KR970023964A - 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼를 보관하는 스톡커내에서 트랜스퍼를 X,Y축 방향으로 이송시켜 반도체 레이저가 적재된 카세트를 운반하도록 된 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치에 관한 것으로, 상기 트랜스퍼를 X축 방향으로 이송시키기 위한 X축 구동수단, 상기 X축 구동수단이 설치되는 베이스, 상기 베이스를 Y축 방향으로 이송시키는 Y축 구동수단으로 구성한 것이다. 따라서 트랜스를 X,Y축으로 흔들림 없이 이송시켜 카세트 운반작업을 오동작 없이 수행할 수 있는 것이고, Y축 방향으로의 이송거리를 연장하여 스톡커의 전체 체적을 증대시킴으로써 보다 많은 카세트를 보관할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 일반적인 반도체 제조용 스톡커를 나타낸 사시도,
제 2 도는 종래의 스톡커 내부를 개략적으로 나타낸 횡단면도,
제 3 도는 종래의 스톡커 내부를 개략적으로 나타낸 종단면도,
제 4 도는 종래의 트랜스퍼 이송장치를 나타낸 정면도,
제 5 도는 본 발명에 따른 스톡커의 트랜스퍼 이송장치를 나타낸 정면도이다.

Claims (3)

  1. 반도체 웨이퍼를 보관하는 스톡커내에서 트랜스퍼를 X,Y축 방향으로 이송시켜 반도체 웨이퍼가 적재된 카세트를 운반하도록 된 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치에 있어서, 상기 트랜스퍼를 X축 방향으로 이송시키기 위한 X축 구동수단, 상기 X축 구동수단이 설치되는 베이스, 상기 베이스를 Y축 방향으로 이송시키는 Y축 구동수단을 포함하여 됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 X축 구동수단은 상기 트랜스퍼가 설치되는 고정판, 상기 고정판의 하부에 설치된 복수개의 로울러, 상기 베이스상에 설치되어 상기 로울러가 안내되는 가이드레일, 상기 복수개의 로울러중 어느 하나를 구동시키는 모터로 구성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 Y축 구동수단은 상기 베이스가 Y축 방향으로 이동가능하게 안내하는 복수개의 가이드 포스트, 복수개의 스프로킷에 안내되고 한 쪽은 상기 베이스의 일단에 고정되며 다른 한 쪽은 무게추가 고정된 한 쌍의 체인, 상기 복수개의 스프로킷중 어느 하나를 회전시켜 한 쌍의 체인이 회전방향으로 이송되게 하는 구동모터로 구성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950035421A 1995-10-13 1995-10-13 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치 KR970023964A (ko)

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