JPH04233729A - 洗浄装置における被洗浄体移載機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、洗浄装置における被洗
浄体移載機に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置を例に挙げれば
、半導体ウエハに多数工程の処理を行う前後で、この半
導体ウエハの洗浄を行う必要がある。このウエハはキャ
リアと称される搬送用容器に複数枚例えば２５枚収容さ
れて各工程に搬送され、ウエハの洗浄の際には、キャリ
ア内のウエハを洗浄用容器に移し換え、洗浄用容器内の
複数枚のウエハを洗浄槽にセットして洗浄を行っている
。キャリアを洗浄用容器として兼用すると、キャリアの
材質を薬品洗浄の際の耐蝕性を有するものとする必要が
あり、コストアップとなるからである。加えて、洗浄の
際にキャリアに付着した不純物が次工程に持ち込まれて
、処理の歩留まりを低下させる原因となるからである。

【０００３】洗浄処理容器のウエハの搬入，搬出口が兼
用される洗浄装置では、その搬入出口にて、キャリアか
ら洗浄用容器への洗浄前のウエハの移し換えと、洗浄用
容器からキャリアへの洗浄済みウエハの移し換えとを行
っている。そして、従来は容器の下方よりウエハを押し
上げて容器より上方に離脱させる押上機と、押し上げら
れたウエハを一対のチャック片により挾持するチャック
装置とを１組配置し、一つの容器内の最大枚数である例
えば２５枚のウエハを一度に移し換えるように構成して
いた。また、１組の押上機及びチャック装置は対になっ
て水平移動が可能であり、例えばキャリアの上下位置に
停止されてキャリア内のウエハをチャック片に挾持した
後、洗浄用容器の上下位置までウエハを挾持したまま水
平移動し、そのウエハを洗浄用容器内に移し換えていた
。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】洗浄装置における従来
のウエハ移載機は、洗浄前のウエハを挾持するチャック
と、洗浄後のウエハを挾持するチャックとを兼用してお
り、兼用チャックを介してウエハへのクロスコンタミネ
ーションが生じ、次工程に不純物の付着したウエハが搬
送され、製品歩留まりの低下の原因となる恐れがあった
。特に、近年半導体チップの高密度化が急速に進み、素
子の微細化によりわずかな不純物もが歩留まりに影響し
、素子の高密度化が進むにつれ洗浄装置でのウエハ移し
換え時のクロスコンタミネーションを低減する要求が高
まっている。

【０００５】他の要求として、洗浄工程のスループット
を高める要求がある。ウエハ移し換え時に関してこの要
求を検討すると、従来は一対のチャック片により複数枚
のウエハを挾持した状態にて、一対のチャック片を水平
搬送する必要があり、この搬送速度を高められないため
スループットの低下に大きく影響していた。この理由と
しては、一対のチャック片はそれぞれ溝にウエハを係止
して両側から挾み込んでウエハを保持するので、水平搬
送時に溝内にてウエハが振動し、チッピングが生じて不
純物の飛散あるいはウエハの破損が生じ、これを防止す
るため搬送速度に限界が生ずるからである。したがって
、この方式を改善しない限り移し換え時のスループット
の向上は図れない。

【０００６】さらに、従来は一つの容器の最大収容枚数
である例えば２５枚分のウエハを一度に移し換えており
、洗浄槽のバッチ処理枚数が複数容器分のウエハ枚数で
あると、移し換え動作を複数回実行する必要がありスル
ープットが低下していた。

【０００７】そこで、本発明の目的とするところは、洗
浄前後の被洗浄体の移し換え時にクロスコンタミネーシ
ョンが生ずることを防止し、かつ、その移し換えのスル
ープットを向上することができる洗浄装置における被洗
浄体移載機を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、洗浄処理部へ
の被洗浄体の搬入口及び搬出口を兼ねる搬入出口の近傍
の移し換え位置にて、搬送用容器に搭載された上記被洗
浄体を洗浄用容器に移し換え、洗浄終了後に上記移し換
え位置にて上記洗浄用容器内の上記被洗浄体を上記搬送
用容器に移し換える洗浄装置における被洗浄体移載機に
おいて、上記搬送用容器及び上記洗浄用容器をそれぞれ
上記移し換え位置に搬送する搬送手段と、上記移し換え
位置の下方に配置され、上記移し換え位置に配置された
上記搬送用容器または洗浄用容器内の被洗浄体を押し上
げる押上機と、上記移し換え位置の上方に並設配置され
、上記搬送用容器より上記洗浄用容器への被洗浄体の移
し換え時に上記押上機で押し上げられた被洗浄体を上方
にて支持する搬入用チャック、及び上記洗浄用容器より
搬送用容器への被洗浄体の移し換え時に上記押上機で押
し上げられた被洗浄体を上方にて支持する搬出用チャッ
クと、を有することを特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明によれば、洗浄前の被洗浄体の移し換え
は搬入用チャックを専用的に用い、洗浄後の被洗浄体の
移し換えは搬出用チャックを専用的に用いているので、
被洗浄体に対して洗浄前後のクロスコンタミネーション
がチャックを介して生ずることが防止される。

【００１０】また、搬入用，搬出用の各チャックは、被
洗浄体を保持して一方の容器の上方から他方の容器の上
方まで搬送することなく、容器を各チャックの下方に搬
送している。したがって、一旦被洗浄体を搭載した例え
ば搬送用容器を搬入用チャックの下方に設定し、その搬
入用チャックにより被洗浄体を保持した後は、空状態の
搬送用容器をチャック直下より離脱し、空状態の洗浄用
容器をチャック直下に搬送して設定すれば、搬送用容器
への洗浄体の移し換えが可能となる。洗浄用容器から搬
送用容器に被洗浄体を移し換える場合も同様である。空
状態の容器の搬送は、チッピング等の問題が無いので高
速にて実現でき、移し換えのスループットを向上できる
。また、各チャックの水平搬送が必要ないので、被洗浄
体の上方での稼動が少なくなり、被洗浄体に付着する可
能性の高い上方位置でのゴミの発生を低減できる。

【００１１】押上機については、被洗浄体との接触が比
較的少なく、必ずしも搬入，搬出で専用的に使用される
押上片を設ける必要性はチャックに比べて少ないが、請
求項２のように押上片をも各モードで専用的に使用すれ
ば、よりクロスコンタミネーションを低減できる。

【００１２】さらに、請求項３のように、各チャックが
複数容器分の被洗浄体を一度に移し換えできれば、移し
換えのスループットがさらに向上する。特に、本発明で
は各チャックが水平搬送されないので、チャックに一度
に保持する被洗浄体枚数を増加させることが容易である
。

【００１３】

【実施例】以下、本発明を適用した洗浄装置の一実施例
について、図面を参照して具体的に説明する。

【００１４】洗浄装置１０は、図１に示すように、大別
してＩ／Ｏポート１２，搬送ステージ１４，キャリアス
トッカ１６，移し換えステージ１８および洗浄処理部２
０から構成されている。前記Ｉ／Ｏポート１２は、被洗
浄体例えば半導体ウエハを複数枚例えば２５枚収容した
搬送用容器としてのキャリア３０を、前記洗浄装置１０
に搬入出するためのものである。このキャリア３０は、
例えば合成樹脂にて成形され、２５枚のウエハｗを等間
隔にて挿入支持するための溝３２を有している（図２参
照）。また、ウエハｗを収容するキャリア３０の下端側
は切欠部３４として切欠かれ、後述する押上機５０によ
りキャリア３０内のウエハｗを一括して押し上げ可能と
なっている。

【００１５】前記搬送ステージ１４は、Ｉ／Ｏポート１
２と移し換えステージ１８との間で前記キャリア３０を
搬送するためのもので、余分なキャリア３０は隣接する
キャリアストッカ１６に移動される。このキャリアスト
ッカ１６は、例えば多段の保管部を有し、前記搬送ステ
ージ１４よりエレベータ機構を介して各段にキャリア３
０を保管可能となっている。

【００１６】前記洗浄処理部２０は、移し換えステージ
１８にてキャリア３０より洗浄用容器４０（図３参照）
に移し換えられたウエハｗを洗浄処理するためのもので
ある。この洗浄処理部２０は、薬品洗浄槽２２ａおよび
水洗洗浄槽２２ｂを１組とし、１組または複数組の薬品
／水洗洗浄終了後に、洗浄の最終工程を行うための水洗
ファイナルリンス洗浄槽２２ｃおよび乾燥処理部２２ｄ
を有して構成されている。前記薬品洗浄槽２２ａとして
は、アンモニアまたはフッ酸等の薬品による洗浄が実施
され、水洗洗浄槽２２ｂでは純水を用いて例えばクィッ
ク・ダンプ・リンス（ＱＤＲ）方式による洗浄が実施さ
れる。洗浄用容器４０は、例えばキャリア３０と同様に
２５枚のウエハｗを挿入支持する溝４２と、切欠部４４
とを有して構成されている。この洗浄用容器４０の材質
としては、特に薬品洗浄槽２２にて用いられる薬品例え
ばフッ酸等に対する耐蝕性を有することが必要であり、
本実施例では石英にて構成している。

【００１７】次に、本実施例装置の特徴的構成を有する
移し換えステージ１８について説明する。

【００１８】この移し換えステージ１８での移し換え原
理としては、キャリア３０または洗浄用容器４０に収容
されたウエハｗを、その下側から押上機５０により押し
上げ、上方位置に待機していたチャックによりウエハｗ
を支持し、その後このチャックの下方に設定された洗浄
用容器４０またはキャリア３０に対して、前記チャック
および押上機５０を用いて移し換えを行うものである。

【００１９】本実施例では、図２〜図５に示すように、
移し換えステージ１８の上方位置に並設して搬入用チャ
ック６０および搬出用チャック７０を有している。搬入
用チャック６０は、平行に離間して配置された一対のチ
ャック片６２，６４を有し、この一対のチャック片６２
，６４の対向する面にはそれぞれ前記ウエハｗを支持す
るための溝６６が形成されている（図３参照）。搬出用
チャック７０も同様に、それぞれ溝７６を有する一対の
チャック片７２，７４で構成されている（図５参照）。 そして、搬入用チャック６０および搬出用チャック７０
は、一対のチャック片６２，６４および７２，７４の各
対向間距離が可変であり、ウエハｗを支持する際にはそ
の距離が縮められ、ウエハｗを離脱する際にはその距離
が広げられる。この距離を可変する構成については、図
６，図７を用いて後述する。

【００２０】前記搬入用チャック６０は、キャリア３０
に搭載されたウエハｗを洗浄用容器４０に移し換える時
にのみ用いられる。従って、この搬入用チャック６０の
一対のチャック片６２，６４に支持されるウエハｗとし
ては、洗浄前のウエハとなる。一方、搬出用チャック７
０は、洗浄用容器４０に搭載されたウエハｗをキャリア
３０に移し換える時にのみ用いられる。従って、搬出用
チャック７０の一対のチャック片７２，７４で支持され
るウエハｗは、洗浄処理後のウエハとなる。

【００２１】押上機５０は、前記搬入用チャック６０お
よび搬出用チャック７０と対向する下方位置に、それぞ
れ押上片５２および押上片５４を有して構成されている
。各押上片５２，５４は、２つの容器の最大収容枚数で
ある５０枚のウエハｗを立設支持するための溝５２ａ，
５４ａをそれぞれ有している。各押上片５２，５４は、
昇降軸５６，５８の上端にそれぞれ固着され、昇降軸５
６，５８の昇降移動に伴って上下動できる。この昇降軸
５６，５８の駆動については各種方式が採用され、ベル
ト・プーリ方式，シリンダポンプ方式等を採用できる。 また、２本の昇降軸５６，５８の昇降駆動を１つの駆動
源により行うことも可能である。押上機５０における２
つの押上片５２，５４の昇降経路を確保するために、前
記移し換えステージ１８の天板には切欠部１８ａ，１８
ｂが形成されている（図２参照）。

【００２２】本実施例における搬入用チャック６０およ
び搬出用チャック７０は、水平搬送されることはなく、
この各チャック６０，７０の直下にキャリア３０または
洗浄用容器４０が搬送されるように構成されている。こ
のキャリア３０または洗浄用容器４０の搬送手段につい
ては図示していないが、アーム搬送方式またはベルト搬
送方式等の各種水平搬送機構を採用することができる。

【００２３】また、前記移し換えステージ１８の前記搬
入用チャック６０および搬出用チャック７０の上方には
、フィルタ８０が設けられている。そして、このフィル
タ８０を介してクリーンエアーを下向き方向に流出させ
ることで、ウエハｗの移し換え位置においてダウンフロ
ー８２を実現している。

【００２４】次に、作用について説明する。

【００２５】図１に示すＩ／Ｏポート１２より搬入され
たキャリア３０は、搬送ステージ１４を介してキャリア
ストッカ１６に一旦収容される。そして、予め定められ
たプログラムに従い、２つのキャリア３０がキャリアス
トッカ１６より取り出され、搬送ステージ１４を介して
移し換えステージ１８上の搬入位置Ａに配置される。こ
の状態を図２の実線にて示している。図２の実線状態で
は押上機５０の押上片５２はキャリア３０の下方にて待
機され、搬入用チャック６０は一対のチャック片６２，
６４の対向間距離を広げた開放状態となっている。この
状態から押上機５０を上昇駆動させると、一方の押上片
５２の上昇過程において２つキャリア３０内の５０枚の
ウエハｗと接触し、その接触後は押上片５２と共にキャ
リア３０内の５０枚のウエハｗが図２の鎖線位置まで上
昇されることになる。そして、押上機５０の駆動停止後
、搬入用チャック６０の一対のチャック片６２，６４の
対向間距離を狭めるように閉鎖駆動することで、同図の
鎖線に示すように５０枚のウエハｗを搬入用チャック６
０にて支持することが可能となる。チャック後は押上機
５０の下降駆動を行う。

【００２６】次に、ウエハｗを搬入用チャック６０にて
支持した状態で、空のキャリア３０を高速搬送して搬送
ステージ１４側に待機させ、空の洗浄用容器４０を高速
搬送して移し換えステージ１８の搬入位置Ａに配置する
。このキャリア３０，洗浄用容器４０の入れ替えは、共
に空容器であるので高速搬送ができ、干渉検出センサな
どを設けて容器同士が干渉しない比較的少ない時間差で
容器の入れ替えを実現すれば、よりスループットが向上
する。

【００２７】次に、図３に示すように、押上機５０にお
ける押上片５２を、切欠部１８ａ，４４を介して再度上
方に押し上げ、同図の実線で示すように、搬入用チャッ
ク６０に支持されたウエハｗの下端を押上片５２の溝５
２ａに挿入する。その後、搬入用チャック６０の一対の
チャック片６２，６４を開放駆動し、さらに押上片５２
を下降駆動することで、同図の鎖線に示すように、２つ
の洗浄用容器４０内に各２５枚のウエハｗを移し換える
ことが可能となる。

【００２８】２５枚ずつのウエハｗをそれぞれ搭載した
２つの洗浄用容器４０は、図示しない搬送手段を介して
洗浄処理部２０に搬入され、洗浄槽の配列順に従って薬
品洗浄，水洗洗浄が行われ、その最終工程として水洗フ
ァイナルリンスおよび乾燥工程を経て１サイクルの洗浄
工程が終了する。そして、洗浄工程の終了したウエハｗ
を搭載した洗浄用容器４０は、再度移し換えステージ１
８に設定され、その搬出位置Ｂに載置される。この状態
を図４の実線にて示している。すなわち、洗浄の終了し
たウエハｗを搭載した洗浄用容器５０からキャリア３０
への移し換えは、搬出位置Ｂの上下に対向配置された搬
出用チャック７０および押上片５４を用いて実施される
。移し換え動作は前述した搬入位置Ａにおける移し換え
動作と同様であり、まず２つの洗浄用容器４０に搭載さ
れた５０枚のウエハｗを押上片５４により押し上げ、上
方に待機していた搬出用チャック７０の一対のチャック
片７２，７４の閉鎖駆動により、ウエハｗを一旦上方に
て支持し、押上片５４を下降させる。また、図５に示す
ように、２つのキャリア３０が搬出用チャック７０の下
方位置に配置され、押上片５４の上昇移動，一対のチャ
ック片７２，７４の開放駆動および押上片５４の下降駆
動により、同図に示すように２つのキャリア３０への５
０枚の洗浄済ウエハｗの移し換え動作が完了することに
なる。この後は、搬送ステージ１４を介してＩ／Ｏポー
ト１２に搬出され、次工程に移行することになる。

【００２９】このように、本実施例では洗浄前のウエハ
ｗの移し換えは、搬入用チャック６０および押上片５２
を１組として専用的に用い、一方、洗浄済ウエハｗの移
し換えには、搬出用チャック７０および押上片５４を１
組として専用的に用いることで、同一のチャックを搬入
出に兼用した場合のようなクロスコンタミネーションを
防止することが可能となる。また、２つの容器分のウエ
ハｗを１度に移し換えているので、ウエハ移し換えの際
のスループットを向上することができる。さらに、本実
施例装置では、搬入用，搬出用チャック６０，７０の水
平搬送を行わず、この各チャック６０，７０が配置され
ている下方位置に、キャリア３０または洗浄用容器４０
を搬送するようにしている。搬入用，搬出用チャック６
０，７０にてウエハｗを支持した状態で、これら各チャ
ック６０，７０の水平搬送によりキャリア３０または洗
浄用容器４０の上方位置まで移動させた場合には、チャ
ック６０，７０の溝６６または７６とウエハｗとの衝突
に伴うチッピングが生じ、不純物の飛散によるクリーン
雰囲気の汚染と、ウエハｗの破損が生じてしまう。これ
を防止するためには、チャック６０，７０をかなり低速
にて水平搬送せざるを得ず、移し換えのためのスループ
ットが低下してしまう。本実施例では、一旦キャリア３
０または洗浄用容器４０をチャックの下方位置に設置し
た後は、空状態のキャリア３０または洗浄用容器４０を
チャックの下方に搬入するだけでよいので、チッピング
等は一切生じず、空容器であるので高速にて搬送するこ
とが可能となりスループットが向上する。

【００３０】図６，図７は、一対のチャック片６２，６
４および７２，７４の開閉駆動を単一の駆動源により行
う構成例を示している。

【００３１】図６に示すものは、駆動プーリ９０，従動
プーリ９２の間にベルト９４を掛け渡し、このベルト９
４の回転搬送により各チャック片の開閉駆動を行う例を
示している。ベルト９４のうち同図の上側に示すベルト
９４ａに、チャック片６４とチャック片７４を連結固定
している。一方、ベルト９４の下側のベルト９４ｂに、
チャック片６２およびチャック片７２を連結固定してい
る。各チャック片６２，６４，７２，７４は２本のガイ
ド軸９６に沿って平行移動可能である。この場合、単一
駆動源により駆動プーリ９０を例えば同図の矢印方向に
回転させると、チャック片６４，７４は左方向に移動し
、チャック片６２，７２は右方向に移動し、搬入用，搬
出用チャック６０，７０を同時に閉鎖駆動できる。駆動
プーリ９０を逆方向に回転すれば、搬入用，搬出用チャ
ック６０，７０を同時に開放駆動することが可能となる
。

【００３２】図７は、２本のガイド軸１０６に沿って平
行移動可能な各チャック片６２，６４，７２，７４に、
それぞれ第１〜第４の軸１００ａ〜１００ｄを固定して
いる。第１の軸１００ａはチャック片６２以外の他のチ
ャック片６４，７２，７４を貫通し、第２の軸１００ｂ
はチャック片７２，７４を貫通し、第３の軸１００ｄは
チャック片７４を貫通してそれぞれ右方向に伸びている
。また、第１，第２の軸１００ａ，１００ｂの相対向す
る面にはそれぞれラック１０２ａ，１０２ｂが形成され
、同様に第３，第４の軸１００ｃ，１００ｄの相対向す
る面にはラック１０２ｃ，１０２ｄが形成されている。 そしてさらに、ラック１０２ａ，１０２ｂに噛合する第
１のピニオンギア１０４ａが設けられ、ラック１０２ｃ
，１０２ｄに噛合する第２のピニオンギア１０４ｂが設
けられている。この第１，第２のピニオンギア１０４ａ
，１０４ｂは、単一の駆動源例えばモータ等により駆動
される。そして、第１，第２のピニオンギア１０４ａ，
１０４ｂを同図の矢印方向に回転駆動すると、ラック・
ピニオン機構によりチャック片６２，７２は右方向に移
動し、チャック片６４，７４は左方向に移動して、搬入
用，搬出用チャック６０，７０の閉鎖駆動を実現できる
。第１，第２のピニオンギア１０４ａ，１０４ｂを逆方
向に回転すれば、同様の原理により搬入用，搬出用チャ
ック６０，７０の開放駆動を実現できる。

【００３３】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が
可能である。

【００３４】上記実施例は本発明を半導体ウエハの洗浄
装置に適用した例を示したが、半導体ウエハに限らず搬
送用容器と洗浄用容器との間で移し換えを行って洗浄を
行う各種被洗浄体例えばＬＣＤ基板等の洗浄にも本発明
を同様に適用し得る。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、洗
浄前の被洗浄体を移し換えるチャックと、洗浄後の被洗
浄体を移し換えるためのチャックとをそれぞれ設け、洗
浄前，洗浄後で各チャックを専用的に使い分けることで
クロスコンタミネーションを防止することができ、しか
も、チャックの下方位置に搬送容器および洗浄用容器を
移動させることで移し換えを実現しているので、被洗浄
体を支持した状態にてチャックを水平搬送する場合のよ
うなチッピングを防止でき、移し換え時には空容器の搬
送を行うだけで実現できるので、容器の移動速度を高速
化でき、スループットが向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例にかかわる半導体ウエハの洗
浄装置の概略平面図である。

【図２】図１に示す装置において、搬送用容器から搬入
用チャックへの洗浄前のウエハの移し換えを説明するた
めの動作説明図である。

【図３】図１に示す装置において、搬入用チャックから
洗浄用容器に洗浄前のウエハを移し換える動作を説明す
る動作説明図である。

【図４】図１の装置において、洗浄用容器から搬出用チ
ャックに洗浄後のウエハを移し換える動作を説明するた
めの動作説明図である。

【図５】図１に示す装置において、搬出用チャックから
搬送用容器へ洗浄後のウエハを移し換える動作を説明す
るための動作説明図である。

【図６】４本のチャック片を単一駆動源によりベルト・
プーリ方式にて開閉駆動する機構を説明するための概略
説明図である。

【図７】４本のチャック片を単一駆動源によりラック・
ピニオン方式にて開閉駆動する機構を説明するための概
略説明図である。

【符号の説明】

ｗ　　ウエハ １０　　洗浄装置 １８　　移し換えステージ ２０　　洗浄処理部 ３０　　搬送用容器 ４０　　洗浄用容器 ５０　　押上機 ５２，５４　　押上片 ６０　　搬入用チャック ７０　　搬出用チャック

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　洗浄処理部への被洗浄体の搬入口及び
   搬出口を兼ねる搬入出口の近傍の移し換え位置にて、搬
   送用容器に搭載された上記被洗浄体を洗浄用容器に移し
   換え、洗浄終了後に上記移し換え位置にて上記洗浄用容
   器内の上記被洗浄体を上記搬送用容器に移し換える洗浄
   装置における被洗浄体移載機において、上記搬送用容器
   及び上記洗浄用容器をそれぞれ上記移し換え位置に搬送
   する搬送手段と、上記移し換え位置の下方に配置され、
   上記移し換え位置に配置された上記搬送用容器または洗
   浄用容器内の被洗浄体を押し上げる押上機と、上記移し
   換え位置の上方に並設配置され、上記搬送用容器より上
   記洗浄用容器への被洗浄体の移し換え時に上記押上機で
   押し上げられた被洗浄体を上方にて支持する搬入用チャ
   ック、及び上記洗浄用容器より搬送用容器への被洗浄体
   の移し換え時に上記押上機で押し上げられた被洗浄体を
   上方にて支持する搬出用チャックと、を有することを特
   徴とする洗浄装置における被洗浄体移載機。
2. 【請求項２】　　請求項１において、上記押し上げ機は
   、上記搬入用チャック及び搬出用チャックと対向する位
   置にそれぞれ被洗浄体の押上部材を有することを特徴と
   する洗浄装置における被洗浄体移載機。
3. 【請求項３】　　請求項１又は２において、上記搬入用
   チャック及び搬出用チャックは、それぞれ一度に複数容
   器内の被洗浄体を支持可能としたことを特徴とする洗浄
   装置における被洗浄体移載機。