WO2003049181A1 - Dispositif destine aux operations temporaires de chargement, maintien et dechargement - Google Patents

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WO2003049181A1
WO2003049181A1 PCT/JP2002/012731 JP0212731W WO03049181A1 WO 2003049181 A1 WO2003049181 A1 WO 2003049181A1 JP 0212731 W JP0212731 W JP 0212731W WO 03049181 A1 WO03049181 A1 WO 03049181A1
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unloading
transporter
support beam
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PCT/JP2002/012731
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Inventor
Seishi Yamashita
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Rorze Corporation
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    • H01L21/67769—Storage means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Definitions

  • the present invention relates to a device for automatically carrying in, holding and carrying out a container having a fixed shape. More specifically, it is intended to temporarily store containers in which flat plates for precision electronic components are stored in a clean state.It is assumed that many shelves are formed in the storage case, and each shelf is carried in. , Detention and unloading are all performed by automatic control.
  • Precision electronic components such as semiconductor wafers and substrates for liquid crystal display panels, which are flat objects, are subject to various manufacturing steps such as photo-resist coating, thin film deposition, creation of oxide and nitrification films, etching, heat treatment, etc., and inspection. Steps are performed.
  • the plate-like material to be treated is stored in a clean container and transported, but the processing time in each step is not constant and differs, so the shelves must be stored in the step where stagnation is required.
  • the cleaning container is temporarily stored, and the steps with a low processing speed are divided into a plurality of rows and processed in parallel.
  • Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. 2000-28969 As a medium-sized and small-sized automatic cassette storage device for transporting a semiconductor device substrate, for example, there is one proposed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. 2000-28969. This is equipped with two docking stations at the bottom of the equipment for transferring semiconductor wafers from the cassette, with a vertical transport space between them and the left and right sides of the space. It has a structure in which a plurality of shelves are arranged on both sides and above the docking station. A force set mover grasps the cassette, transports the space, and places it on the docking station. However, the cassette mover for driving up, down, left, and right directions described in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No.
  • 2000-1990 is composed of a single vertical support that can move in the left and right directions, and the upper holding portion of the cleansing container is provided.
  • the elevator is equipped with one end effector that can be grasped and cantilevered below the equipment. Therefore, when starting or stopping movement while holding a heavy cassette (container) with a single support, a large inertia moment acts to generate rocking or vibration, and it is possible to easily stop these. As a result, there are problems such as the inability to increase the transfer speed and the inability to accurately place the object on the transfer stage.
  • An object of the present invention is to provide an automatic apparatus for temporarily loading, storing, and unloading a container without causing deformation of the container and affecting the contents when the container is transported. I do. Disclosure of the invention
  • the present invention provides a device for temporarily loading, storing, and unloading a plurality of containers, in which a case of a fixed size using two columns is provided on each of the left and right sides, and a front surface of the case is formed.
  • a support beam is provided between the side supports so that the support beam can be moved up and down, and a transfer machine having a pair of left and right holding fingers can be moved in the horizontal direction of the support beam.
  • a plurality of horizontal shelves are arranged between the rear supports at intervals larger than the height of the container in the height direction. is there.
  • a pair of the holding fingers of the carrier is protruded by a fixed length toward the shelf, and the distance between the pair of fingers is increased and reduced. Smalling is performed so that the bottom side of the left and right side walls of the container or the lower part thereof is held.
  • a balance load body that moves up and down in conjunction with the up and down movement of the support beam of the transporter is attached to each of the rear columns, so that the support beam can be used for a well-balanced and smooth vertical operation. To be done.
  • the above-mentioned vertical movement is performed by connecting the support beam and the load body for balance with a belt and using a pulley and a pair of motors, which enables high-speed and efficient operation.
  • At least one of the pillars for guiding the vertically movable support beam is attached to one end of the opposite support beam via a folded type strain absorbing member.
  • the shelves of the housing are not limited to a single row and are formed in a plurality of rows.
  • the matching interval should be at least larger than the width of the container.
  • FIG. 1 is a front view of the entire apparatus with a partial cutout
  • Fig. 2 is a perspective view of a partially cutaway left side of Fig. 1
  • Fig. 3 is a view of the main part of the present invention as viewed from the rear side of Fig. 1.
  • FIG. FIG. 4 is an explanatory view showing the configuration of container holding in the transporter, where A shows a state where the holding fingers do not hold the container, and B shows a state where the holding fingers hold the container.
  • FIG. 5 is a partially detailed cross-sectional view of a folded type strain absorbing member employed in the present invention. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • reference numeral 1 denotes a device for temporarily loading, storing, and unloading containers according to the present invention.
  • reference numeral 2 denotes a casing that forms the device 1 and has a fixed volume using two columns 3, 3, 3, 3 facing each other on both left and right sides, for example, vertical, horizontal, and height. Created with dimensions of approximately lm X 2 m X 3 m.
  • Reference numeral 4 denotes a support beam laid between the front supports 3 of the housing 2, and engagement members 5, 5 at both left and right end portions of the support beam 4 are opposed to the support posts 3, 3. It is engaged in the narrow grooves 3a, 3a formed in the longitudinal direction of the inner surface to be moved up and down by driving means described below.
  • 6 and 6 are a pair of motors mounted on the upper portions of the opposing inner surfaces of the columns 3 and 3, and pulleys are provided on the other columns 3 and 3 corresponding to the pulleys 6 a and 6 a of each motor. 7, 7 are attached.
  • Reference numeral 10 denotes a transporter mounted so that the support beam 4 configured to move up and down is reciprocated as appropriate in the horizontal direction.
  • the configuration is as shown in FIG.
  • a screw shaft 11 is provided, and the screw shaft 11 is driven by a motor 12 attached to one end thereof.
  • the transporter 10 is supported by the forward or reverse rotation of the motor 12 attached to the screw shaft 11.
  • the length direction of the beam 4 can be moved left and right.
  • the transfer machine 10 is provided with a female screw screwed into the screw shaft 11 on the back side of the base plate 10 a having a fixed size (length and width are approximately 30 cm x 50 cm).
  • a body (not shown) is attached, and a pair of holding fingers 13, 13 is provided on the front side of the pair of holding fingers 13, 13 to hold the container, and the distance L between the facing fingers is increased in the horizontal direction. It is mounted so that it shrinks or shrinks, which is done by the configuration shown in FIG. That is, in FIG. 4, A is an explanatory view of the transporter 10 shown in FIG. 3 from which the front cover 10 b is removed, and in this figure, 14 is a lever rod that can be freely moved around a pin 15 as a fulcrum.
  • 16 and 16 are working rods which are attached to the upper and lower positions with the pin 15 serving as a fulcrum of the above-mentioned lever rod 14 at an equal distance, and the tip of each working rod 16 and 16 is a pin.
  • 15 is formed as a point-symmetric L-shaped part 16a, 16a, and the line passing through the L-shaped part 16a, 16a (dashed line 17 ') is the front cover 1. It should be the same as the straight line of the slit 17 drilled in 0b, and the L-shaped parts 16a, 16a are fitted with the holding fingers 13, 13 of the container, respectively.
  • each of the holding fingers 13, 13 passes through the slit 17 of the front cover 10 b, and at the same time, protrudes from the upper surface of the slit by a predetermined length (about 3 Ocm).
  • Reference numeral 18 denotes an air cylinder for allowing the lever rod 14 to swing in two directions with the pin 15 as a fulcrum. One end is swingably fixed to the base plate 10a. The button rod 18 a at the other end is freely fixed to the lower end of the lever rod 14.
  • the holding fingers 13, 13 of the transfer machine 10 are attached to the support beam 4 so as to protrude inward of the housing 2, and the holding fingers 13, 1 On the projecting side of 3, that is, the case 2 on the opposite side of the supporting beam 4 that moves up and down
  • a shelf board 20 for receiving the container 9 and temporarily holding the container 19 is installed.
  • a wall board 21 is attached between the rear supports 3, 3, and Many shelves 20 are arranged side by side with respect to the boards 21.
  • each of the shelves 20 has an interval dimension H slightly larger than the height h of the container in the vertical direction of the housing, and each of the shelves 20 is used for transfer and unloading described later.
  • the distance W between the adjacent rows is slightly larger than the width w of the container 19 in such an arrangement. It is done.
  • reference numeral 22 denotes a positioning pin provided on the shelf 20, which is mated with a conical recess (not shown) provided on the bottom portion of the container 19, thereby forming the shelf 20.
  • the precise positioning of container 19 above will be done automatically.
  • this causes the container 19 to be placed in a state where it is slightly lifted on the shelf plate 20, which is to insert the holding fingers 13 and 13 during transfer and unloading described later.
  • it is excellent in facilitating the lifting it is not necessarily required in the practice of the present invention because it can be replaced by other means.
  • the weight is about 1 Okg, and the holding finger of the transfer device 10 is used.
  • the support beam 4 is subject to dynamic uneven load.
  • a metal plate material is bent in multiple steps as an engagement member 5 at the edge of the support beam 4 as shown in FIG.
  • the folded type strain absorbing member 23 is attached, and is engaged with the inside of the narrow groove 3a formed in the support column 3 via the folded type strain absorbing member 23.
  • the sliding body 25 having a ball bearing 24 on the inner peripheral surface is bolted to the folded-type strain absorbing member 23.
  • Mounting di 2 6, ⁇ body 2 5 is a configuration which is adapted harbor rail member 2 7 which is fixed to the thin groove 3 a.
  • the folded type strain absorbing member 23 is attached to only one end of the support beam 4.
  • the engagement member 5 on the other end side may be similarly implemented.
  • the folded-type strain absorbing member 23 is considered in the sliding guide portion between the support beam 4 and the column 3, and must be considered in the sliding portion in which the balance load 8 is guided by the column 3. No need. That is, as can be seen in FIG. 3, the engaging member 5 of the load body 8 for balance has the sliding member 25 ′ attached to the side end thereof in a state of being directly fitted to the rail member 27 of the column 3. is there.
  • reference numeral 28 denotes a load port (docking station) arranged at a lower portion in the housing 2, and a container 19 to be carried into the housing 2 at any time is appropriately placed on the shelf board 20. It is placed and temporarily stored, but is transferred to the stage 28a of the load boat 28 at an appropriate time and used for necessary processing and inspection.
  • reference numeral 29 denotes a control device for operating the entire apparatus according to the above configuration and for giving instructions for handling the container 19 and the like.
  • a container 19 containing an object to be processed is carried in and placed on one of the uppermost shelf boards 20 in the housing 2 by a suspension type automatic transfer table (not shown) or the like from the outside of the apparatus.
  • the container 19 is transported onto the stage 26 a of the load port 26 by the vertical movement of the support beam 4 and the operation of the transport device 10 on the support beam 4, and the load port 26
  • the necessary processing is performed while sequentially taking out the internal processing objects from above, and when all of these processings are completed, the support beam 4 and the transporter 10 are again operated to operate the other uppermost part (n). Then, it is returned to the upper side of the shelf board 20 and is put on standby from the place to another place so as to be carried out by a separately suspended automatic carrier (not shown) or the like.
  • the above-mentioned support beam 4 and the carrier 10 carry the container at the uppermost stage and place it thereon.
  • the shelf on the shelf 20 (m in the example shown) is moved to another empty shelf at any time, so that the shelf for delivery (m) is always replaced by the next shelf. It should be ready for carrying in.
  • the shelves at the carry-in point (m) are vacant within the predetermined time
  • another shelf board adjacent at the top is also used as a spare, and this also applies to the shelf board (n) placed for carrying out.
  • the shelf is designed in three rows, four rows, or the like other than the illustrated example.
  • the portion where the transporter 10 holds the container 19 on the holding fingers 13 and 13 is substantially at the lower end of the left and right side walls of the container 19 or at the bottom of the container.
  • the holding fingers 13 and 13 are lifted by being brought into contact with approximately both ends on the bottom of the container 19.
  • the holding fingers 13 and 13 as shown in Fig. 3 are formed in an L-shaped cross section, the lower corners of the left and right side walls of the container 19 are provided with the holding fingers 13 and It is held so that it matches the L-shaped angle of the cross section of 13.
  • a flange that slightly protrudes in the horizontal direction may be attached to the left and right side walls for hand-held use, etc., and when using this container, the lower part of the flange is held.
  • the holding fingers 13 and 13 can be held by contact.
  • three positioning pins 27 are provided on the upper surface of each shelf 20 and the upper surface of the stage 26 a of the load port 26 so as to protrude vertically upward by about 3 cm, respectively.
  • conical recesses (not shown) at the three locations corresponding to the positioning pins 27 on the bottom surface of 19, holding fingers 13 and 13 for holding the container 19 are formed.
  • the container is automatically positioned and placed at the predetermined appropriate position.
  • a gap S of about 1 cm is provided between the upper surface of the shelf 20 and the upper surface of the stage 26a of the mouth port 26 and the bottom surface of the container 19 mounted on the positioning pin 27. (See FIG. 1). Therefore, in the next removal of the container 19 in these stationary states, the clearance S is used to hold the fingers 13, 1, 1, and 1 of the transporter 10. 3 can be inserted to easily hold the bottom of the container. 02 12731
  • a strip-shaped flange is formed to protrude horizontally in a position slightly above the bottom of the wall, and the holding fingers 13 and 13 are brought into contact with the lower part of the flange. It can be held.
  • each of the containers accommodating the objects to be processed, which sequentially requires several different processes at different stages is temporarily stored in the flow operation. It can be carried out under an efficient production line while storing the containers, that is, carrying the containers in the processing work of the objects to be processed in each container, temporarily holding the containers, and transferring the containers to the load port.
  • unloading, etc. be performed within a predetermined period of time in relation to the processing at other stages and the transfer time, etc. It is possible to return to the specified production line again while performing various necessary processing without loss time, which is very effective in performing accurate and smooth running operation of the whole work flow. Will be.
  • this equipment is excellent in that it is possible to perform the corresponding processing with the installation of a small number of load ports, and this contributes to the reduction of the equipment cost as well as the overall equipment compactness.
  • the holding state of the container does not cause any change in its outer shape, the object to be processed in the container is not affected before or after the treatment, without any adverse effect. It will be a great contribution to quality improvement.
  • the weight of the entire device can be reduced, and the device has excellent heat resistance and an excellent effect of preventing contamination of a processing object.

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Description

明 細 書 容器の一時的搬入、 留置、 搬出用装置
技術分野
この発明は、 形状が一定している容器を自動的に搬入、 留置、 搬出する装置に関 する。 詳しくは、 精密電子部品用平板状物を清浄状態に収納した容器を一時保管す るためのもので、 その保管用筐体内には多数の棚段を形成したものとなし、 各棚段 に対する搬入、 留置、 搬出などの全ては自動制御で行われる。
背景技術
半導体ウェハや液晶表示板用基板などの平板状物である精密電子部品は、 フォ ト レジス トの塗布、薄膜蒸着、酸化膜や硝化膜の作成、エッチング、熱処理などの種々 の製造ステップや、 検査ステップが行われる。 これら各製造ステップや検査ステツ プでは、 被処理平板状物は清浄容器に収納して搬送されるが、 各ステップに於ける 処理時間が一定でなく異なるため、 滞留を余儀なく されるステップでは棚を設けて 上記清浄容器を一時保管させたり、 処理速度の遅いステップは複数列に分けて並行 処理させたり して、 各ステップでの待ち時間をできるだけ少なくするよう工夫がな されている。 ところで、 半導体製造工程用の清浄容器は人が手に持てる大きさに設 計され、 専ら人手によって棚に保管されるのであるが、 精密電子部品はゴミなどの 異物を嫌うため、 搬送、 一時保管といえども人手に頼らないで自動化するのが好ま しレ、。
半導体デバイス用基板を搬送する中 ·小型のカセッ ト自動保管装置として、 例え ば、 日本特許出願公開公報特開平 2 0 0 1 - 2 9 8 0 6 9号公報に提案されたもの がある。 これは、 装置最下部に、 カセッ トから半導体ウェハを移載する ドッキング ステーショ ンを 2式備え、 それらの間に上下方向の搬送用空間と、 その空間の左右 両側で且つドッキングステーションの上方に複数個の棚段を配した構造をなし、 力 セッ トムーバがカセッ トを掴んで上記空間を搬送して、 ドッキングステーションに 載置するものである。 しかしながら、 この特開平 2 0 0 1— 2 9 8 0 6 9号公報記 載の上下左右方向駆動用カセッ トムーバは、 1本の左右方向へ可動な垂直支柱から なり、 清浄容器の上部把持部を掴み、 装置の下方で片持ちする 1本のエンドェフエ クタをエレベータとして備えた構造となっている。 従って、 1本の支柱では、 重い カセッ ト （容器） を把持したまま移動を開始或いは停止させる場合、 大きな慣性モ ーメントが働いて揺動や振動を発生させ、 またこれらを容易に停止させることがで きないために、 搬送スピードを上げることができなかったり、 また移载ステージに 正確に載置できない等の不具合がある。 更に、 カセッ トムーバはカセッ ト上部側の 突起を掴む構造となっているため、 突起を掴んだときにカセッ ト上面が膨らむ方向 に変形して、 カセッ トの容積が増加し、 カセッ ト内の内圧が低下して、 蓋を開ける 際に外気の流入し、 これにより塵埃が流入したりする影響を受ける問題があった。 本発明は容器運搬の際に、 その把持手段が容器を変形させたり して内容物に影響 を与えたりすることのない容器の一時的搬入、 留置、 搬出の自動化装置を提供する ことを目的とする。 発明の開示
本発明は、 複数個の容器を、 一時的に搬入、 留置、 搬出する装置において、 左右 両脇に夫々れ 2本の支柱を使用した一定大きさの筐体を作成し、 該筐体の前面側支 柱間に対し支持梁を跨設して上下動可能なさしめると共に、 該支持梁の水平方向へ 左右一対の保持用フィンガを備えた搬送機を移動自在に、 またその一対の保持用フ ィンガの対向間距離が適宜変えられるように取り付け、 且つ後面側支柱間には高さ 方向へ容器の高さ寸法より大なる間隔で水平方向の棚板が複数個配設されるように なすのである。 この際、 前記搬送機の保持用フィンガはその一対を上記棚板へ向か つて一定長さ突出させ、 且つ該一対のフィンガ間に於ける対向間距離の拡大及び縮 小が行われるようになすのであり、 これにより容器の左右両側壁面の底面側或いは その下部を保持するようになすのである。
本発明装置の具体化には、 次の如き構成となして実施することが好ましい。
即ち、 後面側の支柱の夫々れに対し、 上記搬送機の支持梁の上下動と連動して上 下動するバランス用荷重体を取り付けて、 これにより支持梁がバランス良く 円滑な 上下動作用が行われるようにする。
また、 上記の上下動は支持梁とバランス用荷重体間をベルトで連結し、 これを滑 車及び一対のモータを使用して行うようにするのであり、 これは高速で効率の良い 運転を可能にする。
また、 上下動する支持梁を案内する支柱の少なく とも片方で、 これと対向する支 持梁の片端に折り返し型歪吸収部材を介して取り付けるようにする。 これにより、 支持梁の上下動に於ける歪応力の多少が可及的に吸収されるようになる。
なお、 本発明に於ける筐体の棚段は、 高さ方向へ一定間隔で水平方向に複数個の 棚板を形成する際、 一列に限らず複数列となし、 この際の複数列の隣り合う間隔は 少なく とも容器の横巾寸法より も大なる間隔となすのである。 これにより、 多数の 容器を効率良く搬入し、留置し、且つその搬送を迅速且つ的確に行うことができる。 また、 上記に於ける支柱や支持梁及び搬送機などを、 アルミニウム系材料を用い て製造することにより、 装置全体の軽量化を図れると共に、 防鲭性に優れ且つゥェ ハなどの平板状精密電子部品への汚染防止効果が発揮されるものとなる。 図面の簡単な説明
図 1は装置全体の一部切り欠き正面図、 図 2は図 1の左側を切除した状態の一部 切り欠き斜視図、図 3は本発明の要部を図 1の背面側から見た状態の説明図である。 図 4は搬送機に於ける容器把持の構成を示す説明図であって、 Aは保持用フィン ガが容器を保持していない状態を、 Bは保持用フィンガが容器を保持した状態を示 す。 図 5は、 本発明で採用した折り返し型歪吸収部材箇所の部分詳細断面図である。 発明を実施するための最良の形態
以下に、 この発明の実施の形態を図面に従って説明する。
各図に於いて、 1は本発明に係る容器の一時的搬入、 留置、 搬出用装置である。 ここに、 2は該装置 1を形成する筐体であって左右両脇に夫々れ対向状態に 2本の 支柱 3、 3、 3、 3を使用して一定容積、 例えば縦、 横、 高さ寸法凡そ l m X 2 m X 3 mのものに作成される。 4は上記筐体 2の前面側支柱 3、 3間に跨設させる支 持梁であり、 該支持梁 4の左右両側端部に於ける係合部材 5、 5が上記支柱 3、 3 の対向する内面の縦方向に穿設した細溝 3 a、 3 a内に係合されて、 次述する駆動 手段で上下移動されるようになつている。
即ち、 6、 6は支柱 3、 3の対向する内面側上部に取り付けてなる一対のモータ であって、 各モータのプーリ 6 a、 6 a と対応する他の支柱 3、 3の箇所には滑車 7、 7が取り付けてある。
8、 8は前記支持梁 4の上下動を案内する支柱 3、 3 と対向する反対側支柱 3、 3に対し、 これと同様に各支柱 3、 3の対向する内面の縦方向へ穿設した細溝 3 a、 3 a内に係合されて上下動させられるバランス用荷重体であり、 夫々れは前記支持 梁 4 と後述する搬送機を含む全体重量を二分した重量でバランスする如くなさしめ ると共に、 両者間をベルト 9、 9で連結したものとなされている。 而して、 モータ 6、 6の比較的小馬力の駆動で搬送機の取り付けられた支持梁 4の上下動作用が行 われるようになしてある。
1 0は上記の上下動する如く構成した支持梁 4の水平方向を、 適宜往復移動する 如く取り付けしめた搬送機であって、 該構成は図 3に見られる通り支持梁 4の長さ 方向内部へネジ軸 1 1を設け、 該ネジ軸 1 1をその片端に取り付けたモータ 1 2で 駆動されるようになさしめるのである。
即ち、 搬送機 1 0はネジ軸 1 1に取り付けたモータ 1 2の正転或いは逆転で、 支 持梁 4の長さ方向をィ、 口の左右動させられるものとなる。
ここに、 搬送機 1 0は、 一定大きさ （縦、 横寸法凡そ 3 0 c mX 5 0 c m) とな した台板 1 0 aの裏面側に、 上記ネジ軸 1 1 と螺合する雌ネジ体 （図示せず） を取 り付けたものとなし、 且つその前面側には容器を保持するべく一対の保持用フィン ガ 1 3、 1 3をその水平方向で対向間距離 Lが拡大したり、 縮小したりするように 取り付けしめるのであり、 これは図 4に示す如き構成によって行われる。 即ち、 図 4で Aは図 3に見られる搬送機 1 0の前面カバー 1 0 bを取り除いた説明図であり、 該図で 1 4はピン 1 5を支点に摇動自在となされるレバー棹、 1 6、 1 6は上記レ バー棹 1 4の支点となるピン 1 5を等距離間に挟んで上下箇所に取り付けられる作 動棹であり、 各作動棹 1 6、 1 6の先端はピン 1 5を点対称の L状部 1 6 a、 1 6 aに形成したものとなし、 該 L状部 1 6 a、 1 6 aを通過する線 （図示一点鎖線 1 7 ' ) は前面カバー 1 0 bに穿設したスリ ッ ト 1 7の直線上と一致するものとなす のであり、 また L状部 1 6 a、 1 6 aには夫々れ容器の保持用フィンガ 1 3、 1 3 を取り付け、 且つ各保持用フィンガ 1 3、 1 3は前面カバー 1 0 bのス リ ッ ト 1 7 を'通過させると共に、 スリ ッ ト上面から一定長 （凡そ 3 O c m程度） の突出状態と なるようにするのである。 なお、 1 8は上記レバー棹 1 4がピン 1 5を支点にして ノ、、 二方向へ揺動作動させられるためのェアーシリンダであって、 片端を台板 1 0 aに揺動自在に固定させ、 他端のビス トンロッ ド 1 8 aはレバー棹 1 4の下端部へ 自由止着させるのである。 本図の Bはェアーシリンダ 1 8を作動させて、 即ちビス トンロッ ド 1 8 aが一定距離突出されることにより、 レバー棹 1 4がハ方向に揺動 して左右の L状部 1 6 a、 1 6 aの対向間距離 Lがー点鎖線 1 7 ' 上で狭められ、 これにより前面力パー 1 0 b側で保持用フィンガ 1 3、 1 3が前面力パー 1 0 bの スリ ッ ト 1 7内を内向きに摺動して容器 1 9を保持する状態を示すものである。 本発明に於いて、 上記搬送機 1 0の保持用フィンガ 1 3、 1 3は筐体 2内方へ向 かって突出する如くなして支持梁 4に取り付けるのであり、該保持用フィンガ 1 3、 1 3の突出側には即ち、 上下動する支持梁 4の対向側の筐体 2内には多数の容器 1 9を受け入れ且つこれら容器 1 9を一時的に留置させておくための棚板 2 0が設置 されるのであり、 具体的には後方側支柱 3、 3間に壁板 2 1を取り付け、 該壁板 2 1に対し棚板 2 0の多数を並設するのである。 上記の並設に際して各棚板 2 0は筐 体の上下方向へ容器の高さ寸法 hより少し大なる間隔寸法 Hを有するものになし、 且つ各棚板 2 0は後述する移載及び搬出の点から、 高さ方向へ一列設けるだけでな く、 専ら横方向へ複数列に並設させるのである。 本図の実施例 （図 1、 図 2 ) では 二列に並設したものであり、 斯有る配列にするとき隣接する列間の距離 Wは容器 1 9の横巾寸法 wよりやや大なる寸法となされるのである。 なお、 図面で 2 2は棚板 2 0上に設けた位置決めピンであって、容器 1 9の底面部に設けた円錐状の凹み（図 示せず） と対合することにより、 棚板 2 0上に於ける容器 1 9の的確な位置決めが 自動的に行われるものとなる。 又これにより容器 1 9は棚板 2 0上へ少し持ち上げ られた状態に載置されるものとなり、 これは後述する移載や搬出の際の保持用フィ ンガ 1 3、 1 3の差し入れにょる持ち上げを容易ならしめる上に優れるが、 他の手 段に代替可能なため本発明の実施上で必ずしも必要とするものではない。
上記容器 1 9に市販の一般容器を使用し且つウェハなどの被処理物を収納したも のでは、 その重量は凡そ 1 O kg程度のものであり、 これを搬送機 1 0の保持用フィ ンガ 1 3、 1 3上に支持させて支持梁 4の長さ方向でィ、 口の左右動させながら容 器 1 9の搬入、 留置、 搬出などを行う とき、 支持梁 4は動的偏荷重によりその水平 状態や上下動作に悪影響の及ぼされる.ものとなるが、 本発明では図 5„に示す如く支 持梁 4の端縁部に於ける係合部材 5 として、 金属板材を多段に屈曲させた折り返し 型歪吸収部材 2 3を取り付け、 該折り返し型歪吸収部材 2 3を介して支柱 3に穿設 した細溝 3 a内と係合させるのであり、 具体的には該図に見られる通り、 折り返し 型歪吸収部材 2 3に対し、 内周面にボールベアリング 2 4を有する滑動体 2 5をボ ルトネジ 2 6で取り付け、 該滑動体 2 5が細溝 3 aに止着されているレール部材 2 7を抱く ようにした構成にする。
上記実施例では支持梁 4の片端のみに折り返し型歪吸収部材 2 3を取り付けたも のを示したが、 他端側の係合部材 5も同様に実施することも差し支えない。 該折り 返し型歪吸収部材 2 3は支持梁 4と支柱 3 との滑動案内箇所で考慮されるのであり、 バランス用荷重体 8が支柱 3によって案内される滑動箇所に対しては考慮される必 要はない。 即ち、 図 3で見られる通りバランス用荷重体 8の係合部材 5は、 その側 端に取り付けた滑動体 2 5 'を支柱 3のレール部材 2 7に対し直接的な嵌合状態と なすのである。
なお、 図面で 2 8は筐体 2内の下部に配置したロードポート (ドッキングステ一 シヨ ン） であり、 筐体 2内へ随時搬入される容器 1 9は上記棚板 2 0上へ適宜载置 されて一時的に貯留されるものとなるが、 適時該ロードボ一ト 2 8のステージ 2 8 a上に移載させて必要な処理や検査用に供されるものとなすのである。 また、 2 9 は上記構成に係る装置全体め作動及び容器 1 9の取り扱い指令などを行わしめるた めの制御装置である。
次に上記した本発明装置の使用例及び作動について説明する。
装置外部から吊下式自動搬送台 （図示せず） 等で、 筐体 2内の最上部の棚板 2 0 の 1つへ被処理物の収納された容器 1 9が搬入載置される。 而して、 該容器 1 9は 支持梁 4の上下動及び該支持梁 4上の搬送機 1 0の作動により、 ロードポート 2 6 のステージ 2 6 a上へ搬送させ、 該ロ一ドポート 2 6上で順次内部の被処理物を取 り出しながら必要な処理が行われるようになし、 これらの処理全てが完了すると再 び支持梁 4及び搬送機 1 0の作動で最上部の他 （n ) の棚板 2 0上へ戻し、 該所か ら他所へ別途吊下式自動搬送台 （図示せず） などによる搬出が行われるように待機 させるのである。 ところで、 ロードポート 2 8のステージ 2 8 a上に载置した容器 1 9の処理作業が未だ終了しない時点では、 上記の支持梁 4及び搬送機 1 0は最上 段で容器が搬入されて載置される棚板 2 0 (図示例で m ) 上の容器を、 随時他の空 き棚板上へ移し替えるようにするのであり、 これにより搬入用の棚板 （m ) は常に 次の容器の搬入が支障なく行える状態になしておく。
今若し、 上記作業で搬入箇所 （m ) の棚板を予め定められた一定時間内に空き状 態とすることが困難な場合には、 同じく最上段で隣接する別の棚板を予備用と して 使用するのであり、 このことは上記した搬出用に載置させる棚板 （n ) についても 同様であって、 棚段を図示例以外の三列、 四列などに設計する使用態様の採用で対 応するものとなる。
本発明に於いて、 搬送機 1 0がその保持用フィンガ 1 3、 1 3上へ容器 1 9を保 持する部分は、 概ね容器 1 9の左右両側壁面の下端部或いは容器底面部箇所とする のであり、 即ち図 2に見られる如き保持用フィンガ 1 3、 1 3上面をフラッ トにな したものでは容器 1 9の底面部に於ける凡そ両端縁箇所へ 接させて持ち上げるよ うになすのであり、 これに対し図 3に見られる如き保持用フィンガ 1 3、 1 3を断 面 L字状に形成したものでは、 容器 1 9に於ける左右両側壁面下方の角部を保持用 フィンガ 1 3、 1 3の断面 L字状のアングルと一致させるようにして保持するので ある。 なお、 市販の容器の形態によっては左右両側壁面に対し手持ち用などのため に水平方向へ少し突出させた鍔体などを取り付けたものがあり、 このものの容器の 使用では当該鍔体の下方を保持用フィンガ 1 3、 1 3を当接させることにより保持 が可能となる。
一方、 各棚板 2 0上面やロードポート 2 6のステージ 2 6 a上面には、 夫々れ 3 個の位置決めピン 2 7が垂直上方へ凡そ 3 c m程度の突出状態に設けてあり、 他方 各容器 1 9の底面部には上記位置決めピン 2 7 と対応する 3箇所を円錐状の凹み (図示せず） に形成することにより、容器 1 9を保持してなる保持用フィンガ 1 3、 1 3が上記位置決めピン 2 7上でその保持を解放するとき、 容器はその定められた 適正位置へ自動的に位置決めされて載置されるものとなる。
上記の載置状態では棚板 2 0上面や口一ドポート 2 6のステージ 2 6 a上面と、 位置決めピン 2 7に載置される容器 1 9の底面部間には凡そ 1 c m程度の隙間 S (図 1参照） が生ずるものとなるのであり、 従って次にこれら载置状態に於ける容 器 1 9の取り出しでは該隙間 Sを利用して、 搬送機 1 0の保持用フィンガ 1 3、 1 3を差し入れ、 容器底部の保持を容易に行うようになすことができ、 容器底部から 02 12731
9 の持ち上げに何ら支障の無い円滑な実施が可能となる。
上記実施例では位置決めピンの使用で位置決めと同時に隙間 Sが形成されること により、 容器底面部に対する保持用フィンガ 1 3、 1 3の差し入れを可能にしたも のについて説明したが、 容器の左右両側壁面の底面部より少し上方箇所に対し、 短 冊板状の鍔体を水平方向に突出形成させたものとなし、 該鍔体の下部に上記保持用 フィンガ 1 3、 1 3を当接させて保持するものとなしても差し支えない。 産業上の利用可能性
以上のように構成し、 且つ実施する本発明によれば、 異なるステージで夫々れ異 なる幾つかの処理を順次必要とする被処理物の収納された各容器を、 その流れ作業 の中で一時的に保管しながら効率の良い生産ライン下で遂行できるものとなるので あり、 即ち各容器に於ける被処理物の処理作業で容器の搬入、及びその一時的留置、 そしてロードポートに対する移載や、 これからの搬出などを、 他のステージに於け る処理や搬送時間などとの関係で予め定められた一定時間内で行うことが要求され るとき、 本発明装置の設置により臨機応変に対応して必要な種々の処理をロスタイ ムの無いよ うに遂行しながら、再び規定の生産ラインへ戻すことができるのであり、 全体の流れ作業の的確且つ円滑な運転操作が行われる上で著効を奏するものとなる。 なお、 本装置では少ないロードポートの設置で対応処理が可能となる上でも優れ ており、 またこれは全体的な装置のコンパク ト化と共に装置コストの低減化にも寄 与するものとなる。 また、 容器を把持する保持状態がその外形に何らの変化を生じ させないことから、 容器内の被処理物に対しても処理前は勿論のこと、 処理後も何 らの悪影響を及ぼすことがなく、 品質の向上に寄与すること大なるものとなる。 ま た、 アルミニウム系材料を用いて製造したものでは、 装置全体の軽量化が図れると 共に、 防鲭性に優れ且つ被処理物への汚染防止効果の点でも優れたものとなる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 左右両脇に夫々れ 2本の支柱を使用した筐体を作成し、 該筐体の前面側支柱間 には一対の保持用フィンガを備えた搬送機の支持梁を水平方向の上下動可能になる よう取り付けると共に、 後面側支柱間には高さ方向へ容器の高さ寸法より大なる間 隔で水平方向の棚板を複数個配設し、 且つ前記搬送機の保持用フィンガを上記棚板 へ向かって突出させると共に、 該一対の保持用フィンガ間の対向間距離の拡大縮小 を可能ならしめる構成を特徴とした容器の一時的搬入、 留置、 搬出用装置。
2 . 後面側の支柱の夫々れに対し、 搬送機の支持梁の上下動と連動して上下動する バランス用荷重体を取り付けることを特徴と した請求の範囲 1記載の容器の一時的 搬入、 留置、 搬出用装置。
3 . 上記の上下動は一対のモータと滑車及びベルトを使用して行われることを特徴 とした請求の範囲 2記載の容器の一時的搬入、 留置、 搬出用装置。
4 . 前面側の支柱の少なく とも片方で、 搬送機の支持梁は折り返し型歪吸収部材を 介して取り付けられることを特徴と した請求の範囲 1 , 2又は 3記載の容器の一時 的搬入、 留置、 搬出用装置。
5 . 高さ方向へ一定間隔で水平方向に形成した複数個の棚段例を、 後面側の支柱間 へ複数列に配設することを特徴とした請求の範囲 1 , 2 , 3又は 4記載の容器の一 時的搬入、 留置、 搬出用装置。
6 . 複数列の隣り合う間隔は、 少なく とも容器の横巾寸法よりも大なる間隔になさ れていることを特徴と した請求の範囲 5記載の容器の一時的搬入、 留置、 搬出用装 置。 '
7 . 支柱や支持梁及び搬送機などを、 アルミニウム系材料を用いて製造したことを 特徴とした請求の範囲 1 ~ 6何れか 1つに記載した容器の一時的搬入、 留置、 搬出 用装置。
8 . 容器が、 精密電子部品用平板状物を収納する容器であることを特徴とした請求 の範囲 1〜 7何れか 1つに記載した容器の一時的搬入、 留置、 搬出用装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100407395C (zh) * 2003-07-04 2008-07-30 乐华股份有限公司 薄板状基板的运送装置及其运送控制方法
JP2010212648A (ja) * 2009-02-10 2010-09-24 Muratec Automation Co Ltd 移載装置
JP2013501361A (ja) * 2009-07-31 2013-01-10 ムラテックオートメーション株式会社 ツール利用のためのバッファ方式貯蔵及び搬送装置
GB2595393B (en) * 2019-01-22 2023-08-09 Amazon Tech Inc Inventory conveyance system that transfers storage containers to and from a vertically arranged array of storage containers

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
US7218983B2 (en) * 2003-11-06 2007-05-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities
US7720557B2 (en) * 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US7177716B2 (en) 2004-02-28 2007-02-13 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for material control system interface
US20060216137A1 (en) * 2004-07-02 2006-09-28 Katsunori Sakata Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate
US9834378B2 (en) * 2006-12-22 2017-12-05 Brooks Automation, Inc. Loader and buffer for reduced lot size
TW200911654A (en) * 2007-09-06 2009-03-16 Asyst Technologies Japan Inc Storage, transporting system and storage set
JP5369419B2 (ja) * 2007-10-18 2013-12-18 村田機械株式会社 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
KR101015225B1 (ko) * 2008-07-07 2011-02-18 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
JP5284808B2 (ja) * 2009-01-26 2013-09-11 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ ストッカー装置及び基板処理装置
JP2010184760A (ja) 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
KR101088050B1 (ko) * 2009-02-25 2011-11-30 세메스 주식회사 기판 처리 장치
CN102804355B (zh) * 2009-05-18 2015-05-27 布鲁克斯自动化公司 基片容器存储系统
CN102574283B (zh) * 2009-10-20 2016-01-27 伊利诺斯工具制品有限公司 双侧作用同步液压夹具
US9056718B2 (en) 2010-05-13 2015-06-16 Murata Machinery, Ltd. Transfer device
KR101431571B1 (ko) * 2010-06-10 2014-09-18 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 시스템 내에서의 통신 방법
JP2012054392A (ja) * 2010-09-01 2012-03-15 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置及び半導体装置の製造方法
WO2012050640A1 (en) 2010-10-15 2012-04-19 Sanofi-Aventis U.S. Llc Apparatus and method for loading and unloading containers
US9090411B2 (en) 2010-10-15 2015-07-28 Sanofi-Aventis U.S. Llc Apparatus and method for loading and unloading containers
KR101788646B1 (ko) * 2015-05-12 2017-10-23 서지석 냉장고
US10515834B2 (en) 2015-10-12 2019-12-24 Lam Research Corporation Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems
KR101947551B1 (ko) * 2016-12-09 2019-02-14 서지석 냉장고
CN110520371B (zh) * 2017-04-20 2022-05-03 美商美国大福公司 高密度储料器
CN110562734A (zh) * 2018-06-05 2019-12-13 湖南英格斯坦智能科技有限公司 手机膜抓取储存系统
KR20220126717A (ko) 2020-01-14 2022-09-16 로제 가부시키가이샤 Foup 이송 장치
CN111646083B (zh) * 2020-06-24 2021-01-22 广州市穗佳物流有限公司 一种仓库管理用自动化上货卸货架
KR20220063853A (ko) * 2020-11-10 2022-05-18 삼성전자주식회사 반송물 보관 장치
CN113697275A (zh) * 2021-08-12 2021-11-26 北京之前科技有限公司 货柜及其储物箱调度方法、组合货柜
CN117227854B (zh) * 2023-11-16 2024-02-02 沈阳微控新能源技术有限公司 运输平台和运输车

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0192110A (ja) * 1987-10-02 1989-04-11 Daifuku Co Ltd クレーンの昇降キャレッジ駆動装置
GB2306163A (en) * 1995-10-13 1997-04-30 Samsung Electronics Co Ltd Transfer transporting apparatus for semiconductor device manufacturing stocker
JP2000003894A (ja) * 1999-05-10 2000-01-07 Tokyo Electron Ltd 洗浄装置及びその方法
JP2000044015A (ja) * 1998-07-30 2000-02-15 Toshiba Ceramics Co Ltd 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法
EP1134641A1 (en) * 2000-03-16 2001-09-19 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2586464A (en) * 1949-10-04 1952-02-19 Rotary Lift Company Single rail elevator guide equalizer
US3032377A (en) * 1958-10-07 1962-05-01 Acla Werke Ag Rail engaging slide guide for elevator cars
DE7728040U1 (de) * 1977-09-10 1978-03-09 Acla-Werke Ag, 5000 Koeln Fuehrungsschuh fuer aufzuege
AT382135B (de) * 1984-01-31 1987-01-12 Otis Elevator Co Gleitschuhanordnung fuer einen fahrkorb
US4716991A (en) * 1986-07-21 1988-01-05 Carl Riechers Elevator guide shoe
US4696503A (en) * 1986-10-27 1987-09-29 The Singer Company Pneumatic actuated cam driven parallel gripper
US4735452A (en) * 1986-12-19 1988-04-05 Texas Instruments Incorporated Article gripper assembly
JPH0193733A (ja) 1987-10-06 1989-04-12 Fuji Photo Film Co Ltd 超硬調ネガ型ハロゲン化銀写真感光材料
JPH0613787Y2 (ja) * 1987-12-10 1994-04-13 日産自動車株式会社 ワーク位置決め装置
US4865375A (en) * 1988-05-31 1989-09-12 Amp Incorporated Gripper head
US4968077A (en) * 1989-06-09 1990-11-06 The United States Of America As Represented By The Administrator National Aeronautics And Space Administration Portable hand hold device
US5162047A (en) * 1989-08-28 1992-11-10 Tokyo Electron Sagami Limited Vertical heat treatment apparatus having wafer transfer mechanism and method for transferring wafers
JPH061257A (ja) 1992-06-17 1994-01-11 Kayaba Ind Co Ltd 後輪転舵構造
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
JP3331746B2 (ja) * 1994-05-17 2002-10-07 神鋼電機株式会社 搬送システム
JPH09221203A (ja) 1996-02-19 1997-08-26 Hitachi Ltd 自動搬送システム
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US6579052B1 (en) * 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
JP2000012644A (ja) 1998-06-25 2000-01-14 Kokusai Electric Co Ltd カセット移載システム
US6604624B2 (en) * 1998-09-22 2003-08-12 Hirata Corporation Work conveying system
US6283692B1 (en) * 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US6592324B2 (en) * 2001-02-26 2003-07-15 Irm, Llc Gripper mechanism

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0192110A (ja) * 1987-10-02 1989-04-11 Daifuku Co Ltd クレーンの昇降キャレッジ駆動装置
GB2306163A (en) * 1995-10-13 1997-04-30 Samsung Electronics Co Ltd Transfer transporting apparatus for semiconductor device manufacturing stocker
JP2000044015A (ja) * 1998-07-30 2000-02-15 Toshiba Ceramics Co Ltd 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法
JP2000003894A (ja) * 1999-05-10 2000-01-07 Tokyo Electron Ltd 洗浄装置及びその方法
EP1134641A1 (en) * 2000-03-16 2001-09-19 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100407395C (zh) * 2003-07-04 2008-07-30 乐华股份有限公司 薄板状基板的运送装置及其运送控制方法
JP2010212648A (ja) * 2009-02-10 2010-09-24 Muratec Automation Co Ltd 移載装置
JP4720932B2 (ja) * 2009-02-10 2011-07-13 ムラテックオートメーション株式会社 移載装置
JP2013501361A (ja) * 2009-07-31 2013-01-10 ムラテックオートメーション株式会社 ツール利用のためのバッファ方式貯蔵及び搬送装置
GB2595393B (en) * 2019-01-22 2023-08-09 Amazon Tech Inc Inventory conveyance system that transfers storage containers to and from a vertically arranged array of storage containers

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