CN112113437A - 一种应用于氧化炉的翻转料架 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种应用于氧化炉的翻转料架，包括料架上的承托板，承托板上设有若干组翻转支架，翻转支架包括若干块扇形的隔板，所述承托板上成型有与隔板相对的并呈纵向的插槽，隔板插设在承托板的插槽内和安设在承托板的两侧；隔板的下端插接有横向的铰接轴，铰接轴插接固定在若干垫块上，垫块固定在承托板的下端面上；所述承托板上侧的隔板上成型有圆弧形的导向槽，隔板的导向槽内插接有横向的定位轴，定位轴的两端伸出隔板固定在支撑杆上，支撑杆的下端插套固定在铰接轴上；所述隔板的顶端成型有支耳，支耳上插接固定有挡料杆，挡料杆的一端伸出隔板插接在纵向的联动杆。

Description

一种应用于氧化炉的翻转料架
技术领域
本发明涉及氧化炉的技术领域，更具体地说涉及一种应用于氧化炉的翻转料架。
背景技术
在电子半导体集成电路工艺中，氧化是必不可少的一项工艺技术。对硅半导体而言，只有高于或等于1050℃的炉管中，通入氧气或水汽，自然可以将硅晶表面予以氧化，生产所谓干氧层或湿氧层，当作电子组件电性绝缘或制程掩膜之用。氧化时，将硅片安放在料架上，并将料架送入氧化炉内，氧化过程中，硅片会被料架所遮挡，进而遮挡部分的硅片氧化效果较差，一般需要开炉，对硅片进行翻面，再次进炉氧化，而现有的料架上承载有多块硅片，逐个对硅片进行翻面耗时较长，且麻烦。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种应用于氧化炉的翻转料架，其采用的翻转料架能一次性对料架上的硅片进行翻面，方便氧化炉的氧化。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：
一种应用于氧化炉的翻转料架，包括料架上的承托板，承托板上设有若干组翻转支架，翻转支架包括若干块扇形的隔板，所述承托板上成型有与隔板相对的并呈纵向的插槽，隔板插设在承托板的插槽内和安设在承托板的两侧；隔板的下端插接有横向的铰接轴，铰接轴插接固定在若干垫块上，垫块固定在承托板的下端面上；所述承托板上侧的隔板上成型有圆弧形的导向槽，隔板的导向槽内插接有横向的定位轴，定位轴的两端伸出隔板固定在支撑杆上，支撑杆的下端插套固定在铰接轴上；所述隔板的顶端成型有支耳，支耳上插接固定有挡料杆，挡料杆的一端伸出隔板插接在纵向的联动杆；所述承托板一组翻转支架的挡料杆上插套有拨杆，拨杆下端插接有支柱，支柱固定在支撑杆的下端；所述挡料杆后侧的承托板上成型有若干向下凹陷的斜槽板。
优选的，所述挡料杆的前侧设有若干圆弧形的挡板，挡板分布在隔板之间并固定在承托板的上端面上。
优选的，所述挡板的圆弧圆心位于定位轴的中心轴线上，挡板下端的前端面上成型有加固座，加固座固定在承托板上。
优选的，所述支柱的中心轴线和铰接轴的中心轴线相重合。
优选的，所述每组翻转支架的下侧至少两个垫块，垫块的下端面位于斜槽板的下侧。
优选的，所述承托板上插槽的宽度等于隔板的宽度。
优选的，所述隔板上导向槽的圆弧圆心位于铰接轴的中心轴线上。
本发明的有益效果在于：其采用的翻转料架能一次性对料架上的硅片进行翻面，方便氧化炉的氧化。
附图说明
图1为本发明立体的结构示意图；
图2为本发明俯视的结构示意图；
图3为图2中A-A处的剖视结构示意图。
图中：1、承托板；11、插槽；12、斜槽板；2、垫块；3、翻转支架；31、隔板；311、导向槽；312、支耳；32、铰接轴；33、定位轴；34、支撑杆；35、挡料杆；36、挡板；361、加固座；4、联动杆；5、拨杆；6、支柱；7、硅片。
具体实施方式
实施例：见图1至3所示，一种应用于氧化炉的翻转料架，包括料架上的承托板1，承托板1上设有若干组翻转支架3，翻转支架3包括若干块扇形的隔板31，所述承托板1上成型有与隔板31相对的并呈纵向的插槽11，隔板31插设在承托板1的插槽11内和安设在承托板1的两侧；隔板31的下端插接有横向的铰接轴32，铰接轴32插接固定在若干垫块2上，垫块2固定在承托板1的下端面上；所述承托板1上侧的隔板31上成型有圆弧形的导向槽311，隔板31的导向槽311内插接有横向的定位轴33，定位轴33的两端伸出隔板31固定在支撑杆34上，支撑杆34的下端插套固定在铰接轴32上；所述隔板31的顶端成型有支耳312，支耳312上插接固定有挡料杆35，挡料杆35的一端伸出隔板31插接在纵向的联动杆4；所述承托板1一组翻转支架3的挡料杆35上插套有拨杆5，拨杆5下端插接有支柱6，支柱6固定在支撑杆34的下端；所述挡料杆35后侧的承托板1上成型有若干向下凹陷的斜槽板12。
所述挡料杆35的前侧设有若干圆弧形的挡板36，挡板36分布在隔板31之间并固定在承托板1的上端面上。
所述挡板36的圆弧圆心位于定位轴33的中心轴线上，挡板36下端的前端面上成型有加固座361，加固座361固定在承托板1上。
所述支柱6的中心轴线和铰接轴32的中心轴线相重合。
所述每组翻转支架3的下侧至少两个垫块2，垫块2的下端面位于斜槽板12的下侧。
所述承托板1上插槽11的宽度等于隔板31的宽度。
所述隔板31上导向槽311的圆弧圆心位于铰接轴32的中心轴线上。
工作原理：本发明为氧化炉的翻转料架，翻转料架上设有承托板1，翻转料架上的挡料杆35和定位轴33之间插接斜置的硅片7，硅片7的下端抵靠在挡板36的内侧壁上，硅片7抵靠在定位轴上；当需要翻转硅片7时，可以拨动拨杆5，拨杆5能带动隔板31和挡料杆35绕铰接轴32转动，拨杆5能下压硅片7，实现硅片7翻面；硅片7翻转后，硅片7的下端抵靠在斜槽板12上。
所述实施例用以例示性说明本发明，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对所述实施例进行修改，因此本发明的权利保护范围，应如本发明的权利要求所列。

Claims (7)

1.一种应用于氧化炉的翻转料架，包括料架上的承托板(1)，其特征在于：承托板(1)上设有若干组翻转支架(3)，翻转支架(3)包括若干块扇形的隔板(31)，所述承托板(1)上成型有与隔板(31)相对的并呈纵向的插槽(11)，隔板(31)插设在承托板(1)的插槽(11)内和安设在承托板(1)的两侧；隔板(31)的下端插接有横向的铰接轴(32)，铰接轴(32)插接固定在若干垫块(2)上，垫块(2)固定在承托板(1)的下端面上；所述承托板(1)上侧的隔板(31)上成型有圆弧形的导向槽(311)，隔板(31)的导向槽(311)内插接有横向的定位轴(33)，定位轴(33)的两端伸出隔板(31)固定在支撑杆(34)上，支撑杆(34)的下端插套固定在铰接轴(32)上；所述隔板(31)的顶端成型有支耳(312)，支耳(312)上插接固定有挡料杆(35)，挡料杆(35)的一端伸出隔板(31)插接在纵向的联动杆(4)；所述承托板(1)一组翻转支架(3)的挡料杆(35)上插套有拨杆(5)，拨杆(5)下端插接有支柱(6)，支柱(6)固定在支撑杆(34)的下端；所述挡料杆(35)后侧的承托板(1)上成型有若干向下凹陷的斜槽板(12)。
2.根据权利要求1所述的一种应用于氧化炉的翻转料架，其特征在于：所述挡料杆(35)的前侧设有若干圆弧形的挡板(36)，挡板(36)分布在隔板(31)之间并固定在承托板(1)的上端面上。
3.根据权利要求2所述的一种应用于氧化炉的翻转料架，其特征在于：所述挡板(36)的圆弧圆心位于定位轴(33)的中心轴线上，挡板(36)下端的前端面上成型有加固座(361)，加固座(361)固定在承托板(1)上。
4.根据权利要求1所述的一种应用于氧化炉的翻转料架，其特征在于：所述支柱(6)的中心轴线和铰接轴(32)的中心轴线相重合。
5.根据权利要求1所述的一种应用于氧化炉的翻转料架，其特征在于：所述每组翻转支架(3)的下侧至少两个垫块(2)，垫块(2)的下端面位于斜槽板(12)的下侧。
6.根据权利要求1所述的一种应用于氧化炉的翻转料架，其特征在于：所述承托板(1)上插槽(11)的宽度等于隔板(31)的宽度。
7.根据权利要求6所述的一种应用于氧化炉的翻转料架，其特征在于：所述隔板(31)上导向槽(311)的圆弧圆心位于铰接轴(32)的中心轴线上。
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