JP4333284B2 - 搬入装置 - Google Patents
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Description
続いて、通路側のシャッター120が閉じ、クリーンルーム側のシャッター110が開くと、ロボット130のアームが伸びて降下し、容器300をテーブル140上に載置する。最後にロボット130のアームが縮んでシャッター110が閉じられる。このように、クリーンルーム側のシャッター110と通路側のシャッター120を交互に開閉することにより、通路側の塵や埃がクリーンルーム内に侵入することを防止している。
即ち、請求項1記載の発明は、物品が収納された容器をクリーンルームの内部に搬入するためのクリーンルーム用の搬入装置であって、前記クリーンルームの内部に通じる第1のシャッターと、前記クリーンルームの外部に通じる第2のシャッターと、これら第1及び第2のシャッターで仕切られた空間内に配置され、前記容器を載置するための第1の面を有すると共に前記容器を該第1の面上の所定位置に位置させる位置決め機構(例えば後述するキネマティックカップリングピン450等に相当する構成要素)と、前記第2のシャッターを挟んで前記空間の外側に配置され、前記第1の面と連続する第2の面を有する載置機構(例えば後述する載置面410を有するテーブルに相当する構成要素)と、前記第1のシャッターを開閉して、前記所定位置に位置された前記容器を持ち上げて前記クリーンルームの内部に移送する移送機構(例えば後述するロボット480に相当する構成要素)と、を備え、前記位置決め機構は、前記第1の面上に設けられ、前記容器を前記第2の面から該第1の面へと押し滑らせて移動させた際に、該容器が押し当てられることで、該容器を前記第1の面上の前記所定位置に位置決めさせるガイド部材と、前記第1の面に上下動可能に設けられ、上昇時には前記第1の面上の所定位置に位置決めされた前記容器の底面側に形成された溝と嵌合し、降下時には前記第1の面よりも下に位置する可動ピンと、前記可動ピンの上下動を操作するための操作部と、を備えたことを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の搬入装置において、前記移送機構が、前記クリーンルーム内部、または、前記第1のシャッターと前記第2のシャッターとの間の何れかに配置されたことを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項1ないし3の何れか1項記載の搬入装置において、前記第2の面が、複数の容器を載置可能な面積を有することを特徴とする。
図1に、本実施の形態に係るクリーンルーム用の搬入装置であるパススルー400の構成を示す。このパススルー400は、物品が収納された容器300をクリーンルーム(図示なし)の内部に搬入するための搬入装置であり、同図は本装置の上視図である。同図において、符号410は容器300を載置するための載置面(第2の面)であり、複数の容器を載置可能な面積を有している。この載置面410の高さと台車200の載置面の高さが同一に設定されている。符号420はクリーンルームの外部に通じる手動式シャッター(第2のシャッター)、符号430はクリーンルームの内部に通じる自動シャッター(第1のシャッター)を示す。手動式シャッター420は、自動式シャッター430が閉状態にある場合にのみ開状態に操作可能となっている。
上述の実施形態では、移送手段としてのロボット480を、パススルー400の本体内であって自動式シャッター430に対しクリーンルーム側に位置するる領域に配置したが、この例に限定されることなく、ロボット480を、手動式シャッター420と自動式シャッター430との間の場所に配置してもよく、また、ロボット480をパススルー400の本体から分離してクリーンルーム内部に配置してもよい。
図9に、ロボット480をパススルー400の本体から分離してクリーンルーム内に配置した例を示す。同図において、上述の図1に示した要素と共通する要素には同一符号を付し、その説明を省略する。図9に示す例では、自動式シャッター430が、パススルー400の本体とクリーンルームとを直接的に隔てており、この自動式シャッター430を開放した状態では、パススルー400内部の載置面470がクリーンルームから直接的に臨まれるようになっている。このような構成によれば、ロボット480の配置の自由度が増し、例えばロボット480として自走式を採用することも可能になり、移送効率を一層改善することが可能になる。
さらに、上述の実施形態では搬入装置として説明したが、搬送物の搬送方向を逆にすれば、搬出装置として把握することもできる。また、上述の実施形態において、クリーンルームの外の空間を基準にすれば、搬送物はクリーンルーム外の空間からクリーンルーム内に“搬出”されることになる。結局のところ、本願発明において、“搬入”なる概念は固定的なものではなく、その搬送物の搬送方向の定義に応じて適切に解釈すべき性質のものである。
Claims (4)
- 物品が収納された容器をクリーンルームの内部に搬入するための搬入装置であって、
前記クリーンルームの内部に通じる第1のシャッターと、
前記クリーンルームの外部に通じる第2のシャッターと、
これら第1及び第2のシャッターで仕切られた空間内に配置され、前記容器を載置するための第1の面を有すると共に前記容器を該第1の面上の所定位置に位置させる位置決め機構と、
前記第2のシャッターを挟んで前記空間の外側に配置され、前記第1の面と連続する第2の面を有する載置機構と、
前記第1のシャッターを開閉して、前記所定位置に位置された前記容器を持ち上げて前記クリーンルームの内部に移送する移送機構と、
を備え、
前記位置決め機構は、
前記第1の面上に設けられ、前記容器を前記第2の面から該第1の面へと押し滑らせて移動させた際に、該容器が押し当てられることで、該容器を前記第1の面上の前記所定位置に位置決めさせるガイド部材と、
前記第1の面に上下動可能に設けられ、上昇時には前記第1の面上の所定位置に位置決めされた前記容器の底面側に形成された溝と嵌合し、降下時には前記第1の面よりも下に位置する可動ピンと、
前記可動ピンの上下動を操作するための操作部と、
を備えたことを特徴とするクリーンルーム用の搬入装置。 - 前記移送機構が、前記クリーンルーム内部、または、前記第1のシャッターと前記第2のシャッターとの間の何れかに配置されたことを特徴とする請求項1記載の搬入装置。
- 前記第2のシャッターが、
前記第1のシャッターが閉状態にある場合に開状態に操作可能なシャッターであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の搬入装置。 - 前記第2の面が、
複数の容器を載置可能な面積を有することを特徴とする請求項1ないし3の何れかに1項記載の搬入装置。
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CN105225993A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-06 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 手动的载片花篮装载机构 |
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2003
- 2003-08-28 JP JP2003305231A patent/JP4333284B2/ja not_active Expired - Fee Related
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