JP2019064763A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】検査装置への表示パネルの搬入および検査装置からの表示パネルの搬出を行う搬送システムにおいて、検査装置に対して表示パネルを搬入搬出するための時間を短縮することが可能な搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システム１は、検査前の表示パネルが収容されるトレイが配置されるトレイ配置部６と、検査後の正常な表示パネルが収容されるトレイが配置されるトレイ配置部７と、検査後の異常な表示パネルが収容されるトレイが配置されるトレイ配置部８と、空のトレイが配置されるトレイ配置部９と、トレイを搬送するロボット１２とを備えている。ロボット１２は、トレイ配置部６の最上段のトレイが空になると、トレイ配置部６からトレイ配置部９にトレイを搬送し、トレイ配置部７、８の最上段のトレイに所定枚数の表示パネルが収容されると、トレイ配置部９からトレイ配置部７、８にトレイを搬送してトレイ配置部７、８の最上段のトレイに重ねる。【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送する搬送システムに関する。

従来、液晶パネルを点灯検査するための検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査装置は、液晶ディスプレイの製造システムの途中に組み込まれている。この検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構と、検査後の液晶パネルをプローバから搬出する搬出機構と、搬出機構によって搬出された液晶パネルを搬送する搬出側コンベヤとを備えている。

特開２００７−１０７９７３号公報

特許文献１に記載の検査装置が組み込まれる製造システムでは、製造システムのタクトタイムを短縮するために、検査装置に対して液晶パネルを搬入搬出するための時間は短い方が好ましい。

そこで、本発明の課題は、表示パネルを検査する検査装置への表示パネルの搬入および検査装置からの表示パネルの搬出を行う搬送システムにおいて、検査装置に対して表示パネルを搬入搬出するための時間を短縮することが可能な搬送システムを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の搬送システムは、表示パネルを検査する検査装置への表示パネルの搬入および検査装置からの表示パネルの搬出を行う搬送システムであって、検査前の表示パネルが収容されるトレイが複数段に積み重なった状態で配置可能な供給側トレイ配置部と、検査装置での検査で正常と判断された表示パネルが収容されるトレイが複数段に積み重なった状態で配置可能な第１排出側トレイ配置部と、検査装置での検査で異常と判断された表示パネルが収容されるトレイが複数段に積み重なった状態で配置可能な第２排出側トレイ配置部と、空のトレイが複数段に積み重なった状態で配置可能な空トレイ配置部と、表示パネルを搬送するパネル搬送ロボットと、トレイを搬送するトレイ搬送ロボットとを備え、パネル搬送ロボットは、供給側トレイ配置部の最上段に配置されるトレイの中の表示パネルを検査装置に搬送するとともに、検査装置から検査後の表示パネルを、第１排出側トレイ配置部の最上段に配置されるトレイの中または第２排出側トレイ配置部の最上段に配置されるトレイの中に搬送し、トレイ搬送ロボットは、供給側トレイ配置部の最上段のトレイが空になると、空になったトレイを供給側トレイ配置部から空トレイ配置部に搬送して配置し、第１排出側トレイ配置部の最上段のトレイに所定枚数の表示パネルが収容されると、空トレイ配置部から第１排出側トレイ配置部に空のトレイを搬送して第１排出側トレイ配置部の最上段のトレイの上に重ね、かつ、第２排出側トレイ配置部の最上段のトレイに所定枚数の表示パネルが収容されると、空トレイ配置部から第２排出側トレイ配置部に空のトレイを搬送して第２排出側トレイ配置部の最上段のトレイの上に重ねることを特徴とする。

本発明の搬送システムは、供給側トレイ配置部と、第１排出側トレイ配置部と、第２排出側トレイ配置部と、空トレイ配置部と、トレイを搬送するトレイ搬送ロボットとを備えている。また、本発明では、トレイ搬送ロボットは、供給側トレイ配置部の最上段のトレイが空になると、空になったトレイを供給側トレイ配置部から空トレイ配置部に搬送して配置し、第１排出側トレイ配置部の最上段のトレイに所定枚数の表示パネルが収容されると、空トレイ配置部から第１排出側トレイ配置部に空のトレイを搬送して第１排出側トレイ配置部の最上段のトレイの上に重ね、かつ、第２排出側トレイ配置部の最上段のトレイに所定枚数の表示パネルが収容されると、空トレイ配置部から第２排出側トレイ配置部に空のトレイを搬送して第２排出側トレイ配置部の最上段のトレイの上に重ねている。

そのため、本発明では、供給側トレイ配置部の最上段のトレイが空になったときに、空になったトレイを搬送システムの外部に取り出す必要をなくすこと、および、第１排出側トレイ配置部の最上段のトレイや第２排出側トレイ配置部の最上段のトレイに所定枚数の表示パネルが収容されたときに、空のトレイを搬送システムの外部から第１排出側トレイ配置部や第２排出側トレイ配置部に供給する必要をなくすことが可能になる。すなわち、本発明では、検査装置に対する表示パネルの搬入搬出が開始された後、空になったトレイを搬送システムの外部に取り出したり、空のトレイを搬送システムの外部から供給したりする時間を不要にすることが可能になる。また、本発明では、トレイ搬送ロボットによって、供給側トレイ配置部から空トレイ配置部に自動でトレイを搬送することが可能になるとともに、第１排出側トレイ配置部や第２排出側トレイ配置部に空トレイ配置部から自動でトレイを搬送することが可能になる。したがって、本発明では、検査装置に対して表示パネルを搬入搬出するための時間を短縮することが可能になる。

本発明において、供給側トレイ配置部と第１排出側トレイ配置部と第２排出側トレイ配置部と空トレイ配置部とが一列に配列されるとともに、空トレイ配置部と供給側トレイ配置部と第１排出側トレイ配置部と第２排出側トレイ配置部とがこの順番で並んでいることが好ましい。このように構成すると、供給側トレイ配置部と第１排出側トレイ配置部と第２排出側トレイ配置部と空トレイ配置部とがランダムに配置されている場合と比較して、トレイ搬送ロボットによるトレイの搬送時間を短縮することが可能になる。また、このように構成すると、たとえば、第１排出側トレイ配置部の後ろ側に、表示パネルの受け渡しを行う検査装置の受渡し部を配置することで、供給側トレイ配置部のトレイから検査装置の受渡し部までのパネル搬送ロボットによる表示パネルの搬送距離と、検査装置の受渡し部から第１排出側トレイ配置部までのパネル搬送ロボットによる表示パネルの搬送距離と、検査装置の受渡し部から第２排出側トレイ配置部までのパネル搬送ロボットによる表示パネルの搬送距離との総合的な表示パネルの搬送距離を短くすることが可能になる。したがって、検査装置に対する表示パネルの搬入搬出時間をより短縮することが可能になる。

本発明において、空トレイ配置部、供給側トレイ配置部、第１排出側トレイ配置部および第２排出側トレイ配置部の配列方向を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する方向を前後方向とすると、パネル搬送ロボットは、空トレイ配置部、供給側トレイ配置部、第１排出側トレイ配置部および第２排出側トレイ配置部よりも後ろ側に配置され、段積みされたトレイが供給側トレイ配置部に前側から供給され、段積みされたトレイが第１排出側トレイ配置部および第２排出側トレイ配置部から前側に取り出されることが好ましい。このように構成すると、供給側トレイ配置部の前側にパネル搬送ロボットが配置されていないため、供給側トレイ配置部へのトレイの供給作業が容易になる。また、このように構成すると、第１排出側トレイ配置部および第２排出側トレイ配置部の前側にパネル搬送ロボットが配置されていないため、第１排出側トレイ配置部からのトレイの取出作業および第２排出側トレイ配置部からのトレイの取出作業が容易になる。

本発明において、供給側トレイ配置部、第１排出側トレイ配置部、第２排出側トレイ配置部および空トレイ配置部は、トレイを昇降させるトレイ昇降機構を備えることが好ましい。このように構成すると、供給側トレイ配置部の最上段のトレイの上下方向の位置を一定に保つこと、第１排出側トレイ配置部の最上段のトレイの上下方向の位置を一定に保つこと、第２排出側トレイ配置部の最上段のトレイの上下方向の位置を一定に保つこと、および、空トレイ配置部の最上段のトレイの上下方向の位置を一定に保つことが可能になる。したがって、配置されるトレイの段数に応じて最上段のトレイの上下方向の位置が変動する場合と比較して、トレイ搬送ロボットの制御を簡素化することが可能になるとともに、パネル搬送ロボットの制御を簡素化することが可能になる。

本発明において、供給側トレイ配置部および空トレイ配置部は、最上段に配置されるトレイと上から２番目に配置されるトレイとを分離するために、最上段に配置されるトレイと上から２番目に配置されるトレイとの間に入り込む可動ピンを備えることが好ましい。このように構成すると、供給側トレイ配置部から空トレイ配置部にトレイを搬送する際に、空になっている最上段の１枚のトレイのみを確実に搬送することが可能になる。また、このように構成すると、空トレイ配置部から第１排出側トレイ配置部または第２排出側トレイ配置部にトレイを搬送する際に、最上段の１枚のトレイのみを確実に搬送することが可能になる。

本発明において、供給側トレイ配置部は、トレイを昇降させるトレイ昇降機構を備え、供給側トレイ配置部の可動ピンは、最上段に配置されるトレイを下側から支持できるように３箇所以上に配置され、トレイ昇降機構は、最上段に配置されるトレイと上から２番目に配置されるトレイとの間に可動ピンが入り込むと、段積みされたトレイを下降させて、最上段に配置されるトレイを可動ピンに支持させるとともに、最上段に配置されるトレイと上から２番目に配置されるトレイとの間に隙間を形成し、パネル搬送ロボットは、最上段に配置されるトレイと上から２番目に配置されるトレイとの間に隙間が形成された状態で、供給側トレイ配置部の最上段に配置されるトレイの中の表示パネルを保持することが好ましい。

供給側トレイ配置部の最上段に配置されるトレイの中の表示パネルをパネル搬送ロボットが保持する際に、表示パネルに上側から力が作用して最上段のトレイが下側へ変形するおそれがあるが、このように構成すると、最上段のトレイが下側へ変形しても、上から２番目に配置されるトレイの中の表示パネルと最上段のトレイとの接触を防止することが可能になる。したがって、上から２番目に配置されるトレイの中の表示パネルの損傷を防止することが可能になる。

本発明において、供給側トレイ配置部は、最上段に配置されるトレイと上から２番目に配置されるトレイとの間に可動ピンを入れ込むことが可能な位置で最上段のトレイを検知するための第１センサと、可動ピンに支持される最上段のトレイを検知するための第２センサとを備えることが好ましい。このように構成すると、第１センサを用いて、最上段に配置されるトレイと上から２番目に配置されるトレイとの間に可動ピンを入れ込むことが可能な位置で、段積みされたトレイを停止させることが可能になるとともに、第２センサを用いて、最上段のトレイが可動ピンに支持されていることを確認することが可能になる。

本発明において、供給側トレイ配置部、第１排出側トレイ配置部および第２排出側トレイ配置部は、水平方向でトレイを位置決めするための位置決め機構を備えることが好ましい。このように構成すると、供給側トレイ配置部の最上段のトレイに収容される表示パネルの所定の箇所をパネル搬送ロボットによって精度良く保持することが可能になるとともに、第１排出側トレイ配置部の最上段のトレイの所定の位置および第２排出側トレイ配置部の最上段のトレイの所定の位置にパネル搬送ロボットによって精度良く表示パネルを搬入することが可能になる。

本発明において、搬送システムは、検査前の複数枚の表示パネルが上下方向に間隔をあけた状態で上下方向で重なるように収容されるカセットが配置されるカセット配置部を備え、カセット配置部は、カセット配置部に配置されるカセットの中から検査装置へパネル搬送ロボットが表示パネルを搬送できる位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、供給側トレイ配置部のトレイに収容される表示パネルとカセットに収容される表示パネルとを共通のパネル搬送ロボットによって検査装置へ搬送することが可能になる。

以上のように、本発明では、表示パネルを検査する検査装置への表示パネルの搬入および検査装置からの表示パネルの搬出を行う搬送システムにおいて、検査装置に対して表示パネルを搬入搬出するための時間を短縮することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる搬送システムの斜視図である。 図１に示す搬送システムを上面から説明するための図である。 図１に示すパネル搬送ロボットの正面図である。 図１に示すトレイ搬送ロボットの側面図である。 図１に示す供給側トレイ配置部の斜視図である。 図５に示す供給側トレイ配置部の平面図である。 図５に示す供給側トレイ配置部の構成を正面から説明するための図である。 図５に示す供給側トレイ配置の構成を側面から説明するための図である。 図６に示す載置板、ベース部材、支持フレームおよびスライド機構等の構成を正面から説明するための図である。 図６に示すスライド機構の動きを説明するための図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、図５に示すピンシリンダの周辺部の正面図であり、（Ｃ）、（Ｄ）は、図５に示すセンサの周辺部の正面図である。 図５に示す供給側トレイ配置部において、最上段に配置されるトレイの分離動作を説明するための図である。 図１に示す空トレイ配置部の構成を正面から説明するための図である。 図１に示す空トレイ配置部の構成を側面から説明するための図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（搬送システムの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる搬送システム１の斜視図である。図２は、図１に示す搬送システム１を上面から説明するための図である。

本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される比較的小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。この搬送システム１は、表示パネルである液晶パネル２を搬送する。具体的には、搬送システム１は、液晶パネル２を検査する検査装置３への液晶パネル２の搬入および検査装置３からの液晶パネル２の搬出を行う。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。

本形態では、検査装置３で検査が行われる前の液晶パネル２は、検査される液晶パネル２のサイズに応じて、トレイ４またはカセット５に収容されている。具体的には、比較的大きな液晶パネル２はトレイ４に収容され、比較的小さな液晶パネル２はカセット５に収容されている。また、検査装置３で検査が行われた後の液晶パネル２は、トレイ４に収容される。トレイ４には、複数枚の液晶パネル２が上下方向で重ならない状態で収容されている。カセット５には、複数枚の液晶パネル２が上下方向に間隔をあけた状態で上下方向で重なるように収容されている。なお、トレイ４は、略長方形の平板状に形成されており、トレイ４の上面には液晶パネル２が収容される凹部が形成されている。また、トレイ４は、比較的剛性の低い樹脂で形成されている。また、図１では、トレイ４およびカセット５の図示を省略している。

搬送システム１は、検査前の液晶パネル２が収容されるトレイ４が複数段に積み重なった状態で配置可能なトレイ配置部６と、検査装置３での検査で正常と判断された液晶パネル２が収容されるトレイ４が複数段に積み重なった状態で配置可能なトレイ配置部７と、検査装置３での検査で異常と判断された液晶パネル２が収容されるトレイ４が複数段に積み重なった状態で配置可能なトレイ配置部８と、空のトレイ４が複数段に積み重なった状態で配置可能なトレイ配置部９とを備えている。

また、搬送システム１は、液晶パネル２を搬送するロボット１１と、トレイ４を搬送するロボット１２と、複数枚の液晶パネル２が収容されたカセット５が配置されるカセット配置部１３とを備えている。本形態のトレイ配置部６は供給側トレイ配置部であり、トレイ配置部７は第１排出側トレイ配置部であり、トレイ配置部８は第２排出側トレイ配置部であり、トレイ配置部９は空トレイ配置部である。また、本形態のロボット１１はパネル搬送ロボットであり、ロボット１２は、トレイ搬送ロボットである。

トレイ配置部６とトレイ配置部７とトレイ配置部８とトレイ配置部９とは、一列に配列されている。トレイ配置部６〜９は、架台１４の上に設置されている。また、架台１４の上には、搬送システム１の本体フレーム（図示省略）が固定されている。以下の説明では、トレイ配置部６〜９の配列方向（図１等のＸ方向）を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する図１等のＹ方向を前後方向とする。また、左右方向のうちの図１等のＸ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「左」側とし、前後方向のうちの図１等のＹ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「後ろ」側とする。

本形態の検査装置３は、液晶パネル２を点灯検査する点灯検査装置である。検査装置３は、たとえば、液晶パネル２が載置されるパネル載置部１５を２箇所に有するパネル保持部と、上下方向を回転の軸方向としてパネル保持部を回転させる回転機構と、液晶パネル２の点灯検査時に内部が暗室となる筐体とを備えている。筐体の内部には、液晶パネル２の点灯検査を行うためのバックライトやカメラが設置されている。回転機構は、２個のパネル載置部１５のうちの一方のパネル載置部１５が筐体の外部に配置されるとともに他方のパネル載置部１５が筐体の内部に配置される位置と、一方のパネル載置部１５が筐体の内部に配置されるとともに他方のパネル載置部１５が筐体の外部に配置される位置との間でパネル保持部を回転させる。

上述のように、トレイ配置部６とトレイ配置部７とトレイ配置部８とトレイ配置部９とは、左右方向に一列に配列されている。本形態では、トレイ配置部９とトレイ配置部６とトレイ配置部７とトレイ配置部８とがこの順番で並んでいる。具体的には、トレイ配置部９とトレイ配置部６とトレイ配置部７とトレイ配置部８とが左側から右側に向かってこの順番で並んでいる。ロボット１２は、トレイ配置部６〜９の上側に配置されている。ロボット１１は、トレイ配置部６〜９よりも後ろ側に配置されている。また、ロボット１１は、トレイ配置部７の後ろ側に配置されている。

検査装置３は、ロボット１１よりも後ろ側に配置されている。また、検査装置３は、トレイ配置部６〜８の後ろ側に配置されている。検査装置３のパネル載置部１５は、ロボット１１の後ろ側に配置されている。カセット配置部１３は、トレイ配置部６の後ろ側に配置されている。また、カセット配置部１３は、検査装置３の前側に配置されるとともにロボット１１の左側に配置されている。カセット配置部１３は、カセット配置部１３に配置されるカセット５の中から検査装置３のパネル載置部１５へロボット１１が液晶パネル２を搬送できる位置に配置されている。

（ロボットおよびカセット配置部の構成）
図３は、図１に示すロボット１１の正面図である。図４は、図１に示すロボット１２の側面図である。

ロボット１１は、６軸の垂直多関節ロボットである。ロボット１１は、ロボット１１の下端部を構成する支持部材１９と、支持部材１９に相対回動可能に連結される関節部２０と、関節部２０に相対回動可能に連結される関節部２１と、関節部２１に基端が固定される直線状のアーム２２と、アーム２２の先端に固定される関節部２３と、関節部２３に相対回動可能に連結される関節部２４と、関節部２４に基端が相対回動可能に連結される直線状のアーム２５と、アーム２５の先端が固定される関節部２６と、関節部２６に相対可動可能に連結される関節部２７と、関節部２７に回動可能に連結されるとともに液晶パネル２を保持するパネル保持機構２８とを備えている。

関節部２０、２１、２３、２４、２６、２７は、モータとモータの動力を減速して伝達する減速機とを備えている。関節部２０は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能になるように支持部材１９に連結されている。関節部２１は、水平方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように関節部２０に連結されている。関節部２４は、水平方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように関節部２３に連結されている。関節部２７は、水平方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように関節部２６に連結されている。

関節部２０に対する関節部２１の回動の軸方向および関節部２３に対する関節部２４の回動の軸方向と、アーム２２の長手方向とは直交している。関節部２３に対する関節部２４の回動の軸方向および関節部２６に対する関節部２７の回動の軸方向と、アーム２５の長手方向とは直交している。また、関節部２３に対する関節部２４の回動の軸方向と、関節部２４に対するアーム２５の回動の軸方向とは直交している。関節部２６に対する関節部２７の回動の軸方向と、関節部２７に対するパネル保持機構２８の回動の軸方向とは直交している。

パネル保持機構２８は、液晶パネル２を吸引して保持するパネル保持部２８ａを備えている。パネル保持部２８ａは、１枚の液晶パネル２を保持する。パネル保持部２８ａには、複数の吸引穴が形成されている。複数の吸引穴には、所定の配管を介して真空ポンプ等の空気の吸引機構が接続されている。なお、図１、図２では、パネル保持部２８ａの図示を省略している。

ロボット１２は、いわゆる２軸直交ロボットである。ロボット１２は、架台１４に固定される固定フレーム３１と、固定フレーム３１に対して左右方向へのスライドが可能となるように固定フレーム３１に保持される可動フレーム３２と、可動フレーム３２に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム３２に保持される可動フレーム３３と、可動フレーム３３に取り付けられるトレイ保持部３４とを備えている。また、ロボット１２は、可動フレーム３２を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム３２を左右方向へ案内するガイド機構と、可動フレーム３３を上下方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム３３を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。

固定フレーム３１は、トレイ配置部６〜９の前端部の上側に配置されている。可動フレーム３２は、固定フレーム３１の上面側に取り付けられている。また、可動フレーム３２は、固定フレーム３１から後ろ側に向かって伸びている。可動フレーム３３は、可動フレーム３２の後端に取り付けられている。トレイ保持部３４は、可動フレーム３３の下端に取り付けられている。トレイ保持部３４は、図４に示すように、トレイ４を吸引して保持する複数の吸引部３５を備えている。吸引部３５には、所定の配管を介して真空ポンプ等の空気の吸引機構が接続されている。吸引部３５は、トレイ４の上面に接触してトレイ４を真空吸引する。

カセット配置部１３は、カセット５を保持するカセット保持部３６を備えている。カセット保持部３６は、前後方向を回動の軸方向としてかつカセット保持部３６の下端部を回動中心にして回動可能となっている。カセット保持部３６には、作業員が手作業でカセット５をセットする。本形態では、上側に向かうにしたがって左側に向かうように傾斜している状態のカセット保持部３６に、斜め左上側からカセット５をセットした後、カセット５に収容される液晶パネル２の厚さ方向と上下方向とが略一致する位置までカセット保持部３６を回動させてから、カセット保持部３６を固定する。

（トレイ配置部の概略構成）
図５は、図１に示すトレイ配置部６の斜視図である。図６は、図５に示すトレイ配置部６の平面図である。図７は、図５に示すトレイ配置部６の構成を正面から説明するための図である。図８は、図５に示すトレイ配置部６の構成を側面から説明するための図である。

トレイ配置部６には、トレイ４が複数段に積み重なった状態（段積み状態）で配置されている。トレイ配置部６は、トレイ配置部６の左右の側面を構成する２枚の側板３８と、トレイ配置部６の後面を構成する後側板３９とを備えており、トレイ配置部６の上面および前面は開口している。トレイ配置部６は、トレイ配置部６に配置されるトレイ４のうちの一番下に配置されるトレイ４が載置される載置板４０を備えている。すなわち、トレイ配置部６は、段積み状態のトレイ４のうちの一番下に配置されるトレイ４が載置される載置板４０を備えている。また、トレイ配置部６は、載置板４０が載置されるベース部材４１と、ベース部材４１がスライド可能に取り付けられる支持フレーム４２とを備えている。

さらに、トレイ配置部６は、支持フレーム４２に対してベース部材４１をスライドさせるスライド機構４３を備えている。スライド機構４３は、支持フレーム４２に対してベース部材４１を前後方向へスライドさせる。また、トレイ配置部６は、支持フレーム４２に対するベース部材４１のスライド方向の一端側（具体的には、スライド方向の後端側）でベース部材４１をロックするためのロック機構４４と、支持フレーム４２に対するベース部材４１のスライド方向の他端側（具体的には、スライド方向の前端側）でベース部材４１をロックするためのロック機構４５とを備えている（図６参照）。

また、トレイ配置部６は、支持フレーム４２を昇降させる昇降機構４６を備えている。すなわち、トレイ配置部６は、ベース部材４１、載置板４０およびトレイ４を昇降させる昇降機構４６を備えている。本形態の昇降機構４６は、トレイ昇降機構である。さらに、トレイ配置部６は、水平方向でトレイ４を位置決めするためのシリンダ４７を備えている。すなわち、トレイ配置部６は、載置板４０に載置されるトレイ４を前後方向および左右方向で位置決めするためのシリンダ４７を備えている。また、トレイ配置部６は、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４とを分離するためのピンシリンダ５０を備えている。本形態のトレイ配置部６は、４個のピンシリンダ５０を備えている。

また、トレイ配置部６は、最上段に配置されるトレイ４を検知するセンサ５１〜５３を備えている。センサ５１は、最上段のトレイ４の上限位置を検知するためのセンサである。センサ５２は、後述のようにピンシリンダ５０の可動ピン８９に支持される最上段のトレイ４を検知するためのセンサである。センサ５３は、昇降機構４６によって上昇する段積み状態のトレイ４のうちの最上段のトレイ４を上限位置で停止させるためのセンサである。本形態のセンサ５１は第１センサであり、センサ５２は第２センサである。

以下、トレイ配置部６の具体的な構成について説明する。なお、本形態では、トレイ配置部７とトレイ配置部８とは、全く同様に構成されている。また、トレイ配置部７、８は、トレイ配置部７、８がピンシリンダ５０およびセンサ５２、５３を備えていない点を除いて、トレイ配置部６と同様に構成されている。そのため、トレイ配置部７、８の具体的な構成の説明は省略する。

また、トレイ配置部９は、トレイ配置部９が載置板４０、ベース部材４１、スライド機構４３およびロック機構４４、４５を備えていない点、トレイ配置部９がシリンダ４７およびセンサ５２、５３を備えていない点、および、トレイ配置部９が備えるピンシリンダ５０の数が２個である点を除いて、トレイ配置部６とほぼ同様に構成されている。以下では、トレイ配置部９の具体的な構成について、トレイ配置部６との相違点を中心にして説明する。

（トレイ配置部の具体的な構成）
図９は、図６に示す載置板４０、ベース部材４１、支持フレーム４２およびスライド機構４３等の構成を正面から説明するための図である。図１０は、図６に示すスライド機構４３の動きを説明するための図である。図１１（Ａ）、（Ｂ）は、図５に示すピンシリンダ５０の周辺部の正面図であり、図１１（Ｃ）、（Ｄ）は、図５に示すセンサ５１〜５３の周辺部の正面図である。図１２は、図５に示すトレイ配置部６において、最上段に配置されるトレイ４の分離動作を説明するための図である。図１３は、図１に示すトレイ配置部９の構成を正面から説明するための図である。図１４は、図１に示すトレイ配置部９の構成を側面から説明するための図である。

載置板４０は、略長方形の平板状に形成されている。載置板４０は、載置板４０の厚さ方向と上下方向とが一致するように、かつ、略長方形状に形成される載置板４０の長辺の方向と前後方向とが一致するようにベース部材４１に着脱可能に載置されている。また、載置板４０は、左側に配置される側板３８よりも右側に配置されるとともに、右側に配置される側板３８よりも左側に配置されている。載置板４０は、樹脂で形成されている。載置板４０の剛性は、トレイ４の剛性よりも高くなっている。たとえば、載置板４０は、ナイロンで形成されている。

載置板４０には、上下方向で載置板４０を貫通する２個の貫通穴４０ａが前後方向に間隔をあけた状態で形成されている。２個の貫通穴４０ａは、略長方形状に形成されている。載置板４０の後端側の２箇所の角部には、水平方向（前後方向および左右方向）でトレイ４を位置決めするためのピン５６が固定されている。ピン５６は、載置板４０の上面から上側に突出している。また、載置板４０の下面には、ベース部材４１に対して載置板４０の位置決めをするための複数のピン５５が固定されている（図６参照）。本形態では、載置板４０の中心と、載置板４０の前端部の左右の両端側の２箇所と、載置板４０の後端部の左右の両端側の２箇所とにピン５５が固定されている。すなわち、載置板４０の下面には、５本のピン５５が固定されている。ピン５５は、載置板４０の下面から下側へ突出している。

トレイ４は、上述のように、略長方形の平板状に形成されている。トレイ４は、トレイ４の長辺の方向と前後方向とが一致するように載置板４０に載置されている。トレイ４の外形と載置板４０の外形とはほぼ等しくなっている。トレイ４の下端部には、トレイ４の外周側に広がる鍔部４ａが形成されている（図１２参照）。鍔部４ａは、略長方形の枠状に形成されている。載置板４０に載置されるトレイ４の後端側の２箇所の角部（すなわち、鍔部４ａの後端側の２箇所の角部）は、後ろ側に向かうにしたがって左右方向の内側へ向かうように傾斜する傾斜面４ｂとなっている（図６参照）。

ベース部材４１は、左側に配置される側板３８よりも右側に配置されるとともに、右側に配置される側板３８よりも左側に配置されている。ベース部材４１は、載置板４０が着脱可能に載置されるベース板５７と、スライド機構４３を構成する後述の第３レール６９が固定される２枚のレール固定板５８とを備えている。ベース板５７は、略長方形の平板状に形成されており、ベース板５７の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。ベース板５７の前後方向の長さは、載置板４０の前後方向の長さとほぼ等しくなっている。ベース板５７の左右方向の幅は、載置板４０の左右方向の幅よりも狭くなっている。

ベース板５７には、上下方向でベース板５７を貫通する略長方形状の２個の貫通穴５７ａが前後方向に間隔をあけた状態で形成されている（図６参照）。また、ベース板５７には、載置板４０の中心に固定されるピン５５が挿入される挿入穴と、載置板４０の後端部の左右の両端側の２箇所に固定されるピン５５が挿入される挿入穴とが形成されている。本形態では、作業者が手作業で、支持フレーム４２に対してベース部材４１をスライドさせる。ベース板５７の下面の前端側には、支持フレーム４２に対してベース部材４１をスライドさせる際に作業者が握る取手５９が固定されている。なお、載置板４０の前端部の左右の両端側の２箇所に固定されるピン５５は、ベース板５７の左右の端面に接触している。

ベース板５７の下面の後端側には、支持フレーム４２に対してベース部材４１をロックするためのロック板６０が固定されている。ロック板６０は、平板状に形成されており、ロック板６０の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。ロック板６０は、ベース板５７の右端側に固定されている。図８に示すように、ロック板６０の下面の前側部分は、前側に向かうにしたがって上側に向かうように傾斜する傾斜面６０ａとなっており、ロック板６０の下面の後ろ側部分は、後ろ側に向かうにしたがって上側に向かうように傾斜する傾斜面６０ｂとなっている。なお、傾斜面６０ａと傾斜面６０ｂの間には、上下方向に直交するわずかな平面が形成されている（図８参照）。

レール固定板５８は、前後方向に細長い長方形の平板状に形成されている。レール固定板５８は、レール固定板５８の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。レール固定板５８は、ベース板５７の下面に固定されている。また、２枚のレール固定板５８のそれぞれは、左右方向におけるベース板５７の両端側のそれぞれに固定されている。レール固定板５８の前後方向の長さは、ベース板５７の前後方向の長さよりも長くなっている。レール固定板５８の前端は、ベース板５７の前端よりも前側に配置され、レール固定板５８の後端は、ベース板５７の後端よりも後ろ側に配置されている。

支持フレーム４２は、左側に配置される側板３８よりも右側に配置されるとともに、右側に配置される側板３８よりも左側に配置されている。支持フレーム４２は、スライド機構４３を構成する後述の第１レール６７が固定される２枚のレール固定板６１と、レール固定板６１が固定される支持板６２と、支持板６２に固定されるベース板６３と、２枚の補強板６４とを備えている。支持板６２は、略長方形の平板状に形成されている。支持板６２は、支持板６２の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。

支持板６２の前後方向の長さは、ベース板５７の前後方向の長さよりも長くなっている。支持板６２の左右方向の幅は、２枚のレール固定板５８の左右方向の間隔よりも狭くなっている。支持板６２には、支持板６２の前端から後ろ側に向かって切り欠かれた切欠き部６２ａが形成されている。また、支持板６２には、上下方向で支持板６２を貫通する略長方形状の１個の貫通穴６２ｂが形成されている（図６参照）。貫通穴６２ｂは、切欠き部６２ａの後ろ側に配置されている。

レール固定板６１は、前後方向に細長い長方形の平板状に形成されている。レール固定板６１は、レール固定板６１の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。レール固定板６１は、支持板６２の上面に固定されている。また、２枚のレール固定板６１のそれぞれは、左右方向における支持板６２の両端側のそれぞれに固定されている。２枚のレール固定板６１は、２枚のレール固定板５８の左右方向の内側に配置されている。レール固定板６１の前後方向の長さは、支持板６２の前後方向の長さよりも長くなっている。レール固定板６１の前端は、前後方向において支持板６２の前端と同じ位置に配置され、レール固定板６１の後端は、支持板６２の後端よりも後ろ側に配置されている。

ベース板６３は、長方形の平板状に形成されており、ベース板６３の厚さ方向と前後方向とが一致するように配置されている。ベース板６３は、支持板６２の下面の後端部に固定されている。補強板６４は、支持板６２とベース板６３との固定強度を確保するための補強リブである。補強板６４は、略等脚台形の平板状に形成されており、補強板６４の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。補強板６４の後端面は、ベース板６３の前面に固定され、補強板６４の上端面は、支持板６２の下面に固定されている。なお、図８では、２枚の補強板６４の図示を省略している。

スライド機構４３は、いわゆるダブルスライドレールであり、図９、図１０に示すように、レール固定板６１に固定される第１レール６７と、前後方向へのスライドが可能になるように第１レール６７に保持される第２レール６８と、前後方向へのスライドが可能になるように第２レール６８に保持されるとともにレール固定板５８に固定される第３レール６９とを備えている。第１レール６７と第２レール６８との間、および、第２レール６８と第３レール６９との間には、ボールベアリングが配置されている。なお、スライド機構４３は、シングルスライドレールであっても良い。

第２レール６８の長さ（前後方向の長さ）は、第３レール６９の長さよりも若干長くなっている。第１レール６７の長さは、第２レール６８の長さの約２倍程度となっている。第１レール６７は、右側に配置されるレール固定板６１の右側面に固定されるとともに、左側に配置されるレール固定板６１の左側面に固定されている。第３レール６９は、右側に配置されるレール固定板５８の左側面に固定されるとともに、左側に配置されるレール固定板５８の右側面に固定されている。また、第３レール６９は、レール固定板５８の後端部に固定されている。

ロック機構４４は、図６に示すように、ベース部材４１の後ろ側への移動を規制するストッパ７０と、ロック板６０に接触するローラ７１と、一端側でローラ７１を回転可能に保持するレバー部材７２と、レバー部材７２の他端側を回動可能に保持する保持部材７３とを備えている。ストッパ７０は、厚い円板状に形成されており、ストッパ７０の厚さ方向と前後方向とが一致するように配置されている。ストッパ７０は、たとえば、ゴムで形成されている。ストッパ７０は、固定部材７４に固定されている。固定部材７４は、支持板６２の後端の左端側に固定されている。ストッパ７０は、支持板６２の上側かつベース板５７の下側に配置されている。また、ストッパ７０は、左側に配置されるレール固定板６１のすぐ右側に配置されている。ベース板５７の下面の後端部の左端側には、ストッパ７０の前端面に接触する平板状の当接板７５が固定されている（図９参照）。

保持部材７３は、支持板６２の上面の後端側かつ右端側に固定されている。レバー部材７２の前端部は、左右方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように保持部材７３に保持されている。ローラ７１は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能となるようにレバー部材７２の後端部に保持されている。レバー部材７２は、レバー部材７２の回動中心よりも後ろ側に配置される圧縮コイルバネ７６（図６参照）によって上側に付勢されている。すなわち、レバー部材７２は、圧縮コイルバネ７６の付勢力で図８の反時計回りの方向（反時計方向）に付勢されている。

ロック機構４５は、ロック機構４４と同様に、ストッパ７０とローラ７１とレバー部材７２と保持部材７３とを備えている。ロック機構４５では、ストッパ７０は、ベース部材４１の前側への移動を規制する。また、ストッパ７０は、固定部材７７に固定されており、固定部材７７は、支持板６２の上面の前端側かつ左端側に固定されている。ロック機構４５では、ストッパ７０の後端面に当接板７５の前面が接触する。

また、ロック機構４５では、保持部材７３は、支持板６２の上面の前端側かつ右端側に固定されている。レバー部材７２の後端部は、左右方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように保持部材７３に保持され、ローラ７１は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能となるようにレバー部材７２の前端部に保持されている。レバー部材７２は、レバー部材７２の回動中心よりも前側に配置される圧縮コイルバネ７６によって上側に付勢されている。すなわち、レバー部材７２は、圧縮コイルバネ７６の付勢力で図８の時計回りの方向（時計方向）に付勢されている。

ベース部材４１は、載置板４０に載置されるトレイ４の前端および載置板４０の前端が側板３８の前端よりも後ろ側に配置されてベース部材４１がロック機構４４によってロックされる後退限位置（図５、図６、図８の実線で示す位置）と、載置板４０に載置されるトレイ４の後端および載置板４０の後端が側板３８の前端よりも前側に配置されてベース部材４１がロック機構４５によってロックされる前進限位置（図８の二点鎖線で示す位置）との間で前後方向にスライド可能となっている。ロボット１１による液晶パネル２の搬送は、ベース部材４１が後退限位置にあるときに行われる。また、ベース部材４１が前進限位置にあるときに、検査前の液晶パネル２が収容された段積み状態のトレイ４であって、かつ、載置板４０に載置された状態のトレイ４がベース板５７に載置される。

ベース部材４１が後退限位置に配置されているときには、ロック機構４４のストッパ７０の前端面と当接板７５の後面とが軽く接触しているか、あるいは、わずかな隙間を介して対向している。また、ベース部材４１が後退限位置に配置されているときには、ロック板６０の傾斜面６０ａとロック機構４４のローラ７１とが接触している。そのため、ベース部材４１の前後方向への移動が規制される。ベース部材４１が前進限位置に配置されているときには、ロック機構４５のストッパ７０の後端面と当接板７５の前面とが軽く接触しているか、あるいは、わずかな隙間を介して対向している。また、ベース部材４１が前進限位置に配置されているときには、ロック板６０の傾斜面６０ｂとロック機構４５のローラ７１とが接触している。そのため、ベース部材４１の前後方向への移動が規制される。

ベース部材４１が後退限位置に向かって後ろ側に移動するときには、ロック板６０の傾斜面６０ｂがロック機構４４のローラ７１に接触する。その後、ベース部材４１がさらに後ろ側へ移動すると、圧縮コイルバネ７６の付勢力に抗してレバー部材７２が図８の時計方向に回動してロック板６０の後端部がローラ７１を乗り越える。ロック板６０の後端部がローラ７１を乗り越えると、圧縮コイルバネ７６の付勢力でレバー部材７２が図８の反時計方向に回動してロック板６０の傾斜面６０ａとローラ７１とが接触する。

同様に、ベース部材４１が前進限位置に向かって前側に移動するときには、ロック板６０の傾斜面６０ａがロック機構４５のローラ７１に接触する。その後、ベース部材４１がさらに前側へ移動すると、圧縮コイルバネ７６の付勢力に抗してレバー部材７２が図８の反時計方向に回動してロック板６０の前端部がローラ７１を乗り越える。ロック板６０の前端部がローラ７１を乗り越えると、圧縮コイルバネ７６の付勢力でレバー部材７２が図８の時計方向に回動してロック板６０の傾斜面６０ｂとローラ７１とが接触する。

なお、トレイ配置部６は、ベース部材４１が後退限位置にあることを検知するためのセンサ７９を備えている（図６参照）。センサ７９は、近接センサであり、固定部材を介して支持板６２の上面の後端部の右端側に固定されている。ベース板５７の後端部には、センサ７９に検知されるボルト８０が固定されている（図６参照）。また、トレイ配置部６は、ベース部材４１が後退限位置にあるときに、載置板４０に載置されるトレイ４の左右の両端部のすぐ後ろ側に配置される２枚の後側板８１を備えている。後側板８１は、側板３８に固定されている。

また、トレイ配置部６は、前進限位置に向かって移動するベース部材４１を下側から支持するローラ８２を備えている。ローラ８２は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能となるように固定部材８３に保持されている。固定部材８３は、架台１４の上に設置される本体フレームに固定されている。ローラ８２は、左右の両端側のそれぞれに配置されている。また、ローラ８２は、前後方向においてロック機構４５の保持部材７３とほぼ同じ位置に配置されている。ローラ８２は、レール固定板５８の下面に接触して、レール固定板５８を下側から支持する。

昇降機構４６は、図７に示すように、モータ８４と、モータ８４の出力軸にカップリング８５を介して接続されるネジ部材と、このネジ部材に係合するとともにベース板６３の後面に固定されるナット部材と、支持フレーム４２を上下方向に案内するガイド機構８６とを備えている。モータ８４は、たとえば、ＡＣインダクションモータであり、モータ８４の速度調整が可能となっている。モータ８４は、平板状に形成される支持板８７に固定されている。支持板８７は、架台１４に固定されている。また、支持板８７には、後側板３９が固定されている。ネジ部材は、支持板８７に回転可能に保持されている。ガイド機構８６は、たとえば、支持板８７に固定されるガイドレールと、このガイドレールに係合するとともにベース板６３に固定されるガイドブロックとを備えている。なお、モータ８４は、サーボモータであっても良い。

ピンシリンダ５０は、エアシリンダである。ピンシリンダ５０は、圧縮空気を駆動源として移動する可動ピン８９と、可動ピン８９を移動可能に保持するシリンダ本体とを備えている（図１１（Ａ）、（Ｂ）参照）。上述のように、トレイ配置部６は、４個のピンシリンダ５０を備えている。４個のピンシリンダ５０のうちの２個のピンシリンダ５０のシリンダ本体は、左側に配置される側板３８に所定の部材を介して固定され、残りの２個のピンシリンダ５０のシリンダ本体は、右側に配置される側板３８に所定の部材を介して固定されている。

左側の側板３８に固定される２個のピンシリンダ５０のうちの一方のピンシリンダ５０のシリンダ本体は、側板３８の前端部に固定され、他方のピンシリンダ５０のシリンダ本体は、側板３８の後端部に固定されている。右側の側板３８に固定される２個のピンシリンダ５０のうちの一方のピンシリンダ５０のシリンダ本体は、側板３８の前端部に固定され、他方のピンシリンダ５０のシリンダ本体は、側板３８の後端部に固定されている。左側の側板３８の前端部に固定されるピンシリンダ５０と右側の側板３８の前端部に固定されるピンシリンダ５０とは前後方向において同じ位置に配置され、左側の側板３８の後端部に固定されるピンシリンダ５０と右側の側板３８の後端部に固定されるピンシリンダ５０とは前後方向において同じ位置に配置されている。

ピンシリンダ５０は、可動ピン８９の移動方向と左右方向とが一致するように配置されている。また、左側の側板３８に固定される２個のピンシリンダ５０は、右側に向かって可動ピン８９が突出するように配置され、右側の側板３８に固定される２個のピンシリンダ５０は、左側に向かって可動ピン８９が突出するように配置されている。４本の可動ピン８９は、側板３８の上端面よりも上側に配置されている。

可動ピン８９は、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４とを分離するために、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に入り込む（図１２（Ｂ）、（Ｃ）参照）。具体的には、可動ピン８９は、最上段に配置されるトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に入り込む。また、本形態では、４本の可動ピン８９によって、最上段に配置されるトレイ４を下側から支持することが可能になっている。すなわち、可動ピン８９は、最上段に配置されるトレイ４を下側から支持できるように４箇所に配置されている。

センサ５１〜５３は、透過型の光学式センサであり、発光部９１と受光部９２とを備えている。センサ５２は、センサ５３よりも上側に配置され、センサ５１は、センサ５２よりも上側に配置されている。また、たとえば、センサ５２は、センサ５１よりも前側に配置され、センサ５３は、センサ５１よりも後ろ側に配置されている。センサ５１〜５３の発光部９１は、たとえば、左側に配置される側板３８に所定の部材を介して固定され、センサ５１〜５３の受光部９２は、右側に配置される側板３８に所定の部材を介して固定されている。発光部９１と受光部９２とは、左右方向で対向するように配置されている。また、発光部９１および受光部９２は、側板３８の上端面よりも上側に配置されている。なお、センサ５１〜５３は、反射型の光学式センサであっても良い。

上述のように、センサ５１は、最上段のトレイ４の上限位置を検知するためのセンサであり、センサ５３は、昇降機構４６によって上昇する段積み状態のトレイ４の最上段のトレイ４を上限位置で停止させるためのセンサである。本形態では、昇降機構４６によって上昇する段積み状態のトレイ４のうちの最上段のトレイ４がセンサ５３で検知されると、モータ８４が減速し、最上段のトレイ４がセンサ５１で検知されると、モータ８４が停止する。

最上段のトレイ４が上限位置で停止しているときには、図１２（Ａ）に示すように、可動ピン８９は、最上段のトレイ４の鍔部４ａよりも下側であって、かつ、上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａよりも上側に配置されており、最上段のトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に可動ピン８９を入れ込むことが可能になっている。すなわち、本形態のセンサ５１は、最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に可動ピン８９を入れ込むことが可能な位置で最上段のトレイ４を検知するためのセンサでもある。

また、本形態では、最上段のトレイ４が上限位置で停止すると、ピンシリンダ５０が動作して可動ピン８９が突出し、図１２（Ｂ）に示すように、最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に可動ピン８９が入り込む。最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に可動ピン８９が入り込むと、昇降機構４６は、図１２（Ｃ）に示すように、段積みされたトレイ４（段積み状態のトレイ４）を下降させて、可動ピン８９に最上段のトレイ４を支持させるとともに、最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に隙間を形成する。

最上段のトレイ４が可動ピン８９に支持されるときには、最上段のトレイ４もわずかに下降する。わずかに下降した最上段のトレイ４は、センサ５１の検知範囲から外れる。一方、センサ５２は、わずかに下降した最上段のトレイ４を検知することが可能な位置に配置されており、可動ピン８９に支持されるときにわずかに下降した最上段のトレイ４は、センサ５２によって検知される。すなわち、センサ５２は、可動ピン８９に支持される最上段のトレイ４を検知するためのセンサである。

シリンダ４７は、ガイド付きのエアシリンダである。シリンダ４７は、ベース部材４１が後退限位置にあるときのトレイ４の前端よりも前側に配置されている。また、シリンダ４７は、ベース部材４１が後退限位置にあるときに、上限位置に配置される最上段のトレイ４の前側に配置されている。シリンダ４７は、所定の部材を介してトレイ配置部６の本体フレームに固定されている。また、シリンダ４７は、シリンダ４７のロッドが後ろ側へ突出するように配置されている。シリンダ４７のロッドの先端（後端）には、上限位置に配置される最上段のトレイ４の前端面に接触してトレイ４を後ろ側へ押す押付部材９３が固定されている。

本形態では、ベース部材４１が後退限位置にあるときであって、最上段のトレイ４が上限位置に配置されているときに、シリンダ４７が動作して押付部材９３によって最上段のトレイ４が後ろ側へ押されると、載置板４０に固定されたピン５６に、下側に配置される何枚かのトレイ４の傾斜面４ｂが接触して、水平方向（前後方向および左右方向）において、段積み状態のトレイ４が位置決めされる。本形態では、シリンダ４７と押付部材９３とピン５６とによって、トレイ４を水平方向で位置決めするための位置決め機構９４が構成されている。

トレイ配置部９は、上述のように、載置板４０、ベース部材４１、スライド機構４３およびロック機構４４、４５を備えていない。図１３、図１４に示すように、トレイ配置部９の支持フレーム４２は、トレイ配置部９に配置されるトレイ４のうちの一番下に配置されるトレイ４が載置される載置板９５と、載置板９５が固定される２枚の固定板９６およびベース板９７と、２枚の補強板９８とを備えている。載置板９５は、載置板４０と同様に形成されている。載置板９５の後端側の２箇所の角部には、水平方向でトレイ４を位置決めするためのピン５６が固定されている。固定板９６は、前後方向に細長い長方形の平板状に形成されており、固定板９６の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。２枚の固定板９６は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。固定板９６の上端面には、載置板９５の下面が固定されている。

ベース板９７は、長方形の平板状に形成されており、ベース板９７の厚さ方向と前後方向とが一致するように配置されている。ベース板９７の前面には、固定板９６の後端面が固定され、ベース板９７の上端面には、載置板９５の後端部の下面が固定されている。また、ベース板９７の後面には、昇降機構４６の一部を構成するナット部材と、ガイド機構８６の一部を構成するガイドブロックとが固定されている。補強板９８は、載置板９５とベース板９７との固定強度を確保するための補強リブである。補強板９８は、上下方向に細長い長方形の平板状に形成されており、補強板９８の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。補強板９８の後端面は、ベース板９７の前面に固定され、補強板９８の上端面は、載置板９５の下面に固定されている。

また、上述のように、トレイ配置部９は、２個のピンシリンダ５０を備えている。トレイ配置部９では、２個のピンシリンダ５０のうちの１個のピンシリンダ５０は、左側に配置される側板３８の前端部に所定の部材を介して固定され、残りの１個のピンシリンダ５０は、右側に配置される側板３８の前端部に所定の部材を介して固定されている。２個のピンシリンダ５０は、前後方向において同じ位置に配置されている。また、左側の側板３８に固定されるピンシリンダ５０は、右側に向かって可動ピン８９が突出するように配置され、右側の側板３８に固定されるピンシリンダ５０は、左側に向かって可動ピン８９が突出するように配置されている。

トレイ配置部９においても、可動ピン８９は、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４とを分離するために、最上段に配置されるトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に入り込む。ただし、トレイ配置部９では、２本の可動ピン８９によって、最上段に配置されるトレイ４を下側から支持することはできない。

また、上述のように、トレイ配置部９は、センサ５２、５３は備えていないが、最上段のトレイ４の上限位置を検知するためのセンサ５１を備えている。トレイ配置部９では、最上段のトレイ４がセンサ５１によって検知される位置でモータ８４が停止する。なお、上述のように、トレイ配置部７、８も、センサ５１は備えているが、センサ５２、５３は備えておらず、トレイ配置部７、８でも、最上段のトレイ４がセンサ５１によって検知される位置でモータ８４が停止する。

トレイ配置部９でも、最上段のトレイ４が上限位置で停止しているときには、可動ピン８９は、最上段のトレイ４の鍔部４ａよりも下側であって、かつ、上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａよりも上側に配置されており、最上段のトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に可動ピン８９を入れ込むことが可能になっている。なお、トレイ配置部９では、最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４とが接触しており、この２個のトレイ４の間に隙間は形成されない。

（搬送システムの動作）
搬送システム１によって、検査装置３への液晶パネル２の搬入および検査装置３からの液晶パネル２の搬出が行われるときには、まず、液晶パネル２が収容されていない空のトレイ４がトレイ配置部９に供給される。具体的には、たとえば、５段に積み重なった段積み状態の空のトレイ４がトレイ配置部９の左側からトレイ配置部９の載置板９５の上に作業員による手作業によって載置される。段積み状態の空のトレイ４がトレイ配置部９の載置板９５に載置されると、トレイ配置部９では、最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。なお、段積み状態の空のトレイ４は、トレイ配置部９の前側からトレイ配置部９の載置板９５の上に載置されても良い。

その後、トレイ配置部９では、ピンシリンダ５０が動作して、最上段のトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に可動ピン８９が入り込む。その後、ロボット１２は、トレイ配置部９の最上段のトレイ４を保持して持ち上げるとともに、このトレイ４をトレイ配置部７まで搬送してトレイ配置部７の載置板４０に載置する。このときには、トレイ配置部７のベース部材４１は、後退限位置に配置されている。また、トレイ配置部７の支持フレーム４２は、所定の位置まで上昇している。なお、ロボット１２がトレイ４を搬送していないときには、可動フレーム３３およびトレイ保持部３４は、トレイ配置部９の上側で待機している。

トレイ配置部７の載置板４０に空のトレイ４が載置されると、トレイ配置部７では、トレイ４がセンサ５１で検知される位置でトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。その後、トレイ配置部７では、シリンダ４７が動作して、前後左右方向において、空のトレイ４が位置決めされる。また、トレイ配置部９では、最上段のトレイ４がトレイ配置部７に向かって搬送されると、ピンシリンダ５０が動作して、突出していた可動ピン８９が引っ込む。その後、トレイ配置部９に残っている段積み状態のトレイ４の中の最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。

その後、トレイ配置部９では、ピンシリンダ５０が動作して、最上段のトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に可動ピン８９が入り込む。その後、ロボット１２は、トレイ配置部９の最上段のトレイ４を保持して持ち上げるとともに、このトレイ４をトレイ配置部８まで搬送してトレイ配置部８の載置板４０に載置する。このときには、トレイ配置部８のベース部材４１は、後退限位置に配置されている。また、トレイ配置部８の支持フレーム４２は、所定の位置まで上昇している。トレイ配置部８の載置板４０に空のトレイ４が載置されると、トレイ配置部８では、トレイ４がセンサ５１で検知される位置でトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。その後、トレイ配置部８では、シリンダ４７が動作して、前後左右方向において、空のトレイ４が位置決めされる。

また、トレイ配置部９では、最上段のトレイ４がトレイ配置部８に向かって搬送されると、ピンシリンダ５０が動作して、突出していた可動ピン８９が引っ込む。その後、トレイ配置部９に残っている段積み状態のトレイ４の中の最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。

また、トレイ４に収容されている検査前の液晶パネル２が検査装置３に供給される場合には、検査前の液晶パネル２が収容された段積み状態のトレイ４がトレイ配置部６に供給される。段積み状態のトレイ４がトレイ配置部６に供給されるときには、支持フレーム４２を下限位置まで下降させるととともに、作業員が手作業によってベース部材４１を前進限位置まで移動させる。この状態で、段積み状態のトレイ４であって載置板４０に載置された状態のトレイ４がトレイ配置部６のベース板５７の上に作業員による手作業によって前側から載置される。すなわち、トレイ配置部６には、段積みされたトレイ４が前側から供給される。なお、トレイ配置部６に供給されるトレイ４の段数は、たとえば、最大でも３０段となっている。また、トレイ配置部６は、支持フレーム４２の下限位置を検知するためのセンサを備えている。トレイ配置部７、８も同様に支持フレーム４２の下限位置を検知するためのセンサを備えている。

段積み状態のトレイ４が載置板４０と一緒にトレイ配置部６のベース板５７に載置されると、トレイ配置部６では、作業員が手作業によってベース部材４１を後退限位置まで移動させる。その後、トレイ配置部６では、最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を上昇させる。その後、シリンダ４７が動作して、前後左右方向において、段積み状態のトレイ４が位置決めされる。その後、ピンシリンダ５０が動作して、最上段のトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に可動ピン８９が入り込む。その後、昇降機構４６は、段積み状態のトレイ４を下降させて、可動ピン８９に最上段のトレイ４を支持させるとともに、最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に隙間を形成する。

トレイ配置部７、８の載置板４０に空のトレイ４が載置されるとともに、トレイ配置部６において、最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に隙間が形成されると、ロボット１１は、トレイ配置部６の最上段に配置されるトレイ４の中の液晶パネル２を検査装置３に搬送する。すなわち、ロボット１１は、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に隙間が形成された状態で、トレイ配置部６の最上段に配置されるトレイ４の中の液晶パネル２を保持して持ち上げ、検査装置３に搬送する。具体的には、ロボット１１のパネル保持部２８ａが液晶パネル２の上面を吸引保持して、検査装置３に搬送する。

また、ロボット１１は、検査装置３から検査後の液晶パネル２を、トレイ配置部７の最上段に配置されるトレイ４の中またはトレイ配置部８の最上段に配置されるトレイ４の中に搬送して収容する。具体的には、ロボット１１は、検査装置３での検査で正常と判断された液晶パネル２をトレイ配置部７の最上段に配置されるトレイ４に搬送して収容し、検査装置３での検査で異常と判断された液晶パネル２をトレイ配置部８の最上段に配置されるトレイ４に搬送して収容する。

ロボット１１によって液晶パネル２が搬出されるトレイ配置部６の最上段のトレイ４が空になると、ロボット１２は、空になったトレイ４をトレイ配置部６からトレイ配置部９に搬送して配置する。すなわち、ロボット１２は、空になったトレイ４を保持して持ち上げるとともに、トレイ配置部６からトレイ配置部９に搬送して、トレイ配置部９に配置される段積み状態のトレイ４の上に重ねる。トレイ４がトレイ配置部９に配置されると、トレイ配置部９では、トレイ配置部９に配置された最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。

また、空のトレイ４が搬出されたトレイ配置部６では、ピンシリンダ５０が動作して、突出していた可動ピン８９が引っ込む。その後、トレイ配置部６に残っている段積み状態のトレイ４の中の最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を上昇させる。その後、ピンシリンダ５０が動作して、最上段のトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に可動ピン８９が入り込む。その後、昇降機構４６は、段積み状態のトレイ４を下降させて、可動ピン８９に最上段のトレイ４を支持させるとともに、最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に隙間を形成する。

その後、ロボット１１は、トレイ配置部６の最上段に配置されるトレイ４の中の液晶パネル２を検査装置３に搬送する。また、トレイ配置部６に配置されたトレイ４の中の液晶パネル２が検査装置３に順次、搬送されて、トレイ配置部６の全てのトレイ４がトレイ配置部９に搬送されると、検査前の液晶パネル２が収容された段積み状態のトレイ４が、上述のようにトレイ配置部６に供給される。

また、ロボット１１によって液晶パネル２が搬入されるトレイ配置部７の最上段のトレイ４に所定枚数の液晶パネル２が収容されると（たとえば、トレイ４に収容可能な枚数の液晶パネル２が収容されると）、ロボット１２は、トレイ配置部９からトレイ配置部７に空のトレイ４を搬送してトレイ配置部７の最上段のトレイ４の上に重ねる。すなわち、ロボット１２は、トレイ配置部９の最上段の空のトレイ４を保持して持ち上げるとともに、トレイ配置部９からトレイ配置部７に搬送して、トレイ配置部７のトレイ４の上に重ねる。空のトレイ４が搬入されたトレイ配置部７では、搬入されたトレイ４である最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。その後、ロボット１１は、トレイ配置部７の最上段に配置されるトレイ４の中に検査装置３から液晶パネル２を搬送する。

同様に、ロボット１１によって液晶パネル２が搬入されるトレイ配置部８の最上段のトレイ４に所定枚数の液晶パネル２が収容されると、ロボット１２は、トレイ配置部９からトレイ配置部８に空のトレイ４を搬送してトレイ配置部８の最上段のトレイ４の上に重ねる。すなわち、ロボット１２は、トレイ配置部９の最上段の空のトレイ４を保持して持ち上げるとともに、トレイ配置部９からトレイ配置部８に搬送して、トレイ配置部８のトレイ４の上に重ねる。空のトレイ４が搬入されたトレイ配置部８では、搬入されたトレイ４である最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。その後、ロボット１１は、トレイ配置部８の最上段に配置されるトレイ４の中に検査装置３から液晶パネル２を搬送する。

また、トレイ配置部７において、所定枚数の液晶パネル２が収容されたトレイ４が所定の段数、段積みされると、トレイ配置部７から段積みされたトレイ４が取り出される。段積み状態のトレイ４がトレイ配置部７から取り出されるときには、支持フレーム４２を下限位置まで下降させるとともに、作業員が手作業によってベース部材４１を前進限位置まで移動させる。この状態で、トレイ配置部７の載置板４０に載置された段積み状態のトレイ４を載置板４０と一緒に作業員による手作業によって前側に取り出す。すなわち、段積みされたトレイ４がトレイ配置部７から前側に取り出される。なお、トレイ配置部７は、トレイ４が所定の段数、段積みされたことを検知するためのセンサを備えている。

トレイ配置部７から段積み状態のトレイ４が載置板４０と一緒に取り出されると、トレイ配置部７のベース板５７に別の載置板４０が手作業で載置される。その後、トレイ配置部７では、作業員が手作業によってベース部材４１を後退限位置まで移動させる。その後、トレイ配置部７では、昇降機構４６が所定位置まで支持フレーム４２を上昇させる。その後、ロボット１２は、トレイ配置部９の最上段のトレイ４をトレイ配置部７まで搬送してトレイ配置部７の載置板４０に載置する。トレイ配置部７の載置板４０に空のトレイ４が載置されると、トレイ配置部７では、トレイ４がセンサ５１で検知される位置でトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。

同様に、トレイ配置部８において、所定枚数の液晶パネル２が収容されたトレイ４が所定の段数、段積みされると、トレイ配置部８から段積みされたトレイ４が取り出される。段積み状態のトレイ４がトレイ配置部８から取り出されるときには、支持フレーム４２を下限位置まで下降させるとともに、作業員が手作業によってベース部材４１を前進限位置まで移動させる。この状態で、トレイ配置部８の載置板４０に載置された段積み状態のトレイ４を載置板４０と一緒に作業員による手作業によって前側に取り出す。すなわち、段積みされたトレイ４がトレイ配置部８から前側に取り出される。なお、トレイ配置部８は、トレイ４が所定の段数、段積みされたことを検知するためのセンサを備えている。

トレイ配置部８から段積み状態のトレイ４が載置板４０と一緒に取り出されると、トレイ配置部８のベース板５７に別の載置板４０が手作業で載置される。その後、トレイ配置部８では、作業員が手作業によってベース部材４１を後退限位置まで移動させる。その後、トレイ配置部８では、昇降機構４６が所定位置まで支持フレーム４２を上昇させる。その後、ロボット１２は、トレイ配置部９の最上段のトレイ４をトレイ配置部８まで搬送してトレイ配置部８の載置板４０に載置する。トレイ配置部８の載置板４０に空のトレイ４が載置されると、トレイ配置部８では、トレイ４がセンサ５１で検知される位置でトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。

なお、トレイ配置部９では、トレイ配置部９からトレイ配置部７またはトレイ配置部８にロボット１２がトレイ４を搬出する前に、ピンシリンダ５０が動作して、最上段のトレイ４の鍔部４ａと上から２番目に配置されるトレイ４の鍔部４ａとの間に可動ピン８９が入り込む。また、最上段のトレイ４がトレイ配置部７、８に向かって搬送されると、ピンシリンダ５０が動作して、突出していた可動ピン８９が引っ込む。その後、トレイ配置部９に残っている段積み状態のトレイ４の中の最上段のトレイ４がセンサ５１で検知される位置で段積み状態のトレイ４が停止するように、昇降機構４６がトレイ４を昇降させる。

一方、カセット５に収容されている検査前の液晶パネル２が検査装置３に供給される場合には、検査前の液晶パネル２が収容されたカセット５がカセット配置部１３に供給される。ロボット１１は、カセット５の中の液晶パネル２を検査装置３に搬送するとともに、検査装置３から検査後の液晶パネル２を、トレイ配置部７の最上段に配置されるトレイ４の中またはトレイ配置部８の最上段に配置されるトレイ４の中に搬送して収容する。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の搬送システム１は、トレイ配置部６〜９と、トレイ４を搬送するロボット１２とを備えている。また、本形態では、ロボット１２は、トレイ配置部６の最上段のトレイ４が空になると、空になったトレイ４をトレイ配置部６からトレイ配置部９に搬送して配置し、トレイ配置部７の最上段のトレイ４に所定枚数の液晶パネル２が収容されると、トレイ配置部９からトレイ配置部７に空のトレイ４を搬送してトレイ配置部７の最上段のトレイ４の上に重ね、かつ、トレイ配置部８の最上段のトレイ４に所定枚数の液晶パネル２が収容されると、トレイ配置部９からトレイ配置部８に空のトレイ４を搬送してトレイ配置部８の最上段のトレイ４の上に重ねている。

そのため、本形態では、トレイ配置部６の最上段のトレイ４が空になったときに、空になったトレイ４を搬送システム１の外部に取り出す必要がなく、また、トレイ配置部７の最上段のトレイ４やトレイ配置部８の最上段のトレイ４に所定枚数の液晶パネル２が収容されたときに、空のトレイ４を搬送システム１の外部からトレイ配置部７、８に供給する必要がない。すなわち、本形態では、検査装置３に対する液晶パネル２の搬入搬出が開始された後、空になったトレイ４を搬送システム１の外部に取り出したり、空のトレイ４を搬送システム１の外部から供給したりする時間が不要になる。また、本形態では、ロボット１２によって、トレイ配置部６からトレイ配置部９に自動でトレイ４が搬送されるとともに、トレイ配置部７やトレイ配置部８にトレイ配置部９から自動でトレイ４が搬送されている。したがって、本形態では、検査装置３に対して液晶パネル２を搬入搬出するための時間を短縮することが可能になる。

本形態では、トレイ配置部６〜９が一列に配列されている。そのため、本形態では、トレイ配置部６〜９がランダムに配置されている場合と比較して、ロボット１２によるトレイ４の搬送時間を短縮することが可能になる。

本形態では、トレイ配置部９とトレイ配置部６とトレイ配置部７とトレイ配置部８とが左側から右側に向かってこの順番で並んでいる。また、本形態では、トレイ配置部７の後ろ側に、液晶パネル２が載置される検査装置３のパネル載置部１５が配置されている。そのため、本形態では、トレイ配置部６のトレイ４から検査装置３のパネル載置部１５までのロボット１１による液晶パネル２の搬送距離、パネル載置部１５からトレイ配置部７までのロボット１１による液晶パネル２の搬送距離、および、パネル載置部１５からトレイ配置部８までのロボット１１による液晶パネル２の搬送距離の総合的な液晶パネル２の搬送距離を短くすることが可能になる。したがって、本形態では、検査装置３に対する液晶パネル２の搬入搬出時間をより短縮することが可能になる。

本形態では、トレイ配置部６〜８の後ろ側に検査装置３、ロボット１１およびカセット配置部１３が配置されているが、トレイ配置部６には、段積みされたトレイ４が前側から供給され、トレイ配置部７、８からは、段積みされたトレイ４が前側に取り出される。そのため、本形態では、トレイ配置部６へのトレイ４の供給作業が容易になるとともに、トレイ配置部７、８からのトレイ４の取出作業が容易になる。

本形態では、トレイ配置部６〜９は、トレイ４を昇降させる昇降機構４６と、最上段のトレイ４の上限位置を検知するためのセンサ５１とを備えている。そのため、本形態では、トレイ配置部６〜９の最上段のトレイ４の上下方向の位置を一定に保つことが可能になる。したがって、本形態では、トレイ配置部６〜９において、配置されるトレイ４の段数に応じて最上段のトレイ４の上下方向の位置が変動する場合と比較して、ロボット１１、１２の制御を簡素化することが可能になる。

本形態では、トレイ配置部６、９は、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４とを分離するために、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に入り込む可動ピン８９を備えている。そのため、本形態では、トレイ配置部６からトレイ配置部９にトレイを搬送する際に、空になっている最上段の１枚のトレイ４のみを確実に搬送することが可能になるとともに、トレイ配置部９からトレイ配置部７、８に空のトレイ４を搬送する際に、最上段の１枚のトレイ４のみを確実に搬送することが可能になる。

本形態では、トレイ配置部６の最上段に配置されるトレイ４の中の液晶パネル２の上面をロボット１１のパネル保持部２８ａが吸引して保持するため、トレイ配置部６の最上段のトレイ４の中の液晶パネル２をロボット１１が保持する際に、液晶パネル２に上側から力が作用して最上段のトレイ４が下側へ変形するおそれがある。しかしながら、本形態では、ロボット１１は、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に隙間が形成された状態で、トレイ配置部６の最上段に配置されるトレイ４の中の液晶パネル２を保持している。そのため、最上段のトレイ４が下側へ変形しても、上から２番目に配置されるトレイ４の中の液晶パネル２と最上段のトレイ４との接触を防止することが可能になる。したがって、本形態では、上から２番目に配置されるトレイ４の中の液晶パネル２の損傷を防止することが可能になる。

本形態では、トレイ配置部６は、最上段のトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に可動ピン８９を入れ込むことが可能な位置で最上段のトレイ４を検知するためのセンサ５１と、可動ピン８９に支持される最上段のトレイ４を検知するためのセンサ５２とを備えている。そのため、本形態では、センサ５１を用いて、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に可動ピン８９を入れ込むことが可能な位置で、段積みされたトレイ４を停止させることが可能になるとともに、センサ５２を用いて、可動ピン８９に最上段のトレイ４が支持されていることを確認することが可能になる。

本形態では、トレイ配置部６〜８は、水平方向でトレイ４を位置決めするための位置決め機構９４を備えている。そのため、本形態では、トレイ配置部６の最上段のトレイ４に収容される液晶パネル２の所定の箇所をロボット１１で精度良く保持することが可能になるとともに、トレイ配置部７、８の最上段のトレイ４の所定の位置にロボット１１によって精度良く液晶パネル２を搬入することが可能になる。

本形態では、搬送システム１は、カセット５が配置されるカセット配置部１３を備えており、カセット配置部１３は、カセット配置部１３に配置されるカセット５の中から検査装置３へロボット１１が液晶パネル２を搬送できる位置に配置されている。そのため、本形態では、トレイ配置部６のトレイ４に収容される液晶パネル２とカセット５に収容される液晶パネル２とを共通のロボット１１によって検査装置３へ搬送することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態において、トレイ配置部６が備えるピンシリンダ５０の数は５個以上であっても良い。すなわち、トレイ配置部６が備える可動ピン８９の数は５本以上であっても良い。また、最上段に配置されるトレイ４を下側から支持することができるのであれば、トレイ配置部６が備える可動ピン８９の数は３本であっても良い。また、上述した形態において、トレイ配置部６の最上段に配置されるトレイ４の中の液晶パネル２をロボット１１が保持するときに、最上段に配置されるトレイ４と上から２番目に配置されるトレイ４との間に隙間が形成されていなくても良い。この場合には、トレイ配置部６は、センサ５２を備えてなくても良い。

上述した形態において、トレイ配置部６、９へのトレイ４の供給は、ロボット等を用いて自動で行われても良いし、トレイ配置部７、８からのトレイ４の取出しは、ロボット等を用いて自動で行われても良い。また、上述した形態において、ピンシリンダ５０の可動ピン８９に、トレイ４の左右の端面に接触して左右方向でトレイ４を位置決めする押付部材が固定されていても良い。また、上述した形態では、トレイ配置部９とトレイ配置部６とトレイ配置部７とトレイ配置部８とが左側から右側に向かってこの順番で並んでいるが、トレイ配置部６〜９は、どのような順番で並んでいても良い。また、上述した形態において、トレイ配置部６〜９がランダムに配置されていても良い。

上述した形態において、トレイ配置部６〜８は、載置板４０を備えていなくても良い。この場合には、トレイ配置部６〜８において、トレイ４は、ベース板５７に載置される。また、上述した形態において、トレイ配置部６〜９の少なくともいずれか１個のトレイ配置部６〜９が昇降機構４６を備えていなくても良い。また、上述した形態において、トレイ配置部６、９は、ピンシリンダ５０を備えていなくても良い。さらに、上述した形態において、トレイ配置部６〜８は、ロック機構４４、４５を備えていなくても良いし、スライド機構４３を備えていなくても良いし、位置決め機構９４を備えていなくても良い。また、上述した形態において、搬送システム１は、カセット配置部１３を備えていなくても良い。

上述した形態において、ロボット１１は、６軸以外の垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良いし、３軸直交ロボットであっても良いし、いわゆるパラレルリンクロボットであっても良い。また、上述した形態において、ロボット１２は、３軸直交ロボットであっても良いし、垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良い。さらに、上述した形態において、検査装置３は、点灯検査装置以外の検査装置であっても良い。また、上述した形態では、搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２であるが、搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、搬送システム１で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。

１ 搬送システム
２ 液晶パネル（表示パネル）
３ 検査装置
４ トレイ
５ カセット
６ トレイ配置部（供給側トレイ配置部）
７ トレイ配置部（第１排出側トレイ配置部）
８ トレイ配置部（第２排出側トレイ配置部）
９ トレイ配置部（空トレイ配置部）
１１ ロボット（パネル搬送ロボット）
１２ ロボット（トレイ搬送ロボット）
１３ カセット配置部
４６ 昇降機構（トレイ昇降機構）
５１ センサ（第１センサ）
５２ センサ（第２センサ）
８９ 可動ピン
９４ 位置決め機構
Ｘ 左右方向
Ｙ 前後方向

Claims (9)

1. 表示パネルを検査する検査装置への前記表示パネルの搬入および前記検査装置からの前記表示パネルの搬出を行う搬送システムであって、
   検査前の前記表示パネルが収容されるトレイが複数段に積み重なった状態で配置可能な供給側トレイ配置部と、前記検査装置での検査で正常と判断された前記表示パネルが収容される前記トレイが複数段に積み重なった状態で配置可能な第１排出側トレイ配置部と、前記検査装置での検査で異常と判断された前記表示パネルが収容される前記トレイが複数段に積み重なった状態で配置可能な第２排出側トレイ配置部と、空の前記トレイが複数段に積み重なった状態で配置可能な空トレイ配置部と、前記表示パネルを搬送するパネル搬送ロボットと、前記トレイを搬送するトレイ搬送ロボットとを備え、
   前記パネル搬送ロボットは、前記供給側トレイ配置部の最上段に配置される前記トレイの中の前記表示パネルを前記検査装置に搬送するとともに、前記検査装置から検査後の前記表示パネルを、前記第１排出側トレイ配置部の最上段に配置される前記トレイの中または前記第２排出側トレイ配置部の最上段に配置される前記トレイの中に搬送し、
   前記トレイ搬送ロボットは、前記供給側トレイ配置部の最上段の前記トレイが空になると、空になった前記トレイを前記供給側トレイ配置部から前記空トレイ配置部に搬送して配置し、前記第１排出側トレイ配置部の最上段の前記トレイに所定枚数の前記表示パネルが収容されると、前記空トレイ配置部から前記第１排出側トレイ配置部に空の前記トレイを搬送して前記第１排出側トレイ配置部の最上段の前記トレイの上に重ね、かつ、前記第２排出側トレイ配置部の最上段の前記トレイに所定枚数の前記表示パネルが収容されると、前記空トレイ配置部から前記第２排出側トレイ配置部に空の前記トレイを搬送して前記第２排出側トレイ配置部の最上段の前記トレイの上に重ねることを特徴とする搬送システム。
2. 前記供給側トレイ配置部と前記第１排出側トレイ配置部と前記第２排出側トレイ配置部と前記空トレイ配置部とが一列に配列されるとともに、前記空トレイ配置部と前記供給側トレイ配置部と前記第１排出側トレイ配置部と前記第２排出側トレイ配置部とがこの順番で並んでいることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
3. 前記空トレイ配置部、前記供給側トレイ配置部、前記第１排出側トレイ配置部および前記第２排出側トレイ配置部の配列方向を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する方向を前後方向とすると、
   前記パネル搬送ロボットは、前記空トレイ配置部、前記供給側トレイ配置部、前記第１排出側トレイ配置部および前記第２排出側トレイ配置部よりも後ろ側に配置され、
   段積みされた前記トレイが前記供給側トレイ配置部に前側から供給され、
   段積みされた前記トレイが前記第１排出側トレイ配置部および前記第２排出側トレイ配置部から前側に取り出されることを特徴とする請求項２記載の搬送システム。
4. 前記供給側トレイ配置部、前記第１排出側トレイ配置部、前記第２排出側トレイ配置部および前記空トレイ配置部は、前記トレイを昇降させるトレイ昇降機構を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の搬送システム。
5. 前記供給側トレイ配置部および前記空トレイ配置部は、最上段に配置される前記トレイと上から２番目に配置される前記トレイとを分離するために、最上段に配置される前記トレイと上から２番目に配置される前記トレイとの間に入り込む可動ピンを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の搬送システム。
6. 前記供給側トレイ配置部は、前記トレイを昇降させるトレイ昇降機構を備え、
   前記供給側トレイ配置部の前記可動ピンは、最上段に配置される前記トレイを下側から支持できるように３箇所以上に配置され、
   前記トレイ昇降機構は、最上段に配置される前記トレイと上から２番目に配置される前記トレイとの間に前記可動ピンが入り込むと、段積みされた前記トレイを下降させて、最上段に配置される前記トレイを前記可動ピンに支持させるとともに、最上段に配置される前記トレイと上から２番目に配置される前記トレイとの間に隙間を形成し、
   前記パネル搬送ロボットは、最上段に配置される前記トレイと上から２番目に配置される前記トレイとの間に隙間が形成された状態で、前記供給側トレイ配置部の最上段に配置される前記トレイの中の前記表示パネルを保持することを特徴とする請求項５記載の搬送システム。
7. 前記供給側トレイ配置部は、最上段に配置される前記トレイと上から２番目に配置される前記トレイとの間に前記可動ピンを入れ込むことが可能な位置で最上段の前記トレイを検知するための第１センサと、前記可動ピンに支持される最上段の前記トレイを検知するための第２センサとを備えることを特徴とする請求項６記載の搬送システム。
8. 前記供給側トレイ配置部、前記第１排出側トレイ配置部および前記第２排出側トレイ配置部は、水平方向で前記トレイを位置決めするための位置決め機構を備えることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の搬送システム。
9. 検査前の複数枚の前記表示パネルが上下方向に間隔をあけた状態で上下方向で重なるように収容されるカセットが配置されるカセット配置部を備え、
   前記カセット配置部は、前記カセット配置部に配置される前記カセットの中から前記検査装置へ前記パネル搬送ロボットが前記表示パネルを搬送できる位置に配置されていることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の搬送システム。

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