WO2020026645A1 - 搬送装置及び制御方法 - Google Patents

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博史 中村
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平田機工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a technique for unpacking / packing a substrate such as a semiconductor wafer.
  • Patent Document 1 discloses an apparatus for automating unpacking and packing of a coin stack container using a sheet-like protective material.
  • Patent Literature 2 discloses a device using a ring-shaped spacer as a protective material. The contact between the circuit formed on the semiconductor wafer and the protective material can be avoided, and the protection performance of the circuit can be improved.
  • An object of the present invention is to perform unpacking / packing corresponding to each of a contact type and a non-contact type coin stack container.
  • the protective material is transported.
  • Transport means to A protection material mounting portion on which the protection material is loaded, A container mounting portion on which the container body of the container is mounted, Control means for controlling the transport means in a selected operation mode among a plurality of operation modes corresponding to the type of the protective material, Attaching determination means, which is selected according to the type of the protection material, and determines whether or not each of the components constituting the transporting means, the protection material mounting part, and the container mounting part is detachable, Consistency determination means for determining consistency between the selected operation mode and the determination result of the mounting determination means, A transfer device is provided.
  • unpacking / packing can be performed for each of the contact type and non-contact type coin stack containers.
  • FIG. 1 is a perspective view of a transport system according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view showing an internal layout of the transport system in FIG. 1.
  • FIG. Explanatory drawing of a container Explanatory drawing of a container. Explanatory drawing of a spacer conveyance device. Explanatory drawing of a container mounting device. Explanatory drawing of a container mounting device. Explanatory drawing of a protective material mounting device. Explanatory drawing of a protection material conveyance robot. Explanatory drawing of a holding unit. Explanatory drawing of a holding unit.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of a holding operation by the holding unit in FIG. 11.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of a holding operation by the holding unit in FIG. 11.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of a holding operation by the holding unit in FIG. 11.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of a holding operation by the holding unit in FIG. 11.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of a holding operation by the holding unit in FIG. 11.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of a holding operation by the holding unit in FIG. 11.
  • FIG. 2 is a block diagram of a control device of the transport system in FIG. 1. Operation
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of a part of the protection material transport robot. Explanatory drawing of a holding unit.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of a part of the protection material transport robot. Explanatory drawing of a holding unit.
  • movement explanatory drawing of the conveyance system of FIG. 5 is a flowchart illustrating a processing example of a controller.
  • 9 is a flowchart illustrating another example of processing of the controller.
  • FIG. 9 is a plan view showing another example of the layout of the transport system.
  • FIG. 9 is a plan view showing another example of the layout of the transport system.
  • FIG. 9 is a plan view showing another example of the layout of the transport system.
  • FIG. 1 is a perspective view of a transport system 1 according to one embodiment of the present invention.
  • the transport system 1 has a function of unpacking a coin stack container and transferring a substrate (a semiconductor wafer in this case) in the coin stack container to a container such as a FOUP. Further, the transport system 1 has a function of unloading a substrate from a container such as a FOUP and packing the unloaded substrate in a coin stack container. That is, the transport system 1 is a packing system that performs unpacking / packing (unpacking operation / packing operation) of the coin stack container.
  • the transport system 1 includes a substrate transport device 2 having a built-in substrate transport mechanism, a plurality of load ports 3, an aligning device 4 for aligning the substrate, and a protective material transport device 5 having a protective material transport mechanism. And an information display device 6.
  • the information display device 6 is, for example, a touch-panel display, and receives input of settings for the transport system 1 and displays operation information of the transport system 1.
  • FIG. 2 is a plan view showing a layout inside the transfer system 1, and the substrate transfer device 2 constitutes a transfer mechanism that transfers a substrate inside the transfer system 1.
  • the substrate transfer device 2 includes a substrate transfer robot 20 provided in the internal space 2a.
  • the substrate transfer robot 20 can reciprocate in the X direction by the guidance of a pair of guide members 24 extending in the X direction.
  • the pair of guide members 24 are, for example, rail members, and define a movement path of the substrate transfer robot 20.
  • the substrate transfer robot 20 includes a horizontal articulated mechanism 21, a base unit 22, and a traveling unit 23.
  • the traveling unit 23 includes a driving mechanism that moves in the X direction along the guide member 24.
  • the drive mechanism includes, for example, a drive source such as a motor and a drive transmission mechanism such as a belt transmission mechanism and a rack-pinion mechanism.
  • the base unit 22 is mounted on the traveling unit 23 and includes a drive mechanism that moves up and down and turns the horizontal articulated mechanism 21.
  • This drive mechanism includes, for example, a drive source such as a motor and a drive transmission mechanism such as a belt transmission mechanism, a rack-pinion mechanism, and a gear mechanism.
  • the horizontal articulated mechanism 21 includes a hand 21a, an arm for moving the hand 21a in the horizontal direction, a mechanism for turning the hand 21a up and down freely, and a driving mechanism for them.
  • the drive mechanism includes, for example, a drive source such as a motor and a drive transmission mechanism such as a belt transmission mechanism.
  • the hand 21a is provided with a plurality of suction portions for sucking the substrate by suction of air or the like, and the substrate is sucked and held by the hand 21a during the transfer of the substrate.
  • the load port 3 and the protective material transporting device 5 are provided along one side of the moving path (guide member 24) of the substrate transfer robot 20 along the moving path.
  • the transport of the protective material by the protective material transport device 5 and the transport of the substrate by the substrate transport device 2 can be performed alternately, and the transport of the protective material and the transport of the substrate can be performed. Since they can be performed in parallel, the tact time can be reduced.
  • loading and unloading of coin stack containers and loading and unloading of containers such as FOUPs can be performed, so that the workability of workers can be improved.
  • the aligning device 4 is arranged on the other side of the moving path (guide member 24) of the substrate transfer robot 20. With this arrangement, at the time of packing, the substrate is unloaded from the load port 3 (a container opening / closing device such as a FOUP) by the substrate transfer robot 20 and is efficiently transferred to the protective material transfer device 5 via the aligning device 4. can do.
  • a container opening / closing device such as a FOUP
  • the aligning device 4 is arranged at a position facing the protective material transporting device 5.
  • the substrate transport robot 20 just unloads the substrate from the aligning device 4 and then reverses to the rear side, directly facing the protective material transport device 5, so that positioning in the X direction is not required, resulting in displacement. There is no fear.
  • FIG. 3 is a partial schematic side sectional view of the load port 3.
  • the load port 3 is an opener for opening and closing the container 100.
  • the container 100 is a FOUP, FOSB, SMIF, open cassette, or the like.
  • the container 100 has a box-shaped container main body 101 having an opening 102 for inserting and removing a circular substrate W, which is a semiconductor wafer, on the side, and a lid (door) that is removably mounted on the opening 102 and closes the opening 102.
  • FIG. 3 shows a closed position where the container 100 is closed by the lid 103 and an open position where the lid 103 is opened by the load port 3 (shown by a two-dot chain line in FIG. 3).
  • the container body 100 is mounted on the mounting portion 32 with the opening 102 facing the hole 311 as shown in FIG.
  • the horizontal articulated mechanism 21 of the substrate transfer device 2 can access the substrate W in the container main body 101 via the hole 311 and the opening 102.
  • the mounting section 32 is provided in a table shape.
  • the mounting portion 32 includes a movable dock plate 321 on which the container 100 is mounted.
  • the dock plate 321 is moved by a moving mechanism (not shown) in a position close to the hole 311 of the wall body 31 (a position shown in FIG. 3); It is moved movably back and forth in the Y direction at the separated position.
  • the dock plate 321 moves to a position separated from the hole 311 (retreat position), and when the container 100 is opened and closed, the dock plate 321 moves to a position close to the hole 311 (advance position). Is done.
  • the load port 3 is provided with an opening / closing mechanism 33.
  • the opening / closing mechanism 33 moves the holding unit (port door) 330 that holds the lid 103 and the port door 330 forward and backward in the arrow direction AY.
  • a moving mechanism 331 for moving up and down to AZ.
  • the substrate W is carried out of the container body 101 and the substrate W is carried into the container body 101.
  • the aligning device 4 includes a centering unit 40 as shown in FIG.
  • the centering unit 40 described in the present embodiment is a device for centering the substrate W, but is not limited to this.
  • the centering of the substrate W and the adjustment of the notch (or orientation flat) position may be performed like an aligner commonly used in a semiconductor manufacturing apparatus.
  • the centering unit 40 includes three chucks 44 in the case of the present embodiment. Each chuck 44 is driven to open and close in synchronization by an actuator (not shown). The substrate W placed on the centering unit 40 is centered, that is, centered by being gripped by the chucks 44.
  • FIG. 4A is an explanatory view of a container 200 which is a coin stack container, and is a cross-sectional view thereof.
  • the container 200 is a hollow body including a container main body 201 and a cover 202 serving as a lid of the container main body 201.
  • a laminate of the protective material 203 and the substrate W placed on the protective material 203 is accommodated in the container 200. This laminate is placed on the container body 201, and movement in the radial direction is restricted by the peripheral wall of the container body 201.
  • a concave portion 201a is formed on a bottom surface inside the container body 201 to prevent interference when a holding unit 71 described later collectively removes the protective material 203.
  • the container main body 201 includes, on the bottom surface thereof, a convex portion 201c that engages with a concave portion 203a of the protective member 203 described later.
  • the protection member 203 is a spacer for providing a gap between the substrates W, and is made of, for example, resin.
  • the protection member 203 may be called a spacer.
  • the spacer 203 is a frame-shaped member that conforms to the shape of the substrate W. In the present embodiment, since the substrate W is circular, the spacer 203 has an annular shape. However, the shape of the spacer 203 is not limited to this, and may be, for example, a rectangle or a polygon as long as the shape avoids a protection region (a circuit forming portion or the like) on the substrate W.
  • a concave portion 203a is formed on the lower surface side, and a convex portion 203b and a mounting surface 203c are formed on the upper surface side.
  • the protrusion 203b is an annular protrusion that engages with the recess 203a.
  • the concave portion 203a of the lowermost protective material 203 is engaged with the above-mentioned convex portion 201c, and between adjacent protective materials 203, the convex portion 203b of the lower protective material 203 is replaced by the inner portion 203a of the upper protective material 203. Is engaged.
  • the spacer 203 can be more stably laminated by the engagement between the concave portion 203a and the convex portion 203b.
  • the mounting surface 203c is an annular flat surface on which the peripheral portion of the substrate W is mounted.
  • a plurality of substrates W can be stacked in the container 200 without bringing the circuit portion of the substrate W into contact with another substrate W or the spacer 203.
  • FIG. 5 is a view schematically showing the protective material transporting apparatus 5, schematically showing a state in which the exterior panel has been removed.
  • the protective material transporting device 5 is a device that transports the spacer 203 as a protective material.
  • the protective material transporting apparatus 5 transports the sheet-like protective material 303 described later by detaching and attaching some parts in addition to transporting the protective material 203 when the spacer 203 is used as a protective material. Is possible.
  • the sheet-shaped protection member 303 may be referred to as a sheet 303 in some cases.
  • the protective material transporting device 5 includes a frame 50 including a plurality of columns and beams, and each component is supported by the frame 50.
  • the frame 50 has a rectangular parallelepiped outer shape that is long in the Z direction, and its internal space has a shelf 5A and a robot housing 5B arranged in the X direction.
  • the frame 50 includes shelf members 50a to 50c that divide the internal space of the shelf 5A in the Z direction.
  • a lower mounting portion 51c is formed by 50c.
  • Each of the mounting portions 51a to 51c is provided with a horizontally opening door 5a to 5c at the front of the transport system 1 as shown in FIG.
  • Each of the doors 5a to 5c is formed with a translucent window 5a 'to 5c' formed of an acrylic panel or a glass panel, and the mounting portions 51a to 51c are visible from the outside.
  • the containers 200 to be unpacked or packed are placed on the placement units 51a and 51b. By opening the doors 5a and 5b, the operator can carry the container 200 in and out of the receivers 51a and 51b.
  • the container 200 only the container main body 201 is placed on the placing portions 51a and 51b with the cover 202 removed.
  • the transport system 1 may be provided with a cover removing mechanism, the container 200 to which the cover 202 is attached may be placed on the receivers 51a and 51b, and the cover 202 may be removed by the cover removing mechanism.
  • two mounting portions 51a and 51b are provided, but may be one, or three or more.
  • the spacer 203 is placed on the placement portion 51c during unpacking or packing. That is, it is a temporary storage place for the spacer 203.
  • the spacer 203 is stacked on the mounting portion 51c. By opening the door 5c, the worker can carry out the spacer 203 from the placement part 51c or carry in the spacer 203 to the placement part 51c. Such an operation is performed, for example, when the spacer 203 is excessive or insufficient.
  • a container placement device 52 is provided on each of the placement portions 51a and 51b, and a protective material placement device 53 is provided on the placement portion 51c.
  • the container mounting device 52 and the protective material mounting device 53 will be described.
  • the container placing device 52 and the protective material placing device 53 may be simply referred to as the placing device 52 and the placing device 53.
  • the mounting device 52 will be described.
  • FIG. 6 is a perspective view of the placing device 52
  • FIG. 7 is a perspective view of the placing device 52 on which the container body 201 is mounted.
  • the mounting device 52 includes a base plate 520 and a pair of guide members 521 that support the base plate 520 movably in the Y direction.
  • the guide member 521 is, for example, a slide rail.
  • the base plate 520 has a C-shaped outer shape that is open at the back in the Y direction, and a handle 520a is provided on the near side in the Y direction.
  • a handle 520a is provided on the near side in the Y direction.
  • a plurality of guide members 520 b are provided on the base plate 520. With the guidance of the plurality of guide members 520b, when the container main body 201 is placed on the base plate 520, the container main body 201 is roughly positioned with respect to the base plate 520, and rattling is prevented.
  • a lift table 522 is provided at the opening of the base plate 520.
  • the elevating table 522 is moved in the Z direction by the elevating mechanism 523 disposed below the elevating table 522.
  • the lifting table 522 is provided with a plurality of pins 522a for positioning the container body 201.
  • the pin 522a is an engagement pin for kinematic coupling, engages with an engagement portion 201b (a valley-shaped groove in the present embodiment) provided in the container main body 201, and On the other hand, the container body 201 is accurately positioned.
  • the elevating table 522 is provided with sensors 522b and 522c.
  • the sensor 522b is a sensor that detects whether or not the container main body 201 is placed on the elevating table 522.
  • the sensor 522b is a push-button switch that is turned on by the weight of the container main body 201. It is.
  • the sensor 522c is a sensor that detects attachment / detachment of an adapter 528 described later.
  • the adapter 528 is a member that is mounted when a coin stack container using a sheet 303 described later is used.
  • the sensor 522c is a push-button switch (occupancy sensor) that is turned ON by the weight of the adapter 528.
  • the elevating table 522 is located at a retracted position lower than the base plate 520 by the elevating mechanism 523. An operator pulls out the base plate 520, places the container body 201 on the base plate 520, and then returns the base plate 520 to the original position. Thereafter, the elevating table 522 is raised by the elevating mechanism 523, and slightly lifts the container body 201 from the base plate 520. At the time of this lifting, the pins 522 a engage with the engaging portions 201 b of the container main body 201 to position the container main body 201, and the container main body 201 is supported on the lifting table 522. Note that the sensor 522c is arranged so as not to be turned ON even when the container main body 201 is supported on the elevating table 522.
  • sensors 524, 526, and 527 for detecting the accommodation state of the spacer 203 and the substrate W in the container main body 201 are supported by the frame 50.
  • the sensor 524 is a laser positioning sensor, and two sensors are provided in the present embodiment.
  • the sensor 524 bends the direction of the laser beam by the reflection mirror 525 supported on the frame 50 via the bracket 525a, and detects the target position.
  • the sensor 524 detects, for example, the height of the stacked body of the spacer 203 and the substrate W on the container body 201.
  • the sensor 526 is a color sensor, and is used to determine the type of the uppermost layer member of the stacked body of the spacer 203 and the substrate W on the container main body 201.
  • the sensor 527 is a laser positioning sensor, and detects the height of a stacked body including only the spacer 203 loaded on the container main body 201.
  • FIG. 8 is a perspective view of the mounting device 53.
  • the mounting device 53 includes a base plate 530.
  • a plurality of positioning pins 531 are erected on the base plate 530. In the present embodiment, the number of the positioning pins 531 is three.
  • the spacer 203 is loaded on the base plate 530 inside the three positioning pins 531.
  • FIG. 4B illustrates an example of the spacer 203 loaded on the base plate 530.
  • the laminated body of the spacer 203 is positioned with respect to the base plate 530.
  • An opening 530a is formed in the base plate 530 at a position overlapping the inner peripheral portion of the spacer 203.
  • the number of the spacers 203 to be positioned by the positioning pins 531 does not necessarily need to be all the spacers 203 constituting the stacked body 203, but it is needless to say that all the spacers 203 may be positioned.
  • a sensor 532 is provided on the base plate 530.
  • the sensor 532 is a sensor for detecting attachment / detachment of an adapter 534 described later.
  • the adapter 534 is a member for holding a laminated body of the sheet 303 described later.
  • the sensor 532 is a reflection-type optical sensor, and is disposed below an opening provided in the base plate 530.
  • a sensor 533 for detecting the loaded state of the spacer 203 on the base plate 530 is provided around the mounting device 53.
  • the sensor 533 is a laser positioning sensor, and detects the height of the stacked body of the spacers 203 loaded on the base plate 530.
  • the sensor 533 is supported by the frame 50 via a bracket 533a.
  • the robot accommodating section 5B is provided with a protective material transport robot 7.
  • the protection material transport robot 7 is a robot that transports the spacer 203 between the receiver 51a or 51b and the receiver 51c.
  • the protection material transport robot 7 will be described with reference to FIGS.
  • FIG. 9 is an explanatory diagram of the protection material transport robot 7, and is a perspective view thereof.
  • the protection material transfer robot 7 may be simply referred to as a transfer robot 7.
  • the transfer robot 7 includes a holding unit 70, a holding unit 71, and a moving unit 72.
  • Each of the holding units 70 and 71 is a unit for holding the spacer 203, and the moving unit 72 supports the holding units 70 and 71 and moves them between the mounting portion 51a or 51b and the mounting portion 51c. Unit.
  • the holding unit 70 and the holding unit 71 are arranged so as to overlap in the Z direction. This contributes to downsizing of the protective material transporting device 5 in the X and Y directions.
  • the moving unit 72 includes a moving unit 721 that rotatably supports the holding unit 70, a moving unit 722 that rotatably supports the holding unit 71, and a moving unit 720 that moves the moving units 721 and 722 together.
  • the moving units 721 and 722 are separate units for the holding units 70 and 71, and the moving unit 720 is a unit common to the holding units 70 and 71.
  • the moving unit 720 includes a column member 7200 extending in the Z direction.
  • a guide groove 7201 for guiding the movement of the slider 7202 is provided on a side portion of the column member 7200.
  • the guide groove 7201 guides the movement of the slider 7202 in the Z direction.
  • the slider 7202 is a plate-shaped member having a thickness in the X direction, and moves up and down along the guide groove 7201.
  • the driving unit 7205 includes a driving source of a driving mechanism for moving the slider 7202 up and down, in particular.
  • This drive mechanism includes a drive source such as a motor, and a transmission mechanism (for example, a ball screw mechanism or a belt transmission mechanism) that converts the rotational drive of the drive source into a linear motion in the Z direction and transmits the linear motion to the slider 7202.
  • a part of the transmission mechanism is built in the column member 7200.
  • the base member 7203 supporting the moving unit 721 and the base member 7204 supporting the moving unit 722 are fixed to the slider 7202.
  • Each of the base members 7203 and 7204 is a plate-shaped member having a thickness in the Z direction, and is fixed so as to be perpendicular to the slider 7202 and overlap in the Z direction.
  • the moving unit 721 is a unit that supports the holding unit 70 so as to be rotatable in the horizontal direction.
  • the moving unit 721 includes an arm member 7210, a rotation support portion 7211 that rotatably supports the arm member 7210, and a drive unit 7212.
  • the arm member 7210 is a member extending in the horizontal direction.
  • the holding unit 70 is supported at one end of the arm member 7210, and the other end is supported by the rotation support portion 7211.
  • the rotation support portion 7211 is a mechanism that rotatably supports the arm member 7210 about a rotation center axis Z1 in the Z direction, and is fixed to a rotor connected to the arm member 7210 and a base member 7203, and is rotated.
  • the drive unit 7212 includes a drive source such as a motor, and a transmission mechanism (for example, a belt transmission mechanism or a gear mechanism) that transmits the driving force of the drive source to the rotor of the rotation support unit 7211.
  • a drive source such as a motor
  • a transmission mechanism for example, a belt transmission mechanism or a gear mechanism
  • the moving unit 722 is a unit that supports the holding unit 71 so as to be rotatable in the horizontal direction.
  • the moving unit 722 includes an arm member 7220, a rotation support portion 7221 that rotatably supports the arm member 7220, and a drive unit 7222.
  • the arm member 7220 is a member extending in the horizontal direction.
  • the holding unit 71 is supported at one end of the arm member 7220, and the other end is supported by the rotation support portion 7221.
  • the rotation support portion 7221 is a mechanism that rotatably supports the arm member 7220 around a rotation center axis Z1 in the Z direction, and is fixed to a rotor connected to the arm member 7220 and a base member 7204, and is rotated. And a support portion for supporting the child rotatably about the Z1 axis.
  • the drive unit 7222 includes a drive source such as a motor, and a transmission mechanism (for example, a belt transmission mechanism or a gear mechanism) that transmits the driving force of the drive source to the rotor of the rotation support unit 7221.
  • the moving units 721 and 722 are arranged offset in the Z direction, and have a coaxial rotation center axis Z1. Therefore, space saving and miniaturization of the protective material transporting device 5 in the X and Y directions can be achieved.
  • the drive unit 7212 is arranged below the base member 7203, and in the upper moving unit 722, the drive unit 7222 is arranged above the base member 704. Thereby, the moving units 721 and 722 can be arranged closer to the Z direction.
  • the moving units 721 and 722 independently rotate the corresponding holding units 70 and 71 in the horizontal direction within a range of 90 degrees.
  • FIG. 5 shows a rotation position when the holding units 70 and 71 are located in the shelf 5A. This turning position is called an operating position.
  • FIG. 2 shows a rotation position where the holding units 70 and 71 are rotated 90 degrees from the operation position and are located outside the shelf 5A. This rotation position is called an elevating position.
  • the arrow D in FIG. 2 indicates the rotation direction of the holding units 70 and 71.
  • FIG. 10 is an explanatory view of the holding unit 70, and is a perspective view of the holding unit 70 shown together with the arm member 7210 and the rotation support member 7211.
  • the holding unit 70 includes a plate-shaped rectangular base member 700 having a thickness in the Z direction, and a plurality of support members 701 extending radially from four corners of the base member 700.
  • a suction portion 702 is supported at the tip of each support member 701.
  • the suction unit 702 of the present embodiment is a nozzle member that is connected to a negative pressure source (not shown) and suctions air from an opening at the lower end thereof.
  • the four suction portions 702 are arranged on an imaginary circle having the same diameter as the spacer 203 so as to suction the upper surface of the spacer 203 (the upper surface of the spacer 203d in the present embodiment).
  • Four spacers 702 can hold one spacer 203 in a horizontal posture.
  • the number of the suction portions 702 may be other than four.
  • the holding method of the spacer 203 may be a holding method other than suction (for example, holding).
  • FIG. 11 is an explanatory diagram of the holding unit 71, and is a perspective view of the holding unit 71 shown together with the arm member 7220 and the rotation support member 7221.
  • the configuration of the arm member 7220 in the present embodiment will be further described.
  • the arm member 7220 has a two-member configuration of a base member 7220a and a tip member 7220b, and is detachably connected to each other.
  • the holding unit 71 and the tip-side member 7220b constitute an arm member that becomes one exchange unit.
  • this arm member is replaced as a unit. Details will be described later.
  • the holding unit 71 includes a plate-shaped and circular base member 710 having a thickness in the Z direction, and three support members 711 extending radially from the base member 710 in three directions.
  • the base member 710 is connected to the arm member 7220 via a plurality of suspension shafts 710a. Accordingly, when the stacked body of the spacers 203 is collectively held, interference between the stacked body of the spacers 203 and the arm member 7220 can be avoided.
  • an engagement member 713 is supported via a displacement unit 712.
  • the displacement unit 712 displaces the engagement member 713 so as to be able to expand and contract in the radial direction of the base member 710 (the longitudinal direction of the support member 711) as indicated by an arrow A1 in FIG.
  • the position where the engaging member 713 is displaced radially outward is referred to as an engaged position, and the position where the engaging member 713 is displaced inward is referred to as a retracted position.
  • the displacement unit 712 is an air cylinder that expands and contracts in the longitudinal direction of the support member 711.
  • a total of three engaging members 713 are provided.
  • the three engaging members 713 are provided at equal intervals (equal angles) in the circumferential direction on an imaginary circle centered on the base member 710.
  • this virtual circle corresponds to the inner circumferential circle of the spacer 203, and therefore, the three engaging members 713 are provided at equal intervals in the circumferential direction of the spacer 203. .
  • the engagement member 713 has a main body 7130 having a substantially rectangular parallelepiped outer shape extending in the Z direction.
  • the outer peripheral portion 7130a of the main body 7130 has a curved surface along the inner peripheral surface of the stacked body of the spacer 203.
  • the engagement member 713 has a flange-shaped engagement portion 7131 extending outward at the lower end of the main body 7130 (the lower end of the outer peripheral portion 7130a). When the stacked body of the spacers 203 is collectively held, the engaging portion 7131 comes into contact with the lowermost spacer 203 from below to scoop up the stacked body.
  • FIGS. 12A to 13B show an example of an operation of holding the stacked body 203S of the spacers 203 collectively by the holding unit 71.
  • FIG. The stacked body 203S of the spacers 203 is formed, for example, by stacking several tens of spacers 203 as shown in FIG. 4B.
  • the stacked body 203S may be placed on the container main body 201 in the placement section 51a or 51b, or may be placed on the base plate 530 of the placement device 53.
  • the holding unit 71 is moved by the moving unit 73 above the stacked body 203S as shown in FIG. 12A. At this time, the holding unit 71 is located at the operating position, and the holding unit 70 is located at the elevating position. The holding unit 71 is lowered by the moving unit 73 into the internal space of the stacked body 203S as shown in FIG. 12B with the respective engagement members 713 located at the retracted positions.
  • the engaging portion 7131 enters the concave portion 201a (see FIG. 4A).
  • the engaging portion 7131 enters the opening 530a (see FIGS. 4B and 8).
  • FIG. 13A is a view of the state in which the holding unit 71 is lowered, as viewed from above the stacked body 203S. From this state, as shown in FIG. 13B, the displacement unit 712 is driven to displace the engagement member 713 to the engagement position. Thereby, the stacked body 203S is held by the three holding members 713 from the inside. Specifically, the engaging portion 7131 enters below the lowermost spacer 203 of the stacked body 203S, and the stacked body 203S is placed on the three engaging portions 7131. Thereby, it is possible to move the stacked body 203S in a state where the stacked body 203S is lifted at a time, and the stacked body 203S is held.
  • each outer peripheral portion 7130a of the three engaging members 713 contacts the inner peripheral surface of the stacked body 203S.
  • the adjacent spacers 203 constituting the stacked body 203S are hardly displaced in the radial direction due to the engagement between the convex portions 203b and the concave portions 203a, but the height of the outer peripheral portion 7130a (the height in the Z direction) is reduced. If the height of the stacked body 203S is 2/3 or more, preferably 3/4 or more, the entire stacked body 203S can be held more stably.
  • FIG. 14 is a block diagram of the control device 8 of the transport system 1.
  • the control device 8 includes a host controller 8a for controlling the entire system, a controller 8b for controlling the substrate transfer device 2, a controller 8c for controlling the load port 3, a controller 8d for controlling the aligning device 4, and a protective material. And a controller 8e for controlling the transport device 5, which are communicably connected to each other.
  • the controllers 8b to 8e include, for example, a PLC (Programmable Logic Controller), and an input / output interface for relaying signals between the PLC and sensors and actuators.
  • the host controller 8a performs these controls by communicating with the controllers 8b to 8e, and executes unpacking and packing of the substrate W.
  • Control example> A control example of the transport system 1 by the control device 8 will be described. Here, an example of unpacking and packing of the substrate W will be described. First, an example of unpacking will be described.
  • the unpacking is performed by separating the spacer 203 and the substrate W from the stacked body of the spacer 203 and the substrate W placed on the container body 201 on the receiver 51a or 51b (on the receiver 52). This is an operation of alternately taking out one by one.
  • the protection material transport robot 7 takes out the spacer 203 and loads it on the receiver 51c.
  • the substrate transport robot 20 takes out the substrate W and transfers the substrate W to the container 100 on the load port 3.
  • a stacked body 203S of the spacers 203 is formed on the mounting portion 51c.
  • the protection material transport robot 7 transports the stacked body 203S to the container body 201 on the mounting portion 51a or 51b in a lump. The efficiency of unpacking can be improved by this batch transport.
  • FIGS. 15A and 15B show a process in which the protective material transport robot 7 takes out the uppermost spacer 203 from the stacked body of the spacer 203 and the substrate W.
  • the holding units 70 and 71 of the protection material transport robot 7 are located at the elevation position.
  • the protection material transport robot 7 is operated, the holding unit 70 is rotated to the operating position, and is positioned on the uppermost spacer 203.
  • the holding unit 70 is raised and rotated to return the holding unit 70 to the elevating position as shown in FIG. 16A.
  • the holding unit 71 also moves up and down.
  • the substrate transfer robot 20 extends the horizontal multi-joint mechanism 21, positions the hand 21a on the substrate W, lowers the horizontal multi-joint mechanism 21 by the base unit 22, and sucks the substrate W with the hand 21a. I do. After that, the horizontal multi-joint mechanism 21 is raised by the base unit 22, the horizontal multi-joint mechanism 21 is bent, and the substrate W is taken out. Subsequently, after the hand 21a is rotated by 180 ° to invert the substrate W, the substrate transport robot 20 is moved to a position directly facing the load port 3 as shown in FIG. 16B.
  • the substrate transfer robot 20 is operated to extend the horizontal articulated mechanism 21, and at the same time, extend the hand 21 a into the container 100 on the load port 3, and transfer the substrate W into the container 100.
  • the lid of the container 100 is opened in advance by the load port 3.
  • the holding unit 70 holding the spacer 203 is lowered to the height of the mounting portion 51c as shown in FIG. Then, as shown in FIG. 18, the holding unit 70 is rotated to the operating position, and the holding unit 70 is further lowered. At that time, the holding unit 71 remains at the elevating position. Thereafter, the holding of the spacer 203 by the holding unit 70 is released, and the spacer 203 is transferred onto the mounting portion 51c (on the mounting device 53). Thereafter, the holding unit 70 is turned to the elevating position again.
  • the protection material transport robot 7 is further moved up and positioned at the height of the mounting portion 51a. Then, with the start of the traveling of the substrate transport robot 20, the next spacer 203 is sucked and transferred.
  • the spacer 203 is transferred onto the receiver 51c by the protective material transfer robot 7 and the substrate W is transferred to the container 100 by the substrate transfer robot 20 by the same procedure.
  • a stacked body 203S of the spacers 203 is formed on the mounting portion 51c as shown in FIG.
  • the stacked body 203S is returned by the protective material transport robot 7 onto the container main body 201 on the mounting section 51a.
  • the holding unit 71 is lowered and rotated to the operating position, and the holding unit 71 is positioned above the stacked body 203S.
  • the holding unit 70 remains in the elevating position.
  • the holding unit 71 is lowered inside the stacked body 203S, and the stacked body 203S is held by the holding unit 71.
  • the stacked body 203S held by the holding unit 71 is collectively transported to the container main body 201 on the mounting portion 51a.
  • the holding unit 71 is raised, rotated to the elevating position, the mounting portion 51a is raised to the height, and rotated to the operating position, and as shown in FIG.
  • the holding unit 71 and the stacked body 203S are moved upward.
  • the holding unit 71 into the container main body 201 and releasing the holding of the stacked body 203S the stacked body 203S is transferred to the container main body 201.
  • packing is the reverse operation of unpacking, and spacers 203 and substrates W are alternately stacked one by one on the container body 201 on the receiver 51a or 51b (on the receiver 52). Operation.
  • the protective material transport robot 7 transports the stacked body 203S of the spacers 203 from the container body 201 in the receiver 51a to the receiver 51c in a lump. The efficiency of packing can be improved by this batch transport.
  • the protection material transport robot 7 takes out one spacer 203 from the stacked body 203S on the mounting portion 51c and transfers it to the container main body 201.
  • the substrate transfer robot 20 takes out the substrate W from the container 100 on the load port 3 and delivers the taken out substrate W to the aligner 40.
  • the substrate W is centered by the aligner 40.
  • the centered substrate W is taken out of the aligner 40 by the substrate transfer robot 20 and transferred to the container body 201.
  • the transfer of the spacer 203 and the transfer of the substrate W to the container main body 201 are alternately and repeatedly performed, and a laminate of the spacer 203 and the substrate W is formed in the container main body 201.
  • FIGS. 23A to 27B An example of packing will be specifically described with reference to FIGS. 23A to 27B.
  • the formation of a laminate of the spacer 203 and the substrate W on the container body 201 on the mounting portion 51a (on the mounting device 52) will be described.
  • the same procedure is used when a laminate of the spacer 203 and the substrate W is formed in the container main body 201 on the mounting portion 51b.
  • the holding unit 71 is rotated to the operating position so that the holding unit 71 is located on the stacked body 203S.
  • the holding unit 70 remains at the elevating position.
  • the holding unit 71 is lowered into the stacked body 203S, and the displacement unit 712 is driven to extend the engagement member 713 to the engagement position.
  • the stacked body 203S is held by each support member 711.
  • the holding unit 71 is raised and the holding unit 71 is turned to the elevating position as shown in FIG. 23B.
  • the substrate transfer robot 20 prepares to take out the substrate W from the container 100 on the load port 3.
  • the holding unit 71 is lowered to the height of the mounting portion 51c and rotated to the work position. After that, as shown in FIG. 24, the holding unit 71 is lowered inside the positioning pins 531 on the base plate 530. After that, the holding of the stacked body 203S by the holding unit 71 is released, and the stacked body 203S is transferred onto the mounting portion 51c. In this way, the stacked body 203S is conveyed collectively.
  • the operation proceeds to the operation of holding one spacer 203 by the holding unit 70.
  • the holding unit 71 is turned to the elevating position, and the holding unit 70 is turned to the operating position.
  • the holding unit 70 is lowered to the inside of each positioning pin 531 on the base plate 530 and suction is performed, and the uppermost spacer 203 of the stacked body 203S is held by the holding unit 71.
  • the holding unit 70 is lowered to the inside of each positioning pin 531 on the base plate 530 and suction is performed, and the uppermost spacer 203 of the stacked body 203S is held by the holding unit 71.
  • the holding unit 70 is lowered to the inside of each positioning pin 531 on the base plate 530 and suction is performed, and the uppermost spacer 203 of the stacked body 203S is held by the holding unit 71.
  • only one spacer 203 at the top is held.
  • the holding unit 70 is raised to the height of the container main body 201 as shown in FIG. As shown in FIG. 27A, the holding unit 70 is rotated to the operating position, and is further lowered to transfer the spacer 203 onto the container body 201.
  • the substrate transfer robot 20 takes out the substrate W from the container 100 on the load port 3. Then, the removed substrate W is transferred to the aligner 40. The substrate W is centered by the aligner 40. The centered substrate W is taken out of the aligner 40 by the substrate transfer robot 20, and as shown in FIG. 27B, the substrate transfer robot 20 transfers the substrate W onto the spacer 203 mounted on the container body 201. .
  • the spacer 203 is transferred from the receiver 51c to the container main body 201 by the protective material transfer robot 7, and the substrate W is transferred from the container 100 by the substrate transfer robot 20 via the aligner 40 to the container main body.
  • the laminate is transferred to the container body 201, and a laminate of the spacer 203 and the substrate W is formed in the container main body 201.
  • the worker takes out the container main body 201 from the protective material transporting device 5 and attaches the cover 202 to the container main body 201, whereby the packing of the coin stack container 200 is completed.
  • the present invention is not particularly limited to this embodiment, and a mechanism for automatically attaching the cover 202 to the container body 201 may be provided in the protective material transport device 5 itself.
  • the coin stack container 200 in which the packing is completed is taken out of the protective material transporting device 5.
  • all the spacers 203 may not be transported all at once, but may be transported in batches a plurality of times. . Further, at the time of the batch transfer, one spacer 203 may be left in the container main body 201 without transferring all the spacers 203 from above the container main body 201 to the mounting portion 51c.
  • FIG. 28 is an explanatory view of a container 300 which is a contact type coin stack container, and is a sectional view thereof.
  • the container 300 is a hollow body including a container main body 301 and a cover 302 serving as a lid of the container main body 301.
  • a stacked body in which sheets 303 serving as a protective material and substrates W are alternately stacked is accommodated in the container 300. This laminate is placed on the container main body 301, and movement in the radial direction is restricted by the peripheral wall of the container main body 201.
  • a cushion 304 is provided on the bottom and top of the container 300.
  • the sheet 303 is a spacer that comes into full contact with the adjacent substrate W, and is made of paper, for example.
  • the sheet 303 has a circular shape along the shape of the substrate W, and has a larger diameter than the substrate W.
  • the protective material transporting apparatus 5 can handle the sheet 303 and the container 300 by exchanging or removing some of the components.
  • FIG. 29 is an explanatory diagram of the replacement structure of the holding unit 71
  • FIG. 30 is an explanatory diagram of the holding unit 74.
  • the holding unit 70 is not used for conveying the sheet 303. Therefore, when transporting the sheet 303, the holding unit 70 does not need to be particularly removed, but may be configured to be removable and may be removed.
  • the arm member 7220 in the present embodiment has a two-member structure of the base member 7220a and the distal member 7220b, and is detachably connected to each other.
  • FIG. 29 shows a state where the base member 7220a and the distal member 7220b are separated.
  • a positioning portion 7220c is formed on the base member 7220a.
  • the positioning portion 7220c is formed in a concave shape, and by fitting the end portion 7220e of the distal end member 7220b to the inner peripheral wall and the bottom wall thereof, the root member 7220a and the distal member 7220b are fitted. Are positioned.
  • the end 7220e has a shape that matches the shape of the positioning portion 7220c.
  • a screw hole is formed in the positioning portion 7220c, and the root member 7220a and the distal member 7220b are fixed by a plurality of bolts V.
  • the holding unit 74 includes a plate-shaped rectangular base member 740 having a thickness in the Z direction, and a plurality of support members 741 extending radially from the base member 740.
  • the suction portion 742 is supported at the tip of each support member 741.
  • the suction portion 742 of the present embodiment is a nozzle member that is connected to a negative pressure source (not shown) and sucks air from an opening at the lower end thereof.
  • the six suction portions 742 are arranged on an imaginary circle having a smaller diameter than the sheet 303 so as to suck the upper surface of the sheet 303.
  • the number of the suction portions 742 may be other than six.
  • the holding method of the sheet 303 may be a holding method other than suction (for example, a chuck using the Bernoulli effect or Coanda effect).
  • the tip member 7220b 'to which the holding unit 74 is attached has a crank shape.
  • the end 7220e 'of the tip member 7220b' has a shape matching the positioning portion 7220c, and the root member 7220a and the tip member 7220b 'are fixed by a plurality of bolts V, similarly to the tip member 7220b. .
  • the holding unit 71 constitutes one exchange unit as an arm member integrated with the tip member 7220b.
  • the holding unit 74 constitutes one exchange unit as an arm member integrated with the tip member 7220b '.
  • the tip member 7220b to which the holding unit 71 is attached and the tip member 7220b 'to which the holding unit 74 is attached are provided with sensors 7223, 7223' and a relay connector 7224 to which signal lines of the sensors 7223, 7223 'are connected, respectively. ing.
  • the sensors 7223 and 7223 ′ are sensors that detect whether the base member 7220a and the tip member 7220b or 7220b ′ are connected, that is, whether the holding unit 71 or the holding unit 74 is mounted.
  • the relay connector 7224 includes a plurality of connection portions C1 to which signal lines of various sensor components including the sensors 7223 and 7223 'are connected, and a connection portion C2 to which a harness for electrically connecting the relay connector 7224 and the controller 8e is connected. And Each terminal of each connection part C1 and each terminal of the connection part C2 are electrically connected internally.
  • the connection portion C1 includes a connection portion to which a signal line of the sensor 7223 for detecting the attachment of the holding unit 71 is connected, and a connection portion to which a signal line of the sensor 7223 'for detecting the attachment of the holding unit 74 is connected, The detection results of the sensors 7223 and 7223 'are output to the controller 8e from different terminals of the connection section C2.
  • FIG. 31 is a perspective view of the lifting table 522 and the adapter 528 of the mounting device 52.
  • the adapter 528 is a rectangular plate-like member as a whole.
  • An engagement portion (not shown) for engaging with the pin 522a is formed on the bottom surface of the adapter 528, and the adapter 528 is positioned by the engagement between the engagement portion and the pin 522a.
  • On the upper surface of the adapter 528 a plurality of positioning members 528a for positioning the container main body 301 with the adapter 528 are provided.
  • the adapter 528 is provided with a plurality of sensor dogs 528b.
  • the sensor dog 528b is supported movably in the Z direction, and penetrates the adapter 528 in the Z direction.
  • the sensor dog 528b is arranged at a position corresponding to the sensor 522b of the lifting table 522.
  • the sensor dog 528b is pushed downward by the weight of the container body 301, and the sensor 522b is turned on. That is, the sensor 522b can detect whether or not the container main body 301 is mounted on the adapter 528 via the sensor dog 528b.
  • the attachment of the adapter 528 to the lifting table 522 is detected by the sensor 522c.
  • FIG. 32 is a perspective view of the mounting device 53 and the adapter 534.
  • the adapter 534 includes a base plate 534a on which the stacked body of the sheets 303 is placed, and a plurality of guide members 534b that stand on the base plate 534a and guide the stacked body of the sheets 303 from outside.
  • the base plate 534a is formed with a notch 534a for engaging with the positioning pin 531 of the mounting device 53 and preventing interference, and the adapter 534 is positioned with respect to the mounting device 53 by the positioning pin 531.
  • the attachment of the adapter 534 is detected by the sensor 532.
  • FIG. 33 is an explanatory diagram of an input port.
  • the input ports P1 to P5 are illustrated.
  • the input port P1 is a port to which the detection result of the sensor 7223 is input
  • the input port P2 is a port to which the detection result of the sensor 7223 'is input
  • the input ports P3 and P4 are the ports of the receivers 51a and 51b.
  • Unpacking and packing The unpacking and packing of the container 300 will be described. First, unpacking will be described.
  • Unpacking the container 300 is basically the same as unpacking the container 200. That is, the unpacking is performed by combining the sheet 303 and the substrate W from the stacked body of the sheet 303 and the substrate W placed on the container body 301 on the placing portion 51a or 51b (on the placing device 52). This is an operation of alternately taking out each other. However, the sheet 303 is discarded without being reused. This operation will be described with reference to FIGS.
  • FIG. 34 shows an operation of taking out the sheet 303 from the container main body 301 on the mounting portion 51a.
  • the container main body 301 is mounted on the mounting device 52 via the adapter 528.
  • a holding unit 74 is mounted on the protection material transport robot 7 instead of the holding unit 71.
  • the holding unit 74 is rotated to the operating position by the moving unit 72 and positioned above the container main body 301, and then lowered to suck and hold the uppermost sheet 303.
  • the holding unit 74 is raised as shown in FIG. 34, and the operation proceeds to an operation of discarding the held sheet 303.
  • the sheet 303 is put into a disposal box 90 previously set in the transport system 1 by an operator.
  • a guide plate (chute) 91 for guiding the sheet 303 to be thrown into the waste box 90 is installed on the upper side of the waste box 90 by an operator in advance.
  • the holding unit 74 holding the sheet 303 is moved down to the elevating position by the moving unit 72 and then lowered. As shown in FIG. 35, after the holding unit 70 is rotated to the working position to open the space below the holding unit 74, the holding unit 74 releases the holding of the sheet 303. The sheet 303 falls naturally on the guide plate 91 and is collected in the waste box 90.
  • the packing of the container 300 is basically the same as the packing of the container 200. That is, the packing is an operation of alternately stacking the sheets 303 and the substrates W one by one on the container main body 301 on the mounting portion 51a or 51b (on the mounting device 52). However, sheet 303 supplies a new sheet. This operation will be described with reference to FIG.
  • a new stacked body 303S of sheets 303 is prepared in the mounting device 53 via the adapter 534.
  • the uppermost sheet 303 is taken out of the stacked body 303S by the holding unit 74 and is transferred to the container main body 301 by the holding unit 74.
  • the holding unit 74 is rotated to the operation position by the moving unit 72 and is positioned above the stacked body 303S, and is then lowered to suck and hold the uppermost sheet 303. Subsequently, the holding unit 74 is raised as shown in FIG. 36, and the operation proceeds to an operation of transporting the held sheet 303 to the container main body 301.
  • the transport of the sheet 303 to the container body 301 is the same as the transport of the spacer 203.
  • unpacking / packing can be performed for each of the contact type and non-contact type coin stack containers.
  • the protective material transporting apparatus 5 of the present embodiment can correspond to each of the contact-type and non-contact-type coin stack containers by exchanging and detaching some parts. Since the replacement and detachment of parts are performed by an operator, the operation of unpacking / packing is not performed properly unless the type of coin stack container to be used (in other words, the type of protective material) and the parts do not match. Therefore, in the present embodiment, the consistency of the components is automatically determined.
  • FIG. 37 is a flowchart showing an example of the processing, and shows an example of processing executed by the controller 8e that controls the protective material transporting device 5.
  • FIG. 37 shows an example of processing in which the operator sets the operation mode of the protective material transport device 5 in advance.
  • S1 an operation mode setting is accepted.
  • the setting method may be any method, in the present embodiment, the type of operation mode is displayed on the information display device 6, and the operator can select the operation mode.
  • FIG. 37 also shows a display example. In the illustrated example, four types of operation modes are shown.
  • Ring: Packing is an operation mode for packing the non-contact type coin stack container 200, and the type of the protective material is the spacer 203.
  • Ring: unpacking is an operation mode for unpacking the non-contact type coin stack container 200, and the type of protection material is the spacer 203.
  • Sheet: Packing is an operation mode in which packing is performed on the contact-type coin stack container 300, and the type of the protective material is the sheet 303.
  • Sheet: unpacking is an operation mode for unpacking the contact-type coin stack container 300, and the type of the protective material is the sheet 303.
  • the attachment is determined in S2.
  • the attachment / detachment of the components of the protection material transport robot 7 and the mounting portions 51a to 51c corresponding to the type of the protection material is determined. Specifically, it is determined which of the holding unit 71 and the holding unit 74 is attached to the protection material transport robot 7.
  • the attachment / detachment of the adapter 528 is determined for the receivers 51a and 51b.
  • the attachment / detachment of the adapter 534 is determined for the mounting portion 51c.
  • the operation mode selected in S1 is compared with the result of the attachment determination in S2 to determine the consistency.
  • the relationship between each operation mode and the state of a normal component is as follows. ⁇ "Ring: packing” Attaching the holding unit 71 and not attaching the adapters 528 and 534 ⁇ "Ring: unpacking” Attaching the holding unit 71 and not attaching the adapters 528 and 534 ⁇ "Sheet: Packing” Attaching the holding unit 74 and attaching the adapters 528 and 534 ⁇ "Seat: unpacking” The holding unit 74 is attached, and the adapters 528, 534 are attached. In the "sheet: unpacking" mode, the attachment / detachment of the adapter 534 may be ignored.
  • the subsequent processing branches depending on whether or not the result of the consistency determination in S3 is a match. If they match, the process proceeds to S5, and the operation of the protective material transporting device 5 in the selected operation mode is permitted. After that, a transport operation or the like in the selected operation mode is started by an operation start instruction of the worker. If they do not match, the process proceeds to S6, where the operator is notified that there is an error in the attachment / detachment of the parts, and the operation of the protection material transporting device 5 in the selected operation mode is prohibited.
  • the notification can be made by display or voice, for example. In the case of display, it may be displayed on the information display device 6.
  • the adapters 528 and 534 are used, and the spacer 203 is used as the default type of protective material.
  • the default protective material is the sheet 303 and the adapter is attached when unpacking / packing the spacer 203, that is, the non-contact type coin stack container.
  • FIG. 38 is a flowchart showing an example of the process, which is an example of a process executed by the controller 8e.
  • the determination timing is, for example, when there is an instruction to start the operation of unpacking or packing, or when the system is started.
  • a mounting determination is performed. This is the same process as S2 in FIG.
  • the consistency between the components is determined.
  • the alignment is performed. It is determined that it has not been done. Further, for example, when the attachment of the holding unit 74 is detected and the attachment of the adapter 528 is not detected, it is determined that there is no matching.
  • S14 the subsequent processing branches depending on whether or not the result of the consistency determination in S13 is a match. If they match, the process proceeds to S15, and the operation of the protective material transport device 5 is permitted. If they do not match, the process proceeds to S16, and the same processing as in S6 of FIG. 37 is performed.
  • FIG. 39 shows an example.
  • the robot housing portions 5B are arranged on both sides of the shelf 5A in the X direction.
  • One of the two robot housing sections 5B is provided with a holding unit 70, a moving unit 721 for rotating the holding unit 70, and a moving unit 720 for moving the moving unit 721 up and down, and the other is provided with a holding unit. 71, a moving unit 722 for rotating the moving unit, and a moving unit 720 for moving the moving unit 722 up and down.
  • the moving units 70 and 71 can not only rotate independently but also move up and down independently. Then, the holding units 70 and 71 can access the spacer 203 in the common shelf 5A.
  • the placement unit 51c is disposed below the placement units 51a and 51b, but the placement unit 51c may be disposed above the placement units 51a and 51b. Further, the placing section 51c may be arranged between the placing section 51a and the placing section 51b.
  • the placement section 51c may be arranged offset from the placement sections 51a and 51b in the horizontal direction.
  • 40 and 41 show an example thereof.
  • FIG. 40 shows an example in which the placement unit 51c is laterally offset with respect to the placement units 51a and 51b within the rotation range of the holding units 70 and 71, and the placement of the placement unit 51c is indicated by a broken line.
  • the mounting portion 51c may be arranged at the same height as one of the mounting portions 51a and 51b.
  • the mounting portion 51c may be arranged at a height different from the height of the mounting portions 51a and 51b.
  • the mounting portion 51c shown by the two-dot chain line is on the vertical movement trajectory at the elevation position of the holding units 70 and 71.
  • the horizontal arrangement of the mounting portion 51c is not limited to this.
  • the rotatable range of the holding units 70 and 71 about the rotation center axis Z1 is a trajectory R indicated by a dashed line
  • an arbitrary position on the trajectory R can be appropriately selected, and a peripheral position corresponding to the selected position is determined. What is necessary is just to design a structure.
  • the mounting portion 51c may be arranged at the same height as one of the mounting portions 51a and 51b.
  • the placement section 51c may be arranged at a different height from the placement sections 51a and 51b.
  • FIG. 41 shows an example in which the mounting portions 51a to 51c are arranged side by side at the same height.
  • the receivers 51a to 51c are arranged side by side in the X direction, and the receiver 51c is disposed between the receiver 51a and the receiver 51b.
  • the arrangement direction and the arrangement order of the placement units 51a to 51c are not limited to this.
  • the protection material transport robot 7 further includes a configuration (moving unit 723) capable of reciprocating in the X direction.
  • the moving unit 723 is a traveling body that moves in the X direction along a pair of rail-shaped guide members 723a extending in the X direction.
  • the driving mechanism of the moving unit 723 can be configured by a driving mechanism such as a motor and a driving force transmission mechanism such as a ball screw mechanism and a belt transmission mechanism.
  • the moving unit 720 is mounted on the moving unit 723, and the moving units 721 and 722 are moved up and down by the moving unit 720. Therefore, the holding units 70 and 71 can rotate by the moving units 721 and 722, move up and down by the moving unit 720, and move horizontally in the X direction by the moving unit 723.
  • the positions of the holding units 70 and 71 in FIG. 41 correspond to the elevating position in the above embodiment, and are positions above the pair of guide members 723a.
  • the operating position of the holding units 70 and 71 in the example of FIG. 41 is a position above the mounting portion 51a, 51b, or 51c, which is rotated counterclockwise by 90 degrees from the position illustrated in FIG.

Abstract

搬送装置は、容器内に保護材と基板の積層体を形成する梱包動作、及び、容器内の前記積層体から前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作の各動作の際に、前記保護材を搬送する搬送手段と、前記保護材が積載される保護材載置部と、前記容器の容器本体部が載置される容器載置部と、前記保護材の種類に対応した複数の動作モードのうち、選択された動作モードにて前記搬送手段を制御する制御手段と、前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定手段と、選択された前記動作モードと前記装着判定手段の判定結果との整合性を判定する整合性判定手段と、を備える。

Description

搬送装置及び制御方法
　本発明は、半導体ウエハ等の基板をアンパッキング／パッキングする技術に関する。
　半導体ウエハの搬送容器としてコインスタック容器が提案されている。コインスタック容器には、半導体ウエハと保護材とが交互に重ねて収容される。コインスタック容器から半導体ウエハを搬出する場合（アンパッキング）、保護材と半導体ウエハとを交互に搬出することが必要となる。また、コインスタック容器へ保護材と半導体ウエハを収容する場合（パッキング）、容器内へ保護材と半導体ウエハとを交互に搬入する必要がある。特許文献１には、シート状の保護材を用いたコインスタック容器について、アンパッキングとパッキングとを自動化する装置が開示されている。
　一方、半導体ウエハに形成された回路の保護性能を向上するため、非接触式のコインスタック容器が提案されている。特許文献２には、保護材としてリング状のスペーサを用いたものが開示されている。半導体ウエハに形成された回路と保護材との接触を回避でき、回路の保護性能を向上できる。
特表２００５－５３６８７８号公報 特表２０１７－５０８２９１号公報
　シート状の保護材を用いた接触式のコインスタック容器と、リング状のスペーサを用いた非接触器のコインスタック容器を、共通の装置でアンパッキング／パッキングができれば利便性が高い。しかし、これらのコインスタック容器は、容器の仕様も異なるし、保護材も異なるため、全く同じ装置でアンパッキング／パッキングを行うことは困難である。
　本発明の目的は、接触式及び非接触式の各コインスタック容器に対応して、アンパッキング／パッキングを行うことにある。
　本発明によれば、例えば、
　容器内に保護材と基板の積層体を形成する梱包動作、及び、容器内の前記積層体から前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作の各動作の際に、前記保護材を搬送する搬送手段と、
　前記保護材が積載される保護材載置部と、
　前記容器の容器本体部が載置される容器載置部と、
　前記保護材の種類に対応した複数の動作モードのうち、選択された動作モードにて前記搬送手段を制御する制御手段と、
　前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定手段と、
　選択された前記動作モードと前記装着判定手段の判定結果との整合性を判定する整合性判定手段と、を備える、
ことを特徴とする搬送装置が提供される。
　本発明によれば、接触式及び非接触式の各コインスタック容器に対応して、アンパッキング／パッキングを行うことができる。
本発明の一実施形態に係る搬送システムの斜視図。 図１の搬送システムの内部のレイアウトを示す平面図。 ロードポートの説明図。 容器の説明図。 容器の説明図。 スペーサ搬送装置の説明図。 容器載置装置の説明図。 容器載置装置の説明図。 保護材載置装置の説明図。 保護材搬送ロボットの説明図。 保持ユニットの説明図。 保持ユニットの説明図。 図１１の保持ユニットによる保持動作の説明図。 図１１の保持ユニットによる保持動作の説明図。 図１１の保持ユニットによる保持動作の説明図。 図１１の保持ユニットによる保持動作の説明図。 図１の搬送システムの制御装置のブロック図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 容器の説明図。 保護材搬送ロボットの一部の分解斜視図。 保持ユニットの説明図。 アダプタの説明図。 アダプタの説明図。 コントローラの入力ポートの説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 図１の搬送システムの動作説明図。 コントローラの処理例を示すフローチャート。 コントローラの別の処理例を示すフローチャート。 搬送システムの他のレイアウトの例を示す平面図。 搬送システムの他のレイアウトの例を示す平面図。 搬送システムの他のレイアウトの例を示す平面図。
　以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。図中、各図において、矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは鉛直方向を示す。
　＜搬送システム＞
　図１は本発明の一実施形態に係る搬送システム１の斜視図である。搬送システム１は、コインスタック容器のアンパッキングを行って、コインスタック容器内の基板（ここでは半導体ウエハ）をＦＯＵＰ等の容器に移載する機能を有する。また、搬送システム１は、ＦＯＵＰ等の容器から基板を搬出し、搬出した基板をコインスタック容器においてパッキングする機能を有する。すなわち、搬送システム１は、コインスタック容器のアンパッキング／パッキング（解梱動作／梱包動作）を行うパッキングシステムである。
　搬送システム１は、基板の搬送機構を内蔵する基板搬送装置２と、複数のロードポート３と、基板のアライニングを行うアライニング装置４と、保護材の搬送機構を内蔵する保護材搬送装置５と、情報表示装置６とを含む。情報表示装置６は例えばタッチパネル式のディスプレイであり、搬送システム１に対する設定の入力を受け付けたり、搬送システム１の稼働情報等の表示を行うものである。
　＜基板搬送装置＞
　図２を参照して基板搬送装置２の構成について説明する。図２は搬送システム１の内部のレイアウトを示す平面図であり、基板搬送装置２は、搬送システム１の内部において基板を搬送する搬送機構を構成する。基板搬送装置２は、その内部空間２ａに設けられた基板搬送ロボット２０を備える。基板搬送ロボット２０は、Ｘ方向に延設された一対の案内部材２４の案内によってＸ方向に往復可能となっている。一対の案内部材２４は例えばレール部材であり、基板搬送ロボット２０の移動通路を画定する。
　基板搬送ロボット２０は、水平多関節機構２１と、ベースユニット２２と、走行ユニット２３とを含む。走行ユニット２３は案内部材２４に沿ってＸ方向に移動する駆動機構を備える。この駆動機構は、例えば、モータ等の駆動源と、ベルト伝動機構やラック－ピニオン機構等の駆動伝達機構とを含む。ベースユニット２２は走行ユニット２３に搭載されており、水平多関節機構２１の昇降と旋回を行う駆動機構を備える。この駆動機構は、例えば、モータ等の駆動源と、ベルト伝動機構、ラック－ピニオン機構、歯車機構等の駆動伝達機構とを含む。水平多関節機構２１は、ハンド２１ａと、ハンド２１ａを水平方向に進退させるアームと、ハンド２１ａを表裏自在に反転させる機構と、それらの駆動機構を含む。この駆動機構は、例えば、モータ等の駆動源と、ベルト伝動機構等の駆動伝達機構とを含む。ハンド２１ａには、エアの吸引等によって基板を吸着する複数の吸着部が設けられており、基板の搬送の際、基板はハンド２１ａに吸着されて保持される。
　本実施形態の場合、ロードポート３及び保護材搬送装置５は、基板搬送ロボット２０の移動通路（案内部材２４）の一側方に、当該移動通路に沿って並設されている。これによって、アンパッキング、パッキングの際に、保護材搬送装置５による保護材の搬送と、基板搬送装置２による基板の搬送とを交互に行うことができ、保護材の搬送と基板の搬送とを並行して行うことができるため、タクトタイムの低減を図ることができる。また、搬送システム１の共通側部において、コインスタック容器の搬入出と、ＦＯＵＰ等の容器の搬入出とを行うことができ、作業者の作業性も向上できる。
　アライニング装置４は、基板搬送ロボット２０の移動通路（案内部材２４）の他側方に配置されている。この配置によりパッキングの際、基板搬送ロボット２０によって、ロードポート３（FOUP等の容器開閉装置）から基板を搬出し、アライニング装置４を経由して保護材搬送装置５へ基板を効率的に搬送することができる。
　アライニング装置４は、保護材搬送装置５と対向する位置に配置される。これにより、基板搬送ロボット２０は、アライニング装置４から基板を搬出した後、背面側に反転するだけで、保護材搬送装置５に正対するため、Ｘ方向の位置決めが不要となり、位置ずれが生じるおそれはない。
　＜ロードポート＞
　図３を参照してロードポート３の構成について説明する。図３はロードポート３の部分概略側断面図である。ロードポート３は容器１００を開閉するオープナである。容器１００は、FOUP、FOSB、SMIFまたはオープンカセット等である。容器１００は、半導体ウエハである円形の基板Ｗを出し入れする開口部１０２を側部に有する箱状の容器本体１０１と、開口部１０２に着脱自在に装着され、開口部１０２を塞ぐ蓋（ドア）１０３と、を有する。なお、図３は、容器１００が蓋１０３で塞がれた閉位置と、ロードポート３により蓋１０３が開放された開位置（図３中に二点鎖線で図示）とを示している。
　容器本体１００は、その開口部１０２が図３に示すように孔部３１１に対向した姿勢で搭載部３２に搭載される。基板搬送装置２の水平多関節機構２１は、孔部３１１、開口部１０２を介して容器本体１０１内の基板Ｗにアクセス可能となっている。
　搭載部３２はテーブル状に設けられている。搭載部３２は容器１００が搭載される可動のドックプレート３２１を備え、このドックプレート３２１は不図示の移動機構により、壁体３１の孔部３１１に近接した位置（図３に示す位置）と、離間した位置とでＹ方向に進退自在に移動される。容器１００の搬送時にはドックプレート３２１は孔部３１１から離間した位置（後退位置）に、容器１００の開閉及び開放中にはドックプレート３２１は孔部３１１に近接した位置（前進位置）に、それぞれ移動される。
　また、ロードポート３は開閉機構３３を備えており、開閉機構３３は、蓋１０３を保持する保持部（ポートドア）３３０と、ポートドア３３０を矢印方向ＡＹに進退させるとともに、後退位置において矢印方向ＡＺに昇降させる移動機構３３１とを備える。
　以上の構成のロードポート３と基板搬送装置２とを上位コントローラにて協働制御することにより、基板Ｗが容器本体１０１外へ搬出され、また、基板Ｗが容器本体１０１内に搬入される。
　＜アライニング装置＞
　アライニング装置４は、図２に示すようにセンタリングユニット４０を含む。本実施の形態において挙げるセンタリングユニット４０は基板Ｗのセンタリングを行う装置であるが、これに限定するものではない。例えば、半導体製造装置で慣用的に用いられているアライナのように、基板Ｗのセンタリングとノッチ（又はオリエンテーションフラット）位置の調整を行うものであってもよい。
　センタリングユニット４０は、本実施形態の場合、３つのチャック４４を備える。各チャック４４は、図示しないアクチュエータによって同期して開閉駆動される。センタリングユニット４０に載置された基板Ｗは、各チャック４４で把持されることで、心出し、すなわちセンタリングがなされる。
　＜非接触式コインスタック容器＞
　図４Ａはコインスタック容器である容器２００の説明図であり、その断面図である。容器２００は、容器本体部２０１と容器本体部２０１の蓋となるカバー２０２とを含む中空体である。保護材２０３と保護材２０３に載置された基板Ｗの積層体が容器２００内に収容される。この積層体は容器本体部２０１上に載置されており、容器本体部２０１の周壁によって径方向への移動が規制されている。容器本体部２０１の内部の底面には、後述する保持ユニット７１が保護材２０３を一括取り出しする際の干渉を防ぐための凹部２０１ａが形成されている。また、容器本体部２０１は、その底面に、後述する保護材２０３の凹部２０３ａに係合する凸部２０１ｃを備える。
　保護材２０３は、基板Ｗの間に隙間を設けるためのスペーサであり、例えば樹脂製である。保護材２０３のことをスペーサと呼ぶ場合がある。スペーサ２０３は、基板Ｗの形状に沿った枠状の部材であり、本実施形態の場合、基板Ｗが円形であることから、スペーサ２０３は円環形状を有している。しかし、スペーサ２０３の形状はこれに限られず、基板Ｗ上の保護領域（回路形成部等）を避けた形状であれば、例えば、矩形や多角形であってもよい。スペーサ２０３の周縁部には、下面側に凹部２０３ａ、上面側に凸部２０３ｂおよび載置面２０３ｃが形成されている。凸部２０３ｂは凹部２０３ａと係合する環状突起である。最下段の保護材２０３の凹部２０３ａは前述した凸部２０１ｃに係合され、隣接する保護材２０３同士においては、下段側の保護材２０３の凸部２０３ｂが上段側の保護材２０３の奥部２０３ａと係合される。凹部２０３ａと凸部２０３ｂの係合によって、スペーサ２０３をより安定して積層することができる。載置面２０３ｃは、基板Ｗの周縁部が載置される環状の平面である。
　このようにして基板Ｗ間にスペーサ２０３を介在させることで、基板Ｗの回路部分を他の基板Ｗやスペーサ２０３に接触させることなく、容器２００内に複数の基板Ｗを積み重ねることができる。
　＜保護材搬送装置＞
　図１、図２、図５を参照して保護材搬送装置５について説明する。図５は保護材搬送装置５の概略を示す図であり、外装パネルを取り外した状態を模式的に示している。保護材搬送装置５は保護材であるスペーサ２０３を搬送する装置である。本実施形態の場合、保護材搬送装置５はスペーサ２０３を保護材として用いた場合における保護材２０３の搬送の他、一部の部品の脱着によって、後述するシート状の保護材３０３も搬送することが可能である。シート状の保護材３０３のことをシート３０３と呼ぶ場合がある。
　保護材搬送装置５は、複数の柱及び梁から構成されるフレーム５０を備え、このフレーム５０に各構成が支持されている。フレーム５０は、Ｚ方向に長い直方体形状の外形を有しており、その内部空間は、Ｘ方向に並んだ棚部５Ａとロボット収容部５Ｂとを有している。
　（棚部の構成）
　フレーム５０は、棚部５Ａの内部空間をＺ方向に区画する棚部材５０ａ～５０ｃを含み、棚部材５０ａにより上段の載置部５１ａが、棚部材５０ｂにより中段の載置部５１ｂが、棚部材５０ｃにより下段の載置部５１ｃが形成されている。載置部５１ａ～５１ｃを上下に配置することで、保護材搬送装置５のフットプリントを小さくすることができる。
　各載置部５１ａ～５１ｃには、図１に示すように搬送システム１の正面において、横開き式のドア５ａ～５ｃが設けられている。各ドア５ａ～５ｃには、アクリルパネルやガラスパネルで形成される透光性を有する窓５ａ’～５ｃ’が形成されており、各載置部５１ａ～５１ｃは外部から視認可能である。
　載置部５１ａ及び５１ｂには、アンパッキング又はパッキングの対象となる容器２００が載置される。作業者はドア５ａ、５ｂを開放することで、載置部５１ａ及び５１ｂに対して容器２００の搬入、搬出が可能である。本実施形態の場合、容器２００は、カバー２０２を取り外した状態で、容器本体部２０１のみが載置部５１ａ及び５１ｂに載置される。しかし、搬送システム１にカバー取り外し機構を設け、カバー２０２が装着された容器２００を載置部５１ａ及び５１ｂに載置し、カバー２０２はカバー取り外し機構により、取り外すようにしてもよい。本実施形態の場合、２つの載置部５１ａ及び５１ｂを備えているが、１つでもよいし、３つ以上でもよい。
　載置部５１ｃには、アンパッキング又はパッキングの際に、スペーサ２０３が載置される。つまり、スペーサ２０３の一時保管場所である。スペーサ２０３は載置部５１ｃに積載される。ドア５ｃを開放することで、作業者は載置部５１ｃからスペーサ２０３を搬出したり、また、載置部５１ｃにスペーサ２０３を搬入したりすることができる。このような作業は、例えば、スペーサ２０３の過不足が生じた場合等に行われる。
　載置部５１ａ及び５１ｂには、それぞれ容器載置装置５２が設けられ、載置部５１ｃには保護材載置装置５３が設けられている。以下、容器載置装置５２、保護材載置装置５３について説明する。なお、以下、容器載置装置５２、保護材載置装置５３を単に載置装置５２、載置装置５３と呼ぶ場合がある。まず、載置装置５２について説明する。
　図６は載置装置５２の斜視図、図７は容器本体部２０１が搭載された載置装置５２の斜視図である。載置装置５２は、ベースプレート５２０と、ベースプレート５２０をＹ方向に移動可能に支持する一対のガイド部材５２１とを含む。ガイド部材５２１は例えばスライドレールである。
　ベースプレート５２０は、Ｙ方向の奥側が開放したＣ字型の外形を有し、Ｙ方向の手前側にはハンドル５２０ａが設けられている。容器本体部２０１を載置部５１ａ又は５１ｂに搬入する場合、或いは、載置部５１ａ又は５１ｂから搬出する際、作業者は、ドア５ａ又は５ｂを開放し、ハンドル５２０ａを把持して、載置部５１ａ又は５１ｂからベースプレート５２０を、図６及び図７の位置から、手前に引きだすことができる。このように、載置装置５２にスライド機構を設け、保護材搬送装置５に対してベースプレート５２０ごと出没自在に出し入れできるため、容器本体部２０１の搬入、搬出作業が容易である。
　ベースプレート５２０には、複数のガイド部材５２０ｂが設けられている。これら複数のガイド部材５２０ｂの案内により、容器本体部２０１をベースプレート５２０上に載置した際、ベースプレート５２０に対して容器本体部２０１が大まかに位置決めされ、ガタツキが防止される。
　ベースプレート５２０の開口部分には、昇降テーブル５２２が設けられている。昇降テーブル５２２は、その下方に配置された昇降機構５２３によってＺ方向に移動される。昇降テーブル５２２には、容器本体部２０１の位置決め用の複数のピン５２２ａが設けられている。ピン５２２ａは、キネマティックカップリングのための係合ピンであり、容器本体部２０１に設けられた係合部２０１ｂ（本実施形態の場合、谷型の溝）と係合し、昇降テーブル５２２に対して正確に容器本体部２０１を位置決めする。
　昇降テーブル５２２には、センサ５２２ｂ、５２２ｃが設けられている。センサ５２２ｂは、容器本体部２０１が昇降テーブル５２２上に載置されているか否かを検出するセンサであり、本実施形態の場合、容器本体部２０１の自重によってＯＮ状態となる押しボタン式のスイッチである。センサ５２２ｃは後述するアダプタ５２８の脱着を検知するセンサである。アダプタ５２８は、後述するシート３０３を用いたコインスタック容器を用いる場合に装着される部材である。センサ５２２ｃは、本実施形態の場合、アダプタ５２８の自重によってＯＮ状態となる押しボタン式のスイッチ（在席センサ）である。
　容器本体部２０１の搬入の際、昇降テーブル５２２は昇降機構５２３によってベースプレート５２０よりも低い退避位置に位置する。作業者がベースプレート５２０を引き出し、容器本体部２０１をベースプレート５２０に容器本体部２０１を載置した後、ベースプレート５２０を元の位置へ戻す。その後、昇降テーブル５２２は昇降機構５２３によって上昇され、ベースプレート５２０から容器本体部２０１を僅かに持ち上げる。この持ち上げの際に、ピン５２２ａが容器本体部２０１の係合部２０１ｂと係合して容器本体部２０１を位置決めすると共に、容器本体部２０１が昇降テーブル５２２上に支持される。なお、センサ５２２ｃは容器本体部２０１が昇降テーブル５２２上に支持されてもＯＮ状態とならないように配置されている。
　載置装置５２の周辺には、容器本体部２０１内のスペーサ２０３及び基板Ｗの収容状態を検知するセンサ５２４、５２６、５２７がフレーム５０に支持されている。
　センサ５２４は、レーザ測位センサであり、本実施形態では２つ設けられている。センサ５２４はブラケット５２５ａを介してフレーム５０に支持される反射ミラー５２５によりレーザの方向を屈曲させ、狙った位置を検知するようにしている。センサ５２４は、例えば、容器本体部２０１上のスペーサ２０３と基板Ｗの積層体の高さを検知する。センサ５２６は、カラーセンサであり、容器本体部２０１上のスペーサ２０３と基板Ｗの積層体の、最上層の部材の種類を判別するために用いられる。センサ５２７はレーザ測位センサであり、容器本体部２０１上に積載されるスペーサ２０３のみの積層体の高さを検知する。
　次に、載置装置５３について説明する。図８は載置装置５３の斜視図である。載置装置５３はベースプレート５３０を備える。ベースプレート５３０には複数の位置決めピン５３１が立設されている。本実施形態では、位置決めピン５３１の数は３つである。
　スペーサ２０３は、３つの位置決めピン５３１の内側において、ベースプレート５３０上に積載される。図４Ｂはベースプレート５３０上に積載されたスペーサ２０３の例を図示している。後述する積層体２０３Ｓの内の少なくとも一部のスペーサ２０３の外周面が位置決めピン５３１により位置決めされることで、ベースプレート５３０に対してスペーサ２０３の積層体が位置決めされる。ベースプレート５３０には、スペーサ２０３の内周部と重なる位置に開口部５３０ａが形成されている。位置決めピン５３１で位置決めするスペーサ２０３の数は、必ずしも積層体２０３を構成する全てのスペーサ２０３である必要はないが、もちろん全てのスペーサ２０３を位置決めするようにしてもよい。
　ベースプレート５３０には、センサ５３２が設けられている。センサ５３２は後述するアダプタ５３４の脱着を検知するセンサである。アダプタ５３４は、後述するシート３０３の積層体を保持するための部材である。センサ５３２は本実施形態の場合、反射型の光学センサであり、ベースプレート５３０に設けた開口の下方に配置されている。
　載置装置５３の周辺には、ベースプレート５３０上のスペーサ２０３の積載状態を検知するセンサ５３３が設けられている。センサ５３３はレーザ測位センサであり、ベースプレート５３０に積載されるスペーサ２０３の積層体の高さを検知する。センサ５３３はブラケット５３３ａを介してフレーム５０に支持される。
　（ロボット収容部の構成）
　ロボット収容部５Ｂには、保護材搬送ロボット７が設けられている。保護材搬送ロボット７は、スペーサ２０３を載置部５１ａ又は５１ｂと、載置部５１ｃとの間で搬送するロボットである。図１、図５、図９を参照して保護材搬送ロボット７について説明する。図９は保護材搬送ロボット７の説明図であり、その斜視図である。以下、保護材搬送ロボット７を単に搬送ロボット７と呼ぶ場合がある。
　搬送ロボット７は、保持ユニット７０、保持ユニット７１及び移動ユニット７２を含む。保持ユニット７０、７１はいずれもスペーサ２０３を保持するユニットであり、移動ユニット７２は、保持ユニット７０、７１を支持し、これらを載置部５１ａ又は５１ｂと、載置部５１ｃとの間で移動するユニットである。本実施形態の場合、保持ユニット７０と保持ユニット７１はＺ方向に重なるように配置されている。これは、保護材搬送装置５のＸ方向及びＹ方向の小型化に寄与する。
　移動ユニット７２は、保持ユニット７０を回動自在に支持する移動ユニット７２１と、保持ユニット７１を回動自在に支持する移動ユニット７２２と、移動ユニット７２１及び７２２を共に移動する移動ユニット７２０と、を含む。移動ユニット７２１及び７２２は、保持ユニット７０及び７１に個別のユニットであり、移動ユニット７２０は、保持ユニット７０及び７１に共通のユニットである。
　移動ユニット７２０は、Ｚ方向に延びる柱部材７２００を含む。柱部材７２００の側部には、スライダ７２０２の移動を案内するガイド溝７２０１が設けられている。ガイド溝７２０１は、スライダ７２０２のＺ方向の移動を案内する。スライダ７２０２は、Ｘ方向に厚みを有する板状の部材であって、ガイド溝７２０１に沿って昇降する。駆動ユニット７２０５はスライダ７２０２を昇降する駆動機構の特に駆動源を含む。この駆動機構は、モータ等の駆動源と、駆動源の回転駆動をＺ方向の直線運動に変換し、スライダ７２０２に伝達する伝達機構（例えば、ボールねじ機構やベルト伝動機構）を含む。伝達機構の一部は柱部材７２００に内蔵される。
　スライダ７２０２には、移動ユニット７２１を支持するベース部材７２０３と、移動ユニット７２２を支持するベース部材７２０４が固定されている。ベース部材７２０３、７２０４はいずれもＺ方向に厚みを有する板状の部材であり、スライダ７２０２に対して垂直にかつ、Ｚ方向に重なるように固定されている。スライダ７２０２の昇降により、移動ユニット７２１及び７２２、つまり、保持ユニット７０及び７１を共に昇降することができる。
　移動ユニット７２１は、保持ユニット７０を水平方向に回動自在に支持するユニットである。移動ユニット７２１は、アーム部材７２１０と、アーム部材７２１０を回動自在に支持する回動支持部７２１１と、駆動ユニット７２１２とを含む。アーム部材７２１０は水平方向に延びる部材であり、その一端に保持ユニット７０が支持されており、その他端が回動支持部７２１１に支持されている。回動支持部７２１１は、Ｚ方向の回動中心軸Ｚ１回りにアーム部材７２１０を回動自在に支持する機構であり、アーム部材７２１０に接続される回転子と、ベース部材７２０３に固定され、回転子をＺ１軸回りに回転自在に支持する支持部とを含む。駆動ユニット７２１２は、モータ等の駆動源と、駆動源の駆動力を回動支持部７２１１の回転子へ伝達する伝達機構（例えばベルト伝動機構や歯車機構）とを含む。
　移動ユニット７２２は、保持ユニット７１を水平方向に回動自在に支持するユニットである。移動ユニット７２２は、アーム部材７２２０と、アーム部材７２２０を回動自在に支持する回動支持部７２２１と、駆動ユニット７２２２とを含む。アーム部材７２２０は水平方向に延びる部材であり、その一端に保持ユニット７１が支持されており、その他端が回動支持部７２２１に支持されている。
　回動支持部７２２１は、Ｚ方向の回動中心軸Ｚ１回りにアーム部材７２２０を回動自在に支持する機構であり、アーム部材７２２０に接続される回転子と、ベース部材７２０４に固定され、回転子をＺ１軸回りに回転自在に支持する支持部とを含む。駆動ユニット７２２２は、モータ等の駆動源と、駆動源の駆動力を回動支持部７２２１の回転子へ伝達する伝達機構（例えばベルト伝動機構や歯車機構）とを含む。
　本実施形態の場合、移動ユニット７２１及び７２２はＺ方向にオフセットして配置され、かつ、同軸上の回動中心軸Ｚ１を有している。このため、保護材搬送装置５のＸ方向及びＹ方向の省スペース化、小型化が図れる。また、下側に位置する移動ユニット７２１では、駆動ユニット７２１２がベース部材７２０３の下側に配置され、上側に位置する移動ユニット７２２では、駆動ユニット７２２２がベース部材７０４の上側に配置されている。これにより、移動ユニット７２１及び７２２をＺ方向により近接して配置することができる。
　本実施形態の場合、移動ユニット７２１及び７２２は、対応する保持ユニット７０及び７１を独立して９０度の範囲で水平方向に回動する。図５は、保持ユニット７０及び７１が棚部５Ａ内に位置する場合の回動位置を示している。この回動位置を作動位置と呼ぶ。図２は保持ユニット７０及び７１が作動位置から９０度回動して棚部５Ａ外に位置している回動位置を示している。この回動位置を昇降位置と呼ぶ。図２の矢印Ｄは、保持ユニット７０及び７１の回動方向を示している。
　次に、保持ユニット７０、７１の構成について説明する。まず、保持ユニット７０について説明する。図１０は保持ユニット７０の説明図であり、アーム部材７２１０、回動支持部材７２１１と共に示した保持ユニット７０の斜視図である。
　保持ユニット７０は、Ｚ方向に厚みを有する板状で矩形のベース部材７００と、ベース部材７００の四隅から放射状に延びる複数の支持部材７０１とを備える。各支持部材７０１の先端には吸着部７０２が支持されている。本実施形態の吸着部７０２は、不図示の負圧源に接続され、その下端の開口から空気を吸引するノズル部材である。４つの吸着部７０２は、スペーサ２０３の上面（本実施形態では２０３ｄの上面）を吸着するように、スペーサ２０３と同径の仮想円上に配置されている。４つの吸着部７０２で、一つのスペーサ２０３を水平姿勢で保持することができる。なお、吸着部７０２の数は４つ以外でもよい。また、スペーサ２０３の保持方式としては、吸着以外の保持方式（例えば、把持等）であってもよい。
　次に、保持ユニット７１について説明する。図１１は保持ユニット７１の説明図であり、アーム部材７２２０、回動支持部材７２２１と共に示した保持ユニット７１の斜視図である。
　ここで、本実施形態におけるアーム部材７２２０の構成について更に説明する。アーム部材７２２０は、本実施形態の場合、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとの二部材構成とされており、互いに脱着自在に接続されている。保持ユニット７１と先端側部材７２２０ｂは、一つの交換ユニットとなるアーム部材を構成している。後述するシート３０３を用いる場合、このアーム部材を単位として交換する。詳細は後述する。
　次に、保持ユニット７１は、Ｚ方向に厚みを有する板状で円形のベース部材７１０と、ベース部材７１０から三方へ放射状に延びる３つの支持部材７１１とを備える。ベース部材７１０は、複数の吊り下げ軸７１０ａを介してアーム部材７２２０に接続されている。これにより、スペーサ２０３の積層体を一括して保持する際に、スペーサ２０３の積層体とアーム部材７２２０との干渉を回避することができる。
　各支持部材７１１の先端には、変位ユニット７１２を介して係合部材７１３が支持されている。変位ユニット７１２は、係合部材７１３を、同図において矢印Ａ１で示すようにベース部材７１０の径方向（支持部材７１１の長手方向）に拡縮自在に変位させる。係合部材７１３が径方向外側に変位した位置を係合位置と呼び、内側に変位した位置を退避位置と呼ぶ。本実施形態の場合、変位ユニット７１２は支持部材７１１の長手方向に伸縮するエアシリンダである。
　係合部材７１３は、合計で３つ設けられている。３つの係合部材７１３はベース部材７１０を中心とした仮想円上で周方向に等間隔（等角度）で設けられている。各係合部材７１３が係合位置に位置するとき、この仮想円はスペーサ２０３の内周円に相当し、したがって、３つの係合部材７１３はスペーサ２０３の周方向に等間隔で設けられている。
　係合部材７１３は、Ｚ方向に延びる略直方体形状の外形を有する本体部７１３０を有する。本体部７１３０の外周部７１３０ａは、スペーサ２０３の積層体の内周面に沿った曲面を有している。係合部材７１３は、本体部７１３０の下端（外周部７１３０ａの下端）に、外側に延設される鍔状の係合部７１３１を有している。スペーサ２０３の積層体を一括して保持する際、係合部７１３１が最下層のスペーサ２０３に下側から当接し、積層体をすくい上げる。
　図１２Ａ～図１３Ｂは、保持ユニット７１によりスペーサ２０３の積層体２０３Ｓを一括して保持する動作の例を示している。スペーサ２０３の積層体２０３Ｓは、例えば、数十のスペーサ２０３を図４Ｂに示したように積層して形成される。積層体２０３Ｓは、載置部５１ａ又は５１ｂにおいて容器本体部２０１上に載置される場合と、載置装置５３のベースプレート５３０上に載置される場合がある。
　保持ユニット７１は、図１２Ａに示すように、積層体２０３Ｓの上方に移動ユニット７３によって移動される。このとき、保持ユニット７１は作動位置に、保持ユニット７０は昇降位置に、それぞれ位置している。保持ユニット７１は、各係合部材７１３が退避位置に位置した状態で、移動ユニット７３によって図１２Ｂに示すように積層体２０３Ｓの内部空間に下降される。積層体２０３Ｓが容器本体部２０１上に載置されている場合、係合部７１３１は、凹部２０１ａ（図４Ａ参照）に進入する。積層体２０３Ｓがベースプレート５３０上に載置されている場合、係合部７１３１は、開口部５３０ａ（図４Ｂ、図８参照）に進入する。
　図１３Ａは保持ユニット７１が下降された状態を、積層体２０３Ｓの上から見た図である。この状態から図１３Ｂに示すように、変位ユニット７１２を駆動し、係合部材７１３を係合位置へ変位させる。これにより、積層体２０３Ｓが、その内側から３つの保持部材７１３にて保持される。具体的には、積層体２０３Ｓの最下層のスペーサ２０３の下に係合部７１３１が入り込み、積層体２０３Ｓが３つの係合部７１３１に載置された状態になる。これによって、保持ユニット７１が積層体２０３Ｓを一括して持ち上げた状態のまま、移動させることが可能となり、積層体２０３Ｓが保持された状態となる。
　また、本実施形態では、３つの係合部材７１３の各外周部７１３０ａが積層体２０３Ｓの内周面と当接する。これにより、積層体２０３Ｓの保持力が向上する。積層体２０３Ｓを構成する隣接するスペーサ２０３は、凸部２０３ｂと凹部２０３ａとの係合によって、互いに径方向に変位しづらくなっているが、外周部７１３０ａの高さ（Ｚ方向の高さ）が、積層体２０３Ｓの高さの２／３以上、好ましくは３／４以上であると、積層体２０３Ｓの全体をより安定して保持することができる。
　＜制御装置＞
　図１４は搬送システム１の制御装置８のブロック図である。制御装置８は、システム全体の制御を司るホストコントローラ８ａと、基板搬送装置２を制御するコントローラ８ｂと、ロードポート３を制御するコントローラ８ｃと、アライニング装置４を制御するコントローラ８ｄと、保護材搬送装置５を制御するコントローラ８ｅとを含み、これらは互いに通信可能に接続されている。コントローラ８ｂ～８ｅは、例えば、ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）、センサやアクチュエータとＰＬＣとの間の信号を中継する入出力インタフェースを含む。ホストコントローラ８ａは、各コントローラ８ｂ～８ｅとの通信により、これらの制御を行い、基板Ｗのアンパッキングやパッキングを実行する。
　＜制御例＞
　制御装置８による搬送システム１の制御例を説明する。ここでは、基板Ｗのアンパッキングとパッキングの例を説明する。まず、アンパッキングの例について説明する。
　（アンパッキングの例）
　アンパッキングの例について説明する。概説すると、アンパッキングは、載置部５１ａ又は５１ｂ上（載置装置５２上）の容器本体部２０１に載置されているスペーサ２０３及び基板Ｗの積層体から、スペーサ２０３と基板Ｗとを一つずつ交互に取り出す動作である。本実施形態では、保護材搬送ロボット７がスペーサ２０３を取り出し、載置部５１ｃへ積載する。また、基板搬送ロボット２０が基板Ｗを取り出し、ロードポート３上の容器１００へ基板Ｗを移載する。アンパッキングが進むにつれて載置部５１ｃにはスペーサ２０３の積層体２０３Ｓが形成される。最後に、保護材搬送ロボット７が積層体２０３Ｓを載置部５１ａ又は５１ｂ上の容器本体部２０１に一括して搬送する。この一括搬送によって、アンパッキングの効率化を図れる。
　図１５Ａ～図２２を参照して、アンパッキングの例について具体的に説明する。ここでは、載置部５１ａ上（載置装置５２上）の容器本体部２０１に載置されているスペーサ２０３及び基板Ｗの積層体をアンパッキングの対象とする。しかし、載置部５１ｂ上の容器本体部２０１に載置されているスペーサ２０３及び基板Ｗの積層体をアンパッキングの対象とする場合も同様の手順である。
　図１５Ａ及び図１５Ｂは保護材搬送ロボット７が、スペーサ２０３及び基板Ｗの積層体から最上層のスペーサ２０３を取り出す工程を示している。図１５Ａの段階では、保護材搬送ロボット７の保持ユニット７０及び７１は昇降位置に位置している。
　まず、図１５Ｂに示すように保護材搬送ロボット７を作動させ、保持ユニット７０を作動位置へ回動させ、最上層のスペーサ２０３上に位置させる。次に、保持ユニット７０を下降させて最上層のスペーサ２０３を保持した後、保持ユニット７０を上昇させるとともに回動させて図１６Ａに示すように保持ユニット７０を昇降位置に戻す。なお、保持ユニット７０の昇降の際には保持ユニット７１も共に昇降する。
　この動作に続いて、基板搬送ロボット２０は水平多関節機構２１を伸展してハンド２１ａを基板Ｗ上に位置させ、ベースユニット２２により水平多関節機構２１を降下し、ハンド２１ａで基板Ｗを吸着する。その後、ベースユニット２２により水平多関節機構２１を上昇し、水平多関節機構２１を屈曲させて、基板Ｗを取り出す。続いて、ハンド２１aを１８０°回転させ基板Ｗを反転させた後、基板搬送ロボット２０を図１６Ｂに示すようにロードポート３に正対する位置まで走行させる。その後、基板搬送ロボット２０を作動させ、水平多関節機構２１を伸展させるとともに、ハンド２１ａをロードポート３上の容器１００内まで伸ばし、容器１００内に基板Ｗを移載する。容器１００の蓋はロードポート３によって予め開放されている。
　基板搬送ロボット２０の動作に並行して、スペーサ２０３を保持した保持ユニット７０は図１７に示すように載置部５１ｃの高さまで下降される。そして、図１８に示すように保持ユニット７０が作動位置に回動され、保持ユニット７０が更に下降される。その際、保持ユニット７１は昇降位置のままである。その後、保持ユニット７０によるスペーサ２０３の保持が解除され、スペーサ２０３が載置部５１ｃ上（載置装置５３上）に移載される。その後、保持ユニット７０は再び昇降位置に回動される。
　更に保護材搬送ロボット７を上昇させ、載置部５１ａの高さに位置させる。そして、基板搬送ロボット２０の走行開始とともに、次のスペーサ２０３の吸着、移載が行われる。
　以降、同様の手順によって、スペーサ２０３は保護材搬送ロボット７により載置部５１ｃ上に移載され、基板Ｗは基板搬送ロボット２０により容器１００へ移載される。載置部５１ａ上の全ての基板Ｗ及びスペーサ２０３が取り出されると、載置部５１ｃ上には図１９に示すようにスペーサ２０３の積層体２０３Ｓが形成される。この積層体２０３Ｓは保護材搬送ロボット７により載置部５１ａ上の容器本体部２０１上に戻される。
　まず、図２０に示すように、保持ユニット７１を下降させるとともに作動位置に回動させ、保持ユニット７１を積層体２０３Ｓの上方に位置させる。保持ユニット７０は昇降位置のままである。図２１に示すように保持ユニット７１を積層体２０３Ｓの内側に下降させ、積層体２０３Ｓを保持ユニット７１にて保持する。続いて、保持ユニット７１に保持された積層体２０３Ｓを載置部５１ａ上の容器本体部２０１へ一括して搬送する。具体的には、保持ユニット７１の上昇、昇降位置への回動、載置部５１ａの高さへの上昇、作動位置への回動が行われ、図２２に示すように容器本体部２０１の上方に保持ユニット７１及び積層体２０３Ｓが移動される。保持ユニット７１を容器本体部２０１内に下降させるとともに積層体２０３Ｓの保持を解除することで積層体２０３Ｓが容器本体部２０１に移載される。
　以上により、アンパッキングの際の動作が完了する。なお、本実施形態では、図２１、図２２に示した積層体２０３Ｓの一括搬送の際、全てのスペーサ２０３を一括して搬送したが、複数回に分けて一括搬送してもよい。例えば、全部で２６個のスペーサ２０３からなる積層体２０３Ｓを容器本体部２０１へ戻す場合、まず半分（１３個）のスペーサ２０３からなる積層体２０３Ｓを搬送し、その後、残りの半分のスペーサ２０３からなる積層体２０３Ｓを搬送しても構わない。この場合も、スペーサ２０３を一個ずつ搬送する場合よりも、搬送効率を高められる。
　また、本実施形態では、アンパッキングの際、容器本体部２０１上から載置部５１ｃへ全てのスペーサ２０３を搬送したが、容器本体部２０１に一個のスペーサ２０３を残しておいてもよい。何故なら、本実施形態では載置部５１ｃ上のスペーサ２０３を容器本体部２０１へ戻すところ、容器本体部２０１の最下層のスペーサ２０３は、その下に基板Ｗが存在せず、載置部５１ｃへ搬送する必要性が必ずしもないからである。容器本体部２０１の最下層のスペーサ２０３を載置部５１ｃへ搬送しないでおくことで、アンパッキング後にパッキングを行うときにおいて、１個のスペーサ２０３を載置部５１ｃから載置部５１ａへ移載する手間が省け、タクトタイムの低減を図ることができる。
　（パッキングの例）
　パッキングの例について説明する。概説すると、パッキングは、アンパッキングの逆の動作であり、載置部５１ａ又は５１ｂ上（載置装置５２上）の容器本体部２０１に、スペーサ２０３と基板Ｗとを一つずつ交互に積載する動作である。本実施形態では、まず、保護材搬送ロボット７が、載置部５１ａにおける容器本体部２０１からスペーサ２０３の積層体２０３Ｓを、載置部５１ｃ上へ一括して搬送する。この一括搬送によって、パッキングの効率化を図ることができる。次に、保護材搬送ロボット７が載置部５１ｃ上の積層体２０３Ｓからスペーサ２０３を一つ取り出し、容器本体部２０１に移載する。
　基板搬送ロボット２０がロードポート３上の容器１００から基板Ｗを取り出し、アライナ４０へ、取り出した基板Ｗを受け渡す。基板Ｗはアライナ４０によってセンタリングされる。センタリングされた基板Ｗは、基板搬送ロボット２０によってアライナ４０から取り出され、容器本体部２０１に移載される。容器本体部２０１へのスペーサ２０３の移載と基板Ｗの移載とが交互に繰り返し行われて、容器本体部２０１にスペーサ２０３と基板Ｗの積層体が形成される。
　図２３Ａ～図２７Ｂを参照して、パッキングの例について具体的に説明する。ここでは、載置部５１ａ上（載置装置５２上）の容器本体部２０１に、スペーサ２０３及び基板Ｗの積層体を形成することを説明する。しかし、載置部５１ｂ上の容器本体部２０１にスペーサ２０３及び基板Ｗの積層体を形成する場合も同様の手順である。
　容器本体部２０１上のスペーサ２０３の積層体２０３Ｓを載置部５１ｃに移載した後、載置部５１ｃ上の積層体２０３Ｓからスペーサ２０３を一つ取り出し、容器本体部２０１に移載する作業を行う。図２３Ａに示すように、積層体２０３Ｓ上に保持ユニット７１が位置するよう、保持ユニット７１が作動位置に回動される。このとき、保持ユニット７０は昇降位置のままである。保持ユニット７１を積層体２０３Ｓ内に下降させるとともに、変位ユニット７１２を駆動させて係合部材７１３を係合位置に伸長させる。これにより、各支持部材７１１により積層体２０３Ｓが保持される。その後、保持ユニット７１を上昇して図２３Ｂに示すように保持ユニット７１を昇降位置へ回動する。並行して、基板搬送ロボット２０がロードポート３上の容器１００から基板Ｗを取り出す準備を行う。
　続いて、保持ユニット７１が載置部５１ｃの高さまで下降され、作業位置へ回動される。その後、図２４に示すように保持ユニット７１がベースプレート５３０における各位置決めピン５３１の内側に下降される。その後、保持ユニット７１による積層体２０３Ｓの保持が解除され、積層体２０３Ｓが載置部５１ｃ上に移載される。このようにして積層体２０３Ｓが一括搬送される。
　続いて保持ユニット７０によってスペーサ２０３を一つ保持する動作に移る。保持ユニット７１を一旦積層体２０３Ｓの上方へ上昇させた後、保持ユニット７１は昇降位置へ回動させ、保持ユニット７０は作動位置へ回動させる。更に、図２５に示すように、保持ユニット７０をベースプレート５３０における各位置決めピン５３１の内側に下降させるとともに吸着を行い、積層体２０３Ｓの最上層のスペーサ２０３が保持ユニット７１で保持される。その後、保持ユニット７０を上昇させることで、最上段のスペーサ２０３が１個だけ保持される。
　保持ユニット７０が昇降位置に回動された後、図２６に示すように、保持ユニット７０が容器本体部２０１の高さまで上昇される。図２７Ａに示すように、保持ユニット７０が作動位置へ回動され、更に、下降されることで容器本体部２０１上にスペーサ２０３が移載される。並行して、基板搬送ロボット２０がロードポート３上の容器１００から基板Ｗを取り出す。そして、アライナ４０へ、取り出した基板Ｗを受け渡す。基板Ｗはアライナ４０によってセンタリングされる。センタリングされた基板Ｗは、基板搬送ロボット２０によってアライナ４０から取り出され、図２７Ｂに示すように、基板搬送ロボット２０が容器本体部２０１に載置されているスペーサ２０３上に基板Ｗを移載する。
　以降、同様の手順によって、スペーサ２０３は保護材搬送ロボット７により載置部５１ｃから容器本体部２０１へ移載され、基板Ｗは基板搬送ロボット２０により容器１００からアライナ４０を経由して容器本体部２０１へ移載されて、容器本体部２０１にスペーサ２０３と基板Ｗの積層体が形成される。本実施形態では、この後、作業者が容器本体部２０１を保護材搬送装置５から取り出し、カバー２０２を容器本体部２０１に装着することで、コインスタック容器２００のパッキングが完了となる。しかし、特にこの実施形態に限定するものではなく、保護材搬送装置５自体に、カバー２０２を容器本体部２０１に自動装着する機構を設けてもよい。この場合、パッキングが完了したコインスタック容器２００が保護材搬送装置５から取り出される。
　なお、アンパッキングの場合と同様、図２３Ａ～図２４に示した積層体２０３Ｓの一括搬送においては、全てのスペーサ２０３を一括して搬送せずに、複数回に分けて一括搬送してもよい。また、この一括搬送の際、容器本体部２０１上から載置部５１ｃへ全てのスペーサ２０３を搬送せず、容器本体部２０１に一つのスペーサ２０３を残しておいてもよい。
　＜接触式コインスタック容器＞
　本実施形態の保護材搬送装置５は、上述した非接触式のコインスタック容器２００以外に、接触式のコインスタック容器にも対応可能となっている。図２８は接触式のコインスタック容器である容器３００の説明図であり、その断面図である。容器３００は、容器本体部３０１と容器本体部３０１の蓋となるカバー３０２とを含む中空体である。保護材であるシート３０３と基板Ｗとが交互に積層された積層体が容器３００内に収容される。この積層体は容器本体部３０１上に載置されており、容器本体部２０１の周壁によって径方向への移動が規制されている。容器３００の底部と天部にはクッション３０４が設けられている。
　シート３０３は、隣接する基板Ｗに全面的に接触するスペーサであり、例えば、紙製である。シート３０３は、基板Ｗの形状に沿って円形状を有しており、かつ、基板Ｗよりも直径が大きい。
　＜シートへの対応＞
　保護材搬送装置５は、容器３００のアンパッキング、パッキングを行う際に、一部の部品を交換或いは脱着することで、シート３０３や容器３００に対応することができる。
　（保持ユニットの交換）
　シート３０３に対応する場合、保持ユニット７１をシート３０３の保持に対応した保持ユニット７４に交換する。図２９は保持ユニット７１の交換構造の説明図であり、図３０は保持ユニット７４の説明図である。なお、保持ユニット７０はシート３０３の搬送には用いない。このため、シート３０３の搬送の際、保持ユニット７０は特に取り外す必要は無いが、取り外し可能に構成しておき、取り外すようにしてもよい。
　本実施形態におけるアーム部材７２２０は、既に述べた通り、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとの二部材構成とされており、互いに脱着自在に接続されている。図２９は、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとを分離した状態を示している。根元側部材７２２０ａには位置決め部７２２０ｃが形成されている。本実施形態の場合、位置決め部７２２０ｃは凹部状に形成されており、その内周壁と底壁とに、先端側部材７２２０ｂの端部７２２０ｅを嵌め合わせることで、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとが位置決めされる。端部７２２０ｅは位置決め部７２２０ｃの形状に合致する形状を有している。位置決め部７２２０ｃにはねじ穴が形成されていて、複数のボルトＶによって根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂとが固定される。
　保持ユニット７４について説明する。保持ユニット７４は、Ｚ方向に厚みを有する板状で矩形のベース部材７４０と、ベース部材７４０から放射状に延びる複数の支持部材７４１とを備える。本実施形態の場合、支持部材７４１は６つ設けられている。各支持部材７４１の先端には吸着部７４２が支持されている。本実施形態の吸着部７４２は、不図示の負圧源に接続され、その下端の開口から空気を吸引するノズル部材である。６つの吸着部７４２は、シート３０３の上面を吸着するように、シート３０３よりも小径の仮想円上に配置されている。なお、吸着部７４２の数は６つ以外でもよい。また、シート３０３の保持方式としては、吸着以外の保持方式（例えば、ベルヌーイ効果やコアンダ効果を利用したチャック等）であってもよい。
　保持ユニット７４が取り付けられる先端部材７２２０ｂ’は、クランク形状を有している。先端部材７２２０ｂ’の端部７２２０ｅ’は位置決め部７２２０ｃに合致する形状を有しており、先端側部材７２２０ｂと同様、複数のボルトＶによって根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂ’とが固定される。
　保持ユニット７１は先端部材７２２０ｂと一体のアーム部材として一つの交換ユニットを構成している。また、保持ユニット７４は先端部材７２２０ｂ’と一体のアーム部材として一つの交換ユニットを構成している。
　保持ユニット７１が取り付けられる先端部材７２２０ｂ及び保持ユニット７４が取り付けられる先端部材７２２０ｂ’には、それぞれ、センサ７２２３、７２２３’とセンサ７２２３、７２２３’の信号線が接続される中継コネクタ７２２４とが設けられている。センサ７２２３、７２２３’は、ブラケット７２２３ａ、７２２３ａを介して先端側部材７２２０ｂ、７２２０ｂ’に支持されている。センサ７２２３、７２２３’は、根元側部材７２２０ａと先端側部材７２２０ｂ又は７２２０ｂ’とが接続されているか否か、つまり、保持ユニット７１又は保持ユニット７４が装着されているか否かを検知するセンサである。本実施形態の場合、センサ７２２３、７２２３’は、根元側部材７２２０ａに設けた被検知片７２２０ｄを検知する光センサ（フォトインタラプタ）である。
　中継コネクタ７２２４は、センサ７２２３、７２２３’を含む各種センサ部品の信号線が接続される複数の接続部Ｃ１と、中継コネクタ７２２４とコントローラ８ｅとを電気的に接続するハーネスが接続される接続部Ｃ２とを含む。各接続部Ｃ１の各端子と、接続部Ｃ２の各端子とは内部で電気的に接続されている。接続部Ｃ１は、保持ユニット７１の装着を検知するセンサ７２２３の信号線が接続される接続部と、保持ユニット７４の装着を検知するセンサ７２２３’の信号線が接続される接続部とを含み、各センサ７２２３、７２２３’の検知結果は、接続部Ｃ２の異なる端子からコントローラ８ｅへ出力される。
　（容器のアダプタ）
　容器３００をアンパッキング、パッキングの対象とする場合、容器本体部３０１をアダプタ５２８を介して載置装置５２に載置する。アダプタ５２８は載置装置５２の昇降テーブル５２２に装着される。図３１は載置装置５２の昇降テーブル５２２とアダプタ５２８の斜視図である。
　アダプタ５２８は全体として矩形の板状の部材である。アダプタ５２８の底面にはピン５２２ａと係合する係合部（不図示）が形成されており、この係合部とピン５２２ａとの係合によってアダプタ５２８が位置決めされる。アダプタ５２８の上面には、容器本体部３０１をアダプタ５２８に位置決めする複数の位置決め部材５２８ａが設けられている。
　また、アダプタ５２８には、複数のセンサドグ５２８ｂが設けられている。センサドグ５２８ｂはＺ方向に移動可能に支持されており、かつ、アダプタ５２８をＺ方向に貫通している。センサドグ５２８ｂは、昇降テーブル５２２のセンサ５２２ｂに対応する位置に配置されている。アダプタ５２８上に容器本体部３０１が載置されると、容器本体部３０１の自重によってセンサドグ５２８ｂが下方へ押し出され、センサ５２２ｂがＯＮ状態となる。つまり、センサドグ５２８ｂを介して、センサ５２２ｂが、アダプタ５２８上に容器本体部３０１が載置されているか否かを検出することができる。昇降テーブル５２２に対するアダプタ５２８の装着はセンサ５２２ｃによって検知される。
　（シートのアダプタ）
　本実施形態の場合、シート３０３は再利用せず、アンパッキングの際に廃棄する。パッキングの際には、シート３０３を新たに供給する。このため、載置装置５３には、シート３０３のマガジンとなるアダプタ５３４を装着する。図３２は載置装置５３とアダプタ５３４の斜視図である。
　アダプタ５３４は、シート３０３の積層体が載置されるベースプレート５３４ａと、ベースプレート５３４ａに立設され、シート３０３の積層体を外側からガイドする複数のガイド部材５３４ｂとを備える。ベースプレート５３４ａには、載置装置５３の位置決めピン５３１と係合するとともに干渉を防ぐための切欠き５３４ａが形成されており、アダプタ５３４は位置決めピン５３１によって載置装置５３に対して位置決めされる。アダプタ５３４の装着はセンサ５３２によって検知される。
　（コントローラの入力ポート）
　後述するように、本実施形態では、保持ユニット７０、７４の装着、アダプタ５２８、５３４の脱着を自動判定する。そのため、コントローラ８ｅの入力ポートには、これらの検知結果が入力されるポートが割り当てられている。図３３は入力ポートの説明図である。
　図３３の例では、入力ポートＰ１～Ｐ５を例示している。例えば、入力ポートＰ１はセンサ７２２３の検知結果が入力されるポートであり、入力ポートＰ２はセンサ７２２３’の検知結果が入力されるポートであり、入力ポートＰ３、Ｐ４は載置部５１ａ、５１ｂの各センサ５２２ｃの検知結果が入力されるポートであり、入力ポートＰ５はセンサ５３２の検知結果が入力されるポートである。
　（アンパッキングとパッキング）
　容器３００のアンパッキング、パッキングについて説明する。まず、アンパッキングについて説明する。
　容器３００のアンパッキングは、容器２００のアンパッキングと基本的に同じである。つまり、アンパッキングは、載置部５１ａ又は５１ｂ上（載置装置５２上）の容器本体部３０１に載置されているシート３０３及び基板Ｗの積層体から、シート３０３と基板Ｗとを一つずつ交互に取り出す動作である。但し、シート３０３は再利用せずに廃棄する。この動作を図３４、図３５を参照して説明する。
　図３４は、載置部５１ａ上の容器本体部３０１からシート３０３を取り出す動作を示している。容器本体部３０１はアダプタ５２８を介して載置装置５２上に載置されている。保護材搬送ロボット７には、保持ユニット７１に代えて保持ユニット７４が装着されている。容器本体部３０１からシート３０３を取り出す際、保持ユニット７４は移動ユニット７２によって作動位置に回動されて容器本体部３０１の上方に位置した後、下降されて最上層のシート３０３を吸着保持する。
　続いて保持ユニット７４は図３４に示すように上昇されて、保持しているシート３０３を廃棄する動作に移る。シート３０３は、作業者により予め搬送システム１内に設置される廃棄箱９０へ投入される。廃棄箱９０の上側には、投入されるシート３０３を廃棄箱９０へ案内する案内板（シュート）９１が作業者により予め設置されている。
　図３４の状態から、シート３０３を保持した保持ユニット７４は、移動ユニット７２によって昇降位置に回動された後、下降される。図３５に示すように、保持ユニット７０を作業位置に回動して、保持ユニット７４の下方空間を開放した後、保持ユニット７４がシート３０３の保持を解除する。シート３０３は案内板９１上に自然落下し、廃棄箱９０に回収される。
　次に、パッキングについて説明する。容器３００のパッキングも、容器２００のパッキングと基本的に同じである。つまり、パッキングは、載置部５１ａ又は５１ｂ上（載置装置５２上）の容器本体部３０１に、シート３０３と基板Ｗとを一つずつ交互に積載する動作である。但し、シート３０３は新しいシートを供給する。この動作を図３６を参照して説明する。
　載置装置５３にはアダプタ５３４を介して新規のシート３０３の積層体３０３Ｓが準備されている。保護材搬送ロボット７には、保持ユニット７４によって、積層体３０３Ｓから最上層のシート３０３を取り出し、容器本体部３０１へ搬送する。保持ユニット７４は移動ユニット７２によって作動位置に回動されて積層体３０３Ｓの上方に位置した後、下降されて最上層のシート３０３を吸着保持する。続いて保持ユニット７４は図３６に示すように上昇されて、保持しているシート３０３を容器本体部３０１へ搬送する動作に移る。シート３０３の容器本体部３０１への搬送はスペーサ２０３の搬送の場合と同様である。
　以上により、本実施形態によれば、接触式及び非接触式の各コインスタック容器に対応して、アンパッキング／パッキングを行うことができる。
　＜部品の整合性の自動判定＞
　上記の通り、本実施形態の保護材搬送装置５では、一部の部品の交換、脱着により接触式及び非接触式の各コインスタック容器に対応可能である。部品の交換、脱着は作業者が行うため、使用するコインスタック容器の種類（換言すると保護材の種類）と、部品が整合していないと、アンパッキング／パッキングの動作が適切に行われない。そこで、本実施形態では部品の整合性を自動判定する。図３７はその処理例を示すフローチャートであり、保護材搬送装置５を制御するコントローラ８ｅが実行する処理例を示している。
　図３７は、保護材搬送装置５の動作モードを作業者が事前設定する処理例を示している。Ｓ１では動作モードの設定を受け付ける。設定方法はどのような方法でもよいが、本実施形態では、情報表示装置６に動作モードの種類を表示し、作業者が選択可能としている。図３７にはその表示例も図示されている。図示の例では、４種類の動作モードが示されている。
　「リング：パッキング」は、非接触式のコインスタック容器２００に対するパッキングを行う動作モードであり、保護材の種類はスペーサ２０３である。「リング：アンパッキング」は、非接触式のコインスタック容器２００に対するアンパッキングを行う動作モードであり、保護材の種類はスペーサ２０３である。「シート：パッキング」は、接触式のコインスタック容器３００に対するパッキングを行う動作モードであり、保護材の種類はシート３０３である。「シート：アンパッキング」は、接触式のコインスタック容器３００に対するアンパッキングを行う動作モードであり、保護材の種類はシート３０３である。
　作業者がいずれかの動作モードを選択すると、Ｓ２で装着判定を行う。ここでは、保護材の種類に対応した、保護材搬送ロボット７、載置部５１ａ～５１ｃの構成部品の脱着を判定する。具体的には、保護材搬送ロボット７については、保持ユニット７１と保持ユニット７４のどちらが装着されているかを判定する。載置部５１ａ、５１ｂについてはアダプタ５２８の脱着を判定する。載置部５１ｃについてはアダプタ５３４の脱着を判定する。これらの判定は、入力ポートＰ１～Ｐ５に入力される各センサ７２２３、７２２３’、５２２ｃ、５２２ｃ、５３２の検知結果から行うことができる。
　Ｓ３では、Ｓ１で選択された動作モードとＳ２の装着判定の結果とを照合してその整合性を判定する。各動作モードと、正常な部品の状態の関係は以下の通りである。
○「リング：パッキング」
　保持ユニット７１を装着、アダプタ５２８、５３４を非装着
○「リング：アンパッキング」
　保持ユニット７１を装着、アダプタ５２８、５３４を非装着
○「シート：パッキング」
　保持ユニット７４を装着、アダプタ５２８、５３４を装着
○「シート：アンパッキング」
　保持ユニット７４を装着、アダプタ５２８、５３４を装着
　なお、「シート：アンパッキング」モードにおいては、アダプタ５３４の脱着は不問としてもよい。
　Ｓ４ではＳ３の整合性判定の結果が整合であるか否かにより、その後の処理を分岐する。整合している場合はＳ５へ進み、選択された動作モードでの保護材搬送装置５の動作が許可される。その後、作業者の動作開始指示により、選択された動作モードでの搬送動作等が開始される。整合していない場合はＳ６へ進み、作業者に部品の脱着に誤りがあることが報知されると共に、選択された動作モードでの保護材搬送装置５の動作が禁止される。報知は、例えば、表示や音声で行うことができる。表示の場合、情報表示装置６に表示してもよい。
　以上の処理により、コインスタック容器及び保護材の種類に対応しつつ、動作モードに対応した部品の取り違えを防止できる。なお、本実施形態では、シート３０３を使用する場合に、アダプタ５２８、５３４を使用するようにしており、デフォルトの保護材の種類はスペーサ２０３とした。しかし、デフォルトの保護材をシート３０３とし、スペーサ２０３、つまり、非接触式のコインスタック容器のアンパッキング／パッキングを行う場合にアダプタを装着する構成であってもよい。
　また、図３７の例では、選択された動作モードの種類と、部品の脱着との間の整合性を判定するようにしたが、部品間の整合性を判定するようにしてもよい。図３８はその処理例を示すフローチャートであり、コントローラ８ｅが実行する処理例である。
　Ｓ１１では予め定めた判定タイミングか否かを判定する。判定タイミングは、例えば、アンパッキングやパッキングの動作開始指示があった場合や、システムの起動時等である。
　Ｓ１２では装着判定を行う。図３７のＳ２と同じ処理である。Ｓ１３では部品間の整合性判定を行う。ここでは、例えば、以下の組合せを整合しているとする。
○保持ユニット７１を装着、アダプタ５２８、５３４を非装着
○保持ユニット７４を装着、アダプタ５２８、５３４を装着
　例えば、保持ユニット７１の装着が検知され、アダプタ５２８の装着も検知された場合は、整合していないと判定される。また、例えば、保持ユニット７４の装着が検知され、アダプタ５２８の装着が検知されない場合は、整合しないと判定される。
　Ｓ１４ではＳ１３の整合性判定の結果が整合であるか否かにより、その後の処理を分岐する。整合している場合はＳ１５へ進み、保護材搬送装置５の動作を許可する。整合していない場合はＳ１６へ進み、図３７のＳ６と同様の処理を行う。
　＜搬送システムの他のレイアウトの例＞
　（保持ユニットと移動ユニット）
　上記実施形態では、保持ユニット７０と保持ユニット７１とで、これらを上下に移動する移動ユニット７２０を共通とした保護材搬送装置５を例示したが、移動ユニット７２０を保持ユニット７０、７１に個別に設けることも可能である。図３９はその一例を示す。図３９の例は棚部５ＡのＸ方向の両側にロボット収容部５Ｂをそれぞれ配置している。
　２つのロボット収容部５Ｂの一方には、保持ユニット７０と、その回動を行う移動ユニット７２１と、移動ユニット７２１の上下の移動を行う移動ユニット７２０とが設けられており、他方には保持ユニット７１と、その回動を行う移動ユニット７２２と、移動ユニット７２２の上下の移動を行う移動ユニット７２０とが設けられている。この例では、移動ユニット７０、７１を独立して回動するだけでなく、独立して昇降することができる。そして、保持ユニット７０、７１が共通の棚部５Ａ内のスペーサ２０３にアクセスすることができる。
　（載置部の配置）
　上記実施形態では、載置部５１ａ及び５１ｂに対して、載置部５１ｃを下方に配置したが、載置部５１ｃを載置部５１ａ、５１ｂの上方に配置してもよい。また、載置部５１ｃを載置部５１ａと載置部５１ｂとの間に配置してもよい。
　また、載置部５１ｃを、載置部５１ａ、５１ｂに対して、横方向にオフセットして配置してもよい。図４０、図４１はその一例を示す。
　図４０は、載置部５１ｃを、保持ユニット７０、７１の回動範囲内で、載置部５１ａ、５１ｂに対して横方向にオフセットした例を示しており、載置部５１ｃの配置は破線で図示されている。載置部５１ｃの、載置部５１ａ、５１ｂに対する上下方向のオフセットについては、一方の載置部５１ａ、５１ｂと同じ高さに載置部５１ｃを配置してもよいし、いずれの載置部５１ａ、５１ｂと異なる高さに載置部５１ｃを配置してもよい。
　二点鎖線で図示する載置部５１ｃは、保持ユニット７０、７１の昇降位置における上下の移動軌道上にある。しかし、載置部５１ｃの横方向の配置はこれに限られない。例えば、回動中心軸Ｚ１回りの保持ユニット７０、７１の回動可能範囲を一点鎖線で示す軌道Ｒとすると、軌道Ｒ上の任意の位置を適宜選択でき、選択した位置に対応して周辺の構成を設計すればよい。この場合も、載置部５１ｃの、載置部５１ａ、５１ｂに対する上下方向のオフセットについては、一方の載置部５１ａ、５１ｂと同じ高さに載置部５１ｃを配置してもよいし、いずれの載置部５１ａ、５１ｂと異なる高さに載置部５１ｃを配置してもよい。
　図４１の例は、載置部５１ａ～５１ｃを同じ高さで横並びに配置した例を示している。図示の例では、載置部５１ａ～５１ｃをＸ方向に横並びに配置し、載置部５１ａと載置部５１ｂとの間に、載置部５１ｃを配置している。しかし、載置部５１ａ～５１ｃの配置方向や配置順序はこれに限られない。
　図４１の例では、保護材搬送ロボット７がＸ方向に往復できる構成（移動ユニット７２３）を更に備えている。移動ユニット７２３は、Ｘ方向に延びるレール状の一対の案内部材７２３ａに沿ってＸ方向に移動する走行体である。移動ユニット７２３の駆動機構は、モータ等の駆動機構と、ボールねじ機構やベルト伝動機構等の駆動力伝達機構とから構成することができる。
　移動ユニット７２０は移動ユニット７２３に搭載されており、また、移動ユニット７２１、７２２は移動ユニット７２０によって昇降される。したがって、保持ユニット７０、７１は、移動ユニット７２１、７２２による回動と、移動ユニット７２０による昇降と、移動ユニット７２３によるＸ方向の水平移動と、が可能である。図４１における保持ユニット７０、７１の位置は、上記実施形態の昇降位置に相当し、一対の案内部材７２３ａの上方の位置である。図４１の例における保持ユニット７０、７１の作動位置は、図４１に図示の位置から９０度反時計回りに回動した、載置部５１ａ、５１ｂ又は５１ｃの上方の位置である。
　図４０や図４１に図示したレイアウトにおいても、上記実施形態と同様に、アンパッキング、パッキングを行うことができる。
　以上、発明の実施形態について説明したが、発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。従って、本発明の範囲を公にするために、以下の請求項を添付する。

Claims (18)

  1. 　容器内に保護材と基板の積層体を形成する梱包動作、及び、容器内の前記積層体から前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作の各動作の際に、前記保護材を搬送する搬送手段と、
    　前記保護材が積載される保護材載置部と、
    　前記容器の容器本体部が載置される容器載置部と、
    　前記保護材の種類に対応した複数の動作モードのうち、選択された動作モードにて前記搬送手段を制御する制御手段と、
    　前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定手段と、
    　選択された前記動作モードと前記装着判定手段の判定結果との整合性を判定する整合性判定手段と、を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
  2. 　請求項１に記載の搬送装置であって、
    　前記保護材の種類は、シートと枠状のスペーサであり、
    　前記搬送手段は、
    　一つの前記スペーサを保持する第一の保持手段と、
    　前記搬送手段を構成する前記部品として、選択的に装着される第二の保持手段と、を備え、
    　前記第二の保持手段は、
    　前記シートを保持するシート保持手段か、又は、
    　積層された複数の前記スペーサを一括して保持するスペーサ保持手段であり、
    　前記装着判定手段は、前記シート保持手段と前記スペーサ保持手段とのどちらが装着されているかを判定する、
    ことを特徴とする搬送装置。
  3. 　請求項２に記載の搬送装置であって、
    　前記スペーサ保持手段は、
    　積層された前記スペーサを内側から保持する複数の保持部材と、
    　前記複数の保持部材を支持し、拡縮自在に変位させる変位手段と、を備え、
    　それぞれの前記保持部材は、その下端に、外側に延設される鍔状の係合部を、を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
  4. 　請求項３に記載の搬送装置であって、
    　前記スペーサが円環形状を有し、
    　前記複数の保持部材は、前記スペーサの周方向に等間隔で配置され、
    　それぞれの前記保持部材は、積層された前記スペーサの内周面に沿って当接する外周部を含み、該外周部の下端に前記係合部を有する、
    ことを特徴とする搬送装置。
  5. 　請求項２に記載の搬送装置であって、
    　前記搬送手段は、
    　前記第一の保持手段を回動自在に支持する第一の移動ユニットと、
    　前記第二の保持手段を回動自在に支持する第二の移動ユニットと、
    　前記第一の移動ユニット及び前記第二の移動ユニットをともに移動する第三の移動手段と、を含み、
    　前記第三の移動手段は、前記第一の移動ユニット及び前記第二の移動ユニットを上下に移動させ、
    　前記第一の移動ユニット及び前記第二の移動ユニットは、上下方向にオフセットして配置され、かつ、それぞれの回動の中心軸を同軸上に配置した、
    ことを特徴とする搬送装置。
  6. 　請求項２に記載の搬送装置であって、
    　前記シート保持手段の装着を検知するセンサを、前記装着判定手段に電気的に接続するための第一の接続手段を備え、
    　前記スペーサ保持手段の装着を検知するセンサを、前記装着判定手段に電気的に接続するための第二の接続手段を備え、
    　前記装着判定手段は、
    　前記第一の接続手段からの電気信号が入力される第一の入力ポート、及び、前記第二の接続手段からの電気信号が入力される第二の入力ポートを備え、かつ、
    　前記第一の入力ポートまたは前記第二の入力ポートのどちらに電気信号が入力されたかによって、前記シート保持手段または前記スペーサ保持手段のどちらの装着かを判定する、
    ことを特徴とする搬送装置。
  7. 　請求項５に記載の搬送装置であって、
    　前記第二の移動ユニットは、前記第二の保持手段を位置決めする位置決め部を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
  8. 　請求項２に記載の搬送装置であって、
    　前記シート保持手段は、前記シートの上面を吸着する複数の吸着部を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
  9. 　請求項２に記載の搬送装置であって、
    　前記第一の保持手段は、
    　前記スペーサの上面を吸着する複数の吸着部を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
  10. 　請求項１に記載の搬送装置であって、
    　前記保護材の種類は、シートと枠状のスペーサであり、
    　前記保護材載置部を構成する前記部品として、着脱自在なアダプタを備え、
    　前記保護材載置部には、前記アダプタを装着しない場合に、前記シート又は前記スペーサの一方が積載可能であり、
    　前記保護材載置部には、前記アダプタを装着することで、前記シート又は前記スペーサの他方が積載可能であり
    　前記装着判定手段は、前記アダプタの装着の有無を判定する、
    ことを特徴とする搬送装置。
  11. 　請求項１に記載の搬送装置であって、
    　前記保護材の種類は、シートと枠状のスペーサであり、
    　前記容器載置部を構成する前記部品として、着脱自在なアダプタを備え、
    　前記容器載置部には、前記アダプタを装着しない場合に、前記シート用の容器本体部又は前記スペーサ用の容器本体部の一方が積載可能であり、
    　前記容器載置部には、前記アダプタを装着することで、前記シート用の容器本体部又は前記スペーサ用の容器本体部の他方が載置可能であり
    　前記装着判定手段は、前記アダプタの装着の有無を判定する、
    ことを特徴とする搬送装置。
  12. 　請求項１に記載の搬送装置であって、
    　前記整合性判定手段が、整合しないと判定した場合に、これを報知する報知手段を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
  13. 　請求項１に記載の搬送装置であって、
    　前記制御手段は、前記整合性判定手段が整合すると判定したことを条件として、前記搬送手段を動作させる、
    ことを特徴とする搬送装置。
  14. 　容器内に保護材と基板の積層体を形成する梱包動作、及び、容器内の前記積層体から前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作の各動作の際に、複数種類の中から選択される前記保護材に対応して動作モードが設定される制御手段と、
    　選択された前記保護材に対応して脱着され、該保護材が載置される保護材載置部材と、
    　選択された前記保護材に対応して脱着され、前記容器の容器本体部が載置される容器載置部材と、
    　選択された前記保護材に対応して選択され、前記保護材を保持するアーム部材を含み、該保護材を搬送する搬送手段と、
    　前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および装着されている前記アーム部材の種類を判定する装着判定手段と、
    　前記装着判定手段による前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および前記アーム部材の種類の整合性を判定する整合性判定手段と、を備える、
    ことを特徴とする搬送装置。
  15. 　容器本体部に保護材と基板の積層体を形成した後、該容器本体部に容器カバーを被せる梱包動作を行う装置の制御方法であって、
    　前記装置は、
    　前記保護材を搬送する搬送手段と、
    　前記保護材が積載される保護材載置部と、
    　前記容器本体部が載置される容器載置部と、を備え、
    　前記制御方法は、
    　前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定工程と、
    　前記保護材の種類に対応して設定される動作モードの設定と前記装着判定工程の判定結果との整合性を判定する整合性判定工程と、
    　前記整合性判定工程において整合性が肯定されたとき、設定された前記動作モードで前記梱包動作を行うべく、前記装置を制御する制御工程と、を備える、
    ことを特徴とする制御方法。
  16. 　容器本体部に保護材と基板の積層体を形成した後、該容器本体部に容器カバーを被せる梱包動作を行う装置の制御方法であって、
    　前記装置は、
    　前記保護材の種類に対応して脱着され、該保護材が載置される保護材載置部材と、
    　前記保護材の種類に対応して脱着され、前記容器本体部が載置される容器載置部材と、
    　前記保護材の種類に対応して選択され、前記保護材を保持するアーム部材を含み、該保護材を搬送する搬送手段と、を備え、

    　前記制御方法は、
    　前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および装着されている前記アーム部材の種類を判定する装着判定工程と、
    　前記装着判定工程による前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および前記アーム部材の種類の整合性を判定する整合性判定工程と、
    　前記整合性判定工程において整合性が肯定されたとき、前記梱包動作を行うべく、前記装置を制御する制御工程と、を備える、
    ことを特徴とする制御方法。
  17. 　保護材と基板の積層体が収容される容器から容器カバーを取り外した後、前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作を行う装置の制御方法であって、
    　前記装置は、
    　前記保護材を搬送する搬送手段と、
    　前記保護材が積載される保護材載置部と、
    　前記容器の容器本体部が載置される容器載置部と、を備え、
    　前記制御方法は、
    　前記保護材の種類に対応して選択され、かつ、前記搬送手段、前記保護材載置部及び前記容器載置部を構成する各部品の脱着を判定する装着判定工程と、
    　前記保護材の種類に対応して設定される動作モードの設定と前記装着判定工程の判定結果との整合性を判定する整合性判定工程と、
    　前記整合性判定工程において整合性が肯定されたとき、設定された前記動作モードで前記解梱動作を行うべく、前記装置を制御する制御工程と、を備える、
    ことを特徴とする制御方法。
  18. 保護材と基板の積層体が収容される容器から容器カバーを取り外した後、前記保護材と前記基板を交互に取り出す解梱動作を行う装置の制御方法であって、
    　前記装置は、
    　前記保護材の種類に対応して脱着され、該保護材が載置される保護材載置部材と、
    　前記保護材の種類に対応して脱着され、前記容器の容器本体部が載置される容器載置部材と、
    　前記保護材の種類に対応して選択され、前記保護材を保持するアーム部材を含み、該保護材を搬送する搬送手段と、を備え、
    　前記制御方法は、
    　前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および装着されている前記アーム部材の種類を判定する装着判定工程と、
    　前記装着判定工程による前記保護材載置部材及び前記容器載置部材の脱着および前記アーム部材の種類の整合性を判定する整合性判定工程と、
    　前記整合性判定工程において整合性が肯定されたとき、前記解梱動作を行うべく、前記装置を制御する制御工程と、を備える、
    ことを特徴とする制御方法。
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