KR102362251B1 - 기판을 파지하기 위한 그리퍼 및 이를 포함하는 장치 - Google Patents

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Abstract

기판을 파지하기 위한 그리퍼가 개시된다. 상기 그리퍼는, 기판의 상부면 및 하부면을 각각 파지하기 위한 상부 및 하부 그리퍼들과, 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 장착된 상부 및 하부 캠 팔로워들과, 상기 상부 캠 팔로워를 지지하며 상부 경사면을 갖는 상부 캠 플레이트와, 상기 하부 캠 팔로워를 지지하며 상기 상부 경사면과 반대 방향으로 경사진 하부 경사면을 갖는 하부 캠 플레이트와, 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 의해 상기 기판이 파지 또는 해제되도록 하는 구동부를 포함한다.

Description

기판을 파지하기 위한 그리퍼 및 이를 포함하는 장치{Gripper for gripping a substrate and apparatus including the same}
본 발명의 실시예들은 기판을 파지하기 위한 그리퍼 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 소자들에 대한 본딩 공정에서 리드 프레임 또는 인쇄회로기판 등과 같은 기판을 본딩 영역으로 이송하기 위하여 상기 기판을 파지하는 그리퍼 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 개별화될 수 있으며 다이 본딩 공정을 통해 기판 상에 본딩될 수 있다.
상기 다이 본딩 공정에서 다이싱 공정에 의해 개별화된 반도체 소자들을 포함하는 웨이퍼가 스테이지 상에 배치될 수 있다. 상기 웨이퍼는 다이싱 테이프에 부착될 수 있으며 상기 다이싱 테이프는 대략 원형 링 형태의 마운트 프레임에 장착될 수 있다. 상기 반도체 소자들은 이젝팅 장치에 의해 상기 다이싱 테이프로부터 분리될 수 있으며, 반도체 소자 픽업 장치에 의해 픽업된 후 버퍼 스테이지 상으로 이송될 수 있다. 상기 버퍼 스테이지 상의 다이는 본딩 장치에 의해 픽업된 후 리드 프레임 또는 인쇄회로기판 등과 같은 기판 상에 본딩될 수 있다.
상기 기판은 본딩 공정이 수행되는 본딩 영역으로 이송될 수 있으며, 상기 본딩 영역에는 상기 기판을 가열하기 위한 히터 블록이 배치될 수 있다. 상기 기판은 복수의 기판들이 수납된 매거진으로부터 인출된 후 상기 히터 블록 상으로 이송될 수 있다. 상기 매거진으로부터 상기 히터 블록으로 상기 기판의 이송을 안내하기 위한 한 쌍의 이송 레일들이 배치될 수 있다.
상기 기판을 이송하기 위한 장치는 상기 기판의 가장자리 부위를 파지하기 위한 그리퍼 및 상기 그리퍼를 상기 이송 레일들을 따라 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 일 예로서, 대한민국 특허등록공보 제10-1422357호에는 상기 매거진으로부터 히터 블록 상으로 기판을 이송하기 위한 장치가 개시되어 있다.
상기 그리퍼는 상기 기판의 하부면에 접촉되는 하부 그리퍼와 상기 기판의 상부에 배치되는 상부 그리퍼 및 상기 상부 그리퍼를 수직 방향으로 이동시켜 상기 기판을 파지하기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다. 이때, 안정적인 기판의 파지를 위하여 상기 하부 그리퍼는 상기 기판이 놓여지는 이송 레일들의 상부면과 같거나 수십 마이크로미터 정도 높게 세팅되는 것이 바람직하다.
그러나, 상기 기판의 파지를 해제한 상태 즉 상기 그리퍼가 개방된 상태에서 그리퍼만 이동되는 경우 상기 하부 그리퍼와 상기 기판의 하부면 사이에서 슬립이 발생될 수 있다. 특히, 상기 그리퍼가 상기 기판을 히터 블록 상에 위치시킨 후 상기 매거진을 향해 되돌아가는 경우 상기 기판이 상기 그리퍼와 함께 이동되거나 위치가 변경되는 문제점이 발생될 수 있다.
또한, 상기 상부 그리퍼와 하부 그리퍼가 상기 기판을 파지하는 과정에서 상기 상부 그리퍼에 의해 상기 기판에 인가되는 힘이 상기 하부 그리퍼가 상기 기판을 지지하는 힘보다 큰 경우 충격에 의해 상기 하부 그리퍼의 위치가 변경될 수 있으며 이에 의해 기판의 파손 또는 위치 변화가 발생될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 개방된 상태에서 기판과 접촉되지 않으며 상기 기판을 파지하는 과정에서 상기 기판의 손상을 방지할 수 있는 새로운 형태의 그리퍼와 이를 포함하는 기판 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 파지하기 위한 그리퍼는, 기판의 상부면 및 하부면을 각각 파지하기 위한 상부 및 하부 그리퍼들과, 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 장착된 상부 및 하부 캠 팔로워들과, 상기 상부 캠 팔로워를 지지하며 상부 경사면을 갖는 상부 캠 플레이트와, 상기 하부 캠 팔로워를 지지하며 상기 상부 경사면과 반대 방향으로 경사진 하부 경사면을 갖는 하부 캠 플레이트와, 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 의해 상기 기판이 파지 또는 해제되도록 하는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 그리퍼는 상기 상부 및 하부 그리퍼들을 수직 방향으로 안내하기 위한 수직 안내 부재와 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 안내하기 위한 수평 안내 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 그리퍼는 상기 구동부와 상기 수직 및 수평 안내 부재들이 장착되는 베이스 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 그리퍼는 상기 베이스 부재와 상기 상부 및 하부 그리퍼들 사이에 각각 연결되며 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 하방으로 탄성 복원력을 인가하는 탄성 부재들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 공압 실린더를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 하부 캠 플레이트는 상기 하부 경사면의 상단 부위와 연결되는 제1 수평면을 가질 수 있으며, 상기 기판은 상기 하부 캠 팔로워가 상기 제1 수평면 상에 위치된 상태에서 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 의해 파지될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 하부 캠 플레이트는 상기 하부 경사면의 하단 부위와 연결된 제2 수평면을 가질 수 있고, 상기 상부 캠 플레이트는 상기 상부 경사면의 상단 부위와 연결된 제3 수평면을 가질 수 있으며, 상기 하부 및 상부 캠 팔로워들이 상기 제2 및 제3 수평면들 상에 위치된 상태에서 상기 상부 및 하부 그리퍼들의 개방 상태가 유지될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들은 일체로 형성될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판 이송 장치는, 기판을 파지하기 위한 그리퍼와, 상기 기판의 양측 부위를 지지하는 이송 레일들과, 상기 이송 레일들을 따라 상기 그리퍼를 이동시키기 위한 제1 구동부를 포함할 수 있다. 특히, 상기 그리퍼는, 상기 기판의 상부면 및 하부면을 각각 파지하기 위한 상부 및 하부 그리퍼들과, 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 장착된 상부 및 하부 캠 팔로워들과, 상기 상부 캠 팔로워를 지지하며 상부 경사면을 갖는 상부 캠 플레이트와, 상기 하부 캠 팔로워를 지지하며 상기 상부 경사면과 반대 방향으로 경사진 하부 경사면을 갖는 하부 캠 플레이트와, 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 의해 상기 기판이 파지 또는 해제되도록 하는 제2 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 레일들 중 하나는 상기 상부 및 하부 그리퍼들 사이에 배치될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판을 파지하기 위한 그리퍼는 상기 기판의 상부면 및 하부면을 각각 파지하기 위한 상부 및 하부 그리퍼들과 및 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 장착된 상부 및 하부 캠 팔로워들을 포함할 수 있다. 상기 상부 캠 팔로워는 상부 캠 플레이트의 상부 경사면 상에 지지되며, 상기 하부 캠 팔로워는 하부 캠 플레이트의 하부 경사면 상에 지지될 수 있다.
특히, 상기 하부 경사면은 상기 상부 경사면과 반대 방향으로 경사진 구성을 가질 수 있으며, 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 및 하부 그리퍼들이 개폐될 수 있다. 따라서, 상기 상부 및 하부 그리퍼들이 개방된 상태에서 상기 그리퍼를 이동시키는 경우 상기 하부 그리퍼와 상기 기판 사이의 간섭이 발생되지 않으므로 상기 기판이 상기 그리퍼와 함께 이동되거나 상기 기판의 위치가 변화되는 문제점들이 충분히 방지될 수 있다.
또한, 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 의해 상기 기판이 파지되는 과정에서 충격이 발생되더라도 상기 하부 그리퍼가 상기 하부 캠 팔로워를 통해 상기 하부 캠 플레이트 상에 지지된 상태이므로 상기 기판의 파지가 충분히 안정적으로 이루어질 수 있으며 상기 기판의 파손 및 위치 변화가 충분히 방지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 그리퍼를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 상부 그리퍼 및 하부 그리퍼의 동작을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(10)는 다이 본딩 공정에서 리드 프레임 또는 인쇄회로기판 등과 같은 기판(20)을 이송하기 위하여 사용될 수 있다.
도시되지는 않았으나, 상기 다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장치는 다이싱 공정을 통해 복수의 반도체 소자들로 개별화된 웨이퍼를 지지하는 스테이지와, 상기 반도체 소자들을 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위한 이젝트 모듈과, 상기 이젝트 모듈에 의해 분리된 반도체 소자를 픽업하여 버퍼 스테이지로 이동시키기 위한 픽업 모듈과, 상기 버퍼 스테이지 상의 반도체 소자를 픽업하여 상기 기판(20) 상에 본딩하기 위한 본딩 모듈을 포함할 수 있다.
상기 반도체 소자들에 대한 본딩 공정이 수행되는 본딩 영역에는 상기 기판을 기 설정된 온도로 가열하기 위한 히터 블록(40)이 구비될 수 있다.
상기 기판 이송 장치(10)는 복수의 기판들이 수납된 매거진(30)과 상기 히터 블록(40) 사이에서 상기 기판(20)을 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치(10)는 상기 기판(20)의 양측 부위들을 지지하며 상기 기판(20)을 안내하기 위한 이송 레일들(50)과, 상기 기판(20)을 파지하기 위한 그리퍼(100) 및 상기 이송 레일들(50)을 따라 상기 그리퍼(100)를 이동시키기 위한 제1 구동부(60)를 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 이송 레일들(50)은 상기 기판(20)의 양측 부위들을 각각 지지하기 위한 단차부를 가질 수 있으며, 상기 그리퍼(100)는 상기 기판(20)의 가장자리 부위를 파지할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 구동부(60)는 상기 그리퍼(100)를 안내하기 위한 리니어 모션 가이드와 동력 제공을 위한 모터 그리고 동력 전달 기구를 이용하여 구성될 수 있다. 상기 동력 전달 기구로는 볼 스크루와 볼 너트 또는 타이밍 벨트가 사용될 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 그리퍼를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 상부 그리퍼 및 하부 그리퍼의 동작을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 그리퍼(100)는 상기 기판의 일측 부위를 파지하기 위한 상부 그리퍼(110)와 하부 그리퍼(120)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 이송 레일들(50) 중 하나가 상기 상부 그리퍼(110)와 하부 그리퍼(120) 사이에 배치될 수 있으며, 상기 상부 그리퍼(110)와 하부 그리퍼(120)는 상기 기판(20)의 상부면 및 하부면을 파지하기 위한 상부 파지 부재(112) 및 하부 파지 부재(122)를 각각 구비할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 그리퍼(110)와 하부 그리퍼(120)에는 롤러 형태의 상부 캠 팔로워(114) 및 하부 캠 팔로워(124)가 각각 장착될 수 있으며, 상기 상부 캠 팔로워(114) 및 하부 캠 팔로워(124)는 상부 캠 플레이트(130) 및 하부 캠 플레이트(140)에 의해 각각 지지될 수 있다.
상기 상부 캠 플레이트(130)는 상기 상부 그리퍼(110)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 상부 경사면(132)을 가질 수 있으며, 상기 하부 캠 플레이트(140)는 상기 하부 그리퍼(120)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 하부 경사면(142)을 가질 수 있다. 이때, 상기 하부 경사면(142)은 도시된 바와 같이 상기 상부 그리퍼(110)와 하부 그리퍼(120)의 개폐를 위해 상기 상부 경사면(132)과 반대 방향으로 경사진 형태를 가질 수 있다.
상기 상부 캠 플레이트(130)와 하부 캠 플레이트(140)는 제2 구동부(150)에 의해 수평 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 상부 캠 팔로워(114) 및 하부 캠 팔로워(124)는 상기 상부 경사면(132) 및 하부 경사면(142)을 따라 수직 방향으로 각각 이동될 수 있다. 결과적으로, 상기 상부 캠 플레이트(130)와 하부 캠 플레이트(140)의 수평 이동에 의해 상기 상부 그리퍼(110)와 하부 그리퍼(120)가 개폐될 수 있다. 일 예로서, 상기 제2 구동부(150)는 공압 실린더를 포함할 수 있다.
상기 그리퍼(100)는 상기 상부 그리퍼(110)와 하부 그리퍼(120)를 수직 방향으로 안내하기 위한 수직 안내 부재(152)와, 상기 상부 캠 플레이트(130)와 하부 캠 플레이트(140)를 수평 방향으로 안내하기 위한 수평 안내 부재(154)와, 상기 구동부(150)와 상기 수직 및 수평 안내 부재들(152, 154)이 장착되는 베이스 부재(102)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 수직 및 수평 안내 부재들(152, 154)로는 리니어 모션 가이드가 사용될 수 있다.
또한, 상기 그리퍼(100)는 상기 베이스 부재(102)와 상기 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120) 사이를 연결하며 상기 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)에 하방으로 탄성 복원력을 인가하는 탄성 부재들(160, 162)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 탄성 부재들(160, 162)로는 코일 스프링들이 사용될 수 있으며, 상기 탄성 부재들(160, 162)에 의해 상기 상부 및 하부 캠 팔로워들(114, 124)은 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들(130, 140)에 각각 밀착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 하부 캠 플레이트(140)는 상기 하부 경사면(142)의 상단 부위와 연결되는 제1 수평면(144)을 가질 수 있으며, 상기 하부 캠 팔로워(124)가 상기 제1 수평면(144) 상에 위치된 상태에서 상기 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)이 닫힐 수 있다. 즉 상기 하부 캠 팔로워(124)가 상기 제1 수평면(144)에 의해 안정적으로 지지된 상태에서 상기 기판(20)이 파지될 수 있으므로 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)이 닫히는 과정에서 충격이 발생되더라도 상기 기판(20)을 안정적으로 파지할 수 있다.
또한, 상기 하부 캠 플레이트(140)는 상기 하부 경사면(142)의 하단 부위와 연결되는 제2 수평면(146)을 가질 수 있으며, 상기 상부 캠 플레이트(130)는 상기 상부 경사면(132)의 상단 부위와 연결되는 제3 수평면(134)을 가질 수 있다. 상기 상부 그리퍼(110)와 하부 그리퍼(120)는 상기 제2 구동부(150)의 전진 동작에 의해 상승 및 하강될 수 있으며 상기 하부 캠 팔로워(124) 및 상부 캠 팔로워(114)가 각각 상기 제2 수평면(146) 및 제3 수평면(134) 상에 위치된 상태에서 상기 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)의 개방 상태가 유지될 수 있다. 따라서, 상기 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)의 개방 상태가 안정적으로 유지될 수 있다.
특히, 상기와 같이 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)이 안정적으로 개방된 상태에서 상기 그리퍼(100)가 이동되는 경우 상기 하부 그리퍼(120)와 상기 기판(20) 사이의 간섭이 발생되지 않으므로 상기 그리퍼(100)의 이동에 의해 상기 기판(20)이 함께 이동되거나 상기 기판(20)의 위치가 변화되는 등의 문제점들이 완전히 제거될 수 있다.
한편, 상기 상부 캠 플레이트(130) 및 하부 캠 플레이트(140)는 일체로 형성될 수 있다. 일 예로서, 도시된 바와 같이 상기 상부 캠 플레이트(130)의 일측면 상에 상기 하부 캠 플레이트(140)가 형성될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판(20)을 파지하기 위한 그리퍼(100)는 상기 기판(20)의 상부면 및 하부면을 각각 파지하기 위한 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)과 및 상기 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)에 각각 장착된 상부 및 하부 캠 팔로워들(114, 124)을 포함할 수 있다. 상기 상부 캠 팔로워(114)는 상부 캠 플레이트(130)의 상부 경사면(132) 상에 지지되며, 상기 하부 캠 팔로워(124)는 하부 캠 플레이트(140)의 하부 경사면(142) 상에 지지될 수 있다.
특히, 상기 하부 경사면(142)은 상기 상부 경사면(132)과 반대 방향으로 경사진 구성을 가질 수 있으며, 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들(130, 140)을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)이 개폐될 수 있다. 따라서, 상기 상부 및 하부 그리퍼들(110, 120)이 개방된 상태에서 상기 그리퍼(100)를 이동시키는 경우 상기 하부 그리퍼(120)와 상기 기판(20) 사이의 간섭이 발생되지 않으므로 상기 기판(20)이 상기 그리퍼(120)와 함께 이동되거나 상기 기판(20)의 위치가 변화되는 문제점들이 충분히 방지될 수 있다.
또한, 상기 상부 및 하부 그리퍼들에(110, 120) 의해 상기 기판(20)이 파지되는 과정에서 충격이 발생되더라도 상기 하부 그리퍼(120)가 상기 하부 캠 팔로워(124)를 통해 상기 하부 캠 플레이트(140) 상에 안정적으로 지지된 상태이므로 상기 기판(20)의 파지가 안정적으로 이루어질 수 있으며 상기 기판(20)의 파손 및 위치 변화가 충분히 방지될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 이송 장치 20 : 기판
30 : 매거진 40 : 히터 블록
50 : 이송 레일 60 : 제1 구동부
100 : 그리퍼 102 : 베이스 부재
110 : 상부 그리퍼 112 : 상부 파지 부재
114 : 상부 캠 팔로워 120 : 하부 그리퍼
122 : 하부 파지 부재 124 : 하부 캠 팔로워
130 : 상부 캠 플레이트 132 : 상부 경사면
134 : 제3 수평면 140 : 하부 캠 플레이트
142 : 하부 경사면 144 : 제1 수평면
146 : 제2 수평면 150 : 제2 구동부
152 : 수직 안내 부재 154 : 수평 안내 부재
160, 162 : 탄성 부재

Claims (10)

  1. 기판의 상부면 및 하부면을 각각 파지하기 위한 상부 및 하부 그리퍼들;
    상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 장착된 상부 및 하부 캠 팔로워들;
    상기 상부 캠 팔로워를 지지하며 상부 경사면을 갖는 상부 캠 플레이트;
    상기 하부 캠 팔로워를 지지하며 상기 상부 경사면과 반대 방향으로 경사진 하부 경사면 및 상기 하부 경사면의 상단 부위와 연결되는 제1 수평면을 갖는 하부 캠 플레이트;
    상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 연결되며 하방으로 탄성 복원력을 인가하기 위한 탄성 부재들; 및
    상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 의해 상기 기판이 파지 또는 해제되도록 하는 구동부를 포함하되,
    상기 기판은 상기 하부 캠 팔로워가 상기 제1 수평면 상에 위치된 상태에서 상기 상부 그리퍼의 하강에 의해 상기 상부 및 하부 그리퍼들 사이에서 파지되는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하기 위한 그리퍼.
  2. 제1항에 있어서, 상기 상부 및 하부 그리퍼들을 수직 방향으로 안내하기 위한 수직 안내 부재; 및
    상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 안내하기 위한 수평 안내 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하기 위한 그리퍼.
  3. 제2항에 있어서, 상기 구동부와 상기 수직 및 수평 안내 부재들이 장착되는 베이스 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하기 위한 그리퍼.
  4. 제3항에 있어서, 상기 탄성 부재들은 상기 베이스 부재와 상기 상부 및 하부 그리퍼들 사이에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하기 위한 그리퍼.
  5. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 공압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하기 위한 그리퍼.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 하부 캠 플레이트는 상기 하부 경사면의 하단 부위와 연결된 제2 수평면을 갖고, 상기 상부 캠 플레이트는 상기 상부 경사면의 상단 부위와 연결된 제3 수평면을 가지며, 상기 하부 및 상부 캠 팔로워들이 상기 제2 및 제3 수평면들 상에 위치된 상태에서 상기 상부 및 하부 그리퍼들의 개방 상태가 유지되는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하기 위한 그리퍼.
  8. 제1항에 있어서, 상기 상부 및 하부 캠 플레이트들은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하기 위한 그리퍼.
  9. 기판을 파지하기 위한 그리퍼;
    상기 기판의 양측 부위를 지지하는 이송 레일들; 및
    상기 이송 레일들을 따라 상기 그리퍼를 이동시키기 위한 제1 구동부를 포함하되,
    상기 그리퍼는,
    상기 기판의 상부면 및 하부면을 각각 파지하기 위한 상부 및 하부 그리퍼들;
    상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 장착된 상부 및 하부 캠 팔로워들;
    상기 상부 캠 팔로워를 지지하며 상부 경사면을 갖는 상부 캠 플레이트;
    상기 하부 캠 팔로워를 지지하며 상기 상부 경사면과 반대 방향으로 경사진 하부 경사면 및 상기 하부 경사면의 상단 부위와 연결되는 제1 수평면을 갖는 하부 캠 플레이트;
    상기 상부 및 하부 그리퍼들에 각각 연결되며 하방으로 탄성 복원력을 인가하기 위한 탄성 부재들; 및
    상기 상부 및 하부 캠 플레이트들을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부 및 하부 그리퍼들에 의해 상기 기판이 파지 또는 해제되도록 하는 제2 구동부를 포함하되,
    상기 기판은 상기 하부 캠 팔로워가 상기 제1 수평면 상에 위치된 상태에서 상기 상부 그리퍼의 하강에 의해 상기 상부 및 하부 그리퍼들 사이에서 파지되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 이송 레일들 중 하나는 상기 상부 및 하부 그리퍼들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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