JPS6318842U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第９図は本考案の実施例を示すもので
あつて、第１図及び第２図は半導体ウエハ移換え
装置の概略正面図、第３図は半導体ウエハ移換え
装置の概略斜視図、第４図は半導体ウエハ移換え
装置の運動を説明するための概略平面図、第５図
ａ，ｂ，ｃ及びｄは半導体ウエハ移換えの手順を
示す概略平面図、第６図は第５図ａの概略部分斜
視図、第７図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ及びｆは半導体
ウエハ移換えの手順を示す部分断面図、第８図は
他の半導体ウエハ移換え装置の要部平面図、第９
図は他の半導体ウエハ移換え装置の要部正面図で
ある。第１０図〜第１２図は比較例を示すもので
あつて、第１０図は第５図ａの概略部分斜視図、
第１１図は半導体ウエハ移換え装置の要部平面図
、第１２図は半導体ウエハ移換え装置の要部正面
図である。第１３図〜第１５図は半導体ウエハ収
容部を示すものであつて、第１３図はバスケツト
の斜視図、第１４図は第１３図の―線矢
視断面図、第１５図はカートリツジの斜視図であ
る。 なお、図面に示された符号において、１……カ
ートリツジ、２，２Ａ_１，２Ａ_２，２Ｂ_１，２Ｂ
_２……バスケツト、３，３Ａ_１，３Ａ_２，３Ｂ_１
，３Ｂ_２，１０３，４，４Ａ_１，４Ａ_２，４Ｂ_１
，４Ｂ_２，１０４……アーム、７，８，２１……
ウオームギアボツクス、７ａ，８ａ……ウオーム
ギアボツクス延在部、８ｂ，４１ａ……プツシユ
ロツド挿入孔、３０……プツシユロツド、３０ａ
……雄ねじ、３１……押えナツト、３２，３３…
…コンベヤ、３４，３５……プーリー、３６，３
７……回転軸、３８，３９……取付け金具、４０
，４１……スライダである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体をその周縁部で支持する第一の支持手段
   と第二の支持手段とによつて前記半導体を第一の
   収容部と第二の収容部との間で移換える半導体移
   換え装置であつて、少なくとも前記移換え時に前
   記第一の支持手段と前記第二の支持手段との間隔
   を所定の間隔に保持した状態で、前記第一の支持
   手段と前記第二の支持手段とを連動させる連動手
   段を有する半導体移換え装置。