 긴 직육면체 형상의 외형을 가지고 있고, 그 내부 공간은, X방향으로 나열된 선반부(5A)와 로봇 수용부(5B)를 가지고 있다.
(선반부의 구성)
프레임(50)은, 선반부(5A)의 내부 공간을 Z방향으로 구획하는 선반 부재(50a~50c)를 포함하고, 선반 부재(50a)에 의해 상단의 안착부(51a)가, 선반 부재(50b)에 의해 중단의 안착부(51b)가, 선반 부재(50c)에 의해 하단의 안착부(51c)가 형성되어 있다. 안착부(51a~51c)를 상하로 배치함으로써, 보호재 반송 장치(5)의 풋프린트를 작게 할 수 있다.
각 안착부(51a~51c)에는, 도 1에 도시된 바와 같이 반송 시스템(1)의 정면에 있어서, 가로 개방식의 도어(5a~5c)가 설치되어 있다. 각 도어(5a~5c)에는, 아크릴 패널이나 유리 패널로 형성되는 투광성을 갖는 창(5a'~5c')이 형성되어 있고, 각 안착부(51a~51c)는 외부로부터 시인(視認) 가능하다.
안착부(51a 및 51b)에는, 언패킹 또는 패킹의 대상이 되는 용기(200)가 놓인다. 작업자는 도어(5a, 5b)를 개방함으로써, 안착부(51a 및 51b)에 대해 용기(200)의 반입, 반출이 가능하다. 본 실시형태의 경우, 용기(200)는, 커버(202)를 분리한 상태에서, 용기 본체부(201)만이 안착부(51a 및 51b)에 놓인다. 그러나, 반송 시스템(1)에 커버 분리 기구를 마련하여, 커버(202)가 장착된 용기(200)를 안착부(51a 및 51b)에 올려놓고, 커버(202)는 커버 분리 기구에 의해 분리하도록 해도 된다. 본 실시형태의 경우, 2개의 안착부(51a 및 51b)를 구비하고 있지만, 1개이어도 되고, 3개 이상이어도 된다.
안착부(51c)에는, 언패킹 또는 패킹시에, 스페이서(203)가 놓인다. 즉, 스페이서(203)의 일시 보관 장소이다. 스페이서(203)는 안착부(51c)에 적재된다. 도어(5c)를 개방함으로써, 작업자는 안착부(51c)로부터 스페이서(203)를 반출하거나, 또한 안착부(51c)에 스페이서(203)를 반입하거나 할 수 있다. 이러한 작업은, 예를 들어, 스페이서(203)의 과부족이 발생한 경우 등에 행해진다.
안착부(51a 및 51b)에는, 각각 용기 안착 장치(52)가 설치되고, 안착부(51c)에는 보호재 안착 장치(53)가 설치되어 있다. 이하, 용기 안착 장치(52), 보호재 안착 장치(53)에 대해 설명한다. 또, 이하, 용기 안착 장치(52), 보호재 안착 장치(53)를 단순히 안착 장치(52), 안착 장치(53)라고 부르는 경우가 있다. 우선, 안착 장치(52)에 대해 설명한다.
도 6은 안착 장치(52)의 사시도, 도 7은 용기 본체부(201)가 탑재된 안착 장치(52)의 사시도이다. 안착 장치(52)는, 베이스 플레이트(520)와, 베이스 플레이트(520)를 Y방향으로 이동 가능하게 지지하는 한 쌍의 가이드 부재(521)를 포함한다. 가이드 부재(521)는 예를 들어 슬라이드 레일이다.
베이스 플레이트(520)는, Y방향의 안쪽이 개방된 C자형의 외형을 가지며, Y방향의 앞쪽에는 핸들(520a)이 설치되어 있다. 용기 본체부(201)를 안착부(51a 또는 51b)에 반입하는 경우, 혹은, 안착부(51a 또는 51b)로부터 반출할 때, 작업자는, 도어(5a 또는 5b)를 개방하고, 핸들(520a)을 파지하여, 안착부(51a 또는 51b)로부터 베이스 플레이트(520)를, 도 6 및 도 7의 위치로부터 앞쪽으로 꺼낼 수 있다. 이와 같이, 안착 장치(52)에 슬라이드 기구를 마련하여, 보호재 반송 장치(5)에 대해 베이스 플레이트(520)마다 출몰이 자유롭게 출입할 수 있기 때문에, 용기 본체부(201)의 반입, 반출 작업이 용이하다.
베이스 플레이트(520)에는, 복수의 가이드 부재(520b)가 설치되어 있다. 이들 복수의 가이드 부재(520b)의 안내에 의해, 용기 본체부(201)를 베이스 플레이트(520) 상에 올려놓았을 때, 베이스 플레이트(520)에 대해 용기 본체부(201)가 대략 위치 결정되고, 덜컹거림이 방지된다.
베이스 플레이트(520)의 개구 부분에는, 승강 테이블(522)이 설치되어 있다. 승강 테이블(522)은, 그 하방에 배치된 승강 기구(523)에 의해 Z방향으로 이동된다. 승강 테이블(522)에는, 용기 본체부(201)의 위치 결정용의 복수의 핀(522a)이 설치되어 있다. 핀(522a)은, 키네마틱 커플링을 위한 걸어맞춤 핀이며, 용기 본체부(201)에 설치된 걸어맞춤부(201b)(본 실시형태의 경우, 골형의 홈)와 걸어맞춤하여, 승강 테이블(522)에 대해 정확하게 용기 본체부(201)를 위치 결정한다.
승강 테이블(522)에는, 센서(522b, 522c)가 설치되어 있다. 센서(522b)는, 용기 본체부(201)가 승강 테이블(522) 상에 놓여 있는지 여부를 검출하는 센서로서, 본 실시형태의 경우, 용기 본체부(201)의 자중에 의해 ON 상태가 되는 누름 버튼식의 스위치이다. 센서(522c)는 후술하는 어댑터(528)의 탈착을 검지하는 센서이다. 어댑터(528)는, 후술하는 시트(303)를 이용한 코인 스택 용기를 이용하는 경우에 장착되는 부재이다. 센서(522c)는, 본 실시형태의 경우, 어댑터(528)의 자중에 의해 ON 상태가 되는 누름 버튼식의 스위치(재석(在席) 센서)이다.
용기 본체부(201)의 반입시, 승강 테이블(522)은 승강 기구(523)에 의해 베이스 플레이트(520)보다 낮은 퇴피 위치에 위치한다. 작업자가 베이스 플레이트(520)를 꺼내고, 용기 본체부(201)를 베이스 플레이트(520)에 용기 본체부(201)를 올려놓은 후, 베이스 플레이트(520)를 원래의 위치로 되돌린다. 그 후, 승강 테이블(522)은 승강 기구(523)에 의해 상승되어, 베이스 플레이트(520)로부터 용기 본체부(201)를 약간 들어올린다. 이 들어올림시에, 핀(522a)이 용기 본체부(201)의 걸어맞춤부(201b)와 걸어맞춤하여 용기 본체부(201)를 위치 결정함과 아울러, 용기 본체부(201)가 승강 테이블(522) 상에 지지된다. 또, 센서(522c)는 용기 본체부(201)가 승강 테이블(522) 상에 지지되어도 ON 상태가 되지 않도록 배치되어 있다.
안착 장치(52)의 주변에는, 용기 본체부(201) 내의 스페이서(203) 및 기판(W)의 수용 상태를 검지하는 센서(524, 526, 527)가 프레임(50)에 지지되어 있다.
센서(524)는, 레이저 측위 센서로서, 본 실시형태에서는 2개 설치되어 있다. 센서(524)는 브래킷(525a)을 통해 프레임(50)에 지지되는 반사 미러(525)에 의해 레이저의 방향을 굴곡시켜, 겨냥한 위치를 검지하도록 하고 있다. 센서(524)는, 예를 들어, 용기 본체부(201) 상의 스페이서(203)와 기판(W)의 적층체의 높이를 검지한다. 센서(526)는, 컬러 센서로서, 용기 본체부(201) 상의 스페이서(203)와 기판(W)의 적층체의, 최상층의 부재의 종류를 판별하기 위해 이용된다. 센서(527)는 레이저 측위 센서로서, 용기 본체부(201) 상에 적재되는 스페이서(203)만의 적층체의 높이를 검지한다.
다음에, 안착 장치(53)에 대해 설명한다. 도 8은 안착 장치(53)의 사시도이다. 안착 장치(53)는 베이스 플레이트(530)를 구비한다. 베이스 플레이트(530)에는 복수의 위치 결정 핀(531)이 세워 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 위치 결정 핀(531)의 수는 3개이다.
스페이서(203)는, 3개의 위치 결정 핀(531)의 내측에 있어서, 베이스 플레이트(530) 상에 적재된다. 도 4b는 베이스 플레이트(530) 상에 적재된 스페이서(203)의 예를 도시하고 있다. 후술하는 적층체(203S) 내의 적어도 일부의 스페이서(203)의 외주면이 위치 결정 핀(531)에 의해 위치 결정됨으로써, 베이스 플레이트(530)에 대해 스페이서(203)의 적층체가 위치 결정된다. 베이스 플레이트(530)에는, 스페이서(203)의 내주부와 겹치는 위치에 개구부(530a)가 형성되어 있다. 위치 결정 핀(531)으로 위치 결정하는 스페이서(203)의 수는, 반드시 적층체(203)를 구성하는 모든 스페이서(203)일 필요는 없지만, 물론 모든 스페이서(203)를 위치 결정하도록 해도 된다.
베이스 플레이트(530)에는, 센서(532)가 설치되어 있다. 센서(532)는 후술하는 어댑터(534)의 탈착을 검지하는 센서이다. 어댑터(534)는, 후술하는 시트(303)의 적층체를 보유지지하기 위한 부재이다. 센서(532)는 본 실시형태의 경우, 반사형의 광학 센서로서, 베이스 플레이트(530)에 마련한 개구의 하방에 배치되어 있다.
안착 장치(53)의 주변에는, 베이스 플레이트(530) 상의 스페이서(203)의 적재 상태를 검지하는 센서(533)가 설치되어 있다. 센서(533)는 레이저 측위 센서로서, 베이스 플레이트(530)에 적재되는 스페이서(203)의 적층체의 높이를 검지한다. 센서(533)는 브래킷(533a)을 통해 프레임(50)에 지지된다.
(로봇 수용부의 구성)
로봇 수용부(5B)에는, 보호재 반송 로봇(7)이 설치되어 있다. 보호재 반송 로봇(7)은, 스페이서(203)를 안착부(51a 또는 51b)와 안착부(51c)의 사이에서 반송하는 로봇이다. 도 1, 도 5, 도 9를 참조하여 보호재 반송 로봇(7)에 대해 설명한다. 도 9는 보호재 반송 로봇(7)의 설명도로서, 그 사시도이다. 이하, 보호재 반송 로봇(7)을 단순히 반송 로봇(7)이라고 부르는 경우가 있다.
반송 로봇(7)은, 보유지지 유닛(70), 보유지지 유닛(71) 및 이동 유닛(72)을 포함한다. 보유지지 유닛(70, 71)은 모두 스페이서(203)를 보유지지하는 유닛이며, 이동 유닛(72)은, 보유지지 유닛(70, 71)을 지지하고, 이들을 안착부(51a 또는 51b)와 안착부(51c)의 사이에서 이동하는 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 보유지지 유닛(70)과 보유지지 유닛(71)은 Z방향으로 겹치도록 배치되어 있다. 이는, 보호재 반송 장치(5)의 X방향 및 Y방향의 소형화에 기여한다.
이동 유닛(72)은, 보유지지 유닛(70)을 회동이 자유롭게 지지하는 이동 유닛(721)과, 보유지지 유닛(71)을 회동이 자유롭게 지지하는 이동 유닛(722)과, 이동 유닛(721 및 722)을 함께 이동시ㅋ는 이동 유닛(720)을 포함한다. 이동 유닛(721 및 722)은, 보유지지 유닛(70 및 71)에 개별적인 유닛이며, 이동 유닛(720)은, 보유지지 유닛(70 및 71)에 공통적인 유닛이다.
이동 유닛(720)은, Z방향으로 연장되는 기둥 부재(7200)를 포함한다. 기둥 부재(7200)의 측부에는, 슬라이더(7202)의 이동을 안내하는 가이드 홈(7201)이 설치되어 있다. 가이드 홈(7201)은, 슬라이더(7202)의 Z방향의 이동을 안내한다. 슬라이더(7202)는, X방향으로 두께를 갖는 판형의 부재로서, 가이드 홈(7201)을 따라 승강한다. 구동 유닛(7205)은 슬라이더(7202)를 승강하는 구동 기구의 특히 구동원을 포함한다. 이 구동 기구는, 모터 등의 구동원과, 구동원의 회전 구동을 Z방향의 직선 운동으로 변환하여, 슬라이더(7202)에 전달하는 전달 기구(예를 들어, 볼 나사 기구나 벨트 전동 기구)를 포함한다. 전달 기구의 일부는 기둥 부재(7200)에 내장된다.
슬라이더(7202)에는, 이동 유닛(721)을 지지하는 베이스 부재(7203)와, 이동 유닛(722)을 지지하는 베이스 부재(7204)가 고정되어 있다. 베이스 부재(7203, 7204)는 모두 Z방향으로 두께를 갖는 판형의 부재로서, 슬라이더(7202)에 대해 수직으로 또한 Z방향으로 겹치도록 고정되어 있다. 슬라이더(7202)의 승강에 의해, 이동 유닛(721 및 722), 즉 보유지지 유닛(70 및 71)을 함께 승강할 수 있다.
이동 유닛(721)은, 보유지지 유닛(70)을 수평 방향으로 회동이 자유롭게 지지하는 유닛이다. 이동 유닛(721)은, 아암 부재(7210)와, 아암 부재(7210)를 회동이 자유롭게 지지하는 회동 지지부(7211)와, 구동 유닛(7212)을 포함한다. 아암 부재(7210)는 수평 방향으로 연장되는 부재로서, 그 일단에 보유지지 유닛(70)이 지지되어 있고, 그 타단이 회동 지지부(7211)에 지지되어 있다. 회동 지지부(7211)는, Z방향의 회동 중심축(Z1) 둘레로 아암 부재(7210)를 회동이 자유롭게 지지하는 기구로서, 아암 부재(7210)에 접속되는 회전자와, 베이스 부재(7203)에 고정되어, 회전자를 Z1축 둘레로 회전이 자유롭게 지지하는 지지부를 포함한다. 구동 유닛(7212)은, 모터 등의 구동원과, 구동원의 구동력을 회동 지지부(7211)의 회전자에 전달하는 전달 기구(예를 들어 벨트 전동 기구나 기어 기구)를 포함한다.
이동 유닛(722)은, 보유지지 유닛(71)을 수평 방향으로 회동이 자유롭게 지지하는 유닛이다. 이동 유닛(722)은, 아암 부재(7220)와, 아암 부재(7220)를 회동이 자유롭게 지지하는 회동 지지부(7221)와, 구동 유닛(7222)을 포함한다. 아암 부재(7220)는 수평 방향으로 연장되는 부재로서, 그 일단에 보유지지 유닛(71)이 지지되어 있고, 그 타단이 회동 지지부(7221)에 지지되어 있다.
회동 지지부(7221)는, Z방향의 회동 중심축(Z1) 둘레로 아암 부재(7220)를 회동이 자유롭게 지지하는 기구로서, 아암 부재(7220)에 접속되는 회전자와, 베이스 부재(7204)에 고정되어, 회전자를 Z1축 둘레로 회전이 자유롭게 지지하는 지지부를 포함한다. 구동 유닛(7222)은, 모터 등의 구동원과, 구동원의 구동력을 회동 지지부(7221)의 회전자에 전달하는 전달 기구(예를 들어 벨트 전동 기구나 기어 기구)를 포함한다.
본 실시형태의 경우, 이동 유닛(721 및 722)은 Z방향으로 오프셋하여 배치되고, 또한 동축 상의 회동 중심축(Z1)을 가지고 있다. 이 때문에, 보호재 반송 장치(5)의 X방향 및 Y방향의 공간 절약화, 소형화를 도모할 수 있다. 또한, 하측에 위치하는 이동 유닛(721)에서는, 구동 유닛(7212)이 베이스 부재(7203)의 하측에 배치되고, 상측에 위치하는 이동 유닛(722)에서는, 구동 유닛(7222)이 베이스 부재(704)의 상측에 배치되어 있다. 이에 의해, 이동 유닛(721 및 722)을 Z방향으로 보다 근접하여 배치할 수 있다.
본 실시형태의 경우, 이동 유닛(721 및 722)은, 대응하는 보유지지 유닛(70 및 71)을 독립적으로 90도의 범위에서 수평 방향으로 회동한다. 도 5는, 보유지지 유닛(70 및 71)이 선반부(5A) 내에 위치하는 경우의 회동 위치를 나타내고 있다. 이 회동 위치를 작동 위치라고 부른다. 도 2는 보유지지 유닛(70 및 71)이 작동 위치로부터 90도 회동하여 선반부(5A) 밖에 위치하고 있는 회동 위치를 나타내고 있다. 이 회동 위치를 승강 위치라고 부른다. 도 2의 화살표 D는, 보유지지 유닛(70 및 71)의 회동 방향을 나타내고 있다.
다음에, 보유지지 유닛(70, 71)의 구성에 대해 설명한다. 우선, 보유지지 유닛(70)에 대해 설명한다. 도 10은 보유지지 유닛(70)의 설명도로서, 아암 부재(7210), 회동 지지 부재(7211)와 함께 나타낸 보유지지 유닛(70)의 사시도이다.
보유지지 유닛(70)은, Z방향으로 두께를 갖는 판형이며 직사각형의 베이스 부재(700)와, 베이스 부재(700)의 네 모서리로부터 방사상으로 연장되는 복수의 지지 부재(701)를 구비한다. 각 지지 부재(701)의 선단에는 흡착부(702)가 지지되어 있다. 본 실시형태의 흡착부(702)는, 도시하지 않은 진공원에 접속되고, 그 하단의 개구로부터 공기를 흡인하는 노즐 부재이다. 4개의 흡착부(702)는, 스페이서(203)의 상면(본 실시형태에서는 203d의 상면)을 흡착하도록, 스페이서(203)와 동일 지름의 가상원 상에 배치되어 있다. 4개의 흡착부(702)로, 하나의 스페이서(203)를 수평 자세로 보유지지할 수 있다. 또, 흡착부(702)의 수는 4개 이외이어도 된다. 또한, 스페이서(203)의 보유지지 방식으로서는, 흡착 이외의 보유지지 방식(예를 들어, 파지 등)이어도 된다.
다음에, 보유지지 유닛(71)에 대해 설명한다. 도 11은 보유지지 유닛(71)의 설명도로서, 아암 부재(7220), 회동 지지 부재(7221)와 함께 나타낸 보유지지 유닛(71)의 사시도이다.
여기서, 본 실시형태에서의 아암 부재(7220)의 구성에 대해 더욱 설명한다. 아암 부재(7220)는, 본 실시형태의 경우, 근원측 부재(7220a)와 선단측 부재(7220b)의 두 부재 구성으로 되어 있고, 서로 탈착이 자유롭게 접속되어 있다. 보유지지 유닛(71)과 선단측 부재(7220b)는, 하나의 교환 유닛이 되는 아암 부재를 구성하고 있다. 후술하는 시트(303)를 이용하는 경우, 이 아암 부재를 단위로서 교환한다. 상세는 후술한다.
다음에, 보유지지 유닛(71)은, Z방향으로 두께를 갖는 판형이며 원형의 베이스 부재(710)와, 베이스 부재(710)로부터 3방향으로 방사상으로 연장되는 3개의 지지 부재(711)를 구비한다. 베이스 부재(710)는, 복수의 매다는 축(710a)을 통해 아암 부재(7220)에 접속되어 있다. 이에 의해, 스페이서(203)의 적층체를 일괄하여 보유지지할 때에, 스페이서(203)의 적층체와 아암 부재(7220)의 간섭을 회피할 수 있다.
각 지지 부재(711)의 선단에는, 변위 유닛(712)을 통해 걸어맞춤 부재(713)가 지지되어 있다. 변위 유닛(712)은, 걸어맞춤 부재(713)를, 도 11에서 화살표(A1)로 나타내는 바와 같이 베이스 부재(710)의 지름 방향(지지 부재(711)의 길이 방향)으로 확대 수축이 자유롭게 변위시킨다. 걸어맞춤 부재(713)가 지름 방향 외측으로 변위한 위치를 걸어맞춤 위치라고 부르고, 내측으로 변위한 위치를 퇴피 위치라고 부른다. 본 실시형태의 경우, 변위 유닛(712)은 지지 부재(711)의 길이 방향으로 신축하는 에어 실린더이다.
걸어맞춤 부재(713)는, 합계 3개 설치되어 있다. 3개의 걸어맞춤 부재(713)는 베이스 부재(710)를 중심으로 한 가상원 상에서 둘레방향으로 등간격(등각도)으로 설치되어 있다. 각 걸어맞춤 부재(713)가 걸어맞춤 위치에 위치할 때, 이 가상원은 스페이서(203)의 내주원에 상당하고, 따라서, 3개의 걸어맞춤 부재(713)는 스페이서(203)의 둘레방향으로 등간격으로 설치되어 있다.
걸어맞춤 부재(713)는, Z방향으로 연장되는 대략 직육면체 형상의 외형을 갖는 본체부(7130)를 가진다. 본체부(7130)의 외주부(7130a)는, 스페이서(203)의 적층체의 내주면에 따른 곡면을 가지고 있다. 걸어맞춤 부재(713)는, 본체부(7130)의 하단(외주부(7130a)의 하단)에, 외측으로 연장 설치되는 플랜지형상의 걸어맞춤부(7131)를 가지고 있다. 스페이서(203)의 적층체를 일괄하여 보유지지할 때, 걸어맞춤부(7131)가 최하층의 스페이서(203)에 하측으로부터 접촉하여, 적층체를 퍼올린다.
도 12a~도 13b는, 보유지지 유닛(71)에 의해 스페이서(203)의 적층체(203S)를 일괄하여 보유지지하는 동작의 예를 나타내고 있다. 스페이서(203)의 적층체(203S)는, 예를 들어, 수십 개의 스페이서(203)를 도 4b에 도시된 바와 같이 적층하여 형성된다. 적층체(203S)는, 안착부(51a 또는 51b)에 있어서 용기 본체부(201) 상에 놓이는 경우와, 안착 장치(53)의 베이스 플레이트(530) 상에 놓이는 경우가 있다.
보유지지 유닛(71)은, 도 12a에 도시된 바와 같이, 적층체(203S)의 상방으로 이동 유닛(73)에 의해 이동된다. 이 때, 보유지지 유닛(71)은 작동 위치에, 보유지지 유닛(70)은 승강 위치에 각각 위치하고 있다. 보유지지 유닛(71)은, 각 걸어맞춤 부재(713)가 퇴피 위치에 위치한 상태에서, 이동 유닛(73)에 의해 도 12b에 도시된 바와 같이 적층체(203S)의 내부 공간으로 하강된다. 적층체(203S)가 용기 본체부(201) 상에 놓여 있는 경우, 걸어맞춤부(7131)는, 오목부(201a)(도 4a 참조)로 진입한다. 적층체(203S)가 베이스 플레이트(530) 상에 놓여 있는 경우, 걸어맞춤부(7131)는, 개구부(530a)(도 4b, 도 8 참조)로 진입한다.
도 13a는 보유지지 유닛(71)이 하강된 상태를, 적층체(203S) 위에서 본 도면이다. 이 상태로부터 도 13b에 도시된 바와 같이, 변위 유닛(712)을 구동하여, 걸어맞춤 부재(713)를 걸어맞춤 위치로 변위시킨다. 이에 의해, 적층체(203S)가, 그 내측으로부터 3개의 보유지지 부재(713)로 보유지지된다. 구체적으로는, 적층체(203S)의 최하층의 스페이서(203) 아래에 걸어맞춤부(7131)가 들어가, 적층체(203S)가 3개의 걸어맞춤부(7131)에 놓인 상태가 된다. 이에 따라, 보유지지 유닛(71)이 적층체(203S)를 일괄하여 들어올린 상태인 채로 이동시키는 것이 가능해지고, 적층체(203S)가 보유지지된 상태가 된다.
또한, 본 실시형태에서는, 3개의 걸어맞춤 부재(713)의 각 외주부(7130a)가 적층체(203S)의 내주면과 접촉한다. 이에 의해, 적층체(203S)의 보유지지력이 향상된다. 적층체(203S)를 구성하는 인접하는 스페이서(203)는, 볼록부(203b)와 오목부(203a)의 걸어맞춤에 의해, 서로 지름 방향으로 변위하기 어려워지지만, 외주부(7130a)의 높이(Z방향의 높이)가, 적층체(203S)의 높이의 2/3 이상, 바람직하게는 3/4 이상이면, 적층체(203S)의 전체를 보다 안정적으로 보유지지할 수 있다.
<제어 장치>
도 14는 반송 시스템(1)의 제어 장치(8)의 블록도이다. 제어 장치(8)는, 시스템 전체의 제어를 맡는 호스트 컨트롤러(8a)와, 기판 반송 장치(2)를 제어하는 컨트롤러(8b)와, 로드 포트(3)를 제어하는 컨트롤러(8c)와, 얼라이닝 장치(4)를 제어하는 컨트롤러(8d)와, 보호재 반송 장치(5)를 제어하는 컨트롤러(8e)를 포함하고, 이들은 서로 통신 가능하게 접속되어 있다. 컨트롤러(8b~8e)는, 예를 들어, PLC(programmable logic controller), 센서나 액추에이터와 PLC의 사이의 신호를 중계하는 입출력 인터페이스를 포함한다. 호스트 컨트롤러(8a)는, 각 컨트롤러(8b~8e)와의 통신에 의해, 이들의 제어를 행하여, 기판(W)의 언패킹이나 패킹을 실행한다.
<제어예>
제어 장치(8)에 의한 반송 시스템(1)의 제어예를 설명한다. 여기서는, 기판(W)의 언패킹과 패킹의 예를 설명한다. 우선, 언패킹의 예에 대해 설명한다.
(언패킹의 예)
언패킹의 예에 대해 설명한다. 개략 설명하면, 언패킹은, 안착부(51a 또는 51b) 상(안착 장치(52) 상)의 용기 본체부(201)에 놓여 있는 스페이서(203) 및 기판(W)의 적층체로부터, 스페이서(203)와 기판(W)을 하나씩 교대로 취출하는 동작이다. 본 실시형태에서는, 보호재 반송 로봇(7)이 스페이서(203)를 취출하여, 안착부(51c)에 적재한다. 또한, 기판 반송 로봇(20)이 기판(W)을 취출하여, 로드 포트(3) 상의 용기(100)로 기판(W)을 이동 탑재한다. 언패킹이 진행됨에 따라 안착부(51c)에는 스페이서(203)의 적층체(203S)가 형성된다. 마지막으로, 보호재 반송 로봇(7)이 적층체(203S)를 안착부(51a 또는 51b) 상의 용기 본체부(201)에 일괄하여 반송한다. 이 일괄 반송에 의해, 언패킹의 효율화를 도모할 수 있다.
도 15a~도 22를 참조하여, 언패킹의 예에 대해 구체적으로 설명한다. 여기서는, 안착부(51a) 상(안착 장치(52) 상)의 용기 본체부(201)에 놓여 있는 스페이서(203) 및 기판(W)의 적층체를 언패킹의 대상으로 한다. 그러나, 안착부(51b) 상의 용기 본체부(201)에 놓여 있는 스페이서(203) 및 기판(W)의 적층체를 언패킹의 대상으로 하는 경우도 마찬가지의 순서이다.
도 15a 및 도 15b는 보호재 반송 로봇(7)이, 스페이서(203) 및 기판(W)의 적층체로부터 최상층의 스페이서(203)를 취출하는 공정을 나타내고 있다. 도 15a의 단계에서는, 보호재 반송 로봇(7)의 보유지지 유닛(70 및 71)은 승강 위치에 위치하고 있다.
우선, 도 15b에 도시된 바와 같이 보호재 반송 로봇(7)을 작동시켜, 보유지지 유닛(70)을 작동 위치로 회동시켜, 최상층의 스페이서(203) 상에 위치시킨다. 다음에, 보유지지 유닛(70)을 하강시켜 최상층의 스페이서(203)를 보유지지한 후, 보유지지 유닛(70)을 상승시킴과 아울러 회동시켜 도 16a에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(70)을 승강 위치로 되돌린다. 또, 보유지지 유닛(70)의 승강시에는 보유지지 유닛(71)도 함께 승강한다.
이 동작에 이어서, 기판 반송 로봇(20)은 수평 다관절 기구(21)를 신장시켜 핸드(21a)를 기판(W) 상에 위치시키고, 베이스 유닛(22)에 의해 수평 다관절 기구(21)를 강하하여, 핸드(21a)로 기판(W)을 흡착한다. 그 후, 베이스 유닛(22)에 의해 수평 다관절 기구(21)를 상승하고, 수평 다관절 기구(21)를 굴곡시켜, 기판(W)을 취출한다. 이어서, 핸드(21a)를 180° 회전시켜 기판(W)을 반전시킨 후, 기판 반송 로봇(20)을 도 16b에 도시된 바와 같이 로드 포트(3)에 정면으로 마주하는 위치까지 주행시킨다. 그 후, 기판 반송 로봇(20)을 작동시켜, 수평 다관절 기구(21)를 신장시킴과 아울러, 핸드(21a)를 로드 포트(3) 상의 용기(100) 내까지 신장시켜, 용기(100) 내로 기판(W)을 이동 탑재한다. 용기(100)의 덮개는 로드 포트(3)에 의해 미리 개방되어 있다.
기판 반송 로봇(20)의 동작에 병행하여, 스페이서(203)를 보유지지한 보유지지 유닛(70)은 도 17에 도시된 바와 같이 안착부(51c)의 높이까지 하강된다. 그리고, 도 18에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(70)이 작동 위치로 회동되어, 보유지지 유닛(70)이 더욱 하강된다. 그 때, 보유지지 유닛(71)은 승강 위치 그대로이다. 그 후, 보유지지 유닛(70)에 의한 스페이서(203)의 보유지지가 해제되고, 스페이서(203)가 안착부(51c) 상(안착 장치(53) 상)으로 이동 탑재된다. 그 후, 보유지지 유닛(70)은 다시 승강 위치로 회동된다.
나아가 보호재 반송 로봇(7)을 상승시켜, 안착부(51a)의 높이에 위치시킨다. 그리고, 기판 반송 로봇(20)의 주행 개시와 함께, 다음 스페이서(203)의 흡착, 이동 탑재가 행해진다.
이후, 마찬가지의 순서에 의해, 스페이서(203)는 보호재 반송 로봇(7)에 의해 안착부(51c) 상으로 이동 탑재되고, 기판(W)은 기판 반송 로봇(20)에 의해 용기(100)로 이동 탑재된다. 안착부(51a) 상의 모든 기판(W) 및 스페이서(203)가 취출되면, 안착부(51c) 상에는 도 19에 도시된 바와 같이 스페이서(203)의 적층체(203S)가 형성된다. 이 적층체(203S)는 보호재 반송 로봇(7)에 의해 안착부(51a) 상의 용기 본체부(201) 상으로 되돌려진다.
우선, 도 20에 도시된 바와 같이, 보유지지 유닛(71)을 하강시킴과 아울러 작동 위치로 회동시켜, 보유지지 유닛(71)을 적층체(203S)의 상방에 위치시킨다. 보유지지 유닛(70)은 승강 위치 그대로이다. 도 21에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(71)을 적층체(203S)의 내측으로 하강시켜, 적층체(203S)를 보유지지 유닛(71)으로 보유지지한다. 이어서, 보유지지 유닛(71)에 보유지지된 적층체(203S)를 안착부(51a) 상의 용기 본체부(201)로 일괄하여 반송한다. 구체적으로는, 보유지지 유닛(71)의 상승, 승강 위치로의 회동, 안착부(51a)의 높이로의 상승, 작동 위치로의 회동이 행해지고, 도 22에 도시된 바와 같이 용기 본체부(201)의 상방으로 보유지지 유닛(71) 및 적층체(203S)가 이동된다. 보유지지 유닛(71)을 용기 본체부(201) 내로 하강시킴과 아울러 적층체(203S)의 보유지지를 해제함으로써 적층체(203S)가 용기 본체부(201)로 이동 탑재된다.
이상에 의해, 언패킹시의 동작이 완료된다. 또, 본 실시형태에서는, 도 21, 도 22에 도시된 적층체(203S)의 일괄 반송시, 모든 스페이서(203)를 일괄하여 반송하였지만, 복수회로 나누어 일괄 반송해도 된다. 예를 들어, 전부 26개의 스페이서(203)로 이루어지는 적층체(203S)를 용기 본체부(201)로 되돌리는 경우, 우선 반분(13개)의 스페이서(203)로 이루어지는 적층체(203S)를 반송하고, 그 후, 나머지 반분의 스페이서(203)로 이루어지는 적층체(203S)를 반송해도 상관없다. 이 경우도, 스페이서(203)를 1개씩 반송하는 경우보다 반송 효율을 높일 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 언패킹시, 용기 본체부(201) 상으로부터 안착부(51c)로 모든 스페이서(203)를 반송하였지만, 용기 본체부(201)에 1개의 스페이서(203)를 남겨 두어도 된다. 왜냐하면, 본 실시형태에서는 안착부(51c) 상의 스페이서(203)를 용기 본체부(201)로 되돌리는데, 용기 본체부(201)의 최하층의 스페이서(203)는, 그 아래에 기판(W)이 존재하지 않아, 안착부(51c)로 반송할 필요성이 반드시 없기 때문이다. 용기 본체부(201)의 최하층의 스페이서(203)를 안착부(51c)로 반송하지 않고 둠으로써, 언패킹 후에 패킹을 행할 때에 있어서, 1개의 스페이서(203)를 안착부(51c)로부터 안착부(51a)로 이동 탑재하는 수고를 줄일 수 있고, 택트 타임의 저감을 도모할 수 있다.
(패킹의 예)
패킹의 예에 대해 설명한다. 개략 설명하면, 패킹은, 언패킹의 반대 동작으로, 안착부(51a 또는 51b) 상(안착 장치(52) 상)의 용기 본체부(201)에, 스페이서(203)와 기판(W)을 하나씩 교대로 적재하는 동작이다. 본 실시형태에서는, 우선, 보호재 반송 로봇(7)이, 안착부(51a)에서의 용기 본체부(201)로부터 스페이서(203)의 적층체(203S)를, 안착부(51c) 상으로 일괄하여 반송한다. 이 일괄 반송에 의해, 패킹의 효율화를 도모할 수 있다. 다음에, 보호재 반송 로봇(7)이 안착부(51c) 상의 적층체(203S)로부터 스페이서(203)를 하나 취출하여, 용기 본체부(201)로 이동 탑재한다.
기판 반송 로봇(20)이 로드 포트(3) 상의 용기(100)로부터 기판(W)을 취출하고, 얼라이너(40)에 취출한 기판(W)을 건네준다. 기판(W)은 얼라이너(40)에 의해 센터링된다. 센터링된 기판(W)은, 기판 반송 로봇(20)에 의해 얼라이너(40)로부터 취출되어, 용기 본체부(201)로 이동 탑재된다. 용기 본체부(201)로의 스페이서(203)의 이동 탑재와 기판(W)의 이동 탑재가 교대로 반복하여 행해져, 용기 본체부(201)에 스페이서(203)와 기판(W)의 적층체가 형성된다.
도 23a~도 27b를 참조하여, 패킹의 예에 대해 구체적으로 설명한다. 여기서는, 안착부(51a) 상(안착 장치(52) 상)의 용기 본체부(201)에, 스페이서(203) 및 기판(W)의 적층체를 형성하는 것을 설명한다. 그러나, 안착부(51b) 상의 용기 본체부(201)에 스페이서(203) 및 기판(W)의 적층체를 형성하는 경우도 마찬가지의 순서이다.
용기 본체부(201) 상의 스페이서(203)의 적층체(203S)를 안착부(51c)로 이동 탑재한 후, 안착부(51c) 상의 적층체(203S)로부터 스페이서(203)를 하나 취출하여, 용기 본체부(201)로 이동 탑재하는 작업을 행한다. 도 23a에 도시된 바와 같이, 적층체(203S) 상에 보유지지 유닛(71)이 위치하도록, 보유지지 유닛(71)이 작동 위치로 회동된다. 이 때, 보유지지 유닛(70)은 승강 위치 그대로이다. 보유지지 유닛(71)을 적층체(203S) 내로 하강시킴과 아울러, 변위 유닛(712)을 구동시켜 걸어맞춤 부재(713)를 걸어맞춤 위치로 신장시킨다. 이에 의해, 각 지지 부재(711)에 의해 적층체(203S)가 보유지지된다. 그 후, 보유지지 유닛(71)을 상승하여 도 23b에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(71)을 승강 위치로 회동한다. 병행하여, 기판 반송 로봇(20)이 로드 포트(3) 상의 용기(100)로부터 기판(W)을 취출할 준비를 행한다.
이어서, 보유지지 유닛(71)이 안착부(51c)의 높이까지 하강되어, 작업 위치로 회동된다. 그 후, 도 24에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(71)이 베이스 플레이트(530)에서의 각 위치 결정 핀(531)의 내측으로 하강된다. 그 후, 보유지지 유닛(71)에 의한 적층체(203S)의 보유지지가 해제되고, 적층체(203S)가 안착부(51c) 상으로 이동 탑재된다. 이와 같이 하여 적층체(203S)가 일괄 반송된다.
이어서 보유지지 유닛(70)에 의해 스페이서(203)를 하나 보유지지하는 동작으로 이동한다. 보유지지 유닛(71)을 일단 적층체(203S)의 상방으로 상승시킨 후, 보유지지 유닛(71)은 승강 위치로 회동시키고, 보유지지 유닛(70)은 작동 위치로 회동시킨다. 나아가 도 25에 도시된 바와 같이, 보유지지 유닛(70)을 베이스 플레이트(530)에서의 각 위치 결정 핀(531)의 내측으로 하강시킴과 아울러 흡착을 행하여, 적층체(203S)의 최상층의 스페이서(203)가 보유지지 유닛(71)으로 보유지지된다. 그 후, 보유지지 유닛(70)을 상승시킴으로써, 최상단의 스페이서(203)가 1개만 보유지지된다.
보유지지 유닛(70)이 승강 위치로 회동된 후, 도 26에 도시된 바와 같이, 보유지지 유닛(70)이 용기 본체부(201)의 높이까지 상승된다. 도 27a에 도시된 바와 같이, 보유지지 유닛(70)이 작동 위치로 회동되고, 또한 하강됨으로써 용기 본체부(201) 상으로 스페이서(203)가 이동 탑재된다. 병행하여, 기판 반송 로봇(20)이 로드 포트(3) 상의 용기(100)로부터 기판(W)을 취출한다. 그리고, 얼라이너(40)에 취출한 기판(W)을 건네준다. 기판(W)은 얼라이너(40)에 의해 센터링된다. 센터링된 기판(W)은, 기판 반송 로봇(20)에 의해 얼라이너(40)로부터 취출되고, 도 27b에 도시된 바와 같이, 기판 반송 로봇(20)이 용기 본체부(201)에 놓여 있는 스페이서(203) 상으로 기판(W)을 이동 탑재한다.
이후, 마찬가지의 순서에 의해, 스페이서(203)는 보호재 반송 로봇(7)에 의해 안착부(51c)로부터 용기 본체부(201)로 이동 탑재되고, 기판(W)은 기판 반송 로봇(20)에 의해 용기(100)로부터 얼라이너(40)를 경유하여 용기 본체부(201)로 이동 탑재되어, 용기 본체부(201)에 스페이서(203)와 기판(W)의 적층체가 형성된다. 본 실시형태에서는, 이후, 작업자가 용기 본체부(201)를 보호재 반송 장치(5)로부터 취출하고, 커버(202)를 용기 본체부(201)에 장착함으로써, 코인 스택 용기(200)의 패킹이 완료가 된다. 그러나, 특별히 이 실시형태에 한정하는 것은 아니고, 보호재 반송 장치(5) 자체에, 커버(202)를 용기 본체부(201)에 자동 장착하는 기구를 마련해도 된다. 이 경우, 패킹이 완료된 코인 스택 용기(200)가 보호재 반송 장치(5)로부터 취출된다.
또, 언패킹의 경우와 마찬가지로, 도 23a~도 24에 도시된 적층체(203S)의 일괄 반송에서는, 모든 스페이서(203)를 일괄하여 반송하지 않고, 복수회로 나누어 일괄 반송해도 된다. 또한, 이 일괄 반송시, 용기 본체부(201) 상으로부터 안착부(51c)로 모든 스페이서(203)를 반송하지 않고, 용기 본체부(201)에 하나의 스페이서(203)를 남겨 두어도 된다.
<접촉식 코인 스택 용기>
본 실시형태의 보호재 반송 장치(5)는, 상술한 비접촉식의 코인 스택 용기(200) 이외에, 접촉식의 코인 스택 용기에도 대응 가능하게 되어 있다. 도 28은 접촉식의 코인 스택 용기인 용기(300)의 설명도로서, 그 단면도이다. 용기(300)는, 용기 본체부(301)와 용기 본체부(301)의 덮개가 되는 커버(302)를 포함하는 중공체이다. 보호재인 시트(303)와 기판(W)이 교대로 적층된 적층체가 용기(300) 내에 수용된다. 이 적층체는 용기 본체부(301) 상에 놓여 있고, 용기 본체부(201)의 둘레벽에 의해 지름 방향으로의 이동이 규제되어 있다. 용기(300)의 바닥부와 상부에는 쿠션(304)이 설치되어 있다.
시트(303)는, 인접하는 기판(W)에 전면적으로 접촉하는 스페이서로서, 예를 들어, 종이제이다. 시트(303)는, 기판(W)의 형상에 따라 원형상을 가지고 있고, 또한, 기판(W)보다 직경이 크다.
<시트에의 대응>
보호재 반송 장치(5)는, 용기(300)의 언패킹, 패킹을 행할 때에, 일부의 부품을 교환 혹은 탈착함으로써, 시트(303)나 용기(300)에 대응할 수 있다.
(보유지지 유닛의 교환)
시트(303)에 대응하는 경우, 보유지지 유닛(71)을 시트(303)의 보유지지에 대응한 보유지지 유닛(74)으로 교환한다. 도 29는 보유지지 유닛(71)의 교환 구조의 설명도이며, 도 30은 보유지지 유닛(74)의 설명도이다. 또, 보유지지 유닛(70)은 시트(303)의 반송에는 이용하지 않는다. 이 때문에, 시트(303)의 반송시, 보유지지 유닛(70)은 특별히 분리할 필요는 없지만, 분리 가능하게 구성해 두고, 분리하도록 해도 된다.
본 실시형태에서의 아암 부재(7220)는, 이미 서술한 바와 같이, 근원측 부재(7220a)와 선단측 부재(7220b)의 2부재 구성으로 되어 있고, 서로 탈착이 자유롭게 접속되어 있다. 도 29는, 근원측 부재(7220a)와 선단측 부재(7220b)를 분리한 상태를 나타내고 있다. 근원측 부재(7220a)에는 위치 결정부(7220c)가 형성되어 있다. 본 실시형태의 경우, 위치 결정부(7220c)는 오목부 형상으로 형성되어 있고, 그 내주벽과 바닥벽에, 선단측 부재(7220b)의 단부(7220e)를 끼워맞춤으로써, 근원측 부재(7220a)와 선단측 부재(7220b)가 위치 결정된다. 단부(7220e)는 위치 결정부(7220c)의 형상에 합치하는 형상을 가지고 있다. 위치 결정부(7220c)에는 나사 구멍이 형성되어 있어, 복수의 볼트(V)에 의해 근원측 부재(7220a)와 선단측 부재(7220b)가 고정된다.
보유지지 유닛(74)에 대해 설명한다. 보유지지 유닛(74)은, Z방향으로 두께를 갖는 판형이며 직사각형의 베이스 부재(740)와, 베이스 부재(740)로부터 방사상으로 연장되는 복수의 지지 부재(741)를 구비한다. 본 실시형태의 경우, 지지 부재(741)는 6개 설치되어 있다. 각 지지 부재(741)의 선단에는 흡착부(742)가 지지되어 있다. 본 실시형태의 흡착부(742)는, 도시하지 않은 진공원에 접속되고, 그 하단의 개구로부터 공기를 흡인하는 노즐 부재이다. 6개의 흡착부(742)는, 시트(303)의 상면을 흡착하도록, 시트(303)보다 소직경의 가상원 상에 배치되어 있다. 또, 흡착부(742)의 수는 6개 이외이어도 된다. 또한, 시트(303)의 보유지지 방식으로서는, 흡착 이외의 보유지지 방식(예를 들어, 베르누이 효과나 코안다 효과를 이용한 척 등)이어도 된다.
보유지지 유닛(74)이 장착되는 선단 부재(7220b')는, 크랭크 형상을 가지고 있다. 선단 부재(7220b')의 단부(7220e')는 위치 결정부(7220c)에 합치하는 형상을 가지고 있고, 선단측 부재(7220b)와 마찬가지로, 복수의 볼트(V)에 의해 근원측 부재(7220a)와 선단측 부재(7220b')가 고정된다.
보유지지 유닛(71)은 선단 부재(7220b)와 일체의 아암 부재로서 하나의 교환 유닛을 구성하고 있다. 또한, 보유지지 유닛(74)은 선단 부재(7220b')와 일체의 아암 부재로서 하나의 교환 유닛을 구성하고 있다.
보유지지 유닛(71)이 장착되는 선단 부재(7220b) 및 보유지지 유닛(74)이 장착되는 선단 부재(7220b')에는, 각각, 센서(7223, 7223')와 센서(7223, 7223')의 신호선이 접속되는 중계 커넥터(7224)가 설치되어 있다. 센서(7223, 7223')는, 브래킷(7223a, 7223a)을 통해 선단측 부재(7220b, 7220b')에 지지되어 있다. 센서(7223, 7223')는, 근원측 부재(7220a)와 선단측 부재(7220b 또는 7220b')가 접속되어 있는지 여부, 즉, 보유지지 유닛(71) 또는 보유지지 유닛(74)이 장착되어 있는지 여부를 검지하는 센서이다. 본 실시형태의 경우, 센서(7223, 7223')는, 근원측 부재(7220a)에 마련한 피검지편(7220d)을 검지하는 광센서(포토인터럽터)이다.
중계 커넥터(7224)는, 센서(7223, 7223')를 포함하는 각종 센서 부품의 신호선이 접속되는 복수의 접속부(C1)와, 중계 커넥터(7224)와 컨트롤러(8e)를 전기적으로 접속하는 하네스가 접속되는 접속부(C2)를 포함한다. 각 접속부(C1)의 각 단자와, 접속부(C2)의 각 단자는 내부에서 전기적으로 접속되어 있다. 접속부(C1)는, 보유지지 유닛(71)의 장착을 검지하는 센서(7223)의 신호선이 접속되는 접속부와, 보유지지 유닛(74)의 장착을 검지하는 센서(7223')의 신호선이 접속되는 접속부를 포함하고, 각 센서(7223, 7223')의 검지 결과는, 접속부(C2)의 다른 단자로부터 컨트롤러(8e)에 출력된다.
(용기의 어댑터)
용기(300)를 언패킹, 패킹의 대상으로 하는 경우, 용기 본체부(301)를 어댑터(528)를 통해 안착 장치(52)에 올려놓는다. 어댑터(528)는 안착 장치(52)의 승강 테이블(522)에 장착된다. 도 31은 안착 장치(52)의 승강 테이블(522)과 어댑터(528)의 사시도이다.
어댑터(528)는 전체적으로 직사각형의 판형의 부재이다. 어댑터(528)의 바닥면에는 핀(522a)과 걸어맞춤하는 걸어맞춤부(도시생략)가 형성되어 있고, 이 걸어맞춤부와 핀(522a)의 걸어맞춤에 의해 어댑터(528)가 위치 결정된다. 어댑터(528)의 상면에는, 용기 본체부(301)를 어댑터(528)에 위치 결정하는 복수의 위치 결정 부재(528a)가 설치되어 있다.
또한, 어댑터(528)에는, 복수의 센서 도그(528b)가 설치되어 있다. 센서 도그(528b)는 Z방향으로 이동 가능하게 지지되어 있고, 또한 어댑터(528)를 Z방향으로 관통하고 있다. 센서 도그(528b)는, 승강 테이블(522)의 센서(522b)에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 어댑터(528) 상에 용기 본체부(301)가 놓이면, 용기 본체부(301)의 자중에 의해 센서 도그(528b)가 하방으로 압출되어, 센서(522b)가 ON 상태가 된다. 즉, 센서 도그(528b)를 통해, 센서(522b)가, 어댑터(528) 상에 용기 본체부(301)가 놓여 있는지 여부를 검출할 수 있다. 승강 테이블(522)에 대한 어댑터(528)의 장착은 센서(522c)에 의해 검지된다.
(시트의 어댑터)
본 실시형태의 경우, 시트(303)는 재이용하지 않고, 언패킹시에 폐기한다. 패킹시에는, 시트(303)를 새로 공급한다. 이 때문에, 안착 장치(53)에는, 시트(303)의 매거진이 되는 어댑터(534)를 장착한다. 도 32는 안착 장치(53)와 어댑터(534)의 사시도이다.
어댑터(534)는, 시트(303)의 적층체가 놓이는 베이스 플레이트(534a)와, 베이스 플레이트(534a)에 세워 설치되고, 시트(303)의 적층체를 외측으로부터 가이드하는 복수의 가이드 부재(534b)를 구비한다. 베이스 플레이트(534a)에는, 안착 장치(53)의 위치 결정 핀(531)과 걸어맞춤함과 아울러 간섭을 막기 위한 노치(534a)가 형성되어 있고, 어댑터(534)는 위치 결정 핀(531)에 의해 안착 장치(53)에 대해 위치 결정된다. 어댑터(534)의 장착은 센서(532)에 의해 검지된다.
(컨트롤러의 입력 포트)
후술하는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 보유지지 유닛(70, 74)의 장착, 어댑터(528, 534)의 탈착을 자동 판정한다. 그 때문에, 컨트롤러(8e)의 입력 포트에는, 이들의 검지 결과가 입력되는 포트가 할당되어 있다. 도 33은 입력 포트의 설명도이다.
도 33의 예에서는, 입력 포트(P1~P5)를 예시하고 있다. 예를 들어, 입력 포트(P1)는 센서(7223)의 검지 결과가 입력되는 포트이고, 입력 포트(P2)는 센서(7223')의 검지 결과가 입력되는 포트이며, 입력 포트(P3, P4)는 안착부(51a, 51b)의 각 센서(522c)의 검지 결과가 입력되는 포트이고, 입력 포트(P5)는 센서(532)의 검지 결과가 입력되는 포트이다.
(언패킹과 패킹)
용기(300)의 언패킹, 패킹에 대해 설명한다. 우선, 언패킹에 대해 설명한다.
용기(300)의 언패킹은, 용기(200)의 언패킹과 기본적으로 동일하다. 즉, 언패킹은, 안착부(51a 또는 51b) 상(안착 장치(52) 상)의 용기 본체부(301)에 놓여 있는 시트(303) 및 기판(W)의 적층체로부터, 시트(303)와 기판(W)을 하나씩 교대로 취출하는 동작이다. 단, 시트(303)는 재이용하지 않고 폐기한다. 이 동작을 도 34, 도 35를 참조하여 설명한다.
도 34는, 안착부(51a) 상의 용기 본체부(301)로부터 시트(303)를 취출하는 동작을 나타내고 있다. 용기 본체부(301)는 어댑터(528)를 통해 안착 장치(52) 상에 놓여 있다. 보호재 반송 로봇(7)에는, 보유지지 유닛(71) 대신에 보유지지 유닛(74)이 장착되어 있다. 용기 본체부(301)로부터 시트(303)를 취출할 때, 보유지지 유닛(74)은 이동 유닛(72)에 의해 작동 위치로 회동되어 용기 본체부(301)의 상방에 위치한 후, 하강되어 최상층의 시트(303)를 흡착 보유지지한다.
이어서 보유지지 유닛(74)은 도 34에 도시된 바와 같이 상승되어, 보유지지하고 있는 시트(303)를 폐기하는 동작으로 이동한다. 시트(303)는, 작업자에 의해 미리 반송 시스템(1) 내에 설치되는 폐기 상자(90)로 투입된다. 폐기 상자(90)의 상측에는, 투입되는 시트(303)를 폐기 상자(90)로 안내하는 안내판(chute)(91)이 작업자에 의해 미리 설치되어 있다.
도 34의 상태로부터, 시트(303)를 보유지지한 보유지지 유닛(74)은, 이동 유닛(72)에 의해 승강 위치로 회동된 후, 하강된다. 도 35에 도시된 바와 같이, 보유지지 유닛(70)을 작업 위치로 회동하여, 보유지지 유닛(74)의 하방 공간을 개방한 후, 보유지지 유닛(74)이 시트(303)의 보유지지를 해제한다. 시트(303)는 안내판(91) 상으로 자연 낙하하여, 폐기 상자(90)에 회수된다.
다음에, 패킹에 대해 설명한다. 용기(300)의 패킹도, 용기(200)의 패킹과 기본적으로 동일하다. 즉, 패킹은, 안착부(51a 또는 51b) 상(안착 장치(52) 상)의 용기 본체부(301)에, 시트(303)와 기판(W)을 하나씩 교대로 적재하는 동작이다. 단, 시트(303)는 새로운 시트를 공급한다. 이 동작을 도 36을 참조하여 설명한다.
안착 장치(53)에는 어댑터(534)를 통해 신규 시트(303)의 적층체(303S)가 준비되어 있다. 보호재 반송 로봇(7)에는, 보유지지 유닛(74)에 의해, 적층체(303S)로부터 최상층의 시트(303)를 취출하여, 용기 본체부(301)로 반송한다. 보유지지 유닛(74)은 이동 유닛(72)에 의해 작동 위치로 회동되어 적층체(303S)의 상방에 위치한 후, 하강되어 최상층의 시트(303)를 흡착 보유지지한다. 이어서 보유지지 유닛(74)은 도 36에 도시된 바와 같이 상승되어, 보유지지하고 있는 시트(303)를 용기 본체부(301)로 반송하는 동작으로 이동한다. 시트(303)의 용기 본체부(301)로의 반송은 스페이서(203)의 반송의 경우와 마찬가지이다.
이상에 의해, 본 실시형태에 의하면, 접촉식 및 비접촉식의 각 코인 스택 용기에 대응하여, 언패킹/패킹을 행할 수 있다.
<부품의 정합성의 자동 판정>
상기와 같이, 본 실시형태의 보호재 반송 장치(5)에서는, 일부의 부품의 교환, 탈착에 의해 접촉식 및 비접촉식의 각 코인 스택 용기에 대응 가능하다. 부품의 교환, 탈착은 작업자가 행하기 때문에, 사용하는 코인 스택 용기의 종류(바꾸어 말하면 보호재의 종류)와, 부품이 정합되지 않으면, 언패킹/패킹의 동작이 적절히 행해지지 않는다. 그래서, 본 실시형태에서는 부품의 정합성을 자동 판정한다. 도 37은 그 처리예를 나타내는 흐름도로서, 보호재 반송 장치(5)를 제어하는 컨트롤러(8e)가 실행하는 처리예를 나타내고 있다.
도 37은, 보호재 반송 장치(5)의 동작 모드를 작업자가 사전 설정하는 처리예를 나타내고 있다. S1에서는 동작 모드의 설정을 접수한다. 설정 방법은 어떠한 방법이어도 되지만, 본 실시형태에서는, 정보 표시 장치(6)에 동작 모드의 종류를 표시하고, 작업자가 선택 가능하게 하고 있다. 도 37에는 그 표시예도 도시되어 있다. 도시한 예에서는, 4종류의 동작 모드가 나타나 있다.
「링: 패킹」은, 비접촉식의 코인 스택 용기(200)에 대한 패킹을 행하는 동작 모드이며, 보호재의 종류는 스페이서(203)이다. 「링: 언패킹」은, 비접촉식의 코인 스택 용기(200)에 대한 언패킹을 행하는 동작 모드이며, 보호재의 종류는 스페이서(203)이다. 「시트: 패킹」은, 접촉식의 코인 스택 용기(300)에 대한 패킹을 행하는 동작 모드이며, 보호재의 종류는 시트(303)이다. 「시트: 언패킹」은, 접촉식의 코인 스택 용기(300)에 대한 언패킹을 행하는 동작 모드이며, 보호재의 종류는 시트(303)이다.
작업자가 어느 하나의 동작 모드를 선택하면, S2에서 장착 판정을 행한다. 여기서는, 보호재의 종류에 대응한, 보호재 반송 로봇(7), 안착부(51a~51c)의 구성 부품의 탈착을 판정한다. 구체적으로는, 보호재 반송 로봇(7)에 대해서는, 보유지지 유닛(71)과 보유지지 유닛(74) 중 어느 쪽이 장착되어 있는지를 판정한다. 안착부(51a, 51b)에 대해서는 어댑터(528)의 탈착을 판정한다. 안착부(51c)에 대해서는 어댑터(534)의 탈착을 판정한다. 이들 판정은, 입력 포트(P1~P5)에 입력되는 각 센서(7223, 7223', 522c, 522c, 532)의 검지 결과로부터 행할 수 있다.
S3에서는, S1에서 선택된 동작 모드와 S2의 장착 판정의 결과를 대조하여 그 정합성을 판정한다. 각 동작 모드와, 정상적인 부품의 상태의 관계는 이하와 같다.
○「링: 패킹」
보유지지 유닛(71)을 장착, 어댑터(528, 534)를 비장착
○「링: 언패킹」
보유지지 유닛(71)을 장착, 어댑터(528, 534)를 비장착
○「시트: 패킹」
보유지지 유닛(74)을 장착, 어댑터(528, 534)를 장착
○「시트: 언패킹」
보유지지 유닛(74)을 장착, 어댑터(528, 534)를 장착
또, 「시트: 언패킹」 모드에서는, 어댑터(534)의 탈착은 불문으로 해도 된다.
S4에서는 S3의 정합성 판정의 결과가 정합인지 여부에 의해, 그 후의 처리를 분기한다. 정합되어 있는 경우는 S5로 진행되고, 선택된 동작 모드에서의 보호재 반송 장치(5)의 동작이 허가된다. 그 후, 작업자의 동작 개시 지시에 의해, 선택된 동작 모드에서의 반송 동작 등이 개시된다. 정합되지 않은 경우는 S6으로 진행되고, 작업자에게 부품의 탈착에 오류가 있음이 알려짐과 아울러, 선택된 동작 모드에서의 보호재 반송 장치(5)의 동작이 금지된다. 알림은, 예를 들어, 표시나 음성으로 행할 수 있다. 표시의 경우, 정보 표시 장치(6)에 표시해도 된다.
이상의 처리에 의해, 코인 스택 용기 및 보호재의 종류에 대응하면서, 동작 모드에 대응한 부품의 혼동을 방지할 수 있다. 또, 본 실시형태에서는, 시트(303)를 사용하는 경우에, 어댑터(528, 534)를 사용하도록 하고 있고, 디폴트의 보호재의 종류는 스페이서(203)로 하였다. 그러나, 디폴트의 보호재를 시트(303)로 하고, 스페이서(203), 즉, 비접촉식의 코인 스택 용기의 언패킹/패킹을 행하는 경우에 어댑터를 장착하는 구성이어도 된다.
또한, 도 37의 예에서는, 선택된 동작 모드의 종류와, 부품의 탈착의 사이의 정합성을 판정하도록 하였지만, 부품 사이의 정합성을 판정하도록 해도 된다. 도 38은 그 처리예를 나타내는 흐름도로서, 컨트롤러(8e)가 실행하는 처리예이다.
S11에서는 미리 정한 판정 타이밍인지 여부를 판정한다. 판정 타이밍은, 예를 들어, 언패킹이나 패킹의 동작 개시 지시가 있었던 경우나, 시스템의 기동시 등이다.
S12에서는 장착 판정을 행한다. 도 37의 S2와 동일한 처리이다. S13에서는 부품 사이의 정합성 판정을 행한다. 여기서는, 예를 들어, 이하의 조합을 정합하고 있는 것으로 한다.
○보유지지 유닛(71)을 장착, 어댑터(528, 534)를 비장착
○보유지지 유닛(74)을 장착, 어댑터(528, 534)를 장착
예를 들어, 보유지지 유닛(71)의 장착이 검지되고, 어댑터(528)의 장착도 검지된 경우는, 정합되지 않는다고 판정된다. 또한, 예를 들어, 보유지지 유닛(74)의 장착이 검지되고, 어댑터(528)의 장착이 검지되지 않은 경우는, 정합되지 않는다고 판정된다.
S14에서는 S13의 정합성 판정의 결과가 정합인지 여부에 의해, 그 후의 처리를 분기한다. 정합되어 있는 경우는 S15로 진행되고, 보호재 반송 장치(5)의 동작을 허가한다. 정합되지 않는 경우는 S16으로 진행되고, 도 37의 S6과 마찬가지의 처리를 행한다.
<반송 시스템의 다른 레이아웃의 예>
(보유지지 유닛과 이동 유닛)
상기 실시형태에서는, 보유지지 유닛(70)과 보유지지 유닛(71)에서, 이들을 상하로 이동하는 이동 유닛(720)을 공통으로 한 보호재 반송 장치(5)를 예시하였지만, 이동 유닛(720)을 보유지지 유닛(70, 71)에 개별적으로 마련하는 것도 가능하다. 도 39는 그 일례를 나타낸다. 도 39의 예는 선반부(5A)의 X방향의 양측에 로봇 수용부(5B)를 각각 배치하고 있다.
2개의 로봇 수용부(5B) 중 한쪽에는, 보유지지 유닛(70)과, 그 회동을 행하는 이동 유닛(721)과, 이동 유닛(721)의 상하 이동을 행하는 이동 유닛(720)이 설치되어 있고, 다른 쪽에는 보유지지 유닛(71)과, 그 회동을 행하는 이동 유닛(722)과, 이동 유닛(722)의 상하 이동을 행하는 이동 유닛(720)이 설치되어 있다. 이 예에서는, 이동 유닛(70, 71)을 독립적으로 회동할 뿐만 아니라, 독립적으로 승강할 수 있다. 그리고, 보유지지 유닛(70, 71)이 공통의 선반부(5A) 내의 스페이서(203)에 액세스할 수 있다.
(안착부의 배치)
상기 실시형태에서는, 안착부(51a 및 51b)에 대해, 안착부(51c)를 하방에 배치하였지만, 안착부(51c)를 안착부(51a, 51b)의 상방에 배치해도 된다. 또한, 안착부(51c)를 안착부(51a)와 안착부(51b)의 사이에 배치해도 된다.
또한, 안착부(51c)를, 안착부(51a, 51b)에 대해, 가로방향으로 오프셋하여 배치해도 된다. 도 40, 도 41은 그 일례를 나타낸다.
도 40은, 안착부(51c)를, 보유지지 유닛(70, 71)의 회동 범위 내에서, 안착부(51a, 51b)에 대해 가로방향으로 오프셋한 예를 나타내고 있고, 안착부(51c)의 배치는 점선으로 도시되어 있다. 안착부(51c)의, 안착부(51a, 51b)에 대한 상하 방향의 오프셋에 대해서는, 한쪽의 안착부(51a, 51b)와 동일한 높이로 안착부(51c)를 배치해도 되고, 어떤 안착부(51a, 51b)와 다른 높이로 안착부(51c)를 배치해도 된다.
2점쇄선으로 도시하는 안착부(51c)는, 보유지지 유닛(70, 71)의 승강 위치에서의 상하의 이동 궤도상에 있다. 그러나, 안착부(51c)의 가로방향의 배치는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 회동 중심축(Z1) 둘레의 보유지지 유닛(70, 71)의 회동 가능 범위를 1점쇄선으로 나타내는 궤도(R)로 하면, 궤도(R) 상의 임의의 위치를 적절히 선택할 수 있고, 선택한 위치에 대응하여 주변의 구성을 설계하면 된다. 이 경우도, 안착부(51c)의, 안착부(51a, 51b)에 대한 상하 방향의 오프셋에 대해서는, 한쪽의 안착부(51a, 51b)와 동일한 높이로 안착부(51c)를 배치해도 되고, 어떤 안착부(51a, 51b)와 다른 높이로 안착부(51c)를 배치해도 된다.
도 41의 예는, 안착부(51a~51c)를 동일한 높이로 나란히 배치한 예를 나타내고 있다. 도시한 예에서는, 안착부(51a~51c)를 X방향으로 나란히 배치하고, 안착부(51a)와 안착부(51b)의 사이에 안착부(51c)를 배치하고 있다. 그러나, 안착부(51a~51c)의 배치 방향이나 배치 순서는 이에 한정되지 않는다.
도 41의 예에서는, 보호재 반송 로봇(7)이 X방향으로 왕복할 수 있는 구성(이동 유닛(723))을 더 구비하고 있다. 이동 유닛(723)은, X방향으로 연장되는 레일형상의 한 쌍의 안내 부재(723a)를 따라 X방향으로 이동하는 주행체이다. 이동 유닛(723)의 구동 기구는, 모터 등의 구동 기구와, 볼 나사 기구나 벨트 전동 기구 등의 구동력 전달 기구로 구성할 수 있다.
이동 유닛(720)은 이동 유닛(723)에 탑재되어 있고, 또한, 이동 유닛(721, 722)은 이동 유닛(720)에 의해 승강된다. 따라서, 보유지지 유닛(70, 71)은, 이동 유닛(721, 722)에 의한 회동과, 이동 유닛(720)에 의한 승강과, 이동 유닛(723)에 의한 X방향의 수평 이동이 가능하다. 도 41에서의 보유지지 유닛(70, 71)의 위치는, 상기 실시형태의 승강 위치에 상당하고, 한 쌍의 안내 부재(723a)의 상방의 위치이다. 도 41의 예에서의 보유지지 유닛(70, 71)의 작동 위치는, 도 41에 도시한 위치로부터 90도 반시계방향으로 회동한, 안착부(51a, 51b 또는 51c)의 상방의 위치이다.
도 40이나 도 41에 도시한 레이아웃에서도, 상기 실시형태와 마찬가지로, 언패킹, 패킹을 행할 수 있다.
이상, 발명의 실시형태에 대해 설명하였지만, 발명은 상기 실시형태에 제한되는 것은 아니고, 발명의 요지의 범위 내에서, 여러 가지의 변형·변경이 가능하다. 따라서, 본 발명의 범위를 공표하기 위해, 이하의 청구항을 첨부한다.

Claims (18)

  1. 용기 내에 보호재와 기판의 적층체를 형성하는 패킹 동작, 및 용기 내의 상기 적층체로부터 상기 보호재와 상기 기판을 교대로 취출하는 언패킹 동작의 각 동작시에, 상기 보호재를 반송하는 반송 수단과,
    상기 보호재가 적재되는 보호재 안착부와,
    상기 용기의 용기 본체부가 놓이는 용기 안착부와,
    상기 보호재의 종류에 대응한 복수의 동작 모드 중, 선택된 동작 모드로 상기 반송 수단을 제어하는 제어 수단과,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 선택되고, 또한 상기 반송 수단, 상기 보호재 안착부 및 상기 용기 안착부를 구성하는 각 부품의 탈착을 판정하는 장착 판정 수단과,
    선택된 상기 동작 모드와 상기 장착 판정 수단의 판정 결과의 정합성(整合性)을 판정하는 정합성 판정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 보호재의 종류는, 시트와 틀 형상의 스페이서이며,
    상기 반송 수단은,
    하나의 상기 스페이서를 보유지지하는 제1 보유지지 수단과,
    상기 반송 수단을 구성하는 상기 부품으로서, 선택적으로 장착되는 제2 보유지지 수단을 구비하고,
    상기 제2 보유지지 수단은,
    상기 시트를 보유지지하는 시트 보유지지 수단이거나, 또는
    적층된 복수의 상기 스페이서를 일괄하여 보유지지하는 스페이서 보유지지 수단이며,
    상기 장착 판정 수단은, 상기 시트 보유지지 수단과 상기 스페이서 보유지지 수단 중 어느 쪽이 장착되어 있는지를 판정하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 스페이서 보유지지 수단은,
    적층된 상기 스페이서를 내측으로부터 보유지지하는 복수의 보유지지 부재와,
    상기 복수의 보유지지 부재를 지지하고, 확대 수축이 자유롭게 변위시키는 변위 수단을 구비하며,
    각각의 상기 보유지지 부재는, 그 하단에, 외측에 연장 설치되는 플랜지 형상의 걸어맞춤부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 스페이서가 원환(圓環) 형상을 가지며,
    상기 복수의 보유지지 부재는, 상기 스페이서의 둘레방향으로 등간격으로 배치되고,
    각각의 상기 보유지지 부재는, 적층된 상기 스페이서의 내주면을 따라 접촉하는 외주부를 포함하고, 이 외주부의 하단에 상기 걸어맞춤부를 갖는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 반송 수단은,
    상기 제1 보유지지 수단을 회동이 자유롭게 지지하는 제1 이동 유닛과,
    상기 제2 보유지지 수단을 회동이 자유롭게 지지하는 제2 이동 유닛과,
    상기 제1 이동 유닛 및 상기 제2 이동 유닛을 함께 이동시키는 제3 이동 수단을 포함하고,
    상기 제3 이동 수단은, 상기 제1 이동 유닛 및 상기 제2 이동 유닛을 상하로 이동시키며,
    상기 제1 이동 유닛 및 상기 제2 이동 유닛은, 상하 방향으로 오프셋하여 배치되고, 또한 각각의 회동의 중심축을 동축 상에 배치한 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 시트 보유지지 수단의 장착을 검지하는 센서를, 상기 장착 판정 수단에 전기적으로 접속하기 위한 제1 접속 수단을 구비하고,
    상기 스페이서 보유지지 수단의 장착을 검지하는 센서를, 상기 장착 판정 수단에 전기적으로 접속하기 위한 제2 접속 수단을 구비하며,
    상기 장착 판정 수단은,
    상기 제1 접속 수단으로부터의 전기 신호가 입력되는 제1 입력 포트, 및 상기 제2 접속 수단으로부터의 전기 신호가 입력되는 제2 입력 포트를 구비하고, 또한
    상기 제1 입력 포트 또는 상기 제2 입력 포트 중 어느 쪽에 전기 신호가 입력되었는지에 따라, 상기 시트 보유지지 수단 또는 상기 스페이서 보유지지 수단 중 어느 쪽의 장착인지를 판정하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 제2 이동 유닛은, 상기 제2 보유지지 수단을 위치 결정하는 위치 결정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 시트 보유지지 수단은, 상기 시트의 상면을 흡착하는 복수의 흡착부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  9. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 보유지지 수단은,
    상기 스페이서의 상면을 흡착하는 복수의 흡착부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 보호재의 종류는, 시트와 틀 형상의 스페이서이며,
    상기 보호재 안착부를 구성하는 상기 부품으로서, 착탈이 자유로운 어댑터를 구비하고,
    상기 보호재 안착부에는, 상기 어댑터를 장착하지 않은 경우에, 상기 시트 또는 상기 스페이서 중 한쪽이 적재 가능하며,
    상기 보호재 안착부에는, 상기 어댑터를 장착함으로써, 상기 시트 또는 상기 스페이서 중 다른 쪽이 적재 가능하고,
    상기 장착 판정 수단은, 상기 어댑터의 장착의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 보호재의 종류는, 시트와 틀 형상의 스페이서이며,
    상기 용기 안착부를 구성하는 상기 부품으로서, 착탈이 자유로운 어댑터를 구비하고,
    상기 용기 안착부에는, 상기 어댑터를 장착하지 않은 경우에, 상기 시트용의 용기 본체부 또는 상기 스페이서용의 용기 본체부 중 한쪽이 적재 가능하며,
    상기 용기 안착부에는, 상기 어댑터를 장착함으로써, 상기 시트용의 용기 본체부 또는 상기 스페이서용의 용기 본체부 중 다른 쪽이 적재 가능하고,
    상기 장착 판정 수단은, 상기 어댑터의 장착의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 정합성 판정 수단이 정합되지 않는다고 판정한 경우에, 이를 알리는 알림 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어 수단은, 상기 정합성 판정 수단이 정합된다고 판정하였음을 조건으로 하여, 상기 반송 수단을 동작시키는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  14. 용기 내에 보호재와 기판의 적층체를 형성하는 패킹 동작, 및 용기 내의 상기 적층체로부터 상기 보호재와 상기 기판을 교대로 취출하는 언패킹 동작의 각 동작시에, 복수 종류 중에서 선택되는 상기 보호재에 대응하여 동작 모드가 설정되는 제어 수단과,
    선택된 상기 보호재에 대응하여 탈착되고, 이 보호재가 놓이는 보호재 안착 부재와,
    선택된 상기 보호재에 대응하여 탈착되고, 상기 용기의 용기 본체부가 놓이는 용기 안착 부재와,
    선택된 상기 보호재에 대응하여 선택되고, 상기 보호재를 보유지지하는 아암 부재를 포함하며, 이 보호재를 반송하는 반송 수단과,
    상기 보호재 안착 부재 및 상기 용기 안착 부재의 탈착 및 장착되어 있는 상기 아암 부재의 종류를 판정하는 장착 판정 수단과,
    상기 장착 판정 수단에 의한 상기 보호재 안착 부재 및 상기 용기 안착 부재의 탈착 및 상기 아암 부재의 종류의 정합성을 판정하는 정합성 판정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  15. 용기 본체부에 보호재와 기판의 적층체를 형성한 후, 이 용기 본체부에 용기 커버를 씌우는 패킹 동작을 행하는 장치의 제어 방법으로서,
    상기 장치는,
    상기 보호재를 반송하는 반송 수단과,
    상기 보호재가 적재되는 보호재 안착부와,
    상기 용기 본체부가 놓이는 용기 안착부를 구비하며,
    상기 제어 방법은,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 선택되고, 또한 상기 반송 수단, 상기 보호재 안착부 및 상기 용기 안착부를 구성하는 각 부품의 탈착을 판정하는 장착 판정 공정과,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 설정되는 동작 모드의 설정과 상기 장착 판정 공정의 판정 결과의 정합성을 판정하는 정합성 판정 공정과,
    상기 정합성 판정 공정에서 정합성이 긍정되었을 때, 설정된 상기 동작 모드로 상기 패킹 동작을 행하기 위해, 상기 장치를 제어하는 제어 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  16. 용기 본체부에 보호재와 기판의 적층체를 형성한 후, 이 용기 본체부에 용기 커버를 씌우는 패킹 동작을 행하는 장치의 제어 방법으로서,
    상기 장치는,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 탈착되고, 이 보호재가 놓이는 보호재 안착 부재와,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 탈착되고, 상기 용기 본체부가 놓이는 용기 안착 부재와,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 선택되고, 상기 보호재를 보유지지하는 아암 부재를 포함하고, 이 보호재를 반송하는 반송 수단을 구비하며,
    상기 제어 방법은,
    상기 보호재 안착 부재 및 상기 용기 안착 부재의 탈착 및 장착되어 있는 상기 아암 부재의 종류를 판정하는 장착 판정 공정과,
    상기 장착 판정 공정에 의한 상기 보호재 안착 부재 및 상기 용기 안착 부재의 탈착 및 상기 아암 부재의 종류의 정합성을 판정하는 정합성 판정 공정과,
    상기 정합성 판정 공정에서 정합성이 긍정되었을 때, 상기 패킹 동작을 행하기 위해, 상기 장치를 제어하는 제어 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  17. 보호재와 기판의 적층체가 수용되는 용기로부터 용기 커버를 분리한 후, 상기 보호재와 상기 기판을 교대로 취출하는 언패킹 동작을 행하는 장치의 제어 방법으로서,
    상기 장치는,
    상기 보호재를 반송하는 반송 수단과,
    상기 보호재가 적재되는 보호재 안착부와,
    상기 용기의 용기 본체부가 놓이는 용기 안착부를 구비하며,
    상기 제어 방법은,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 선택되고, 또한 상기 반송 수단, 상기 보호재 안착부 및 상기 용기 안착부를 구성하는 각 부품의 탈착을 판정하는 장착 판정 공정과,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 설정되는 동작 모드의 설정과 상기 장착 판정 공정의 판정 결과의 정합성을 판정하는 정합성 판정 공정과,
    상기 정합성 판정 공정에서 정합성이 긍정되었을 때, 설정된 상기 동작 모드로 상기 언패킹 동작을 행하기 위해, 상기 장치를 제어하는 제어 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
  18. 보호재와 기판의 적층체가 수용되는 용기로부터 용기 커버를 분리한 후, 상기 보호재와 상기 기판을 교대로 취출하는 언패킹 동작을 행하는 장치의 제어 방법으로서,
    상기 장치는,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 탈착되고, 이 보호재가 놓이는 보호재 안착 부재와,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 탈착되고, 상기 용기의 용기 본체부가 놓이는 용기 안착 부재와,
    상기 보호재의 종류에 대응하여 선택되고, 상기 보호재를 보유지지하는 아암 부재를 포함하고, 이 보호재를 반송하는 반송 수단을 구비하며,
    상기 제어 방법은,
    상기 보호재 안착 부재 및 상기 용기 안착 부재의 탈착 및 장착되어 있는 상기 아암 부재의 종류를 판정하는 장착 판정 공정과,
    상기 장착 판정 공정에 의한 상기 보호재 안착 부재 및 상기 용기 안착 부재의 탈착 및 상기 아암 부재의 종류의 정합성을 판정하는 정합성 판정 공정과,
    상기 정합성 판정 공정에서 정합성이 긍정되었을 때, 상기 언패킹 동작을 행하기 위해, 상기 장치를 제어하는 제어 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 제어 방법.
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