CN105588843B - Tft-lcd显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置 - Google Patents

Tft-lcd显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种TFT‑LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置，该传送装置用于承载并传输TFT‑LCD显示面板经过自动光学检查机下方，以使自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测，传送装置包括位于自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带。本发明提供的TFT‑LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置由于仅在自动光学检查机可检查区域正下方设有气浮传输带，可保证TFT‑LCD显示面板的平整度，同时由于上游和/或下游设置有自由辊传输带可以节约成本。

Description

TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置
技术领域
本发明涉及液晶面板制造技术领域，特别涉及一种TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的玻璃基板经过复杂的工艺流程制造，基板上线路容易形成断路和短路现象，检测出基板上线路的断路和短路并进行维修可提高产品的良率，加快设备的检测速度和减少设备的硬件结构都可以达到提高检测效率和节约成本的目的。
具体地，光阻材料涂布于基板经过曝光、显影以后，会进入自动光学检查机(Automated Optical Inspection，AOI)进行微观缺陷的检查。AOI主要针对曝光和显影中产生的不良进行实时的监控，其检查效果对量产产品的品质保证有着决定性的作用。
在AOI的检查过程中，TFT-LCD显示面板表面平整度对检查的效果有着极大的影响。整个检查过程TFT-LCD显示面板是处于扫描方向运动的状态，如果TFT-LCD显示面板表面平整度起伏较大，会影响相机的辉度采集结果，自然地影响到检查最终结果。
针对TFT-LCD显示面板在检查中的搬运，现在业界内主要采用3种方式：
1、辊柱(Conveyor)方式
其优点是结构简单，费用花费较少。但是传送过程中基板表面平整度起伏较大。
2、自由辊(Free Roller)方式
采用载台(Stage)进行搬送，自由辊作为支撑和传送辅助。此种方式可保证基板表面平整度，而且费用花费也较低。
3、气浮(Air Floating)方式
为了获得更高精度的检查，采用气浮的方式进行搬送。此种方式的优点是搬送时，基板表面平整度很高。但是由于长距离、大面积的气浮使用，对气浮平衡性的控制要求很高，气浮的过程是下表面吹气和上表面吸气平衡的结果，在两个气浮带(bar)中间基板会发生弯曲，有可能接触到气浮带的边缘孔洞而将基板吸附，进而拖拽基板发生破片，并且气浮的费用花费较高。
发明内容
本发明提供一种用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装置，以解决现有技术中采用辊柱或自由辊方式基板表面平整度不够，以及长距离采用气浮方式花费较高且容易拖拽基板发生破片的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装置，所述传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机下方，以使所述自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测，所述传送装置包括位于所述自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于所述气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带。
根据本发明一优选实施例，所述气浮传输带包括主气囊及阵列设于所述主气囊表面的多个气嘴。
根据本发明一优选实施例，所述传送装置还包括基槽，所述基槽包括底板和设于所述底板两侧边的挡板，所述气浮传输带及所述自由辊传输带设于所述基槽内并低于所述挡板的高度。
根据本发明一优选实施例，所述自由辊传输带包括多个平行设置的转轴，每一所述转轴上设有多个滚轮或滚柱。
根据本发明一优选实施例，所述滚轮或滚柱表面为弹性材料。
为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置，所述光学检查装置包括自动光学检查机及传送装置，所述传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机下方，以使所述自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测，所述传送装置包括位于所述自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于所述气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带。
本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供的TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置由于仅在自动光学检查机可检查区域正下方设有气浮传输带，可保证TFT-LCD显示面板的平整度，同时由于上游和/或下游设置有自由辊传输带可以节约成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：
图1是本发明优选实施例的TFT-LCD显示面板制造的简化流程图；
图2是图1中所示的TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置的简化结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，图1是本发明优选实施例的TFT-LCD显示面板制造的简化流程图。
如图1所示，在TFT-LCD显示面板制造的过程中，需要以下几道主要工序：
首先，通过洗净装置对玻璃基板进行洗净；
其次，通过涂布装置对玻璃基板进行涂布；
然后，通过真空干燥装置对玻璃基板进行干燥；
然后，通过预烘烤装置对玻璃基板进行预烘烤；
然后，通过曝光装置对玻璃基板进行曝光；
然后，通过显影装置对玻璃基板进行显影；
然后，通过检查装置(自动光学检查机)对玻璃基板进行检查；
然后，通过烘烤装置对玻璃基板进烘烤；
然后，再进入后续工程。
请参阅图2，图2是图1中所示的TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置的简化结构示意图。
如图2所示，本发明提供一种用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装置，该传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机20下方，以使自动光学检查机20对曝光和显影中产生的不良进行实时检测，传送装置包括位于自动光学检查机20可检查区域21(图中虚线框)正下方的气浮传输带100及于气浮传输带100上游和/或下游设置的自由辊传输带200。
采用气浮方式搬送时，基板的平整度可以达到全区域±75微米，而采用自由辊方式搬送时，基板的平整度可以达到全区域±100微米。
其中，气浮传输带100包括上气浮和下气浮，在优选实施例中，上气浮的面积小于下气浮的面积，上气浮大致位于下气浮的中间区域上方，气浮以下气浮的吹气为主，以上气浮的吸气为辅，以避免上气浮容易将基板吸附产生破片风险，下气浮的面积大于一块基板的面积，通常可以是大于一块基板的面积的1.3倍以上。
具体地，下气浮包括下主气囊110及阵列设于下主气囊110上表面的多个下气嘴120，上气浮包括上主气囊130及阵列设于上主气囊130下表面的多个上气嘴140，在优选实施例中，下气嘴120的密度大于上气嘴140的密度，进一步地，下气嘴120的直径小于上气嘴140的直径，以进一步避免上气浮容易将基板吸附产生破片风险。
其中，传送装置还包括基槽，基槽包括底板和设于底板两侧边的挡板210，气浮传输带100及自由辊传输带200设于基槽内并低于挡板210的高度。
优选地，挡板210的相对的内侧表面设有弹性橡胶材料，以降低传输过程中基板由于意外情况偏离直线传输碰到挡板210时破片的风险。
在本发明实施例中，自由辊传输带200包括多个平行设置的转轴220，每一转轴220上设有多个滚轮230或滚柱，优选地，滚轮230或滚柱表面为弹性材料，以降低对基板的传输碰撞损伤。
此外，请继续参阅图2，本发明还提供一种TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置10，光学检查装置10包括自动光学检查机20及上述的传送装置，传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机20下方，以使自动光学检查机20对曝光和显影中产生的不良进行实时检测。
其中，传送装置包括位于自动光学检查机20可检查区域21正下方的气浮传输带100及于气浮传输带100上游和/或下游设置的自由辊传输带200。
其中，气浮传输带100及自由辊传输带200的具体结构与上文相同，此处不再赘述。
综上所述，本领域技术人员容理解，本发明提供的TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置10及其传送装置由于仅在自动光学检查机20可检查区域21正下方设有气浮传输带100，可保证TFT-LCD显示面板的平整度，同时由于上游和/或下游设置有自由辊传输带200可以节约成本。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (2)

1.一种用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装置，其特征在于，所述传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机下方，以使所述自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测，所述传送装置包括位于所述自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于所述气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带，所述气浮传输带使得所述TFT-LCD显示面板的平整度达到全区域±75微米，所述自由辊传输带使得所述TFT-LCD显示面板的平整度达到全区域±100微米，所述气浮传输带包括上气浮和下气浮，所述上气浮的面积小于所述下气浮的面积，所述上气浮位于所述下气浮的中间区域上方，所述气浮以所述下气浮的吹气为主，以所述上气浮的吸气为辅，由此避免所述上气浮容易将所述TFT-LCD显示面板吸附产生破片风险，所述下气浮的面积大于一块TFT-LCD显示面板的面积的1.3倍以上，所述气浮传输带包括主气囊及阵列设于所述主气囊表面的多个气嘴，所述下气浮包括下主气囊及阵列设于所述下主气囊上表面的多个下气嘴，所述上气浮包括上主气囊及阵列设于所述上主气囊下表面的多个上气嘴，所述下气嘴的密度大于所述上气嘴的密度，所述下气嘴的直径小于所述上气嘴的直径，以进一步避免所述上气浮容易将所述TFT-LCD显示面板吸附产生破片风险，所述传送装置还包括基槽，所述基槽包括底板和设于所述底板两侧边的挡板，所述气浮传输带及所述自由辊传输带设于所述基槽内并低于所述挡板的高度，所述挡板的相对的内侧表面设有弹性橡胶材料，以降低传输过程中所述TFT-LCD显示面板由于意外情况偏离直线传输碰到所述挡板时破片的风险，所述自由辊传输带包括多个平行设置的转轴，每一所述转轴上设有多个滚轮或滚柱，所述滚轮或滚柱表面为弹性材料，以降低对TFT-LCD显示面板的传输碰撞损伤。
2.一种TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置，其特征在于，所述光学检查装置包括自动光学检查机及传送装置，所述传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机下方，以使所述自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测，所述传送装置包括位于所述自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于所述气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带，所述气浮传输带使得所述TFT-LCD显示面板的平整度达到全区域±75微米，所述自由辊传输带使得所述TFT-LCD显示面板的平整度达到全区域±100微米，所述气浮传输带包括上气浮和下气浮，所述上气浮的面积小于所述下气浮的面积，所述上气浮位于所述下气浮的中间区域上方，所述气浮以所述下气浮的吹气为主，以所述上气浮的吸气为辅，由此避免所述上气浮容易将所述TFT-LCD显示面板吸附产生破片风险，所述下气浮的面积大于一块TFT-LCD显示面板的面积的1.3倍以上，所述气浮传输带包括主气囊及阵列设于所述主气囊表面的多个气嘴，所述下气浮包括下主气囊及阵列设于所述下主气囊上表面的多个下气嘴，所述上气浮包括上主气囊及阵列设于所述上主气囊下表面的多个上气嘴，所述下气嘴的密度大于所述上气嘴的密度，所述下气嘴的直径小于所述上气嘴的直径，以进一步避免所述上气浮容易将所述TFT-LCD显示面板吸附产生破片风险，所述光学检查装置还包括基槽，所述基槽包括底板和设于所述底板两侧边的挡板，所述气浮传输带及所述自由辊传输带设于所述基槽内并低于所述挡板的高度，所述挡板的相对的内侧表面设有弹性橡胶材料，以降低传输过程中所述TFT-LCD显示面板由于意外情况偏离直线传输碰到所述挡板时破片的风险，所述自由辊传输带包括多个平行设置的转轴，每一所述转轴上设有多个滚轮或滚柱，所述滚轮或滚柱表面为弹性材料，以降低对TFT-LCD显示面板的传输碰撞损伤。
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