KR20210094364A - 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 외부에 있는 오픈 마스크를 자력으로 흡착 로딩하면 크레인으로 오픈 마스크 용접기의 내부에 있는 마스크 프레임의 위로 운반하고 자력을 멀게 해서 언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치로서, 특히 오픈 마스크에 대해 자석을 접근/퇴거시켜 로딩/언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 관한 것이다.

Description

유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치{LOADING APPARATUS OF OPEN MASK FOR OLED}
본 발명은 외부에 있는 오픈 마스크를 자력으로 흡착 로딩하면 크레인으로 오픈 마스크 용접기의 내부에 있는 마스크 프레임의 위로 운반하고 자력을 멀게 해서 언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치로서, 특히 오픈 마스크에 대해 자석을 접근/퇴거시켜 로딩/언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 관한 것이다.
스마트폰이나 TV 화면으로 쓰이는 OLED(전류가 흐르면 빛을 내는 유기물질) 패널 생산에 필수품은 금속 박막인 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask·FMM)와 오픈 마스크(Open Mask)가 있다.
즉, 유기발광다이오드(OLED) 증착 공정에는 두 종류의 마스크가 동시에 사용된다. 마이크로미터(μ m) 단위의 미세 구멍이 뚫린 섀도 마스크(FMM)와 개별 패널 형태의 큼직한 구멍이 뚫린 오픈 마스크다.
스마트폰용 OLED는 FMM 방식의 증착 기술을 사용하고, TV용 OLED는 오픈 마스크 방식의 증착 기술을 사용한다.
FMM은 얇은 금속 박막에 눈에 보이지 않을 정도의 미세한 구멍이 일정하게 뚫려 있다. 이 FMM을 OLED 패널에 대고 화소 형성 소재를 뿌리면 일정한 크기와 간격으로 화소 형성 소재가 패널 표면에 안착한다.
오픈 마스크는 개별 패널 형태(셀 단위 형태)의 큼직한 구멍이 뚫린 것으로서, OLED 패널에 대고 증착하는 기술에 사용된다.
이러한 FMM이나 오픈 마스크는 원장 또는 분할 시트 형태로 마스크 프레임에 레이저 용접 고정된 후에 증착 기술을 사용하는데, 주로 오픈 마스크인 경우 원장 마스크, FMM인 경우 분할 마스크 형태로 마스크 프레임에 다수 용접 고정한다.
오픈 마스크는 오픈 마스크 용접기에서 레이저 용접에 의해 마스크 프레임에 원장 한 장이 용접 고정된다.
오픈 마스크 용접기는 OLED 화소 증착 시 오픈 마스크를 마스크 프레임에 처짐 없이 고정 및 인장시키는 장비이다.
OLED 공정 중 공통층(HIL, HTL, ETL, EIL, Cathode)을 증착하기 위해서 오픈 마스크(또는 마스크 시트)를 이용 마스크 프레임에 용접을 하는 장비이다.
이때 사용하는 시트는 통상 분할된 시트가 아닌 하나의 원장 마스크 시트로 구성되어 있다.
마스크 프레임 위에 원장 시트를 용접하기 위해 평탄도 및 처짐을 보장하기 위한 장력 장치인 클램프를 사용하여 원장 시트를 전방향(4변 전체)에서 잡고(클램핑) 잡아당겨서(인장) 측정 장치를 사용, 모니터링하여 원장 시트가 설정된 위치까지 정확하게 인장됐는지 확인하고 레이저 용접유닛으로 마스크 프레임에 용접하는 장비이다.
이러한 오픈 마스크는 통상 진공 흡착으로 로딩한 후 크레인을 통해 오픈 마스크 용접기의 내부에 이송한 후 마스크 프레임 위에 언로딩한다.
즉, 시트의 액티브 영역과 살대에 간섭이 발생하지 않도록 테두리에서만 진공 흡착하게 되는데, 디자인 변경 등으로 인해 테두리에 형성된 얼라인 홀과 셀 단위 구멍과 같이 진공 흡착에 영향을 주는 영역을 회피하여 패드 영역을 조정하여야 하기 때문에, 진공 흡착해주는 패드와 패드 사이 간격 부분이 불가피하게 넓어지면서 테두리 전체를 흡착하는 것에 비해서 흡착력이 감소하여 시트 전체를 같은 힘으로 균일하게 들어올리지 못해 흡착된 시트가 마치 물결친 것처럼 웨이브가 발생하게 되는 문제가 있다.
또한, 모델별 시트 액티브 영역(셀 단위 영역) 차이로 인하여 진공 패드와의 간섭이 발생하고 진공 흡착하는 부분에 구멍이 조금이라도 걸치게 되면 리크가 생기는 문제도 발생하게 된다.
위와 같은 문제로 마스크 시트를 마스크 프레임 위로 이송한 후 마스크 시트를 잡아서 인장 시 클램프가 마스크 시트를 제대로 클램핑 하지 못하는 문제가 발생하며 전체적인 용접 결과 데이터에 영향을 주게 된다.
한국공개특허공보 제10-2010-0043309호 한국공개특허공보 제10-2011-0046780호
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다양한 디자인 변경으로 로딩 될 자리에 진공 흡착에 영향을 주는 영역이 있는 어떠한 오픈 마스크라도 시트 흡착 시 발생할 수 있는 웨이브와 리크 같은 문제없이 안정적으로 균일한 힘으로 로딩하여 마스크 프레임 상에 언로딩 할 수 있는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치를 제공함에 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 청구항 1의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치는, 오픈 마스크(M)를 로딩하여 오픈 마스크 용접기(1) 내에서 언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치(100)로서, 베이스판(110)과, 베이스판(110)의 가장자리 아래에 적어도 마주하게 배치되는 비자성 스토퍼(130)와, 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이에 배치되는 자석유닛(150)과, 베이스판(110)에 설치되어 자석유닛(150)을 비자성 스토퍼(130)에 대해 접근/퇴거하는 접근/퇴거부재(170)와, 비자성 스토퍼(130)를 베이스판(110)에 지지하는 지지부재(190)를 포함한다.
본 발명에 따른 청구항 2의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 있어서, 비자성 스토퍼(130)는 상층엔 우레탄층(131), 하층엔 비금속층(133)으로 구성되어 있다.
본 발명에 따른 청구항 3의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 있어서, 자석유닛(150)은 소정 간격마다 배치되는 다수의 영구자석(151)과, 다수의 영구자석(151)을 지지하는 지지캡(153)을 포함하되, 다수의 영구자석(151)의 하단은 지지캡(153)의 하단보다 약간 더 아래로 돌출(h)되게 배치되어 있다.
본 발명에 따른 청구항 4의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 있어서, 접근/퇴거부재(170)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 액추에이터(171)와, 액추에이터(171)와 자석유닛(150) 사이를 연결하는 가동연결부(173)를 포함하며, 액추에이터(171)는 베이스판(110)에 고정되는 실린더(171a)와, 실린더(171a)의 상측에서 업/다운하는 피스톤(171b)으로 구성되고, 가동연결부(173)는 피스톤(171b)의 상단에 고정되는 가동수평바(173a)와, 가동수평바(173a)의 양측과 지지캡(153) 사이를 연결하는 가동수직바(173b)를 포함하되, 가동수직바(173b)는 베이스판(110)에 형성된 가이드 홀(111)을 통해 업/다운 가이드 된다.
본 발명에 따른 청구항 5의 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치에 있어서, 지지부재(190)는 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이를 연결하는 연결바(191)와, 베이스판(110)에 설치되어 연결바(191)를 탄성 가압하는 탄성가압부(193)를 포함하고, 탄성가압부(193)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 탄성캡(193a)과, 탄성캡(193a)에 탑재되는 스프링(미도시)을 포함하고, 연결바(191)는 베이스판(110)에 형성된 가이드 홀(미도시)을 통해 업/다운 가이드 된다.
본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
오픈 마스크가 자석의 거리에 따른 자력 흡착/해제로 로딩/언로딩 되기 때문에, 다양한 디자인 변경으로 흡착될 위치에 구멍이 형성되더라도 정확히 로딩 가능하다.
특히, 진공 흡착에 의한 누수가 없는 자력에 의한 로딩으로 인해서, 오픈 마스크의 테두리 대부분 전체를 균일한 힘으로 흡착해서 균일하게 들어올리기 때문에, 웨이브가 발생되지 않아서 추후 언로딩 할 때에도 클램핑이 정확히 이루어져 전체적인 용접 결과 데이터를 양호하게 한다.
자성유닛이 오픈 마스크에 대해 업/다운 직선거리에 따라 로딩/언로딩 하기 때문에 균일한 자력을 오픈 마스크에 전달할 수 있다.
비자성 스토퍼로 오픈 마스크를 눌려 밀착시킨 상태에서 자석유닛이 내려와 자력 흡착시키기 때문에, 오픈 마스크와 비자성 스토퍼 사이의 들뜬 곳(틈새)이 없어서 균일한 자력으로 로딩시킬 수 있다.
비자성 스토퍼의 상층인 우레탄층은 자석유닛의 자석이 닿을 때 탄성 변형으로 완충역할을 하여, 하층인 비금속층의 흠집이나 변형 등을 방지한다.
또한, 탄성가압부가 비자성 스토퍼를 탄성 가압되게 설치됨으로써, 비자성 스토퍼가 오픈 마스크에 무리하게 누르는 것을 방지한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 OLED용 오픈 마스크 용접기의 레이아웃을 설명하기 위한 개략 측면도.
도 2, 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 OLED용 오픈 마스크의 로딩장치가 크레인에서 내려와 스토퍼의 밑면이 오픈 마스크를 눌러 밀착한 상태를 나타내는 정면도, 평면도 및 저면 사시도.
도 5는 도 3의 5-5선을 취하여 본 단면도.
도 6 및 도 7은 도 5의 상태에서 하강한 자석이 스토퍼의 상면에 접촉한 로딩 준비 상태를 나타내는 정면도와 저면 사시도.
도 8는 도 7의 8-8선을 취하여 본 단면도.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 OLED용 오픈 마스크 용접기의 레이아웃을 설명하기 위한 개략 측면도이고, 도 2, 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 OLED용 오픈 마스크의 로딩장치가 크레인에서 내려와 스토퍼의 밑면이 오픈 마스크를 눌러 밀착한 상태를 나타내는 정면도, 평면도 및 저면 사시도이고, 도 5는 도 3의 5-5선을 취하여 본 단면도이고, 도 6 및 도 7은 도 5의 상태에서 하강한 자석이 스토퍼의 상면에 접촉한 로딩 준비 상태를 나타내는 정면도와 저면 사시도이고, 도 8는 도 7의 8-8선을 취하여 본 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 OLED용 오픈 마스크 용접 시스템은 오픈 마스크 용접기(1), 오픈 마스크 재치대(3), 오픈 마스크 재치대(3)의 오픈 마스크(M)를 오픈 마스크 용접기(1)로 운반하는 크레인(5)을 포함한다.
오픈 마스크(M)는 사각형(또는 직사각형)의 얇은 금속판인 시트로서, 오픈 마스크 재치대(3)에 한 장씩 재치된 상태에서 오픈 마스크 용접기(1)의 일측에 놓이게 된다.
크레인(5)에는 오픈 마스크 재치대(5)의 오픈 마스크(M)를 로딩하는 오픈 마스크 로딩장치(100)가 포함되어 있다.
오픈 마스크 로딩장치(100)는 크레인(5)에 업/다운 실린더(7)에 지지되어 있다.
로딩된 오픈 마스크(M)는 오픈 마스크 용접기(1)의 내부에 안착된 마스크 프레임(MF) 상에 언로딩 된 후 정렬 및 레이저 용접된다.
마스크 프레임(MF)은 오픈 마스크(M)와 마찬가지로 재치대(3)로부터 마주하는 가장자리를 암(A)에 끼워 로딩한 후 크레인(5)으로 운반해서 오픈 마스크 용접기(1)의 스테이지 상에 언로딩 한다.
오픈 마스크 로딩장치(100)는 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 크레인(5)의 업/다운 실린더(7)에 지지되는 베이스판(110)과, 베이스판(110)의 가장자리 아래에 배치되는 비자성 스토퍼(130)와, 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이에 배치되는 자석유닛(150)과, 베이스판(110)에 설치되어 자석유닛(150)을 비자성 스토퍼(130)에 대해 접근/퇴거하는 접근/퇴거부재(170)와, 비자성 스토퍼(130)를 베이스판(110)에 지지하는 지지부재(190)를 포함한다.
베이스판(110)은 오픈 마스크(M)와 같은 사각형(또는 직사각형)으로서, 그 넓이는 오픈 마스크(M)의 넓이 내로 들어오는 사이즈가 바람직하다.
이것은 도 2와 같이 흡착되지 않는 가장자리가 필요한데, 로딩된 오픈 마스크(M)를 마스크 프레임(MP) 위에 언로딩 하기 전에 클램프(미도시)로 클램핑 할 자리가 필요하기 때문이다.
비자성 스토퍼(130)는 본 실시예에서와 같이 오픈 마스크(M)의 가장자리 4변을 누르게 배치되어 띠 형상이지만, 적어도 평행하게 마주하는 2변만 눌러도 되게 배치되어도 좋다.
비자성 스토퍼(130)는 오픈 마스크(M)와의 밀착으로 균일한 흡착뿐 아니라, 자석유닛(150)이 내려오는 도중에 오픈 마스크(M)가 딸려 올라오지 못하게 하는 역할도 겸한다.
비자성 스토퍼(130)는 두 개의 층으로 이루어지는데, 상층은 우레탄층(131), 하층은 비금속층(133)으로 구성된다.
비자성 스토퍼(130)는 비금속층(133)을 인서트 한 채 우레탄층(131)을 사출 성형하거나, 두 층을 가열 가압해서 접착제로 접착시켜 만들 수 있다.
비금속층(133)은 오픈 마스크(M)를 직접 눌러 밀착시키는 접촉스토퍼로서, 비자성의 알루미늄 재질로 구현되는 것이 바람직하다.
알루미늄 재질의 스토퍼(133)가 비자성이고 가공성이 매우 좋고 강성도 뛰어나다.
물론, 플라스틱 재질로 사용하여도 좋지만, 알루미늄에 비해 가공성이 나쁘고 계속 누르고 밀착시키는 반복 과정에서 흠집이나 변형 등이 생겨 로딩 시 균일하게 자력 흡착되지 않을 우려가 크다.
우레탄층(131)은 후술되는 자석유닛(150)이 내려와 접촉될 때 탄성 변형으로 무리하게 밀고 내려가는 것을 방지하는 완충 역할을 한다.
자석유닛(150)은 비자성 스토퍼(130)와 상하로 마주보게 배치되어 있다.
즉, 자석유닛(150)은 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 오픈 마스크(M)의 테두리를 따라 소정 간격마다 배치되는 다수의 영구자석(151)과, 다수의 영구자석(151)을 지지하는 지지캡(153)을 포함한다.
지지캡(153)은 하면이 뚫린 가늘고 긴 박스 형상이다.
다수의 영구자석(151)의 하단은 도 2 및 도 5와 같이 지지캡(153)의 하단보다 약간 더 아래로 돌출되게 배치되어, 스토퍼(130)에 최대한 가까이 닿은 상태에서 자력이 잘 통하게 한다.
이러한 자석유닛(150)은 오픈 마스크(M)의 테두리 넓이에 따라 두 개 또는 그 이상의 복수개로 배치된다.
물론, 자석유닛(150)이 복수개이면, 비자성 스토퍼(130)와 접근/퇴거부재(170) 및 지지부재(190)도 동일하게 복수개로 배치되게 된다.
접근/퇴거부재(170)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 액추에이터(171)와, 액추에이터(171)와 자석유닛(150) 사이를 연결하는 가동연결부(173)를 포함한다.
액추에이터(171)는 베이스판(110)에 고정되는 실린더(171a)와, 실린더(171a)의 상측에서 업/다운하는 피스톤(171b)으로 구성되는 업/다운 방식의 에어 실린더이다.
도 2 내지 도 5는 피스톤(171b)이 업(밀어올림) 상태일 때 자석유닛(150)은 비자성 스토퍼(130)에서 멀리 떨어진 퇴거 상태를 나타낸다.
도 6 내지 도 8은 피스톤(171b)이 다운(당겨 내림) 상태일 때 자석유닛(150)은 비자성 스토퍼(130)에 접촉된 접근 상태를 나타낸다.
가동연결부(173)는 피스톤(171b)의 상단에 고정되는 가동수평바(173a)와, 가동수평바(173a)의 양측과 지지캡(153) 사이를 연결하는 가동수직바(173b)를 포함하는 갠트리(gantry) 형상이다.
가동수직바(173b)는 베이스판(110)에 상하로 뚫린 가이드 홀(111)을 통해 업/다운 가이드 된다.
지지부재(190)는 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이를 연결하는 연결바(191)를 포함한다.
또한, 지지부재(190)는 베이스판(110)에 설치되어 연결바(191)를 탄성 가압하는 탄성가압부(193)를 포함한다.
탄성가압부(193)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 탄성캡(193a)과, 탄성캡(193a)에 탑재되는 스프링(미도시)를 포함한다.
연결바(191)의 하단은 비자성 스토퍼(130)에 고정되고, 연결바(191)의 상단은 상기 스프링(미도시)의 탄성 가압을 받게 설치된다.
이러한 스프링의 탄성 가압이 연결바(191)에 전달되기 위해, 가동수직바(173b)와 마찬가지로 연결바(191)의 업/다운 가이드 시키는 가이드 홀(미도시)이 베이스판(110)에 상하로 뚫려 있다.
이하에서는 위와 같은 본 실시예에 따른 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)를 이용하여 오픈 마스크(M)의 로딩 및 언로딩 하는 작동에 대해 설명한다.
먼저, 도 1과 같이 오픈 마스크 재치대(3) 위쪽에 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)가 배치되어 있다.
이 상태에서 크레인(7)의 업/다운 실린더(7)의 작동으로 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)가 내려오면, 도 2 및 도 5와 같이 비자성 스토퍼(130)가 오픈 마스크(M)의 테두리를 눌러 오픈 마스크(M)와 비자성 스토퍼(130) 간을 밀착시킨다.
밀착된 상태에서, 도 6 및 도 8과 같이 접근/퇴거부재(170)의 작동으로 자석유닛(150)을 비자성 스토퍼(130) 쪽으로 하강시켜 다수의 영구자석(151)을 비자성 우레탄층(131)에 접촉시킨다.
그러면 오픈 마스크(M)와 영구자석(151)이 매우 근접하게 되어 자력에 의해 비자성 알루미늄층(133)에 흡착 로딩되게 된다.
자력에 의해 흡착 로딩된 상태에서, 크레인(5)의 업/다운 실린더(7)로 도 1과 같은 형태로 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)를 들어올린다.
오픈 마스크(M)가 로딩된 OLED 용 오픈 마스크 로딩장치(100)가 들어올린 상태에서 크레인(5)은 오픈 마스크 용접기(1)의 내부로 운반한다.
오픈 마스크(M)의 마스크 프레임(미도시) 상에 언로딩 하는 것은 반대로 자석유닛(150)을 업 시킴으로써 비자성 스토퍼(130)와 거리를 멀게 하여 자력 흡착을 해제시킨다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변경 또는 변형하여 실시할 수 있다.
예컨대 본 실시예의 OLED용 오픈 마스크 로딩장치(100)가 오픈 마스크(M)의 로딩/언로딩에 사용되는 것으로 설명하였지만, 파인 금속 마스크(FMM)의 로딩/언로딩에도 적용 가능하고, 마스크가 원장 마스크(4변 로딩/언로딩) 또는 분할 마스크(마주하는 2변 로딩/언로딩) 어느 것에도 적용 가능하다.
1 : 오픈 마스크 용접기 3 : 오픈 마스크 재치대
5 : 크레인 7 : 업/다운 실린더
100 : OLED용 오픈 마스크 로딩장치 110 : 베이스판
111 : 가이드 홀 130 : 비자성 스토퍼
131 : 우레탄층 133 : 비금속(AL)층
150 : 자석유닛 151 : 영구자석
153 : 지지캡 170 : 접근/퇴거부재
171 : 액추에이터 171a : 에어실린더
171b : 피스톤 173 : 가동연결부
173a : 가동수평바 173b : 가동수직바
190 : 지지부재 191 : 연결바
193 : 탄성가압부 193a : 탄성캡
M : 오픈 마스크 MF : 마스크 프레임

Claims (5)

  1. 오픈 마스크(M)를 로딩하여 오픈 마스크 용접기(1) 내에서 언로딩 하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치(100)로서,
    베이스판(110)과,
    베이스판(110)의 가장자리 아래에 적어도 마주하게 배치되는 비자성 스토퍼(130)와,
    베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이에 배치되는 자석유닛(150)과,
    베이스판(110)에 설치되어 자석유닛(150)을 비자성 스토퍼(130)에 대해 접근/퇴거하는 접근/퇴거부재(170)와,
    비자성 스토퍼(130)를 베이스판(110)에 지지하는 지지부재(190)를 포함하는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    비자성 스토퍼(130)는 상층엔 우레탄층(131), 하층엔 비금속층(133)으로 구성되는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    자석유닛(150)은 소정 간격마다 배치되는 다수의 영구자석(151)과, 다수의 영구자석(151)을 지지하는 지지캡(153)을 포함하되,
    다수의 영구자석(151)의 하단은 지지캡(153)의 하단보다 약간 더 아래로 돌출(h)되게 배치되는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    접근/퇴거부재(170)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 액추에이터(171)와, 액추에이터(171)와 자석유닛(150) 사이를 연결하는 가동연결부(173)를 포함하며,
    액추에이터(171)는 베이스판(110)에 고정되는 실린더(171a)와, 실린더(171a)의 상측에서 업/다운하는 피스톤(171b)으로 구성되고,
    가동연결부(173)는 피스톤(171b)의 상단에 고정되는 가동수평바(173a)와, 가동수평바(173a)의 양측과 지지캡(153) 사이를 연결하는 가동수직바(173b)를 포함하되,
    가동수직바(173b)는 베이스판(110)에 형성된 가이드 홀(111)을 통해 업/다운 가이드 되는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    지지부재(190)는 베이스판(110)과 비자성 스토퍼(130) 사이를 연결하는 연결바(191)와, 베이스판(110)에 설치되어 연결바(191)를 탄성 가압하는 탄성가압부(193)를 포함하고,
    탄성가압부(193)는 베이스판(110)의 상면에 설치되는 탄성캡(193a)과, 탄성캡(193a)에 탑재되는 스프링(미도시)를 포함하고,
    연결바(191)는 베이스판(110)에 형성된 가이드 홀(미도시)을 통해 업/다운 가이드 되는 유기발광다이오드용 오픈 마스크 로딩장치.
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