JP2002289678A - 基板ストック装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 人手を要さず自動的に、基板を基板進行方向
上流側の搬送ラインから搬入しストックし得ると共に基
板進行方向下流側の搬送ラインに搬出し得るようにした
基板ストック装置を提供する。 【解決手段】 基板４の搬入口と搬出口を有するケーシ
ング内に、昇降可能なリフタテーブル８を配設し、リフ
タテーブル８に、搬入口から搬入した基板４をストック
し得ると共に、ストックされていた基板４を搬出口から
搬出し得られるようにした、コンベヤを備えた複数のス
トックユニット１２を多段に搭載し、前記ケーシング及
び各ストックユニット１２に、各ストックユニット１２
内の塵埃を排出するための排気手段を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板ストック装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、プラズマディスプレイに使用す
るガラス板等の基板は、加工ラインに送られて種々の加
工が行われ、製品となる。この場合基板は、加工ライン
の処理能力に対応して確実に加工ラインに供給し得るよ
う、予め所定の枚数だけストックしておく必要がある。
而して、従来においては、基板のストックには台車が使
用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基板を
台車にストックしたり台車から加工ラインに供給する際
には、人手が必要となる。従って、台車を用いて基板を
ストックする場合には、人手を省くことができず、省力
化、省人化を図ることができない。

【０００４】本発明は、斯かる実情に鑑み、基板進行方
向上流側から搬入した基板を人手を要さず自動的にスト
ックし得るようにすると共に、ストックしておいた基板
を人手を要さず自動的に基板進行方向下流側の搬送ライ
ンに搬出し得るようにした基板ストック装置を提供する
ことを目的としてなしたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の基板
ストック装置は、基板４の搬入口と搬出口を有するケー
シング内に、昇降可能なリフタテーブル８を配設し、該
リフタテーブル８に、搬入口から搬入した基板４をスト
ックし得ると共にストックされていた基板４を搬出口か
ら搬出し得るようにしたコンベヤを備えた複数のストッ
クユニット１２を多段に設置し、前記ケーシング及び／
又はストックユニット１２に排気手段を設けたものであ
る。

【０００６】本発明の請求項２の基板ストック装置にお
いては、ストックユニット１２のコンベヤは、枠体１３
に配置された駆動ローラユニット２０及び複数の従動ロ
ーラユニット２１を備え、駆動ローラユニット２０は、
ケーシング側の枠体３に配置された駆動装置４２により
駆動し得るようにした駆動軸２２と、該駆動軸２２の長
手方向へ所定の間隔で取付けられた複数の搬送ローラ２
３と、前記駆動軸２２の端部側に取付けられたプーリ２
７と、前記駆動軸２２の端部に取付けられ且つ前記駆動
装置４２に取付けたクラッチ２８に対し着脱し得るよう
にしたクラッチ４４とを備え、従動ローラユニット２１
は、駆動軸２２と平行に配置した従動軸２９と、該従動
軸２９の長手方向へ所定の間隔で取付けられた複数の搬
送ローラ３０と、前記従動軸２９の端部側に取付けられ
たプーリ３４とを備え、駆動軸２２に取付けたプーリ２
７と従動軸２９に取付けたプーリ３４とには、駆動軸２
２の駆動により回動して、従動軸２９を回動させ得るよ
う、無端状のベルト３６が巻掛けてあるものである。

【０００７】本発明の請求項３の基板ストック装置は、
排気手段として、ケーシングの基板４入側上部に取付け
られたヘパフィルタ５１付きの送気ファン５２と、ケー
シング内の基板４出側側上部に取付けられ且つ所定の隙
間Ｗに調整可能なスリット５４ａ，５５ａを有する複数
枚の風量調整板５４，５５と、該風量調整板５４，５５
のスリット５４ａ，５５ａを経て排気された空気が導入
されるよう、一端側がケーシング内に設けられている吸
気管５８と、該吸気管５８からの空気を排気する排気フ
ァン６１とを備えている。

【０００８】本発明の請求項４の基板ストック装置は、
排気手段として、一端側が閉塞され他端側が開放される
よう、駆動軸２２及び従動軸２９に形成された、駆動軸
２２及び従動軸２９の長手方向へ延びる中空孔２２ｂ，
２９ｂと、該中空孔２２ｂ，２９ｂと駆動軸２２及び従
動軸２９の径方向外方が連通するよう、駆動軸２２及び
従動軸２９の径方向へ形成された複数の吸気孔２２ｃ，
２９ｃと、ストックユニット１２の枠体１３における駆
動軸２２及び従動軸２９の支持部材１４に形成されると
共に駆動軸２２及び従動軸２９の中空孔２２ｂ，２９ｂ
に連通するよう形成された連通孔１４ａ，１４ｂと、連
通孔１４ａ，１４ｂを経てきた空気を吸引し得るよう枠
体１３の側部に取付けた蓋板３７に形成した吸引孔３７
ａと、該吸引孔３７ａに近接離反し得るよう、ケーシン
グの枠体３側に設けられた吸気ノズル６３と、該吸気ノ
ズル６３からの空気を吸引して排気する排気ファンを設
けたものである。

【０００９】本発明においては、基板４は基板４の搬送
ラインの高さ位置で各ストックユニット１２に搬入さ
れ、ストックされる。又、各ストックユニット１２から
搬出する場合も基板４の搬送ラインの高さ位置で行われ
る。

【００１０】基板４のストック時には、排気手段が駆動
され、ケーシング及び／又はストックユニット１２内の
塵埃は空気に同伴されて外部へ排出される。

【００１１】本発明においては、基板進行方向Ｄ１上流
側から搬入した基板４を人手を要さず自動的にストック
できると共に、ストックしておいた基板４を人手を要さ
ず自動的に基板進行方向Ｄ１下流側の搬送ラインに搬出
できるため、省力化、省人化を図ることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図示
例と共に説明する。図１〜図１６は本発明を実施する形
態の一例である。基板ストック装置は加工ラインを備え
た基板の搬送ラインの中途部に配置されている。すなわ
ち、基板ストック装置は、図１〜図４に示すごとく、支
柱１や梁２を備えて方形枠体３が形成されており、方形
枠体３には、図示してないが、基板４の搬入口と搬出口
とを備え、搬入口と搬出口以外は、遮蔽されたカバーが
取付けられ、全体で中空方形状のケーシングが形成され
ている。

【００１３】ケーシング内には、図１、４に示すごとく
リフタ５が配置されている。而して、リフタ５は側面か
ら見て互に交叉するごとく枢着された、起伏自在なアー
ム６，７を備えており、アーム６，７の上端にはリフタ
テーブル８が支持されている。リフタ５は減速電動機の
ごとき駆動装置９によって、水平配置されたボールネジ
軸１０を駆動することにより、ボールネジ軸１０を水平
移動させ、ボールネジ軸１０の先端に取付けられてアー
ム６，７により挟持されている駆動輪１１を介してアー
ム６，７を起伏させ、アーム６，７の起伏によりリフタ
テーブル８を昇降させ得るようになっている。

【００１４】リフタテーブル８上には、図１、４に示す
ごとく、複数のストックユニット１２が積重ねられて多
段に設置されている。ストックユニット１２の詳細は図
５〜図７に示されている。すなわち、ストックユニット
１２を形成する枠体１３は、基板進行方向Ｄ１における
左右両側に、基板進行方向Ｄ１へ延在する角鋼状の細長
い支持部材１４，１５を備えると共に、支持部材１４，
１５の前端及び後端は、フラットバー状の接続部材１
６，１７により接続され、全体として額縁状に形成され
ている。接続部材１６，１７の長手方向中間部には、接
続部材１６，１７を接続するよう、支持部材１４，１５
と平行に角鋼状の中間支持部材１８が取付けられてい
る。更に、支持部材１４，１５の長手方向中間部には、
左右の支持部材１４，１５及び中間支持部材１８を接続
するように、接続部材１９が取付けられている。

【００１５】枠体１３における支持部材１４の基板進行
方向Ｄ１後端及び支持部材１５の基板進行方向Ｄ１先端
における上面には、ピン１４ｃ，１５ｃが突出されてお
り、ピン１４ｃ，１５ｃは、ストックユニット１２の組
付け時に、上側のストックユニット１２における支持部
材１４の基板進行方向Ｄ１後端及び支持部材１５の基板
進行方向Ｄ１先端における下面に形成した孔に嵌入し
て、ストックユニット１２の位置決めを行い得るように
なっている。

【００１６】枠体１３の基板進行方向Ｄ１先端部には、
駆動ローラユニット２０が配設されており、駆動ローラ
ユニット２０よりも枠体１３の基板進行方向Ｄ１上流側
には、一定間隔で複数組の従動ローラユニット２１が配
設されている。

【００１７】駆動ローラユニット２０は、図８に拡大し
て示すように、左右方向へ延在する駆動軸２２を備え、
駆動軸２２には、長手方向へ所定の間隔で複数の搬送ロ
ーラ２３が外嵌され、固定されている。又、支持部材１
４，１５の基板進行方向Ｄ１先端部に形成した中空孔１
４ａ，１５ｂには軸受２４，２５が嵌入され、駆動軸２
２はその長手方向両端部において、軸受２４，２５に回
転自在に支持されている。駆動軸２２の中間支持部材１
８を横切る部分には、半円筒状の凹部が形成され、該凹
部にはブッシュ状の軸受２６が配設され、駆動軸２２は
その長手方向中間部において、軸受２６に回転自在に支
持されている。

【００１８】駆動軸２２の支持部材１５から外方へ突出
した部分には、プーリ２７が外嵌、固定され、駆動軸２
２のプーリ２７取付け部よりも更に外方部には、プーリ
２７と並んでクラッチ２８が外嵌、固定されている。

【００１９】而して駆動軸２２の端部には、端部側が大
径の円錐形状のクラッチ孔２２ａが形成されていると共
に、クラッチ２８のプーリ２７側とは反対側の端部に
は、中心から所定の半径位置に位置するよう、複数のク
ラッチ孔２８ａが同心状に形成されている。

【００２０】駆動軸２２の軸心部には、長手方向へ延在
する中空孔２２ｂが穿設されていると共に、中空孔２２
ｂの軸受２５取付け側端部は閉塞されており、中空孔２
２ｂの軸受２４取付け側端部は開放されて中空孔１４ａ
に連通している。又、駆動軸２２には、長手方向へ所定
の間隔で、中空孔２２ｂと駆動軸２２の径方向外方とを
連通させるよう、複数の吸気孔２２ｃが、駆動軸２２の
径方向へ向くよう、穿設されている。

【００２１】各従動ローラユニット２１は、図９に拡大
して示すように、左右方向へ延在する従動軸２９を備
え、従動軸２９には、長手方向へ所定の間隔で複数の搬
送ローラ３０が外嵌され、固定されている。又、支持部
材１４，１５の長手方向へ従動ローラユニット２１に対
応して所定の間隔で形成した中空孔１４ａ，１５ａに
は、軸受３１，３２が嵌入され、従動軸２９はその長手
方向両端部において、軸受３１，３２に回転自在に支持
されている。従動軸２９の中間支持部材１８を横切る部
分には、半円筒状の凹部が形成され、該凹部には、ブッ
シュ状の軸受３３が配置され、従動軸２９はその長手方
向中間部において、軸受３３に回転自在に支持されてい
る。又、従動軸２９の支持部材１５から外方へ突出した
部分には、プーリ３４が外嵌、固定されている。

【００２２】従動軸２９の軸心部には、長手方向へ延在
する中空孔２９ｂが穿設されていると共に、中空孔２９
ｂの軸受３２取付け側端部は閉塞されており、中空孔２
９ｂの軸受３１取付け側端部は開放されて中空孔１４ａ
に連通している。又、従動軸２９には、長手方向へ所定
の間隔で、中空孔２９ｂと従動軸２９の径方向外方とを
連通させるよう、複数の吸気孔２９ｃが穿設されてい
る。

【００２３】図５、６に示すごとく、支持部材１５に
は、プーリ２７，３４間及びプーリ３４，３４間に位置
するよう、アイドルローラ３５がプーリ２７，３４と平
行に取付けられており、プーリ２７，３４及びアイドル
ローラ３５には、無端状のタイミングベルト３６が巻掛
けられて、全体として基板４を搬送し得るようにしたコ
ンベヤが形成されている。

【００２４】支持部材１４には、隣合う中空孔１４ａを
連通させるよう、図８、９においては紙面に直行する方
向、図７においては紙面と平行な方向へ延在する連通孔
１４ｂが形成されている。中空孔１４ａ及び連通孔１４
ｂの外側部は図８、９に示すように、開放されており、
支持部材１４の外側面には、中空孔１４ａ及び連通孔１
４ｂを塞ぐよう、前後で２枚に分割したフラットバー状
の蓋板３７が取付けられている。又、各蓋板３７には、
何れかの中空孔１４ａと同心状に連通するよう、図７に
示すように吸引孔３７ａが、蓋板３７を厚さ方向へ貫通
するよう穿設されている。

【００２５】中間支持部材１８の上面には、中間支持部
材１８に沿い延在する蓋板３８が取付けられており、中
間支持部材１８に形成された凹部に取付けた軸受２６，
３３が脱落しないようになっている。

【００２６】方形枠体３には、ストックユニット１２に
搭載されて搬送ラインの高さ位置にある基板４を搬入、
搬出し得るよう、図１０、１１に示すごとく、駆動装置
３９が設置されている。而して、駆動装置３９はＬＭガ
イド４０に沿って駆動軸２２と平行な方向へ移動するベ
ース４１と、ベース４１に搭載されてベース４１が移動
することにより図８に示すクラッチ２８に対し近接離反
し得るようにした減速電動機４２と、ベース４１を介し
減速電動機４２を駆動軸２２と平行な方向へ移動させる
ための流体圧シリンダ４３を備えており、減速電動機４
２の出力軸４２ａにはクラッチ４４が設けられている。

【００２７】クラッチ４４は、減速電動機４２の出力軸
４２ａに直接外嵌、固定される円筒体４５と、円筒体４
５の先端に出力軸４２ａを包囲するごとく取付けられ
た、弾性のある円筒蛇腹状の動力伝達部４６と、動力伝
達部４６の先端に取付けられた円筒体４７と、円筒体４
７に嵌入したクラッチ本体４８とを備え、クラッチ本体
４８には、クラッチ２８に近接した際に、クラッチ孔２
２ａに嵌入するピン４９及びクラッチ孔２８ａに嵌入す
る複数のピン５０を備えている。

【００２８】方形枠体３とカバー５３により構成される
ケーシングの基板進行方向Ｄ１上流側の面には、図１、
２、１３に示すように、ヘパフィルタ５１を有する送気
ファン５２が取付けられている。又、図１２〜図１４に
示すように、ケーシングの基板進行方向Ｄ１下流側のカ
バー５３内には、カバー５３から所定の間隔を置いて、
ケーシングを基板進行方向Ｄ１上流側と下流側を仕切る
ごとく、スリット５４ａ，５５ａを有する２枚の風量調
整板５４，５５が設けられ、スリット調整ボルト５６に
よりスリット５４ａ，５５ａの互いに重なる部分の隙間
Ｗを調整し得るようになっている。隙間Ｗは一旦調整さ
れればその状態が維持されるようになっている。

【００２９】カバー５３等と風量調整板５４とにより形
成される空間５７内には、基板進行方向Ｄ１に対し直交
する方向へ水平に延びる複数段の吸気管５８が配設され
ており、吸気管５８の空間５７内に位置する部分には、
吸気管５８に沿い複数の短管状の吸気口５９が、上端部
が開放されるよう、取付けられている。

【００３０】吸気管５８はケーシング外へ延在し、その
端部は図４に示すごとく、縦向きに設置した排気筒６０
に接続されており、排気筒６０の下部には、排気ファン
６１が設置されている。而して、基板４のストックユニ
ット１２へのストック時には、送気ファン５２を駆動す
ることにより、ケーシング内に空気を供給してケーシン
グ内の塵埃を空気に同伴させ、スリット５４ａ，５５ａ
により形成される隙間から空間５７内へ排気し得るよう
になっており、又空間５７内へ排気された空気は排気フ
ァン６１により吸気口５９を介して吸気管５８内へ導入
され、排気ファン６１によって外部へ排出し得るように
なっている。

【００３１】方形枠体３の駆動装置３９を設置した側と
は反対側には、基板４の搬送ラインと略同じ高さ位置と
なるよう、図３に示すごとく吸気ユニット６２が配置さ
れている。吸気ユニット６２の詳細は図１５、１６に示
されており、吸気ユニット６２は、有底中空状で軸心が
従動ローラユニット２１における所定の従動軸２９と同
一軸線上となるよう配置された吸気ノズル６３と、吸気
ノズル６３を蓋板３７の吸引孔３７ａに対し近接離反さ
せる流体圧シリンダ６４と、吸気ノズル６３にハーフユ
ニオン６５を介して接続されたフレキシブルチューブ６
６を備えており、フレキシブルチューブ６６には図示し
てないが、吸込みファンが接続されている。

【００３２】而して、吸込みファンを駆動することによ
り、駆動ローラユニット２０及び従動ローラユニット２
１に付着した塵埃、或は駆動ローラユニット２０及び従
動ローラユニット２１近傍の塵埃は、空気に同伴されて
吸気孔２２ｃ，２９ｃから駆動軸２２及び従動軸２９の
中空孔２２ｂ，２９ｂ内に吸込まれ、中空孔２２ｂ，２
９ｂから中空孔１４ａ、連通孔１４ｂ、吸気ノズル６３
が対向配置してある中空孔１４ａを経て、又一部は直
接、吸気ノズル６３が対向配置してある中空孔１４ａを
経て、蓋板３７の吸引孔３７ａを通り吸気ノズル６３に
吸込まれ、ハーフユニオン６５、フレキシブルチューブ
６６を経て吸込みファンにより外部へ排気され得るよう
になっている。

【００３３】なお、図３中、６７はケーシング内の一側
に基板進行方向Ｄ１下流側に位置するよう設けられ、送
給されてきた基板４の先端を検出したら駆動装置３９の
減速電動機４２に減速指令を与える減速指令センサ、６
８は減速指令センサ６７よりも基板進行方向Ｄ１下流側
に設けられ、送給されてきた基板４の先端を検出したら
駆動装置３９の減速電動機４２に停止指令を与える停止
指令センサ、６９は停止指令センサ６８よりも基板進行
方向Ｄ１下流側に設けられ、停止すべき位置を越えた基
板４の先端を検出するオーバラン検出センサであり、セ
ンサ６７〜６９は何れも光センサである。又、７０はケ
ーシング内の他側にセンサ６７〜６９と対向するよう設
けられ、基板４の先端を検出しない場合には、センサ６
７〜６９から出射されてきた光を反射する反射ミラーで
ある。

【００３４】更に、図３中、７１ａ，７１ｂは基板４が
オーバラン位置よりももっと前方へはみ出したことを検
出する光センサ型のはみ出し検出センサであり、はみ出
し検出センサ７１ａ，７１ｂは対向配置されている。

【００３５】図４中、７３はリフタテーブル８の高さ位
置延いてはストックユニット１２のうち、何段目のスト
ックユニット１２が基板４の搬送ラインにあるかを検出
するためのシリンダ型の高さ位置検出センサ、７４はリ
フタテーブル８の下限位置検出センサ、７５はリフタテ
ーブル８の上限位置検出センサである。

【００３６】図１、３中、７６は天端が基板４の搬送ラ
インと同一レベルの入側ピンチローラ、７７は同じく出
側ピンチローラであり、図１、４中、７８は最上部のス
トックユニット１２の上方に載置され、ストックユニッ
ト１２と共に昇降し得るようにした蓋、図８、９中、７
９は駆動軸２２及び従動軸２９の下方に位置すると共に
枠体１３の下面全面を覆い得るよう配置された防塵カバ
ーである。

【００３７】次に、上記図示例の作動を説明する。基板
４をストックユニット１２にストックする際には、予め
送気ファン５２、排気ファン６１等のファン類を駆動し
ておき、各センサ類も作動させておく。而してリフタ５
の駆動装置９を駆動してボールネジ軸１０を最大限に突
出させると、リフタテーブル８延いてはストックユニッ
ト１２は自重で下限位置まで下降する。従って、最上段
のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０
の上面は基板４の搬送ラインの高さに位置する。リフタ
テーブル８が下限位置まで下降したことは、下限位置検
出センサ７４により検出される。

【００３８】最上段のストックユニット１２における搬
送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さ
に位置したら、駆動装置３９の減速電動機４２を駆動す
ると共に、流体圧シリンダ４３を作動させて減速電動機
４２を前進させる。このため、クラッチ４４は最上段の
駆動ローラユニット２０のクラッチ２８に近接し、ピン
４９はクラッチ孔２２ａに嵌入し、ピン５０はクラッチ
孔２８ａに嵌入する。その結果、最上段の駆動ローラユ
ニット２０の駆動軸２２、プーリ２７、搬送ローラ２３
が回転を開始し、又同時にタイミングベルト３６が回動
を開始する。

【００３９】そうすると、従動ローラユニット２１のプ
ーリ３４がタイミングベルト３６により回転を開始し、
延いては、従動軸２９、搬送ローラ３０が回転を開始す
る。従って、搬送ラインを送給されてきた基板４は、搬
送ラインからピンチローラ７６を経て基板ストック装置
の最上段のストックユニット１２に取込まれ、ストック
ユニット１２内を搬送ローラ２３，３０により基板進行
方向Ｄ１へ送られる。

【００４０】基板４が最上段のストックユニット１２内
で搬送ローラ２３，３０により搬送されて所定位置に達
すると、基板４の進行方向先端位置が減速指令センサ６
７により検出され、その検出信号が減速電動機４２に与
えられ、減速電動機４２は減速され、搬送ローラ２３，
３０も減速されて基板４の送り速度は遅くなる。又、減
速された基板４が更に前進してその先端が停止指令セン
サ６８により検出されると、停止指令が減速電動機４２
にて与えられ、減速電動機４２は制動を掛けられ、停止
する。このため、搬送ローラ２３，３０も停止して基板
４は最上段のストックユニット１２内に所定の状態で停
止し、ストックされる。

【００４１】基板４がストックユニット１２内でオーバ
ランした場合には、オーバラン検出センサ６９が基板４
のオーバランを検出し、ストックユニット１２からはみ
出した場合には、はみ出し検出センサ７１ａ，７１ｂが
検出を行う。この場合には、次にリフタテーブル８を昇
降させようとしても、昇降できないように電気系統がイ
ンターロックされている。

【００４２】減速電動機４２が停止すると、図１０に示
す流体圧シリンダ４３によりベース４１を介して減速電
動機４２が駆動ローラユニット２０から離反する方向へ
移動し、クラッチ４４はクラッチ２８から離脱する。

【００４３】一方、上述のように、最上段のストックユ
ニット１２に基板４を搬入する際には、図１５、１６に
示す流体圧シリンダ６４が作動して吸気ノズル６３が所
定の従動ローラユニット２１側に移動し、吸気ノズル６
３の先端部は、最上段におけるストックユニット１２に
おける蓋板３７に設けられている吸引孔３７ａに嵌入す
る。このため、最上段のストックユニット１２に設けら
れている駆動軸２２の吸気孔２２ｃ及び従動軸２９の吸
気孔２９ｃから、塵埃を同伴した空気が中空孔２２ｂ，
２９ｂに導入され、中空孔２２ｂ，２９ｂや中空孔１４
ａ、連通孔１４ｂを通って吸気ノズル６３に吸引され、
ハーフユニオン６５、フレキシブルチューブ６６を経て
ファンにより外部へ排気される。このため、最上段のス
トックユニット１２に搬入されてストックされた基板４
は清浄に保持される。

【００４４】又、送気ファン５２が駆動されることによ
り、外気がケーシング内に導入され、ケーシング内の上
部にある塵埃は空気に同伴されてスリット５５ａ，５４
ａの間の隙間Ｗから図１３、１４に示す空間５７に排出
され、吸気口５９から吸気管５８に導入されて排気筒６
０を通り、排気ファン６１によって外部へ排出される。
このため、ケーシング内の上部は清浄に保持され、基板
４も清浄な状態を保持することができる。

【００４５】最上段のストックユニット１２に基板４が
取込まれてストックされたら、リフタ５の駆動装置９が
駆動されて、ボールネジ軸１０が駆動され、駆動輪１１
がアーム６，７を起立させる方向へ作動するため、リフ
タテーブル８延いてはストックユニット１２が上昇す
る。而して、上から２段目のストックユニット１２にお
ける搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ライン
の高さに位置したら、高さ位置検出センサ７３から指令
が出力されてリフタ５の駆動装置９に与えられ、駆動装
置９は停止する。

【００４６】第二段目のストックユニット１２における
搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高
さに位置したら、上述と同様、駆動装置３９の減速電動
機４２を駆動すると共に、流体圧シリンダ４３を作動さ
せて減速電動機４２を前進させる。このため、クラッチ
４４は第二段目の駆動ローラユニット２０のクラッチ２
８に近接し、ピン４９はクラッチ孔２２ａに嵌入し、ピ
ン５０はクラッチ孔２８ａに嵌入する。その結果、第二
段目の駆動ローラユニット２０の駆動軸２２、プーリ２
７、搬送ローラ２３が回転を開始し、又同時にタイミン
グベルト３６が回動を開始する。

【００４７】そうすると、従動ローラユニット２１のプ
ーリ３４がタイミングベルト３６により回転を開始し、
延いては、従動軸２９、搬送ローラ３０が回転を開始す
る。従って、搬送ラインを送給されてきた基板４は、搬
送ラインからピンチローラ７６を経て基板ストック装置
の第二段目のストックユニット１２に搬入され、ストッ
クユニット１２内を搬送ローラ２３，３０により基板進
行方向Ｄ１へ送られる。

【００４８】基板４が第二段目のストックユニット１２
内で搬送ローラ２３，３０により搬送されて所定位置に
達すると、基板４の進行方向先端位置が減速指令センサ
６７荷より検出され、その検出信号が減速電動機４２に
与えられ、減速電動機４２は減速され、搬送ローラ２
３，３０も減速されて基板４の送り速度は遅くなる。
又、減速された基板４が更に前進してその先端が停止指
令センサ６８により検出されると、停止指令が減速電動
機４２にて与えられ、減速電動機４２は制動を掛けら
れ、停止する。このため、搬送ローラ２３，３０も停止
して基板４は第二段目のストックユニット１２内に所定
の状態で停止し、ストックされる。

【００４９】基板４がストックユニット１２内でオーバ
ランした場合には、オーバラン検出センサ６９が基板４
のオーバランを検出し、ストックユニット１２からはみ
出した場合には、はみ出し検出センサ７１ａ，７１ｂが
検出を行う。この場合には、次にリフタテーブル８を昇
降させようとしても、昇降できないように電気系統がイ
ンターロックしてある。

【００５０】減速電動機４２が停止すると、図１０に示
す流体圧シリンダ４３によりベース４１を介して減速電
動機４２が駆動ローラユニット２０から離反する方向へ
移動し、クラッチ４４はクラッチ２８から離脱する。

【００５１】一方、ストックユニット１２に基板４を送
給する際には、図１５、１６に示す流体圧シリンダ６４
が作動して吸気ノズル６３が所定の従動ローラユニット
２１側に移動し、吸気ノズル６３の先端部は、第二段目
のストックユニット１２における蓋板３７に設けられて
いる吸引孔３７ａに嵌入する。このため、最上段のスト
ックユニット１２に設けられている駆動軸２２の吸気孔
２２ｃ及び従動軸２９の吸気孔２９ｃから、塵埃を同伴
した空気が中空孔２２ｂ，２９ｂに導入され、中空孔２
２ｂ，２９ｂや中空孔１４ａ、連通孔１４ｂを通って吸
気ノズル６３に吸引され、ハーフユニオン６５、フレキ
シブルチューブ６６を経てファンにより外部へ排気され
る。このため、最上段のストックユニット１２に取込ま
れてストックされた基板４は清浄に保持される。

【００５２】又、送気ファン５２が駆動されることによ
り、外気がケーシング内に導入され、ケーシングの上部
にある塵埃は空気に同伴されてスリット５５ａ，５４ａ
の間の隙間から図１３、１４に示す空間５７に排出さ
れ、吸気口５９から吸気管５８に導入されて排気筒６０
を通り、排気ファン６１によって外部へ排出される。こ
のため、ケーシング内の上部は清浄に保持され、基板４
も清浄な状態を保持することができる。

【００５３】第二段目のストックユニット１２に基板４
が取込まれてストックされたら、リフタ５の駆動装置９
が駆動されて、ボールネジ軸１０が駆動され、駆動輪１
１が更にアーム６，７を起立させる方向へ作動するた
め、リフタテーブル８延いてはストックユニット１２が
上昇する。而して、上から三段目のストックユニット１
２における搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送
ラインの高さに位置したら、高さ位置検出センサ７３か
ら指令が出力されてリフタ５の駆動装置９に与えられ、
駆動装置９は停止し、以降は最上段や二段目に基板４を
取込みストックする場合と同様にして、基板４の搬入作
業が行われる。又、四段目よりも下方のストックユニッ
ト１２に対しても同様に作業が行われる。

【００５４】全てのストックユニット１２に基板４が取
込まれストックされると、ストックユニット１２は最上
方に位置する。ストックユニット１２が上限位置まで上
昇したことは、上限位置検出センサ７５により検出され
る。

【００５５】而して、基板４が全てのストックユニット
１２にストックされている間は、送気ファン５２は駆動
されており、各ストックユニット１２内には空気が流通
されて各ストックユニット１２内の塵埃の除去が行われ
る。

【００５６】各ストックユニット１２にストックされて
いる基板４を搬出する場合には、リフタ５の駆動装置９
を駆動してボールネジ軸１０を最大限に突出させる。そ
うすると、リフタテーブル８延いてはストックユニット
１２は自重で下限位置まで下降する。従って、最上段の
ストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の
上面は基板４の搬送ラインの高さに位置する。リフタテ
ーブル８が下限位置まで下降したことは、下限位置検出
センサ７４により検出される。

【００５７】最上段のストックユニット１２における搬
送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さ
に位置したら、駆動装置３９の減速電動機４２を駆動す
ると共に、流体圧シリンダ４３を作動させて減速電動機
４２を前進させる。このため、クラッチ４４は最上段の
駆動ローラユニット２０のクラッチ２８に近接し、ピン
４９はクラッチ孔２２ａに嵌入し、ピン５０はクラッチ
孔２８ａに嵌入する。その結果、最上段の駆動ローラユ
ニット２０の駆動軸２２、プーリ２７、搬送ローラ２３
が回転を開始し、又同時にタイミングベルト３６が回動
を開始する。

【００５８】そうすると、従動ローラユニット２１のプ
ーリ３４がタイミングベルト３６により回転を開始し、
延いては、従動軸２９、搬送ローラ３０が回転を開始す
る。従って、最上段のストックユニット１２にストック
されていた基板４は、搬送ローラ２３，３０により基板
進行方向Ｄ１へ搬送され、ストックユニット１２からピ
ンチローラ７７を介して搬送ラインへ搬出される。

【００５９】最上段のストックユニット１２にストック
されていた基板４が下流側に搬出されると、減速電動機
４２が停止させられ、このため、搬送ローラ２３，３０
が停止する。又、減速電動機４２が停止したら、図１０
に示す流体圧シリンダ４３によりベース４１を介して減
速電動機４２を駆動ローラユニット２０から離反する方
向へ移動し、クラッチ４４はクラッチ２８から離脱させ
る。

【００６０】最上段のストックユニット１２にストック
されていた基板４が搬出されたら、リフタ５の駆動装置
９が駆動されて、ボールネジ軸１０が駆動され、駆動輪
１１がアーム６，７を起立させる方向へ作動するため、
リフタテーブル８延いてはストックユニット１２が上昇
する。而して、上から２段目のストックユニット１２に
おける搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ライ
ンの高さに位置したら、高さ位置検出センサ７３から指
令が出力されてリフタ５の駆動装置９に与えられ、駆動
装置９は停止する。

【００６１】第二段目のストックユニット１２における
搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高
さに位置したら、駆動装置３９の減速電動機４２を駆動
すると共に、流体圧シリンダ４３を作動させて減速電動
機４２を前進させる。このため、クラッチ４４は第二段
目の駆動ローラユニット２０のクラッチ２８に近接し、
ピン４９はクラッチ孔２２ａに嵌入し、ピン５０はクラ
ッチ孔２８ａに嵌入する。その結果、第二段目の駆動ロ
ーラユニット２０の駆動軸２２、プーリ２７、搬送ロー
ラ２３が回転を開始し、又同時にタイミングベルト３６
が回動を開始する。

【００６２】そうすると、上記した場合と同様、従動ロ
ーラユニット２１のプーリ３４がタイミングベルト３６
により回転を開始し、延いては、従動軸２９、搬送ロー
ラ３０が回転を開始する。従って、第二段目のストック
ユニット１２にストックされていた基板４は搬送ローラ
２３，３０により基板進行方向Ｄ１へ送られて、ストッ
クユニット１２から搬送ラインへ搬出される。

【００６３】而して、第二段目のストックユニット１２
から基板４が搬送ラインへ搬出されると、減速電動機４
２が停止させられ、このため、搬送ローラ２３，３０が
停止する。又、減速電動機４２が停止したら、図１０に
示す流体圧シリンダ４３によりベース４１を介して減速
電動機４２を駆動ローラユニット２０から離反する方向
へ移動し、クラッチ４４はクラッチ２８から離脱させ
る。

【００６４】第二段目のストックユニット１２から基板
４が搬送ラインに搬出されたら、又リフタ５の駆動装置
９が駆動され、リフタテーブル８が所定量上昇すること
により、ストックユニット１２が上昇し、第三段目のス
トックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上
面が搬送ラインの高さに位置する。そこで前記したとこ
ろと同様にして、第三段目のストックユニット１２の駆
動ローラユニット２０及び従動ローラユニット２１を駆
動し、上述したと同様にして基板４を第三段目のストッ
クユニット１２から搬送ラインへ搬出する。又第四段目
よりも下方のストックユニット１２においても、基板４
は上述した手順でストックユニット１２から搬送ライン
へ搬出される。

【００６５】本発明の図示例によれば、基板４のいわゆ
る先入れ先出しを行うことができるが、先入れ先出しを
行わなくとも実施は可能である。又、本発明の図示例で
は、搬送ラインの基板進行方向Ｄ１上流側から搬入した
基板４を人手を要さず自動的にストックできると共に、
ストックしておいた基板４を人手を要さず自動的に基板
進行方向Ｄ１下流側の搬送ラインに搬出できるため、省
力化、省人化を図ることができる。

【００６６】なお、本発明の基板ストック装置は、上述
の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨
を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論である。

【００６７】

【発明の効果】以上、説明したように本発明の請求項１
〜４記載の基板ストック装置によれば、搬送ラインの基
板進行方向Ｄ１上流側から搬入した基板４を人手を要さ
ず自動的にストックできると共に、ストックしておいた
基板４を人手を要さず自動的に基板進行方向Ｄ１下流側
の搬送ラインに搬出できるため、省力化、省人化を図る
ことができるという優れた効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板ストック装置の実施の形態の一例
を示す側面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ方向矢視図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ方向矢視図である。

【図４】図１のＩＶ−ＩＶ方向矢視図である。

【図５】本発明の基板ストック装置に適用するストック
ユニットにおける枠体の平面図である。

【図６】図５のＶＩ−ＶＩ方向矢視図である。

【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ方向矢視図である。

【図８】本発明の基板ストック装置に適用するストック
ユニットにおける駆動ローラユニットの正面図である。

【図９】本発明の基板ストック装置に適用するストック
ユニットにおける従動ローラユニットの正面図である。

【図１０】本発明の基板ストック装置に適用するストッ
クユニットにおける駆動ローラユニットの駆動装置の平
面図である。

【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ方向矢視図である。

【図１２】本発明の基板ストック装置に適用する風量調
整板及び排気用のスリット並びに吸気管の正面図であ
る。

【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ方向矢視図であ
る。

【図１４】図１２のＸＩＶ−ＸＩＶ方向矢視図である。

【図１５】本発明の基板ストック装置に適用する吸気ユ
ニットの平面図である。

【図１６】図１５のＸＶＩ−ＸＶＩ方向矢視図である。

【符号の説明】

３ 方形枠体 （枠体） ４ 基板 ８ リフタテーブル １２ ストックユニット １３ 枠体 １４ 支持部材 １４ａ 中空孔（連通孔） １４ｂ 連通孔 ２０ 駆動ローラユニット ２１ 従動ローラユニット ２２ 駆動軸 ２２ａ クラッチ孔 ２２ｂ 中空孔 ２２ｃ 吸気孔 ２３ 搬送ローラ ２７ プーリ ２８ クラッチ ２９ 従動軸 ２９ｂ 中空孔 ２９ｃ 吸気孔 ３０ 搬送ローラ ３４ プーリ ３６ タイミングベルト（ベルト） ３７ 蓋板 ３７ａ 吸引孔 ４２ 減速電動機（ 駆動装置） ４４ クラッチ ５１ ヘパフィルタ ５２ 送気ファン ５４ 風量調整板 ５４ａ スリット ５５ 風量調整板 ５５ａ スリット ５７ 空間 ５８ 吸気管 ６１ 排気ファン ６３ 吸気ノズル Ｗ 隙間

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB08 CC02 FF14 FF26 JJ16 MM03 NN01 NN05 NN26 NN57 QQ11 5F031 CA05 DA17 FA02 GA53 JA01 JA02 JA06 JA22 LA12 LA13 LA16 NA07 NA14 NA15 PA02

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板（４）の搬入口と搬出口を有するケ
   ーシング内に、昇降可能なリフタテーブル（８）を配設
   し、該リフタテーブル（８）に、搬入口から搬入した基
   板（４）をストックし得ると共にストックされていた基
   板（４）を搬出口から搬出し得るようにしたコンベヤを
   備えた複数のストックユニット（１２）を多段に設置
   し、前記ケーシング及び／又はストックユニット（１
   ２）に排気手段を設けたことを特徴とする基板ストック
   装置。
2. 【請求項２】 ストックユニット（１２）のコンベヤ
   は、枠体（１３）に配置された駆動ローラユニット（２
   ０）及び複数の従動ローラユニット（２１）を備え、 駆動ローラユニット（２０）は、 ケーシング側の枠体（３）に配置された駆動装置（４
   ２）により駆動し得るようにした駆動軸（２２）と、該
   駆動軸（２２）の長手方向へ所定の間隔で取付けられた
   複数の搬送ローラ（２３）と、前記駆動軸（２２）の端
   部側に取付けられたプーリ（２７）と、前記駆動軸（２
   ２）の端部に取付けられ且つ前記駆動装置（４２）に取
   付けたクラッチ（２８）に対し着脱し得るようにしたク
   ラッチ（４４）とを備え、 従動ローラユニット（２１）は、 駆動軸（２２）と平行に配置した従動軸（２９）と、該
   従動軸（２９）の長手方向へ所定の間隔で取付けられた
   複数の搬送ローラ（３０）と、前記従動軸（２９）の端
   部側に取付けられたプーリ（３４）とを備え、 駆動軸（２２）に取付けたプーリ（２７）と従動軸（２
   ９）に取付けたプーリ（３４）とには、駆動軸（２２）
   の駆動により回動して、従動軸（２９）を回動させ得る
   よう、無端状のベルト（３６）が巻掛けてある請求項１
   に記載の基板ストック装置。
3. 【請求項３】 排気手段として、ケーシングの基板
   （４）入側上部に取付けられたヘパフィルタ（５１）付
   きの送気ファン（５２）と、ケーシング内の基板（４）
   出側側上部に取付けられ且つ所定の隙間（Ｗ）に調整可
   能なスリット（５４ａ）（５５ａ）を有する複数枚の風
   量調整板（５４）（５５）と、該風量調整板（５４）
   （５５）のスリット（５４ａ）（５５ａ）を経て排気さ
   れた空気が導入されるよう、一端側がケーシング内に設
   けられた吸気管（５８）と、該吸気管（５８）からの空
   気を排気する排気ファン（６１）とを備えた請求項１又
   は２に記載の基板ストック装置。
4. 【請求項４】 排気手段として、一端側が閉塞され他端
   側が開放されるよう、駆動軸（２２）及び従動軸（２
   ９）に形成された、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）
   の長手方向へ延びる中空孔（２２ｂ）（２９ｂ）と、該
   中空孔（２２ｂ）（２９ｂ）と駆動軸（２２）及び従動
   軸（２９）の径方向外方が連通するよう、駆動軸（２
   ２）及び従動軸（２９）の径方向へ形成された複数の吸
   気孔（２２ｃ）（２９ｃ）と、ストックユニット（１
   ２）の枠体（１３）における駆動軸（２２）及び従動軸
   （２９）の支持部材（１４）に形成されると共に駆動軸
   （２２）及び従動軸（２９）の中空孔（２２ｂ）（２９
   ｂ）に連通するよう形成された連通孔（１４ａ）（１４
   ｂ）と、該連通孔（１４ａ）（１４ｂ）を経てきた空気
   を吸引し得るよう枠体（１３）の側部に取付けた蓋板
   （３７）に形成した吸引孔（３７ａ）と、該吸引孔（３
   ７ａ）に近接離反し得るよう、ケーシングの枠体（３）
   側に設けられた吸気ノズル（６３）と、該吸気ノズル
   （６３）からの空気を吸引して排気する排気ファンを設
   けた請求項１、２又は３に記載の基板ストック装置。