TWI820116B - 物品搬送裝置及物品搬送設備 - Google Patents

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Abstract

一種物品搬送裝置，具備：第1移載裝置；第2移載裝置，設置在比第1移載裝置更上方；及升降體，支撐第1移載裝置及第2移載裝置並且沿著上下方向而移動，以第1類物品及與該第1類物品種類不同的第2類物品為搬送對象，第1類物品的搬送量比第2類物品的搬送量更多，第1移載裝置是構成為在自身與移載對象地點之間僅可移載第1類物品與第2類物品當中的第1類物品，第2移載裝置是構成為在自身與移載對象地點之間可移載第1類物品及第2類物品之雙方，第1移載裝置是相較於第2移載裝置，可在較短時間內執行第1類物品在自身與移載對象地點之間的移載動作之構成。

Description

物品搬送裝置及物品搬送設備
發明領域 本發明是有關於一種物品搬送裝置及具備了此物品搬送裝置的物品搬送設備，前述物品搬送裝置具備有：第1移載裝置；第2移載裝置，設置在比前述第1移載裝置更上方且在沿著上下方向的上下方向視角下與前述第1移載裝置重疊的位置；及升降體，支撐前述第1移載裝置及前述第2移載裝置並且沿著前述上下方向而移動。
發明背景 以下，針對背景技術進行說明。在以下的說明中，括號中的符號或名稱是先前技術文獻中的符號或名稱。所述物品搬送裝置之一例已記載在日本專利特開2018-039660號公報中。日本專利特開2018-039660號公報之物品搬送裝置具備有第1移載裝置(下方移載部34a)、第2移載裝置(上方移載部34b)、及支撐第1移載裝置及第2移載裝置的升降體(第2升降體32)。第1移載裝置及第2移載裝置是同樣地構成，而構成為從下方支撐物品。
日本專利特開2018-039660號公報的物品搬送裝置是構成為以第1移載裝置與第2移載裝置來搬送物品，藉此將2個物品集合到一起來搬送，而可提高物品的搬送效率。
發明概要 日本專利特開2018-039660號公報的物品搬送裝置雖然是將1個種類的物品作為搬送對象，但是有時會需要將複數個種類的物品作為搬送對象，並將不同種類的物品集合到一起來搬送。 例如，雖然在日本專利專利特開2018-039660公報之物品搬送裝置中，是僅將FOUP設為搬送對象的物品，但是有時會需要搬送和此FOUP種類不同之收容倍縮光罩的倍縮光罩用容器。像這樣搬送FOUP與倍縮光罩用容器的情況下，一般而言，倍縮光罩用容器的搬送量會比FOUP的搬送量更少。如此，在搬送不同種類的物品之情況下，也有按每個物品種類的搬送量存在偏差的情況。
又，在日本專利特開2018-039660號公報的物品搬送裝置中，雖然是在第1移載裝置與第2移載裝置中採用相同形式(叉(fork)式)的移載裝置，但是依物品的種類不同而有適當的移載裝置的形式不同的情況，且因應於移載裝置的形式而有移載動作所需要的時間不同的情況。並且，移載裝置的移載動作所需要的時間會對物品的搬送效率造成影響。從而，藉由移載裝置的構成等，會有藉由設成可以將不同種類的物品集合到一起來搬送，而使搬送效率大幅地降低的可能性。
於是，所期望的是一種既可以將不同種類的物品集合到一起來搬送並且可以抑制搬送效率的降低之物品搬送裝置的實現。
有鑒於上述之物品搬送裝置的特徵構成之點在於：具備：第1移載裝置；第2移載裝置，設置在比前述第1移載裝置更上方且在沿著上下方向的上下方向視角下與前述第1移載裝置重疊的位置；及升降體，支撐前述第1移載裝置及前述第2移載裝置並且沿著前述上下方向而移動， 以第1類物品及與該第1類物品種類不同的第2類物品為搬送對象，前述第1類物品的搬送量比前述第2類物品的搬送量更多，前述第1移載裝置是構成為在自身與移載對象地點之間僅可移載前述第1類物品與前述第2類物品當中的前述第1類物品，前述第2移載裝置是構成為在自身與前述移載對象地點之間可移載前述第1類物品及前述第2類物品之雙方，前述第1移載裝置是相較於前述第2移載裝置，可在較短時間內執行前述第1類物品在自身與前述移載對象地點之間的移載動作之構成。
根據此特徵構成，第1移載裝置雖然無法保持第2類物品，但是物品的移載動作比較快。相對於此，第2移載裝置雖然物品的移載動作比較慢，但是可以保持第1類物品與第2類物品之雙方。 亦即，因為針對搬送量比較少的第2類物品是利用移載動作比較慢的第2移載裝置來搬送，而針對搬送量比較多的第1類物品，可以利用移載動作比較快的第1移載裝置與第2移載裝置之雙方來搬送，所以可以抑制搬送效率之降低。
用以實施發明之形態 1.實施形態 依據圖式來說明具備有物品搬送裝置的物品搬送設備之實施形態。 如圖1所示，物品搬送設備具備有升降式搬送裝置1(相當於物品搬送裝置)及輸送機式搬送裝置2。升降式搬送裝置1是在下階D與階層比此下階D更上面的上階U之間搬送物品。輸送機式搬送裝置2是設置於下階D及上階U的每一個，並且沿著水平方向來搬送物品。
升降式搬送裝置1及輸送機式搬送裝置2的每一個，是讓第1類物品K1、以及種類和該第1類物品K1不同的第2類物品K2作為搬送對象。在第2類物品K2中包含有外形尺寸互相不同的第2種物品T2與第3種物品T3。第1類物品K1是外形尺寸和第2種物品T2及第3種物品T3之雙方不同的第1種物品T1。亦即，升降式搬送裝置1及輸送機式搬送裝置2的每一個是將外形尺寸互相不同的第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3設為搬送對象。
並且，第1類物品K1的搬送量是比第2類物品K2的搬送量更多。亦即，第1種物品T1的搬送量比第2種物品T2的搬送量與第3種物品T3的搬送量之合計更多。在本實施形態中，是將和第1種物品T1相較之下搬送量較少的第2種物品T2與第3種物品T3集合到一起而設為第2類物品K2，並將搬送量較多的第1種物品T1分類為第1類物品K1。
第1種物品T1在上部具備有第1被保持部F1。第2種物品T2在上部具備有第2被保持部F2。第3種物品T3在上部具備有第3被保持部F3。再者，第1被保持部F1是相當於設置於第1類物品K1的上部之第1類被保持部R1，第2被保持部F2及第3被保持部F3是相當於設置於第2類物品K2的上部之第2類被保持部R2。
第2種物品T2是上下方向Z的尺寸比第3種物品T3更大，第1種物品T1是上下方向Z的尺寸比第2種物品T2及第3種物品T3更大。因此，藉由第2移載裝置7的第2保持部16保持有第2種物品T2的第2被保持部F2的情況下的第2種物品T2的下端的高度，會變得比藉由第2移載裝置7的第2保持部16保持有第3種物品T3的第3被保持部F3的情況下的第3種物品T3的下端的高度更低。又，藉由第2移載裝置7的第2保持部16保持有第1種物品T1的第1被保持部F1的情況下的第1種物品T1的下端的高度，會變得比藉由第2移載裝置7的第2保持部16保持有第2種物品T2的第2被保持部F2的情況下的第2種物品T2的下端的高度、以及藉由第2移載裝置7的第2保持部16保持有第3種物品T3的第3被保持部F3的情況下的第3種物品T3的下端的高度更低。
在本實施形態中，第1種物品T1是收容半導體晶圓的晶圓用容器，第2種物品T2是收容EUV遮罩的EUV用容器，第3種物品T3是收容倍縮光罩的倍縮光罩用容器。具體而言，第1種物品T1是FOUP(前開式晶圓傳送盒，Front Opening Unified Pod)及FOSB(前開式晶圓運輸盒，Front Opening Shipping Box)。第2種物品T2是遵循SEMI規格的E152之EUV用容器。第3種物品T3是遵循SEMI規格的E111之倍縮光罩用容器。第1被保持部F1、第2被保持部F2及第3被保持部F3是設置於各容器的上表面部之凸緣部。
在本實施形態中，在對升降式搬送裝置1中的第2移載裝置7的動作造成影響之部位的外形尺寸不同的情況，是視為「外形尺寸不同」。亦即，因為第2移載裝置7是保持容器的凸緣部之構成，所以當容器中的凸緣部的高度位於相同高度，且該凸緣部的形狀為相同的情況下，是視為「外形尺寸相同」，當容器的凸緣部的高度不同、或該凸緣部的形狀不同的情況下，是視為「外形尺寸不同」。雖然第2移載裝置7可支撐第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3之任一種物品，但是在將第1種物品T1的底面、第2種物品T2的底面及第3種物品T3的底面支撐於相同高度的情況下，因為這些物品的凸緣部的高度不同，因此這些物品為「外形尺寸不同」的物品，而成為第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3是移載的情況下的動作不同的物品。因此，這些第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3是視為不同的種類。另一方面，雖然作為第1種物品T1而有FOUP與FOSB，但是這些因為容器的凸緣的高度相同，且凸緣部的形狀也相同，所以這些並不是「外形尺寸不同」的物品，而是視為外形尺寸相同的物品，亦即，相同種類的物品。再者，在本實施形態中，第2種物品T2與第3種物品T3的凸緣部的形狀是相同的。 亦即，在本實施形態中，凸緣部的形狀為相同之第2種物品T2與第3種物品T3是分類為第2類物品K2，而凸緣部的形狀和這些為不同且凸緣部的高度也不同之第1種物品T1是分類為第1類物品K1。
升降式搬送裝置1具備有：第1移載裝置6；第2移載裝置7，設置在比第1移載裝置6更上方且在沿著上下方向Z的上下方向Z視角下與第1移載裝置6重疊的位置；及升降體8，支撐第1移載裝置6及第2移載裝置7，並且藉由升降用馬達9(參照圖14)的驅動而沿著上下方向Z移動。
第1移載裝置6是構成為在自身與移載對象地點3之間僅可移載第1類物品K1(第1種物品T1)與第2類物品K2(第2種物品T2及第3種物品T3)當中的第1類物品K1(第1種物品T1)。第2移載裝置7是構成為在自身與移載對象地點3之間可移載第1類物品K1(第1種物品T1)及第2類物品K2(第2種物品T2及第3種物品T3)之雙方。 再者，在第1移載裝置6中，「可在自身與移載對象地點3之間移載」是表示可進行下述移載：第1移載裝置6將第1類物品K1從第1移載裝置6移載至移載對象地點3、或第1移載裝置6將第1類物品K1從移載對象地點3移載至第1移載裝置6。又，在第2移載裝置7中，「可在自身與移載對象地點3之間移載」是表示可進行下述移載：第2移載裝置7將第1類物品K1或第2類物品K2從第2移載裝置7移載至移載對象地點3、或第2移載裝置7將第1類物品K1或第2類物品K2從移載對象地點3移載至第2移載裝置7。
如圖11及圖12所示，移載對象地點3設置成在上下方向Z視角下位於升降體8的周圍。在此移載對象地點3中，具備有支撐物品的支撐體10及輸送機式搬送裝置2的一部分。第1移載裝置6是在自身與支撐體10之間移載第1種物品T1，並且在自身與輸送機式搬送裝置2之間移載第1種物品T1。第2移載裝置7是在自身與支撐體10之間移載第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3，並且在自身與輸送機式搬送裝置2之間移載第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3。
如圖2所示，第1移載裝置6具備有：第1保持部11，保持第1類物品K1(第1種物品T1)；第1進退機構12，使第1保持部11移動至第1退回位置與第1突出位置，其中前述第1突出位置是相對於第1退回位置而突出至移載對象地點3所存在之側的位置；第1升降機構13，使第1保持部11相對於第1進退機構12而在上下方向Z上移動；及第1旋繞機構14，使第1進退機構12繞著沿上下方向Z的軸心旋繞。
在本實施形態中，第1進退機構12是由水平多關節機械手臂(SCARA arm)所構成。第1進退機構12的基部是以繞著沿上下方向Z的軸心旋轉自如的方式來對升降體8連結。並且，第1進退機構12的前端部連結有第1升降機構13。第1進退機構12是藉由沿著進退方向X伸縮而使第1保持部11沿著進退方向X移動。第1升降機構13具備：本體部13A，固定於第1進退機構12；及升降部13B，以可升降的方式受本體部13A所支撐，並且固定於第1保持部11。第1升降機構13是使升降部13B相對於本體部13A而沿著上下方向Z移動，藉此使第1保持部11沿著上下方向Z移動。第1保持部11是構成為藉由從下方支撐第1類物品K1的底面來保持第1類物品K1。
如圖3及圖4所示，第1移載裝置6是進行在自身與移載對象地點3之間移載第1類物品K1的移載動作。第1移載裝置6是構成為進行下述動作來作為移載動作：沿著連結升降體8與移載對象地點3的方向(進退方向X)而突出及退回的進退動作、以及沿著上下方向Z而升降的升降動作。
第1移載裝置6的進退動作包含藉由第1進退機構12使第1保持部11從第1退回位置突出至第1突出位置的第1突出動作、及藉由第1進退機構12使第1保持部11從第1突出位置退回至第1退回位置的第1退回動作。又，第1移載裝置6的升降動作包含藉由第1升降機構13使第1保持部11從下降位置上升至上升位置的第1上升動作、及藉由第1升降機構13使第1保持部11從上升位置下降至下降位置的第1下降動作。
第1移載裝置6在要將第1種物品T1從自身移載至移載對象地點3的情況下，是從保持有第1種物品T1的第1保持部11在上下方向Z上位於上升位置且在進退方向X上位於第1退回位置的狀態，以第1突出動作、第1下降動作、第1退回動作的順序來進行。 又，第1移載裝置6在要將第1種物品T1從移載對象地點3移載至自身的情況下，是從未保持有第1種物品T1的第1保持部11在上下方向Z上位於下降位置且在進退方向X上位於第1退回位置的狀態，以第1突出動作、第1上升動作、第1退回動作的順序來進行。
並且，第1移載裝置6是構成為藉由使第1進退機構12繞著沿上下方向Z的軸心旋轉，而可變更使第1進退機構12伸縮時之第1保持部11的進退方向X。藉此，變得能夠在與排列於周圍的5個移載對象地點3之間移載第1種物品T1。
第2移載裝置7具備：第2保持部16，可保持第1類物品K1(第1種物品T1)與第2類物品K2(第2種物品T2及第3種物品T3)之任一類的物品；第2進退機構17，使第2保持部16移動至第2退回位置與第2突出位置，其中前述第2突出位置是相對於第2退回位置而突出至移載對象地點3所存在之側的位置；第2升降機構18，使第2保持部16相對於第2進退機構17而在上下方向Z上移動；及第2旋繞機構19，使第2進退機構17繞著沿上下方向Z的軸心旋繞。
在本實施形態中，第2進退機構17是由水平多關節機械手臂所構成。第2進退機構17的基部是以繞著沿上下方向Z的軸心旋轉自如的方式來對升降體8連結。並且，第2進退機構17的前端部連結有第2升降機構18。第2進退機構17是藉由沿著進退方向X伸縮而使第2保持部16沿著進退方向X移動。第2升降機構18具備：本體部18A，固定於第2進退機構17；及升降部18B，以可升降的方式受本體部18A所支撐，並且固定於第2保持部16。第2升降機構18是使升降部18B相對於本體部18A而沿著上下方向Z移動，藉此使第2保持部16沿著上下方向Z移動。第2保持部16是構成為可保持第1類物品K1的上部所具備的第1類被保持部R1、及第2類物品K2的上部所具備的第2類被保持部R2之任一個。
針對第2保持部16加以說明。第2保持部16具備沿著水平方向而互相遠近分離移動自如的一對把持爪16A。第2保持部16是構成為可切換成：使一對把持爪16A互相接近的接近狀態、以及使一對把持爪16A互相分離的分離狀態。在分離狀態下，一對把持爪16A的間隔是比第1被保持部F1、第2被保持部F2、第3被保持部F3的寬度更寬，在接近狀態下，一對把持爪16A是比第1被保持部F1、第2被保持部F2、第3被保持部F3的任一個的寬度更狹窄。因此，第2保持部16是構成為可保持第1種物品T1的上部所具備的第1被保持部F1、第2種物品T2的上部所具備的第2被保持部F2、及第3種物品T3的上部所具備的第3被保持部F3之任一個。
第2移載裝置7是進行在自身與移載對象地點3之間移載第1類物品K1或第2類物品K2的移載動作。第2移載裝置7是構成為除了進退動作與升降動作之外，還進行保持第1類物品K1或第2類物品K2的保持動作來作為移載動作。
第2移載裝置7的進退動作包含藉由第2進退機構17使第2保持部16從第2退回位置突出至第2突出位置的第2突出動作、及藉由第2進退機構17使第2保持部16從第2突出位置退回至第2退回位置的第2退回動作。又，第2移載裝置7的升降動作為下述動作：藉由第2升降機構18使第2保持部16上升至上升位置的第2上升動作；藉由第2升降機構18使第2保持部16從上升位置下降至第1種用下降位置的第1種用下降動作；藉由第2升降機構18使第2保持部16從上升位置下降至第2種用下降位置的第2種用下降動作；及藉由第2升降機構18使第2保持部16從上升位置下降至第3種用下降位置的第3種用下降動作。又，第2移載裝置7的保持動作包含將第2保持部16從接近狀態切換至分離狀態的分離動作、及將第2保持部16從分離狀態切換至接近狀態的接近動作。
第2移載裝置7在要將第1種物品T1從自身移載至移載對象地點3的情況下，是在保持有第1種物品T1的第2保持部16在上下方向Z上位於上升位置且在進退方向X上位於第2退回位置的狀態下，依序進行第2突出動作、第1種用下降動作、分離動作、第2上升動作、及第2退回動作。 又，第2移載裝置7在要將第1種物品T1從移載對象地點3移載至自身的情況下，是在未保持有第1種物品T1、第2種物品T2、第3種物品T3之任一種物品的第2保持部16在上下方向Z上位於上升位置且在進退方向X上位於第2退回位置的狀態下，依序進行第2突出動作、第1種用下降動作、接近動作、第2上升動作、及第2退回動作。
第2移載裝置7在要將第2種物品T2從自身移載至移載對象地點3的情況下，是在保持有第2種物品T2的第2保持部16在上下方向Z上位於上升位置且在進退方向X上位於第2退回位置的狀態下，依序進行第2突出動作、第2種用下降動作、分離動作、第2上升動作、及第2退回動作。 又，第2移載裝置7在要將第2種物品T2從移載對象地點3移載至自身的情況下，是在未保持有第1種物品T1、第2種物品T2、第3種物品T3之任一種物品的第2保持部16在上下方向Z上位於上升位置且在進退方向X上位於第2退回位置的狀態下，依序進行第2突出動作、第2種用下降動作、接近動作、第2上升動作、及第2退回動作。
第2移載裝置7在要將第3種物品T3從自身移載至移載對象地點3的情況下，是在保持有第3種物品T3的第2保持部16在上下方向Z上位於上升位置且在進退方向X上位於第2退回位置的狀態下，依序進行第2突出動作、第3種用下降動作、分離動作、第2上升動作、及第2退回動作。 又，第2移載裝置7在要將第3種物品T3從移載對象地點3移載至自身的情況下，是在未保持有第1種物品T1、第2種物品T2、第3種物品T3之任一種物品的第2保持部16在上下方向Z上位於上升位置且在進退方向X上位於第2退回位置的狀態下，依序進行第2突出動作、第3種用下降動作、接近動作、第2上升動作、及第2退回動作。
第1移載裝置6是相較於第2移載裝置7，可在較短時間內執行第1類物品K1在自身與移載對象地點之間的移載動作之構成。 第1移載裝置6將第1種物品T1從自身移載至移載對象地點3時所需要的時間(第1突出動作、第1下降動作、以及第1退回動作所需要的時間)，比第2移載裝置7將第1種物品T1從自身移載至移載對象地點3時所需要的時間(第2突出動作、第1種用下降動作、分離動作、第2上升動作、以及第2退回動作所需要的時間)更短。 又，第1移載裝置6將第1種物品T1從移載對象地點3移載至自身時所需要的時間(第1突出動作、第1上升動作、第1退回動作所需要的時間)，比第2移載裝置7將第1種物品T1從移載對象地點3移載至自身時所需要的時間(第2突出動作、第1種用下降動作、接近動作、第2上升動作、以及第2退回動作所需要的時間)更短。
並且，第2移載裝置7是構成為藉由使第2進退機構17繞著沿上下方向Z的軸心旋轉，而可變更使第2進退機構17伸縮時之第2保持部16的進退方向X。藉此，就變得能夠在與排列於周圍的5個移載對象地點3之間移載第1種物品T1、第2種物品T2、或第3種物品T3。
輸送機式搬送裝置2具備：第1輸送機21及第2輸送機22，沿著水平方向僅搬送第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3當中的第1種物品T1；及第3輸送機23，沿著水平方向僅搬送第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3當中的第2種物品T2與第3種物品T3。第2輸送機22與第3輸送機23是設置在比第1輸送機21更上方。
作為第1輸送機21，有朝向移載對象地點3搬送第1種物品T1之搬入用的第1輸送機21、以及從移載對象地點3搬送第1種物品T1之搬出用的第1輸送機21。在圖11所示的例子中，是將搬入用的第1輸送機21與搬出用的第1輸送機21作為1組第1輸送機21，且在相同的高度上設置有2組第1輸送機21。
作為第2輸送機22，有朝向移載對象地點3搬送第1種物品T1之搬入用的第2輸送機22、以及從移載對象地點3搬送第1種物品T1之搬出用的第2輸送機22。又，作為第3輸送機23，有朝向移載對象地點3搬送第2種物品T2及第3種物品T3之搬入用的第3輸送機23、以及從移載對象地點3搬送第2種物品T2及第3種物品T3之搬出用的第3輸送機23。在圖12所示的例子中，是將搬入用的第2輸送機22與搬出用的第2輸送機22作為1組第2輸送機22，將搬入用的第3輸送機23與搬出用的第3輸送機23作為1組第3輸送機23，且在相同的高度上設置有1組第2輸送機22與1組第3輸送機23。
針對第2輸送機22與第3輸送機23的設置高度加以說明。在本實施形態中，如圖13所示，第2輸送機22是設置成該第2輸送機22所搬送的第1種物品T1的第1被保持部F1的高度和第3輸送機23所搬送的第2種物品T2的第2被保持部F2的高度成為相同。
第1輸送機21與第2輸送機22是以可同時地執行下述移載的間隔來設置：由第1移載裝置6所進行之自身與第1輸送機21之間的第1種物品T1的移載、以及由第2移載裝置7所進行之自身與第2輸送機22之間的第1種物品T1的移載。 又，第1輸送機21與第3輸送機23是以可同時地執行下述移載的間隔來設置：由第1移載裝置6所進行之自身與第1輸送機21之間的第1種物品T1的移載、以及由第2移載裝置7所進行之自身與第3輸送機23之間的第2種物品T2及第3種物品T3的移載。
第2輸送機22具備：第1類用台車27，沿著水平方向移動以搬送第1類物品K1(第1種物品T1)；第1種用內側支撐部28，相對於第1類用台車27的移動路徑的一端部而設置；及第1種用外側支撐部(未圖示)，相對於第1類用台車27的移動路徑的另一端部而設置。第1種用內側支撐部28是位於移載對象地點3。
對於第1種用內側支撐部28，是藉由升降式搬送裝置1來進行第1種物品T1的裝卸。又，對於第1種用外側支撐部，是藉由行走於天花板附近的物品搬送車4(參照圖1)來進行第1種物品T1的裝卸。並且，藉由第1類用台車27，而在第1種用內側支撐部28與第1種用外側支撐部之間搬送第1種物品T1。
第3輸送機23具備：第2類用台車31，沿著水平方向移動以搬送第2類物品K2(第2種物品T2及第3種物品T3)；第2種用內側支撐部32及第3種用內側支撐部33，相對於第2類用台車31的移動路徑的一端部而設置；及第2種用外側支撐部(未圖示)及第3種用外側支撐部(未圖示)，相對於第2類用台車31的移動路徑的另一端部而設置。第2種用內側支撐部32及第3種用內側支撐部33是位於移載對象地點3。
對於第2種用內側支撐部32，是藉由升降式搬送裝置1來進行第2種物品T2的裝卸，對於第3種用內側支撐部33，是藉由升降式搬送裝置1來進行第3種物品T3的裝卸。對於第2種用外側支撐部，是藉由物品搬送車4(參照圖1)來進行第2種物品T2的裝卸，對於第3種用外側支撐部，是藉由物品搬送車4來進行第3種物品T3的裝卸。並且，藉由第2類用台車31，而在第2種用內側支撐部32與第2種用外側支撐部之間搬送第2種物品T2，並且在第3種用內側支撐部33與第3種用外側支撐部之間搬送第3種物品T3。 再者，由於第1輸送機21是與第2輸送機22同樣地構成，因此省略說明。
又，如圖1所示，在本實施形態中，輸送機式搬送裝置2具備：第4輸送機24，沿著水平方向僅搬送第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3當中的第1種物品T1；及第5輸送機25，沿著水平方向僅搬送第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3當中的第2種物品T2及第3種物品T3。
第4輸送機24及第5輸送機25是相對於第1輸送機21、第2輸送機22及第3輸送機23而在下方且設置於地板面附近。此第4輸送機24及第5輸送機25的每一個的一側之端部是位於移載對象地點3。並且，作業人員是對於第4輸送機24的另一側的端部來進行第1種物品T1的裝卸，作業人員是對於第5輸送機25的另一側的端部來進行第2種物品T2或第3種物品T3的裝卸。
如圖14所示，物品搬送設備具備有：第1控制部H1，依據來自上位控制器H的指令而控制升降式搬送裝置1的動作；及第2控制部H2，依據來自上位控制器H的指令而控制輸送機式搬送裝置2的動作。第1控制部H1是相當於控制第1移載裝置6、第2移載裝置7、及升降體8的動作之控制部。
第1移載裝置6具備有第1存貨感測器S1、上升感測器S2、及下降感測器S3。第2移載裝置7具備有第2存貨感測器S4、第3存貨感測器S5、第1定位置感測器S6、及第2定位置感測器S7。再者，第2存貨感測器S4是相當於用於檢測第1類物品K1的第1感測器，第3存貨感測器S5是相當於用於檢測第2類物品K2的第2感測器。
如圖3及圖4所示，第1存貨感測器S1是設置成朝向第1保持部11所載置的第1種物品T1所存在的區域投射檢測光。第1控制部H1是依據第1存貨感測器S1的檢測資訊，來判別第1保持部11是否保持有第1種物品T1。
上升感測器S2是設置成：當升降體8位於對應於第1輸送機21的高度，且第1保持部11在上升位置且在對應於第1輸送機21的旋繞位置之狀態下，朝向設置於第1輸送機21的第1被檢測體A1投射檢測光。第1控制部H1是依據上升感測器S2的檢測資訊，來判別第1保持部11是否相對於移載對象地點3而位於適當的上升位置。再者，在第2輸送機22中也和第1輸送機21同樣地設置有第1被檢測體A1。
下降感測器S3是設置成：當升降體8位於對應於第1輸送機21的高度，且第1保持部11在下降位置且在對應於第1輸送機21的旋繞位置之狀態下，朝向設置於第1輸送機21的第1被檢測體A1投射檢測光。第1控制部H1是依據下降感測器S3的檢測資訊，來判別第1保持部11是否相對於移載對象地點3而位於適當的下降位置。
如圖5~圖10所示，第2存貨感測器S4是設置於：存在有第2移載裝置7所保持的第1種物品T1的高度且不存在有第2移載裝置7所保持的第2種物品T2及第3種物品T3的高度。並且，第2存貨感測器S4是設置成朝向以下區域投射檢測光：存在有第2保持部16所保持的第1種物品T1的區域且不存在有第2保持部16所保持的第2種物品T2或第3種物品T3的區域。第1控制部H1是依據第2存貨感測器S4的檢測資訊，來判別第2保持部16是否保持有第1種物品T1。
第3存貨感測器S5是設置於：存在有第2移載裝置7所保持的第2種物品T2的高度且存在有第2移載裝置7所保持的第3種物品T3的高度。並且，第3存貨感測器S5是設置成朝向以下區域投射檢測光：存在有第2保持部16所保持的第2種物品T2的區域且存在有第2保持部16所保持的第3種物品T3的區域。又，在本實施形態中，此第3存貨感測器S5是由距離感測器所構成，並且構成為測量到第2保持部16所保持的物品之距離。第1控制部H1是依據第3存貨感測器S5的檢測資訊，來判別第2保持部16是否保持有第2種物品T2，並且判別第2保持部16是否保持有第3種物品T3。
第1定位置感測器S6是設置成：當升降體8位於對應於第2輸送機22的高度，且在對應於第2輸送機22的旋繞位置之狀態下，朝向設置於第2輸送機22的第2被檢測體A2投射檢測光。第1控制部H1是依據第1定位置感測器S6的檢測資訊，來判別第2保持部16是否相對於第2輸送機22而位於適當的位置。再者，對於第1輸送機21，也和第2輸送機22同樣地設置有第2被檢測體A2。
第2定位置感測器S7是設置成：當升降體8位於對應於第3輸送機23的高度，且在對應於第3輸送機23的旋繞位置之狀態下，朝向設置於第3輸送機23的第3被檢測體A3投射檢測光。第1控制部H1是依據第2定位置感測器S7的檢測資訊，來判別第2保持部16是否相對於第3輸送機23而位於適當的位置。
如圖13所示，第3輸送機23具備判別裝置35，前述判別裝置35是判別搬送中的物品為第2種物品T2或第3種物品T3。判別裝置35是由第4存貨感測器S8、第5存貨感測器S9、及第2控制部H2所構成。第4存貨感測器S8是設置成朝向第2種用內側支撐部32所載置的第2種物品T2所存在的區域投射檢測光。又，第5存貨感測器S9是設置成朝向第3種用內側支撐部33所載置的第3種物品T3所存在的區域投射檢測光。第2控制部H2是依據第4存貨感測器S8的檢測資訊及第5存貨感測器S9的檢測資訊，來判別第2種用內側支撐部32是否支撐有第2種物品T2，並且判別第3種用內側支撐部33是否支撐有第3種物品T3。
第1控制部H1是執行：升降控制，使升降體8升降至對應於移載對象地點3的位置；及移載控制，在與移載對象地點3之間移載物品。第1控制部H1是執行下述控制來作為移載控制：將第1種物品T1從第1輸送機21移載至第1移載裝置6的移載控制；將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第2移載裝置7的移載控制、將第2種物品T2從第3輸送機23移載至第2移載裝置7的移載控制、將第3種物品T3從第3輸送機23移載至第2移載裝置7的移載控制、及將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第1移載裝置6的移載控制。此外，第1控制部H1是執行下述控制來作為移載控制：將第1種物品T1從第1移載裝置6移載至第1輸送機21的移載控制；將第1種物品T1從第2移載裝置7移載至第2輸送機22的移載控制；將第2種物品T2從第2移載裝置7移載至第3輸送機23的移載控制；將第3種物品T3從第2移載裝置7移載至第3輸送機23的移載控制；及將第1種物品T1從第1移載裝置6移載至第2輸送機22的移載控制。
亦即，例如，於第1輸送機21的第1種用內側支撐部28支撐有第1種物品T1，且於第2移載裝置7支撐有第2種物品T2的情況下，首先，第1控制部H1執行升降控制，前述升降控制是使升降體8升降成使第1移載裝置6移動至對應於第1輸送機21的位置。藉此，藉由像這樣執行升降控制，而讓第1移載裝置6移動至對應於第1輸送機21的位置，且讓第2移載裝置7移動至對應於第2輸送機22的位置。並且，第1控制部H1是同時地執行將第1種物品T1從第1輸送機21移載至第1移載裝置6的移載控制、及將第2種物品T2從第2移載裝置7移載至第3輸送機23的移載控制。
又，例如，於第2輸送機22的第1種用內側支撐部28支撐有第1種物品T1，於第1輸送機21的第1種用內側支撐部28未支撐有第1種物品T1，且第1移載裝置6及第2移載裝置7之雙方未保持物品的情況下，僅移載第2輸送機22的第1種用內側支撐部28所支撐的第1種物品T1即可。在像這樣的情況下，第1移載裝置6與第2移載裝置7之任一個都可以移載第1種物品T1。亦即，可以執行下述移載控制之雙方：將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第1移載裝置6的移載控制、及將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第2移載裝置7的移載控制。在像這樣的情況下，第1控制部H1是執行升降控制，前述升降控制是使升降體8升降成使第1移載裝置6移動至對應於第2輸送機22的位置。之後，執行將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第1移載裝置6的移載控制。像這樣，在可以執行將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第1移載裝置6的移載控制、及將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第2移載裝置7的移載控制之情況下，第1控制部H1優先地執行將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第1移載裝置6的移載控制。
再者，將第1種物品T1從第1輸送機21或第2輸送機22移載至第1移載裝置6的移載控制相當於第1移載控制。又，將第2種物品T2從第3輸送機23移載至第2移載裝置7的移載控制相當於第2移載控制。又，將第1種物品T1從第2輸送機22移載至第2移載裝置7的移載控制相當於第3移載控制。
2.其他實施形態 接著，針對物品搬送裝置及物品搬送設備的其他實施形態進行說明。
(1)在上述實施形態中，雖然是將第1類物品K1設為FOUP及FOSB，且將第2類物品K2設為EUV用容器及倍縮光罩用容器，但是亦可適當地變更第1類物品K1及第2類物品K2。例如，亦可將第1類物品K1設為FOUP與FOSB當中的任一種，且亦可將第2類物品K2設為倍縮光罩用容器與EUV用容器當中的任一種。又，亦可將第1類物品K1設為倍縮光罩用容器，且將第2類物品K2設為EUV用容器。又，第1類物品K1及第2類物品K2並不限定於以半導體製造設備搬送的該等物品，亦可為例如貨櫃(container)或托板(pallet)等之容器，且亦可為各種製品本身。
(2)在上述實施形態中，是將第1類物品K1設為FOUP與FOSB，來設為收容半導體晶圓的容器，並且將第2類物品K2設為EUV容器及倍縮光罩容器，來設為收容光罩的容器，而在第1類物品K1與第2類物品K2中以收容物的用途不同之情況為例來進行說明。但是並不限定於此，亦可為例如將第1類物品K1設為收容350mm晶圓的容器，將第2類物品K2設為收容450mm晶圓的容器等，而讓收容物的用途在第1類物品K1與第2類物品K2中為相同。
(3)在上述實施形態中，雖然第1控制部H1在可執行第1移載控制與第3移載控制之雙方的情況下，會優先地執行第1移載控制，但亦可優先地執行第3移載控制。
(4)在上述實施形態中，雖然是以第1升降機構13為相對於第1進退機構12使第1保持部11沿著上下方向Z移動的構成之情況為例來說明，但是並不限定於此，第1升降機構13亦可為藉由相對於升降體8使第1進退機構12沿著上下方向Z移動，而使第1保持部11沿著上下方向Z移動的構成。又，同樣地，第2升降機構18亦可為藉由相對於升降體8使第2進退機構17沿著上下方向Z移動，而使第2保持部16沿著上下方向Z移動的構成。
(5)在上述實施形態中，雖然是以第1移載裝置6是構成為進行進退動作與升降動作來作為移載動作，第2移載裝置7是構成為進行進退動作、升降動作及保持動作來作為移載動作，而使移載動作在第1移載裝置6與第2移載裝置7不同之情況為例來說明，但是並非限定於此，亦可將移載動作設成在第1移載裝置6與第2移載裝置7上相同。例如，亦可將第1移載裝置6與第2移載裝置7之雙方構成為進行進退動作與升降動作來作為移載動作。在此情況下，亦可設成例如以水平多關節機械手臂來構成第1進退機構12與第2進退機構17當中的一個，並且以滑動叉(slide fork)來構成另一個。即使是在此情況下，亦可根據水平多關節機械手臂與滑動叉的移載動作之不同，而使第1移載裝置6為相較於第2移載裝置7可在較短時間內執行移載動作的構成。
(6)在上述實施形態中，雖然是設成第2移載裝置7為具備用於檢測第1種物品T1的第2存貨感測器S4、及用於檢測第2種物品T2及第3種物品T3的第3存貨感測器S5的構成，但是第2移載裝置7所具備的感測器的位置及數量亦可作適當變更。亦即，亦可設成在第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3所存在的高度具備感測器，而藉由1個感測器來檢測第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3之構成，亦可設成對於第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3的每一個個別地設置感測器，而藉由3個感測器來檢測第1種物品T1、第2種物品T2及第3種物品T3之構成。
(7)再者，在上述之各實施形態所揭示的構成，只要沒有發生矛盾，也可與在其他的實施形態所揭示的構成組合而適用。關於其他的構成，在本說明書中所揭示的實施形態在全部之點上均只不過是例示。從而，在不脫離本揭示的主旨之範圍內，可進行適當的、各種的改變。
3.上述實施形態之概要 以下，針對在上述所說明之物品搬送裝置及物品搬送設備之概要進行說明。
一種物品搬送裝置，具備：第1移載裝置；第2移載裝置，設置在比前述第1移載裝置更上方且在沿著上下方向的上下方向視角下與前述第1移載裝置重疊的位置；及升降體，支撐前述第1移載裝置及前述第2移載裝置並且沿著前述上下方向而移動， 以第1類物品及與該第1類物品種類不同的第2類物品為搬送對象，前述第1類物品的搬送量比前述第2類物品的搬送量更多，前述第1移載裝置是構成為在自身與移載對象地點之間僅可移載前述第1類物品與前述第2類物品當中的前述第1類物品，前述第2移載裝置是構成為在自身與前述移載對象地點之間可移載前述第1類物品及前述第2類物品之雙方，前述第1移載裝置是相較於前述第2移載裝置，可在較短時間內執行前述第1類物品在自身與前述移載對象地點之間的移載動作之構成。
根據此構成，第1移載裝置雖然無法保持第2類物品，但是物品的移載動作比較快。相對於此，第2移載裝置雖然物品的移載動作比較慢，但是可以保持第1類物品與第2類物品之雙方。 亦即，因為針對搬送量比較少的第2類物品是利用移載動作比較慢的第2移載裝置來搬送，而針對搬送量比較多的第1類物品，可以利用移載動作比較快的第1移載裝置與第2移載裝置之雙方來搬送，所以可以抑制搬送效率之降低。
在此，較理想的是，前述第1移載裝置是構成為進行下述動作來作為前述移載動作：沿著連結前述升降體與前述移載對象地點的方向而突出及退回的進退動作、以及沿著前述上下方向而升降的升降動作，前述第2移載裝置是構成為除了前述進退動作與前述升降動作之外，還進行保持前述第1類物品或前述第2類物品的保持動作來作為前述移載動作。
根據此構成，第1移載裝置是藉由進退動作與升降動作而在自身與移載對象地點之間移載第1類物品，第2移載裝置是藉由進退動作、升降動作及保持動作而在自身與移載對象地點之間移載第1類物品或第2類物品。如此，因為第1移載裝置是相較於第2移載裝置而讓移載動作的步驟較少，所以易於將第1移載裝置形成為移載動作比第2移載裝置快的構成。另一方面，因為第2移載裝置是藉由保持動作來保持物品的構成，所以易於形成為對應於不同種類的物品之移載的構成。
又，較理想的是，前述第1移載裝置具備第1保持部，前述第1保持部是構成為從下方支撐前述第1類物品的底面來進行保持，前述第2移載裝置具備第2保持部，前述第2保持部是構成為可以保持前述第1類物品的上部所具備的第1類被保持部、及前述第2類物品的上部所具備的第2類被保持部之任一個。
根據此構成，可以將第1移載裝置的第1保持部相對於第1移載裝置所保持的第1類物品而配置在下方，並且將第2移載裝置的第2保持部相對於第2移載裝置所保持的第1類物品或第2類物品而配置在上方。因此，在如上述地將第2移載裝置配置在比第1移載裝置更上方的構成中，可以將第1保持部與第2保持部上下分離來配置，並且在其等之間形成用於保持物品的空間。因此，可以將第1移載裝置所保持的物品與第2移載裝置所保持的物品之上下方向的間隔形成得較狹窄。從而，可以將第1移載裝置的移載對象地點與第2移載裝置的移載對象地點之上下方向的間隔也形成得較狹窄，而易於謀求移載對象地點的省空間化。
又，較理想的是，前述第1類物品之前述上下方向的尺寸比前述第2類物品更大，前述第2移載裝置具備用於檢測前述第1類物品的第1感測器、及用於檢測前述第2類物品的第2感測器，前述第1感測器是設置於：存在有前述第2移載裝置所保持的前述第1類物品的高度且不存在有前述第2移載裝置所保持的前述第2類物品的高度，前述第2感測器是設置於：存在有前述第2移載裝置所保持的前述第2類物品的高度。
根據此構成，在第2移載裝置保持有第1類物品的情況下，是第1感測器及第2感測器檢測出物品。另一方面，在第2移載裝置保持有第2類物品的情況下，是第1感測器檢測物品，而第2感測器不檢測物品。從而，根據此構成，可以適當地檢測第2移載裝置所保持的物品為第1類物品或為第2類物品。
又，較理想的是，前述第1移載裝置具備：第1進退機構，使保持前述第1類物品的第1保持部移動至第1退回位置與第1突出位置，前述第1突出位置是相對於前述第1退回位置而突出至前述移載對象地點所存在之側的位置；及第1升降機構，使前述第1保持部相對於前述第1進退機構而在前述上下方向上移動，前述第2移載裝置具備有：第2進退機構，使可以保持前述第1類物品與前述第2類物品之任一類物品的第2保持部移動至第2退回位置與第2突出位置，前述第2突出位置是相對於前述第2退回位置而突出至前述移載對象地點所存在之側的位置；及第2升降機構，使前述第2保持部相對於前述第2進退機構而在前述上下方向上移動。
根據此構成，因為第1升降機構是僅使第1進退機構與第1保持部當中的第1保持部升降，所以和使第1進退機構與第1保持部之雙方升降的情況相較之下，可以將藉由第1升降機構升降的對象之重量減輕，因此可以謀求第1升降機構的小型化或輕量化。同樣地，因為針對第2升降機構，也可以將藉由第2升降機構升降的對象之重量減輕，所以可以謀求第2升降機構的小型化或輕量化。
又，較理想的是，前述第1類物品是收納半導體晶圓的晶圓用容器，前述第2類物品是收納EUV遮罩的EUV用容器與收納倍縮光罩的倍縮光罩用容器之至少一種。
根據此構成，可以在半導體製造設備中，既抑制搬送效率的降低並且適當地搬送一般而言搬送量比較多的晶圓用容器、以及搬送量比較少的EUV用容器或倍縮光罩用容器。
又，較理想的是更具備控制部，前述控制部控制前述第1移載裝置、前述第2移載裝置及前述升降體的動作，前述控制部是執行下述控制：將前述第1類物品從前述移載對象地點移載至前述第1移載裝置的第1移載控制；將前述第2類物品從前述移載對象地點移載至前述第2移載裝置的第2移載控制；及將前述第1類物品從前述移載對象地點移載至前述第2移載裝置的第3移載控制，並且在可執行前述第1移載控制與前述第3移載控制之雙方的情況下，優先地執行前述第1移載控制。
根據此構成，在可執行第1移載控制與第3移載控制之雙方的情況下，是形成為優先地執行第1移載控制。如上述，第1移載裝置是相較於第2移載裝置可在較短時間內執行移載動作。因此，根據此構成，可以更有效率地進行第1類物品的搬送。
一種物品搬送設備，具備物品搬送裝置與輸送機式搬送裝置， 在前述第2類物品中包含外形尺寸互相不同的第2種物品與第3種物品，前述第1類物品是外形尺寸和前述第2種物品及前述第3種物品之雙方不同的第1種物品，前述輸送機式搬送裝置具備：第1輸送機及第2輸送機，沿著水平方向僅搬送前述第1種物品、前述第2種物品及前述第3種物品當中的前述第1種物品；及第3輸送機，沿著水平方向僅搬送前述第1種物品、前述第2種物品及前述第3種物品當中的前述第2種物品及前述第3種物品，前述第2輸送機與前述第3輸送機是設置在比前述第1輸送機更上方，前述第1輸送機與前述第2輸送機是以可同時地執行由前述第1移載裝置所進行之自身與前述第1輸送機之間的前述第1種物品的移載、以及由前述第2移載裝置所進行之自身與前述第2輸送機之間的前述第1種物品的移載的間隔來配置，前述第1輸送機與前述第3輸送機是以可同時地執行由前述第1移載裝置所進行之自身與前述第1輸送機之間的前述第1種物品的移載、以及由前述第2移載裝置所進行之自身與前述第3輸送機之間的前述第2種物品及前述第3種物品的移載的間隔來配置。
根據此構成，即可以同時地執行由第1移載裝置所進行之自身與第1輸送機之間的第1種物品的移載、以及由第2移載裝置所進行之自身與第2輸送機之間的第1種物品的移載。又，可以同時地執行由第1移載裝置所進行之自身與第1輸送機之間的第1種物品的移載、以及由第2移載裝置所進行之自身與第3輸送機之間的第2種物品及第3種物品的移載。 亦即，即使在第2移載裝置中保持第1種物品、第2種物品及第3種物品之任一種物品的情況下，仍然可以同時地執行由第1移載裝置所進行之移載與由第2移載裝置所進行之移載。並且，因為可以在未將搬送量比較少的第2種物品或第3種物品保持於第2移載裝置的情況下，將搬送量比較多的第1種物品保持於此第2移載裝置，所以可以提高物品的搬送效率。 從而，根據此構成，可以既將不同種類的物品集合到一起來搬送，並且可提高物品的搬送效率。 產業上之可利用性
本揭示之技術可以利用於具備有第1移載裝置、第2移載裝置及升降體的物品搬送裝置上。
1‧‧‧升降式搬送裝置(物品搬送裝置) 2‧‧‧輸送機式搬送裝置 3‧‧‧移載對象地點 4‧‧‧物品搬送車 6‧‧‧第1移載裝置 7‧‧‧第2移載裝置 8‧‧‧升降體 9‧‧‧升降用馬達 10‧‧‧支撐體 11‧‧‧第1保持部 12‧‧‧第1進退機構 13‧‧‧第1升降機構 13A、18A‧‧‧本體部 13B、18B‧‧‧升降部 14‧‧‧第1旋繞機構 16‧‧‧第2保持部 16A‧‧‧把持爪 17‧‧‧第2進退機構 18‧‧‧第2升降機構 19‧‧‧第2旋繞機構 21‧‧‧第1輸送機 22‧‧‧第2輸送機 23‧‧‧第3輸送機 24‧‧‧第4輸送機 25‧‧‧第5輸送機 27‧‧‧第1類用台車 28‧‧‧第1種用內側支撐部 31‧‧‧第2類用台車 32‧‧‧第2種用內側支撐部 33‧‧‧第3種用內側支撐部 35‧‧‧判別裝置 A1‧‧‧第1被檢測體 A2‧‧‧第2被檢測體 A3‧‧‧第3被檢測體 D‧‧‧下階 F1‧‧‧第1被保持部 F2‧‧‧第2被保持部 F3‧‧‧第3被保持部 H‧‧‧上位控制器 H1‧‧‧第1控制部(控制部) H2‧‧‧第2控制部 K1‧‧‧第1類物品 K2‧‧‧第2類物品 R1‧‧‧第1類被保持部 R2‧‧‧第2類被保持部 S1‧‧‧第1存貨感測器 S2‧‧‧上升感測器 S3‧‧‧下降感測器 S4‧‧‧第2存貨感測器(第1感測器) S5‧‧‧第3存貨感測器(第2感測器) S6‧‧‧第1定位置感測器 S7‧‧‧第2定位置感測器 S8‧‧‧第4存貨感測器 S9‧‧‧第5存貨感測器 T1‧‧‧第1種物品 T2‧‧‧第2種物品 T3‧‧‧第3種物品 U‧‧‧上階 X‧‧‧進退方向 Z‧‧‧上下方向
圖1是物品搬送設備的正面圖。 圖2是物品搬送裝置的側面圖。 圖3是第1保持部位於下降位置且位於第1退回位置的第1移載裝置的側面圖。 圖4是第1保持部位於下降位置且位於第1突出位置的第1移載裝置的側面圖。 圖5是第2保持部位於上升位置且位於第2退回位置的第2移載裝置的側面圖。 圖6是第2保持部位於上升位置且位於第2退回位置的第2移載裝置的側面圖。 圖7是第2保持部位於上升位置且位於第2退回位置的第2移載裝置的側面圖。 圖8是第2保持部位於第1種用下降位置且位於第2突出位置的第2移載裝置的側面圖。 圖9是第2保持部位於第2種用下降位置且位於第2突出位置的第2移載裝置的側面圖。 圖10是第2保持部位於第3種用下降位置且位於第2突出位置的第2移載裝置的側面圖。 圖11是第1輸送機的平面圖。 圖12是第2輸送機及第3輸送機的平面圖。 圖13是第2輸送機及第3輸送機的縱截面正面圖。 圖14是控制方塊圖。 圖15是移載動作的說明圖。
1‧‧‧升降式搬送裝置(物品搬送裝置)
6‧‧‧第1移載裝置
7‧‧‧第2移載裝置
8‧‧‧升降體
11‧‧‧第1保持部
12‧‧‧第1進退機構
13‧‧‧第1升降機構
13A、18A‧‧‧本體部
13B、18B‧‧‧升降部
14‧‧‧第1旋繞機構
16‧‧‧第2保持部
16A‧‧‧把持爪
17‧‧‧第2進退機構
18‧‧‧第2升降機構
19‧‧‧第2旋繞機構
F1‧‧‧第1被保持部
F3‧‧‧第3被保持部
K1‧‧‧第1類物品
K2‧‧‧第2類物品
R1‧‧‧第1類被保持部
R2‧‧‧第2類被保持部
T1‧‧‧第1種物品
T3‧‧‧第3種物品
Z‧‧‧上下方向

Claims (8)

  1. 一種物品搬送裝置，具備以下： 第1移載裝置； 第2移載裝置，設置在比前述第1移載裝置更上方且在沿著上下方向的上下方向視角下與前述第1移載裝置重疊的位置；及 升降體，支撐前述第1移載裝置及前述第2移載裝置並且沿著前述上下方向而移動， 前述物品搬送裝置具有以下之特徵： 以第1類物品及與該第1類物品種類不同的第2類物品為搬送對象，前述第1類物品的搬送量比前述第2類物品的搬送量更多， 前述第1移載裝置是構成為在自身與移載對象地點之間僅可移載前述第1類物品與前述第2類物品當中的前述第1類物品， 前述第2移載裝置是構成為在自身與前述移載對象地點之間可移載前述第1類物品及前述第2類物品之雙方， 前述第1移載裝置是相較於前述第2移載裝置，可在較短時間內執行前述第1類物品在自身與前述移載對象地點之間的移載動作之構成。
  2. 如請求項1之物品搬送裝置，其中前述第1移載裝置是構成為進行下述動作來作為前述移載動作：沿著連結前述升降體與前述移載對象地點的方向而突出及退回的進退動作、以及沿著前述上下方向而升降的升降動作， 前述第2移載裝置是構成為除了前述進退動作與前述升降動作之外，還進行保持前述第1類物品或前述第2類物品的保持動作來作為前述移載動作。
  3. 如請求項1或2之物品搬送裝置，其中前述第1移載裝置具備第1保持部，前述第1保持部是構成為從下方支撐前述第1類物品的底面來進行保持， 前述第2移載裝置具備有第2保持部，前述第2保持部是構成為可以保持前述第1類物品的上部所具備的第1類被保持部、及前述第2類物品的上部所具備的第2類被保持部之任一個。
  4. 如請求項1或2之物品搬送裝置，其中前述第1類物品是前述上下方向的尺寸比前述第2類物品更大， 前述第2移載裝置具備用於檢測前述第1類物品的第1感測器、及用於檢測前述第2類物品的第2感測器， 前述第1感測器是設置於：存在有前述第2移載裝置所保持的前述第1類物品的高度且不存在有前述第2移載裝置所保持的前述第2類物品的高度， 前述第2感測器是設置於：存在有前述第2移載裝置所保持的前述第2類物品的高度。
  5. 如請求項1或2之物品搬送裝置，其中前述第1移載裝置具備：第1進退機構，使保持前述第1類物品的第1保持部移動至第1退回位置與第1突出位置，前述第1突出位置是相對於前述第1退回位置而突出至前述移載對象地點所存在之側的位置；及第1升降機構，使前述第1保持部相對於前述第1進退機構而在前述上下方向上移動， 前述第2移載裝置具備有：第2進退機構，使可以保持前述第1類物品與前述第2類物品之任一類物品的第2保持部移動至第2退回位置與第2突出位置，前述第2突出位置是相對於前述第2退回位置而突出至前述移載對象地點所存在之側的位置；及第2升降機構，使前述第2保持部相對於前述第2進退機構而在前述上下方向上移動。
  6. 如請求項1或2之物品搬送裝置，其中前述第1類物品是收納半導體晶圓的晶圓用容器， 前述第2類物品是收納EUV遮罩的EUV用容器與收納倍縮光罩的倍縮光罩用容器之至少一種。
  7. 如請求項1或2之物品搬送裝置，其更具備控制部，前述控制部控制前述第1移載裝置、前述第2移載裝置、及前述升降體的動作， 前述控制部是執行下述控制：將前述第1類物品從前述移載對象地點移載至前述第1移載裝置的第1移載控制；將前述第2類物品從前述移載對象地點移載至前述第2移載裝置的第2移載控制；及將前述第1類物品從前述移載對象地點移載至前述第2移載裝置的第3移載控制，並且在可執行前述第1移載控制與前述第3移載控制之雙方的情況下，優先地執行前述第1移載控制。
  8. 一種物品搬送設備，具備如前述請求項1或2之物品搬送裝置、及輸送機式搬送裝置， 在前述第2類物品中包含外形尺寸互相不同的第2種物品與第3種物品， 前述第1類物品是外形尺寸和前述第2種物品及前述第3種物品之雙方不同的第1種物品， 前述輸送機式搬送裝置具備：第1輸送機及第2輸送機，沿著水平方向僅搬送前述第1種物品、前述第2種物品及前述第3種物品當中的前述第1種物品；及第3輸送機，沿著水平方向僅搬送前述第1種物品、前述第2種物品及前述第3種物品當中的前述第2種物品及前述第3種物品， 前述第2輸送機與前述第3輸送機是設置在比前述第1輸送機更上方， 前述第1輸送機與前述第2輸送機是以可同時地執行由前述第1移載裝置所進行之自身與前述第1輸送機之間的前述第1種物品的移載、以及由前述第2移載裝置所進行之自身與前述第2輸送機之間的前述第1種物品的移載的間隔來配置， 前述第1輸送機與前述第3輸送機是以可同時地執行由前述第1移載裝置所進行之自身與前述第1輸送機之間的前述第1種物品的移載、以及由前述第2移載裝置所進行之自身與前述第3輸送機之間的前述第2種物品及前述第3種物品的移載的間隔來配置。
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