JP2008187017A - 縦型熱処理装置及び縦型熱処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱処理炉5と、該熱処理炉5の炉口5aを閉塞する蓋体17と、該蓋体17上に保温筒19を介して載置され多数の基板wを多段に保持する基板保持具4と、上記蓋体17を昇降させて基板保持具4を熱処理炉5内に搬入・搬出する昇降機構18と、上記基板保持具4が熱処理炉5内にあるときにもう一つの基板保持具4を基板wの移載のために載置する保持具載置台22と、該保持具載置台22と上記保温筒19との間で基板保持具4の搬送を行う保持具搬送機構23とを備えた縦型熱処理装置1において、上記保持具載置台22に基板保持具4を転倒しないように把持する保持具把持機構41を設けている。
【選択図】図12
Description
1 縦型熱処理装置
4 ボート(基板保持具)
4b ボートの底板
5 熱処理炉
5a 炉口
17 蓋体
18 昇降機構
19 保温筒
22 ボート載置台(保持具載置台)
23 ボート搬送機構(保持具搬送機構)
38 ボート位置決め機構(保持具位置決め機構)
38b ローラ
40 位置決め係合溝
41 ボート把持機構
41a 把持部
Claims (8)
- 熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を閉塞する蓋体と、該蓋体上に保温筒を介して載置され多数の基板を多段に保持する基板保持具と、上記蓋体を昇降させて基板保持具を熱処理炉内に搬入・搬出する昇降機構と、上記基板保持具が熱処理炉内にあるときにもう一つの基板保持具を基板の移載のために載置する保持具載置台と、該保持具載置台と上記保温筒との間で基板保持具の搬送を行う保持具搬送機構とを備えた縦型熱処理装置において、上記保持具載置台に基板保持具を転倒しないように把持する保持具把持機構を設けたことを特徴とする縦型熱処理装置。
- 上記保持具載置台は、拡縮可能な一対のローラを拡開させることにより、基板保持具の環状の底板の内周に形成された位置決め係合溝に上記ローラを係合させて保持具の位置決めを行う保持具位置決め機構を有し、上記保持具把持機構は、上記保持具位置決め機構の上記ローラにその拡開時に上記基板保持具の上記底板の上面に対峙して該底板を保持具載置台との間で把持する把持部を設けて成ることを特徴とする請求項1記載の縦型熱処理装置。
- 上記保持具載置台は、径方向内方の倒伏位置から起倒可能な一対のローラを起立させることにより、基板保持具の環状の底板の内周に形成された位置決め係合溝に上記ローラを係合させて基板保持具の位置決めを行う保持具位置決め機構を有し、上記保持具把持機構は、上記保持具位置決め機構の上記ローラにその起立時に上記基板保持具の上記底板の上面に対峙して該底板を保持具載置台との間で把持する把持部を設けて成ることを特徴とする請求項1記載の縦型熱処理装置。
- 上記保持具載置台は、各軸回りに回動可能及び互いに拡縮可能な一対のローラを拡開させることにより、基板保持具の環状の底板の内周に形成された位置決め係合溝に上記ローラを係合させて基板保持具の位置決めを行う保持具位置決め機構を有し、上記保持具把持機構は、上記保持具位置決め機構の上記ローラに該ローラを回動させることにより上記基板保持具の上記底板の上面に旋回しながら対峙して該底板を保持具載置台との間で把持する把持部を設けて成ることを特徴とする請求項1記載の縦型熱処理装置。
- 熱処理炉の炉口を閉塞する蓋体上に、多数の基板を多段に保持した基板保持具を保温筒を介して載置し、蓋体を上昇させて基板保持具を熱処理炉内に搬入することにより基板を熱処理し、この熱処理中に保持具載置台上のもう一つの基板保持具に対する基板の移載を行い、熱処理後に熱処理炉から搬出した保温筒上の基板保持具と載置台上の基板保持具とを保持具搬送機構により移替える縦型熱処理方法において、上記保持具載置台に搬送された基板保持具を転倒しないように把持することを特徴とする縦型熱処理方法。
- 上記保持具載置台は、拡縮可能な一対のローラを拡開させることにより、基板保持具の環状の底板の内周に形成された位置決め係合溝に上記ローラを係合させて保持具の位置決めを行う保持具位置決め機構を有し、上記保持具把持機構は、上記保持具位置決め機構の上記ローラにその拡開時に上記基板保持具の上記底板の上面に対峙して該底板を保持具載置台との間で把持する把持部を設けて成ることを特徴とする請求項5記載の縦型熱処理方法。
- 上記保持具載置台は、径方向内方の倒伏位置から起倒可能な一対のローラを起立させることにより、基板保持具の環状の底板の内周に形成された位置決め係合溝に上記ローラを係合させて基板保持具の位置決めを行う保持具位置決め機構を有し、上記保持具把持機構は、上記保持具位置決め機構の上記ローラにその起立時に上記基板保持具の上記底板の上面に対峙して該底板を保持具載置台との間で把持する把持部を設けて成ることを特徴とする請求項5記載の縦型熱処理方法。
- 上記保持具載置台は、各軸回りに回動可能及び互いに拡縮可能な一対のローラを拡開させることにより、基板保持具の環状の底板の内周に形成された位置決め係合溝に上記ローラを係合させて基板保持具の位置決めを行う保持具位置決め機構を有し、上記保持具把持機構は、上記保持具位置決め機構の上記ローラに該ローラを回動させることにより上記基板保持具の上記底板の上面に旋回しながら対峙して該底板を保持具載置台との間で把持する把持部を設けて成ることを特徴とする請求項5記載の縦型熱処理方法。
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