JP2014070242A - 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、蒸着室において精度よくアライメントできる真空蒸着装置及び真空蒸着方法を、又は、安定して基板を蒸着室に搬送できる真空蒸着装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、基板とマスクをアライメントし、該基板に蒸着材料を蒸着し、前記基板を搬入する真空にすることが可能な仕込室から前記蒸着する真空蒸着室又は前記真空蒸着室間を前記基板を搬送し、前記基板を搬送する搬送ルートにおいて前記仕込室と最も近い位置にある前記真空蒸着室と前記仕込室との間で、前記仕込室に搬入された前記基板の位置のバラつきを補正するプリアライメントする。
【選択図】図2
【解決手段】本発明は、基板とマスクをアライメントし、該基板に蒸着材料を蒸着し、前記基板を搬入する真空にすることが可能な仕込室から前記蒸着する真空蒸着室又は前記真空蒸着室間を前記基板を搬送し、前記基板を搬送する搬送ルートにおいて前記仕込室と最も近い位置にある前記真空蒸着室と前記仕込室との間で、前記仕込室に搬入された前記基板の位置のバラつきを補正するプリアライメントする。
【選択図】図2
Description
本発明は、有機ELデバイスや液晶ディスプレイ等の表示装置向けの大型の基板の蒸着室へ搬送して蒸着する真空蒸着装置及び真空蒸着方法に関する。
有機ELデバイスを製造する方法として、一般に真空蒸着法が広く採用されている。真空蒸着法を用いた真空蒸着装置(以下、一般に「蒸着装置」と言う)としては、特許文献1に開示された技術がある。特許文献1では、真空環境下に保たれたロード室(仕込室)、ロードチャンバ、搬送チャンバ(搬送室)及び真空蒸着チャンバ(蒸着室)などで構成される。蒸着室では、室内において抵抗加熱や誘導加熱などの方法を用いて、蒸発源から蒸着材料の蒸発速度を一定に保つように制御しながら、蒸着材料を加熱し物理蒸着(PVC)を行なうことが一般的である。
なお、蒸着装置により成膜を行う場合、対象とする基板を同様に内部が真空に保持された搬送室内の真空搬送ロボットにて蒸着室に搬送される。
蒸着装置において、内部が真空に保持された装置内に基板を投入するために仕込室が設けられる。大気環境下から基板を仕込室内部に投入し、その後、仕込室内部を真空環境にしたのちに搬送室内の真空搬送ロボットにて基板を蒸着室内に搬送する。
そのため、このスタート地点である仕込室での基板の位置精度は、それ以降の搬送精度を決める重要なファクターである。
そのため、このスタート地点である仕込室での基板の位置精度は、それ以降の搬送精度を決める重要なファクターである。
仮に、仕込室への基板の設置を作業者が手作業で行なうとなると、作業者毎の基板の設置位置のバラツキが生じ、蒸着処理前に行われるアラインメント処理において、許容できない位置ズレを起こす可能性がある。さらには搬送精度の悪化を引き起こして基板の破損原因となる可能性がある。
従って、本発明第1の目的は、蒸着室において精度よくアライメントできる真空蒸着装置及び真空蒸着方法を提供することにある。
また、本発明の第2の目的は、安定して基板を蒸着室に搬送できる真空蒸着装置を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも下記の特徴を有する。
本発明は、基板とマスクをアライメントし、該基板に蒸着材料を蒸着する複数の真空蒸着室と、前記基板を搬入する真空にすることが可能な仕込室と、該仕込室から前記真空蒸着室又は前記真空蒸着室間を前記基板を搬送する搬送手段と、前記基板を搬送する搬送ルートにおいて前記仕込室と最も近い位置にある前記真空蒸着室と前記仕込室との間で、前記仕込室に搬入された前記基板の位置のバラつきを補正するためのアライメントするプリアライメント機構と、を設けたことを特徴とする。
本発明は、基板とマスクをアライメントし、該基板に蒸着材料を蒸着する複数の真空蒸着室と、前記基板を搬入する真空にすることが可能な仕込室と、該仕込室から前記真空蒸着室又は前記真空蒸着室間を前記基板を搬送する搬送手段と、前記基板を搬送する搬送ルートにおいて前記仕込室と最も近い位置にある前記真空蒸着室と前記仕込室との間で、前記仕込室に搬入された前記基板の位置のバラつきを補正するためのアライメントするプリアライメント機構と、を設けたことを特徴とする。
また、本発明は、基板とマスクをアライメントし、該基板に蒸着材料を蒸着し、前記基板を搬入する真空にすることが可能な仕込室から前記蒸着する真空蒸着室又は前記真空蒸着室間を前記基板を搬送し、前記基板を搬送する搬送ルートにおいて前記仕込室と最も近い位置にある前記真空蒸着室と前記仕込室との間で、前記仕込室に搬入された前記基板の位置のバラつきを補正するプリアライメントする、ことを特徴とする。
さらに、本発明は、仕込室外のシリンダを動力とするカム機構による簡易的なアラインメント機構を仕込室内に設けて基板の位置決めを行ない、常に決まったポジションに基板の位置を整えてもよい。
本発明によれば、蒸着室において精度よくアライメントできる真空蒸着装置及び真空蒸着方法を提供できる。
また、本発明によれば、安定して基板を蒸着室に搬送できる真空蒸着装置を提供できる。
本発明の実施形態として有機ELデバイス用パネル向けの蒸着装置100を図1に示す。
蒸着装置100では、まず、基板を仕込室3に設置した後、仕込室内部を真空にする。その後、すでに真空環境にしてある前処理ロボット室5内に搭載した真空搬送ロボット5Rでプラズマ処理室6へ移送し、基板を洗浄する。次に再び前処理ロボット室5内の真空搬送ロボット5Rで基板回転室4aへと移送する。基板回転室4aでは、蒸着室内1au(又は1ad)への基板投入角度に合わせた角度に基板の向きを回転させる。次に搬送室内2aに搭載した真空搬送ロボット2Raで基板を蒸着室1auへ移送する。そして蒸着室1au内では、基板とマスクのとのアライメントを行い、抵抗加熱や誘導加熱などの方法を用いて、蒸発源から蒸着材料の蒸発速度を一定に保つように制御しながら、蒸着材料を加熱し物理蒸着(PVC)を行なう。
その後は、再び搬送室内2aに設けた真空搬送ロボット7で1adの蒸着室へと移送して蒸着する。次に再び真空搬送ロボット7で基板回転室4bへ移送し、再び基板の向きを投入角度に合わせて回転させる。その後は、基板回転室4c、4dを介して蒸着室1buから1ddへと順次、上述の動作を繰り返して、有機層と電極用の金属層を積層させていく。そして最後の基板回転室4eのまで基板を運び、その後の封止工程へと引き渡す。各ユニットはゲートバルブ8によって仕切られており、個々の仕込室3、前処理ロボット室5、基板回転室、搬送室内及び蒸着室のユニット毎に真空・大気の制御が可能である。
以後の説明において、各ユニットを代表して説明する時は、添え字を除いた符号で示す。例えば、蒸着室1、基板回転室4等と示す。
以後の説明において、各ユニットを代表して説明する時は、添え字を除いた符号で示す。例えば、蒸着室1、基板回転室4等と示す。
本実施形態では、基板を最初の蒸着室に入る前に、プリアラインントを行う。その結果、蒸着室1でのアライメント時に、基板とマスクと位置ズレが許容できない状態になることなく、確実に精度よくアライメントでき、高精細な蒸着を行うことができる。そのプリアラインントを行う候補場所としては、仕込室3、基板回転室4aがある。また、図1では、破線で示す基板ストック室9を設けていないが、基板ストック室9も候補となる。
しかし、搬送時の位置ずれが大きく基板の破損原因を小さく抑えるためには、可能な限り上流が望ましい。本実施形態では仕込室が最適である。勿論、基板回転室4aや基板ストック室9で行うことを否定するものではない。以下、仕込室3を例にプリアライメント機構の構成とその動作を説明する。
(実施例1)
図2乃至図4は、仕込室3に設けられたプリアライメント機構の第1の実施例50Aを示す図である。図2は、プリアライメント機構50Aの平面断面図を示す。図3は、図2におけるプリアライメント機構50AのA−A断面図を示す。図4は、基板Pをアラインメントするローラ部15の詳細図である。
図2乃至図4は、仕込室3に設けられたプリアライメント機構の第1の実施例50Aを示す図である。図2は、プリアライメント機構50Aの平面断面図を示す。図3は、図2におけるプリアライメント機構50AのA−A断面図を示す。図4は、基板Pをアラインメントするローラ部15の詳細図である。
実施例1では、四角形の形状を有する基板Pをアライメントするために、中心から基板Pの四隅に向かってアライメントバー10を4本設ける。アライメントバーの4隅側の先端には、基板Pをアライメントするためのローラ16が設けられている。そこで、4本のアライメントバー10を等しく中心側に所定量移動させて、ローラ16を基板Pの4隅と接触させて当該基板のアライメントを行う。この結果、基板Pの中心位置Poは、プリアライメント機構50Aの中心位50oに対し所定範囲R内に納めることができる。この場合、4つのローラ16が全て基板と接触すると、基板に余計な力が加わるために、隣接2つのローラ16が基板Pと接触するように所定範囲Rを定めるとよい。
次に、アライメント機構50Aの構造を図3を用いて詳細に説明する。アライメント機構50Aは、上述したアライメントバー10の他に、アライメントバー10を中心側に向けて移動させる動力となる駆動部と、アライメントバー10の移動をガイドするガイド部とを備える。
アライメントバー10は、途中で2分割された構造であり、分割された間にアラインメントバーの長さを調整するために押しネジ、引きネジで1セットの調整用ネジ12と、基板Pを支える複数の基板支持ピン11と、前述したローラ16を具備するローラ部15とを備える。なお、基板Pと、アライメントバー10と、基板支持ピン11とで形成される空間は、基板Pの仕込室3へ搬入するために、真空搬送ロボット5Rの櫛歯状ハンド5Rh(図1参照)が挿入される空間である。
アライメントバー10は、途中で2分割された構造であり、分割された間にアラインメントバーの長さを調整するために押しネジ、引きネジで1セットの調整用ネジ12と、基板Pを支える複数の基板支持ピン11と、前述したローラ16を具備するローラ部15とを備える。なお、基板Pと、アライメントバー10と、基板支持ピン11とで形成される空間は、基板Pの仕込室3へ搬入するために、真空搬送ロボット5Rの櫛歯状ハンド5Rh(図1参照)が挿入される空間である。
駆動部は、動力源であるシリンダ部20と、シリンダ部20の動力をアライメントバー10に伝達する伝達部30とを備える。シリンダ部20は、仕込室3の下側壁3hの外部に固定されたシリンダ21と、ハウジング25と、スプライン22と、ベローズ23と、真空シール用のOリング24とを備え、スプライン22の上下移動を仕込室3内の伝達部30に伝達する。
伝達部30は、スプライン22に固定され上下する固定ベース31と、固定ベース31に取り付けられ上下するカム32と、カムの上下移動を左右移動に変換するカムフォロア33とを備える。カムフォロア33の動作によって、アラインメントバー10は仕込室3の中心へと引き込んだり、その逆に外側へ伸びたりする。
ガイド部はLMガイド40で構成されている。LMガイド40は、仕込室3の下側壁3hに固定されたレール41と、アライメントバー10に固定され、レール上を移動するスライダ42を備える。
伝達部30は、スプライン22に固定され上下する固定ベース31と、固定ベース31に取り付けられ上下するカム32と、カムの上下移動を左右移動に変換するカムフォロア33とを備える。カムフォロア33の動作によって、アラインメントバー10は仕込室3の中心へと引き込んだり、その逆に外側へ伸びたりする。
ガイド部はLMガイド40で構成されている。LMガイド40は、仕込室3の下側壁3hに固定されたレール41と、アライメントバー10に固定され、レール上を移動するスライダ42を備える。
図4は、基板Pをアラインメントするローラ部15の詳細図を示す。アラインメントバー10の先端にはローラシャフト17とローラ16が取り付けられており、ローラの内部にはベアリング18が仕込まれている。アラインメントバー10の動きに合わせて、これらが基板Pのアラインメントを行う。
以上説明した実施例1によれば、4本のアラインメントバー10をシリンダ部20と、カムを有する伝達部30とで、基板Pの中心側に移動させる簡単な機構で、基板をプリアライメントすることができる。
その結果、以上説明した実施例1によれば、蒸着室において精度よくアライメントできる真空蒸着装置及び真空蒸着方法を提供できる。
また、以上説明した実施例1によれば、安定して基板を蒸着室に搬送できる真空蒸着装置を提供できる。
(実施例2)
図5は、仕込室3に設けられたプリアライメント機構の第3の実施例50Bを示す図で、実施例50Aの図3に対応する図である。実施例50Bの実施例50Aと異なる点は、アライメントバー10を駆動する駆動部が異なる。その他のアライメントバー10及びガイド部の構成は同じである。
実施例50Aでは、駆動部を仕込室3の下側壁3hの中心付近に設けられたシリンダ部20とカムを有する伝達部30で構成していた。一方、実施例50Bでは、ボールネジ28bと、真空シール27を介してボールネジを駆動するモータ26と、固定ベース31を昇降する固定ベースに固定されたナット28nとでボールネジ部20Bを構成する。そして、伝達部30を、固定ベース31とアライメントバー10の接触部とは反対側の端部と結ぶ伝達線34と、前記伝達線の動きを前記周縁部の方向への移動に変換する変換ローラ35と、前記周縁部の方向への移動にバイアスをかける圧縮バネ36とで構成する。
図5は、仕込室3に設けられたプリアライメント機構の第3の実施例50Bを示す図で、実施例50Aの図3に対応する図である。実施例50Bの実施例50Aと異なる点は、アライメントバー10を駆動する駆動部が異なる。その他のアライメントバー10及びガイド部の構成は同じである。
実施例50Aでは、駆動部を仕込室3の下側壁3hの中心付近に設けられたシリンダ部20とカムを有する伝達部30で構成していた。一方、実施例50Bでは、ボールネジ28bと、真空シール27を介してボールネジを駆動するモータ26と、固定ベース31を昇降する固定ベースに固定されたナット28nとでボールネジ部20Bを構成する。そして、伝達部30を、固定ベース31とアライメントバー10の接触部とは反対側の端部と結ぶ伝達線34と、前記伝達線の動きを前記周縁部の方向への移動に変換する変換ローラ35と、前記周縁部の方向への移動にバイアスをかける圧縮バネ36とで構成する。
ボールネジ部20Bで固定ベース31を上昇させると、伝達線34及び変換ローラ35によってアライメントバー10を中心方向に移動させ、基板Pをアライメントする。一方、駆動部で固定ベース31を下降させると、圧縮バネ36によってアライメントバー10を元に戻す。
以上説明した実施例2では4本のアラインメントバー10をボールネジとナットで駆動したが、リニアモータ等のリニア駆動方法も用いてもよい。
以上説明した実施例2では4本のアラインメントバー10をボールネジとナットで駆動したが、リニアモータ等のリニア駆動方法も用いてもよい。
以上説明した実施例2によれば、4本のアラインメントバー10をボールネジ26bとナット26nによる駆動と、伝達線34と、変換ローラ35と、圧縮バネ36とを有する伝達部30とで、基板Pの中心側に移動させる簡単な機構で、基板をプリアライメントすることができる。
その結果、以上説明した実施例2によれば、実施例1と同様に、蒸着室において精度よくアライメントできる真空蒸着装置及び真空蒸着方法を提供でき、安定して基板を蒸着室に搬送できる真空蒸着装置を提供できる。
実施例1、2から解るように、駆動部は、プリアライメント機構50A、50Bの中心部に設けられ、固定ベース31を昇降させる駆動手段と、固定ベースの昇降動作をアライメントバー10を基板Pの隅部の方向の前後移動に変換する伝達部とを備える。駆動手段は、実施例50Aではシリンダ部20Aであり、実施例50Bではボールネジ部20B等によるリニア駆動である。伝達部は、実施例50Aではカム及びカムフォロアであり、実施例50Bでは伝達線と、変換ローラと、圧縮バネである。
(実施例3)
図6は、仕込室3に設けられたプリアライメント機構の第3の実施例50Cを示す図である。実施例50Cの実施例50Aと異なる点は、アライメントバー10を駆動する駆動部が異なる。その他のアライメントバー10及びガイド部の構成は同じである。
実施例50Aでは、駆動部を仕込室3の下側壁3hの中心付近に設けられたシリンダ部20とカムを有する伝達部30で構成していた。一方、実施例50Cでは、伝達部30を設けず、シリンダ20とは構成の違ったシリンダ部20Cを4本のアラインメントバー10の4隅側にそれぞれ設ける。シリンダ部20Cは、シリンダ21とアラインメントバー10のローラシャフト17に先端が固定接続されたシリンダロッド29とで構成する。アラインメントバー10のシリンダ部20Cとの反対側の他端は、開放端となっている。それ故、本実施には固定ベース31はない。この構成によって、4本のシリンダロッド29を等量移動させることで基板Pをプリアライメントする。
図6は、仕込室3に設けられたプリアライメント機構の第3の実施例50Cを示す図である。実施例50Cの実施例50Aと異なる点は、アライメントバー10を駆動する駆動部が異なる。その他のアライメントバー10及びガイド部の構成は同じである。
実施例50Aでは、駆動部を仕込室3の下側壁3hの中心付近に設けられたシリンダ部20とカムを有する伝達部30で構成していた。一方、実施例50Cでは、伝達部30を設けず、シリンダ20とは構成の違ったシリンダ部20Cを4本のアラインメントバー10の4隅側にそれぞれ設ける。シリンダ部20Cは、シリンダ21とアラインメントバー10のローラシャフト17に先端が固定接続されたシリンダロッド29とで構成する。アラインメントバー10のシリンダ部20Cとの反対側の他端は、開放端となっている。それ故、本実施には固定ベース31はない。この構成によって、4本のシリンダロッド29を等量移動させることで基板Pをプリアライメントする。
なお、上記の説明では、4本のアラインメントバー10にシリンダ部20Cを設けた。他の方法として、隣接する2本のアラインメントバー10にシリンダ部20Cを設け、他の2本のアラインメントバー10は、シリンダ部の替わりにローラ部15を備え、対角線上にいる2本のアラインメントバー10を互いに接続するか、直接又は間接的に接触するようにしてもよい。または、他の2本のアラインメントバー10は、シリンダ部の替わりにローラ部15を備え、ガイド部を備えていない固定型としてもよい。以下、ガイド部を備えているものを可動型という。
なお、シリンダ20Cを仕込室3の内部に設けたが、実施例1と同様な構造とし、シリンダ部20Cを、仕込室3の外部に設けてもよい。
なお、シリンダ20Cを仕込室3の内部に設けたが、実施例1と同様な構造とし、シリンダ部20Cを、仕込室3の外部に設けてもよい。
以上説明した実施例3においても、4本又は2本のアラインメントバー10をシリンダ部20Cで直接、基板Pの中心側に移動させる簡単な機構で、基板をプリアライメントすることができる。その結果、実施例1,2と同様な効果を奏することができる。
(変形例)
図7乃至図10は、実施例1乃至3のアラインメントバー10の配置が異なる変形例1乃至4を示す。なお、図7乃至図10は、代表して実施例1、2の変形例を示し、伝達部30、固定ベースがなければ実施例3の変形例となる。
図7乃至図10は、実施例1乃至3のアラインメントバー10の配置が異なる変形例1乃至4を示す。なお、図7乃至図10は、代表して実施例1、2の変形例を示し、伝達部30、固定ベースがなければ実施例3の変形例となる。
図7は、4本のアラインメントバー10を基板Pの4辺に接触させるように配置した変形例1を示す。実施例3の変形例1では、隣接する2辺に接触する接触部を備える2つのアラインメントバー10はシリンダ20cを設けた可動型とし、他の2本のアラインメントバー10は、シリンダ部の替わりにローラ部15を備えた可動型とし、互い相対する位置にいる2本のアラインメントバー10を互いに接続するか、直接又は間接的に接触するようにしてもよい。または、他の2本のアラインメントバー10は、シリンダ部の替わりにローラ部15を備え、ガイド部を備えていない固定型としてもよい。
図8は、アラインメントバー10を3本にし、そのうち2本10a、10bを基板Pの隅部に、1本10cを辺に接触するように配置した変形例2を示す。実施例3の変形例2では、アラインメントバー10cのみに又はアラインメントバー10a、10bシリンダ20cを設けた第1の可動型とし、他のアラインメントバー10は、シリンダ部の替わりにローラ部15を備えたダイ2の第1の可動型を第2の可動型に接続するか、直接又は間接的に接触するようにしてもよい。または、第2の可動型を固定型としてもよい。
図9、アラインメントバー10を2本にし、対角位置にある基板Pの隅部に接触するように配置した変形例3である。変形例3では、アラインメントバー10の移動が隅部をなす2辺に効力が得られるように、山形の2辺にローラを備える山形ローラ16Cを用いる。また、実施例3の変形例3では、2本のアラインメントバー10のうち1本にシリンダ20cを設けた可動型、他のアラインメントバー10は、シリンダ部の替わりにローラ部15を備えた可動型とし、互いに接続するか、直接又は間接的に接触するようにしてもよい。または、他の1本を固定型としてもよい。
図10は、図7の変形例1の更なる変形例であり、各アラインメントバー10を横にシフトした変形例4である。必ずしもアラインメントバー10はアライメント機構の中心部に向けて移動しない。
以上説明した変形例においても、実施例1乃至3と同様な効果を奏することができる。
以上説明した変形例においても、実施例1乃至3と同様な効果を奏することができる。
以上は仕込室3にアライメント機構を設けたが、図11は基板ストック室9に実施例3のアライメント機構50Cを、基板を搬入する位置に適用した例である。基板ストック室9は縦方向に基板Pを載置する多数の段を有する。図11は、基板Pを載置する段とアライメント機構50Cと示す図である。基板ストック室9の基板Pを支持する各段の枠91は、上下方向に接続され、基板Pを支持する櫛歯状の支持板92は、アライメントバー10と干渉しないように設けられている。基板ストック室9に搬入された基板Pは、アライメント機構50Cでプリアライメントされ、その後、各段が上昇し、基板Pが櫛歯状の支持板92に渡されると共に、次の段が搬入位置にくる。その後は、この手順が繰り返され、所定の枚数がストックされる。基板Pを搬出するときは、各段を順次降下して行う。
次に、基板回転室4に設ける時は、基板Pを載置する位置の上部にアライメント機構50A乃至50Cを設ける。アライメント機構50A、50Bを設ける時は、例えば、本来の基板回転の回転機構が下部に設けられている時は、アライメント機構50A、50Bの中心部に設けられた駆動部が、上部に固定されるように設ける。また。基板回転室4に回転機構がない単なる受渡室ならば、仕込室3と全く同様に各アライメント機構を適用できる。
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
1au〜1du、1ad〜1dd:蒸着室 2a〜2d:搬送室
3:仕込室 4a〜4e:基板回転室
5:前処理ロボット室 5R:真空搬送ロボット
6:プラズマ処理室 7:真空搬送ロボット
8:ゲートバルブ 9:基板ストック室
10:アラインメントバー 11:基板支持ピン
12:調整用ネジ 15:ローラ部
16、16C:ローラ 17:ローラシャフト
20、20C:シリンダ部 20B:ボールネジ部
21:シリンダ 22:スプライン
23:ベローズ 24:Oリング
25:ハウジング 26:モータ
27:真空シール 28b:ボールネジ
28n:ナット 29:シリンダロッド
30:伝達部 31:固定ベース
32:カム 33:カムフォロア
34:伝達線 35:変換ローラ
40:LMガイド
50A、50B、50C:プリアライメント機構
91:枠 92:櫛歯状の支持板
P:基板
3:仕込室 4a〜4e:基板回転室
5:前処理ロボット室 5R:真空搬送ロボット
6:プラズマ処理室 7:真空搬送ロボット
8:ゲートバルブ 9:基板ストック室
10:アラインメントバー 11:基板支持ピン
12:調整用ネジ 15:ローラ部
16、16C:ローラ 17:ローラシャフト
20、20C:シリンダ部 20B:ボールネジ部
21:シリンダ 22:スプライン
23:ベローズ 24:Oリング
25:ハウジング 26:モータ
27:真空シール 28b:ボールネジ
28n:ナット 29:シリンダロッド
30:伝達部 31:固定ベース
32:カム 33:カムフォロア
34:伝達線 35:変換ローラ
40:LMガイド
50A、50B、50C:プリアライメント機構
91:枠 92:櫛歯状の支持板
P:基板
Claims (14)
- 基板とマスクをアライメントし、該基板に蒸着材料を蒸着する複数の真空蒸着室と、
前記基板を搬入する真空にすることが可能な仕込室と、
該仕込室から前記真空蒸着室又は前記真空蒸着室間を前記基板を搬送する搬送手段と、
前記基板を搬送する搬送ルートにおいて前記仕込室と最も近い位置にある前記真空蒸着室と前記仕込室との間で、前記仕込室に搬入された前記基板の位置のバラつきを補正するためのアライメントするプリアライメント機構と、
を設けたことを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項1記載の真空蒸着装置であって、
前記プリアライメント機構は、前記基板の周縁部の方向に延在し、先端部に該周縁部と接触する接触部を有する複数のアライメントバーと、該アライメントバーを周縁部の方向に前後に移動可能とする駆動部とを備えることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項2記載の真空蒸着装置であって、
前記駆動部は、前記プリアライメント機構の中心部に設けられ、固定ベースを昇降させる駆動手段と、該固定ベースの昇降動作を前記アライメントバーの前記周縁部の方向の前後移動に変換する伝達部とを備えることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項3記載の真空蒸着装置であって、
前記伝達部は、前記固定ベースの昇降に動作するカムと前記カムの動作を前記アライメントバーに伝達するカムフォロアとを、又は、前記固定ベースと前記アライメントバーの前記接触部とは反対側の端部と結ぶ伝達線と、前記伝達線の動きを前記周縁部の方向への移動に変換する変換ローラと、前記周縁部の方向への移動にバイアスをかける圧縮バネとを、備えることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項2記載の真空蒸着装置であって、
前記駆動部は、前記接続部を前記周縁部の方向に前後に移動させる駆動手段であることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項2乃至5のいずれかに記載の真空蒸着装置であって、
前記複数は4本であって、4本の前記アライメントバーの接触部は、前記基板の4隅又は4辺と接触することを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項2乃至5のいずれかに記載の真空蒸着装置であって、
前記複数は3本であって、3本の前記アライメントバーの接触部は、前記基板の隣接する2隅部と該2隅が形成する辺の対辺、又は隣接する2辺と該2辺に形成される隅部と接触することを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項2乃至5のいずれかに記載の真空蒸着装置であって、
前記複数は2本であって、2本の前記アライメントバーの接触部は、前記基板の対角に存在する2隅部と接触し、且つ該隅を形成する2辺のそれぞれ接触することを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項5記載の真空蒸着装置であって、
前記複数は4本であって、4本の前記アライメントバーの接触部は、前記基板の4隅部又は4辺と接触し、前記駆動手段を相対向する2つの前記接触部に駆動する位置に設けたこと特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項2乃至9のいずれかに記載の真空蒸着装置であって、
前記駆動手段は、シリンダ又はボールネジ及び該ボールネジを駆動し、ナットを移動させるモータを備えることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項2乃至10のいずれかに記載の真空蒸着装置であって、
前記アライメントバーは、複数に分割され、該分割された間に長さを調整する長さ調整手段を備えたことを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項1乃至11のいずれかに記載の真空蒸着装置であって、
前記プリアライメント機構は、前記基板を搬入する真空可能な仕込室内又は前記基板をストックする真空ストック室に設けたことを特徴とする真空蒸着装置。 - 基板とマスクをアライメントし、該基板に蒸着材料を蒸着し、
前記基板を搬入する真空にすることが可能な仕込室から前記蒸着する真空蒸着室又は前記真空蒸着室間を前記基板を搬送し、
前記基板を搬送する搬送ルートにおいて前記仕込室と最も近い位置にある前記真空蒸着室と前記仕込室との間で、前記仕込室に搬入された前記基板の位置のバラつきを補正するプリアライメントする、
ことを特徴とする真空蒸着方法。 - 請求項13記載の真空蒸着方法であって、
前記プリアライメントを前記仕込室、又は前記基板をストックする真空ストック室で行うことを特徴とする真空蒸着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012216334A JP2014070242A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012216334A JP2014070242A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014070242A true JP2014070242A (ja) | 2014-04-21 |
Family
ID=50745741
Family Applications (1)
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JP2012216334A Pending JP2014070242A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2014070242A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113658858A (zh) * | 2021-08-17 | 2021-11-16 | 顺芯科技有限公司 | 一种增加蒸镀制程良率的方法 |
KR20220168159A (ko) | 2021-06-15 | 2022-12-22 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 반송 장치 및 성막 장치 |
CN117535644A (zh) * | 2023-12-07 | 2024-02-09 | 合肥致真精密设备有限公司 | 一种薄膜制备装置和系统 |
-
2012
- 2012-09-28 JP JP2012216334A patent/JP2014070242A/ja active Pending
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