CN110487512A - 气浮平台及自动光学检查设备 - Google Patents

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Abstract

一种气浮平台，包括相邻排列的多个气浮机构。每一气浮机构包括基座、设于所述基座内的吹气装置，及包括气流生成模块及连接于气流生成模块的多个吹气管。气浮板设于基座上，包括气浮面、设于气浮面周围的侧壁，及连通多个吹气管的多个吹气孔。侧壁与气浮面之间具有角边部，其一端连接气浮面，另一端连接侧壁，且角边部朝气浮面与侧壁之间内凹设置。所述角边部可以减少接受光学检测的基板，因为高低差引发的背刮风险，进而提升检测效果。

Description

气浮平台及自动光学检查设备
【技术领域】
本申请涉及显示面板制造技术领域，特别是涉及一种气浮平台及自动光学检查设备。
【背景技术】
显示面板，例如薄膜晶体管液晶显示器的玻璃基板是经过复杂的工艺流程制造，基板上的线路容易形成断路和短路现象。若可以检测出基板上线路的断路和短路，则可将基板进行维修，进而提高产品的良率。
具体地，光阻材料涂布于基板经过曝光、显影后，会进入自动光学检查机(automated optical inspection,AOI)进行微观缺陷的检查。通常AOI的检查，可配合多种玻璃基板的承载与运输，而现今广为使用的承载与运输是通过气浮平台。使用气浮方式进行运送，可以获得更高精度的检查，并实现了非接触传输，减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力。传统的气浮平台的运输方式是由多个对齐排列的气浮平台组成一个输送平台，用以进行大量面板的输送及检测。现有的气浮平台包括气浮板，亦即，所述输送平台包括多个对齐排列的气浮板。然而，传统的气浮板的边缘都设计为直角结构，由于直角的边缘，相邻气浮板的高度难以调整一致。此外，在光学检测的扫描过程中，玻璃基板与气浮板之间的间距极低，由于气浮板的边缘为直角结构，因此很容易在边缘位置发生微小的形变(banding)，并产生背刮的问题，影响玻璃基板的品质、降低显示面板的显示效果，且会提高破片的风险。
【发明内容】
本申请的目的在于提供一种气浮平台及自动光学检测设备，其可避免玻璃基板在自动光学检测的扫描过程中，因为气浮板结构而造成玻璃基板的边缘形变及背刮发生。
为实现上述目的，本申请提供一种气浮平台，包括相邻排列的多个气浮机构，其特征在于，每一所述气浮机构包括：基座；吹气装置，设于所述基座内，并包括气流生成模块及连接于所述气流生成模块的多个吹气管；以及气浮板，设于所述基座上，包括气浮面、设于所述气浮面周围的侧壁，及连通所述多个吹气管的多个吹气孔，其中所述侧壁与所述气浮面之间具有角边部，其一端连接所述气浮面，另一端连接所述侧壁，且所述角边部朝所述气浮面与所述侧壁之间内凹设置。
依据本申请的一实施例，所述角边部包括弧边。
依据本申请的另一实施例，所述弧边于所述侧壁及所述气浮面之间构成60度的圆弧角。
依据本申请的另一实施例，所述角边部包括斜边，且所述斜边与所述气浮面的水平方向具有小于或等于60度的夹角。
依据本申请的另一实施例，所述气浮板具有矩形构型，所述角边部沿绕所述矩形气浮板的四个侧壁设置。
依据本申请的另一实施例，所述多个吹气孔贯穿所述气浮面，所述气流生成模块用以产生气流，其依序通过所述多个吹气管及所述多个吹气孔朝上吹出，其中所述多个吹气孔吹出的气流用以悬浮所述基板。
依据本申请的另一实施例，所述气浮平台更包括至少一对辊轴，其分别设于所述基座的相对二侧外，其中所述一对辊轴用以承托所述基板至所述气浮板的上方，并于所述基板悬浮后下移至所述气浮板的下方。
依据本申请的另一实施例，所述气浮平台更包括轨道装置，其设于所述基座的相对二侧，其中所述气浮板可移动地连接于所述轨道装置。
依据本申请的另一实施例，所述相邻排列的多个气浮机构的气浮面为相互齐平设置。
本申请另外提供一种自动光学检查设备，包括自动光学检查机及前述实施例的气浮平台。
本申请的气浮平台通过气浮板的弧边或斜边的角边部构造，于自动光学检测过程中，可以有效减小传统相邻气浮板之间因为高低差引发的背刮及破破片风险，并可避免传统气浮板的直角边缘与玻璃基板的直接接触，确保玻璃基板的品质而不会影响显示面板的显示效果。
【附图说明】
图1为根据本申请的一实施例的气浮平台的平面示意图。
图2为根据本申请的一实施例的气浮板的结构示意图。
图3为根据本申请的一实施例的气浮机构的侧面结构示意图。
图4为根据本申请的另一实施例的气浮板的结构示意图。
【具体实施方式】
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本申请可用以实施的特定实施例。本申请所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本申请，而非用以限制本申请。
本申请揭露一种气浮平台，其适用于自动光学检查机(automated opticalinspection,AOI)对显示面板的玻璃基板进行微观缺陷的检查。图1为根据本申请的一实施例的气浮平台的平面示意图。如图1所示，本申请的气浮平台100包括相邻排列的多个气浮机构1。于此实施例中，所述多个气浮机构1以多行间隔排列，进而形成包括多条气浮输送带的气浮平台100。如图1所示，每一所述气浮机构1包括基座2、吹气装置21及气浮板3。所述基座2内具有容置空间20，其用以容置所述吹气装置21。所述吹气装置21包括气流生成模块22及连接于所述气流生成模块22的多个吹气管23(如图3所示)。
续请参阅图1并配合图2及图3。图2为根据本申请的一实施例的气浮板的结构示意图。图3为根据本申请的一实施例的气浮机构的侧面结构示意图。所述气浮板3设于所述基座2上，于此实施例中，所述气浮板3具有矩形构型，惟并不以此为限。所述气浮板3包括气浮面31、设于所述气浮面31周围的侧壁32，及多个吹气孔30，其中所述吹气孔30相互间隔以多行排列，并与位于下方的多个吹气管23相连通，且所述多个吹气孔30贯穿所述气浮面31。本申请的吹气装置21的运作原理相同于一般气浮装置的吹气工作原理，亦即，通过气流生成模块22的气泵(未图示)产生气流，其向上推送经过所述多个吹气管23后，再由所述气浮板3的多个吹气孔30吹出，用以形成分布于所述气浮面31的多个气柱，进而可以支撑基板4(如图1及图3所示)，使基板4悬浮于所述气浮板3的上方而不会掉落，且不会接触到所述气浮板3，其中所述基板4为玻璃材料所制。
续请参阅图2及图3。特别说明的是，所述气浮板3的侧壁32与所述气浮面31之间具有角边部33，其一端连接所述气浮面31，另一端连接所述侧壁32，且所述角边部33朝所述气浮面31与所述侧壁32之间内凹设置。亦即，所述角边部33使所述侧壁32与所述气浮面31相邻处形成一凹部，而非传统的直角边缘。如图2所示，所述角边部33沿绕所述矩形气浮板3的四周侧壁32设置。具体而言，如图2所示的实施例，本申请气浮板3的角边部33包括弧边331，其中所述弧边311于所述侧壁32及所述气浮面31之间构成圆弧角，所述圆弧角尤以60度为佳。亦即，所述弧边31的一端平顺地延伸并弯曲自所述气浮面31，而另一端平顺地延伸并弯曲至所述侧壁32。于此实施例中，所述相邻排列的多个气浮机构1的气浮面31为相互齐平设置，且任二相邻的气浮机构1的对应角边部33皆为弧边331。
由于玻璃基板与气浮板之间的间距极低，通常为200-300微米，且传统气浮板的边缘为直角结构，再加上相邻气浮板的高度难以调整一致，因此，在光学检测的扫描过程中，很容易令玻璃基板在边缘位置发生微小的形变(banding)，进而产生背刮的问题而损坏玻璃基板上的线路结构。为避免前述问题，本申请的气浮板3设置包括有弧边311的角边部33(如图2所示)，可以有效减小传统相邻气浮板之间因为高低差引发的背刮风险，并可避免气浮板的直角边缘与玻璃基板的直接接触。
续请参阅图1。本申请的气浮平台100更包括多对辊轴24，每一对辊轴24分别设于所述基座2的相对二侧外，其中所述辊轴24用以承托所述基板4至所述气浮板3的上方，并于所述基板4悬浮后下移至所述气浮板3的下方，避免影响所述气浮板3后续的输送。此外，本申请的气浮平台100更包括轨道装置25，其设于所述基座2的相对二侧，并延伸至相邻的气浮机构1，其中所述气浮板3可移动地连接于所述轨道装置25，使所述基板4可由所述轨道装置25的带动而输送于所述气浮平台100上。
图4为根据本申请的另一实施例的气浮板的结构示意图。此实施例的气浮板3与图2实施例的气浮板3的区别在于，图4所示的气浮板3的角边部33包括斜边332。所述斜边332与所述气浮面31的水平方向具有小于或等于60度的夹角，尤以45度夹角的斜边为佳。所述斜边332的设置可提供相同于前述实施例的弧边331的功效，亦即，可以有效减小传统相邻气浮板之间因为高低差引发的背刮风险，并可避免气浮板的直角边缘与玻璃基板的直接接触。
本申请另外提供一种自动光学检查设备101(如图1所示)。所述自动光学检查设备101包括自动光学检查机5及相同于前述实施例的气浮平台100及多个气浮机构1，其中所述自动光学检查机5用于对显示面板的玻璃基板进行微观缺陷的检查。于此实施例中，所述自动光学检查机5架设于所述多个气浮机构1上方。于实际检测所述基板4时，所述基板4通过所述气浮平台100传送至所述自动光学检查机5的下方，并由所述自动光学检查机5对所述基板4进行扫描以完成检测。特别说明的是，本申请自动光学检查设备中有关所述气浮机构的各种构造元件，与前述实施例所述的气浮机构相同，于此不再复述。
本申请的气浮平台通过气浮板的弧边或斜边的角边部构造，于自动光学检测过程中，可以有效减小传统相邻气浮板之间因为高低差引发的背刮及破破片风险，并可避免传统气浮板的直角边缘与玻璃基板的直接接触，确保玻璃基板的品质而不会影响显示面板的显示效果。
综上所述，虽然本申请已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本申请，本领域的普通技术人员，在不脱离本申请的范围内，均可作各种更动与润饰，因此本申请的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种气浮平台，包括相邻排列的多个气浮机构，其特征在于，每一所述气浮机构包括：
基座；
吹气装置，设于所述基座内，并包括气流生成模块及连接于所述气流生成模块的多个吹气管；以及
气浮板，设于所述基座上，包括气浮面、设于所述气浮面周围的侧壁，及连通所述多个吹气管的多个吹气孔，其中所述侧壁与所述气浮面之间具有角边部，其一端连接所述气浮面，另一端连接所述侧壁，且所述角边部朝所述气浮面与所述侧壁之间内凹设置。
2.如权利要求1的气浮平台，其特征在于，所述角边部包括弧边。
3.如权利要求2的气浮平台，其特征在于，所述弧边于所述侧壁及所述气浮面之间构成60度的圆弧角。
4.如权利要求1的气浮平台，其特征在于，所述角边部包括斜边，
且所述斜边与所述气浮面的水平方向具有小于或等于60度的夹角。
5.如权利要求1的气浮平台，其特征在于，所述气浮板具有矩形构型，所述角边部沿绕所述矩形气浮板的四个侧壁设置。
6.如权利要求1的气浮平台，其特征在于，所述多个吹气孔贯穿所述气浮面，所述气流生成模块用以产生气流，其依序通过所述多个吹气管及所述多个吹气孔朝上吹出，其中所述多个吹气孔吹出的气流用以悬浮所述基板。
7.如权利要求6的气浮平台，其特征在于，更包括至少一对辊轴，
其分别设于所述基座的相对二侧外，其中所述一对辊轴用以承托所述基板至所述气浮板的上方，并于所述基板悬浮后下移至所述气浮板的下方。
8.如权利要求1的气浮平台，其特征在于，更包括轨道装置，其设于所述基座的相对二侧，其中所述气浮板可移动地连接于所述轨道装置。
9.如权利要求1的气浮平台，其特征在于，所述相邻排列的多个气浮机构的气浮面为相互齐平设置。
10.一种自动光学检查设备，其特征在于，所述自动光学检查设备包括自动光学检查机及权利要求1-9中任一项所述的气浮平台。
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