JP6486779B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6486779B2 JP6486779B2 JP2015126845A JP2015126845A JP6486779B2 JP 6486779 B2 JP6486779 B2 JP 6486779B2 JP 2015126845 A JP2015126845 A JP 2015126845A JP 2015126845 A JP2015126845 A JP 2015126845A JP 6486779 B2 JP6486779 B2 JP 6486779B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- protective sheet
- transport
- cassette
- stack carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 74
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 14
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 14
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 80
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Images
Description
本発明の実施形態に係る搬送装置を図面に基いて説明する。図1は、実施形態に係る搬送装置の構成例を示す平面図である。図2は、実施形態に係る搬送装置の構成例を示す斜視図である。図3Aは、図1に示す搬送装置の搬送手段の構成を示す断面図である。図3Bは、図3A中のIIIB部を拡大して示す断面図である。
本発明の実施形態の変形例に係る搬送装置を図面に基いて説明する。図9は、実施形態の変形例に係る搬送装置の搬送手段の構成を示す断面図である。なお、図9において、実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
10 コインスタックキャリア
11 上部開口部
12 円筒壁
13 切り欠き部
20 カセット
22 側壁
25 支持溝
26 開口部
30 コインスタックキャリア載置部
40 カセット載置部
50 保護シート収容ケース
60 搬送手段
82 吸着パッド(吸引保持部)
100 制御手段(判別手段)
W ウエーハ
P 保護シート
TB 搬送対象物
Claims (3)
- 上部開口部を有する円筒壁及び円筒壁に形成された切り欠き部とを有し、ウエーハと保護シートとを積層して収容するコインスタックキャリアを載置するコインスタックキャリア載置部と、ウエーハの両端部を支持する支持溝が形成された側壁と該支持溝に対してウエーハを水平に出し入れする開口部とを備えたカセットを載置するカセット載置部と、保護シートを収容する保護シート収容ケースと、該コインスタックキャリア載置部に載置されたコインスタックキャリアからウエーハ又は保護シートを保持して取り出し、ウエーハは該カセット載置部に載置されたカセットに挿入し、保護シートは保護シート収容ケースに搬送する搬送手段と、を備える搬送装置であって、
該搬送手段は、
搬送対象物に流体を噴出して負圧を発生させる吸引保持部と、
該吸引保持部から噴出した流体により発生する該搬送対象物の振動を検知し、保持した該搬送対象物がウエーハか保護シートかを判別する判別手段と、を備える、
ことを特徴とする搬送装置。 - 該判別手段は、該搬送対象物の振動によって発生する音の大きさから該搬送対象物を判別することを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 該吸引保持部には、吸引保持した該搬送対象物の種類に応じて予め設定した流量の流体が供給されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015126845A JP6486779B2 (ja) | 2015-06-24 | 2015-06-24 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015126845A JP6486779B2 (ja) | 2015-06-24 | 2015-06-24 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017011178A JP2017011178A (ja) | 2017-01-12 |
JP6486779B2 true JP6486779B2 (ja) | 2019-03-20 |
Family
ID=57763859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015126845A Active JP6486779B2 (ja) | 2015-06-24 | 2015-06-24 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6486779B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11948823B2 (en) | 2019-09-20 | 2024-04-02 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate treating apparatus |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7030005B2 (ja) * | 2018-04-12 | 2022-03-04 | 株式会社ディスコ | 処理装置 |
WO2020026645A1 (ja) | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 平田機工株式会社 | 搬送装置及び制御方法 |
WO2020116510A1 (ja) * | 2018-12-07 | 2020-06-11 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置及びその運転方法 |
JP7394534B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-12-08 | 株式会社東京精密 | ウエハ搬送装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4299111B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2009-07-22 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP2010182837A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Casio Computer Co Ltd | 半導体ウエハ処理方法 |
JP5576709B2 (ja) * | 2010-05-13 | 2014-08-20 | リンテック株式会社 | 支持装置および支持方法ならびに搬送装置および搬送方法 |
-
2015
- 2015-06-24 JP JP2015126845A patent/JP6486779B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11948823B2 (en) | 2019-09-20 | 2024-04-02 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate treating apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017011178A (ja) | 2017-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6486779B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP6031520B2 (ja) | 板ガラスのパッキング装置 | |
TWI676233B (zh) | 搬運裝置 | |
JP2006315866A5 (ja) | ||
JP7061012B2 (ja) | 加工装置 | |
KR20120028807A (ko) | 기판을 분리하고 이송하는 장치 및 방법 | |
JP2010254332A (ja) | ワーク挿入機構及びワーク挿入方法 | |
TW201601239A (zh) | 板狀物之搬送裝置及切削裝置 | |
JP2009170644A (ja) | 分離装置及び基板の検査装置 | |
JP5422345B2 (ja) | 加工装置 | |
JP4299104B2 (ja) | ウエーハ搬送機構 | |
JP2016154168A (ja) | 被加工物の受け渡し方法 | |
TWI584396B (zh) | 用於支撐半導體封裝體之托盤台架 | |
JP4299111B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2011035281A (ja) | ワーク収納機構および研削装置 | |
RU2677806C2 (ru) | Способ и устройство для открывания контейнера | |
JP2009166955A (ja) | 分離装置及び基板の検査装置 | |
JP2019193960A (ja) | 切削装置 | |
JP2013157395A (ja) | ウェーハカセット | |
JP7138002B2 (ja) | 搬送ユニット及び搬送方法 | |
JP7252819B2 (ja) | 剥離装置 | |
JP2013086232A (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
CN108602636B (zh) | 工件搬运装置 | |
JP4893481B2 (ja) | シリコンウェーハ搬送装置 | |
JP5307455B2 (ja) | 保持搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180418 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6486779 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |