KR101310336B1 - 대면적 글라스의 얼라인 구동장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 대면적 글라스의 얼라인 구동장치에 관한 것이다.
본 발명은 대면적 글라스를 로딩시키고, 로딩된 글라스를 클램핑하는 클램프 어셈블리와, 글라스의 얼라인 및 처짐을 방지하는 글라스 정렬부를 포함하는 로드부; 상기 글라스와, 글라스가 안착되는 마스크 및 마스크를 얼라인하는 마스크홀더부와, 마스크의 상부에 구비된 마그넷 및 쿨 플레이트가 인입되어 얼라인이 이루어지도록 진공상태의 로딩 스테이지부가 구성되어 증착 공정이 이루어지는 마스크 홀더; 상기 마스크 홀더를 회전시키는 메인 샤프트와, 마스크 및 마그넷이 글라스를 기준으로 얼라인되어 균일한 증착이 이루어지도록 메인 샤프트를 회전시키는 동력 제공부를 포함하는 구동부; 상기 마스크 홀더의 얼라인 정보를 획득하는 CCD 카메라; 상기 로드부와 CCD 카메라가 설치되며, 증착 공정을 위해 진공부와 대기부를 분할하는 분할 프레임이 구성된 지지부; 상기 메인 샤프트의 하단을 지지하며, 이 메인 샤프트의 좌우 회전에 대한 위치 보정을 수행하는 위치 보정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
본 발명은 대면적 글라스를 로딩시키고, 로딩된 글라스를 클램핑하는 클램프 어셈블리와, 글라스의 얼라인 및 처짐을 방지하는 글라스 정렬부를 포함하는 로드부; 상기 글라스와, 글라스가 안착되는 마스크 및 마스크를 얼라인하는 마스크홀더부와, 마스크의 상부에 구비된 마그넷 및 쿨 플레이트가 인입되어 얼라인이 이루어지도록 진공상태의 로딩 스테이지부가 구성되어 증착 공정이 이루어지는 마스크 홀더; 상기 마스크 홀더를 회전시키는 메인 샤프트와, 마스크 및 마그넷이 글라스를 기준으로 얼라인되어 균일한 증착이 이루어지도록 메인 샤프트를 회전시키는 동력 제공부를 포함하는 구동부; 상기 마스크 홀더의 얼라인 정보를 획득하는 CCD 카메라; 상기 로드부와 CCD 카메라가 설치되며, 증착 공정을 위해 진공부와 대기부를 분할하는 분할 프레임이 구성된 지지부; 상기 메인 샤프트의 하단을 지지하며, 이 메인 샤프트의 좌우 회전에 대한 위치 보정을 수행하는 위치 보정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
Description
본 발명은 대면적 글라스의 얼라인 구동장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 55인치 이상의 대면적 글라스를 기준으로 마스크를 얼라인 정렬이 이루어지며, 마스크와 얼라인 정렬된 글라스가 증착공정시 처짐 및 휨 현상을 자력에 의해 방지함으로써, 글라스와 마스트 간의 얼라인먼트 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 증착 공정시 마스크 홀더부가 회전하면서 증착이 이루어지도록 하여 글라스의 균일한 증착이 이루어지도록 한 대면적 글라스의 얼라인 구동장치에 관한 것이다.
대면적 유리 기판를 사용하는 경우 마스크와 글라스의 정렬이 정밀하지 못하게 되면 패턴이 불량하게 되고 이에 따라 전체 패널의 불량을 초래하며, 정밀도 저하가 심한 경우에는 유리 기판에 전혀 증착되지 않은 불량 발생하며, 이러한 불량은 정상적으로 증착된 정상 유리 기판에 비하여 증착 두께가 얇아 수명 단축이나 색순도 차이를 가지므로 수율을 저하시키는 주된 용인이 되고 있다.
특히, 마스크와 유리 기판간 얼라인먼트의 정밀도를 높이기 위하여, 마스크를 더욱 얇은 두께로 만들 경우, 대형화 추세에 따라 자체적으로 처짐현상 없이 상기 마스크의 평탄도를 유지하기가 점점 어려워진다.
그러므로, 마스크와 유리 기판 간 정렬의 정밀도를 향상시키기 위해 마스크에 인장력을 인가한 후 상기 인장력을 유지시킨 상태에서 마스크보다 더 큰 형태의 프레임에 마스크를 레이저 등에 의해 고정시킴으로써 마스크에 적절한 인장력을 인가하는 방식을 채택하고 있다.
그러나, 유리 기판이 두꺼운 두께를 가질 경우, 유리 기판 자체의 하중이 매우 증가하므로 유리 기판의 처짐현상은 더욱 큰 문제점으로 인식되고 있다.
즉, 종래 기술에 따른 얼라인 장치는 자력에만 의존하여 글라스를 잡아줌에 따라 대면적 글라스의 경우, 처짐이나, 휨 현상이 계속적으로 발생하게 되어 균일한 증착이 이루어지지 못하고, 글라스와 마스크를 별도로 구동하여 얼라인을 정렬함에 따라 얼라인 정렬에 대한 정밀도가 현저하게 저하되는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제1203171호 (2012.11.14.)
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 55인치 이상의 대면적 글라스를 기준으로 마스크를 얼라인 정렬이 이루어지며, 마스크와 얼라인 정렬된 글라스가 증착공정시 처짐 및 휨 현상을 자력에 의해 방지하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 얼라인 구동부가 장착되는 지지 플레이트에 적어도 2개 이상 복수 구성되는 CCD 카메라와, 지지패널의 진공 변형에 의한 CCD 카메라의 측정 오류를 최소화하는 카메라 프레임을 설치하고, 이 CCD 카메라를 통해 글라스와 마스크 간의 얼라인 정렬시 마스크를 미세 조절함에 따라 얼라인먼트 정밀도를 더욱 극대화할 수 있어 글라스, 마스크, 마그네틱의 정밀한 위치 제어가 이루어지도록 하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 글라스의 증착 공정시 내부가 진공인 상태의 마스크 홀더부가 회전하면서 증착이 이루어지도록 하여 글라스의 균일한 증착이 이루어지도록하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명은 대면적 글라스를 로딩시키고, 로딩된 글라스를 클램핑하는 클램프 어셈블리와, 글라스의 얼라인 및 처짐을 방지하는 글라스 정렬부를 포함하는 로드부; 상기 글라스와, 글라스가 안착되는 마스크와, 마스크를 얼라인하는 마스크홀더부와, 마스크의 상부에 구비된 마그넷 및 쿨 플레이트가 인입되어 글라스를 기준으로 회전하면서 얼라인이 이루어지도록 로딩 스테이지부가 구성되고, 상기 글라스의 증착 공정이 이루어지는 마스크 홀더; 상기 마스크 홀더를 회전시키는 메인 샤프트와, 마스크 및 마그넷이 글라스를 기준으로 얼라인되어 균일한 증착이 이루어지도록 메인 샤프트를 승하강 작동 및 회전 작동시키는 동력 제공부를 포함하는 구동부; 상기 마스크 홀더의 얼라인 정보를 획득하는 CCD 카메라; 상기 로드부와 CCD 카메라 및 글라스의 얼라인을 재설정하는 UVW 구동부가 설치되는 지지부; 상기 메인 샤프트의 하단을 지지하며, 이 메인 샤프트의 좌우 회전에 대한 위치 보정을 수행하는 위치 보정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 위치 보정수단은 상기 메인 샤프트의 하단을 감싸며, 내부가 진공 상태로 구성되어 수축 및 신장 작동에 의해 메인 샤프트의 위치를 보정하는 벨로우즈 부재; 상기 벨로우즈 부재의 하단에 결합되어 마스크 홀더의 상부에 고정되는 고정캡; 상기 고정캡의 내주에 구성되어 메인 샤프트의 회전 피로도를 저감시키는 슬립부재; 상기 벨로우즈 부재의 상측 및 하측 단부와 고정캡의 내부에 구비되어 기밀력을 향상시키는 오링; 및 상기 메인 샤프트의 하단 외주면에 형성되며, 슬립부재와 긴밀한 접촉이 이루어지도록 삽입되는 슬립 플랜지를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 벨로우즈 부재의 상측 및 하측 단부에는 오링이 삽입되는 결합 플랜지가 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 동력 제공부는 마스크, 마그넷 및 쿨 플레이트가 상,하 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 메인 샤프트의 상단에 구성된 제1구동모터와, 이 제1구동모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 볼 스크류와, 제1구동모터의 회전력을 볼 스크류로 전달하는 제1구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 동력 제공부는 마스크 홀더의 상,하 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 소정의 회전력을 제공하는 제2구동모터와, 이 제2구동모터와 연결되어 제2구동모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 볼 스크류 및 제2구동모터의 회전력을 전달하는 제2구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 동력 제공부는 메인샤프트와 체결된 마스크홀더의 회전이 이루어질 수 있도록 소정의 회전력을 제공하는 제3구동모터와, 이 제3구동모터와 연결되어 제3구동모터에 의해 회전하는 메인샤프트와, 제3구동모터의 회전력을 전달하는 제3구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 클램프 어셈블리는 로봇핸드를 통해 인입된 글라스의 상부를 지지하며, 소정의 탄성력을 가지는 탄성 지지부가 구성된 이동 클램핑; 상기 글라스의 하부 4면 사이드를 지지하는 고정 클램핑; 상기 이동 클램핑이 설치되는 클램프 고정패널; 및 상기 클램프 고정패널이 승하강 작동이 가능하도록 결합되며, 상기 글라스 정렬부에 의해 전진 및 후진하고, 하단에 고정 클램핑이 설치되는 글라스 지지 패널; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 글라스 정렬부는 상기 클램프 어셈블리의 상부에 결합되어 이 클램프 어셈블리의 승하강 작동이 이루어지도록 하는 클램핑 승하강 구동부; 상기 클램핑 승하강 구동부의 일면에 구성되어 클램프 어셈블리가 링크 작동에 의해 전진 및 후진 작동이 이루어지도록 소정의 동력을 제공하는 링크 구동축; 상기 링크 구동축과 연결되어 이 링크 구동축의 동력을 전달하는 링크 회전부; 상기 링크 회전부의 일단에 결합되어 링크 회전부의 작동을 지지하는 로딩 가이드부; 및 상기 클램프 어셈블리 및 로딩 가이드부와 회전 가능하게 결합되며, 상기 링크 회전부의 작동에 따라 클램프 어셈블리를 전진 및 후진시키는 링크 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 로딩 가이드부는 상기 링크 회전부가 연결 구성된 링크 가이드 패널이 구성되며, 이 링크 가이드 패널이 링크 회전부의 작동에 따라 슬라이딩 작동이 이루어지도록 양측에 슬라이딩부가 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 마스크 홀더는 CCD 카메라를 통해 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 렌즈 관통홀이 형성되고, 위치 보정수단이 설치되는 마스크 홀더 상부패널이 구비되는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 마스크홀더부에는 마스크의 상부에 안착되는 글라스가 처짐 또는 휨을 방지하기 위해 소정의 메쉬로 이루어지며, 자성체로 이루어진 그물망이 더 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 지지부는 상기 마스크 홀더의 얼라인이 정밀하게 이루어질 수 있도록 구동부와 로딩부 및 CCD 카메라가 설치되는 지지패널; 상기 지지패널이 변형을 최소화하고, 얼라인 위치 정보를 획득하는 CCD 카메라를 지지패널로부터 소정 높이만큼 이격되게 설치하는 카메라 프레임; 및 상기 지지패널에 구성되어 CCD 카메라가 삽입되는 CCD 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 대면적 글라스의 얼라인 구동방법에 있어서, (a) 로봇핸드를 통해 대면적 글라스를 마스크 홀더의 내부로 인입시키고, 글라스의 인입 유무를 CCD 카메라를 통해 확인하는 글라스 로딩 단계; (b) 상기 글라스 로딩 완료 후, 상기 글라스를 센터링하여 프리 얼라인이 이루어지도록 하고, 증착 공정을 위해 글라스 스트레치 작업을 이루어지도록 글라스를 클램프 어셈블리에 클램핑하는 글라스 클램핑 단계; (c) 상기 글라스 클램핑 단계 이후, 글라스를 기준으로 마스크 홀더의 얼라인이 이루어질 수 있도록 마스크와 글라스를 접촉시킨 후, CCD 카메라를 통해 오차 정도에 대한 정보를 획득하고, 획득한 정보를 바탕으로 마스크 홀더를 글라스 기준으로 얼라인하는 마스크 얼라인 단계; (d) 상기 글라스를 기준으로 마스크의 얼라인 완료시, 마그넷, 쿨 플레이트, 글라스, 마스크가 순차적으로 배열 및 적층되도록 마스크 홀더를 승하강 또는 회전시켜 글라스를 기준으로 얼라인이 이루어지도록 하는 마스크 홀더 얼라인 단계; (e) 상기 (d) 단계 이후, 마스크 홀더를 회전시켜 균일한 증착이 이루어지도록 하는 대면전 글라스 증착단계; (f) 상기 (d) 단계 이후, 마스크 홀더에 순차적으로 적층 구성된 마그넷, 쿨 플레이트, 글라스 및 마스크를 분해하는 분리단계; 및 (g) 상기 (f) 단계 이후, 증착이 완료된 대면적 글라스를 로봇핸드에 의해 언로딩 하는 언로딩 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동방법을 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 글라스의 얼라인이 정확하지 않은 경우, CCD 카메라를 통해 글라스의 얼라인 정보를 재획득하여 마스크와 글라스 간의 얼라인이 이루어지도록 하는 상기 (c) 단계를 재실행하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동방법을 제공한다.
이와 같은 본 발명에 따르면, 55인치 이상의 대면적 글라스를 기준으로 마스크를 얼라인 정렬이 이루어지며, 마스크와 얼라인 정렬된 글라스가 증착공정시 처짐 및 휨 현상을 자력에 의해 방지하여 균일한 증착이 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 카메라 프레임에 의해 지지패널의 진공 변형에 의한 CCD 카메라의 측정 오류를 최소화할 수 있고, CCD 카메라를 통해 글라스와 마스크 간의 얼라인 정렬시 마스크를 미세 조절함에 따라 얼라인먼트 정밀도를 더욱 극대화할 수 있어 글라스, 마스크, 마그네틱의 정밀한 위치 제어가 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 글라스의 증착 공정시 내부가 진공인 상태의 마스크 홀더부가 회전하면서 증착이 이루어지도록 하여 글라스의 균일한 증착이 가능한 효과가 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 도면,
도 3은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 평면도,
도 4 내지 도 6은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 로드부의 정면도, 평면도 및 측면도,
도 7 내지 도 9는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 마스크 홀더부가 구성된 마스크 홀더를 개략적으로 나타낸 도면,
도 10 및 도 11은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 위치 보정수단을 개략적으로 나타낸 단면도,
도 12는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 지지 플레이트를 나타낸 사시도,
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 CCD 프레임을 개략적으로 나타낸 도면
도 14는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 작동과정을 나타낸 작동 순서도이다.
도 3은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 평면도,
도 4 내지 도 6은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 로드부의 정면도, 평면도 및 측면도,
도 7 내지 도 9는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 마스크 홀더부가 구성된 마스크 홀더를 개략적으로 나타낸 도면,
도 10 및 도 11은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 위치 보정수단을 개략적으로 나타낸 단면도,
도 12는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 지지 플레이트를 나타낸 사시도,
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 CCD 프레임을 개략적으로 나타낸 도면
도 14는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 작동과정을 나타낸 작동 순서도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 도면, 도 3은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 평면도, 도 4 내지 도 6은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 로드부의 정면도, 평면도 및 측면도, 도 7 내지 도 9는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 마스크 홀더부가 구성된 마스크 홀더를 개략적으로 나타낸 도면, 도 10 및 도 11은 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 위치 보정수단을 개략적으로 나타낸 단면도, 도 12는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치를 개략적으로 나타낸 지지 플레이트를 나타낸 사시도, 도 13a 및 도 13b는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 CCD 프레임을 개략적으로 나타낸 도면, 도 14는 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치의 작동과정을 나타낸 작동 순서도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 대면적 글라스의 얼라인 구동장치는 대면적 글라스(10)를 로딩시키고, 이 글라스(10)의 얼라인을 정렬하여 고정시키는 로드부(102)와, 상부에 구성된 동력 제공부(140)에 의해 승하강하는 메인 샤프트(110)가 구성되며, 이 메인 샤프트(110)와 연결되어 글라스(10)의 증착이 이루어지도록 마스크 홀더(106)를 승하강 및 회전시키는 구동부(104)와, 글라스(10), 마스크(20), 마그넷(30) 및 쿨 플레이트(40)가 수용되며, 증착 공정이 이루어지도록 진공 챔버 내부에 구성된 로딩 스테이지부(430)에서 각각의 구성요소들의 얼라인 정렬이 이루어지도록 하는 마스크 홀더(106), 상부에 구동부(104) 및 로드부(102)가 설치되며, 마스크 홀더(106)의 얼라인 정보를 획득하는 CCD 카메라(310)와 클램핑 승하강 구동부()가 구비되는 지지부(105), 구동부(104)의 하단에 구성되어 메인 샤프트(110)의 좌우 회전에 대한 위치 보정을 수행하는 위치 보정수단(107)을 포함하여 구성된다.
구동부(104)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 증착 공정을 위해 마스크 홀더(106)를 회전시켜 균일한 증착이 이루어지도록 하는 메인 샤프트(110)와, 이 메인 샤프트(110)의 상부에 구성되어 회전동력을 제공하는 동력 제공부(140)를 포함하여 구성된다.
메인 샤프트(110)는 상부에 동력 제공부(140)와 연결되며, 지지부(105)를 관통하여 글라스(10), 마스크(20), 쿨 플레이트(40) 및 마그넷(30)이 순차적으로 배열되도록 적층되게 내장되는 마스크 홀더(106)와 결합되어 글라스(10)를 중심으로 마스크(20), 마그넷(30) 및 쿨 플레이트(40)의 얼라인을 정밀하게 정렬하여 균일한 증착이 이루어지도록 마스크 홀더(106)를 승하강 또는 회전시키는 구성요소이다.
이러한 메인 샤프트(110)에는 그 하단에 위치 보정수단(107)이 구성되어 회전시 발생하는 편차를 보정받도록 구성된다.
여기서, 위치 보정수단(107)은 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 메인 샤프트(110)의 하단 외주면을 감싸는 벨로우즈 부재(510)와, 이 벨로우즈 부재(510)의 하단에 결합되어 위치 보정수단(107)을 마스크 홀더(106)의 상단에 고정시키는 고정캡(520) 및 고정캡(520)의 내부에 구성되어 메인 샤프트(110)의 회전 피로도를 저감시키는 슬립부재(530)를 포함하여 구성된다.
벨로우즈 부재(510)를 경계로 하여 진공 상태로 구성되며, 이러한 벨로우즈 부재(510)는 진공상태를 유지하는 마스크 홀더(106)의 로딩 스테이지부(430)와 동력 제공부(140)가 구성된 구동부를 연결하되, 진공부와 대기부를 분리하여 증착 공정의 효율을 더욱 극대화하는 한편, 수축 및 신장 작동이 이루어지면서 메인 샤프트(110)의 회전시 발생하는 회전편차를 보정하는 구성요소이다.
또한, 벨로우즈 부재(510)의 상측 및 하측에는 각각 지지부(105)의 지지패널(610)과, 마스크 홀더(106)의 마스크 홀더 상부패널(412)에 결합되는 결합 플랜지(512)가 형성되며, 이 결합 플랜지(512)에는 벨로우즈 부재(510)의 진공상태를 유지할 수 있도록 기밀부재(540)인 오링이 구비된다.
고정캡(520)은 메인 샤프트(110)의 회전을 지지하기 위해 벨로우즈 부재(510)의 하단에 구성된 결합 플랜지(512)와 체결 및 고정되며, 중앙에 메인 샤프트(110)가 관통하여 이 메인 샤프트(110)의 하단 외주면을 감싸도록 형성된다.
이러한 고정캡(520)은 내주면에 메인 샤프트(110)의 회전 피로도를 저감할 수 있도록 마찰계수가 적은 수지재로 구성된 슬립부재(530)가 내장되는 내장홈(522)이 형성된다.
여기서, 메인 샤프트(110)에는 슬립부재(530)에 삽입되어 긴밀한 접촉이 이루어지며, 기밀부재(540)가 삽입되는 슬립 플랜지(550)가 형성됨으로써, 슬립부재(530)를 통해 회전 피로도를 최소화할 수 있게 된다.
한편, 구동부(104)에 구성되는 동력 제공부(140)는 메인 샤프트(110)의 승하강 작동 및 회전 작동이 이루어지도록 소정의 동력을 제공하는 구성요소이다.
이러한 동력 제공부(140)는 마스크(20), 마그넷(30) 및 쿨 플레이트(40)가 상,하 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 메인 샤프트(110)의 상단에 구성된 제1구동모터(146)와, 이 제1구동모터(146)의 회전력을 직선운동으로 변환하는 볼 스크류(145)와, 제1구동모터(146)의 회전력을 볼 스크류(145)로 전달하는 제1구동벨트(141)로 구성된다.
즉, 본 발명의 동력 제공부(140)는 제1구동모터(146)의 회전력을 볼 스크류(145)에서 직선운동으로 변환하여 메인 샤프트(110)와 결합되는 마스크(20), 마그넷(30) 및 쿨 플레이트(40)를 승하강시켜 상,하 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 구성되는 것이다.
또한, 본 발명의 동력 제공부(140)는 마스크 홀더(106)의 상,하 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 소정의 회전력을 제공하는 메인 샤프트(110)를 회전시키는 제2구동모터(143)와, 이 제2구동모터(143)와 연결되어 제2구동모터(143)의 회전력을 직선운동으로 변환하는 볼 스크류(145) 및 제2구동모터(143)의 회전력을 전달하는 제2구동벨트(148)가 구성된다.
또한, 동력 제공부(140)는 메인 샤프트(110)와 체결되는 마스크 홀더(106)의 회전이 이루어질 수 있도록 소정의 회전력을 제공하는 제3구동모터(149)와, 이 제3구동모터(149)와 연결되어 제3구동모터(149)에 의해 메인 샤프트(110)가 회전하며, 제3구동모터(149)의 회전력을 메인 샤프트(110)측으로 전달하는 제3구동벨트(147)가 구성된다.
즉, 본 발명의 동력 제공부(140)는 제1구동모터(146), 제1구동벨트(141) 및 볼 스크류(145)를 통해 마스크(20), 마그넷(30) 및 쿨 플레이트(40)의 승하강 운동이 이루어지도록 하며, 제2구동모터(143)와, 제2구동벨트(148) 및 볼 스크류(145)를 통해 마스크 홀더(106)의 상,하 얼라인 정렬이 이루어지도록 구성되고, 제3구동모터(147) 및 제3구동벨트(149)에 의해 메인 샤프트(110)를 회전시켜 마스크 홀더(106)의 회전이 이루어지도록 구성되는 것이다.
로드부(102)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 글라스(10)를 중심으로 마스크(20)의 얼라인이 이루어지도록 대면적 글라스(10)의 얼라인을 정렬시키고, 이 글라스(10)의 처침 및 휨을 방지할 수 있도록 글라스(10)를 평평하게 잡아주는 클램프 어셈블리(240)가 구성된다.
또한, 로드부(102)는 글라스(10)를 얼라인 구동장치에 인입하기 위한 글라스 이송용 로봇핸드가 구성되어 있으며, 이 로봇핸드를 통해 인입된 글라스는 마스크 홀더(106)에 인입되면서 클램프 어셈블리(240)에 의해 고정되고, 이와 동시에 글라스(10)의 얼라인을 정렬하기 위한 글라스 정렬부가 구성된다.
여기서, 클램프 어셈블리(240)는 로봇핸드를 통해 인입된 글라스의 둘레면의 상부면 및 하부면을 각각 지지하는 이동 클램핑(243) 및 고정 클램핑(245)과, 이 이동 및 고정 클램핑(243, 245)의 승하강 작동이 이루어지도록 하는 클램프 승하강패널(244)이 구성된다.
아울러, 이동 클램핑(243)은 글라스(10)의 상부면을 지지하며, 소정의 탄성력을 가지는 탄성 지지부(241)가 구성되어 글라스(10)의 표면이 지지력에 의해 손상되는 것을 방지하도록 구성된다.
또한, 이동 클램핑(243)은 후술할 글라스 정렬부에 구성된 링크 구동부(260)와 회전 가능하게 결합되는 클램프 고정패널(242)에 설치되어 승하강 작동이 이루어지며, 이동 클램핑(243)의 하부에 구성되어 글라스의 하부면을 지지하는 고정 클램핑(245)은 글라스 지지 패널(244)의 하측 단부에 고정 설치된다.
여기서, 글라스 지지 패널(244)에는 클램프 고정패널(242)이 클램핑 승하강 구동부(210)에 의해 승하강 작동이 이루어지도록 클램프 승하강부(244a)가 형성되며, 이 클램프 승하강부(244a)를 통해 클램프 고정패널(242)이 결합이 이루어진다.
이와 같은 클램프 어셈블리(240)의 이동 클램핑(243) 및 고정 클램핑(245)은 글라스(10)의 4면에 위치하도록 소정 간격 이격되게 구성되되, 적어도 2개 이상 복수 구성됨이 바람직하나, 이에 한정하는 것은 아니다.
또한, 로드부(102)에 구성된 글라스 정렬부는 클램프 어셈블리(240)의 승하강 및 회전 작동을 위해 클램프 어셈블리(240)의 상부에 결합되는 클램핑 승하강 구동부(210), 클램핑 승하강 구동부(210)의 일면에 구성되어 클램프 어셈블리(240)가 링크 작동에 의해 회전이 이루어지도록 소정의 동력을 제공하는 링크 구동축(220), 링크 구동축(220)과 연결되어 이 링크 구동축(220)의 동력을 전달하는 링크 회전부(230), 링크 회전부(230)의 일단에 결합되어 링크 회전부(230)의 작동을 지지하는 로딩 가이드부(250) 및 링크 회전부(230)의 작동에 따라 클램프 어셈블리(240)를 직진 또는 후진시키는 링크 구동부(260)를 포함하여 구성된다.
이러한 글라스 정렬부는 글라스의 프리 얼라인(Pre-align)이 이루어질 수 있도록 클램핑 승하강 구동부(210)의 실린더 작동에 의해 클램프 고정패널(242)을 승하강시켜 글라스(10)를 클램프 어셈블리(240)에 클램핑하고, 링크 회전부(230)의 작동에 따라 링크 구동부(260)가 회전하면서 클램프 어셈블리(240)를 전진 및 후진시키면서 글라스의 얼라인을 정렬시키도록 구성된다.
여기서, 로딩 가이드부(250)는 링크 회전부(230)의 링크 작동에 따라 슬라이딩 이동되도록 양측에 슬라이딩부가 구성된 링크 가이드 패널(252)이 구성되며, 이 링크 가이드 패널(252)은 링크 구동부(260)와 연결 구성되고, 슬라이딩 작동이 이루어지면서 링크 구동부(260)의 전진 및 후진이 이루어지도록 구성된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 글라스 정렬부는 클램프 어셈블리(240)에 클램핑된 글라스(10)의 프리 얼라인을 정렬하기 위하여 링크 구동축(220)으로부터 전달되는 회전력을 링크 회전부(230)에서 전달받아 소정 각도만큼 링크 작동이 이루어지면서, 링크 가이드 패널(252)을 슬라이딩 작동시키면, 이 링크 가이드 패널(252)의 단부에 구성된 링크 구동부(260)가 링크 가이드 패널(252)을 따라 작동하여 클램프 어셈블리(240)를 전진 또는 후진 작동이 이루어지도록 하여 이 클램프 어셈블리(240)에 클램핑된 글라스(10)의 프리 얼라인 정렬이 이루어지도록 한다.
한편, 본 발명은 마스크 홀더(106) 즉, 글라스(10), 마스크(20), 쿨 플레이트(40) 및 마그넷(30)의 얼라인을 정밀하게 정렬시키기 위해 복수의 CCD 카메라(310)와 UVW 구동부(350)가 구성된다.
CCD 카메라(310)는 후술할 지지부(105)에 구성된 카메라 프레임(620)에 설치되어 글라스(10)와 마스크(20)를 얼라인하기 위해 얼라인 위치 정보를 획득하는 구성요소이다.
이러한 CCD 카메라(310)는 얼라인 위치 정보 뿐만 아니라, 글라스(10)의 처짐 또는 휨 정도를 파악할 수 있도록 구성된다.
즉, CCD 카메라(310)에서 획득한 얼라인 위치 정보의 변화량에 따라 글라스(10)의 처짐 및 휨 정도를 파악하고, 파악된 결과값을 통해 로딩부(102)에서는 글라스 정렬부와 UVW 구동부(350)를 통해 글라스(10)의 스트레칭 작업 다시말해, 글라스를 평펑하게 잡아줄 수 있도록 글라스(10)의 얼라인을 재설정하도록 한다.
마스크 홀더(106)는 내부에 글라스(10)가 클램핑된 클램핑 어셈블리(240)와, 마스크(20), 쿨 플레이트(40) 및 마그넷(30)이 인입되어 이 각 구성요소들의 얼라인 정렬이 이루어지며, 진공 상태를 유지하는 로딩 스테이지부(430)가 구성된다.
이러한 마스크 홀더(106)는 상부에 메인 샤프트(110)의 하단이 관통하며, 위치 보정수단(107)의 고정캡(520)이 결합되는 마스크 홀더 상부패널(412)이 구성된다.
마스크 홀더 상부패널(412)은 메인 샤프트(110)가 삽입되는 축 삽입홀(416)이 형성되며, CCD 카메라(310)를 통해 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 렌즈 관통홀(414)이 형성된다.
또한, 마스크 홀더(106)의 하부에는 글라스(10)가 안착되는 마스크(20)를 지지하며, 이 마스크(20)의 얼라인을 정렬하고, 증착 공정이 이루어지도록 유기물질이 분사되는 마스크홀더부(410)가 구성된다.
여기서, 마스크홀더부(410)에는 마스크(20)의 상부에 안착되는 글라스(10)가 처짐 또는 휨이 발생하는 경우, 이를 방지하기 위해 소정의 메쉬로 이루어지며, 자성체로 이루어진 그물망(420)이 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
이와 같은 마스크 홀더(106)는 구동부(104)의 메인 샤프트(110)와 동력 제공부(140)에 의해 회전하고, 로딩부(102)에 클램핑된 글라스(10)를 중심으로 마그넷(30), 마스크(20)를 얼라인이 이루어지도록 구성된다.
즉, 마스크 홀더(106)의 마그넷(30), 마스크(20)는 글라스(10)를 중심으로 얼라인이 이루어질 수 있도록 구동부(104)의 동력 제공부(140)에 포함된 제2구동모터(143)와 제2구동벨트(148) 및 복수의 실린더를 통해 승하강 작동이 이루어지면서 글라스(10)와의 얼라인이 이루어지게 된다.
지지부(105)는 마스크 홀더(106)의 얼라인먼트가 정밀하게 이루어질 수 있도록 각 구성요소들이 설치되는 지지패널(610)이 구성된다.
지지패널(610)에는 증착 공정을 위해 진공부와 대기부를 분할하며, 대기부에 CCD 카메라(310)가 설치되도록 카메라 프레임(620)이 설치된다.
여기서, 카메라 프레임(620)은 고정 프레임(622)을 통해 지지패널(610)로부터 소정의 높이만큼 이격되게 설치됨으로써, 진공챔버에 의해 변형되는 변형량을 최소화하여 CCD 카메라(310)에서 획득하는 영상정보의 오류를 최소화할 수 있도록 구성된다.
또한, 지지패널(610)에는 진공부에 메인 샤프트(110)가 관통하는 축 지지홀(616)과, 클램핑 승하강 구동부(210)와 링크 구동축(220)이 각각 삽입 설치될 수 있도록 실린더 지지홀(612)과, 링크 지지홀(614)이 각각 형성되며, CCD 카메라(310)가 내장되는 CCD 브라켓(640)이 설치된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 얼라인 구동장치는 도 14에 도시된 바와 같이, 55인치 이상의 대면적 글라스(10)를 기준으로 마스크(20)를 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 로봇핸드를 통해 55인치 이상의 대면적 글라스(10)를 마스크 홀더(106)의 내부로 인입시키는 글라스 로딩 단계(S110)를 수행한다.
여기서, 글라스 로딩 단계(S110)는 글라스(10)의 인입 유무를 CCD 카메라(310)를 통해 확인하여 로봇핸드를 제어하도록 한다.
이후, 글라스(10)의 인입 상태가 확인되면, 글라스(10)와 클램프 어셈블리(240) 간의 프리 얼라인이 이루어지도록 하며, 이와 동시에 증착 공정을 위해 글라스(10)를 클램프 어셈블리(240)에 클램핑하고, 글라스(10)의 스트레치 작업이 이루어지는 글라스 클램핑 단계(S120)를 수행한다.
이와 같은 글라스 프리 얼라인 단계(S120)는 클램핑 고정패널(242)이 언클램핑된 상태에서 클램프 어셈블리(240)의 고정 클램핑(245)이 인입된 글라스(10)와 접촉하거나, 이 글라스(10)와 최대 근접거리까지 전진 작동하여 글라스(10)를 센터링하여 글라스(10)의 프리 얼라인이 이루어지도록 한다.
또한, 글라스(10)의 프리 얼라인이 완료된 이후에는 글라스(10)를 클램프 어셈블리(240)에 클램핑하고, 글라스(10)가 클램핑된 클램프 어셈블리(240)를 후방으로 후진하면서 글라스(10)의 스트레치 작업이 이루어지도록 한다.
즉, 글라스 프리 얼라인 단계(S120)는 글라스(10)의 얼라인 정렬이 완료되면, 클램프 어셈블리(240)가 하향 이동하면서 글라스(10)를 클램핑하며, 이 글라스(10)의 처짐을 방지하기 위해 글라스 스트레치 작업을 수행한다.
또한, 글라스(10)를 기준으로 마스크 홀더(106)의 얼라인이 정밀하게 이루어질 수 있도록 마스크(20)를 상향 이동시켜 글라스(10)와 접촉시킨 후, CCD 카메라(310)로부터 오차 정보를 획득하고, 이 정보를 기준으로 마스크 홀더(106)를 글라스 기준으로 정밀한 얼라인이 이루어지도록 한다.(S130),
이후, 마스크(20)와 글라스(10) 간의 얼라인 상태를 확인한다.(S140)
이때, 글라스(10)의 얼라인이 정확하지 않은 경우, CCD 카메라(310)를 통해 글라스(10)의 얼라인 정보를 재획득하여 전술한 S130단계를 재수행한다.
또한, 전술한 S130 및 S140 단계를 통해 글라스(10)를 기준으로 마스크(20)의 정밀한 얼라인을 통해 접촉이 완료되면, 마그넷(30), 쿨 플레이트(40), 글라스(10) 및 마스크(20)가 순차적으로 배열 및 적층되도록 마스크 홀더(106)를 승하강 및 회전시켜 글라스(10)를 기준으로 얼라인이 이루어지도록 하는 마스크 홀더 얼라인 단계(S150)를 수행한다.
이후, CCD 카메라(310)를 통해 얼라인 체크가 완료되었으면, 마스크 홀더(106)를 회전시키면서 마스크홀더부(410)의 하부에서 유기물질을 분사하여 균일한 증착이 이루어지도록 하는 대면전 글라스 증착단계(S160)를 수행한다.
증착단계(S160) 완료 후, 마스크 홀더(106)에 순차적으로 적층 구성된 마그넷(30), 쿨 플레이트(40), 글라스(10) 및 마스크(20)를 분해하는 분리단계(S170)를 수행한다.
마스크 홀더(106)의 분해가 완료되면, 증착이 완료된 대면적 글라스(10)를 로봇핸드에 의해 언로딩 하는 언로딩 단계(S180)를 수행한다.
이와 같이 구성된 본 발명은 55인치 이상의 대면적 글라스를 기준으로 마스크를 얼라인 정렬이 이루어지며, 마스크와 얼라인 정렬된 글라스가 증착공정시 처짐 및 휨 현상을 자력에 의해 방지하여 균일한 증착이 가능하고, 카메라 프레임에 의해 CCD 카메라의 측정 오류를 최소화할 수 있고, CCD 카메라를 통해 글라스와 마스크 간의 얼라인 정렬시 마스크를 미세 조절함에 따라 얼라인먼트 정밀도를 더욱 극대화할 수 있어 글라스, 마스크, 마그네틱의 정밀한 위치 제어가 가능할 뿐만 아니라, 글라스의 증착 공정시 내부가 진공인 상태의 마스크 홀더부가 회전하면서 증착이 이루어지도록 하여 글라스의 균일한 증착이 가능한 발명이다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 글라스 20: 마스크
30: 마그넷 40: 쿨 플레이트
102: 로더부 104: 구동부
105: 지지부 106: 마스크 홀더
107: 위치 보정수단 110: 메인 샤프트
140: 동력 제공부 141: 제1구동벨트
143: 제2구동벨트 146: 제1구동모터
147: 제3구동모터 148: 제2구동벨트
149: 제3구동모터 210: 클램핑 승하강 구동부
220; 링크 구동축 230: 링크 회전부
240: 클램프 어셈블리 250: 로딩 가이드부
260: 링크 구동부 310: CCD 카메라
410: 마스크홀더부 412: 마스크 홀더 상부패널
430: 로딩 스테이지부 510: 벨로우즈 부재
520: 고정캡 530: 슬립부재
540: 기밀부재 550: 슬립 플랜지
610: 지지패널 620: 카메라 프레임
622: 고정 프레임 640: CCD 브라켓
30: 마그넷 40: 쿨 플레이트
102: 로더부 104: 구동부
105: 지지부 106: 마스크 홀더
107: 위치 보정수단 110: 메인 샤프트
140: 동력 제공부 141: 제1구동벨트
143: 제2구동벨트 146: 제1구동모터
147: 제3구동모터 148: 제2구동벨트
149: 제3구동모터 210: 클램핑 승하강 구동부
220; 링크 구동축 230: 링크 회전부
240: 클램프 어셈블리 250: 로딩 가이드부
260: 링크 구동부 310: CCD 카메라
410: 마스크홀더부 412: 마스크 홀더 상부패널
430: 로딩 스테이지부 510: 벨로우즈 부재
520: 고정캡 530: 슬립부재
540: 기밀부재 550: 슬립 플랜지
610: 지지패널 620: 카메라 프레임
622: 고정 프레임 640: CCD 브라켓
Claims (14)
- 대면적 글라스를 로딩시키고, 로딩된 글라스를 클램핑하는 클램프 어셈블리와, 글라스의 얼라인 및 처짐을 방지하는 글라스 정렬부를 포함하는 로드부;
상기 글라스와, 글라스가 안착되는 마스크와, 마스크를 얼라인하는 마스크홀더부와, 마스크의 상부에 구비된 마그넷 및 쿨 플레이트가 인입되어 글라스를 기준으로 회전하면서 얼라인이 이루어지도록 로딩 스테이지부가 구성되고, 상기 글라스의 증착 공정이 이루어지는 마스크 홀더;
상기 마스크 홀더를 회전시키는 메인 샤프트와, 마스크 및 마그넷이 글라스를 기준으로 얼라인되어 균일한 증착이 이루어지도록 메인 샤프트를 승하강 작동 및 회전 작동시키는 동력 제공부를 포함하는 구동부;
상기 마스크 홀더의 얼라인 정보를 획득하는 CCD 카메라;
상기 로드부와 CCD 카메라 및 상기 글라스의 얼라인을 재설정하는 UVW 구동부가 설치되는 지지부;
상기 메인 샤프트의 하단을 지지하며, 이 메인 샤프트의 좌우 회전에 대한 위치 보정을 수행하는 위치 보정수단
을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 위치 보정수단은
상기 메인 샤프트의 하단을 감싸며, 내부가 진공 상태로 구성되어 수축 및 신장 작동에 의해 메인 샤프트의 위치를 보정하는 벨로우즈 부재;
상기 벨로우즈 부재의 하단에 결합되어 마스크 홀더의 상부에 고정되는 고정캡;
상기 고정캡의 내주에 구성되어 메인 샤프트의 회전 피로도를 저감시키는 슬립부재;
상기 벨로우즈 부재의 상측 및 하측 단부와 고정캡의 내부에 구비되어 기밀력을 향상시키는 오링; 및
상기 메인 샤프트의 하단 외주면에 형성되며, 슬립부재와 긴밀한 접촉이 이루어지도록 삽입되는 슬립 플랜지
를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 2 항에 있어서,
상기 벨로우즈 부재의 상측 및 하측 단부에는 오링이 삽입되는 결합 플랜지가 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 동력 제공부는 마스크, 마그넷 및 쿨 플레이트가 상,하 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 메인 샤프트의 상단에 구성된 제1구동모터와, 이 제1구동모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 볼 스크류와, 제1구동모터의 회전력을 볼 스크류로 전달하는 제1구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 동력 제공부는 마스크 홀더의 상,하 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 소정의 회전력을 제공하는 제2구동모터와, 이 제2구동모터와 연결되어 제2구동모터의 회전력을 직선운동으로 변환하는 볼 스크류 및 제2구동모터의 회전력을 전달하는 제2구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 동력 제공부는
상기 메인 샤프트와 체결된 마스크홀더의 회전이 이루어질 수 있도록 소정의 회전력을 제공하는 제3구동모터와, 이 제3구동모터의 회전력을 메인 샤프트측으로 전달하는 제3구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 클램프 어셈블리는
로봇핸드를 통해 인입된 글라스의 상부를 지지하며, 소정의 탄성력을 가지는 탄성 지지부가 구성된 이동 클램핑;
상기 글라스의 하부 4면 사이드를 지지하는 고정 클램핑;
상기 이동 클램핑이 설치되는 클램프 고정패널; 및
상기 클램프 고정패널이 승하강 작동이 가능하도록 결합되며, 상기 글라스 정렬부에 의해 전진 및 후진하고, 하단에 고정 클램핑이 설치되는 글라스 지지 패널;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 글라스 정렬부는
상기 클램프 어셈블리의 상부에 결합되어 이 클램프 어셈블리의 승하강 작동이 이루어지도록 하는 클램핑 승하강 구동부;
상기 클램핑 승하강 구동부의 일면에 구성되어 클램프 어셈블리가 링크 작동에 의해 전진 및 후진 작동이 이루어지도록 소정의 동력을 제공하는 링크 구동축;
상기 링크 구동축과 연결되어 이 링크 구동축의 동력을 전달하는 링크 회전부;
상기 링크 회전부의 일단에 결합되어 링크 회전부의 작동을 지지하는 로딩 가이드부; 및
상기 클램프 어셈블리 및 로딩 가이드부와 회전 가능하게 결합되며, 상기 링크 회전부의 작동에 따라 클램프 어셈블리를 전진 및 후진시키는 링크 구동부
를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 8 항에 있어서,
상기 로딩 가이드부는 상기 링크 회전부가 연결 구성된 링크 가이드 패널이 구성되며, 이 링크 가이드 패널이 링크 회전부의 작동에 따라 슬라이딩 작동이 이루어지도록 양측에 슬라이딩부가 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 마스크 홀더는 CCD 카메라를 통해 얼라인 정렬이 이루어질 수 있도록 렌즈 관통홀이 형성되고, 위치 보정수단이 설치되는 마스크 홀더 상부패널이 구비되는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 마스크홀더부에는 마스크의 상부에 안착되는 글라스가 처짐 또는 휨을 방지하기 위해 소정의 메쉬로 이루어지며, 자성체로 이루어진 그물망이 더 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 지지부는
상기 마스크 홀더의 얼라인이 정밀하게 이루어질 수 있도록 구동부와 로딩부 및 CCD 카메라가 설치되는 지지패널;
상기 지지패널이 변형을 최소화하고, 얼라인 위치 정보를 획득하는 CCD 카메라를 지지패널로부터 소정 높이만큼 이격되게 설치하는 카메라 프레임; 및
상기 지지패널에 구성되어 CCD 카메라가 삽입되는 CCD 브라켓
을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동장치.
- 대면적 글라스의 얼라인 구동방법에 있어서,
(a) 로봇핸드를 통해 대면적 글라스를 마스크 홀더의 내부로 인입시키고, 글라스의 인입 유무를 CCD 카메라를 통해 확인하는 글라스 로딩 단계;
(b) 상기 글라스 로딩 완료 후, 상기 글라스를 센터링하여 프리 얼라인이 이루어지도록 하고, 증착 공정을 위해 글라스 스트레치 작업을 이루어지도록 글라스를 클램프 어셈블리에 클램핑하는 글라스 클램핑 단계;
(c) 상기 글라스 클램핑 단계 이후, 글라스를 기준으로 마스크 홀더의 얼라인이 이루어질 수 있도록 마스크와 글라스를 접촉시킨 후, CCD 카메라를 통해 오차 정도에 대한 정보를 획득하고, 획득한 정보를 바탕으로 마스크 홀더를 글라스 기준으로 얼라인하는 마스크 얼라인 단계;
(d) 상기 글라스를 기준으로 마스크의 얼라인 완료시, 마그넷, 쿨 플레이트, 글라스, 마스크가 순차적으로 배열 및 적층되도록 마스크 홀더를 승하강 또는 회전시켜 글라스를 기준으로 얼라인이 이루어지도록 하는 마스크 홀더 얼라인 단계;
(e) 상기 (d) 단계 이후, 마스크 홀더를 회전시켜 균일한 증착이 이루어지도록 하는 대면전 글라스 증착단계;
(f) 상기 (d) 단계 이후, 마스크 홀더에 순차적으로 적층 구성된 마그넷, 쿨 플레이트, 글라스 및 마스크를 분해하는 분리단계; 및
(g) 상기 (f) 단계 이후, 증착이 완료된 대면적 글라스를 로봇핸드에 의해 언로딩 하는 언로딩 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동방법
- 제 13 항에 있어서,
상기 글라스의 얼라인이 정확하지 않은 경우, CCD 카메라를 통해 글라스의 얼라인 정보를 재획득하여 마스크와 글라스 간의 얼라인이 이루어지도록 하는 상기 (c) 단계를 재실행하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라인 구동방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020130033721A KR101310336B1 (ko) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | 대면적 글라스의 얼라인 구동장치 |
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|---|---|---|---|
| KR1020130033721A KR101310336B1 (ko) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | 대면적 글라스의 얼라인 구동장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101310336B1 true KR101310336B1 (ko) | 2013-09-23 |
Family
ID=49456491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020130033721A KR101310336B1 (ko) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | 대면적 글라스의 얼라인 구동장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101310336B1 (ko) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101554197B1 (ko) | 2014-03-31 | 2015-09-21 | 주식회사 선익시스템 | 마스크 얼라인 장치 |
| CN105163497A (zh) * | 2015-08-18 | 2015-12-16 | 浙江欧视达科技有限公司 | 一种半自动阻焊对位机构 |
| KR20160042317A (ko) * | 2014-10-08 | 2016-04-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법 |
| KR101741217B1 (ko) * | 2015-12-10 | 2017-05-30 | 주식회사 선익시스템 | 기판의 얼라인 방법 |
| US9739590B2 (en) | 2015-03-30 | 2017-08-22 | Samsung Display Co., Ltd. | Device for measuring flatness of plate |
| US9765428B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-09-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
| US9771645B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-09-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
| US10081859B2 (en) | 2015-03-30 | 2018-09-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Device for adjusting flatness of plate |
| KR20190007902A (ko) | 2017-07-14 | 2019-01-23 | 주식회사 더원스 | 기판 파손 방지용 클램프 삽입 구조 |
| KR102020646B1 (ko) * | 2019-01-14 | 2019-10-18 | 주식회사 에스제이이노테크 | 레이저 스크라이버 이동모듈, 레이저 스크라이버 이동모듈을 이용한 기판 정렬 방법 |
| WO2020091413A1 (ko) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 처리 장치 |
| CN114101910A (zh) * | 2022-01-25 | 2022-03-01 | 江苏乐萌精密科技有限公司 | 共通金属掩膜版手动张网机 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100422487B1 (ko) | 2001-12-10 | 2004-03-11 | 에이엔 에스 주식회사 | 전자석을 이용한 유기전계발광소자 제작용 증착장치 및그를 이용한 증착방법 |
| KR100712953B1 (ko) | 2006-06-16 | 2007-05-02 | 두산디앤디 주식회사 | 기판 얼라인장치 및 이를 이용한 기판얼라인방법 |
| KR101203171B1 (ko) | 2012-05-22 | 2012-11-21 | 주식회사 아이.엠.텍 | 글래스 기판 합착을 위한 얼라인 장치 |
| KR20120140079A (ko) * | 2011-06-20 | 2012-12-28 | 주식회사 아이.엠.텍 | 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법 |
-
2013
- 2013-03-28 KR KR1020130033721A patent/KR101310336B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100422487B1 (ko) | 2001-12-10 | 2004-03-11 | 에이엔 에스 주식회사 | 전자석을 이용한 유기전계발광소자 제작용 증착장치 및그를 이용한 증착방법 |
| KR100712953B1 (ko) | 2006-06-16 | 2007-05-02 | 두산디앤디 주식회사 | 기판 얼라인장치 및 이를 이용한 기판얼라인방법 |
| KR20120140079A (ko) * | 2011-06-20 | 2012-12-28 | 주식회사 아이.엠.텍 | 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법 |
| KR101203171B1 (ko) | 2012-05-22 | 2012-11-21 | 주식회사 아이.엠.텍 | 글래스 기판 합착을 위한 얼라인 장치 |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101554197B1 (ko) | 2014-03-31 | 2015-09-21 | 주식회사 선익시스템 | 마스크 얼라인 장치 |
| KR102235605B1 (ko) | 2014-10-08 | 2021-04-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법 |
| KR20160042317A (ko) * | 2014-10-08 | 2016-04-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법 |
| US9713818B2 (en) | 2014-10-08 | 2017-07-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus and deposition method using the same |
| US9765428B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-09-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
| US9771645B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-09-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for deposition and substrate alignment method in the same |
| US10081859B2 (en) | 2015-03-30 | 2018-09-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Device for adjusting flatness of plate |
| US9739590B2 (en) | 2015-03-30 | 2017-08-22 | Samsung Display Co., Ltd. | Device for measuring flatness of plate |
| CN105163497B (zh) * | 2015-08-18 | 2017-10-20 | 浙江欧视达科技有限公司 | 一种半自动阻焊对位机构 |
| CN105163497A (zh) * | 2015-08-18 | 2015-12-16 | 浙江欧视达科技有限公司 | 一种半自动阻焊对位机构 |
| KR101741217B1 (ko) * | 2015-12-10 | 2017-05-30 | 주식회사 선익시스템 | 기판의 얼라인 방법 |
| KR20190007902A (ko) | 2017-07-14 | 2019-01-23 | 주식회사 더원스 | 기판 파손 방지용 클램프 삽입 구조 |
| WO2020091413A1 (ko) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 처리 장치 |
| KR102020646B1 (ko) * | 2019-01-14 | 2019-10-18 | 주식회사 에스제이이노테크 | 레이저 스크라이버 이동모듈, 레이저 스크라이버 이동모듈을 이용한 기판 정렬 방법 |
| CN114101910A (zh) * | 2022-01-25 | 2022-03-01 | 江苏乐萌精密科技有限公司 | 共通金属掩膜版手动张网机 |
| CN114101910B (zh) * | 2022-01-25 | 2022-05-17 | 江苏乐萌精密科技有限公司 | 共通金属掩膜版手动张网机 |
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