KR102620121B1 - 물품 반송 장치 및 물품 반송 설비 - Google Patents

물품 반송 장치 및 물품 반송 설비 Download PDF

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Abstract

물품 반송 장치는 제1 이송탑재 장치와, 제1 이송탑재 장치보다 상방에 설치된 제2 이송탑재 장치와, 제1 이송탑재 장치 및 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상하 방향을 따라 이동하는 승강체를 포함하고, 제1류 물품과, 상기 제1류 물품과는 종류가 상이한 제2류 물품이 반송 대상이고, 제1류 물품의 반송량은 제2류 물품의 반송량보다 많고, 제1 이송탑재 장치는, 제1류 물품과 제2류 물품 중 제1류 물품만을 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되고, 제2 이송탑재 장치는, 제1류 물품 및 제2류 물품의 양쪽을 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며, 제1 이송탑재 장치는, 제1류 물품의 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 이송탑재 동작을 제2 이송탑재 장치에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성이다.

Description

물품 반송 장치 및 물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT APPARATUS AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 제1 이송탑재(移載) 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치보다 상방이자 또한 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이송탑재 장치와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상기 상하 방향을 따라 이동하는 승강체를 포함하고 있는 물품 반송(搬送) 장치, 및 이것을 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
이하, 배경 기술에 대하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 괄호 쓰기의 부호 또는 명칭은, 선행기술 문헌에 있어서의 부호 또는 명칭으로 한다. 이러한 물품 반송 장치의 일례가, 일본공개특허 제2018-039660호 공보에 기재되어 있다. 일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치는, 제1 이송탑재 장치[하방 이송탑재부(34a)]와, 제2 이송탑재 장치[상방 이송탑재부(34b)]와, 제1 이송탑재 장치 및 제2 이송탑재 장치를 지지하는 승강체[제2 승강체(32)]를 포함하고 있다. 제1 이송탑재 장치 및 제2 이송탑재 장치는 동일하게 구성되어 있고, 물품을 하방으로부터 지지하도록 구성되어 있다.
일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치는, 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치에 의해 물품을 반송함으로써 2개의 물품을 모아서 반송할 수 있도록 구성되어 있고, 물품의 반송 효율이 높아지고 있다.
일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치는, 1종류의 물품을 반송 대상으로 하고 있지만, 복수 종류의 물품을 반송 대상으로 하여, 상이한 종류의 물품을 모아서 반송하는 것이 필요로 되는 경우가 있다.
예를 들면, 일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치에서는, FOUP만을 반송 대상의 물품으로 하고 있지만, 이 FOUP와는 종류가 상이한 레티클을 수용하는 레티클용 용기를 반송하는 것이 필요로 되는 경우가 있다. 이와 같이 FOUP와 레티클용 용기를 반송하는 경우, 일반적으로, 레티클용 용기의 반송량은 FOUP의 반송량보다 적다. 이와 같이, 상이한 종류의 물품을 반송하는 경우에 있어서, 물품 종류마다의 반송량에 편차가 있는 경우도 있다.
또한, 일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치에서는, 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치로 동일한 형식(포크식)의 이송탑재 장치를 채용하고 있지만, 물품의 종류에 따라서 적절한 이송탑재 장치의 형식이 상이한 경우가 있고, 이송탑재 장치의 형식에 따라서 이송탑재 동작에 필요로 하는 시간이 상이한 경우가 있다. 그리고, 이송탑재 장치의 이송탑재 동작에 필요로 하는 시간은, 물품의 반송 효율에 영향을 준다. 따라서, 이송탑재 장치의 구성 등에 의해서는, 상이한 종류의 물품을 모아서 반송 가능하도록 한 것에 의해, 반송 효율이 크게 저하될 가능성이 있다.
이에, 상이한 종류의 물품을 모아서 반송할 수 있으면서 반송 효율의 저하를 억제할 수 있는 물품 반송 장치의 실현이 요망된다.
상기를 감안한 물품 반송 장치의 특징 구성은, 제1 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치보다 상방이자 또한 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이송탑재 장치와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상기 상하 방향을 따라 이동하는 승강체를 포함하고,
제1류 물품과, 상기 제1류 물품과는 종류가 상이한 제2류 물품이 반송 대상이고, 상기 제1류 물품의 반송량은 상기 제2류 물품의 반송량보다 많고, 상기 제1 이송탑재 장치는 상기 제1류 물품과, 상기 제2류 물품 중 상기 제1류 물품만을 자기(自己)와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되고, 상기 제2 이송탑재 장치는 상기 제1류 물품 및 상기 제2류 물품의 양쪽을 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며, 상기 제1 이송탑재 장치는, 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서의 상기 제1류 물품의 이송탑재 동작을, 상기 제2 이송탑재 장치에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성인 점에 있다.
상기 특징 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치는 제2류 물품은 유지할 수 없지만, 물품의 이송탑재 동작이 비교적 빠르다. 이에 대하여, 제2 이송탑재 장치는 물품의 이송탑재 동작이 비교적 느리지만, 제1류 물품과 제2류 물품의 양쪽을 유지할 수 있다.
즉, 비교적 반송량이 적은 제2류 물품에 대해서는 이송탑재 동작이 비교적 느린 제2 이송탑재 장치를 이용하여 반송하고, 비교적 반송량이 많은 제1류 물품에 대해서는 이송탑재 동작이 비교적 빠른 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치의 양쪽을 이용하여 반송할 수 있으므로, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
[도 1] 물품 반송 설비의 정면도이다.
[도 2] 물품 반송 장치의 측면도이다.
[도 3] 제1 유지부가 하강 위치이고 또한 제1 인퇴(引退) 위치에 있는 제1 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 4] 제1 유지부가 하강 위치이고 또한 제1 돌출 위치에 있는 제1 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 5] 제2 유지부가 상승 위치이고 또한 제2 인퇴 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 6] 제2 유지부가 상승 위치이고 또한 제2 인퇴 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 7] 제2 유지부가 상승 위치이고 또한 제2 인퇴 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 8] 제2 유지부가 제1종용 하강 위치이고 또한 제2 돌출 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 9] 제2 유지부가 제2종용 하강 위치이고 또한 제2 돌출 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 10] 제2 유지부가 제3종용 하강 위치이고 또한 제2 돌출 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 11] 제1 컨베이어의 평면도이다.
[도 12] 제2 컨베이어 및 제3 컨베이어의 평면도이다.
[도 13] 제2 컨베이어 및 제3 컨베이어의 종단 정면도이다.
[도 14] 제어 블록도이다.
[도 15] 이송탑재 동작의 설명도이다.
1. 실시형태
물품 반송 장치를 포함한 물품 반송 설비의 실시형태에 대하여 도면에 기초하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는 승강식 반송 장치(1)(물품 반송 장치에 상당)와 컨베이어식 반송 장치(2)를 포함하고 있다. 승강식 반송 장치(1)는 하층(D)과 이 하층(D)보다 계층이 위인 상층(U) 사이에서 물품을 반송한다. 컨베이어식 반송 장치(2)는 하층(D) 및 상층(U)의 각각에 설치되어 있고, 물품을 수평 방향을 따라 반송한다.
승강식 반송 장치(1) 및 컨베이어식 반송 장치(2)의 각각은, 제1류 물품(K1)과, 상기 제1류 물품(K1)과는 종류가 상이한 제2류 물품(K2)이 반송 대상이다. 제2류 물품(K2)에는, 서로 외형 치수가 상이한 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)이 포함되어 있다. 제1류 물품(K1)은 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)의 양쪽과 외형 치수가 상이한 제1종 물품(T1)이다. 즉, 승강식 반송 장치(1) 및 컨베이어식 반송 장치(2)의 각각은, 외형 치수가 서로 상이한 제1종 물품(T1)과 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)을 반송 대상으로 하고 있다.
그리고, 제1류 물품(K1)의 반송량은 제2류 물품(K2)의 반송량보다 많다. 즉, 제1종 물품(T1)의 반송량은, 제2종 물품(T2)의 반송량과 제3종 물품(T3)의 반송량의 합계보다 많다. 본 실시형태에서는, 제1종 물품(T1)에 비하여 반송량이 적은 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)을 합하여 제2류 물품(K2)으로 하고, 반송량이 많은 제1종 물품(T1)을 제1류 물품(K1)으로서 분류하고 있다.
제1종 물품(T1)은 상부에 제1 피유지부(F1)를 구비하고 있다. 제2종 물품(T2)은 상부에 제2 피유지부(F2)를 구비하고 있다. 제3종 물품(T3)은 상부에 제3 피유지부(F3)를 구비하고 있다. 그리고, 제1 피유지부(F1)는 제1류 물품(K1)의 상부에 구비된 제1류 피유지부(R1)에 상당하고, 제2 피유지부(F2) 및 제3 피유지부(F3)는 제2류 물품(K2)의 상부에 구비된 제2류 피유지부(R2)에 상당한다.
제2종 물품(T2)은 제3종 물품(T3)보다 상하 방향 Z의 치수가 크고, 제1종 물품(T1)은 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)보다 상하 방향 Z의 치수가 크다. 그러므로, 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제2종 물품(T2)의 제2 피유지부(F2)를 유지한 경우의 제2종 물품(T2)의 하단의 높이는, 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제3종 물품(T3)의 제3 피유지부(F3)를 유지한 경우의 제3종 물품(T3)의 하단의 높이보다 낮아진다. 또한, 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제1종 물품(T1)의 제1 피유지부(F1)를 유지한 경우의 제1종 물품(T1)의 하단의 높이는, 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제2종 물품(T2)의 제2 피유지부(F2)를 유지한 경우의 제2종 물품(T2)의 하단의 높이, 및 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제3종 물품(T3)의 제3 피유지부(F3)를 유지한 경우의 제3종 물품(T3)의 하단의 높이보다 낮아진다.
본 실시형태에서는, 제1종 물품(T1)은 반도체 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼용 용기이고, 제2종 물품(T2)은 EUV 마스크를 수용하는 EUV용 용기이며, 제3종 물품(T3)은 레티클을 수용하는 레티클용 용기이다. 구체적으로는, 제1종 물품(T1)은 FOUP(Front Opening Unified Pod) 및 FOSB(Front Opening Shipping Box)이다. 제2종 물품(T2)은 SEMI 규격의 E152에 따른 EUV용 용기이다. 제3종 물품(T3)은 SEMI 규격의 E111에 따른 레티클용 용기이다. 제1 피유지부(F1), 제2 피유지부(F2) 및 제3 피유지부(F3)는, 각 용기의 상면부에 구비된 플랜지부다.
본 실시형태에서는, 승강식 반송 장치(1)에 있어서의 제2 이송탑재 장치(7)의 동작에 영향을 주는 부위의 외형 치수가 상이한 경우에 「외형 치수가 상이함」으로 하고 있다. 즉, 제2 이송탑재 장치(7)는 용기의 플랜지부를 유지하는 구성이므로, 용기에 있어서의 플랜지부의 높이가 같은 높이에 있고, 또한 상기 플랜지부의 형상이 동일한 경우에는, 「외형 치수가 동일함」으로 하고 있고, 용기의 플랜지부의 높이가 상이하거나, 또는 상기 플랜지부의 형상이 상이한 경우에는 「외형 치수가 상이함」으로 하고 있다. 제2 이송탑재 장치(7)는, 제1종 물품(T1)과 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)을 모두 지지할 수 있지만, 제1종 물품(T1)의 바닥면과 제2종 물품(T2)의 바닥면과 제3종 물품(T3)의 바닥면이 같은 높이로 지지되고 있는 경우에는, 이들 물품의 플랜지부의 높이가 상이하므로, 이들 물품은 「외형 치수가 상이한」 것이고, 제1종 물품(T1)과 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)에서는 이송탑재하는 경우의 동작이 상이한 것으로 된다. 그러므로, 이들 제1종 물품(T1)과 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)은 상이한 종류로 하고 있다. 한편, 제1종 물품(T1)으로서 FOUP와 FOSB가 있지만, 이들은 용기의 플랜지의 높이가 같으며 플랜지부의 형상도 동일하므로, 이들은 「외형 치수가 상이한」 것이 아니고, 외형 치수가 동일한 물품, 즉 동일한 종류의 물품으로 하고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)의 플랜지부의 형상이 동일하다. 즉 본 실시형태에서는, 플랜지부의 형상이 동일한 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)이 제2류 물품(K2)으로 분류되고, 이들과 플랜지부의 형상이 상이하고, 또한 플랜지부의 높이도 상이한 제1종 물품(T1)이 제1류 물품(K1)으로 분류되고 있다.
승강식 반송 장치(1)는 제1 이송탑재 장치(6)와, 제1 이송탑재 장치(6)보다 상방이자 또한 상하 방향 Z를 따르는 상하 방향 Z에서 볼 때 제1 이송탑재 장치(6)와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치(7)와, 제1 이송탑재 장치(6) 및 제2 이송탑재 장치(7)를 지지하고 또한 승강용 모터(9)(도 14 참조)의 구동에 의해 상하 방향 Z를 따라 이동하는 승강체(8)를 포함하고 있다.
제1 이송탑재 장치(6)는, 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]과 제2류 물품(K2)[제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)] 중 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]만을 자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되어 있다. 제2 이송탑재 장치(7)는, 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)] 및 제2류 물품(K2)[제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)]의 양쪽을 자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되어 있다.
그리고, 제1 이송탑재 장치(6)에 있어서, 「자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재 가능」이란, 제1 이송탑재 장치(6)가 제1 이송탑재 장치(6)로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1류 물품(K1)을 이송탑재하는 것이나, 제1 이송탑재 장치(6)가 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1류 물품(K1)을 이송탑재할 수 있는 것을 나타내고 있다. 또한, 제2 이송탑재 장치(7)에 있어서, 「자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재 가능」이란, 제2 이송탑재 장치(7)가 제2 이송탑재 장치(7)로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1류 물품(K1) 또는 제2류 물품(K2)을 이송탑재하는 것이나, 제2 이송탑재 장치(7)가 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1류 물품(K1) 또는 제2류 물품(K2)을 이송탑재할 수 있는 것을 나타내고 있다.
도 11 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 상하 방향 Z에서 볼 때, 승강체(8)의 주위에 위치하도록 이송탑재 대상 개소(3)가 구비되어 있다. 이 이송탑재 대상 개소(3)에는, 물품을 지지하는 지지체(10)나, 컨베이어식 반송 장치(2)의 일부가 구비되어 있다. 제1 이송탑재 장치(6)는 자기와 지지체(10) 사이에서 제1종 물품(T1)을 이송탑재하고, 또한 자기와 컨베이어식 반송 장치(2) 사이에서 제1종 물품(T1)을 이송탑재한다. 제2 이송탑재 장치(7)는, 자기와 지지체(10) 사이에서 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 이송탑재하고, 또한 자기와 컨베이어식 반송 장치(2) 사이에서 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 이송탑재한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 이송탑재 장치(6)는, 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]을 유지하는 제1 유지부(11)와, 제1 유지부(11)를 제1 인퇴 위치와 제1 인퇴 위치에 대하여 이송탑재 대상 개소(3)가 존재하는 측으로 돌출시킨 제1 돌출 위치로 이동시키는 제1 출퇴(出退) 기구(12)와, 제1 유지부(11)를 제1 출퇴 기구(12)에 대하여 상하 방향 Z로 이동시키는 제1 승강 기구(13)와, 제1 출퇴 기구(12)를 상하 방향 Z를 따르는 축심(軸心) 주위로 선회시키는 제1 선회 기구(14)를 구비하고 있다.
본 실시형태에서는, 제1 출퇴 기구(12)는 스칼라 암(scalar arm)에 의해 구성되어 있다. 제1 출퇴 기구(12)의 기부(基部)가 승강체(8)에 대하여, 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 그리고, 제1 출퇴 기구(12)의 선단부에 제1 승강 기구(13)가 연결되어 있다. 제1 출퇴 기구(12)는, 출퇴 방향 X를 따라 신축함으로써 제1 유지부(11)를 출퇴 방향 X를 따라 이동시킨다. 제1 승강 기구(13)는 제1 출퇴 기구(12)에 고정된 본체부(13A)와, 본체부(13A)에 승강 가능하게 지지되고 또한 제1 유지부(11)에 고정된 승강부(13B)를 구비하고 있다. 제1 승강 기구(13)는, 승강부(13B)를 본체부(13A)에 대하여 상하 방향 Z를 따라 이동시킴으로써 제1 유지부(11)를 상하 방향 Z를 따라 이동시킨다. 제1 유지부(11)는, 제1류 물품(K1)의 바닥면을 하방으로부터 지지함으로써 제1류 물품(K1)을 유지하도록 구성되어 있다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 이송탑재 장치(6)는, 제1류 물품(K1)을 자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재하는 이송탑재 동작을 행한다. 제1 이송탑재 장치(6)는 이송탑재 동작으로서, 승강체(8)와 이송탑재 대상 개소(3)를 연결하는 방향(출퇴 방향 X)을 따라 돌출 및 인퇴하는 출퇴 동작과, 상하 방향 Z를 따라 승강하는 승강 동작을 행하도록 구성되어 있다.
제1 이송탑재 장치(6)의 출퇴 동작은, 제1 출퇴 기구(12)에 의해 제1 유지부(11)를 제1 인퇴 위치로부터 제1 돌출 위치에 돌출시키는 제1 돌출 동작과, 제1 출퇴 기구(12)에 의해 제1 유지부(11)를 제1 돌출 위치로부터 제1 인퇴 위치에 인퇴시키는 제1 인퇴 동작을 포함한다. 또한, 제1 이송탑재 장치(6)의 승강 동작은, 제1 승강 기구(13)에 의해 제1 유지부(11)를 하강 위치로부터 상승 위치로 상승시키는 제1 상승 동작과, 제1 승강 기구(13)에 의해 제1 유지부(11)를 상승 위치로부터 하강 위치로 하강시키는 제1 하강 동작을 포함한다.
제1 이송탑재 장치(6)는, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1)을 유지하고 있는 제1 유지부(11)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제1 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제1 돌출 동작, 제1 하강 동작, 제1 인퇴 동작의 순으로 행한다.
또한, 제1 이송탑재 장치(6)는, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 자기에게 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1)을 유지하고 있지 않은 제1 유지부(11)가 상하 방향 Z에 있어서 하강 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제1 인퇴 위치에 있는 상태로부터 제1 돌출 동작, 제1 상승 동작, 제1 인퇴 동작의 순으로 행한다.
그리고, 제1 이송탑재 장치(6)는, 제1 출퇴 기구(12)를 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 회전시키는 것에 의해, 제1 출퇴 기구(12)를 신축시켰을 때의 제1 유지부(11)의 출퇴 방향 X를 변경 가능하게 구성되어 있다. 이에 의해, 주위에 늘어서는 5개의 이송탑재 대상 개소(3)와의 사이에서 제1종 물품(T1)을 이송탑재할 수 있도록 되어 있다.
제2 이송탑재 장치(7)는, 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]과 제2류 물품(K2)[제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)] 모두를 유지할 수 있는 제2 유지부(16)와, 제2 유지부(16)를 제2 인퇴 위치와 제2 인퇴 위치에 대하여 이송탑재 대상 개소(3)가 존재하는 측으로 돌출시킨 제2 돌출 위치로 이동시키는 제2 출퇴 기구(17)와, 제2 유지부(16)를 제2 출퇴 기구(17)에 대하여 상하 방향 Z로 이동시키는 제2 승강 기구(18)와, 제2 출퇴 기구(17)를 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 선회시키는 제2 선회 기구(19)를 구비하고 있다.
본 실시형태에서는, 제2 출퇴 기구(17)는 스칼라 암에 의해 구성되어 있다. 제2 출퇴 기구(17)의 기부가 승강체(8)에 대하여, 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 그리고, 제2 출퇴 기구(17)의 선단부에 제2 승강 기구(18)가 연결되어 있다. 제2 출퇴 기구(17)는, 출퇴 방향 X를 따라 신축함으로써 제2 유지부(16)를 출퇴 방향 X를 따라 이동시킨다. 제2 승강 기구(18)는, 제2 출퇴 기구(17)에 고정된 본체부(18A)와, 본체부(18A)에 승강 가능하게 지지되고 또한 제2 유지부(16)에 고정된 승강부(18B)를 구비하고 있다. 제2 승강 기구(18)는 승강부(18B)를 본체부(18A)에 대하여 상하 방향 Z를 따라 이동시킴으로써, 제2 유지부(16)를 상하 방향 Z를 따라 이동시킨다. 제2 유지부(16)는 제1류 물품(K1)의 상부에 구비된 제1류 피유지부(R1)와, 제2류 물품(K2)의 상부에 구비된 제2류 피유지부(R2) 모두를 유지할 수 있도록 구성되어 있다.
제2 유지부(16)에 대하여 설명을 부가한다. 제2 유지부(16)는, 수평 방향을 따라 서로 원근 이간 이동 가능한 한 쌍의 파지 클로우(16A)를 구비하고 있다. 제2 유지부(16)는, 한 쌍의 파지 클로우(16A)를 서로 접근시킨 접근 상태와, 한 쌍의 파지 클로우(16A)를 서로 이간시킨 이간 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 이간 상태에서는, 한 쌍의 파지 클로우(16A)의 간격은 제1 피유지부(F1), 제2 피유지부(F2), 제3 피유지부(F3)의 폭보다 넓고, 접근 상태에서는, 한 쌍의 파지 클로우(16A)는 제1 피유지부(F1), 제2 피유지부(F2), 제3 피유지부(F3)의 어느 폭보다도 좁다. 그러므로, 제2 유지부(16)는, 제1종 물품(T1)의 상부에 구비된 제1 피유지부(F1)와, 제2종 물품(T2)의 상부에 구비된 제2 피유지부(F2)와, 제3종 물품(T3)의 상부에 구비된 제3 피유지부(F3) 모두를 유지할 수 있도록 구성되어 있다.
제2 이송탑재 장치(7)는, 제1류 물품(K1)이나 제2류 물품(K2)을 자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재하는 이송탑재 동작을 행한다. 제2 이송탑재 장치(7)는 이송탑재 동작으로서, 출퇴 동작과 승강 동작에 더하여, 제1류 물품(K1) 또는 제2류 물품(K2)을 유지하는 유지 동작을 행하도록 구성되어 있다.
제2 이송탑재 장치(7)의 출퇴 동작은, 제2 출퇴 기구(17)에 의해 제2 유지부(16)를 제2 인퇴 위치로부터 제2 돌출 위치에 돌출시키는 제2 돌출 동작과, 제2 출퇴 기구(17)에 의해 제2 유지부(16)를 제2 돌출 위치로부터 제2 인퇴 위치에 인퇴시키는 제2 인퇴 동작을 포함한다. 또한, 제2 이송탑재 장치(7)의 승강 동작은, 제2 승강 기구(18)에 의해 제2 유지부(16)를 상승 위치로 상승시키는 제2 상승 동작과, 제2 승강 기구(18)에 의해 제2 유지부(16)를 상승 위치로부터 제1종용 하강 위치로 하강시키는 제1종용 하강 동작과, 제2 승강 기구(18)에 의해 제2 유지부(16)를 상승 위치로부터 제2종용 하강 위치로 하강시키는 제2종용 하강 동작과, 제2 승강 기구(18)에 의해 제2 유지부(16)를 상승 위치로부터 제3종용 하강 위치로 하강시키는 제3종용 하강 동작을 포함한다. 또한, 제2 이송탑재 장치(7)의 유지 동작은, 제2 유지부(16)를 접근 상태로부터 이간 상태로 전환하는 이간 동작과, 제2 유지부(16)를 이간 상태로부터 접근 상태로 전환하는 접근 동작을 포함한다.
제2 이송탑재 장치(7)는, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1)을 유지하고 있는 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제1종용 하강 동작, 이간 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.
또한, 제2 이송탑재 장치(7)는, 이송탑재 대상 개소(3)부터 자기로부터 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 제3종 물품(T3)의 어느 것도 유지하고 있지 않은 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제1종용 하강 동작, 접근 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.
제2 이송탑재 장치(7)는, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 경우에는, 제2종 물품(T2)을 유지하고 있는 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제2종용 하강 동작, 이간 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.
또한, 제2 이송탑재 장치(7)는, 이송탑재 대상 개소(3)부터 자기로부터 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 제3종 물품(T3)의 어느 것도 유지하고 있지 않은 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제2종용 하강 동작, 접근 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.
제2 이송탑재 장치(7)는, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제3종 물품(T3)을 이송탑재하는 경우에는, 제3종 물품(T3)을 유지하고 있는 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제3종용 하강 동작, 이간 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.
또한, 제2 이송탑재 장치(7)는, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 자기에게 제3종 물품(T3)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 제3종 물품(T3)의 어느 것도 유지하고 있지 않은 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제3종용 하강 동작, 접근 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.
제1 이송탑재 장치(6)는, 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 제1류 물품(K1)의 이송탑재 동작을, 제2 이송탑재 장치(7)에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성이다.
제1 이송탑재 장치(6)가, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 시간(제1 돌출 동작, 제1 하강 동작 및 제1 인퇴 동작에 필요로 하는 시간)은, 제2 이송탑재 장치(7)가, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 시간(제2 돌출 동작, 제1종용 하강 동작, 이간 동작, 제2 상승 동작 및 제2 인퇴 동작에 필요로 하는 시간)에 비하여 짧다.
또한, 제1 이송탑재 장치(6)가, 이송탑재 대상 개소(3)부터 자기에게 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 시간(제1 돌출 동작, 제1 상승 동작, 제1 인퇴 동작에 필요로 하는 시간)은, 제2 이송탑재 장치(7)가, 이송탑재 대상 개소(3)부터 자기에게 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 시간(제2 돌출 동작, 제1종용 하강 동작, 접근 동작, 제2 상승 동작 및 제2 인퇴 동작에 필요로 하는 시간)에 비하여 짧다.
그리고, 제2 이송탑재 장치(7)는, 제2 출퇴 기구(17)를 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 회전시키는 것에 의해, 제2 출퇴 기구(17)를 신축시켰을 때의 제2 유지부(16)의 출퇴 방향 X를 변경 가능하게 구성되어 있다. 이에 의해, 주위에 늘어서는 5개의 이송탑재 대상 개소(3)와의 사이에서 제1종 물품(T1)이나 제2종 물품(T2)이나 제3종 물품(T3)을 이송탑재할 수 있도록 되어 있다.
컨베이어식 반송 장치(2)는 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3) 중 제1종 물품(T1)만을 수평 방향을 따라 반송하는 제1 컨베이어(21) 및 제2 컨베이어(22)와, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3) 중 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)만을 수평 방향을 따라 반송하는 제3 컨베이어(23)를 구비하고 있다. 제1 컨베이어(21)보다 상방에, 제2 컨베이어(22)와 제3 컨베이어(23)가 설치되어 있다.
제1 컨베이어(21)로서, 이송탑재 대상 개소(3)를 향하여 제1종 물품(T1)을 반송하는 반입용 제1 컨베이어(21)와, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제1종 물품(T1)을 반송하는 반출용 제1 컨베이어(21)가 있다. 도 11에 나타낸 예에서는, 반입용 제1 컨베이어(21)와 반출용 제1 컨베이어(21)를 1세트의 제1 컨베이어(21)로 하여, 같은 높이에 2세트의 제1 컨베이어(21)가 설치되어 있다.
제2 컨베이어(22)로서, 이송탑재 대상 개소(3)를 향하여 제1종 물품(T1)을 반송하는 반입용 제2 컨베이어(22)와, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제1종 물품(T1)을 반송하는 반출용 제2 컨베이어(22)가 있다. 또한, 제3 컨베이어(23)로서, 이송탑재 대상 개소(3)를 향하여 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 반송하는 반입용 제3 컨베이어(23)와, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 반송하는 반출용 제3 컨베이어(23)가 있다. 도 12에 나타낸 예에서는, 반입용 제2 컨베이어(22)와 반출용 제2 컨베이어(22)를 1세트의 제2 컨베이어(22)로 하고, 반입용 제3 컨베이어(23)와 반출용 제3 컨베이어(23)를 1세트의 제3 컨베이어(23)로 하여, 같은 높이에 1세트의 제2 컨베이어(22)와 1세트의 제3 컨베이어(23)가 설치되어 있다.
제2 컨베이어(22)와 제3 컨베이어(23)의 설치 높이에 대하여 설명을 부가한다. 본 실시형태에서는 도 13에 나타낸 바와 같이, 제2 컨베이어(22)는, 상기 제2 컨베이어(22)가 반송하는 제1종 물품(T1)의 제1 피유지부(F1)의 높이가, 제3 컨베이어(23)가 반송하는 제2종 물품(T2)의 제2 피유지부(F2)의 높이와 같아지도록 설치되어 있다.
제1 컨베이어(21)와 제2 컨베이어(22)는, 제1 이송탑재 장치(6)에 의한 자기와 제1 컨베이어(21) 사이의 제1종 물품(T1)의 이송탑재와, 제2 이송탑재 장치(7)에 의한 자기와 제2 컨베이어(22) 사이의 제1종 물품(T1)의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되어 있다.
또한, 제1 컨베이어(21)와 제3 컨베이어(23)는, 제1 이송탑재 장치(6)에 의한 자기와 제1 컨베이어(21) 사이의 제1종 물품(T1)의 이송탑재와, 제2 이송탑재 장치(7)에 의한 자기와 제3 컨베이어(23) 사이의 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되어 있다.
제2 컨베이어(22)는, 수평 방향을 따라 이동하여 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]을 반송하는 제1류용 대차(27)와, 제1류용 대차(27)의 이동 경로의 일단부(一端部)에 대하여 설치된 제1종용 내측 지지부(28)와, 제1류용 대차(27)의 이동 경로의 타단부(他端部)에 대하여 설치된 제1종용 외측 지지부(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 제1종용 내측 지지부(28)는 이송탑재 대상 개소(3)에 위치하고 있다.
제1종용 내측 지지부(28)에 대해서는, 승강식 반송 장치(1)에 의해 제1종 물품(T1)의 싣고 내리기가 행해진다. 또한, 제1종용 외측 지지부에 대해서는, 천장 가까이를 주행하는 물품 반송차(4)(도 1 참조)에 의해 제1종 물품(T1)의 싣고 내리기가 행해진다. 그리고, 제1류용 대차(27)에 의해, 제1종용 내측 지지부(28)와 제1종용 외측 지지부 사이에서 제1종 물품(T1)을 반송한다.
제3 컨베이어(23)는, 수평 방향을 따라 이동하여 제2류 물품(K2)[제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)]을 반송하는 제2류용 대차(31)와, 제2류용 대차(31)의 이동 경로의 일단부에 대하여 설치된 제2종용 내측 지지부(32) 및 제3종용 내측 지지부(33)와, 제2류용 대차(31)의 이동 경로의 타단부에 대하여 설치된 제2종용 외측 지지부(도시하지 않음) 및 제3종용 외측 지지부(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 제2종용 내측 지지부(32) 및 제3종용 내측 지지부(33)는 이송탑재 대상 개소(3)에 위치하고 있다.
제2종용 내측 지지부(32)에 대해서는, 승강식 반송 장치(1)에 의해 제2종 물품(T2)의 싣고 내리기가 행해지고, 제3종용 내측 지지부(33)에 대해서는, 승강식 반송 장치(1)에 의해 제3종 물품(T3)의 싣고 내리기가 행해진다. 제2종용 외측 지지부에 대해서는, 물품 반송차(4)(도 1 참조)에 의해 제2종 물품(T2)의 싣고 내리기가 행해지고, 제3종용 외측 지지부에 대해서는, 물품 반송차(4)에 의해 제3종 물품(T3)의 싣고 내리기가 행해진다. 그리고, 제2류용 대차(31)에 의해, 제2종용 내측 지지부(32)와 제2종용 외측 지지부 사이에서 제2종 물품(T2)을 반송하고, 또한 제3종용 내측 지지부(33)와 제3종용 외측 지지부 사이에서 제3종 물품(T3)을 반송한다.
그리고, 제1 컨베이어(21)는 제2 컨베이어(22)와 동일하게 구성되어 있으므로 설명은 생략한다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이 본 실시형태에서는, 컨베이어식 반송 장치(2)는 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 및 제3종 물품(T3) 중 제1종 물품(T1)만을 수평 방향을 따라 반송하는 제4 컨베이어(24)와, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3) 중 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)만을 수평 방향을 따라 반송하는 제5 컨베이어(25)를 구비하고 있다.
제4 컨베이어(24) 및 제5 컨베이어(25)는 제1 컨베이어(21), 제2 컨베이어(22) 및 제3 컨베이어(23)에 대하여 하방으로서 바닥면 가까이에 설치되어 있다. 상기 제4 컨베이어(24) 및 제5 컨베이어(25)의 각각의 한쪽 단부는 이송탑재 대상 개소(3)에 위치하고 있다. 그리고, 제4 컨베이어(24)의 다른 쪽 단부에 대하여, 작업자가 제1종 물품(T1)의 싣고 내리기를 행하고, 제5 컨베이어(25)의 다른 쪽 단부에 대하여, 작업자가 제2종 물품(T2) 또는 제3종 물품(T3)의 싣고 내리기를 행한다.
도 14에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 상위 컨트롤러(H)로부터의 지령에 기초하여 승강식 반송 장치(1)의 동작을 제어하는 제1 제어부(H1)와, 상위 컨트롤러(H)로부터의 지령에 기초하여 컨베이어식 반송 장치(2)의 동작을 제어하는 제2 제어부(H2)를 구비하고 있다. 제1 제어부(H1)는 제1 이송탑재 장치(6), 제2 이송탑재 장치(7) 및 승강체(8)의 동작을 제어하는 제어부에 상당한다.
제1 이송탑재 장치(6)는 제1 재고 센서(S1)와 상승 센서(S2)와 하강 센서(S3)를 구비하고 있다. 제2 이송탑재 장치(7)는 제2 재고 센서(S4)와 제3 재고 센서(S5)와 제1 정위치 센서(S6)와 제2 정위치 센서(S7)를 구비하고 있다. 그리고, 제2 재고 센서(S4)가 제1류 물품(K1)을 검출하기 위한 제1 센서에 상당하고, 제3 재고 센서(S5)가 제2류 물품(K2)을 검출하기 위한 제2 센서에 상당한다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 재고 센서(S1)는, 제1 유지부(11)에 탑재되어 있는 제1종 물품(T1)이 존재하는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제1 재고 센서(S1)의 검출 정보에 기초하여, 제1 유지부(11)가 제1종 물품(T1)을 유지하고 있는지 아닌지를 판별한다.
상승 센서(S2)는, 승강체(8)가 제1 컨베이어(21)에 대응하는 높이에 위치하고, 또한 제1 유지부(11)가 상승 위치이고 또한 제1 컨베이어(21)에 대응하는 선회 위치에 있는 상태에서, 제1 컨베이어(21)에 설치되어 있는 제1 피검출체(A1)를 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 상승 센서(S2)의 검출 정보에 기초하여, 제1 유지부(11)가 이송탑재 대상 개소(3)에 대하여 적합한 상승 위치에 있는지 아닌지를 판별한다. 그리고, 제2 컨베이어(22)에도 제1 컨베이어(21)와 마찬가지로 제1 피검출체(A1)가 설치되어 있다.
하강 센서(S3)는, 승강체(8)가 제1 컨베이어(21)에 대응하는 높이에 위치하고, 또한 제1 유지부(11)가 하강 위치이고 또한 제1 컨베이어(21)에 대응하는 선회 위치에 있는 상태에서, 제1 컨베이어(21)에 설치되어 있는 제1 피검출체(A1)를 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 하강 센서(S3)의 검출 정보에 기초하여, 제1 유지부(11)가 이송탑재 대상 개소(3)에 대하여 적합한 하강 위치에 있는지 아닌지를 판별한다.
도 5∼도 10에 나타낸 바와 같이, 제2 재고 센서(S4)는, 제2 이송탑재 장치(7)가 유지하는 제1종 물품(T1)이 존재하는 높이이고 또한 제2 이송탑재 장치(7)가 유지하는 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)이 존재하지 않는 높이에 설치되어 있다. 그리고, 제2 재고 센서(S4)는, 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 제1종 물품(T1)이 존재하는 영역이고 또한 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 제2종 물품(T2)이나 제3종 물품(T3)이 존재하지 않는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제2 재고 센서(S4)의 검출 정보에 기초하여, 제2 유지부(16)가 제1종 물품(T1)을 유지하고 있는지 아닌지를 판별한다.
제3 재고 센서(S5)는, 제2 이송탑재 장치(7)가 유지하는 제2종 물품(T2)이 존재하는 높이이고 또한 제2 이송탑재 장치(7)가 유지하는 제3종 물품(T3)이 존재하는 높이에 설치되어 있다. 그리고, 제3 재고 센서(S5)는, 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 제2종 물품(T2)이 존재하는 영역이고 또한 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 제3종 물품(T3)이 존재하는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 상기 제3 재고 센서(S5)는 거리 센서에 의해 구성되어 있고, 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 물품까지의 거리를 계측하도록 구성되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제3 재고 센서(S5)의 검출 정보에 기초하여, 제2 유지부(16)가 제2종 물품(T2)을 유지하고 있는지 아닌지를 판별하고, 또한 제2 유지부(16)가 제3종 물품(T3)을 유지하고 있는지 아닌지를 판별한다.
제1 정위치 센서(S6)는, 승강체(8)가 제2 컨베이어(22)에 대응하는 높이에 위치하고, 또한 제2 컨베이어(22)에 대응하는 선회 위치에 있는 상태에서, 제2 컨베이어(22)에 설치되어 있는 제2 피검출체(A2)를 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제1 정위치 센서(S6)의 검출 정보에 기초하여, 제2 유지부(16)가 제2 컨베이어(22)에 대하여 적합한 위치에 있는지 아닌지를 판별한다. 그리고, 제1 컨베이어(21)에 대해서도 제2 컨베이어(22)와 마찬가지로 제2 피검출체(A2)가 설치되어 있다.
제2 정위치 센서(S7)는, 승강체(8)가 제3 컨베이어(23)에 대응하는 높이에 위치하고, 또한 제3 컨베이어(23)에 대응하는 선회 위치에 있는 상태에서, 제3 컨베이어(23)에 설치되어 있는 제3 피검출체(A3)를 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제2 정위치 센서(S7)의 검출 정보에 기초하여, 제2 유지부(16)가 제3 컨베이어(23)에 대하여 적합한 위치에 있는지 아닌지를 판별한다.
도 13에 나타낸 바와 같이, 제3 컨베이어(23)는, 반송 중인 물품이 제2종 물품(T2)인지 제3종 물품(T3)인지를 판별하는 판별 장치(35)를 구비하고 있다. 판별 장치(35)는 제4 재고 센서(S8)와 제5 재고 센서(S9)와 제2 제어부(H2)로 구성되어 있다. 제4 재고 센서(S8)는 제2종용 내측 지지부(32)에 탑재되어 있는 제2종 물품(T2)이 존재하는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 또한, 제5 재고 센서(S9)는 제3종용 내측 지지부(33)에 탑재되어 있는 제3종 물품(T3)이 존재하는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제2 제어부(H2)는 제4 재고 센서(S8)의 검출 정보 및 제5 재고 센서(S9)의 검출 정보에 기초하여, 제2종용 내측 지지부(32)가 제2종 물품(T2)을 지지하고 있는지 아닌지를 판별하고, 또한 제3종용 내측 지지부(33)가 제3종 물품(T3)을 지지하고 있는지 아닌지를 판별한다.
제1 제어부(H1)는, 승강체(8)를 이송탑재 대상 개소(3)에 대응하는 위치에 승강시키는 승강 제어와, 물품을 이송탑재 대상 개소(3)와의 사이에서 이송탑재하는 이송탑재 제어를 실행한다. 제1 제어부(H1)는 이송탑재 제어로서, 제1 컨베이어(21)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 컨베이어(22)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제3 컨베이어(23)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제3 컨베이어(23)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제3종 물품(T3)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 실행한다. 또한, 제1 제어부(H1)는 이송탑재 제어로서, 제1 이송탑재 장치(6)로부터 제1 컨베이어(21)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 이송탑재 장치(7)로부터 제2 컨베이어(22)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 이송탑재 장치(7)로부터 제3 컨베이어(23)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 이송탑재 장치(7)로부터 제3 컨베이어(23)에 제3종 물품(T3)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제1 이송탑재 장치(6)로부터 제2 컨베이어(22)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 실행한다.
즉, 예를 들면, 제1 컨베이어(21)의 제1종용 내측 지지부(28)에 제1종 물품(T1)이 지지되고, 제2 이송탑재 장치(7)에 제2종 물품(T2)이 지지되고 있는 경우에는, 먼저 제1 제어부(H1)는, 제1 이송탑재 장치(6)가 제1 컨베이어(21)에 대응하는 위치로 이동하도록 승강체(8)를 승강시키는 승강 제어를 실행한다. 이에 의해, 이와 같이 승강 제어를 실행함으로써, 제1 이송탑재 장치(6)가 제1 컨베이어(21)에 대응하는 위치로 이동하고, 제2 이송탑재 장치(7)가 제2 컨베이어(22)에 대응하는 위치로 이동한다. 그리고, 제1 제어부(H1)는, 제1 컨베이어(21)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어와, 제2 이송탑재 장치(7)로부터 제3 컨베이어(23)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 동시에 실행한다.
또한, 예를 들면, 제2 컨베이어(22)의 제1종용 내측 지지부(28)에 제1종 물품(T1)이 지지되고, 제1 컨베이어(21)의 제1종용 내측 지지부(28)에 제1종 물품(T1)이 지지되고 있지 않고, 제1 이송탑재 장치(6) 및 제2 이송탑재 장치(7)의 양쪽이 물품을 유지하고 있지 않은 경우에는, 제2 컨베이어(22)의 제1종용 내측 지지부(28)에 지지된 제1종 물품(T1)만을 이송탑재 하면 된다. 이와 같은 경우에는, 제1 이송탑재 장치(6)와 제2 이송탑재 장치(7)의 어느 것이라도 제1종 물품(T1)을 이송탑재할 수 있다. 즉, 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어와, 제2 컨베이어(22)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어의 양쪽을 실행할 수 있다. 이와 같은 경우에는, 제1 제어부(H1)는, 제1 이송탑재 장치(6)가 제2 컨베이어(22)에 대응하는 위치로 이동하도록 승강체(8)를 승강시키는 승강 제어를 실행한다. 그 후, 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 실행한다. 이와 같이, 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어와, 제2 컨베이어(22)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어의 양쪽을 실행 가능한 경우, 제1 제어부(H1)는 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 우선적으로 실행한다.
그리고, 제1 컨베이어(21) 또는 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어가, 제1 이송탑재 제어에 상당한다. 또한, 제3 컨베이어(23)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 이송탑재 제어가, 제2 이송탑재 제어에 상당한다. 또한, 제2 컨베이어(22)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어가 제3 이송탑재 제어에 상당한다.
2. 기타 실시형태
다음에, 물품 반송 장치 및 물품 반송 설비의 기타 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기 실시형태에서는, 제1류 물품(K1)을 FOUP 및 FOSB로 하고, 제2류 물품(K2)을 EUV용 용기 및 레티클용 용기로 하였으나, 제1류 물품(K1) 및 제2류 물품(K2)은 적절히 변경해도 된다. 예를 들면, 제1류 물품(K1)을 FOUP와 FOSB 중 어느 한쪽으로 해도 되고, 제2류 물품(K2)을 레티클용 용기와 EUV용 용기 중 어느 한쪽으로 해도 된다. 또한, 제1류 물품(K1)을 레티클용 용기로 하고, 제2류 물품(K2)을 EUV용 용기로 해도 된다. 또한, 제1류 물품(K1) 및 제2류 물품(K2)은 반도체 제조 설비로 반송되는 이들의 물품에는 한정되지 않고, 예를 들면 컨테이너나 팔레트 등의 용기여도 되고, 각종 제품 그 자체여도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 제1류 물품(K1)을 FOUP 및 FOSB로서, 반도체 웨이퍼를 수용하는 용기로 하고, 제2류 물품(K2)을 EUV 용기 및 레티클 용기로서, 포토마스크를 수용하는 용기로 하고, 제1류 물품(K1)과 제2류 물품(K2)에서 수용물의 용도가 상이한 경우를 예로서 설명하였다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 제1류 물품(K1)을 350㎜ 웨이퍼를 수용하는 용기로 하고, 제2류 물품(K2)을 450㎜ 웨이퍼를 수용하는 용기로 하는 등, 제1류 물품(K1)과 제2류 물품(K2)에서 수용물의 용도가 동일해도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 제1 제어부(H1)는, 제1 이송탑재 제어와 제3 이송탑재 제어의 양쪽이 실행 가능한 경우에는, 제1 이송탑재 제어를 우선적으로 실행하였으나, 제3 이송탑재 제어를 우선적으로 실행해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 제1 승강 기구(13)가 제1 출퇴 기구(12)에 대하여 제1 유지부(11)를 상하 방향 Z를 따라 이동시키는 구성인 경우를 예로서 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 제1 승강 기구(13)가 승강체(8)에 대하여 제1 출퇴 기구(12)를 상하 방향 Z를 따라 이동시킴으로써, 제1 유지부(11)를 상하 방향 Z를 따라 이동시키는 구성이어도 된다. 또한, 마찬가지로, 제2 승강 기구(18)가 승강체(8)에 대하여 제2 출퇴 기구(17)를 상하 방향 Z를 따라 이동시킴으로써, 제2 유지부(16)를 상하 방향 Z를 따라 이동시키는 구성이어도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 제1 이송탑재 장치(6)가 이송탑재 동작으로서 출퇴 동작과 승강 동작을 행하도록 구성되고, 제2 이송탑재 장치(7)가 이송탑재 동작으로서 출퇴 동작과 승강 동작과 유지 동작을 행하도록 구성되며, 제1 이송탑재 장치(6)와 제2 이송탑재 장치(7)에서 이송탑재 동작이 상이한 경우를 예로서 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 제1 이송탑재 장치(6)와 제2 이송탑재 장치(7)에서 이송탑재 동작을 동일하게 해도 된다. 예를 들면, 제1 이송탑재 장치(6)와 제2 이송탑재 장치(7)의 양쪽이, 이송탑재 동작으로서 출퇴 동작과 승강 동작을 행하도록 구성되어도 된다. 이 경우에 있어서, 예를 들면, 제1 출퇴 기구(12)와 제2 출퇴 기구(17) 중 한쪽을 스칼라 암에 의해 구성하고, 다른 쪽을 슬라이드 포크에 의해 구성하도록 해도 된다. 이 경우라도, 스칼라 암과 슬라이드 포크의 이송탑재 동작의 상이에 의해, 제1 이송탑재 장치(6)가 제2 이송탑재 장치(7)에 비하여 이송탑재 동작을 단시간에 실행 가능한 구성이면 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 제2 이송탑재 장치(7)가 제1종 물품(T1)을 검출하기 위한 제2 재고 센서(S4)과, 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 검출하기 위한 제3 재고 센서(S5)를 구비하는 구성으로 하였으나, 제2 이송탑재 장치(7)가 구비하는 센서의 위치 및 개수는 적절히 변경해도 된다. 즉, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)이 존재하는 높이에 센서를 구비하여, 하나의 센서에 의해 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 검출하는 구성으로 해도 되고, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 제3종 물품(T3)의 각각에 대하여 개별로 센서를 설치하여, 3개의 센서에 의해 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 검출하는 구성으로 해도 된다.
(7) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용할 수도 있다. 기타의 구성에 관해서도, 본 명세서에서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히 각종 개변을 행할 수 있다.
3. 상기 실시형태의 개요
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 장치 및 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.
물품 반송 장치는 제1 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치로부터 상방이자 또한 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이송탑재 장치와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상기 상하 방향을 따라 이동하는 승강체를 구비하고,
제1류 물품과, 이 제1류 물품과는 종류가 상이한 제2류 물품이 반송 대상이고, 상기 제1류 물품의 반송량은 상기 제2류 물품의 반송량보다 많고, 상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품과 상기 제2류 물품 중 상기 제1류 물품만을 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며, 상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품 및 상기 제2류 물품의 양쪽을 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며, 상기 제1 이송탑재 장치는, 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서의 상기 제1류 물품의 이송탑재 동작을, 상기 제2 이송탑재 장치에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성이다.
상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치는 제2류 물품은 유지할 수 없지만, 물품의 이송탑재 동작이 비교적 빠르다. 이에 대하여, 제2 이송탑재 장치는 물품의 이송탑재 동작이 비교적 느리지만, 제1류 물품과 제2류 물품의 양쪽을 유지할 수 있다.
즉, 비교적 반송량이 적은 제2류 물품에 대해서는 이송탑재 동작이 비교적 느린 제2 이송탑재 장치를 이용하여 반송하고, 비교적 반송량이 많은 제1류 물품에 대해서는 이송탑재 동작이 비교적 빠른 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치의 양쪽을 이용하여 반송할 수 있으므로, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
여기에서, 상기 제1 이송탑재 장치는 상기 이송탑재 동작으로서, 상기 승강체와 상기 이송탑재 대상 개소를 연결하는 방향을 따라 돌출 및 인퇴하는 출퇴 동작과, 상기 상하 방향을 따라 승강하는 승강 동작을 행하도록 구성되고, 상기 제2 이송탑재 장치는 상기 이송탑재 동작으로서, 상기 출퇴 동작과 상기 승강 동작에 더하여, 상기 제1류 물품 또는 상기 제2류 물품을 유지하는 유지 동작을 행하도록 구성되어 있으면 호적하다.
상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치는, 출퇴 동작과 승강 동작에 의해 제1류 물품을 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재하지만, 제2 이송탑재 장치는, 출퇴 동작과 승강 동작과 유지 동작에 의해 제1류 물품이나 제2류 물품을 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재한다. 이와 같이, 제1 이송탑재 장치는, 제2 이송탑재 장치에 비하여 이송탑재 동작의 공정이 적기 때문에, 제1 이송탑재 장치를 제2 이송탑재 장치에 비하여 이송탑재 동작이 빠른 구성으로 하기 용이하다. 한편, 제2 이송탑재 장치는, 유지 동작에 의해 물품을 유지하는 구성이므로, 상이한 종류의 물품의 이송탑재에 대응한 구성으로 하기 용이하다.
또한, 상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품의 바닥면을 하방으로부터 지지함으로써 유지하도록 구성된 제1 유지부를 구비하고, 상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품의 상부에 구비된 제1류 피유지부와, 상기 제2류 물품의 상부에 구비된 제2류 피유지부 모두를 유지할 수 있도록 구성된 제2 유지부를 구비하고 있으면 호적하다.
상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치의 제1 유지부를 제1 이송탑재 장치에 유지되고 있는 제1류 물품에 대하여 하방에 배치하고, 제2 이송탑재 장치의 제2 유지부를 제2 이송탑재 장치에 유지되고 있는 제1류 물품이나 제2류 물품에 대하여 상방에 배치할 수 있다. 그러므로, 상기한 바와 같이 제1 이송탑재 장치보다 상방에 제2 이송탑재 장치가 배치된 구성에 있어서는, 제1 유지부와 제2 유지부를 상하로 떼어 놓아 배치할 수 있고, 이들 사이에 물품을 유지하기 위한 공간을 형성할 수 있다. 그러므로, 제1 이송탑재 장치에 유지되고 있는 물품과 제2 이송탑재 장치에 유지되고 있는 물품의 상하 방향의 간격을 좁게 할 수 있다. 따라서, 제1 이송탑재 장치의 이송탑재 대상 개소와 제2 이송탑재 장치의 이송탑재 대상 개소와의 상하 방향의 간격도 좁게 할 수 있어, 이송탑재 대상 개소의 공간 절약화를 도모하기 용이하다.
또한, 상기 제1류 물품은, 상기 제2류 물품보다 상기 상하 방향의 치수가 크고, 상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품을 검출하기 위한 제1 센서와, 상기 제2류 물품을 검출하기 위한 제2 센서를 구비하고, 상기 제1 센서는, 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제1류 물품이 존재하는 높이이고 또한 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제2류 물품이 존재하지 않는 높이에 설치되고, 상기 제2 센서는, 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제2류 물품이 존재하는 높이에 설치되어 있으면 호적하다.
상기 구성에 의하면, 제2 이송탑재 장치가 제1류 물품을 유지하고 있는 경우에는 제1 센서 및 제2 센서가 물품을 검출한다. 한편, 제2 이송탑재 장치가 제2류 물품을 유지하고 있는 경우에는 제1 센서가 물품을 검출하고, 제2 센서는 물품을 검출하지 않는다. 따라서, 상기 구성에 의하면, 제2 이송탑재 장치가 유지하고 있는 물품이 제1류 물품인지 제2류 물품인지를 적절하게 검출할 수 있다.
또한, 상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품을 유지하는 제1 유지부를 제1 인퇴 위치와 상기 제1 인퇴 위치에 대하여 상기 이송탑재 대상 개소가 존재하는 측으로 돌출시킨 제1 돌출 위치로 이동시키는 제1 출퇴 기구와, 상기 제1 유지부를 상기 제1 출퇴 기구에 대하여 상기 상하 방향으로 이동시키는 제1 승강 기구를 구비하고, 상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품과 상기 제2류 물품 모두를 유지할 수 있는 제2 유지부를 제2 인퇴 위치와 상기 제2 인퇴 위치에 대하여 상기 이송탑재 대상 개소가 존재하는 측으로 돌출시킨 제2 돌출 위치로 이동시키는 제2 출퇴 기구와, 상기 제2 유지부를 상기 제2 출퇴 기구에 대하여 상기 상하 방향으로 이동시키는 제2 승강 기구를 구비하고 있으면 호적하다.
상기 구성에 의하면, 제1 승강 기구는, 제1 출퇴 기구와 제1 유지부 중 제1 유지부만을 승강시키므로, 제1 출퇴 기구와 제1 유지부의 양쪽을 승강시키는 경우에 비하여, 제1 승강 기구에 의해 승강시키는 대상의 중량을 가볍게 할 수 있으므로, 제1 승강 기구의 소형화나 경량화를 도모할 수 있다. 마찬가지로, 제2 승강 기구에 대해서도, 제2 승강 기구에 의해 승강시키는 대상의 중량을 가볍게 할 수 있으므로, 제2 승강 기구의 소형화나 경량화를 도모할 수 있다.
또한, 상기 제1류 물품은 반도체 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼용 용기이고, 상기 제2류 물품은 EUV 마스크를 수납하는 EUV용 용기와, 레티클을 수납하는 레티클용 용기 중 적어도 한쪽이면 호적하다.
상기 구성에 의하면, 반도체 제조 설비에 있어서, 일반적으로 반송량이 비교적 많은 웨이퍼용 용기와, 반송량이 비교적 적은 EUV용 용기나 레티클용 용기를 반송 효율의 저하를 억제하면서 적절하게 반송할 수 있다.
또한, 상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 이송탑재 장치 및 상기 승강체의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제1 이송탑재 장치에 상기 제1류 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 제어와, 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제2 이송탑재 장치에 상기 제2류 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 제어와, 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제2 이송탑재 장치에 상기 제1류 물품을 이송탑재하는 제3 이송탑재 제어를 실행하고, 또한 상기 제1 이송탑재 제어와 상기 제3 이송탑재 제어의 양쪽이 실행 가능한 경우에는, 상기 제1 이송탑재 제어를 우선적으로 실행하면 호적하다.
상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 제어와 제3 이송탑재 제어의 양쪽이 실행 가능한 경우에는, 제1 이송탑재 제어를 우선적으로 실행하게 된다. 상기와 같이, 제1 이송탑재 장치는 제2 이송탑재 장치에 비하여 이송탑재 동작을 단시간에 실행 가능하다. 그러므로, 상기 구성에 의하면, 제1류 물품의 반송을 보다 효율적으로 행할 수 있다.
물품 반송 설비는 물품 반송 장치와, 컨베이어식 반송 장치를 포함하고,
상기 제2류 물품에는, 서로 외형 치수가 상이한 제2종 물품과 제3종 물품이 포함되고, 상기 제1류 물품은 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품의 양쪽과 외형 치수가 상이한 제1종 물품이고, 상기 컨베이어식 반송 장치는 상기 제1종 물품, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품 중 상기 제1종 물품만을 수평 방향을 따라 반송하는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어와, 상기 제1종 물품, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품 중 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품만을 수평 방향을 따라 반송하는 제3 컨베이어를 구비하고, 상기 제1 컨베이어보다 상방에 상기 제2 컨베이어와 상기 제3 컨베이어가 설치되고, 상기 제1 컨베이어와 상기 제2 컨베이어는, 상기 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제1 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재와, 상기 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제2 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되고, 상기 제1 컨베이어와 상기 제3 컨베이어는, 상기 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제1 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재와, 상기 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제3 컨베이어 사이의 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되어 있다.
상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 제1 컨베이어 사이에서의 제1종 물품의 이송탑재와, 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 제2 컨베이어 사이에서의 제1종 물품의 이송탑재를 동시에 실행할 수 있다. 또한, 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 제1 컨베이어 사이에서 제1종 물품의 이송탑재와, 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 제3 컨베이어 사이에서의 제2종 물품 및 제3종 물품의 이송탑재를 동시에 실행할 수 있다.
즉, 제2 이송탑재 장치에, 제1종 물품과 제2종 물품과 제3종 물품의 어느 물품을 유지하는 경우라도, 제1 이송탑재 장치에 의한 이송탑재와 제2 이송탑재 장치에 의한 이송탑재를 동시에 실행할 수 있다. 그리고, 반송량이 비교적 적은 제2종 물품이나 제3종 물품을 제2 이송탑재 장치에 유지하지 않는 경우에는, 이 제2 이송탑재 장치에 반송량이 비교적 많은 제1종 물품을 유지할 수 있으므로, 물품의 반송 효율을 높일 수 있다.
따라서, 상기 구성에 의하면, 상이한 종류의 물품을 모아서 반송할 수 있으면서, 물품의 반송 효율을 높일 수 있다.
본 개시에 관한 기술은, 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치와 승강체를 포함한 물품 반송 장치에 이용할 수 있다.
1 : 승강식 반송 장치(물품 반송 장치)
2 : 컨베이어식 반송 장치
3 : 이송탑재 대상 개소
6 : 제1 이송탑재 장치
7 : 제2 이송탑재 장치
8 : 승강체
11 : 제1 유지부
12 : 제1 출퇴 기구
13 : 제1 승강 기구
16 : 제2 유지부
17 : 제2 출퇴 기구
18 : 제2 승강 기구
21 : 제1 컨베이어
22 : 제2 컨베이어
23 : 제3 컨베이어
H1 : 제1 제어부(제어부)
K1 : 제1류 물품
K2 : 제2류 물품
R1 : 제1류 피유지부
R2 : 제2류 피유지부
S4 : 제2 재고 센서(제1 센서)
S5 : 제3 재고 센서(제2 센서)
T1 : 제1종 물품
T2 : 제2종 물품
T3 : 제3종 물품
Z : 상하 방향

Claims (8)

  1. 제1 이송탑재(移載) 장치;
    상기 제1 이송탑재 장치보다 상방이자 또한 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이송탑재 장치와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치; 및
    상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상기 상하 방향을 따라 이동하는 승강체;
    를 포함하고,
    제1류 물품과, 상기 제1류 물품과는 종류가 상이한 제2류 물품이 반송(搬送) 대상이며, 상기 제1류 물품의 반송량은 상기 제2류 물품의 반송량보다 많고,
    상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품과 상기 제2류 물품 중 상기 제1류 물품만을 자기(自己)와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되고,
    상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품 및 상기 제2류 물품의 양쪽을 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며,
    상기 제1 이송탑재 장치는, 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서의 상기 제1류 물품의 이송탑재 동작을 상기 제2 이송탑재 장치에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성인,
    물품 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 이송탑재 동작으로서, 상기 승강체와 상기 이송탑재 대상 개소를 연결하는 방향을 따라 돌출 및 인퇴(引退)하는 출퇴(出退) 동작과, 상기 상하 방향을 따라 승강하는 승강 동작을 행하도록 구성되고,
    상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 이송탑재 동작으로서, 상기 출퇴 동작과 상기 승강 동작에 더하여, 상기 제1류 물품 또는 상기 제2류 물품을 유지하는 유지 동작을 행하도록 구성되어 있는, 물품 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품의 바닥면을 하방으로부터 지지함으로써 유지하도록 구성된 제1 유지부를 구비하고,
    상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품의 상부에 구비된 제1류 피유지부와, 상기 제2류 물품의 상부에 구비된 제2류 피유지부 모두를 유지할 수 있도록 구성된 제2 유지부를 구비하고 있는, 물품 반송 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1류 물품은 상기 제2류 물품보다 상기 상하 방향의 치수가 크고,
    상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품을 검출하기 위한 제1 센서와, 상기 제2류 물품을 검출하기 위한 제2 센서를 구비하고,
    상기 제1 센서는, 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제1류 물품이 존재하는 높이이고 또한 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제2류 물품이 존재하지 않는 높이에 설치되고,
    상기 제2 센서는, 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제2류 물품이 존재하는 높이에 설치되어 있는, 물품 반송 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품을 유지하는 제1 유지부를 제1 인퇴 위치와 상기 제1 인퇴 위치에 대하여 상기 이송탑재 대상 개소가 존재하는 측으로 돌출시킨 제1 돌출 위치로 이동시키는 제1 출퇴 기구와, 상기 제1 유지부를 상기 제1 출퇴 기구에 대하여 상기 상하 방향으로 이동시키는 제1 승강 기구를 구비하고,
    상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품과 상기 제2류 물품 모두를 유지할 수 있는 제2 유지부를 제2 인퇴 위치와 상기 제2 인퇴 위치에 대하여 상기 이송탑재 대상 개소가 존재하는 측으로 돌출시킨 제2 돌출 위치로 이동시키는 제2 출퇴 기구와, 상기 제2 유지부를 상기 제2 출퇴 기구에 대하여 상기 상하 방향으로 이동시키는 제2 승강 기구를 구비하고 있는, 물품 반송 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1류 물품은 반도체 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼용 용기이고,
    상기 제2류 물품은 EUV 마스크를 수납하는 EUV용 용기와, 레티클을 수납하는 레티클용 용기 중 적어도 한쪽인, 물품 반송 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 이송탑재 장치 및 상기 승강체의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제1 이송탑재 장치에 상기 제1류 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 제어; 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제2 이송탑재 장치에 상기 제2류 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 제어; 및 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제2 이송탑재 장치에 상기 제1류 물품을 이송탑재하는 제3 이송탑재 제어;를 실행하고, 또한 상기 제1 이송탑재 제어와 상기 제3 이송탑재 제어의 양쪽이 실행 가능한 경우에는, 상기 제1 이송탑재 제어를 우선적으로 실행하는, 물품 반송 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 기재된 물품 반송 장치, 및 컨베이어식 반송 장치를 포함한 물품 반송 설비로서,
    상기 제2류 물품에는, 서로 외형 치수가 상이한 제2종 물품과 제3종 물품이 포함되고,
    상기 제1류 물품은, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품의 양쪽과 외형 치수가 상이한 제1종 물품이며,
    상기 컨베이어식 반송 장치는, 상기 제1종 물품, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품 중 상기 제1종 물품만을 수평 방향을 따라 반송하는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어와, 상기 제1종 물품, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품 중 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품만을 수평 방향을 따라 반송하는 제3 컨베이어를 구비하고,
    상기 제1 컨베이어보다 상방에, 상기 제2 컨베이어와 상기 제3 컨베이어가 설치되고,
    상기 제1 컨베이어와 상기 제2 컨베이어는, 상기 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제1 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재와, 상기 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제2 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되고,
    상기 제1 컨베이어와 상기 제3 컨베이어는, 상기 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제1 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재와, 상기 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제3 컨베이어 사이의 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되어 있는,
    물품 반송 설비.
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